JP2007272117A - 顕微鏡、顕微鏡の制御方法、及び顕微鏡の制御プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】顕微鏡100の制御装置40は、電源ON信号を受けて、撮像装置80を用いて試料ステージ30の試料を撮像し、複数のターゲット枠を設定する。そして、検者により、そのなかの1つのターゲット枠が設定されるとその頂点座標を記憶する。その後、対物レンズ20の倍率が変更されると、制御装置40は、その拡大画像を撮像し、拡大されたターゲット枠の頂点座標を記憶する。そして、制御装置40は、拡大前のターゲット枠周辺以外の領域をマスキングし、さらに拡大した画像を縮小する。その後、縮小した画像をパターンマッチングして最大マッチング位置を特定する。そして、その位置から、座標原点の移動量を求めて、X軸ステージ31と、Y軸ステージ32とを移動させることにより、位置ずれを補正する。
【選択図】図1
Description
試料を載置するステージと複数の対物レンズを備え、該対物レンズを変更することにより、試料の観察倍率を変更できる顕微鏡であって、
第1の対物レンズを用いて、試料の第1の画像を撮像する第1撮像手段と、
前記第1の対物レンズが、該第1の対物レンズよりも倍率がk(kは1以上の実数)倍の第2の対物レンズに変更された後、前記試料の第2の画像を撮像する第2撮像手段と、
前記第2撮像手段により撮像された前記第2の画像を1/k倍に縮小した第3の画像を生成する縮小手段と、
前記第1撮像手段により撮像された前記第1の画像と前記縮小手段により生成された前記第3の画像との相関をとることにより、前記第1の画像上の前記第3の画像の位置を求め、この前記第3の画像の位置から、前記第1の画像の撮像位置に対する前記第2の画像の撮像位置の相対的なずれ量を求めるずれ量判別手段と、
前記ずれ量判別手段で判別されたずれ量をキャンセルするように、前記ステージと前記第2の対物レンズとの相対的位置を補正する位置補正手段と、
を備えることを特徴とする。
前記マスク手段によりマスクされた前記第1の画像の観察対象領域と前記第3の画像との相関をとることにより、前記第1の画像上の前記第3の画像の位置を求める位置判別手段と、この前記第3の画像の位置から、前記第1の画像の撮像位置に対する前記第2の画像の撮像位置の相対的なずれ量を求める相対ずれ量判別手段と、
を備えることを特徴としてもよい。
前記位置補正手段は、前記x−y座標上のずれをキャンセルするように、前記ステージと前記第2の対物レンズとの相対的位置をx座標軸方向及びy座標軸方向に補正することを特徴としてもよい。
前記第1と第2の対物レンズはレボルバーに装着されており、
前記ずれ量判別手段は、前記第1の対物レンズで前記試料の第1の画像が撮像された後に、前記レボルバーが回転され、前記第2の対物レンズにより同一の試料について前記第2の画像を得られたときに、前記第1の画像の画像中心に対する前記第2の画像の画像中心のx−y座標上でのずれ量を求め、
前記位置補正手段は、前記第1の画像の画像中心に対応する位置が、前記レボルバーの回転後に前記第2の対物レンズを介して撮像された前記第2の画像の画像中心となるように、x−yステージを制御することを特徴としてもよい。
コンピュータに、
第1撮像手段により、第1の対物レンズを用いて試料の第1の画像を撮像し、
前記第1の対物レンズが、該第1の対物レンズよりも倍率がk(kは1以上の実数)倍の第2の対物レンズに変更された後、第2撮像手段により、前記試料の第2の画像を撮像し、
前記第2撮像手段により撮像された前記第2の画像を縮小手段により、1/k倍に縮小した第3の画像を生成し、
前記第1撮像手段により撮像された前記第1の画像と前記縮小手段により生成された前記第3の画像との相関をとることにより、前記第1の画像上の前記第3の画像の位置を求め、この前記第3の画像の位置から、前記第1の画像の撮像位置に対する前記第2の画像の撮像位置の相対的なずれ量を、ずれ量判別手段により求め、
前記ずれ量判別手段で判別されたずれ量をキャンセルするように、前記ステージと前記第2の対物レンズとの相対的位置を補正する、
動作を実行させることを特徴とする。
このようにすることで、現在のものより高い倍率の対物レンズ20を選択したときに画像がずれても正しく相関をとることができるようになる。極端な場合、位置ずれによって画像1の試料Paが画像2上から外れてしまっても画像1にマスクが設定された領域90AにパターンPbとパターンPcが含まれ、画像2にパターンPbとパターンPcが含まれていれば、パターンPbとパターンPcを頼りに位置ずれ補正を行なうことも可能である。なお、ΔXとΔYは同じ値であってもよいし、互いに異なる値であってもよい。
10 レボルバー
20 対物レンズ
30 試料ステージ
31 X軸ステージ
32 Y軸ステージ
33 試料搭載台座
40 制御装置
50 記憶装置
60 入力装置
70 表示装置
80 撮像装置
90 ターゲット枠(倍率変更前)
90a ターゲット枠(倍率変更後)
90A マスキング枠
Claims (5)
- 試料を載置するステージと複数の対物レンズを備え、該対物レンズを変更することにより、前記試料の観察倍率を変更できる顕微鏡であって、
第1の対物レンズを用いて、前記試料の第1の画像を撮像する第1撮像手段と、
前記第1の対物レンズが、該第1の対物レンズよりも倍率がk(kは1以上の実数)倍の第2の対物レンズに変更された後、前記試料の第2の画像を撮像する第2撮像手段と、
前記第2撮像手段により撮像された前記第2の画像を1/k倍に縮小した第3の画像を生成する縮小手段と、
前記第1撮像手段により撮像された前記第1の画像と前記縮小手段により生成された前記第3の画像との相関をとることにより、前記第1の画像上の前記第3の画像の位置を求め、この前記第3の画像の位置から、前記第1の画像の撮像位置に対する前記第2の画像の撮像位置の相対的なずれ量を求めるずれ量判別手段と、
前記ずれ量判別手段で判別されたずれ量をキャンセルするように、前記ステージと前記第2の対物レンズとの相対的位置を補正する位置補正手段と、
を備えることを特徴とする顕微鏡。 - 前記ずれ量判別手段は、前記第1の画像の観察対象領域以外の領域をマスクするマスク手段と、
前記マスク手段によりマスクされた前記第1の画像の観察対象領域と前記第3の画像との相関をとることにより、前記第1の画像上の前記第3の画像の位置を求める位置判別手段と、この前記第3の画像の位置から、前記第1の画像の撮像位置に対する前記第2の画像の撮像位置の相対的なずれ量を求める相対ずれ量判別手段と、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡。 - 前記ずれ量判別手段は、前記第1の画像の中心と前記第3の画像の中心とのx−y座標上のずれを判別し、
前記位置補正手段は、前記x−y座標上のずれをキャンセルするように、前記ステージと前記第2の対物レンズとの相対的位置をx座標軸方向及びy座標軸方向に補正する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の顕微鏡。 - 前記ステージはx−yステージから構成され、
前記第1と第2の対物レンズはレボルバーに装着されており、
前記ずれ量判別手段は、前記第1の対物レンズで前記試料の第1の画像が撮像された後に、前記レボルバーが回転され、前記第2の対物レンズにより同一の前記試料について前記第2の画像を得られたときに、前記第1の画像の画像中心に対する前記第2の画像の画像中心のx−y座標上でのずれ量を求め、
前記位置補正手段は、前記第1の画像の画像中心に対応する位置が、前記レボルバーの回転後に前記第2の対物レンズを介して撮像された前記第2の画像の画像中心となるように、前記x−yステージを制御する、
ことを特徴とする請求項1、2又は3に記載の顕微鏡。 - コンピュータに、
第1撮像手段により、第1の対物レンズを用いて試料の第1の画像を撮像し、
前記第1の対物レンズが、該第1の対物レンズよりも倍率がk(kは1以上の実数)倍の第2の対物レンズに変更された後、第2撮像手段により、前記試料の第2の画像を撮像し、
前記第2撮像手段により撮像された前記第2の画像を縮小手段により、1/k倍に縮小した第3の画像を生成し、
前記第1撮像手段により撮像された前記第1の画像と前記縮小手段により生成された前記第3の画像との相関をとることにより、前記第1の画像上の前記第3の画像の位置を求め、この前記第3の画像の位置から、前記第1の画像の撮像位置に対する前記第2の画像の撮像位置の相対的なずれ量を、ずれ量判別手段により求め、
前記ずれ量判別手段で判別されたずれ量をキャンセルするように、前記ステージと前記第2の対物レンズとの相対的位置を補正する、
動作を実行させる顕微鏡の制御プログラム。
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