JP2011106852A - 電子部品検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ICハンドラは水平移動する供給側ロボットハンドユニット20を備え、当該ユニット20はトレイのポケットの画像を撮像するカメラ36と上下移動するとともにICチップを吸着把持する把持部32とを備え、把持部32にはトレイの測定位置への近接に応じて信号を出力する近接検出装置40が接続される。またICハンドラには、把持部32の測定位置への近接が検出されたとき把持部32の上下方向の高さ位置に基づいてポケットに載置されるICチップの高さ位置を算出する機能と、画像の画像処理に基づいてポケットの水平方向の水平位置を取得する機能とを有する制御装置が設けられている。
【選択図】図3
Description
このような構成によれば、トレイにおいて電子部品を載置させない位置、いわゆるトレイに設けられた電子部品を配置するポケット以外の位置の高さ位置を測定するようにする。これにより、ポケットであればその高さ位置は当該ポケットへの電子部品の有無等によって変化するが、ポケット以外の位置の高さを測定することによりトレイへの電子部品の載置の有無にかかわらず、トレイの高さ位置が正確に測定されるようになる。これにより、トレイの高さの算出が容易になるとともに、電子部品の有無を要因として生じる算出誤差を無くすことができるようになる。
このような構成によれば、調整弁により把持手段から噴射される気体の流量または圧力が調整されるので、トレイやそこに載置されている電子部品に対して近接を検出する、すなわち高さを測定するために好適な流量または圧力の気体を供給することができるようになる。これにより、例えば、高さを測定するために把持手段から噴射される気体が電子部品を吹き飛ばすなどして移動させるようなことが防止されるようになる。その結果、このような高さ測定が好適に行われるようになる。
把持手段が当接跡記録部に当接跡を記録させたときと、撮像手段が当接跡の直上に移動されたときのそれぞれの水平移動手段の水平位置に基づいて行なわれるようになる。これにより、撮像手段と把持手段との水平方向の相対位置にずれが生じたような場合であれ、その水平方向の相対位置が補正されるようになり、撮像手段で撮像された位置への把持手段の移動精度が高められ、電子部品検査装置の検査効率や検査精度の向上が図られるようになる。
このような構成によれば、把持手段の加熱を電子部品検査装置に設けられている加熱部により行なうようにする。これにより、把持手段の加熱に、従来から設けられていることの多い高温部などの加熱部を用いるようにすれば、当接跡の記録が少ない構成で行えるようになり電子部品検査装置としてその利便性が一層高められる。
以下、本発明の電子部品検査装置の具体化された第1の実施形態について図に従って説明する。図1は、電子部品検査装置としてのICハンドラ10を示す平面図である。
保持されるようになっている。なお、各ポケットPK11〜PK64は、そこに載置されたICチップTを緩やかに保持するものの、そこに固定するものではないため、そこに載置されたICチップTはトレイ18が受ける振動やICチップT自体が受ける風圧などにより載置されたポケットから飛び出したり、載置されている向きが変ったりするおそれを有している。特に上述したような小型化されたチップは、その質量が小さく、わずかな振動や風圧でその向きが変ったり、ポケットから飛び出してしまったりするおそれが高く、所定の位置に安定的に載置させておくことや、それを所定の位置から正しく取得すること、所定の位置に正しく配置することなどを難しくしている。
面の図示しないレール受けによって第1のレール24Aに摺接されている。そして、第1シャトル16に設けた図示しないモーターによって、第1のレール24Aに沿って往復動される。ベース部材16Aの上面の両端には、それぞれチェンジキット16B,16Cがネジなどで交換可能に固着されている。また、第2シャトル17は、X軸方向に長い略板状のベース部材17Aを備えており、その底面の図示しないレール受けによって第2のレール24Bに摺接されている。そして、第2シャトル17に設けた図示しないモーターによって、第2のレール24Bに沿って往復動される。ベース部材17Aの上面の両端には、それぞれチェンジキット17B,17Cがネジなどで交換可能に固着されている。
レールの下部には、Y方向に往復移動可能に検査用ヘッド22が支持されているとともに、レールに備えられたY軸モーター(図示略)によって、Y方向に往復動させられる。すなわち、検査用ヘッド22は、レールに沿って移動して各シャトル16,17と検査用ソケット50との間でICチップTを相互に搬送するようになっている。
などを設置することができる領域であり、例えば、検査用ソケット50の検査端子に付着した汚れを除去するクリーニングチップを載置したり、把持部32の当接を記録する当接記録部としての感熱シートSHを載置したりすることができる。なお、本実施形態では、作業エリア19Bには感熱シートSHが載置されており、感熱シートSHは、加熱エリア19Aにて加熱された把持部32が当接されると当該把持部32の熱により当該把持部32の当接した形状に変色して、当該変色による当接跡が記録される。
図3に示すように、供給側ロボットハンドユニット20は、第1のY軸フレームFY1にY方向に移動可能に連結されているフレーム25と、同フレーム25の下方に延出された4本の当接装置20A,20B,20C,20Dとを備えている。4本の当接装置20A〜20Dは、対応するトレイ18の各ポケットPK11〜PK64に適合するとともに、チェンジキット16B,17Bの各ポケットPSにも適合するように設けられている。すなわち当接装置20A,20B,20C,20Dは、トレイ18上に矩形の領域を形成するように隣接する4つのポケット、例えばポケットPK11,PK12,PK21,PK22から一時にICチップTを把持したり、各チェンジキット16B,17Bの4つのポケットに一時にICチップTを載置したりすることができるようになっている。
には下方に突出する凸部32Bが形成されている。同凸部32Bにはゴムなどの弾性又は可撓性などを有する吸着ノズル35が装着されており、その吸着ノズル35の吸着口35Hがエアー通路32Hに連通されている。これにより、吸着ノズル35の吸着口35Hが、把持部32のエアー通路32H、受動部31のエアー配管31H、支持部30のエアー配管30Hを介して近接検出装置40に連結されている。
把持部32の方向を撮像可能なカメラ36が設けられている。カメラ36は、CCDカメラなどから構成されており、フレーム25とともに移動して供給側ロボットハンドユニット20の下方を撮像するようになっている。すなわち、カメラ36は、トレイ18や各チェンジキット16B,17B、加熱エリア19A、作業エリア19Bなどの上方に移動されるとそれらの表面を撮像することができるようになっているが、4つの把持部32に囲まれているために、それらを撮像できる範囲は4つの把持部32により遮蔽されない範囲に限定されている。なお、カメラ36は各当接装置20A〜20Dと同様にフレーム25の下部に設けられていることから、各当接装置20A〜20Dとの間の水平方向の相対距離は基本的に大きく変化することはなく、略一定に保たれている。
これにより供給側ロボットハンドユニット20は、トレイ18の上方に移動されてから当接装置20A〜20Dを供給Z軸モーターMZ1の駆動により所定の上下方向の位置(把持高さ)まで下降させてコンベアC1のトレイ18に収容されている複数(4個)の検査前のICチップTを各把持部32に吸着把持し、同把持部32を上昇させる。そして、複数のICチップTを吸着把持しつつ第1シャトル16の上方に移動してから各把持部32を供給Z軸モーターMZ1の駆動により所定の上下方向の位置(供給高さ)まで下降させるとともに各把持部32からICチップTを離脱させることにより把持していた複数のICチップTを第1シャトル16に供給する。
ICハンドラ10には、制御装置80が備えられている。制御装置80は、中央演算処理装置(CPU)、記憶装置(不揮発性メモリーROM、揮発性メモリーRAMなど)を有するマイクロコンピュータを中心に構成されており、メモリーに格納されている各種データ及びプログラムに基づいて、ICチップTなどのデバイスを搬送する処理などの各種制御を実行する。本実施形態では、制御装置80にて、把持部32とカメラ36との間の相対位置のキャリブレーション処理や、カメラ36にて撮像されたICチップTの位置へ把持部32を移動させる処理などが行なわれる。また、制御装置80にてトレイ18の上下方向の位置(高さ)を測定して、測定された高さに基づいて同トレイ18の歪みを算出するトレイ歪み算出処理及び同算出されたトレイ18の歪みに基づいて同トレイ18に載置された各ICチップTの高さ、すなわち当接装置20A〜20Dの下降する高さを算出する高さ算出処理が実行される。さらに、不揮発性メモリーROMには、キャリブレーション処理や把持部の移動処理、トレイ歪み算出処理、高さ算出処理などに必要な各種のパラメータなどが予め保存されている。
供給X軸モーター駆動回路MXD1は、制御装置80から受けた駆動信号に応答して、同駆動信号に基づく駆動量を演算し、演算された駆動量に基づいて供給X軸モーターMX1を駆動制御するようになっている。また制御装置80には、供給X軸モーター駆動回路MXD1を介して供給X軸モーターエンコーダーEMX1によって検出された供給X軸モーターMX1の回転速度が入力される。これにより制御装置80は、供給側ロボットハンドユニット20の左右方向(X方向)の位置を把握する。そして、その把握した位置とコンベアC1〜C6の上方位置や第1又は第2シャトル16,17の上方位置などの目標位置とのX方向のずれを求めて、供給X軸モーターMX1を駆動制御して供給側ロボットハンドユニット20を目標位置に移動させるようになっている。
の間の相対距離を調整、いわゆるキャリブレーションするようになっている。
された移動量の調整(キャリブレーション)が行なわれるようになる。これにより、カメラ36の撮像画像から取得した中心位置への把持部32の移動が高い精度にて行なわれるようになる。
図7に示すように、例えば、トレイ18に不規則な変形が生じている場合、トレイ18の歪みを算出するために高さを測定する予め定められた各測定ポイントCP11〜CP13の高さがそれぞれ異なるようになる。すなわち、図7において左側の測定ポイントCP11の高さは高さL11であり、図7において中央付近の測定ポイントCP12の高さは高さL12であり、該高さL12は測定ポイントCP11の高さL11よりも差d12だけ低くいものとする。また、図7において右側の測定ポイントCP13の高さは高さL13であり、該高さL13は測定ポイントCP11の高さL11よりも差d13だけ高いものとする。
ができるので測定された高さの精度を高く維持することができる。さらに、測定位置が、各ポケットPK11〜PK64であればICチップTの有無により高さが変化するが、各測定ポイントCP11〜CP33を各ポケットPK11〜PK64ではない位置に設定することによりICチップTの高さの影響を受けることなくトレイ18の高さを測定することができるようになる。
れにより、図8(c)及び(d)に示すように、当接装置20Aの把持部32が、ポケットPK11の中心位置に配置されるようになる。なお、各当接装置20A〜20Dは、4つのポケットPK11,PK12,PK21,PK22に対応するようになっており、当接装置20Aの把持部32がポケットPK11の中心位置に配置されたときに、その他の各当接装置20B〜20Dの把持部32がそれぞれ対応する各ポケットPK12〜PK22の中心位置に配置されるようになる。
測定ポイントCP12に当接装置20Aを移動させて(ステップS21)、その測定ポイントCP12の高さを測定する(ステップS22)。同様に、制御装置80は、各測定ポイントCP13〜CP33の高さを順次測定する。
図9に示すように、当接装置20AにICチップTの把持取得(ステップS40)が完了すると、制御装置80は、そのICチップTを第1シャトル16に搬送配置し(ステップS50)、次のポケットのICチップTの有無を判断する(ステップS60)。次のICチップTがポケットPK12にある場合(ステップS60でYES)、制御装置80は、当接装置20AをポケットPK12の上方に移動させる。そして、制御装置80は、ポケットPK12のICチップTを、ポケットPK11のICチップTと同様に、当該ポケットPK12から取得して第1シャトル16に搬送配置する。その後、制御装置80は、各ポケットPK13〜PK64の各ICチップTを順次第1シャトル16または第2シャトル17に搬送配置する。ポケットPK64のICチップTを搬送配置するなどして、次のデバイスがないと判断された場合(ステップS60でNO)、制御装置80は、次のトレイがあるか否かを判断する(ステップS70)。次のトレイ18があると判断した場合(ステップS70でYES)、制御装置80は、次のトレイ18を供給させて(ステップS18)、当該トレイ18の歪みを算出し(ステップS20)、当該トレイ18に載置さ
れているICチップTを取得し搬送する(ステップS30,S40,S50)。その後も制御装置80は、トレイ18の全てのデバイスの搬送が終了したと判断した場合(ステップS60でNO)、次のトレイ18があるか否かを判断して(ステップS70)、トレイ18が有る場合(ステップS70でYES)、上述のステップS18〜S60の工程を繰り返してICチップTを搬送する。
なお、ここでは1つの当接装置20AによりICチップTを搬送する態様について説明したが、ICチップTの搬送に他の当接装置20B〜20Dを用いたり、それらとともに当接装置20AがICチップTを搬送するようにしてもよい。例えば、算出された各ポケットPK11〜PK64の高さから、当接装置20AがICチップTを把持する一のポケットと、その一のポケットに隣接する他のポケットの高さとが一時にICチップTを取得することができる所定の誤差範囲にあることも多い。このような場合、当接装置20Aは、他のポケットに対応する他の当接装置20B〜20Dとの協働により一度に複数(2〜4個)のICチップTを把持搬送するようにしてもよい。
(1)把持部32は、水平方向の移動がカメラの撮像画像に基づくポケットPK11〜PK64の水平位置に基づいて制御され、上下方向の移動が近接検出装置40により測定されたトレイ18の高さに基づいて算出されるICチップTの高さ位置に基づいて制御される。これにより把持部32が、ICチップTに対して水平方向と、上下方向とに位置制御されるようになり、水平方向においてはICチップTの中心位置などの目標位置への配置精度が高められる。また、上下方向においては、ICチップTの上面を吸着するための高さへの好適な下降によるICチップTへの当接、もしくはICチップTを離脱させるための高さへの好適な下降によるトレイなどへのICチップTの載置精度が高められる。これにより、把持部32がICチップTをトレイ18との間で授受する際、把持部32によるICチップTの吸着・離脱が好適になされるようになる。
れによってもICハンドラ10としての検査精度や検査効率が向上されるようになる。
本発明の電子部品検査装置の具体化された第2の実施形態について図13に従って説明する。なお、本実施形態は、把持部32による高さ測定を、吸着ノズル35に供給した所
定の高さ測定用圧力の気体の圧力変化に基づいて検出するようにした点について、先の第1の実施形態と相違するものであり、ここでは主にその相違点について説明し、説明の便宜上、同様の部分には同一の符号を付しその説明を省略する。
本発明の電子部品検査装置の具体化された第3の実施形態について図14に従って説明する。なお、本実施形態は、把持部32による高さ測定を、把持部32に付与されている電荷量の変化に基づいて検出するようにしたことが、先の第1の実施形態と相違する点であることから、ここでは主にその相違点について説明し、説明の便宜上、同様の部分には同一の符号を付しその説明を省略する。
図14に示すように、供給側ロボットハンドユニット20は、上部が一体的に連結された4本の当接装置20A,20B,20C,20Dを備えている。各当接装置20A〜20Dはそれぞれ、フレーム25の下方に延出される支持部30と、支持部30に対して受動的に上下動する受動部31と、受動部31の先端にはICチップTを吸着把持する把持部32Aとを備えている。
近接検出装置40には、電荷チャージャー55、電荷量測定器56及びそれらと配線58との接続を選択的に切替える切換器57とが設けられている。電荷チャージャー55は、電荷量測定用の直流電力を出力する直流電源であり、その出力に接続された対象に所定の電荷を付与するようになっている。これにより切換器57により配線58を介して接続された当接装置20Aの把持部32Aに所定量の電荷を供給することができるようになっている。当接装置20Aの把持部32Aは、唯一支持連結される受動部31に絶縁性を有するジョイント33を介して接続されることで、別途導電体などに接触するようなことがない限り、当接装置20Aに対して独立している電気的に絶縁された状態が維持され、電荷チャージャー55から供給された電荷が拡散することなく維持される。
荷量を検出する。当接装置20Aの把持部32Aは、それが連結された受動部31などと電気的に絶縁され独立した導電性を有しているため、電荷チャージャー55から供給された電荷に基づく電荷量が検出される。
・上記第1の実施形態では、算出されたトレイ18の高さと、トレイ18の寸法、及びICチップTの寸法から、各ポケットPK11〜PK64に載置されたICチップTの上面高さを算出した。しかしこれに限らず、ポケットに載置されたICチップの上面の高さと、そのポケットに隣接する測定ポイントの高さとを測定し、測定されたICチップの上面高さと測定ポイントの高さとの差分を求め、その差分をトレイの各位置毎に算出される高さに加算することでトレイの任意の位置におけるICチップの上面高さ位置を求めてもよい。
の上面高さ位置を測定するために、制御装置80は、供給側ロボットハンドユニット20を所定のポケット、例えばポケットPK11に載置されたICチップTの上部に移動させる(ステップS100)。また、把持部32からは高さ測定用圧力の気体を噴出させる(ステップS101)。そして、制御装置80は、流量計45により高さ測定用圧力の気体の流量を測定しつつ当該気体の流量を把持部32とICチップTとの当接を検出するために予め定められた閾値と比較しながら把持部32をICチップT上に下降させる(ステップS102)。制御装置80は、把持部32が下降して気体の流量が前記閾値よりも小さくなったことを検出したとき(ステップS103)、供給Z軸モーターエンコーダーEMZ1からの値に基づいてICチップT上面の高さ位置を測定し記憶する。
又はその他の態様により記録されるようにしてもよい。例えば、把持部の当接跡が把持部の感圧シートへの押圧により記録されるようにすれば、当接跡の記録を容易にすることもできる。これにより、当接跡を用いての把持部とカメラとの間の相対位置の補正が容易になり、キャリブレーションのための自由度が高められるとともに、電子部品検査装置としてその利便性が高められる。
・上記各実施形態では、供給ロボット14の供給側ロボットハンドユニット20にてトレイ18の高さを測定して同トレイ18の歪みを算出する場合について例示した。しかしこれに限らず、回収ロボットの回収側ロボットハンドユニットにてトレイの高さを測定して同トレイの歪みを算出してもよい。これにより、検査済みのICチップTをトレイに好適に載置することができるようになる。
を好適に保持できるものであれば、トレイの上面に凹設されていなくてもよく、ICチップを保持する部分に、例えば壁や柱などの突部を突出させてもよい。例えば、図18に示すように、トレイ18Aの上面180と電子部品載置位置181の高さが同じであるような場合、電子部品載置位置181の周囲にICチップの移動を防止するための突部182を設けてもよい。これにより、トレイの選択自由度が高められる。
・上記各実施形態では、トレイ18の歪みを算出するときに測定位置としてトレイ18の表面である測定ポイントCP11〜CP64を測定するようにした。しかしこれに限らず、測定位置は、例えば、トレイのポケット内やトレイに載置されたICチップなどのデバイス自身やダミーのデバイスの表面などであってもよい。これにより、測定位置の設定の自由度が高められこのように吸着精度を向上させた電子部品検査装置の利便性も高められる。
Claims (10)
- トレイのポケットに載置されて搬入された電子部品の電気的検査を行うとともに、該検査された電子部品をトレイのポケットに載置して排出する電子部品検査装置であって、
前記トレイに対して水平移動する水平移動手段と、
前記水平移動手段に設けられ、前記トレイのポケットの画像を撮像する撮像手段と、
前記水平移動手段に設けられ、前記トレイに対して上下移動するとともに前記電子部品を吸着把持する把持手段と、
前記把持手段に接続され、前記トレイに設けられた測定位置への当該把持手段の近接に応じて信号を出力する近接検出手段と、
前記近接検出手段から出力される信号に基づいて前記把持手段の前記測定位置への近接が検出されたときの前記把持手段の上下方向の高さ位置に基づいて前記トレイのポケットに載置される電子部品の上下方向の高さ位置を算出する機能と、前記撮像された画像の画像処理に基づいて前記トレイのポケットの水平方向の水平位置を取得する機能とを有する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記水平移動手段の水平移動を前記取得されたポケットの水平位置に基づいて制御し、前記把持手段の上下移動を前記算出された前記電子部品の高さ位置に基づいて制御する
ことを特徴とする電子部品検査装置。 - 前記測定位置は、前記トレイにあって前記電子部品を載置させない位置である
請求項1に記載の電子部品検査装置。 - 前記近接検出手段は、前記把持手段に所定の流量の気体を供給するとともに当該供給する気体の流量を測定する流量計を備え、
前記制御手段は、前記所定の流量の気体を前記把持手段から噴射させつつ当該把持手段を前記測定位置に下降させ、前記近接検出手段から伝達される前記流量計の気体の測定流量に対応した信号に基づいて求められる当該気体の流量が予め設定された所定の流量よりも少なくなったとき、該把持手段の高さ位置を前記測定位置の高さ位置として測定して、当該測定位置の高さ位置に基づいて前記トレイに載置される電子部品の高さ位置を算出する
請求項1又は2に記載の電子部品検査装置。 - 前記近接検出手段は、前記把持手段に所定の圧力の気体を供給するとともに当該供給する気体の圧力を測定する圧力計を備え、
前記制御手段は、前記所定の圧力の気体を前記把持手段から噴射させつつ当該把持手段を前記測定位置に下降させ、前記近接検出手段から伝達される前記圧力計の気体の測定圧力に対応した信号に基づいて求められる当該気体の圧力が予め設定された所定の圧力よりも高くなったとき、該把持手段の高さ位置を前記測定位置の高さ位置として測定して、当該測定位置の高さ位置に基づいて前記トレイに載置される電子部品の高さ位置を算出する
請求項1又は2に記載の電子部品検査装置。 - 前記近接検出手段は、前記把持手段に供給する気体の流量又は圧力を所定の値に調整することのできる調整弁を備える
請求項3又は4に記載の電子部品検査装置。 - 前記測定位置には、少なくとも電荷を拡散させる導電性が確保され、
前記把持手段には、前記電子部品検査装置に対して独立している導電性が確保され、
前記近接検出手段は、前記把持手段に電気的に接続されるとともに前記把持手段に付与された電荷を測定する電荷量測定器を備え、
前記制御手段は、電荷の付与された前記把持手段を前記測定位置に下降させ、前記電荷量測定器から伝達される測定された電荷量に対応した信号に基づいて求められる電荷量が予め設定された所定の電荷量よりも少なくなったとき、該把持手段の高さ位置を前記測定位置の高さ位置として測定して、当該測定位置の高さ位置に基づいて前記トレイに載置される電子部品の高さ位置を算出する
請求項1又は2に記載の電子部品検査装置。 - 前記把持手段の当接された当接跡を前記撮像手段による認識を可能に記録する当接跡記録部を備え、
前記制御手段は、前記把持手段が前記当接跡記録部に前記当接跡を記録させたときの前記水平移動手段の水平位置と、前記撮像手段の撮像中心を前記当接跡の中心位置に移動させたときの当該水平移動手段の水平位置とに基づいて前記把持手段と前記撮像手段との間の水平方向の相対位置の補正を行なう
請求項1〜6のいずれか一項に記載の電子部品検査装置。 - 前記当接跡記録部は、感熱シートからなり、
前記感熱シートには、加熱された前記把持手段が押しつけられることにより当該把持手段の当接跡が記録される
請求項7に記載の電子部品検査装置。 - 前記把持手段は、前記電子部品検査装置に設けられた加熱部により加熱される
請求項8に記載の電子部品検査装置。 - 前記当接跡記録部は、感圧シートからなり、
前記感圧シートには、前記把持手段が所定の圧力で押しつけられることにより当該把持手段の当接跡が記録される
請求項7に記載の電子部品検査装置。
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160145314A (ko) * | 2015-06-10 | 2016-12-20 | 세메스 주식회사 | 커스터머 트레이 검사 방법 |
WO2017006461A1 (ja) * | 2015-07-08 | 2017-01-12 | 富士機械製造株式会社 | 部品実装機、および部品実装ライン |
KR20170062144A (ko) * | 2015-11-27 | 2017-06-07 | 한화테크윈 주식회사 | 부품트레이의 포켓 티칭장치 |
JP2017152555A (ja) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
JP2018141699A (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-13 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
JP2019061994A (ja) * | 2017-09-25 | 2019-04-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品搭載システムおよび搬送用パレットの評価方法 |
JP2020051944A (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
TWI728237B (zh) * | 2016-01-28 | 2021-05-21 | 日商精工愛普生股份有限公司 | 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 |
JP7362507B2 (ja) | 2020-02-25 | 2023-10-17 | 株式会社Nsテクノロジーズ | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびポケット位置検出方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024053048A1 (ja) * | 2022-09-08 | 2024-03-14 | 株式会社Fuji | 部品装着機および部品装着方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000284019A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Seiko Epson Corp | Icデバイス検査装置の押圧装置及びこれを有するicデバイスの検査装置 |
JP2003090703A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-03-28 | Sharp Corp | 凹凸パターン検出器および凹凸パターン検出方法 |
JP2003133795A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装装置における基板上面高さの検出方法 |
JP2006337051A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Yamaha Motor Co Ltd | Icハンドラー |
JP2006337052A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Yamaha Motor Co Ltd | Icハンドラー |
JP2008044047A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Yokogawa Electric Corp | デバイス搬送高さ基準位置設定方法及びハンドラ装置 |
JP2008124198A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Seiko Epson Corp | ハンドラのティーチング方法及びハンドラ |
JP2008309672A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Yokogawa Electric Corp | Icハンドラ |
JP2009111155A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品移載装置 |
-
2009
- 2009-11-13 JP JP2009259695A patent/JP5359801B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000284019A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Seiko Epson Corp | Icデバイス検査装置の押圧装置及びこれを有するicデバイスの検査装置 |
JP2003090703A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-03-28 | Sharp Corp | 凹凸パターン検出器および凹凸パターン検出方法 |
JP2003133795A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装装置における基板上面高さの検出方法 |
JP2006337051A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Yamaha Motor Co Ltd | Icハンドラー |
JP2006337052A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Yamaha Motor Co Ltd | Icハンドラー |
JP2008044047A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Yokogawa Electric Corp | デバイス搬送高さ基準位置設定方法及びハンドラ装置 |
JP2008124198A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Seiko Epson Corp | ハンドラのティーチング方法及びハンドラ |
JP2008309672A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Yokogawa Electric Corp | Icハンドラ |
JP2009111155A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Yamaha Motor Co Ltd | 部品移載装置 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160145314A (ko) * | 2015-06-10 | 2016-12-20 | 세메스 주식회사 | 커스터머 트레이 검사 방법 |
KR102304256B1 (ko) | 2015-06-10 | 2021-09-23 | 세메스 주식회사 | 커스터머 트레이 검사 방법 |
WO2017006461A1 (ja) * | 2015-07-08 | 2017-01-12 | 富士機械製造株式会社 | 部品実装機、および部品実装ライン |
JPWO2017006461A1 (ja) * | 2015-07-08 | 2018-04-19 | 富士機械製造株式会社 | 部品実装機、および部品実装ライン |
KR20170062144A (ko) * | 2015-11-27 | 2017-06-07 | 한화테크윈 주식회사 | 부품트레이의 포켓 티칭장치 |
KR102177337B1 (ko) * | 2015-11-27 | 2020-11-10 | 한화정밀기계 주식회사 | 부품트레이의 포켓 티칭장치 |
TWI728237B (zh) * | 2016-01-28 | 2021-05-21 | 日商精工愛普生股份有限公司 | 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 |
JP2017152555A (ja) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
JP2018141699A (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-13 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
JP2019061994A (ja) * | 2017-09-25 | 2019-04-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品搭載システムおよび搬送用パレットの評価方法 |
JP2020051944A (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
JP7362507B2 (ja) | 2020-02-25 | 2023-10-17 | 株式会社Nsテクノロジーズ | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびポケット位置検出方法 |
Also Published As
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