JP2011106852A5 - 電子部品検査装置、および電子部品搬送装置 - Google Patents

Claims (11)

1. トレイのポケットに載置されて搬入された電子部品の電気的検査を行うとともに、該検査された電子部品をトレイのポケットに載置して排出する電子部品検査装置であって、
   前記トレイに対して水平移動する水平移動手段と、
   前記水平移動手段に設けられ、前記トレイのポケットの画像を撮像する撮像手段と、
   前記水平移動手段に設けられ、前記トレイに対して上下移動するとともに前記電子部品を吸着把持する把持手段と、
   前記把持手段に接続され、前記トレイに設けられた測定位置への当該把持手段の近接に応じて信号を出力する近接検出手段と、
   前記近接検出手段から出力される信号に基づいて前記把持手段の前記測定位置への近接が検出されたときの前記把持手段の上下方向の高さ位置に基づいて前記トレイのポケットに載置される電子部品の上下方向の高さ位置を算出する機能と、前記撮像された画像の画像処理に基づいて前記トレイのポケットの水平方向の水平位置を取得する機能とを有する制御手段とを備え、
   前記制御手段は、前記水平移動手段の水平移動を前記取得されたポケットの水平位置に基づいて制御し、前記把持手段の上下移動を前記算出された前記電子部品の高さ位置に基づいて制御する
   ことを特徴とする電子部品検査装置。
2. 前記測定位置は、前記トレイにあって前記電子部品を載置させない位置である
   請求項１に記載の電子部品検査装置。
3. 前記近接検出手段は、前記把持手段に所定の流量の気体を供給するとともに当該供給する気体の流量を測定する流量計を備え、
   前記制御手段は、前記所定の流量の気体を前記把持手段から噴射させつつ当該把持手段を前記測定位置に下降させ、前記近接検出手段から伝達される前記流量計の気体の測定流量に対応した信号に基づいて求められる当該気体の流量が予め設定された所定の流量よりも少なくなったとき、該把持手段の高さ位置を前記測定位置の高さ位置として測定して、当該測定位置の高さ位置に基づいて前記トレイに載置される電子部品の高さ位置を算出する
   請求項１又は２に記載の電子部品検査装置。
4. 前記近接検出手段は、前記把持手段に所定の圧力の気体を供給するとともに当該供給する気体の圧力を測定する圧力計を備え、
   前記制御手段は、前記所定の圧力の気体を前記把持手段から噴射させつつ当該把持手段を前記測定位置に下降させ、前記近接検出手段から伝達される前記圧力計の気体の測定圧力に対応した信号に基づいて求められる当該気体の圧力が予め設定された所定の圧力よりも高くなったとき、該把持手段の高さ位置を前記測定位置の高さ位置として測定して、当該測定位置の高さ位置に基づいて前記トレイに載置される電子部品の高さ位置を算出する
   請求項１又は２に記載の電子部品検査装置。
5. 前記近接検出手段は、前記把持手段に供給する気体の流量又は圧力を所定の値に調整することのできる調整弁を備える
   請求項３又は４に記載の電子部品検査装置。
6. 前記測定位置には、少なくとも電荷を拡散させる導電性が確保され、
   前記把持手段には、前記電子部品検査装置に対して独立している導電性が確保され、
   前記近接検出手段は、前記把持手段に電気的に接続されるとともに前記把持手段に付与された電荷を測定する電荷量測定器を備え、
   前記制御手段は、電荷の付与された前記把持手段を前記測定位置に下降させ、前記電荷量測定器から伝達される測定された電荷量に対応した信号に基づいて求められる電荷量が予め設定された所定の電荷量よりも少なくなったとき、該把持手段の高さ位置を前記測定位置の高さ位置として測定して、当該測定位置の高さ位置に基づいて前記トレイに載置される電子部品の高さ位置を算出する
   請求項１又は２に記載の電子部品検査装置。
7. 前記把持手段の当接された当接跡を前記撮像手段による認識を可能に記録する当接跡記録部を備え、
   前記制御手段は、前記把持手段が前記当接跡記録部に前記当接跡を記録させたときの前記水平移動手段の水平位置と、前記撮像手段の撮像中心を前記当接跡の中心位置に移動させたときの当該水平移動手段の水平位置とに基づいて前記把持手段と前記撮像手段との間の水平方向の相対位置の補正を行なう
   請求項１〜６のいずれか一項に記載の電子部品検査装置。
8. 前記当接跡記録部は、感熱シートからなり、
   前記感熱シートには、加熱された前記把持手段が押しつけられることにより当該把持手段の当接跡が記録される
   請求項７に記載の電子部品検査装置。
9. 前記把持手段は、前記電子部品検査装置に設けられた加熱部により加熱される
   請求項８に記載の電子部品検査装置。
10. 前記当接跡記録部は、感圧シートからなり、
    前記感圧シートには、前記把持手段が所定の圧力で押しつけられることにより当該把持手段の当接跡が記録される
    請求項７に記載の電子部品検査装置。
11. 電子部品を搬入し、検査後の前記電子部品を排出する電子部品搬送装置であって、
    前記電子部品を載置するトレイに対して水平移動する水平移動手段と、
    前記水平移動手段に設けられ、前記トレイのポケットの画像を撮像する撮像手段と、
    前記水平移動手段に設けられ、前記トレイに対して上下移動するとともに前記電子部品を吸着把持する把持手段と、
    前記把持手段に接続され、前記トレイに設けられた測定位置への当該把持手段の近接に応じて信号を出力する近接検出手段と、
    前記近接検出手段から出力される信号に基づいて前記把持手段の前記測定位置への近接が検出されたときの前記把持手段の上下方向の高さ位置に基づいて前記トレイのポケットに載置される電子部品の上下方向の高さ位置を算出する機能と、前記撮像された画像の画像処理に基づいて前記トレイのポケットの水平方向の水平位置を取得する機能とを有する制御手段とを備え、
    前記制御手段は、前記水平移動手段の水平移動を前記取得されたポケットの水平位置に基づいて制御し、前記把持手段の上下移動を前記算出された前記電子部品の高さ位置に基づいて制御する
    ことを特徴とする電子部品搬送装置。