JP2011017559A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 測定対象物よりも小さい寸法の撮像領域を有するイメージセンサを、前記測定対象物の表面上を相対的に移動させながら、前記測定対象物の表面を撮像して前記撮像領域内の画像を得、得られた前記撮像領域内の画像を用いて前記測定対象物の表面上の位置を測定する位置測定装置であって、
   所定の時点における前記撮像領域内の画像から前記測定対象物の表面上の模様を抽出する抽出部と、
   前記抽出部により抽出された前記模様の、前記所定の時点以後の時点における前記撮像領域内の画像中での変位量を検出する検出部と、
   前記検出部により検出された前記変位量及び前記寸法に基づいて前記測定対象物の表面上の位置を測定する測定部と、
   を有することを特徴とする位置測定装置。
2. 請求項１記載の位置測定装置において、
   前記抽出部により抽出された前記模様に関する位置情報を記憶する記憶部を有し、
   前記測定部は、前記変位量、前記寸法及び前記記憶部により記憶された前記位置情報に基づいて前記測定対象物の表面上の位置を測定する
   ことを特徴とする位置測定装置。
3. 請求項１又は２に記載の位置測定装置において、
   前記抽出部は、抽出された前記模様が存在する撮像領域内の画像から前記模様と異なる新たな模様を抽出する
   ことを特徴とする位置測定装置。
4. 請求項３記載の位置測定装置において、
   前記抽出部により抽出された前記模様が現時点における撮像領域内の画像に存在するか否かの判定を行う判定部を有し、
   前記抽出部は、前記判定部により前記模様が前記現時点における撮像領域内の画像に存在しないと判定したとき前記現時点における撮像領域内の画像から前記新たな模様を抽出する
   ことを特徴とする位置測定装置。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の位置測定装置において、
   前記記憶部は、前記模様のテンプレートを記憶し、
   前記検出部は、前記記憶部により記憶された前記テンプレートを用いて領域ベースマッチングに基づき前記模様の変位量を算出する
   ことを特徴とする位置測定装置。
6. 測定対象物よりも小さい寸法の撮像領域を有するイメージセンサを、前記測定対象物の表面上を相対的に移動させながら、前記測定対象物の表面を撮像して前記撮像領域内の画像を得、得られた前記撮像領域内の画像を用いて前記測定対象物の表面上の位置を測定する位置測定方法であって、
   所定の時点における前記撮像領域内の画像から前記測定対象物の表面上の模様を抽出する抽出工程と、
   前記抽出部により抽出された前記模様の、前記所定の時点以後の時点における前記撮像領域内の画像中での変位量を検出する検出工程と、
   前記検出部により検出された前記変位量及び前記寸法に基づいて前記測定対象物の表面上の位置を測定する測定工程と、
   を備えることを特徴とする位置測定方法。