JP4712766B2 - 部品移載装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態にかかる部品実装装置1を概略的に示す平面図である。本図に示される部品実装装置1は、基台2と、この基台2上に設置されて基板Pの搬送ラインを構成するコンベア3と、多数のチップ部品6,6…の集合体としてのウェハ7を供給する部品供給部5と、この部品供給部5から供給されたチップ部品6を吸着して搬送し、基板Pに実装する移載ヘッド4とを備えている。
上記第1実施形態では、部品供給部5から供給された部品(チップ部品6)を移載ヘッド4により搬送して基板Pに実装する部品実装装置1に、本発明の構成を適用した例について説明したが、本発明の構成は、このような部品実装装置1に限らず、部品を部品供給部から取り出して搬送する部品移載装置の部類であれば広く適用することが可能であり、例えば、図10に示される部品試験装置200に好適に適用することが可能である。以下では、このような部品試験装置200について簡単に説明する。
4 移載ヘッド
5,105 部品供給部
6(106) チップ部品(部品)
7 ウェハ
31 基板認識カメラ(ヘッド側撮像手段)
32 吸着位置認識カメラ(吸着位置撮像手段)
40 制御ユニット(制御手段)
P 基板(載置部)
M,M1,M2 位置認識マーク
200 部品試験装置
204 移載ヘッド
205 部品供給部
206 部品
210 検査ソケット(載置部)
214 検査ソケット用カメラ(ヘッド側撮像手段)
215 吸着位置認識カメラ(吸着位置撮像手段)
Claims (4)
- 部品供給部から供給された部品を移動可能な移載ヘッドにより吸着して搬送し、所定距離離れた基板に載置する部品移載装置であって、
上記移載ヘッドと独立して移動可能に設けられ、上記移載ヘッドが上記部品供給部から部品を吸着する前にその部品を撮像する吸着位置撮像手段と、
上記移載ヘッドに取り付けられてこれと一体に移動し、上記基板の位置を特定するために当該基板の上面に付された位置認識用のフィデューシャルマークを撮像するヘッド側撮像手段と、
上記移載ヘッド、上記吸着位置撮像手段及び上記ヘッド側撮像手段の動作を統括的に制御するとともに、部品吸着時に、上記吸着位置撮像手段によりあらかじめ撮像された部品の撮像データに基づいて、上記移載ヘッドをその部品の位置へ移動させる制御手段とを備え、
上記制御手段は、所定のタイミングで、上記部品供給部もしくはその周辺に付された共通の位置認識マークの上に上記吸着位置撮像手段およびヘッド側撮像手段を移動させ、これら各撮像手段により撮像された上記位置認識マークの撮像データに基づいて、上記移載ヘッドと吸着位置撮像手段との間の座標系のずれを調べ、その座標系のずれに基づいて、上記移載ヘッドが上記部品供給部内の部品にアクセスする際の移動量を補正することを特徴とする部品移載装置。 - 部品供給部から供給された部品を移動可能な移載ヘッドにより吸着して搬送し、所定距離離れた前記部品の検査用ソケットに載置する部品移載装置であって、
上記移載ヘッドと独立して移動可能に設けられ、上記移載ヘッドが上記部品供給部から部品を吸着する前にその部品を撮像する吸着位置撮像手段と、
上記移載ヘッドに取り付けられてこれと一体に移動し、上記検査用ソケットの位置を特定するために当該検査用ソケットを撮像するヘッド側撮像手段と、
上記移載ヘッド、上記吸着位置撮像手段及び上記ヘッド側撮像手段の動作を統括的に制御するとともに、部品吸着時に、上記吸着位置撮像手段によりあらかじめ撮像された部品の撮像データに基づいて、上記移載ヘッドをその部品の位置へ移動させる制御手段とを備え、
上記制御手段は、所定のタイミングで、上記部品供給部もしくはその周辺に付された共通の位置認識マークの上に上記吸着位置撮像手段およびヘッド側撮像手段を移動させ、これら各撮像手段により撮像された上記位置認識マークの撮像データに基づいて、上記移載ヘッドと吸着位置撮像手段との間の座標系のずれを調べ、その座標系のずれに基づいて、上記移載ヘッドが上記部品供給部内の部品にアクセスする際の移動量を補正することを特徴とする部品移載装置。 - 請求項1又は2に記載の部品移載装置において、
上記位置認識マークが互いに離間した箇所に複数付されており、
上記制御手段は、上記複数の位置認識マークをそれぞれ基準として上記移載ヘッドと吸着位置撮像手段との間の座標系のずれを調べ、これら複数の座標ずれデータに基づいて、上記移載ヘッドが上記部品供給部内の部品にアクセスする際の移動量を補正することを特徴とする部品移載装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の部品移載装置において、
上記部品供給部が、ダイシングされたウェハからなる多数のチップ部品の集合体を供給するウェハ用フィーダであることを特徴とする部品移載装置。
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