JP4111160B2 - 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法 - Google Patents
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Description
を撮像する供給部基準マーク撮像カメラと、前記供給部撮像カメラによる撮像結果に基づいて前記部品搭載機構を制御するとともに前記供給部基準マーク撮像カメラによる撮像結果に基づいて前記供給部撮像カメラ移動手段を制御する制御手段とを備えた。
えており、後述する搭載ヘッドによってチップ6をピックアップする際には、エジェクタピンによってウェハリング5の下方からチップ6を突き上げることにより、チップ6はウェハリング5に展張されたシート5aから剥離される。エジェクタ8は、チップ6をウェハリング5に展張されたシート5aから剥離するシート剥離機構となっている。
した基板16を実装位置に位置決めし、位置決めされた基板16に対して部品供給部2から取り出されたチップ6が実装される。そして実装済みの基板16は、基板搬送部12によって下流側に搬出される。
取り出されたチップ6を搭載ヘッド33によって基板保持部10に保持された基板16に搭載する部品搭載機構を構成する。
一体的に移動し、移動範囲にある部品供給部2,第3のカメラ3の近傍、基板保持部10を撮像可能となっている。後述するように、第4のカメラ36は、座標系の較正処理を行うための較正カメラとして用いられる。搭載ヘッド33は、基板撮像カメラである第1のカメラ34と供給部撮像カメラである第2のカメラ35との間で移動する機構配置となっており、搭載ヘッド33と一体移動する第4のカメラ36は、第1のカメラ34,第2のカメラ35のいずれの撮像範囲もカバーできるようになっている。
チップ撮像のために第2のカメラ移動機構によって移動させる場合の座標系、すなわち第2のカメラ座標系の較正処理が行われる。また供給部基準マーク撮像カメラとして較正カメラである第4のカメラ36によって認識マークA1,B1を撮像した撮像結果を画像認識することにより、部品供給部2からチップ6をピックアップするために搭載ヘッド33を搭載ヘッド移動機構によって移動させる場合の座標系、すなわち部品供給部座標系の較正処理が行われる。
像認識することにより、基板保持部10に保持された基板16にチップ6を搭載するために搭載ヘッド33を搭載ヘッド移動機構によって移動させる場合の座標系、すなわち基板座標系の較正処理が行われる。
行に生じ、基準時における4角形abcdは角方向変位を生じることなく熱伸縮により4角形ABCDに変化するという仮定に基づいて、座標変換式を作成している。そしてこのようにして作成された座標較正処理用データが、各座標系における移動機構の動作時の目標位置のデータ補正に用いられる。
点を算出する(ST21)。次いで搭載動作に移行する。まず基板座標系の座標系較正処理用データに基づいて、搭載位置指令点の座標に対応する搭載補正点の座標データを算出する(ST22)。次に図14(b)に示すように、搭載ヘッド33を基板16の搭載補正点に移動させ、保持したチップ6を基板16の部品搭載位置16aに搭載する(ST23)。そして搭載ヘッド33によるチップ6の搭載中に、第2のカメラ35を部品供給部2において次にピックアップされる複数のチップ6の上方に移動させ、複数のチップ6を第2のカメラ35で撮像する。この後、上述と同様の各ステップが反復実行される。
5a シート
6 チップ
10 基板保持部
11,17,18 マークポスト
15 第3のカメラ
16 基板
33 搭載ヘッド
34 第1のカメラ
35 第2のカメラ
36 第4のカメラ
A1,A2,A3,B1,B2,B3 認識マーク
Claims (9)
- 部品供給部によって供給される電子部品を取り出して基板に搭載する電子部品搭載装置であって、前記電子部品を所定配列で供給し電子部品の基準位置と関連づけられる供給部基準マークが設けられた部品供給部と、前記基板を保持する基板保持部と、前記部品供給部から取り出しヘッドによって取り出した電子部品を搭載ヘッドによって前記基板保持部に保持された基板に搭載する部品搭載機構と、前記部品供給部において電子部品を撮像する供給部撮像カメラと、前記供給部撮像カメラを部品供給部に対して相対的に水平移動させる供給部撮像カメラ移動手段と、前記供給部基準マークを撮像する供給部基準マーク撮像カメラと、前記供給部撮像カメラによる撮像結果に基づいて前記部品搭載機構を制御するとともに前記供給部基準マーク撮像カメラによる撮像結果に基づいて前記供給部撮像カメラ移動手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする電子部品搭載装置。
- 前記供給部基準マーク撮像カメラは、前記供給部撮像カメラであることを特徴とする請求項1記載の電子部品搭載装置。
- 前記供給部基準マーク撮像カメラは、前記搭載ヘッドと一体的に移動する較正カメラであることを特徴とする請求項1記載の電子部品搭載装置。
- 前記電子部品はシート保持部材に展張されたシートに貼着された状態で部品供給部に提供され、前記部品供給部は、前記シート保持部材に下面から当接する筒状部材が立設され前記供給部基準マークが設けられたベースプレートと、前記筒状部材の上方に配置され前記シート保持部材を下方に押圧する押圧プレートと、前記押圧プレートを昇降させる昇降手段とを備えたことを特徴とする請求項1記載の電子部品搭載装置。
- 前記供給部基準マークは、前記筒状部材を間に挟んだ複数箇所に設けられていることを特徴とする請求項4記載の電子部品搭載装置。
- 前記取り出しヘッドと搭載ヘッドとを1つの部品保持ヘッドによって兼務していることを特徴とする請求項1記載の電子部品搭載装置。
- 電子部品を所定配列で供給し電子部品の基準位置と関連づけられる供給部基準マークが設けられた部品供給部と、前記基板を保持する基板保持部と、前記部品供給部から取り出しヘッドによって取り出した電子部品を搭載ヘッドによって前記基板保持部に保持された基板に搭載する部品搭載機構と、前記部品供給部において電子部品を撮像する供給部撮像カメラと、前記供給部撮像カメラを部品供給部に対して相対的に水平移動させる供給部撮像カメラ移動手段と、前記供給部基準マークを撮像する供給部基準マーク撮像カメラとを備えた電子部品搭載装置によって、前記部品供給部によって供給される電子部品を取り出して基板に搭載する電子部品搭載方法であって、前記供給部撮像カメラによる撮像結果に基づいて前記部品搭載機構を制御するとともに、前記供給部基準マーク撮像カメラによる撮像結果に基づいて前記供給部撮像カメラ移動手段を制御することを特徴とする電子部品搭載方法。
- 前記供給部撮像カメラによって前記供給部基準マークを撮像した撮像結果に基づいて、前記供給部撮像カメラ移動手段を制御することを特徴とする請求項7記載の電子部品搭載方法。
- 前記搭載ヘッドと一体的に移動する較正カメラによって前記供給部基準マークを撮像した撮像結果に基づいて、前記供給部撮像カメラ移動手段を制御することを特徴とする請求項7記載の電子部品搭載方法。
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