DE112016006191T5

DE112016006191T5 - Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs und Bauteilmontageeinrichtung

Info

Publication number: DE112016006191T5
Application number: DE112016006191.9T
Authority: DE
Inventors: Tarou Kawai; Ryousuke NAKAMURA; Kota Ito
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2016-01-08
Filing date: 2016-01-08
Publication date: 2018-09-20
Also published as: US10561051B2; WO2017119142A1; JP6590949B2; US20200022292A1; CN108370662A; JPWO2017119142A1; CN108370662B

Abstract

Eine Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung umfasst eine fünfte Markierung (M5) (Markierung innerhalb der beweglichen Region), die eine projizierte Abbildung umfasst, die in einer beweglichen Region eines beweglichen Förderers (11) jeder der ersten und zweiten Substratfördervorrichtungen (4A, 4B) angebracht ist; erste und dritte Markierungen (M1, M3) (Markierungen außerhalb der beweglichen Region), die jeweils an beiden Seiten der fünften Markierung (M5) vorgesehen sind und an einer Position außerhalb der beweglichen Region des beweglichen Förderers (11) und außerhalb eines Substrats (P) an einer Arbeitsposition (Wp) angebracht sind; eine erste Substraterkennungskamera (26A) (Abbildungsvorrichtung), die sich zusammen mit einem Montagekopf (20A) bewegt; und einen Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt (42), der zwei Markierungen von den Markierungen auswählt, die an beiden Außenseiten des Substrats (P) positioniert sind und dem Substrat (P) am nächsten sind, und die erste Substraterkennungskamera (26A) veranlasst, die Markierungen abzubilden, sowie einen Bewegungsfehler des ersten Montagekopfs (20A) basierend auf den zwei Markierungsabbildungen zu erhalten.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs, wobei die Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung in einer Bauteilmontageeinrichtung zum Korrigieren eines Bewegungsfehlers eines Montagekopfs eingebunden ist, der von Wärmeverformung eines Antriebssystems verursacht wird, und eine Bauteilmontageeinrichtung, umfassend die Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung.
Allgemeiner Stand der Technik
Eine herkömmliche Bauteilmontageeinrichtung umfasst ein Antriebssystem, das einen Montagekopf veranlasst, sich horizontal zu bewegen, in der der sukzessive Montagebetrieb das Antriebssystem veranlasst, Wärmeverformung aufgrund von Erwärmen davon aufzuweisen. Solche Wärmeverformung verursacht eine Abweichung zwischen einem Montagekopf und einem Bauteil eines Bauteilzuführungsabschnitts oder eines Substrats, was ein Faktor bei der Verminderung der Montagepräzision ist. Unter diesen Umständen wird, um das Problem zu lösen, eine Kamera zum Erkennen eines Substrats verwendet, wobei sich die Kamera zusammen mit einem Montagekopf bewegt, um eine Vielzahl von Markierungen abzubilden und zu erkennen, die in einer beweglichen Region des Montagekopfs vorgesehen sind, eine Änderung eines Abstands zwischen den Markierungen als einen Bewegungsfehler des Montagekopfs aufgrund von Wärmeverformung eines Antriebssystems zu detektieren, und eine Zielladeposition eines Bauteils basierend auf dem Bewegungsfehler zu korrigieren.
Beispielsweise offenbart Patentliteratur 1 eine Technik zum Korrigieren einer Zielladeposition eines Bauteils basierend auf einem Abbildungsergebnis, das durch Abbilden jeder Markierung erhalten wird, wobei die Markierungen in der Nähe eines Paares von Förderern zum Fördern eines Substrats vorgesehen sind, wobei das Paar aus einem fixierten Förderer und einem beweglichen Förderer besteht, und wobei die Markierungen ein Paar von Markierungen, die in einer X-Richtung entlang des fixierten Förderers ausgerichtet sind, und ein Paar von Markierungen, die in einer Y-Richtung ausgerichtet sind, umfassen. In dieser Technik ist, um eine Störung mit dem beweglichen Förderer zu vermeiden, das Paar von Markierungen in der Y-Richtung außerhalb einer beweglichen Region des beweglichen Förderers vorgesehen. Daher wird erwartet, dass ein Substrat mit einer kleinen Größe verursachen wird, dass eine Markierungsposition und eine tatsächliche Substratposition weit voneinander beabstandet sind (eine Korrekturfläche verursachen, die größer als eine Substratgröße ist), um es zu erschweren, eine Korrekturpräzision zu gewährleisten.
Andererseits offenbart Patentliteratur 2 eine Technik zum Korrigieren einer Zielladeposition eines Bauteils basierend auf einem Abbildungsergebnis, das durch Abbilden eines Paares von Markierungen erhalten wird, die an einem Paar von Förderern zum Fördern eines Substrats vorgesehen sind, wobei das Paar von Förderern einen fixierten Förderer und einen beweglichen Förderer umfasst, und die gepaarten Markierungen voneinander in einer Richtung entlang des Förderers (einer X-Richtung) abweichen. Gemäß der Technik werden, weil sich die Markierungen zusammen mit dem beweglichen Förderer bewegen, solche Aufgaben, wie die in Patentliteratur 1 beschriebenen, gelöst. Da eine Position jeder der Markierungen selbst einen Bewegungsfehler mit sich bringt, ist es schwierig, eine Korrekturpräzision zu gewährleisten.
Entgegenhaltungsliste
Patentliteratur

Patentliteratur 1: Japanisches Patent Nr. 3253218
Patentliteratur 2: Japanisches Patent Nr. 5495260

Kurzdarstellung der Erfindung
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Bewegungsfehler eines Montagekopfs, der durch Wärmeverformung eines Antriebssystems verursacht wird, mit höherer Präzision gemäß einer Größe und einer Position eines Substrats zu korrigieren.
Dann ist die vorliegende Erfindung eine Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs, die auf eine Bauteilmontageeinrichtung anzuwenden ist, die mit einer Substratfördervorrichtung ausgestattet ist, die einen fixierten Förderer umfasst, das sich in einer ersten Richtung erstreckt, und einen beweglichen Förderer, der in einer zweiten Richtung orthogonal zu der ersten Richtung in Bezug auf den fixierten Förderer beweglich ist, und mit einem Montagekopf ausgestattet ist, der ein Bauteil auf einem Substrat montiert, das von der Substratfördervorrichtung zu einer vorbestimmten Arbeitsposition gefördert wird, wobei die Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs eine Markierung innerhalb einer beweglichen Region umfasst, die eine projizierte Abbildung oder eine reflektierte Abbildung umfasst, die in einer beweglichen Region des beweglichen Förderers gebildet ist; ein Paar von Markierungen außerhalb einer beweglichen Region, die jeweils an beiden Seiten der Markierung innerhalb der beweglichen Region in der zweiten Richtung vorgesehen und außerhalb der beweglichen Region des beweglichen Förderers und außerhalb des Substrats an der Arbeitsposition angebracht sind; eine Abbildungsvorrichtung, die sich zusammen mit dem Montagekopf bewegt; eine Steuer- bzw. Regelvorrichtung, die von der Markierung innerhalb der beweglichen Region und dem Paar von Markierungen außerhalb der beweglichen Region zwei Markierungen auswählt, die an beiden Außenseiten des Substrats in der zweiten Richtung positioniert sind und am dichtesten an dem Substrat sind, und die Abbildungsvorrichtung veranlasst, die Markierungen abzubilden; und eine Berechnungsvorrichtung, die einen Bewegungsfehler des Montagekopfs basierend auf zwei Markierungsabbildungen erhält, die von der Abbildungsvorrichtung aufgenommen werden.
Figurenliste

1 ist eine schematische Draufsicht einer Bauteilmontageeinrichtung (einer Bauteilmontageeinrichtung, auf die eine Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs der vorliegenden Erfindung angewandt wird) der vorliegenden Erfindung.
2 ist eine Seitenansicht der Bauteilmontageeinrichtung (eine Ansicht, gesehen von einem Pfeil in einer II-Richtung in 1).
3 ist ein Blockdiagramm, das ein Steuer- bzw. Regelsystem der Bauteilmontageeinrichtung zeigt.
4 ist ein Flussdiagramm, das ein Beispiel der arithmetischen Korrekturwertverarbeitungssteuerung bzw. -regelung mittels einer Steuer- bzw. Regeleinheit zeigt.
5A ist eine schematische Draufsicht erster und zweiter Substratfördervorrichtungen, in der eine bewegliche Region eines beweglichen Förderers gezeigt ist.
5B ist eine schematische Draufsicht der ersten und zweiten Substratfördervorrichtungen, die eine Form der Anbringung des beweglichen Förderers zeigt.
6 ist eine Draufsicht einer Markierung.
7A ist eine schematische Draufsicht der ersten und zweiten Substratfördervorrichtungen, die eine Form der Anbringung des beweglichen Förderers in einem parallelen Montagemodus zeigt.
7B ist eine schematische Draufsicht der ersten und zweiten Substratfördervorrichtungen, die eine andere Form der Anbringung des beweglichen Förderers in dem parallelen Montagemodus zeigt.
8 ist eine schematische Draufsicht der ersten und zweiten Substratfördervorrichtungen, in der eine fünfte Markierung von dem beweglichen Förderer verdeckt ist.
9A ist eine schematische Draufsicht eines Abwandlungsbeispiels der Bauteilmontageeinrichtung.
9B ist eine schematische Draufsicht der ersten und zweiten Substratfördervorrichtungen in dem parallelen Montagemodus der Bauteilmontageeinrichtung, die in 9B gezeigt ist.
10A ist eine schematische Draufsicht eines anderen Abwandlungsbeispiels der Bauteilmontageeinrichtung.
10B ist eine schematische Draufsicht der ersten und zweiten Substratfördervorrichtungen in dem parallelen Montagemodus der Bauteilmontageeinrichtung, die in 10A gezeigt ist.
11A ist eine schematische Draufsicht einer Einspur-Bauteilmontageeinrichtung, in der eine Positionsbeziehung zwischen einem Förderer und einer Markierung gezeigt ist.
11B ist eine schematische Draufsicht, die einen Zustand des Förderers zeigt, wenn ein Substrat kleiner Größe in der Bauteilmontageeinrichtung gefördert wird, die in 11A gezeigt ist.

Beschreibung von Ausführungsformen
Nachfolgend werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf begleitende Zeichnungen beschrieben.
[Ausgestaltung einer Bauteilmontageeinrichtung]
Eine Bauteilmontageeinrichtung 1, die in 1 gezeigt ist, wendet ein Zweispursystem an, und umfasst erste und zweite Montageeinheiten UA und UB. Die erste und zweite Montageeinheit UA und UB sind für zwei Spuren L1 und L2 (erste Spur L1, zweite Spur L2), die auf einer Basis 2 ausgeführt sind und jeweils eine rechteckige Struktur aufweisen (siehe 2), von Substratfördervorrichtungen 4A und 4B vorgesehen, die später beschrieben werden. In der folgenden Beschreibung ist eine horizontale Richtung, die parallel zu den Spuren L1 und L2 ist, so eingestellt, dass sie eine X-Richtung ist, eine horizontale Richtung, die orthogonal zu der X-Richtung ist, ist so eingestellt, dass sie eine Y-Richtung ist, und eine vertikale Richtung ist so eingestellt, dass sie eine Z-Richtung ist. Eine Endseite in der Y-Richtung (Unterseite von 1) ist so eingestellt, dass sie eine Vorderseite ist. Wenn sie einfach als vorgelagerte Seite und nachgelagerte Seite bezeichnet werden, wird eine Förderrichtung eines Substrats P als Referenz genommen, das später beschrieben wird. In diesem Beispiel entspricht die X-Richtung einer ersten Richtung der vorliegenden Erfindung, und die Y-Richtung entspricht einer zweiten Richtung der vorliegenden Erfindung.
Wie in 1 gezeigt, umfasst die Bauteilmontageeinrichtung 1 die erste Montageeinheit UA auf einer Vorderseite davon, und die zweite Montageeinheit UB auf einer Hinterseite davon. Die erste und zweite Montageeinheit UA und UB sind nicht nur schematisch symmetrisch in einer Vorn-Hinten-Richtung, sondern weisen auch eine gleiche Grundausgestaltung auf.
Die erste Montageeinheit UA umfasst die erste Substratfördervorrichtung 4A, die die erste Spur L1 als eine Förderstrecke des Substrats P wie eine gedruckte Schaltung, einen ersten Bauteilzuführungsabschnitt 5A, eine erste Kopfeinheit 6A zum Montieren eines Bauteils, einen Kopfeinheitantriebsmechanismus, der die erste Kopfeinheit 6A antreibt, und eine erste Bauteilerkennungskamera 7A bildet.
Die Substratfördervorrichtung 4A umfasst ein Paar von Riemenförderern 10 und 11, die sich jeweils parallel zueinander in der X-Richtung (der ersten Richtung) erstrecken, und einen Fördererantriebsmechanismus, der diese Förderer 10 und 11 mit einem Servomotor als Antriebsquelle synchron antreibt. Die Substratfördervorrichtung 4A empfängt das Substrat P von der rechten Seite in der Figur, um das Substrat P zu einer vorbestimmten Arbeitsposition zu fördern (als eine Position des Substrats P/eine erste Arbeitsposition WpA, die in der Figur gezeigt ist, bezeichnet) und hält das Substrat P mittels einer Substrathaltevorrichtung (nicht gezeigt), die einen Stauchstift oder Ähnliches aufweist. Dann wird nach der Montagearbeit das Substrat P zur linken Seite in der Figur herausgetragen.
Von dem Paar von Förderern 10 und 11 ist der Förderer 10 auf der Vorderseite einen fixierten Förderer, der an der Basis 2 (nachfolgend ordnungsgemäß als der fixierte Förderer 10 bezeichnet) fixiert ist, und der Förderer 11 auf der Hinterseite ist ein beweglicher Förderer, der in der Y-Richtung (der zweiten Richtung) in Bezug auf den fixierten Förderer 10 (nachfolgend ordnungsgemäß als das bewegliche Förderer 11 bezeichnet) beweglich ist. Die Substratfördervorrichtung 4A umfasst überdies eine Schiene, die an der Basis 2 fixiert ist und sich in der Y-Richtung erstreckt, und einen Mechanismus zum Variieren der Förderbreite, der den beweglichen Förderer 11 entlang der Schiene mit einem Servomotor 13 (nachfolgend als ein C-Achsen-Servomotor 13 bezeichnet, siehe 3) als die Antriebsquelle bewegt. Diese Ausgestaltung ermöglicht, dass die Substratfördervorrichtung 4A ein Intervall zwischen den Förderern 10 und 11 gemäß einer Größe des Substrats P ändert.
Die Förderer 10 und 11 weisen jeweils Fördererhauptkörper 10a und 11a auf, die sich in der X-Richtung erstrecken, und ein Paar von Schenkelabschnitten (nicht gezeigt), die sich unterhalb und bei unterschiedlichen Positionen in einer Längsrichtung der Fördererhauptkörper 10a und 11a erstrecken. Die Schenkelabschnitte des fixierten Förderers 10 sind an der Basis 2 fixiert, und die Schenkelabschnitte des beweglichen Förderers 11 sind beweglich auf der Schiene gestützt.
Der Bauteilzuführungsabschnitt 5A ist vorwärts von der Substratfördervorrichtung 4A angebracht. In dem Bauteilzuführungsabschnitt 5a ist eine Vielzahl von Bandvorschubeinrichtungen 12 zum Zuführen von Bauteilen mit einem Band als ein Träger parallel zueinander entlang der Substratfördervorrichtung 4A angebracht. Diese Bandvorschubeinrichtungen 12 umfassen eine Trommel, um die ein Bandgehäuse, das ein kleines Chip-Bauteil wie einen IC, einen Transistor und einen Kondensator hält, gewickelt ist, und die ein Bauteil einer vorbestimmten Entnahmeposition zuführt, während sie in Abständen das Band von der Trommel vorschiebt.
Die erste Kopfeinheit 6A entnimmt ein Bauteil von dem Bauteilzuführungsabschnitt 5A, um das Bauteil auf das Substrat P zu fördern und das Bauteil auf das Substrat P zu laden (zu montieren).
Die erste Kopfeinheit 6A ist von dem Kopfeinheitantriebsmechanismus in der X-Richtung und der Y-Richtung in einer fixierten Region beweglich. Der Kopfeinheitantriebsmechanismus umfasst ein Paar von fixierten Schienen 15, die jeweils an einem Paar von erhöhten Rahmen 14 fixiert sind, die an beiden Enden in der X-Richtung auf der Basis 2 vorgesehen sind und sich parallel zueinander in der Y-Richtung erstrecken, ein Stützelement 16, das von diesen fixierten Schienen 15 gestützt wird, um sich in der X-Richtung zu erstrecken, und einen Schraubenvorschubmechanismus, der das Stützelement 16 veranlasst, sich in der Y-Richtung mit einem Y-Achsen-Servomotor 17 (siehe 3) als Antriebsquelle zu bewegen. Zusätzlich umfasst der Kopfeinheitantriebsmechanismus eine fixierte Schiene, die von dem Stützelement 16 fixiert ist, um die erste Kopfeinheit 6A in der X-Richtung beweglich zu stützen, und einen Schraubenvorschubmechanismus, der die erste Kopfeinheit 6A veranlasst, sich mit einem X-Achsen-Servomotor 18 (siehe 3) als Antriebsquelle zu bewegen. Mit anderen Worten veranlasst der Kopfeinheitantriebsmechanismus die erste Kopfeinheit 6A, sich in der X-Richtung mittels des Antriebs des X-Achsen-Servomotors 18 zu bewegen, und veranlasst das Stützelement 16, sich in der Y-Richtung mittels des Antriebs des Y-Achsen-Servomotors 17 zu bewegen. Folglich bewegt sich die erste Kopfeinheit 6A in der X- und Y-Richtung innerhalb einer fixierten Region.
Die erste Kopfeinheit 6A umfasst eine Vielzahl von ersten Montageköpfen 20A, die jeweils mit einer Düse zum Ansaugen eines Bauteils ausgestattet sind, einen Kopfhubmechanismus, der die ersten Montageköpfe 20A veranlasst, nach oben und unten zu gehen (sich in der Z-Richtung zu bewegen), mit einem Z-Achsen-Servomotor 22 (siehe 3) als Antriebsquelle, und einen Kopfrotationsmechanismus, der die ersten Montageköpfe 20A veranlasst, um eine Mittelachse davon mit einem R-Achsen-Servomotor 24 (siehe 3) als Antriebsquelle zu drehen. Jede Düse der ersten Montageköpfe 20A, die mit einer Unterdruckerzeugungsvorrichtung verbunden ist, saugt ein Bauteil mittels eines Unterdrucks an, der von der Unterdruckerzeugungsvorrichtung zugeführt wird.
Die erste Kopfeinheit 6A ist mit einer ersten Substraterkennungskamera 26A montiert. Die erste Substraterkennungskamera 26A bewegt sich zusammen mit der ersten Kopfeinheit 6A, um eine Bezugsmarkierung abzubilden, die nicht gezeigt ist (eine Markierung zum Erkennen eines Substrats), die an dem Substrat P befestigt ist, sowie Abbildungsmarkierungen M1 bis M5, die später beschrieben werden, die zum Detektieren von Bewegungsfehlern der Kopfeinheiten 6a und 6b dienen. Die erste Substraterkennungskamera 26A umfasst einen Kamerahauptkörper, umfassend einen Flächensensor wie ein CCD und ein optisches System, das unten angebracht ist, und eine Beleuchtungsvorrichtung. Die Bauteilmontageeinrichtung 1 erkennt eine Position des Substrats P basierend auf einer Abbildung einer Bezugsmarkierung, die von der ersten Substraterkennungskamera 26A abgebildet wird, und korrigiert eine Zielposition eines Bauteils, das von der ersten Kopfeinheit 6A (dem ersten Montagekopf 20A) basierend auf Abbildungen der Markierungen M1 bis M5, die ausführlich später beschrieben werden, montiert wird.
Andererseits ist die erste Bauteilerkennungskamera 7A, die ein Bauteil abbildet, das von den ersten Montageköpfen 20A vor der Montage angesaugt wird, auf der Basis 2 fixiert. Die erste Bauteilerkennungskamera 7A umfasst einen Kamerahauptkörper, umfassend einen Spursensor wie ein CCD und ein optisches System, der aufwärts auf der Basis 2 angebracht ist, und eine Beleuchtungsvorrichtung. Die Bauteilmontageeinrichtung 1 erkennt einen Ansaugzustand eines Bauteils mittels des ersten Montagekopfs 20A basierend auf einer Abbildung des Bauteils, die von der ersten Bauteilerkennungskamera 7A aufgenommen wird.
Das vorstehende ist die Ausgestaltung der ersten Montageeinheit UA. Die zweite Montageeinheit UB umfasst die zweite Substratfördervorrichtung 4B, die die zweite Spur L2 bildet, als eine Förderstrecke des Substrats P, einen zweiten Bauteilzuführungsabschnitt 5B, die zweite Kopfeinheit 6B zum Montieren eines Bauteils, einen Kopfeinheitantriebsmechanismus, der die zweite Kopfeinheit 6B antreibt, und eine zweite Bauteilerkennungskamera 7B.
Die zweite Substratfördervorrichtung 4B und Ähnliches der zweiten Montageeinheit UB weisen eine Struktur auf, die schematisch symmetrisch in der Vorn-Hinten-Richtung in Bezug auf die erste Substratfördervorrichtung 4A und Ähnliches der ersten Montageeinheit UA ist.
Insbesondere weist die zweite Substratfördervorrichtung 4B, ähnlich der ersten Substratfördervorrichtung 4A, den fixierten Förderer 10 und den beweglichen Förderer 11 auf, wobei der fixierte Förderer 10 auf der Rückseite positioniert ist und der bewegliche Förderer 11 auf der Vorderseite positioniert ist. Die beweglichen Förderer 11 der Substratfördervorrichtungen 4A und 4B werden jeweils von der obigen gemeinsamen Schiene gestützt, die sich in der Y-Richtung erstreckt, und sind in einer Region beweglich, die von den schrägen Linien in 4A angegeben sind, das heißt, sind innerhalb einer Region zwischen beiden fixierten Förderern 10 als eine bewegliche Region beweglich. Dies ermöglicht, dass die beweglichen Förderer 11 der Substratfördervorrichtungen 4A und 4B von einem Zustand, in dem der bewegliche Förderer 11 der zweiten Substratfördervorrichtung 4B in einer Position angebracht ist, die dem fixierten Förderer 10 am nächsten ist, und der bewegliche Förderer 11 der ersten Substratfördervorrichtung 4A in einer Position angebracht ist, die dem beweglichen Förderer 11 der zweiten Substratfördervorrichtung 4B am nächsten ist, wie beispielsweise in 4B gezeigt, zu einem Zustand beweglich sind, in dem der bewegliche Förderer 11 der ersten Substratfördervorrichtung 4A in einer Position angebracht ist, die dem fixierten Förderer 10 am nächsten ist, und der bewegliche Förderer 11 der zweiten Substratfördervorrichtung 4B in einer Position angebracht ist, die dem beweglichen Förderer 11 der ersten Substratfördervorrichtung 4A am nächsten ist.
Die zweite Kopfeinheit 6B hat mit der ersten Kopfeinheit 6A gemein, dass sie von dem Stützelement 16 gestützt wird. Während die erste Kopfeinheit 6A jedoch auf der Hinterseite des Stützelements 16 angebracht ist, ist die zweite Kopfeinheit 6B auf der Vorderseite des Stützelements 16 angebracht. Auf diese Weise sind die erste Kopfeinheit 6A und die zweite Kopfeinheit 6B vorgesehen, einander in der Vorn-Hinten-Richtung zugewandt zu sein. Eine Ausgestaltung des Kopfeinheitantriebsmechanismus, der die zweite Kopfeinheit 6B antreibt, ist im Wesentlichen einer Ausgestaltung des Kopfeinheitantriebsmechanismus gemein, der die erste Kopfeinheit 6A antreibt. Jedes Stützelement 16 der Kopfeinheiten 6A und 6B wird von den gemeinsamen fixierten Schienen 15 gestützt, wie in 1 gezeigt. Dies ermöglicht, dass sich die erste Kopfeinheit 6A auf dem Substrat P der zweiten Spur L2 bewegt, oder ermöglicht umgekehrt, dass sich die zweite Kopfeinheit 6B auf dem Substrat P der ersten Spur L1 bewegt.
Zusätzlich ist, während die erste Bauteilerkennungskamera 7A zwischen der ersten Substratfördervorrichtung 4A und dem ersten Bauteilzuführungsabschnitt 5A angebracht ist, die zweite Bauteilerkennungskamera 7B zwischen der zweiten Substratfördervorrichtung 4B und dem zweiten Bauteilversorgungsabschnitt 5B angebracht.
Die zweite Kopfeinheit 6B umfasst einen zweiten Montagekopf 20B und eine zweite Substraterkennungskamera 26B, wie in 1 gezeigt. Außerdem wird eine Arbeitsposition (eine Position des Substrats P, das in der Figur gezeigt ist) der Substratfördervorrichtung 4A als eine zweite Arbeitsposition WpB bezeichnet. In diesem Beispiel entspricht die erste Substraterkennungskamera 26A der ersten Kopfeinheit 6A einer ersten Abbildungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung, und die zweite Substraterkennungskamera 26B der zweiten Kopfeinheit 6B entspricht einer zweiten Abbildungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung.
Die erste bis fünfte Markierung M1 bis M5 zum Korrigieren eines Bewegungsfehlers jeder der Kopfeinheiten 6A und 6B, der von der Wärmeverformung des Kopfeinheitantriebsmechanismus verursacht wird, sind auf der Peripherie der ersten Substratfördervorrichtung 4A und der zweiten Substratfördervorrichtung 4B vorgesehen. Mit anderen Worten, wenn die Kopfeinheiten 6A und 6B über einen langen Zeitraum angetrieben werden, verformen sich ein Schraubenschaft des Schraubenvorschubmechanismus und die erhöhten Rahmen 14 thermisch (weiten sich thermisch aus) in einer Längsrichtung, um einen Fehler in einem Bewegungsbetrag der Kopfeinheiten 6A und 6B (d. h. der Montageköpfe 20A und 20B) zu erzeugen. Daher ist die Bauteilmontageeinrichtung 1 mit den rechteckigen Markierungen M1 bis M5 mit Leerstellen vorgesehen, wie beispielsweise in 6 gezeigt, und die Markierungen M1 bis M5 werden von den obigen Substraterkennungskameras 26A und 26B der Kopfeinheiten 6A und 6B abgebildet, um Bewegungsfehler der Kopfeinheiten 6A und 6B basierend auf den Abbildungen zu detektieren.
Eine spezielle Anbringung jeder der Markierungen M1 bis M5 ist wie folgt. Zuerst sind die erste und zweite Markierung M1 und M2 in der Reihenfolge von der vorgelagerten Seite entlang des fixierten Förderers 10 der ersten Substratfördervorrichtung 4A vorgesehen, und die dritte und vierte Markierung M3 und M4 sind in der Reihenfolge von der vorgelagerten Seite entlang des fixierten Förderers 10 der zweiten Substratfördervorrichtung 4B vorgesehen. Wie in 1 und 2 gezeigt, sind die erste und zweite Markierung M1 und M2 auf einer oberen Endoberfläche einer Stütze 30 vorgesehen, die auf der Basis 2 entlang einer Vorderfläche des fixierten Förderers 10 fixiert ist, und die dritte und vierte Markierung M3 und M4 sind auf der oberen Endoberfläche der Stütze 30 vorgesehen, die auf der Basis 2 entlang einer Hinterfläche des fixierten Förderers 10 fixiert ist. Die erste und dritte Markierung M1 und M3 sind in der Y-Richtung an Positionen vorgelagert der Arbeitsposition Wp ausgerichtet, und die zweite und vierte Markierung M2 und M4 sind in der Y-Richtung an einer Position nachgelagert der Arbeitsposition Wp ausgerichtet.
Die erste bis vierte Markierung M1 bis M4 bestehen beispielsweise aus gravierten Platten, Etiketten oder Ähnlichem, die an der Stütze 30 fixiert sind, und sind dann an Positionen der Höhen vorgesehen, die identisch zueinander sind. Insbesondere sind die Markierungen an den Höhen vorgesehen, die identisch mit denen des Substrats P sind, das an der Arbeitsposition Wp von der Substrathaltevorrichtung gehalten wird, das heißt, die Markierungen sind so vorgesehen, dass sie innerhalb einer Referenzebene IP positioniert sind, die eine virtuelle horizontale Ebene, umfassend eine obere Oberfläche des Substrats P, ist, wie in 2 gezeigt. Diese erste bis vierte Markierung M1 bis M4 sind außerhalb der fixierten Förderer 10 der Spuren L1 und L2 positioniert (d. h. außerhalb der beweglichen Region des beweglichen Förderers 11).
Die fünfte Markierung M5 ist an einer Mittelposition zwischen der ersten Markierung M1 und der dritten Markierung M3 in der Y-Richtung vorgesehen. Die fünfte Markierung M5 ist von einer unwesentlich projizierten Abbildung gebildet, die auf der Referenzebene IP gebildet ist. Genau gesagt ist eine Projektionsvorrichtung 32 an einer Position der fünften Markierung M5 auf der Basis 2 vorgesehen. Die Projektionsvorrichtung 32 umfasst einen Harzfilm 34, auf den eine Abbildung der fünften Markierung gezeichnet ist, einen Beleuchtungsabschnitt 34a und ein optisches System 34b, wobei der Beleuchtungsabschnitt 34a ausgestaltet ist, Beleuchtungslicht auf einen Film 33 von dessen Rückseite (von der Unterseite) auszustrahlen, und wobei das optische System 34b ausgestaltet ist, eine projizierte Abbildung (fokussierte Abbildung) auf der obigen Referenzebene IP zu bilden. Mit anderen Worten weisen die Substraterkennungskameras 26A und 26B der Kopfeinheiten 6A und 6B eine Brennweite auf, die eingestellt ist, um in der Lage zu sein, eine Bezugsmarkierung auf dem Substrat P abzubilden, das an der Arbeitsposition Wp angebracht ist, und wie in 2 gezeigt, sind die Substraterkennungskameras 26A und 26B über der Projektionsvorrichtung 32 angebracht, sodass sie in der Lage sind, die projizierte Abbildung der Figur der fünften Markierung (d. h. der fünften Markierung M5) aufzunehmen, die von der Projektionsvorrichtung 32 gebildet wird.
Die Projektionsvorrichtung 32 ist an einer Position angebracht, die niedriger ist als der Fördererhauptkörper 11a des beweglichen Förderers 11, und die außerhalb, in der X-Richtung, einer Bewegungsstrecke (einer Position der Schiene) des Schenkelabschnitts des beweglichen Förderers 11, angebracht ist. Somit absorbiert die Projektionsvorrichtung 32 eine Höhendifferenz von der Referenzebene IP, um den Substraterkennungskameras 26A und 26B zu ermöglichen, eine fokussierte Abbildung der fünften Markierung M5 auf der Referenzebene IP aufzunehmen. Auf diese Weise ist die Bauteilmontageeinrichtung 1 ausgestaltet, im Wesentlichen die fünfte Markierung M5 aufzuweisen, die in der beweglichen Region des beweglichen Förderers 11 vorgesehen ist, während sie eine Störung mit dem beweglichen Förderer 11 vermeidet. In diesem Beispiel entspricht die fünfte Markierung M5 einer Markierung innerhalb der beweglichen Region der vorliegenden Erfindung, und die erste Markierung M1 und die dritte Markierung M3 entsprechen einem Paar von Markierungen außerhalb der beweglichen Region der vorliegenden Erfindung.
Als Nächstes werden Steuer- bzw. Regelsysteme der Bauteilmontageeinrichtung 1 beschrieben, die die erste und die zweite Montageeinheit UA und UB steuern bzw. regeln. Die Bauteilmontageeinrichtung 1 weist eine Steuer- bzw. Regeleinheit 40 auf, die im Allgemeinen den Betrieb der ersten und der zweiten Montageeinheit UA und UB steuert bzw. regelt.
Wie in 3 gezeigt, umfasst die Steuer- bzw. Regeleinheit 40 einen Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42, der im Allgemeinen den Betrieb der Bauteilmontageeinrichtung 1 steuert bzw. regelt, einen Speicherabschnitt 44, der ein Programm und verschiedene Daten speichert, einen Motorsteuerabschnitt bzw. Motorregelabschnitt 46, der den Antrieb der Servomotoren 13, 17, 18, 22 und 24 auf den X-, Y-, Z-, R- und C-Achsen steuert bzw. regelt, einen Abbildungsverarbeitungsabschnitt 48, der Daten einer Abbildung verarbeitet, die von den Substraterkennungskameras 26A und 26B aufgenommen wurden, und die Bauteilerkennungskameras 7A und 7B zur vorbestimmten Verarbeitung, und einen externen Eingabe-/Ausgabeabschnitt 50. Der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42, der ein Computer ist, der aus einer CPU und einem Speicher besteht, ist mit dem Speicherabschnitt 44, dem Motorsteuerabschnitt bzw. Motorregelabschnitt 46, dem Abbildungsverarbeitungsabschnitt 48, und dem externen Eingabe-/Ausgabeabschnitt 50 über einen Bus 41 verbunden.
Der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 führt ein Montageprogramm aus, das notwendig zum Montieren eines Bauteils auf dem Substrat P ist, sowie zum Ausführen verschiedener arithmetischer Verarbeitung für die Montage. Insbesondere führt der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 während des Bauteilmontagebetriebs den Betrieb des Auswählens einer Markierung aus, die von den ersten bis fünften Markierungen M1 bis M5 gemäß einem Montagemodus oder einer Position des beweglichen Förderers 11 jeder der Spuren L1 und L2 abzubilden ist, wobei er die ausgewählte Markierung mittels der Substraterkennungskameras 26A und 26B bei vorbestimmter Zeitgebung abbildet, einen Bewegungsfehler jeder der Kopfeinheiten 6A und 6B (d. h. des ersten und des zweiten Montagekopfs 20A und 20B) basierend auf den Abbildungsdaten berechnet, und überdies einen Korrekturwert davon berechnet (arithmetische Verarbeitung des Korrekturwerts). Mit anderen Worten entspricht in diesem Beispiel der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 einer Steuer- bzw. Regelvorrichtung und einer Berechnungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung.
Der Speicherabschnitt 44 speichert ein Montageprogramm, das von dem Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 auszuführen ist, und verschiedene Daten, die notwendig zum Ausführen eines Montageprogramms sind. Insbesondere wird, wenn der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 den obigen Korrekturwert zum Korrigieren eines Bewegungsfehlers jeder der Kopfeinheiten 6A und 6B berechnet, der Korrekturwert aktualisiert und gespeichert.
Der Motorsteuerabschnitt bzw. Motorregelabschnitt 46 steuert bzw. regelt die Motoren 13, 17, 18, 22 und 24 basierend auf einem Signal von einem Codierer, der in jedem der Motoren 13, 17, 18, 22 und 24 enthalten ist, und Informationen, die von dem Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 angewandt werden.
Der Abbildungsverarbeitungsabschnitt 48 ist mit der ersten Bauteilerkennungskamera 7A, der zweiten Bauteilerkennungskamera 7B und der ersten Substraterkennungskamera 26A und der zweiten Substraterkennungskamera 26B verbunden und nimmt ein Signal auf, das indikativ für eine Abbildung von diesen Kameras 7A, 7B und 26A, 26B ist, unterzieht das Signal vorbestimmter Abbildungsverarbeitung und sendet die Abbildungsdaten an den Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42.
An den externen Eingabe-/Ausgabeabschnitt 50 sind verschiedene Sensoren als Eingabeelemente angeschlossen, die in den Montageeinheiten UA und UB vorgesehen sind, und die Projektionsvorrichtung 32 und Ähnliches sind als Ausgabeelemente angeschlossen.
In diesem Beispiel entsprechen die erste, dritte und fünfte Markierung M1, M3 und M5 den Substraterkennungskameras 26A und 26B der ersten und der zweiten Montageeinheit UA und UB, und der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 entspricht einer Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs der vorliegenden Erfindung.
[Betrieb der Bauteilmontageeinrichtung]
Montagemodi, die von der Bauteilmontageeinrichtung 1 ausgeführt werden, werden grob in einen parallelen Montagemodus (parallelen Montagebetrieb) eingeteilt, in dem die erste Montageeinheit UA und die zweite Montageeinheit UB individuell Bauteile auf die Substrate P der Spuren L1 und L2 davon montieren, und in einen Eintrittsmontagemodus eingeteilt, in dem die erste Montageeinheit UA und die zweite Montageeinheit UB ein Bauteil auf einem Substrat P in Zusammenwirken miteinander montieren. Dann ist der Eintrittsmontagemodus weiter in einen Einspur-Eintrittsmontagemodus (einseitiger Eintrittsmontagebetrieb) eingeteilt, in dem nur eine der zwei Spuren L1 und L2 verwendet wird, und in einen Beidspur- Eintrittsmodus (bidirektionaler Eintrittsmontagebetrieb) eingeteilt, in dem die zwei Spuren L1 und L2 verwendet werden. Die Inhalte jedes Montagemodus sind wie folgt.
Paralleler Montagemodus
Der parallele Montagemodus ist ein Modus, in dem nur die erste Kopfeinheit 6A ein Bauteil auf dem Substrat P montiert, das an der ersten Arbeitsposition WpA der ersten Spur L1 angebracht ist, und nur die zweite Kopfeinheit 6B montiert ein Bauteil auf dem Substrat P, das an der zweiten Arbeitsposition WpB der zweiten Spur L2 angebracht ist, wie in 1 gezeigt. Mit anderen Worten saugt, während die erste Kopfeinheit 6A ein Bauteil von der Bandvorschubeinrichtung 12 des ersten Bauteilzuführungsabschnitts 5A ansaugt, um das Bauteil auf dem Substrat P der ersten Spur L1 zu montieren, die zweite Kopfeinheit 6B ein Bauteil von der Bandvorschubeinrichtung 12 des zweiten Bauteilzuführungsabschnitts 5B an, um das Bauteil auf dem Substrat P der zweiten Spur L2 zu montieren. Nach dem Bauteilansaugen verläuft in diesem Fall die erste Kopfeinheit 6A über der ersten Bauteilerkennungskamera 7A, und die zweite Kopfeinheit 6B verläuft über der zweiten Bauteilerkennungskamera 7B, was zum Abbilden des angesagten Bauteils führt, um einen Zustand des Bauteils zu erkennen, das von den Montageköpfen 20A und 20B angesaugt wird. Dann wird eine Zielladeposition des Bauteils basierend auf dem Zustand des Bauteils, das von den Montageköpfen 20A und 20B angesaugt wird, und dem Korrekturwert zum Korrigieren von Bewegungsfehler der Kopfeinheiten 6A und 6B korrigiert, wodurch die Kopfeinheiten 6A und 6B basierend auf der Zielladeposition gesteuert bzw. geregelt werden.
Einspur-Eintrittsmontagemodus
Der Einspur-Eintrittsmontagemodus ist ein Modus, in dem, während das Substrat P nur von einer der Spuren L1 und L2 gefördert wird (siehe Figur 7A und 7B), sowohl die erste als auch die zweite Kopfeinheit 6A und 6B ein Bauteil auf dem Substrat P montieren, das an einer Arbeitsposition der Spur angebracht ist. Der Betrieb, wie das Erkennen eines Zustands eines Bauteils, das von den Bauteilerkennungseinheiten 7A und 7B angesaugt wird, ist ähnlich dem des Parallelmontagemodus.
Beidspur-Eintrittsmontagemodus
Der Beidspur-Eintrittsmontagemodus ist ein Modus, in dem, während das Substrat P sequenziell an den Arbeitspositionen WpA und WpB einer beliebigen der ersten und zweiten Spuren L1 und L2 in einer vorbestimmten Reihenfolge oder willkürlich angebracht ist, sowohl die erste als auch die zweite Kopfeinheit 6A und 6B ein Bauteil auf dem Substrat P montieren. Der Betrieb wie das Erkennen eines Zustands eines Bauteils, das von den Bauteilerkennungseinheiten 7A und 7B angesaugt wird, ist ähnlich dem im Parallelmontagemodus.
[Steuerung bzw. Regelung der arithmetischen Korrekturwertverarbeitung]
4 ist ein Flussdiagramm, das ein Beispiel der obigen arithmetischen Korrekturwertverarbeitungssteuerung bzw. -regelung von dem Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 zeigt. Die arithmetische Korrekturwertverarbeitung ist eine Verarbeitung zum Erhalten eines Korrekturwerts zum Korrigieren eines Bewegungsfehlers jeder der Kopfeinheiten 6A und 6B (d. h. der Montageköpfe 20A und 20B), der durch Wärmeverformung des Kopfeinheitantriebsmechanismus verursacht wird, wie zuvor beschrieben.
Beim Start des Flussdiagramms bestimmt der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 zuerst, ob ein Montagemodus der Bauteilmontageeinrichtung 1 geändert worden ist oder nicht (Schritt S1). Wenn JA bestimmt wird, bestimmt der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42, ob die fünfte Markierung M5 von dem beweglichen Förderer 11 verdeckt ist oder nicht (Schritt S3). Insbesondere erhält der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 eine Position des beweglichen Förderers 11 jeder der Substratfördervorrichtungen 4A und 4B basierend auf einem Signal von dem Codierer, der in dem C-Achsen-Servomotor 13 des Mechanismus zum Variieren der Förderbreite enthalten ist, und bestimmt, ob die Position des beweglichen Förderers 11 innerhalb eines vorbestimmten Bereichs einer Position der fünften Markierung M5 ist oder nicht.
Wenn NEIN bestimmt wird, bestimmt der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42, ob der Montagemodus der Parallelmontagemodus ist oder nicht (Schritt S5), und wenn JA bestimmt wird, führt der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 den Betrieb des Abbildens der Markierungen in Mindestkorrekturflächen der Spuren L1 und L2 aus, die den Kopfeinheiten 6A und 6B jeweils von den Substraterkennungskameras 26A und 26B zugewiesen sind (Schritt S7), berechnet einen Korrekturwert eines Bewegungsfehlers jeder der Kopfeinheiten 6A und 6B in Bezug auf jede der Flächen, die den Kopfeinheiten 6A und 6B basierend auf einer Abbildung der Markierung zugewiesen sind, und aktualisiert und speichert den Korrekturwert (Schritt S9).
Der obige Korrekturwert wird für jede der Kopfeinheiten 6A und 6B basierend auf Abbildungen von drei Markierungen von den Markierungen M1 bis M5 erhalten, wobei die drei Markierungen in rechten Winkeln ausgerichtet sind, wenn sie durch eine gerade Linie verbunden sind und von den Substraterkennungskameras 26A und 26 B abgebildet werden. Ein spezielles Verfahren zum Berechnen eines solchen Korrekturwerts ist eine herkömmlich bekannte Technik (z. B. japanische Patentschrift Nr. 3253218 , die im Stand der Technik aufgeführt ist etc.), und daher erfolgt hier keine ausführliche Beschreibung davon.
Hinsichtlich der Auswahl einer abzubildenden Markierung muss, wenn eine Markierung an einer Position entfernt von der Position des Substrats P ausgewählt wird, ein exakter Bewegungsfehler an der Position (verantwortliche Fläche) des Substrats P nicht in einem Korrekturwert reflektiert werden, und wenn eine Markierung an einer Position, die nicht in die gesamte Region des Substrats P fällt, ausgewählt wird, wird ein Bewegungsfehler unzureichend korrigiert, sodass in jedem der Fälle die Zuverlässigkeit eines Korrekturwerts vermindert ist. Somit wählt der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 eine Markierung in einer Mindestkorrekturfläche jeder der Spuren L1 und L2 aus, die jeweils den Kopfeinheiten 6A und 6B zugewiesen sind, sodass ein solches Problem so weit wie möglich vermieden wird.
Eine Mindestkorrekturflächenmarkierung stellt eine Markierung an einer Position dar, an der eine Fläche (Korrekturfläche), in der eine zu korrigierende Zielladeposition minimal wird. Genau gesagt ist die Mindestkorrekturflächenmarkierung eine Markierung, die dem Substrat P am nächsten ist (nachfolgend als eine nächste Markierung bezeichnet), die in der X-Richtung eine nächste Markierung ist, die sich an einer Außenseite des Substrats P in der X-Richtung befindet, und die in der Y-Richtung eine nächste Markierung ist, die sich an einer Außenseite des Substrats P in der Y-Richtung befindet. Da in diesem Beispiel in der X-Richtung ausgerichtete Markierungen nur die erste und die zweite Markierung M1 und M2 und die dritte und vierte Markierung M3 und M4 sind, sind zu jeder Zeit die Mindestkorrekturflächenmarkierungen in der X-Richtung die erste und zweite Markierung M1 und M2 oder die dritte und vierte Markierung M3 und M4, wie zuvor beschrieben.
Unter der Annahme, dass 1 den Parallelmontagemodus zeigt, ist beispielsweise eine verantwortliche Fläche der ersten Kopfeinheit 6A das Substrat P, das an der ersten Arbeitsposition WpA der ersten Spur L1 angebracht ist. Entsprechend sind Mindestkorrekturflächenmarkierungen für die erste Kopfeinheit 6A die erste und zweite Markierung M1 und M2 der X-Richtung und sind die erste und fünfte Markierung M1 und M5 in der Y-Richtung. Andererseits ist eine verantwortliche Fläche der zweiten Kopfeinheit 6B das Substrat P, das an der zweiten Arbeitsposition WpB der zweiten Spur L2 angebracht ist. Entsprechend sind Mindestkorrekturflächenmarkierungen für die zweite Kopfeinheit 6B die dritte und vierte Markierung M3 und M4 in der X-Richtung und sind die dritte und fünfte Markierung M3 und M5 in der Y-Richtung.
Entsprechend bildet in Schritt S7 der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 sequenziell die erste, zweite und fünfte Markierung M1, M2 und M5 mittels der ersten Substraterkennungskamera 26A der ersten Kopfeinheit 6A ab, indem er die Kopfeinheiten 6A und 6B (entsprechend einem ersten Abbildungsbetrieb in der vorliegenden Erfindung) steuert bzw. regelt, sowie bildet sequenziell die dritte, vierte, und fünfte Markierung M3, M4 und M5 mittels der zweiten Substraterkennungskamera 26B der zweiten Kopfeinheit 6B (entsprechend einem zweiten Abbildungsbetrieb in der vorliegenden Erfindung) ab.
Dann berechnet in Schritt S8 der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 Bewegungsfehler in der X- und Y-Richtung der ersten Kopfeinheit 6A basierend auf Positionen von Abbildungen der ersten, zweiten und fünften Markierungen M1, M2 und M5 und berechnet Korrekturwerte für die Bewegungsfehler, während er Bewegungsfehler in der X- und Y-Richtung der zweiten Kopfeinheit 6B basierend auf Positionen von Abbildungen der dritten, vierten, und fünften Markierung M3, M4 und M5 berechnet und Korrekturwerte für die Bewegungsfehler berechnet. Dann aktualisiert und speichert der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 die Korrekturwerte für die Kopfeinheiten 6A bzw. 6B in dem Speicherabschnitt 44.
Mit erneutem Bezug auf 4 bestimmt, wenn in Schritt S5 NEIN bestimmt wird, das heißt, wenn bestimmt wird, dass der Montagemodus nicht der Parallelmontagemodus ist, der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 überdies, ob der Montagemodus der Einspur-Eintrittsmodus ist oder nicht (Schritt S15). Wenn JA bestimmt wird, verschiebt der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 die Verarbeitung zu Schritt S7, wobei auf ähnliche Weise zu einem Fall des Parallelmontagemodus Mindestkorrekturflächenmarkierungen der Spuren L1 und L2, die den Kopfeinheiten 6A und 6B zugewiesen sind, ausgewählt werden, und die Markierungen von den Substraterkennungskameras 26A und 26B abgebildet werden. Dann werden in Schritt S8 Korrekturwerte für Bewegungsfehler der Kopfeinheiten 6A und 6B basierend auf den Markierungsabbildungen berechnet, um die Korrekturwerte in dem Speicherabschnitt 44 zu aktualisieren und zu speichern.
Figur 7A und 7B zeigen jeweils ein Beispiel einer Ausgestaltung des Einspur-Montagemodus. 7A zeigt einen Fall, in dem die Herstellung eines Substrats P nur in der ersten Spur L1 in der Spurausgestaltung ausgeführt wird, die ähnlich der in der Parallelmontage ist, die in 1 gezeigt ist, und 7B zeigt einen Fall, in dem die Herstellung eines groß dimensionierten Substrats P in der ersten Spur L1 ausgeführt wird, wobei die erste Spur L1 bei einem maximalen Intervall eingestellt wird.
In diesen Fällen sind verantwortliche Flächen der Kopfeinheiten 6A und 6B beide Substrate P in der ersten Spur L1. In einem Fall des Beispiels, das in 7A gezeigt ist, sind, da die fünfte Markierung M5 an der Außenseite der ersten Spur L1 in der Y-Richtung positioniert ist, Mindestkorrekturflächenmarkierungen für beide Kopfeinheiten 6A und 6B die erste und zweite Markierung M1 und M2 und die fünfte Markierung M5. Andererseits sind in einem Fall des Beispiels, das in 7B gezeigt ist, da die fünfte Markierung M5 an der Innenseite der ersten Spur L1 in der Y-Richtung positioniert ist, Mindestkorrekturflächenmarkierungen für beide Kopfeinheiten 6A und 6A die erste und zweite Markierung M1 und M2 und die dritte Markierung M3.
Entsprechend bildet, in einem Fall des Beispiels, das in 7A gezeigt ist, in Schritt S7 der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 sequenziell die erste, zweite und fünfte Markierung M1, M2 und M5 mittels der ersten Substraterkennungskamera 26A der ersten Kopfeinheit 6A ab, indem er die Kopfeinheiten 6A und 6B (entsprechend dem ersten Abbildungsbetrieb in der vorliegenden Erfindung) steuert bzw. regelt, sowie sequenziell die erste, zweite und fünfte Markierung M1, M2 und M5 mittels der zweiten Substraterkennungskamera 26B der zweiten Kopfeinheit 6B (entsprechend einem vierten Abbildungsbetrieb in der vorliegenden Erfindung) ab. Dann berechnet in Schritt S8 der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 Bewegungsfehler in der X- und Y-Richtung der Kopfeinheiten 6A und 6B basierend auf Positionen von Abbildungen der ersten, zweiten und fünften Markierung M1, M2 und M5, und berechnet Korrekturwerte für die Bewegungsfehler. Dann aktualisiert und speichert der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 die Korrekturwerte für die Kopfeinheiten 6A bzw. 6B in dem Speicherabschnitt 44.
Andererseits bildet in einem Fall des Beispiels, das in 7B gezeigt ist, in Schritt S7 der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 sequenziell die erste, zweite und dritte Markierung M1, M2 und M3 mittels der ersten Substraterkennungskamera 26A der ersten Kopfeinheit 6A ab, indem er die Kopfeinheiten 6A und 6B (entsprechend dem ersten Abbildungsbetrieb in der vorliegenden Erfindung) steuert bzw. regelt, sowie sequenziell die erste, zweite und dritte Markierung M1, M2 und M3 mittels der zweiten Substraterkennungskamera 26B der zweiten Kopfeinheit 6B (entsprechend des vierten Abbildungsbetriebs in der vorliegenden Erfindung) ab. Dann berechnet in Schritt S8 der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 Bewegungsfehler in der X- und Y-Richtung der ersten Kopfeinheit 6A basierend auf Positionen von Abbildungen der ersten, zweiten und dritten Markierung M1, M2 und M3, die von der ersten Substraterkennungskamera 26A aufgenommen werden, und berechnet Bewegungsfehler in der X- und Y-Richtung der zweiten Kopfeinheit 6B basierend auf Positionen von Abbildungen der ersten, zweiten und dritten Markierung M1, M2 und M3, die von der zweiten Substraterkennungskamera 26B aufgenommen werden. Dann aktualisiert und speichert der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 die Korrekturwerte für die Kopfeinheiten 6A bzw. 6B in dem Speicherabschnitt 44.
Obgleich es nicht gezeigt ist, ist, wenn die Herstellung des Substrats P nur in der zweiten Spur L2 durchgeführt wird, die verantwortliche Fläche für beide Kopfeinheiten 6A und 6B das Substrat P in der zweiten Spur L2. In diesem Fall wird eine Markierung, die am nächsten an dem Substrat P, das an der zweiten Arbeitsposition WpB angebracht ist, von der zweiten Substraterkennungskamera 26B (entsprechend dem zweiten Abbildungsbetrieb der vorliegenden Erfindung) abgebildet, während die nächste Markierung von der ersten Substraterkennungskamera 26A (entsprechend dem dritten Montagebetrieb der vorliegenden Erfindung) abgebildet wird. Dann berechnet der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 Bewegungsfehler in der X- und Y-Richtung der zweiten Kopfeinheit 6B basierend auf der Abbildung der Markierung, die von der zweiten Substraterkennungskamera 26B aufgenommen wurde, und berechnet Bewegungsfehler in der X- und Y-Richtung der ersten Kopfeinheit 6A basierend auf der Abbildung der Markierung, die von der ersten Substraterkennungskamera 26A aufgenommen wurde. Dann aktualisiert und speichert der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 die Korrekturwerte für die Kopfeinheiten 6A bzw. 6B in dem Speicherabschnitt 44.
Mit erneutem Bezug auf Figur 4 fährt, wenn in Schritt S15 NEIN bestimmt wurde, das heißt, wenn bestimmt wurde, dass der Montagemodus der Beidspur-Eintrittsmontagemodus ist, der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 mit der Verarbeitung in Schritt S17 fort. Der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 führt, zusätzlich zu Mindestkorrekturflächenmarkierungen der Spuren L1 und L2, die den Kopfeinheiten 6A und 6B zugewiesen sind, einen Betrieb des Abbildens einer Mindestkorrekturflächenmarkierung in der Spur des Partners aus, das heißt, eine Mindestkorrekturflächenmarkierung, wenn jeder der Kopfeinheiten 6A und 6B auf die Spur des Partners gelangt, mittels der Substraterkennungskameras 26A und 26B aus. Basierend auf den Markierungsabbildungen berechnet dann der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 einen Korrekturwert für einen Bewegungsfehler der ersten Kopfeinheit 6A in Bezug auf jede Fläche, die der ersten Kopfeinheit 6A zugewiesen ist, während er einen Korrekturwert für einen Bewegungsfehler der zweiten Kopfeinheit 6B in Bezug auf jede Fläche berechnet, die der zweiten Kopfeinheit 6B zugewiesen ist, und diese Korrekturwerte in dem Speicherabschnitt 44 aktualisiert und speichert (Schritt S19).
Unter der Annahme, dass 1 den Beidspur-Eintrittsmontagemodus zeigt, sind, da verantwortliche Flächen der ersten Kopfeinheit 6A die Substrate P sind, die an den Arbeitspositionen WpA und WpB in beiden Spuren L1 und L2 angebracht sind, Mindestkorrekturflächenmarkierungen für die erste Kopfeinheit 6A eine Markierungsgruppe, umfassend die erste, zweite, fünfte Markierung M1, M2 und M5 als einen Satz, und eine Markierungsgruppe, umfassend die dritte, vierte und fünfte Markierung M3, M4 und M5 als einen Satz. Andererseits sind, da verantwortliche Flächen der zweiten Kopfeinheit 6B auch die Substrate P sind, die an den Arbeitspositionen WpA und WpB in beiden Spuren L1 und L2 angebracht sind, Mindestkorrekturflächenmarkierungen für die zweite Kopfeinheit 6B gleich wie die obigen zwei Markierungsgruppen.
Entsprechend bildet in Schritt S17 der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 sequenziell all die Markierungen M1 bis M5 mittels der ersten Substraterkennungskamera 26A der ersten Kopfeinheit 6A ab (entsprechend dem ersten und dritten Abbildungsbetrieb in der vorliegenden Erfindung), und bildet sequenziell all die Markierungen M1 bis M5 mittels der zweiten Substraterkennungskamera 26B der zweiten Kopfeinheit 6B ab (entsprechend dem zweiten und vierten Abbildungsbetrieb in der vorliegenden Erfindung).
Dann berechnet in Schritt S19 der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 Bewegungsfehler in der X- und Y-Richtung der ersten Kopfeinheit 6A in der ersten Spur L1 basierend auf Abbildungen der ersten, zweiten und fünften Markierung M1, M2 und M5, und berechnet Korrekturwerte für die Bewegungsfehler (als ein erster Korrekturwert für die erste Einheit bezeichnet), und berechnet Bewegungsfehler in der X- und Y-Richtung der ersten Kopfeinheit 6A in der zweiten Spur L2 basierend auf Abbildungen der dritten, vierten und fünften Markierung M3, M4 und M5, und berechnet Korrekturwerte für die Bewegungsfehler (als ein zweiter Korrekturwert für die erste Einheit bezeichnet). Außerdem berechnet der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 Bewegungsfehler in der X- und Y-Richtung der zweiten Kopfeinheit 6B in der ersten Spur L1 basierend auf den Abbildungen der ersten, zweiten und fünften Markierung M1, M2 und M5 und berechnet Korrekturwerte für die Bewegungsfehler (als ein erster Korrekturwert für die zweite Einheit bezeichnet), und berechnet Bewegungsfehler in der X- und Y-Richtung der zweiten Kopfeinheit 6B in der zweiten Spur L2 basierend auf den Abbildungen der dritten, vierten und fünften Markierung M3, M4 und M5, und berechnet Korrekturwerte für die Bewegungsfehler (als ein zweiter Korrekturwert für die zweite Einheit bezeichnet). Dann werden die Korrekturwerte für die Kopfeinheiten 6A und 6B in dem Speicherabschnitt 44 aktualisiert und gespeichert.
Mit erneutem Bezug auf Figur 4 führt, wenn in Schritt S3 JA bestimmt wird, das heißt, wenn bestimmt wird, dass die fünfte Markierung M5 verdeckt ist, der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 den Betrieb des Abbildens der Maximalkorrekturflächenmarkierungen mittels der Substraterkennungskameras 26A und 26B ungeachtet des Montagemodus aus (Schritt S21), und berechnet überdies einen Korrekturwert für einen Bewegungsfehler jeder der Kopfeinheiten 6A und 6B basierend auf einer Abbildung der Markierung und aktualisiert und speichert den Korrekturwert in dem Speicherabschnitt 44.
Die Maximalkorrekturflächenmarkierungen sind Markierungen, die an beiden Enden in der X-Richtung jeder der Kopfeinheiten 6A und 6B ungeachtet einer verantwortlichen Fläche positioniert sind, und sind Markierungen, die an beiden Enden in der Y-Richtung positioniert sind. Beispielsweise sind, wie in 8 gezeigt, wenn die fünfte Markierung M5 von dem beweglichen Förderer 11 der ersten Spur L1 verdeckt ist, die Maximalkorrekturflächenmarkierungen für die erste Kopfeinheit 6A die erste, zweite und dritte Markierung M1, M2 und M3. Andererseits sind die Maximalkorrekturflächenmarkierungen für die zweite Kopfeinheit 6B die erste, dritte und vierte Markierung M1, M3 und M4.
Entsprechend bildet in Schritt S21 der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 sequenziell die erste, zweite und dritte Markierung M1, M2 und M3 mittels der ersten Substraterkennungskamera 26A der ersten Kopfeinheit 6A ab, indem er die Kopfeinheiten 6A und 6B steuert bzw. regelt, und bildet außerdem sequenziell die erste, dritte und vierte Markierung M1, M3 und M4 mittels der zweiten Substraterkennungskamera 26B der zweiten Kopfeinheit 6B ab.
Dann berechnet in Schritt S23 der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 Bewegungsfehler in der X- und Y-Richtung der ersten Kopfeinheit 6A basierend auf Abbildungen der ersten, zweiten und dritten Markierung M1, M2 und M3 und berechnet Korrekturwerte für die Bewegungsfehler, und berechnet außerdem ähnlich Bewegungsfehler in der X- und Y-Richtung der zweiten Kopfeinheit 6B basierend auf Abbildungen der ersten, dritten und vierten Markierung M1, M3 und M4, und berechnet Korrekturwerte für die Bewegungsfehler. Dann aktualisiert und speichert der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 die Korrekturwerte für die Kopfeinheiten 6A bzw. 6B in dem Speicherabschnitt 44.
Mit erneutem Bezug auf Figur 4 fährt, wenn eine beliebige der Verarbeitungen in Schritten S9, S19 und S23 abgeschlossen ist, der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 mit der Verarbeitung in Schritt S11 fort. In Schritt S11 wartet der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 auf das Substrat P, das an den Arbeitspositionen WpA und WpB anzubringen ist, und wenn das Substrat P an den Arbeitspositionen WpA und WpB angebracht ist, steuert bzw. regelt er die Kopfeinheiten 6A und 6B, um ein Bauteil auf dem Substrat P zu montieren. Bei dieser Gelegenheit liest der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 basierend auf einem derzeitigen Montagemodus Daten des Korrekturwerts entsprechend dem derzeit in dem Speicherabschnitt 44 gespeicherten Montagemodus, korrigiert eine Zielladeposition des Bauteils basierend auf dem Korrekturwert, und montiert das Bauteil auf dem Substrat P basierend auf der korrigierten Zielladeposition.
In diesem Fall wird, insbesondere, wenn der Montagemodus der Beidspur-Eintrittsmontagemodus ist, eine Zielladeposition des Bauteils auf die folgende Weise korrigiert. Zuerst wird, wenn das Substrat P an der ersten Arbeitsposition WpA der ersten Spur L1 in Bezug auf eine Ladeposition des Substrats P, das der ersten Kopfeinheit 6A zugewiesen ist, angebracht wird, eine Zielladeposition basierend auf dem ersten Korrekturwert für die erste Einheit korrigiert, und in Bezug auf eine Ladeposition, die der zweiten Kopfeinheit 6B zugewiesen ist, wird eine Zielladeposition basierend auf dem ersten Korrekturwert für die zweite Einheit korrigiert. Dann wird, wenn das Substrat P an der zweiten Arbeitsposition WpB der zweiten Spur L2 in Bezug auf eine Ladeposition des Substrats P, das der ersten Kopfeinheit 6A zugewiesen ist, angebracht wird, eine Zielladeposition basierend auf dem zweiten Korrekturwert für die erste Einheit korrigiert, und in Bezug auf eine Ladeposition, die der zweiten Kopfeinheit 6B zugewiesen ist, wird eine Zielladeposition basierend auf dem zweiten Korrekturwert für die zweite Einheit korrigiert.
Wenn die Verarbeitung in Schritt S11 fertiggestellt ist, bestimmt der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42, ob die Herstellung des Substrats P in dem derzeitigen Montagemodus fertiggestellt ist oder nicht, und in dem Fall, in dem NEIN bestimmt wird, kehrt die Verarbeitung zurück zu Schritt S1, um die Herstellung des Substrats P fortzusetzen, und wenn in Schritt S13 schließlich JA bestimmt wird, stellt der Hauptsteuer- bzw. Hauptregelabschnitt 42 das Flussdiagramm fertig.
[Funktionen, Wirkungen etc. der Bauteilmontageeinrichtung]
Gemäß der obigen Bauteilmontageeinrichtung 1 wird von den fünf Markierungen M1 bis M5 eine geeignete Markierung gemäß einer Größe und einer Position (einer Position jedes beweglichen Förderers 11) des Substrats P und einem Montagemodus ausgewählt, und der Korrekturwert jeder der Kopfeinheiten 6A und 6B wird auf Basis der Markierungen erhalten. Daher wird insbesondere in einem solchen Fall, da im Wesentlichen die Mindestkorrekturflächenmarkierungen der Spuren L1 und L2 den Kopfeinheiten 6A und 6B zugewiesen wird, das heißt, Markierungen, die den an den Arbeitspositionen WpA und WpB angebrachten Substraten P am nächsten sind, ausgewählt werden, die Zuverlässigkeit eines Korrekturwerts im Vergleich zu einer herkömmlichen Einrichtung erhöht (Patentliteratur 1 im allgemeinen Stand der Technik), in der ungeachtet einer Größe und einer Position des Substrats P eine Markierung bei einer bestimmten Position konstant abgebildet wird, um einen Korrekturwert zu erhalten. Insbesondere bringt die Bauteilmontageeinrichtung 1, in der das Vorsehen einer Markierung (der fünften Markierung M5) in einer beweglichen Region des beweglichen Förderers 11 die Flexibilität beim Auswählen einer Markierung in der Y-Richtung erhöht, und alle Markierungen M1 bis M5, umfassend die fünfte Markierung M5, alle fest angebracht sind, nicht das Problem mit sich, dass eine Markierung einen Bewegungsfehler aufweist, das Problem einer herkömmlichen Einrichtung (Patentliteratur 2 im allgemeinen Stand der Technik), in dem eine Markierung an einem beweglichen Förderer fixiert ist. Entsprechend erzielt die Bauteilmontageeinrichtung 1 eine höhere Zuverlässigkeit, dass ein Korrekturwert erhalten wird, und weist daher einen Vorteil einer Erhöhung der Präzision der Bauteilmontage mittels der Kopfeinheiten 6A und 6B im Vergleich zu einer herkömmlichen Einrichtung auf.
Zusätzlich werden in der Bauteilmontageeinrichtung 1 grundsätzlich Mindestkorrekturflächenmarkierungen der Spuren L1 und L2, die den Kopfeinheiten 6A und 6B zugewiesen sind, ausgewählt und wie zuvor beschrieben abgebildet. Dadurch entsteht der weitere Vorteil, dass während die Zuverlässigkeit eines Korrekturwerts erhöht wird, die Zeit zum Abbilden einer Markierung von jeder der Substraterkennungskameras 26A und 26B vermindert werden kann.
Zusätzlich werden gemäß der Bauteilmontageeinrichtung 1 insbesondere in dem Beidspur-Eintrittsmontagemodus nicht nur ein Korrekturwert in einem Fall, in dem die Substrate P in den Spuren L1 und L2 angebracht sind, zu denen die Kopfeinheiten 6A bzw. 6B gehören, sondern auch ein Korrekturwert in einem Fall, in dem die Substrate P in den Partnerspuren L1 und L2 angebracht sind, in die die Kopfeinheiten 6A und 6B eintreten, erhalten. Da die Korrekturwerte gemäß einer Spur (den Arbeitspositionen WpA und WpB) selektiv verwendet werden, in der das Substrat P zu tragen ist, besteht ein weiterer Vorteil darin, dass die Herstellung des Substrats P wirksam ausgeführt werden kann. Mit anderen Worten hängt der Beidspur-Eintrittsmodus, in welcher der zwei Spuren L1 und L2 das Substrat P zu tragen ist, von dem Fortschritt der Arbeit in einem vorgelagerten Schritt ab. In diesem Fall ist die Herstellung nicht wirtschaftlich, wenn die zwei Markierungen M1 bis M5 abgebildet werden, um einen Korrekturwert zu erhalten, nachdem tatsächlich Substrate P in die Spuren L1 und L2 hineingetragen worden sind, und eine Spur bestimmt wurde, die zu verwenden ist. In dieser Hinsicht ist es gemäß der obigen Bauteilmontageeinrichtung 1, in der Korrekturwerte für die Kopfeinheiten 6A und 6B im Voraus für einen Fall erhalten werden, in dem das Substrat P in jeder der Spuren L1 und L2 angebracht ist, der Verarbeitung erlaubt, unverzüglich mit der Herstellung des Substrats P in jedem Fall fortzufahren, in dem das Substrat P in die Spuren L1 oder L2 gebracht wird. Entsprechend kann die Herstellung des Substrats P wirksam in dem Beidspur-Eintrittsmontagemodus ausgeführt werden.
Weil die fünfte Markierung M5 innerhalb der gleichen Referenzebene IP vorgesehen ist, wie die der anderen Markierungen M1 bis M4, weist die Bauteilmontageeinrichtung 1 durch Bilden einer projizierten Abbildung der fünften Markierung M5 in einer beweglichen Region des beweglichen Förderers 11 zusätzlich den Vorteil auf, dass die fünfte Markierung M5 in einer beweglichen Region des beweglichen Förderers 11 ohne Behinderungsbewegung des beweglichen Förderers 11 vorgesehen sein kann.
[Anderes Abwandlungsbeispiel]
Die zuvor beschriebene Bauteilmontageeinrichtung 1 veranschaulicht eine bevorzugte Ausführungsform der Bauteilmontageeinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung, und eine besondere Ausgestaltung davon kann entsprechend geändert werden, ohne von dem Hauptpunkt der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
Beispielsweise können, obgleich in der obigen Bauteilmontageeinrichtung 1 die fünfte Markierung M5 zwischen der ersten Markierung M1 und der dritten Markierung M3 vorgesehen ist, mehr Markierungen vorgesehen sein. Beispielsweise kann eine sechste Markierung M6 zwischen der ersten Markierung M1 und der fünften Markierung M5 auf ähnliche Weise zu der der fünften Markierung M5 vorgesehen sein, und eine siebte Markierung M7 kann zwischen der dritten Markierung M3 und der fünften Markierung M5 auf ähnliche Weise zu der der fünften Markierung M5 vorgesehen sein, wie in 9A gezeigt ist. In dieser Ausgestaltung kann, wenn große und kleine Substrate P, die unterschiedliche Größen aufweisen, im parallelen Montagemodus hergestellt werden, wie beispielsweise in 9B gezeigt, ein Korrekturwert eines Bewegungsfehlers der ersten Kopfeinheit 6A basierend auf der ersten, zweiten und sechsten Markierung M1, M2 und M6 erhalten werden, und ein Korrekturwert eines Bewegungsfehlers der zweiten Kopfeinheit 6B kann basierend auf der dritten, vierten und sechsten Markierung M3, M4 und M6 erhalten werden, wodurch ermöglicht wird, einen Korrekturwert zu erhalten, der Markierungen verwendet, die mehr der Größe des Substrats P entsprechen. Daher ist es effektiv, die Präzision der Montage eines Bauteils mittels der Kopfeinheiten 6A und 6B weiter zu erhöhen.
Zusätzlich kann, wie in 10A gezeigt, die sechste Markierung M6 zwischen der ersten Markierung M1 und der zweiten Markierung M2 auf ähnliche Weise wie die der ersten und zweiten Markierung M1 und M2 vorgesehen sein, und die siebte Markierung M7 kann zwischen der dritten Markierung M3 und der vierten Markierung M4 auf ähnliche Weise wie die dritte und vierte Markierung M3 und M5 vorgesehen sein. In dieser Ausgestaltung ermöglicht, wenn ein Substrat P, das eine kleine Größe in der X-Richtung aufweist, in dem parallelen Montagemodus hergestellt wird, wie beispielsweise in 10B gezeigt, das Erhalten eines Korrekturwerts für die erste Kopfeinheit 6A basierend auf der ersten, fünften und sechsten Markierung M1, M5 und M6 und das Erhalten eines Korrekturwerts für die zweite Kopfeinheit 6B basierend auf der dritten, fünften und siebten Markierung M3, M5 und M7, dass ein Korrekturwert erhalten wird, der eher der Größe des Substrats P in der X-Richtung entspricht und eine hohe Zuverlässigkeit aufweist. Daher ist es effektiv beim Erhöhen der Präzision des Montierens eines Bauteils mittels der Kopfeinheiten 6A und 6B.
Außerdem ist die Bauteilmontageeinrichtung 1 jeder Ausführungsform eine Zweispursystem-Bauteilmontageeinrichtung. Die Bauteilmontageeinrichtung 1 kann jedoch eine Einspur-Bauteilmontageeinrichtung sein.
In diesem Fall ist es, wie beispielsweise in 11A gezeigt, nur notwendig, dass in einem Zustand, in dem die Förderer 10 und 11 einer Substratfördervorrichtung 4 bei einem maximalen Intervall fixiert werden, die erste und zweite Markierung M1 und M2 entlang des fixierten Förderers 10 und an einer Vorderseite davon angebracht sind, die dritte und vierte Markierung M3 und M4 entlang des beweglichen Förderers 11 und an einer Hinterseite davon angebracht sind, und die fünfte Markierung M5 an einer Mittelposition in der Y-Richtung zwischen der ersten Markierung M1 und der dritten Markierung M4 angebracht ist. Gemäß dieser Ausgestaltung kann zur Zeit der Herstellung eines Substrats P großer Größe ein Korrekturwert in der Y-Richtung basierend auf der ersten Markierung M1 und der dritten Markierung M3 erhalten werden, wie in 11A gezeigt, und zur Zeit der Herstellung eines Substrats P kleiner Größe kann ein Korrekturwert in der Y-Richtung basierend auf der ersten Markierung M1 und der fünften Markierung M5 erhalten werden, wie in 11B gezeigt. Es ist daher möglich, einen Korrekturwert zu erhalten, der eher der Größe des Substrats P entspricht und eine hohe Zuverlässigkeit in der Einspur-Bauteilmontageeinrichtung 1 aufweist.
Obgleich in jeder Ausführungsform ein Bewegungsfehler für jede der Kopfeinheiten 6A und 6B basierend auf Abbildungen von drei Markierungen erhalten wird, wobei die drei Markierungen in rechten Winkeln ausgerichtet sind, wenn sie mittels einer geraden Linie verbunden sind und von den Substraterkennungskameras 26A und 26 B abgebildet werden, können die drei Markierungen zusätzlich nicht notwendigerweise in rechten Winkeln ausgerichtet sein. Zusätzlich ist die Anzahl von Markierungen, die zu erkennen ist, um Bewegungsfehler für die Kopfeinheiten 6A und 6B zu erhalten, nicht auf drei begrenzt, sondern kann vier oder mehr sein.
Obgleich in jeder Ausführungsform die Projektionsvorrichtung 32 vorgesehen ist, die eine projizierte Abbildung auf der Referenzebene IP als die fünfte Markierung M5 projiziert, kann die Vorrichtung außerdem eine reflektierte Abbildung der Referenzebene IP als die fünfte Markierung M5 bilden.
Die vorliegende Erfindung, die zuvor beschrieben wurde, wird wie folgt zusammengefasst.
Mit anderen Worten ist die vorliegende Erfindung eine Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs, die auf eine Bauteilmontageeinrichtung anzuwenden ist, die mit einer Substratfördervorrichtung ausgestattet ist, die einen fixierten Förderer umfasst, der sich in einer ersten Richtung erstreckt, und einen beweglichen Förderer, der in einer zweiten Richtung orthogonal zu der ersten Richtung in Bezug auf den fixierten Förderer beweglich ist, und mit einem Montagekopf ausgestattet ist, der ein Bauteil auf einem Substrat montiert, das von der Substratfördervorrichtung zu einer vorbestimmten Arbeitsposition gefördert wird, wobei die Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs eine Markierung innerhalb einer beweglichen Region umfasst, die aus einer projizierten Abbildung oder einer reflektierten Abbildung besteht, die in einer beweglichen Region des beweglichen Förderers gebildet ist; ein Paar von Markierungen außerhalb einer beweglichen Region, die jeweils an beiden Seiten der Markierung innerhalb der beweglichen Region in der zweiten Richtung vorgesehen sind und außerhalb der beweglichen Region des beweglichen Förderers und außerhalb des Substrats an der Arbeitsposition angebracht sind; eine Abbildungsvorrichtung, die sich zusammen mit dem Montagekopf bewegt; eine Steuer- bzw. Regelvorrichtung, die von der Markierung innerhalb der beweglichen Region und dem Paar von Markierungen außerhalb der beweglichen Region zwei Markierungen auswählt, die an beiden Außenseiten des Substrats in der zweiten Richtung positioniert sind und am dichtesten an dem Substrat sind, und die die Abbildungsvorrichtung veranlasst, die Markierungen abzubilden; und eine Berechnungsvorrichtung, die einen Bewegungsfehler des Montagekopfs basierend auf zwei Markierungsabbildungen erhält, die von der Abbildungsvorrichtung aufgenommen werden.
Mit der Ausgestaltung der Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung wird von der Markierung innerhalb der beweglichen Region und dem Paar von Markierungen außerhalb der beweglichen Region eine geeignete Markierung gemäß einer Größe und einer Position des Substrats ausgewählt, das heißt, eine Markierung, die dem Substrat P am nächsten ist, wird ausgewählt, und ein Bewegungsfehler des Montagekopfs wird basierend auf einer Abbildung der Markierung erhalten. Daher kann ein Bewegungsfehler eines Montagekopfs, der durch Wärmeverformung eines Antriebssystems verursacht wird, mit höherer Präzision gemäß einer Größe und einer Position eines Substrats korrigiert werden. Überdies besteht die Markierung innerhalb der beweglichen Region aus einer projizierten Abbildung oder einer reflektierten Abbildung, die in einer beweglichen Region des beweglichen Förderers gebildet ist, und ist in der beweglichen Region angebracht, ohne die Bewegung des beweglichen Förderers zu behindern. Daher bringt die Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung nicht das Problem mit sich, dass eine Markierung einen Bewegungsfehler aufweist, das Problem einer herkömmlichen Einrichtung (Patentliteratur 2 im allgemeinen Stand der Technik), in der eine Markierung an einem beweglichen Förderer fixiert ist, und auch in dieser Hinsicht ermöglicht die Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung die Korrektur eines Bewegungsfehlers in der zweiten Richtung des Montagekopfs mit hoher Präzision.
In der Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung ist es angemessen, dass die Markierung innerhalb der beweglichen Region eine Vielzahl von Markierungen innerhalb der beweglichen Region umfasst, die in der zweiten Richtung ausgerichtet sind, und das Paar von Markierungen außerhalb der beweglichen Region an beiden Seiten der Vielzahl von Markierungen innerhalb der beweglichen Region in der zweiten Richtung vorgesehen ist.
Da die Ausgestaltung dahingehend die Flexibilität erhöht, dass eine Markierung ausgewählt wird, wenn zwei Markierungen, die dem Substrat am nächsten sind, ausgewählt werden, ist es vorteilhaft, einen Bewegungsfehler des Montagekopfs mit hoher Präzision zu erhalten.
Die obige Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung umfasst eine erste Montageeinheit, umfassend die Substratfördervorrichtung, den Montagekopf und die Abbildungsvorrichtung, und eine zweite Montageeinheit, die eine andere Substratfördervorrichtung, einen anderen Montagekopf und eine andere Abbildungsvorrichtung umfasst, in der ein beweglicher Förderer der anderen Substratfördervorrichtung und ein beweglicher Förderer der Substratfördervorrichtung der ersten Montageeinheit so angebracht sind, dass sie benachbart zueinander in der zweiten Richtung sind, in der das Paar von Markierungen außerhalb der beweglichen Region außerhalb fixierter Förderer der ersten Montageeinheit und der zweiten Montageeinheit angebracht sind, und die Markierung innerhalb der beweglichen Region in beweglichen Regionen der beweglichen Förderer der ersten Montageeinheit und der zweiten Montageeinheit angebracht ist, und in der, wenn der Montagekopf und die Abbildungsvorrichtung der ersten Montageeinheit als ein erster Montagekopf bzw. eine erste Abbildungsvorrichtung definiert sind, und der Montagekopf und die Abbildungsvorrichtung der zweiten Montageeinheit als ein zweiter Montagekopf bzw. eine zweite Abbildungsvorrichtung definiert sind, eine Arbeitsposition eines Substrats in der ersten Montageeinheit als eine erste Arbeitsposition definiert ist, eine Arbeitsposition eines Substrats in der zweiten Montageeinheit als eine zweite Arbeitsposition definiert ist, und von dem Paar von Markierungen außerhalb der beweglichen Region eine Markierung außerhalb einer beweglichen Region auf einer Seite der ersten Montageeinheit als eine erste Markierung außerhalb der beweglichen Region definiert ist, und eine Markierung außerhalb der beweglichen Region auf einer Seite der zweiten Montageeinheit als eine zweite Markierung außerhalb der beweglichen Region definiert ist, die Steuer- bzw. Regelvorrichtung mindestens einen Abbildungsbetrieb von einem ersten Abbildungsbetrieb des Auswählens von zwei Markierungen ausführen kann, die an beiden Außenseiten eines Substrats positioniert sind, das an der ersten Arbeitsposition angebracht ist, und dem Substrat am nächsten sind, und mindestens die erste Markierung außerhalb der beweglichen Region umfassen und die erste Abbildungsvorrichtung veranlasst, die ausgewählten Markierungen abzubilden; einen zweiten Abbildungsbetrieb des Auswählens von zwei Markierungen, die an beiden Außenseiten eines Substrats positioniert sind, das an der zweiten Arbeitsposition angebracht ist, und dem Substrat am nächsten sind, und mindestens die zweite Markierung außerhalb der beweglichen Region umfassen und die zweite Abbildungsvorrichtung veranlasst, die ausgewählten Markierungen abzubilden; einen dritten Abbildungsbetrieb des Auswählens von zwei Markierungen, die an beiden Außenseiten eines Substrats positioniert sind, das an der zweiten Arbeitsposition angebracht ist, und dem Substrat am nächsten sind, und mindestens die zweite Markierung außerhalb der beweglichen Region umfassen und die erste Abbildungsvorrichtung veranlasst, die ausgewählten Markierungen abzubilden; und einen vierten Abbildungsbetrieb des Auswählens von zwei Markierungen, die an beiden Außenseiten eines Substrats positioniert sind, das an der ersten Arbeitsposition angebracht ist, und dem Substrat am nächsten sind, und mindestens die erste Markierung außerhalb der beweglichen Region umfassen und die zweite Abbildungsvorrichtung veranlasst, die ausgewählten Markierungen abzubilden, und in der die Berechnungsvorrichtung einen Bewegungsfehler mindestens eines, des ersten Montagekopfs oder des zweiten Montagekopfs, basierend auf einer Markierungsabbildung erhalten kann, die in dem Abbildungsbetrieb aufgenommen wurde, der von der Steuer- bzw. Regelvorrichtung ausgeführt wurde.
In der Ausgestaltung der Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung ermöglicht die parallele Anbringung der ersten Montageeinheit und der zweiten Montageeinheit eine Verschiedenartigkeit einer Montageform (Montagemodus). In der somit sehr vielseitigen Montageform können dann Bewegungsfehler des ersten Montagekopfs und des zweiten Montagekopfs mit hoher Präzision gemäß einer Montageform davon detektiert werden.
In diesem Fall ist es angemessen, dass die Bauteilmontageeinrichtung einen parallelen Montagebetrieb des Montierens eines Bauteils auf einem Substrat, das an der ersten Arbeitsposition angebracht ist, nur durch den ersten Montagekopf ausführt, und des Montierens eines Bauteils auf einem Substrat, das an der zweiten Arbeitsposition angebracht ist, nur mittels des zweiten Montagekopfs, wobei die Steuer- bzw. Regelvorrichtung den ersten Abbildungsbetrieb und den zweiten Abbildungsbetrieb ausführt, das Berechnungsmittel einen Bewegungsfehler des ersten Montagekopfs basierend auf einer Markierungsabbildung erhält, die in dem ersten Abbildungsbetrieb aufgenommen wurde, und einen Bewegungsfehler des zweiten Montagekopfs basierend auf einer Markierungsabbildung erhält, die in dem zweiten Montagebetrieb aufgenommen wurde.
Die Ausgestaltung ermöglicht, dass Bewegungsfehler des ersten Montagekopfs und des zweiten Montagekopfs angemessen innerhalb eines notwendigen und ausreichenden Bereichs in dem parallelen Montagebetrieb erhalten werden.
Außerdem führt die Steuer- bzw. Regelvorrichtung, in einem Fall, in dem die Bauteilmontageeinrichtung einen einseitigen Eintrittsmontagebetrieb des Montierens eines Bauteils auf dem Substrat mittels sowohl des ersten Montagekopfs als auch des zweiten Montagekopfs ausführt, während sie sequenziell ein Substrat entweder zu einer, der ersten Arbeitsposition oder der zweiten Arbeitsposition, hinein bringt, wenn das Substrat nur zu der ersten Arbeitsposition in dem einseitigen Eintrittsmontagebetrieb hineingebracht wird, vorzugsweise den ersten Abbildungsbetrieb und den vierten Abbildungsbetrieb aus, während sie, wenn das Substrat nur zu der zweiten Arbeitsposition hineingebracht wird, vorzugsweise den zweiten Abbildungsbetrieb und den dritten Abbildungsbetrieb ausführt, und wenn das Substrat nur zu der ersten Arbeitsposition hineingebracht wird, das Berechnungsmittel vorzugsweise einen Bewegungsfehler des ersten Montagekopfs basierend auf einer Markierungsabbildung erhält, das in dem ersten Abbildungsbetrieb aufgenommen wurde, sowie einen Bewegungsfehler des zweiten Montagekopfs basierend auf einer Markierungsabbildung erhält, die in dem vierten Abbildungsbetrieb aufgenommen wurde, und wenn das Substrat nur zu der zweiten Arbeitsposition hineingebracht wird, es vorzugsweise einen Bewegungsfehler des zweiten Montagekopfs basierend auf einer Markierungsabbildung erhält, die in dem zweiten Abbildungsbetrieb aufgenommen wurde, sowie einen Bewegungsfehler des ersten Montagekopfs basierend auf einer Markierungsabbildung erhält, die in dem dritten Abbildungsbetrieb aufgenommen wurde.
Die Ausgestaltung ermöglicht, dass Bewegungsfehler des ersten Montagekopfs und des zweiten Montagekopfs angemessen innerhalb eines notwendigen und ausreichenden Bereichs in dem einseitigen Eintrittsmontagebetrieb erhalten werden.
Außerdem führt, in einem Fall, in dem die Bauteilmontageeinrichtung einen bidirektionalen Eintrittsmontagebetrieb des Montierens eines Bauteils auf dem Substrat mittels sowohl des ersten Montagekopfs als auch des zweiten Montagekopfs ausführt, während sie selektiv ein Substrat an eine beliebige, die erste Arbeitsposition oder die zweite Arbeitsposition, hineinträgt, die Steuer- bzw. Regelvorrichtung angemessener Weise den ersten Abbildungsbetrieb bis vierten Abbildungsbetrieb aus, und das Berechnungsmittel erhält angemessener Weise einen Bewegungsfehler des ersten Montagekopfs basierend auf jeder Markierungsabbildung, die in dem ersten Abbildungsbetrieb und dem dritten Abbildungsbetrieb aufgenommen wurde, und erhält einen Bewegungsfehler des zweiten Montagekopfs basierend auf jeder Markierungsabbildung, die in dem zweiten Abbildungsbetrieb und dem vierten Abbildungsbetrieb aufgenommen wurde.
Die Ausgestaltung ermöglicht, dass Bewegungsfehler des ersten Montagekopfs und des zweiten Montagekopfs angemessen innerhalb eines notwendigen und ausreichenden Bereichs in dem bidirektionalen Eintrittsmontagebetrieb erhalten werden.
In der obigen Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung führt die Steuer- bzw. Regelvorrichtung angemessener Weise den Abbildungsbetrieb aus, bevor Substrate an der ersten Arbeitsposition und der zweiten Arbeitsposition angebracht werden.
Da in der Ausgestaltung Bewegungsfehler des ersten Montagekopfs und des zweiten Montagekopfs im Voraus erhalten werden können, ohne die Bauteilmontagearbeit zu unterbrechen, kann die Montagearbeit wirksamer ausgeführt werden.
Andererseits umfasst die Bauteilmontageeinrichtung der vorliegenden Erfindung eine Substratfördervorrichtung, die einen fixierten Förderer umfasst, der sich in einer ersten Richtung erstreckt, und einen beweglichen Förderer, der in einer zweiten Richtung orthogonal zu der ersten Richtung in Bezug auf den fixierten Förderer beweglich ist; einen Montagekopf, der ein Bauteil auf einem Substrat montiert, das von der Substratfördervorrichtung zu einer vorbestimmten Arbeitsposition gefördert wird; und eine beliebige der obigen Bewegungsfehlerdetektionseinrichtungen zum Detektieren eines Bewegungsfehlers des Montagekopfs.
Da die Bauteilmontageeinrichtung die Korrektur eines Bewegungsfehlers eines Montagekopfs ermöglicht, der von Wärmeverformung eines Antriebssystems mit hoher Präzision gemäß einer Größe und einer Position eines Substrats verursacht wird, wie oben beschrieben, wird die Montagepräzision des Bauteils entsprechend erhöht.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 3253218 [0004, 0046]
JP 5495260 [0004]

Claims

Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs, die auf eine Bauteilmontageeinrichtung anzuwenden ist, die mit einer Substratfördervorrichtung ausgestattet ist, die einen fixierten Förderer umfasst, der sich in einer ersten Richtung erstreckt, und einen beweglichen Förderer, der in einer zweiten Richtung orthogonal zu der ersten Richtung in Bezug auf den fixierten Förderer beweglich ist, und mit einem Montagekopf ausgestattet ist, der ein Bauteil auf einem Substrat montiert, das von der Substratfördervorrichtung zu einer vorbestimmten Arbeitsposition gefördert wird, wobei die Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs umfasst: eine Markierung innerhalb einer beweglichen Region, die eine projizierte Abbildung oder eine reflektierte Abbildung umfasst, die in einer beweglichen Region des beweglichen Förderers gebildet ist; ein Paar von Markierungen außerhalb der beweglichen Region, die jeweils an beiden Seiten der Markierung innerhalb der beweglichen Region in der zweiten Richtung vorgesehen sind und außerhalb der beweglichen Region des beweglichen Förderers und außerhalb des Substrats an der Arbeitsposition angebracht sind; eine Abbildungsvorrichtung, die sich zusammen mit dem Montagekopf bewegt; eine Steuer- bzw. Regelvorrichtung, die von der Markierung innerhalb der beweglichen Region und dem Paar von Markierungen außerhalb der beweglichen Region zwei Markierungen auswählt, die an beiden Außenseiten des Substrats in der zweiten Richtung positioniert sind und dem Substrat am nächsten sind, und die Abbildungsvorrichtung veranlasst, die Markierungen abzubilden; und eine Berechnungsvorrichtung, die einen Bewegungsfehler des Montagekopfs basierend auf zwei Markierungsabbildungen erhält, die von der Abbildungsvorrichtung aufgenommen wurden.
Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs nach Anspruch 1, wobei die Markierung innerhalb der beweglichen Region eine Vielzahl von Markierungen innerhalb der beweglichen Region umfasst, die in der zweiten Richtung ausgerichtet sind, und das Paar von Markierungen außerhalb der beweglichen Region an beiden Seiten der Vielzahl von Markierungen innerhalb der beweglichen Region in der zweiten Richtung vorgesehen sind.
Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs nach Anspruch 1 oder 2, umfassend: eine erste Montageeinheit, umfassend die Substratfördervorrichtung, den Montagekopf und die Abbildungsvorrichtung, und eine zweite Montageeinheit, die eine andere Substratfördervorrichtung, einen anderen Montagekopf und eine andere Abbildungsvorrichtungen umfasst, und in der ein beweglicher Förderer der anderen Substratfördervorrichtung und ein beweglicher Förderer der Substratfördervorrichtung der ersten Montageeinheit so angebracht sind, dass sie benachbart zueinander in der zweiten Richtung sind, wobei das Paar von Markierungen außerhalb der beweglichen Region außerhalb fixierter Förderer der ersten Montageeinheit und der zweiten Montageeinheit angebracht sind, und die Markierung innerhalb der beweglichen Region in beweglichen Regionen der beweglichen Förderer der ersten Montageeinheit und der zweiten Montageeinheit angebracht sind, und wobei, wenn der Montagekopf und die Abbildungsvorrichtung des ersten Montagekopfs als ein erster Montagekopf bzw. eine erste Abbildungsvorrichtung definiert sind, und der Montagekopf und die Abbildungsvorrichtung der zweiten Montageeinheit als ein zweiter Montagekopf bzw. eine zweite Abbildungsvorrichtung definiert sind, eine Arbeitsposition eines Substrats in der ersten Montageeinheit als eine erste Arbeitsposition definiert ist, und eine Arbeitsposition eines Substrats in der zweiten Montageeinheit als eine zweite Arbeitsposition definiert ist, und von dem Paar von Markierungen außerhalb der beweglichen Region eine Markierung außerhalb der beweglichen Region auf einer Seite der ersten Montageeinheit als eine erste Markierung außerhalb der beweglichen Region definiert ist, und eine Markierung außerhalb der beweglichen Region auf einer Seite der zweiten Montageeinheit als eine zweite Markierung außerhalb derbeweglichen Region definiert ist, die Steuer- bzw. Regelvorrichtung mindestens einen der folgenden Abbildungsbetriebe ausführt: einen ersten Abbildungsbetrieb des Auswählens von zwei Markierungen, die an beiden Außenseiten eines Substrats positioniert sind, das an der ersten Arbeitsposition angebracht ist, und dem Substrat am nächsten sind, und mindestens die erste Markierung außerhalb der beweglichen Region umfassen, und die erste Abbildungsvorrichtung veranlasst, die Markierungen abzubilden, die ausgewählt werden; einen zweiten Abbildungsbetrieb des Auswählens von zwei Markierungen, die an beiden Außenseiten eines Substrats positioniert sind, das an der zweiten Arbeitsposition angebracht ist, und dem Substrat am nächsten sind, und mindestens die zweite Markierung außerhalb der beweglichen Region umfassen, und die zweite Abbildungsvorrichtung veranlasst, die Markierungen abzubilden, die ausgewählt werden; einen dritten Abbildungsbetrieb des Auswählens von zwei Markierungen, die an beiden Außenseiten eines Substrats positioniert sind, das an der zweiten Arbeitsposition angebracht ist, und dem Substrat am nächsten sind, und mindestens die zweite Markierung außerhalb der beweglichen Region umfassen, und die erste Abbildungsvorrichtung veranlasst, die Markierungen abzubilden, die ausgewählt werden; und einen vierten Abbildungsbetrieb des Auswählens von zwei Markierungen, die an beiden Außenseiten eines Substrats positioniert sind, das an der ersten Arbeitsposition angebracht ist, und dem Substrat am nächsten sind, und mindestens die erste Markierung außerhalb der beweglichen Region umfassen, und die zweite Abbildungsvorrichtung veranlasst, die Markierungen abzubilden, die ausgewählt werden; und die Berechnungsvorrichtung einen Bewegungsfehler mindestens eines, des ersten Montagekopfs oder des zweiten Montagekopfs, basierend auf einer Markierungsabbildung erhält, die in dem Abbildungsbetrieb aufgenommen wurde, der von der Steuer- bzw. Regelvorrichtung ausgeführt wird.
Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs nach Anspruch 3, wobei die Bauteilmontageeinrichtung einen parallelen Montagebetrieb des Montierens eines Bauteils auf einem Substrat, das an der ersten Arbeitsposition angebracht ist, nur mittels des ersten Montagekopfs ausführt, und des Montierens eines Bauteils auf einem Substrat, das an der zweiten Arbeitsposition angebracht ist, nur mittels des zweiten Montagekopfs ausführt, die Steuer- bzw. Regelvorrichtung den ersten Abbildungsbetrieb der zweiten Abbildungsbetrieb ausführt, und das Berechnungsmittel einen Bewegungsfehler des ersten Montagekopfs basierend auf einer Markierungsabbildung erhält, die in dem ersten Abbildungsbetrieb aufgenommen wurde, und einen Bewegungsfehler des zweiten Montagekopfs basierend auf einer Markierungsabbildung erhält, die in dem zweiten Montagebetrieb aufgenommen wurde.
Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs nach Anspruch 3, wobei die Bauteilmontageeinrichtung einen einseitigen Eintrittsmontagebetrieb des Montierens eines Bauteils auf dem Substrat mittels sowohl des ersten Montagekopfs als auch des zweiten Montagekopfs ausführt, während sie sequenziell ein Substrat zu einer, der ersten Arbeitsposition oder der zweiten Arbeitsposition, hineinträgt, wenn das Substrat nur zu der ersten Arbeitsposition in dem einseitigen Eintrittsmontagebetrieb hineingetragen wird, die Steuer- bzw. Regelvorrichtung den ersten Abbildungsbetrieb und den vierten Abbildungsbetrieb ausführt, während, wenn das Substrat nur zu der zweiten Arbeitsposition hineingetragen wird, die Steuer- bzw. Regelvorrichtung den zweiten Abbildungsbetrieb und den dritten Abbildungsbetrieb ausführt, und wenn das Substrat nur zu der ersten Arbeitsposition hineingetragen wird, das Berechnungsmittel einen Bewegungsfehler des ersten Montagekopfs basierend auf einer Markierungsabbildung erhält, die in dem ersten Abbildungsbetrieb aufgenommen wurde, sowie einen Bewegungsfehler des zweiten Montagekopfs basierend auf einer Markierungsabbildung erhält, die in dem vierten Abbildungsbetrieb aufgenommen wurde, und wenn das Substrat nur zu der zweiten Arbeitsposition hineingetragen wird, das Berechnungsmittel einen Bewegungsfehler des zweiten Montagekopfs basierend auf einer Markierungsabbildung erhält, die in dem zweiten Abbildungsbetrieb aufgenommen wurde, sowie einen Bewegungsfehler des ersten Montagekopfs basierend auf einer Markierungsabbildung erhält, die in dem dritten Abbildungsbetrieb aufgenommen wird.
Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs nach Anspruch 3, wobei die Bauteilmontageeinrichtung einen bidirektionalen Eintrittsmontagebetrieb des Montierens eines Bauteils auf dem Substrat mittels sowohl des ersten Montagekopfs als auch des zweiten Montagekopfs ausführt, während sie selektiv ein Substrat zu einer beliebigen, der ersten Arbeitsposition oder der zweiten Arbeitsposition, hineinträgt, die Steuer- bzw. Regelvorrichtung den ersten Abbildungsbetrieb bis vierten Abbildungsbetrieb ausführt, und das Berechnungsmittel einen Bewegungsfehler des ersten Montagekopfs basierend auf jeder Markierungsabbildung erhält, die in dem ersten Abbildungsbetrieb und dem dritten Abbildungsbetrieb aufgenommen wurde, und einen Bewegungsfehler des zweiten Montagekopfs basierend auf jeder Markierungsabbildung erhält, die in dem zweiten Abbildungsbetrieb und dem vierten Abbildungsbetrieb aufgenommen wurde.
Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung eines Montagekopfs nach einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Steuer- bzw. Regelvorrichtung den Abbildungsbetrieb ausführt, bevor Substrate an der ersten Arbeitsposition und der zweiten Arbeitsposition angebracht werden.
Bauteilmontageeinrichtung, umfassend: eine Substratfördervorrichtung, die einen fixierten Förderer umfasst, der sich in einer ersten Richtung erstreckt, und einen beweglichen Förderer, der in einer zweiten Richtung orthogonal zu der ersten Richtung in Bezug auf den fixierten Förderer beweglich ist; einen Montagekopf, der ein Bauteil auf einem Substrat montiert, das von der Substratfördervorrichtung zu einer vorbestimmten Arbeitsposition gefördert wird; und eine Bewegungsfehlerdetektionseinrichtung nach einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 7 zum Detektieren eines Bewegungsfehlers des Montagekopfs.