CN108370662B - 安装头的移动误差检测装置及元件安装装置 - Google Patents

Abstract

移动误差检测装置包含：第五标记(M5)(可动区域内标记)，由设置在第一、第二基板搬送装置(4A、4B)的可动传送带(11)的可动区域内的投影像形成；第一、第三标记(M1、M3)(可动区域外标记)，设置在第五标记(M5)的两侧，并且分别设置在可动传送带(11)的可动区域外且相对于作业位置(Wp)的基板(P)位于外侧的位置；第一基板识别摄像机(26A)(摄像装置)，与安装头(20A)一起移动；主控制部(42)，选定所述标记中位于基板(P)的两外侧且最接近该基板(P)的两个标记，使第一基板识别摄像机(26A)拍摄该标记，并且根据该两个标记的图像，求出第一安装头(20A)的移动误差。

Description

安装头的移动误差检测装置及元件安装装置

技术领域

本发明涉及安装头的移动误差检测装置及具备该安装头的移动误差检测装置的元件安装装置，所述安装头的移动误差检测装置为了补正因驱动系统的热变形所产生的安装头的移动误差而被组装于元件安装装置。

背景技术

以往，元件安装装置具备使安装头水平移动的驱动系统，由于连续地进行安装动作，因此该驱动系统会发生因发热导致的热变形。这样的热变形会使安装头与元件供应部的元件之间或与基板之间产生偏移，成为导致安装精度下降的主要原因之一。因此，为了解决该问题而有如下的技术：利用与安装头一起移动的基板识别用摄像机来拍摄及识别安装头的可动区域内所设的多个标记，检测该标记之间的距离变化，将该距离变化作为驱动系统的热变形导致的安装头的移动误差，并根据该移动误差来补正元件的目标搭载位置。

例如，专利文献1公开了如下的技术：在由固定传送带和可动传送带构成的一对基板搬送用传送带的近傍分别设置沿着固定传送带在X方向上排列的一对标记和在Y方向上排列的一对标记，拍摄各标记，并根据该拍摄的结果来补正元件的目标搭载位置。该技术中，Y方向上的一对标记为了避免与可动传送带干涉而设于该可动传送带的可动区域的外侧。因此，在基板的尺寸较小的情况下，标记的位置与实际的基板位置便会大幅度离开距离(补正区域相比于基板的尺寸增大)，难以确保补正精度。

另一方面，专利文献2公开了如下的技术：在由固定传送带和可动传送带构成的一对基板搬送用传送带上设置彼此在沿着该传送带的方向(X方向)上错开的一对标记，拍摄这些标记，并根据该拍摄的结果来补正元件的目标搭载位置。根据该技术，标记与可动传送带一起移动，因此，能够消除专利文献1那样的问题。然而，由于标记的位置本身伴随移动误差，因此，难以确保补正精度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3253218号

专利文献2：日本专利第5495260号

发明内容

本发明的目的在于：能够根据基板的尺寸或位置更精度良好地补正因驱动系统的热变形所产生的安装头的移动误差。

本发明的安装头的移动误差检测装置被应用于元件安装装置，该元件安装装置包括：基板搬送装置，包含在第一方向上延伸的固定传送带和相对于该固定传送带能够在与所述第一方向正交的第二方向上移动的可动传送带；以及安装头，将元件搭载于被所述基板搬送装置搬送到指定的作业位置的基板，所述安装头的移动误差检测装置包含：可动区域内标记，由形成在所述可动传送带能够移动的区域亦即可动区域之内的投影像或反射像构成；一对可动区域外标记，设置在所述可动区域内标记的第二方向上的两侧，并且分别设置在所述可动传送带的可动区域外且相对于所述作业位置的基板位于外侧的位置；另一对可动区域外标记，分别与所述一对可动区域外标记沿所述第一方向排列；摄像装置，与所述安装头一起移动；控制装置，选定所述可动区域内标记及所述一对可动区域外标记中位于所述基板的第二方向上的两外侧且最接近该基板的两个标记，使所述摄像装置拍摄该标记；以及运算装置，根据所述摄像装置所拍摄的所述两个标记的各图像以及该摄像装置所拍摄的所述另一对可动区域外标记中的至少一个标记的图像，求出所述安装头的移动误差。

附图说明

图1是本发明的元件安装装置(应用了本发明的安装头的移动误差检测装置的元件安装装置)的俯视简略图。

图2是所述元件安装装置的侧视图(图1的II方向的向视图)。

图3是表示所述元件安装装置的控制系统的方块图。

图4是表示控制单元进行的补正值运算处理控制的一个例子的流程图。

图5A是表示可动传送带的可动区域的第一、第二基板搬送装置的俯视示意图。

图5B是表示可动传送带的设置的一实施方式的第一、第二基板搬送装置的俯视示意图。

图6是标记的俯视图。

图7A是表示并列安装模式下的可动传送带的设置的一实施方式的第一、第二基板搬送装置的俯视示意图。

图7B是表示并列安装模式下的可动传送带的设置的另一实施方式的第一、第二基板搬送装置的俯视示意图。

图8是表示第五标记被可动传送带遮挡的状态下的第一、第二基板搬送装置的俯视示意图。

图9A是表示元件安装装置的变形例的俯视示意图。

图9B是图9A所示的元件安装装置的并列安装模式时的第一、第二基板搬送装置的俯视示意图。

图10A是表示元件安装装置的别的变形例的俯视示意图。

图10B是图10A所示的元件安装装置的并列安装模式时的第一、第二基板搬送装置的俯视示意图。

图11A是表示传送带与标记的位置关系的单线方式的元件安装装置的俯视示意图。

图11B是表示图11A所示的元件安装装置中搬送小型基板时的传送带的状态的俯视示意图。

具体实施方式

以下，参照附图来说明本发明的实施方式。

[元件安装装置的结构]

图1所示的元件安装装置1是具备第一、第二安装单元UA、UB的双线方式的装置。第一、第二安装单元UA、UB在由矩形的结构体构成的基台2(参照图2)上针对两条线(lane)L1、L2(第一线L1、第二线L2)的每一者来设置，这两线L1、L2由后述的基板搬送装置4A、4B而分别被具体化。在以下的说明中，将与线L1、L2在水平方向上平行的方向作为X方向，将与该X方向正交的水平方向作为Y方向，将垂直方向作为Z方向。另外，将Y方向的一端侧(图1的下侧)作为前侧。此外，仅称为上游侧、下游侧时，以后述基板P的搬送方向作为基准。在本例中，X方向相当于本发明的第一方向，Y方向相当于本发明的第二方向。

如图1所示，元件安装装置1在前侧具备第一安装单元UA，而在后侧具备第二安装单元UB。第一、第二安装单元UA、UB简略地说前后对称而基本结构共通。

第一安装单元UA具备：第一基板搬送装置4A，构成作为印刷电路板等基板P的搬送路的第一线L1；第一元件供应部5A；第一头部单元6A，用于安装元件；头部单元驱动机构，驱动第一头部单元6A；第一元件识别摄像机7A。

基板搬送装置4A具备：一对带式的传送带10、11，彼此平行地在X方向(第一方向)上延伸；传送带驱动机构，以伺服马达作为驱动源来同步地来驱动这些传送带10、11。基板搬送装置4A从图1的右侧接受基板P并搬送到在指定的作业位置(图1所示的基板P的位置/称作第一作业位置WpA)，并且通过具有上推销等省略图示的基板保持装置来保持该基板P。而且，在安装作业后，将这些基板P搬出到图1的左侧。

所述一对传送带10、11中位于前侧的传送带10为固定在基台2上的固定传送带(以下相应地称作固定传送带10)，位于后侧的传送带11为相对于固定传送带10能够沿Y方向(第二方向)移动的可动传送带(以下相应地称作可动传送带11)。基板搬送装置4A还具备：轨道，固定在基台2上，沿Y方向延伸；传送带宽度可变机构，以伺服马达13(以下称作C轴伺服马达13/参照图3)作为驱动源来使可动传送带11沿着所述轨道移动。通过该结构，基板搬送装置4A能够按照基板P的尺寸来变更传送带10、11的间隔。

此外，各传送带10、11具有：沿X方向延伸的传送带主体10a、11a；在传送带主体10a，11a的长边方向的不同位置分别向下方延伸的一对脚部(省略图示)。固定传送带10的脚部被固定于基台2，可动传送带11的脚部在所述轨道上可移动地被支撑。

所述元件供应部5A设置在基板搬送装置4A的前方。元件供应部5A中沿着基板搬送装置4A并列地排列有以料带作为载体的供应元件的多个带式供料器12。这些带式供料器12具备卷绕有收纳保持IC、晶体管、电容器等小片状的芯片元件的料带的卷筒，并且一边从该卷筒间歇地拉出料带一边将元件供应到指定的取出位置。

所述第一头部单元6A从元件供应部5A取出元件并搬送到基板P上，而且在该基板P上进行搭载(安装)。

第一头部单元6A通过头部单元驱动机构而能够在规定的区域内沿X方向及Y方向移动。头部单元驱动机构包含：一对固定轨道15，分别固定在被设置在基台2上X方向两端的一对高架梁14上，而且沿Y方向彼此平行地延伸；支撑件16，被这些固定轨道15支撑，并且沿X方向延伸；螺旋进给机构，以Y轴伺服马达17(参照图3)作为驱动源来使支撑件16沿Y方向移动。此外，头部单元驱动机构包含：固定轨道，固定在支撑件16，将第一头部单元6A以能够沿X方向移动的方式支撑；螺旋进给机构，以X轴伺服马达18(参照图3)作为驱动源来使第一头部单元6A移动。即，头部单元驱动机构通过X轴伺服马达18的驱动来使第一头部单元6A沿X方向移动，而且通过Y轴伺服马达17的驱动来使支撑件16沿Y方向移动。其结果，第一头部单元6A在规定的区域内沿X、Y方向移动。

所述第一头部单元6A具备：多个第一安装头20A，具有元件吸附用的吸嘴；头升降机构，以Z轴伺服马达22(参照图3)作为驱动源来使第一安装头20A升降(沿Z方向移动)；头转动机构，以R轴伺服马达24(参照图3)作为驱动源来使第一安装头20A绕中心轴转动。各第一安装头20A的吸嘴连接于负压发生装置，通过从负压发生装置供应的负压来吸附元件。

所述第一头部单元6A上搭载有第一基板识别摄像机26A。第一基板识别摄像机26A与第一头部单元6A一起移动，拍摄被标附在基板P上的图外的基准标记(基板识别用的标记)，并且拍摄头部单元6A、6B的移动误差检测用的后述标记M1至M5。第一基板识别摄像机26A具备：摄像机主体，包含CCD等区域传感器及光学系统，而且朝下设置；照明装置。元件安装装置1根据第一基板识别摄像机26A所拍摄的基准标记的图像来识别基板P的位置，并且如在后面所详述那样，根据标记M1至M5的图像来补正第一头部单元6A(第一安装头20A)的元件目标搭载位置。

另一方面，第一元件识别摄像机7A是在安装前拍摄第一安装头20A所吸附的元件的摄像机，被固定在基台2上。第一元件识别摄像机7A包含：摄像机主体，包含CCD等线传感器及光学系统，而且朝上地设置在基台2上；照明装置。元件安装装置1根据该第一元件识别摄像机7A所拍摄的元件的图像来识别第一安装头20A的元件吸附状态。

以上是第一安装单元UA的结构。第二安装单元UB具备：第二基板搬送装置4B，构成作为基板P的搬送路的第二线L2；第二元件供应部5B；第二头部单元6B，用于安装元件；头部单元驱动机构，驱动第二头部单元6B；第二元件识别摄像机7B。

第二安装单元UB的第二基板搬送装置4B等具有相对于第一安装单元UA的第一基板搬送装置4A等大致前后对称的结构。

具体而言，第二基板搬送装置4B与第一基板搬送装置4A同样地具有固定传送带10和可动传送带11，但固定传送带10位于后侧，而可动传送带11位于前侧。各基板搬送装置4A、4B的可动传送带11被在Y方向上延伸的通用的上述轨道所支撑，能够在作为可动区域的图5A中以斜线所示的区域亦即两固定传送带10之间移动。由此，例如如图5B所示那样，各基板搬送装置4A、4B的可动传送带11能够从第二基板搬送装置4B的可动传送带11被设置在最接近固定传送带10的位置且第一基板搬送装置4A的可动传送带11最接近第二基板搬送装置4B的可动传送带11那样的状态移动至第一基板搬送装置4A的可动传送带11被设置在最接近固定传送带10的位置且第二基板搬送装置4B的可动传送带11最接近第一基板搬送装置4A的可动传送带11那样的状态。

第二头部单元6B在被支撑件16支撑这一点与第一头部单元6A共通。但是，第一头部单元6A被设置在支撑件16的后侧，而第二头部单元6B被设置在支撑件16的前侧。由此，第一头部单元6A与第二头部单元6B在前后方向上彼此相向地设置。驱动第二头部单元6B的头部单元驱动机构的结构基本上与驱动第一头部单元6A的头部单元驱动机构的结构共通。此外，如图1所示，支撑各头部单元6A、6B的各支撑件16被共用的固定轨道15支撑。由此，第一头部单元6A能够移动到第二线L2的基板P上方，相反地，第二头部单元6B能够移动到第一线L1的基板P上方。

此外，第一元件识别摄像机7A被设置在第一基板搬送装置4A和第一元件供应部5A之间，而第二元件识别摄像机7B被设置在第二基板搬送装置4B和第二元件供应部5B之间。

此外，如图1所示，第二头部单元6B具备第二安装头20B及第二基板识别摄像机26B。此外，将基板搬送装置4A的作业位置(图所示的基板P的位置)称作第二作业位置WpB。在本例中，第一头部单元6A的第一基板识别摄像机26A相当于本发明的第一摄像装置，第二头部单元6B的第二基板识别摄像机26B相当于本发明的第二摄像装置。

在第一基板搬送装置4A及第二基板搬送装置4B的周围设有为了补正因头部单元驱动机构的热变形而导致的各头部单元6A、6B的移动误差的第一至第五标记M1至M5。即，头部单元6A、6B被长时间驱动后，上述螺旋进给机构的螺杆轴或上述高架梁14在长边方向上发生热变形(热膨胀)等而使头部单元6A、6B(亦即安装头20A、20B)的移动量产生误差。为此，在元件安装装置1中设有例如如图6所示那样的中空的矩形的标记M1至M5，通过头部单元6A、6B的上述基板识别摄像机26A、26B来拍摄这些标记M1至M5，并根据所拍摄的图像来检测各头部单元6A、6B的移动误差。

各标记M1至M5的具体设置如下。首先，沿着第一基板搬送装置4A的固定传送带10从上游侧依次设有第一、第二标记M1、M2，并且沿着第二基板搬送装置4B的固定传送带10从上游侧依次设有第三、第四标记M3、M4。如图1及图2所示，第一、第二标记M1、M2沿着固定传送带10的前侧面设置在被固定在基台2上的支柱30的上端面，第三、第四标记M3、M4沿着在固定传送带10的后侧面设置在被固定在基台2上的支柱30的上端面。第一、第三标记M1、M3在作业位置Wp的上游侧的位置彼此在Y方向上排列，第二、第四标记M2、M4在作业位置Wp的下游侧的位置彼此在Y方向上排列。

第一至第四标记M1至M4例如由固定在支柱30的刻印牌或贴条等构成，彼此设置在同一高度位置上。具体而言，如图2所示，它们以位于与由基板保持装置保持在作业位置Wp上的基板P相同高度位置亦即位于作为包含该基板P的上表面的水平假想平面的基准面IP内的方式而被设置。此外，这些第一至第四标记M1至M4位于各线L1、L2的固定传送带10的外侧(亦即可动传送带11的可动区域的外侧)。

在Y方向上，第五标记M5设于第一标记M1和第三标记M3的中间位置。第五标记M5由形成在所述基准面IP上的非实体的投影像构成。详细而言，在基台2上的该第五标记M5的位置处设有投影装置32。投影装置32包含描绘有第五标记M5的树脂制薄膜34、照明部34a及光学系统34b，通过照明部34a对薄膜34从其背后(下侧)照射照明光，通过光学系统34b将其投影像(聚焦图像)形成在上述基准面IP上。即，各头部单元6A、6B的基板识别摄像机26A、26B以能够拍摄设置在作业位置Wp的基板P上的基准标记的方式来设定其焦距，如图2所示，将基板识别摄像机26A、26B设置到投影装置32的上方后，便能够拍摄由投影装置32形成的第五标记M5的图的投影像(亦即第五标记M5)。

此外，投影装置32设置在比可动传送带11的传送带主体11a低的位置且是相对于可动传送带11的脚部的移动路径(上述轨道的位置)在X方向上离开距离的位置。这样，投影装置32便成为能够吸收与基准面IP的高度之差而让基板识别摄像机26A、26B能够拍摄基准面IP上的第五标记M5的聚焦图像的装置。由此，在该元件安装装置1中，第五标记M5在避免与可动传送带11干涉的情况下实质上设置在该可动传送带11的可动区域内。此外，在本例中，第五标记M5相当于本发明的可动区域内标记，第一标记M1及第三标记M3相当于本发明的一对可动区域外标记。

其次，就控制第一、第二安装单元UA、UB的元件安装装置1的控制系统进行说明。该元件安装装置1具有统一地控制第一、第二安装单元UA、UB的动作的控制单元40。

如图3所示，控制单元40具有：统一地控制元件安装装置1的动作的主控制部42；存储有程序及各种数据的存储部44；控制X、Y、Z、R轴及C轴的各伺服马达13、17、18、22、24的驱动的马达控制部46；对基板识别摄像机26A、26B及元件识别摄像机7A、7B所拍摄的图像数据进行指定的处理的图像处理部48；外部输入输出部50。主控制部42是由CPU及存储器等构成的计算机，通过总线41而与存储部44、马达控制部46、图像处理部48及外部输入输出部50连接。

主控制部42为了将元件安装于基板P而执行必要的安装程序并且为此而执行各种运算处理。尤其是在元件的安装动作中，根据第一至第五的标记M1至M5中安装模式或各线L1、L2的可动传送带11的位置来选定应拍摄的标记，在预先设定的时期，通过各基板识别摄像机26A、26B拍摄所选定的标记，根据其图像数据来运算各头部单元6A、B(亦即第一、第二安装头20A、20B)的移动误差，并且执行运算其的补正值的处理(补正值运算处理)。即，在本例中，该主控制部42相当于本发明的控制装置及运算装置。

存储部44存储主控制部42所执行的安装程序及为了执行安装程序而必要的各种数据等。尤其是在主控制部42运算了补正各头部单元6A、6B的移动误差的上述补正值时，对该补正值进行更新存储。

马达控制部46根据来自内置于各马达13、17、18、22、24中的编码器的信号和从主控制部42发出的信息来控制各马达13、17、18、22、24。

图像处理部48与第一元件识别摄像机7A、第二元件识别摄像机7B、第一基板识别摄像机26A及第二基板识别摄像机26B连接，接受表示来自这些摄像机7A、7B、26A、26B的图像的信号，实施指定的图像处理，并将图像数据传送给主控制部42。

外部输入输出部50一方面作为输入单元而与各安装单元UA、UB所具备的各种传感器类连接，另一方面作为输出单元而与投影装置32等连接。

此外，在本例中，上述的第一、第三、第五标记M1、M3、M5、第一、第二安装单元UA、UB的基板识别摄像机26A、26B及主控制部42相当于本发明的安装头的移动误差检测装置。

[元件安装装置的动作]

该元件安装装置1中所执行的安装模式大致分为：并列安装模式(并列安装动作)，第一安装单元UA和第二安装单元UB独立地对各自的线L1、L2的基板P安装元件的模式；进入安装模式，第一安装单元UA与第二安装单元UB协作来对基板P安装元件的模式。而且，该进入安装模式进一步分为：单线进入安装模式(一方进入安装动作)，仅使用两线L1、L2中一方的线；两线进入安装模式(两方进入安装动作)，使用两线L1、L2。各安装模式的内容如下。

1)并列安装模式

如图1所示，并列安装模式为如下的模式：仅第一头部单元6A对设置在第一线L1的第一作业位置WpA的基板P搭载元件，仅第二头部单元6B对设置在第二线L2的第二作业位置WpB的基板P搭载元件。即，一方面，第一头部单元6A从第一元件供应部5A的带式供料器12吸附元件并搭载于第一线L1的基板P，另一方面，第二头部单元6B从第二元件供应部5B的带式供料器12吸附元件并搭载于第二线L2的基板P。此情况下，在元件的吸附后，通过第一头部单元6A经由第一元件识别摄像机7A的上方且第二头部单元6B经由第二元件识别摄像机7B的上方来拍摄吸附元件，以识别安装头20A、20B的元件吸附状态。而且，根据安装头20A、20B的元件吸附状态和用于补正各头部单元6A、6B的移动误差的补正值来补正元件的目标搭载位置，并根据该目标搭载位置来控制头部单元6A、6B。

2)单线进入安装模式

单线进入安装模式为如下的模式：基板P仅由两线L1、L2中的任一方的线搬送(参照图7A、7B)，并且由第一、第二头部单元6A、6B双方对设置在该线的作业位置上的基板P搭载元件。各元件识别摄像机7A、7B对元件吸附状态的识别等动作与并列安装模式相同。

3)两线进入安装模式

两线进入安装模式为如下的模式：以指定的顺序或随意地依次将基板P设置到第一、第二线L1、L2中的任意的线的作业位置WpA、WpB，并且由第一、第二头部单元6A、6B双方对该基板P搭载元件。各元件识别摄像机7A、7B对元件吸附状态的识别等动作与并列安装模式相同。

[补正值运算处理的控制]

图4是表示由主控制部42进行的上述补正值运算处理控制的一个例子的流程图。如上所述，该补正值运算处理是求出用于补正因头部单元驱动机构的热变形而导致的各头部单元6A、6B(亦即安装头20A、20B)的移动误差的补正值的处理。

该流程开始后，主控制部42首先判定元件安装装置1的安装模式是否被变更了(步骤S1)。此处，若为“是”时，主控制部42判定第五标记M5是否被可动传送带11遮挡(步骤S3)。具体而言，主控制部42根据来自内置于传送带宽度可变机构的C轴伺服马达13中的编码器的信号来求出各基板搬送装置4A、4B的可动传送带11的位置，判定该可动传送带11的位置是否在第五标记M5的位置的指定的范围内。

此处，判定为“否”时，主控制部42判定安装模式是否为并列安装模式(步骤S5)，判定为“是”时，执行由基板识别摄像机26A、26B拍摄各头部单元6A、6B分别担任的线L1、L2的最小补正区域的标记的动作(步骤S7)，并根据该标记图像，针对各头部单元6A、6B所担任的每一区域分别运算出该头部单元6A、6B的移动误差的补正值，并进行更新存储(步骤S9)。

此处，上述补正值通过由各基板识别摄像机26A、26B拍摄标记M1至M5中以直线连结时成直角排列的三个标记并且根据这些标记图像按每一头部单元6A、6B来求出。这样的补正值的具体运算方法是以往周知(例如背景技术中的日本专利第3253218号公报等)的技术，此处省略详细的说明。

有关要拍摄的标记的选择，当选定位于远离基板P位置的位置的标记时，基板P的位置(担任区域)处的正确的移动误差不被反映到补正值中，此外，当选定未满足基板P的整个区域的位置的标记时，移动误差的补正不充分，在任一情况下补正值的可靠性均下降。因此，为了尽量避免这样的问题，主控制部42选定各头部单元6A、6B分别担任的线L1、L2的最小补正区域的标记。

最小补正区域的标记是指补正目标搭载位置的区域(补正区域)成为最小那样的位置的标记。具体而言，其是最接近基板P的标记(以下称作最接近的标记)且是在X方向上位于基板P的X方向外侧的最接近的标记而且还是在Y方向上位于基板P的Y方向外侧的最接近的标记。但是，在本例中，由于沿X方向排列的标记如上所述只是第一、第二标记M1、M2和第三、第四标记M3、M4，因此，X方向上的最小补正区域的标记便始终为第一、第二标记M1、M2或第三、第四标记M3、M4。

例如，假定图1为并列安装模式时，第一头部单元6A的担任区域为设置在第一线L1的第一作业位置WpA上的基板P。由此，有关第一头部单元6A的最小补正区域的标记，在X方向上便为第一、第二标记M1、M2，在Y方向上便为第一、第五标记M1、M5。另一方面，第二头部单元6B的担任区域为设置在第二线L2的第二作业位置WpB上的基板P。由此，有关第二头部单元6B的最小补正区域的标记，在X方向上便为第三、第四标记M3、M4，在Y方向上便为第三、第五标记M3、M5。

因此，在步骤S7中，主控制部42通过控制各头部单元6A、6B来使第一头部单元6A的第一基板识别摄像机26A依次拍摄第一、第二、第五标记M1、M2、M5(相当于本发明的第一拍摄动作)，并且使第二头部单元6B的第二基板识别摄像机26B依次拍摄第三、第四、第五标记M3、M4、M5(相当于本发明的第二拍摄动作)。

而且，步骤S9中，主控制部42根据第一、第二、第五标记M1、M2、M5的图像的位置来运算第一头部单元6A的X、Y方向上的移动误差，运算其补正值，并且根据第三、第四、第五标记M3、M4、M5的图像的位置来运算第二头部单元6B的X、Y方向上的移动误差，运算其补正值。而且，主控制部42将各头部单元6A、6B的各补正值更新存储于存储部44。

返回到图4，在步骤S5中判定为“否”时，亦即判定为安装模式不是并列安装模式时，主控制部42进一步判定安装模式是否为单线进入安装模式(步骤S15)。此处，判定为“是”时，主控制部42使处理移到步骤S7，与并列安装模式时同样地，选定各头部单元6A、6B分别担任的线L1、L2的最小补正区域的标记，使基板识别摄像机26A、26B拍摄该标记。而且，在步骤S9中，根据该标记图像来运算各头部单元6A、6B的移动误差的补正值，将其更新存储于存储部44。

图7A及图7B表示了单线进入安装模式的方式的一个例子。图7A表示了以与图1所示的并列安装时同样的线方式仅由第一线L1来进行基板P的生产的情形，图7B表示了在第一线L1被设定于最大间隔的状态下在第一线L1中进行大型的基板P的生产的情形。

上述的情况下，各头部单元6A、6B的担任区域均为第一线L1的基板P。而且，在图7A的例的情况下，第五标记M5位于第一线L1的Y方向的外侧，因此，有关两头部单元6A、6B的最小补正区域的标记便为第一、第二标记M1、M2和第五标记M5。另一方面，在图7B的例的情况下，第五标记M5位于第一线L1的Y方向的内侧，因此，有关两头部单元6A、6B的最小补正区域的标记便为第一、第二标记M1、M2和第三标记M3。

因此，在图7A的例子的情况下，在步骤S7中，主控制部42通过控制各头部单元6A、6B来使第一头部单元6A的第一基板识别摄像机26A依次拍摄第一、第二、第五标记M1、M2、M5(相当于本发明的第一拍摄动作)，并且使第二头部单元6B的第二基板识别摄像机26B依次拍摄第一、第二、第五标记M1、M2、M5(相当于本发明的第四拍摄动作)。而且，在步骤S9中，主控制部42根据第一、第二、第五标记M1、M2、M5的图像的位置来运算各头部单元6A、6B的X、Y方向的移动误差，运算其补正值。而且，将各头部单元6A、6B的上述补正值更新存储于存储部44。

另一方面，在图7B的例子的情况下，在步骤S7中，主控制部42通过控制各头部单元6A、6B来使第一头部单元6A的第一基板识别摄像机26A依次拍摄第一、第二、第三标记M1、M2、M3(相当于本发明的第一拍摄动作)，并且使第二头部单元6B的第二基板识别摄像机26B依次拍摄第一、第二、第三标记M1、M2、M3(相当于本发明的第四拍摄动作)。而且，在步骤S9中，主控制部42根据第一基板识别摄像机26A所拍摄的第一、第二、第三标记M1、M2、M3的图像的位置来运算第一头部单元6A的X、Y方向的移动误差，并且根据第二基板识别摄像机26B所拍摄的第一、第二、第三标记M1、M2、M3的图像的位置来运算第二头部单元6B的X、Y方向的移动误差。而且，将各头部单元6A、6B的上述补正值更新存储于存储部44。

此外，虽省略了图示，但是仅在第二线L2中进行基板P的生产时，各头部单元6A、6B的担任区域均为第二线L2的基板P。此情况下，由第二基板识别摄像机26B拍摄最接近于设置在第二作业位置WpB上的基板P的标记(相当于本发明的第二拍摄动作)，由第一基板识别摄像机26A拍摄所述最接近的标记(相当于本发明的第三安装动作)。而且，主控制部42根据第二基板识别摄像机26B所拍摄的标记的图像来运算第二头部单元6B的X、Y方向的移动误差，根据第一基板识别摄像机26A所拍摄的标记的图像来运算第一头部单元6A的X、Y方向的移动误差。而且，将各头部单元6A、6B的上述补正值更新存储于存储部44。

返回到图4，在步骤S15中判定为“否”时，亦即判定为安装模式为两线进入安装模式时，主控制部42使处理移到步骤S17。此处，主控制部42使基板识别摄像机26A、26B执行除了拍摄各头部单元6A、6B分别担任的线L1、L2的最小补正区域的标记之外还拍摄对方侧的线的最小补正区域的标记亦即各头部单元6A、6B分别进入对方侧线时的最小补正区域的标记的动作。而且，根据该标记的图像，按第一头部单元6A各个担任区域的每一区域来运算针对该第一头部单元6A的移动误差的补正值，并且按第二头部单元6B各个担任的区域每一区域来运算针对该第二头部单元6B的移动误差的补正值，将这些补正值更新存储于存储部44(步骤S19)。

例如，假定图1为两线进入安装模式时，第一头部单元6A的担任区域为设置在两方的线L1、L2的作业位置WpA、WpB上的基板P，因此，对于第一头部单元6A的最小补正区域的标记便为以第一、第二、第五标记M1、M2、M5为一组的标记组和以第三、第四、第五标记M3、M4、M5为一组的标记组。另一方面，第二头部单元6B的担任区域也为设置在两方的线L1、L2的作业位置WpA、WpB上的基板P，因此，对于第二头部单元6B的最小补正区域的标记便与上述两个标记组相同。

因此，在步骤S17中，主控制部42使第一头部单元6A的第一基板识别摄像机26A依次拍摄所有的标记M1至M5(相当于本发明的第一、第三拍摄动作)，并且使第二头部单元6B的第二基板识别摄像机26B依次拍摄所有的标记M1至M5(相当于本发明的第二、第四拍摄动作)。

而且，在步骤S19中，主控制部42根据第一、第二、第五标记M1、M2、M5的图像来运算第一头部单元6A在第一线L1中的X、Y方向的移动误差，运算其补正值(称作第一单元用第一补正值)，并且根据第三、第四、第五标记M3、M4、M5的图像来运算第一头部单元6A在第二线L2中的X、Y方向的移动误差，运算其补正值(称作第一单元用第二补正值)。此外，主控制部42根据第一、第二、第五标记M1、M2、M5的图像来运算第二头部单元6B在第一线L1中的X、Y方向的移动误差，运算其补正值(称作第二单元用第一补正值)，并且根据第三、第四、第五标记M3、M4、M5的图像来运算第二头部单元6B在第二线L2中的X、Y方向的移动误差，运算其补正值(称作第二单元用第二补正值)。而且，将各头部单元6A、6B的上述补正值更新存储于存储部44。

返回到图4，在步骤S3中判定为“是”时，亦即判定为第五标记M5被遮挡时，主控制部42不论安装模式如何均使基板识别摄像机26A、26B执行拍摄最大补正区域的标记的动作(步骤S21)，并且根据该标记的图像，运算对于各头部单元6A、6B的移动误差的补正值，将这些补正值更新存储于存储部44。

最大补正区域的标记是指不论各头部单元6A、6B的担任区域而位于其的X方向的两端的标记，位于其的Y方向的两端的标记。例如如图8所示，在第五标记M5被第一线L1的可动传送带11遮挡的情况下，对于第一头部单元6A的最大补正区域的标记便为第一、第二、第三标记M1、M2、M3。另一方面，对于第二头部单元6B的最大补正区域的标记便为第一、第三、第四标记M1、M3、M4。

因此，在步骤S21中，主控制部42通过控制各头部单元6A、6B来使第一头部单元6A的第一基板识别摄像机26A依次拍摄第一、第二、第三标记M1、M2、M3，并且使第二头部单元6B的第二基板识别摄像机26B依次拍摄第一、第三、第四标记M1、M3、M4。

而且，在步骤S23中，主控制部42根据第一、第二、第三标记M1、M2、M3的图像来运算第一头部单元6A的X、Y方向的移动误差，运算其补正值，并且同样地根据第一、第三、第四标记M1、M3、M4的图像来运算第二头部单元6B的X、Y方向的移动误差，运算其补正值。而且，将各头部单元6A、6B的上述补正值更新存储于存储部44。

返回到图4，步骤S9、S19、S23中的任一者的处理结束后，主控制部42使处理移到步骤S11。在步骤S11中，主控制部42等待基板P被设置到作业位置WpA、WpB，若基板P被设置于作业位置WpA、WpB，便控制各头部单元6A、6B以将元件搭载在基板P上。此时，主控制部42根据当前的安装模式，读出现在存储于存储部44的与该安装模式对应的上述补正值的数据，根据该补正值来补正元件的目标搭载位置，根据补正后的目标搭载位置将元件搭载于基板P。

此情况下，尤其是在安装模式为两线进入安装模式时，元件的目标搭载位置如下所述那样来补正。首先，基板P被设置在第一线L1的第一作业位置WpA时，对于该基板P中的第一头部单元6A所担任的搭载位置，根据所述第一单元用第一补正值来补正目标搭载位置，对于第二头部单元6B所担任的搭载位置，根据所述第二单元用第一补正值来补正目标搭载位置。而且，基板P被设置在第二线L2的第二作业位置WpB时，对于该基板P中的第一头部单元6A所担任的搭载位置，根据所述第一单元用第二补正值来补正目标搭载位置，对于第二头部单元6B所担任的搭载位置，根据所述第二单元用第二补正值来补正目标搭载位置。

步骤S11的处理结束后，主控制部42判定以当前的安装模式进行的基板P的生产是否已结束，判定为“否”时，返回到步骤S1，继续进行基板P的生产，最终在步骤S13中判定为“是”时，主控制部42结束本流程。

[元件安装装置的作用效果等]

根据上述的元件安装装置1，选定出五个标记M1至M5中与基板P的尺寸或位置(各可动传送带11的位置)及安装模式对应的恰当的标记，并根据该标记求出各头部单元6A、6B的上述补正值。尤其是此情况下，由于原则上各头部单元6A、6B分别担任的线L1、L2的最小补正区域的标记亦即最靠近设置在作业位置WpA、WpB上的基板P的标记被选定出，因此，与以往的不管基板P的尺寸或位置如何都始终拍摄规定位置的标记来求出补正值的装置(背景技术的专利文献1)相比，其的补正值的可靠性高。尤其是根据该元件安装装置1，由于在可动传送带11的可动区域内设置有标记(第五标记M5)，因此，Y方向上的标记选定自由度被提高，而且包含该第五标记M5的所有的标记M1至M5被固定地设置，因此，不会如以往的标记被固定于可动传送带的装置(背景技术的专利文献2)那样会伴随标记的移动误差这样的问题。因此，根据该元件安装装置1具有如下的优点：所求出的补正值的可靠性高，与以往的装置相比，各头部单元6A、6B的元件搭载精度被提高。

此外，根据该元件安装装置1，如上所述，原则上各头部单元6A、6B分别担任的线L1、L2的最小补正区域的标记被选定出，并拍摄该标记。因此，具有如下的优点：既能够提高补正值的可靠性，又能够缩短各基板识别摄像机26A、26B对标记的拍摄时间。

此外，根据该元件安装装置1，尤其是在两线进入安装模式中，不仅预先求出基板P被设置于各头部单元6A、6B分别所属的线L1、L2时的补正值，而且还预先求出基板P被设置于各头部单元6A、6B分别进入的对方侧的线L1、L2时的补正值。而且，由于按照基板P所被搬入的线(作业位置WpA、WpB)来分开使用所述补正值，因此具有能够效率良好地进行基板P的生产这样的优点。即，在两线进入安装模式中，基板P是否被搬入到两线L1、L2中的任一线是由上游工序的作业的进展而定的。此时，如果在基板P实际上被搬入到线L1、L2并决定所使用的线之后才拍摄标记M1至M5并求出补正值时，则生产率差。有关这一点，根据上述元件安装装置1，由于预先求出基板P被设置于两线L1、L2的各者时的各头部单元6A、6B的补正值，因此，不管基板P被搬入到任意的线L1、L2时，均能够立刻进行基板P的生产。因此，能够效率良好地进行两线进入安装模式下的基板P的生产。

此外，该元件安装装置1中，由于第五标记M5的投影像形成在可动传送带11的可动区域内，因而第五标记M5设置在与其它的标记M1至M4相同的基准面IP内，因此具有如下的优点：能够将在第五标记M5设置在可动传送带11的可动区域内而完全不会阻碍可动传送带11的移动。

[其它的变形例]

上述的元件安装装置1只是本发明所涉及的元件安装装置1的优选实施方式的例示，其具体结构是可以在不脱离本发明的主旨的范围相应地进行变更的。

例如，在上述元件安装装置1中，第一标记M1与第三标记M3之间设有第五标记M5，但还可以设置更多的标记。例如，可以如图9A所示那样在第一标记M1与第五标记M5之间以与第五标记M5同样的方式设置第六标记M6，在第三标记M3与第五标记M5之间以与第五标记M5同样的方式设置第七标记M7。根据该结构，在并列安装模式中，例如如图9B所示那样，在生产尺寸大小不同的基板P时，根据第一、第二、第六标记M1、M2、M6求出第一头部单元6A的移动误差的补正值，根据第三、第四、第六标记M3、M4、M6求出第二头部单元6B的移动误差的补正值，从而能够求出与基板P的尺寸进一步对应了的可靠性高的补正值。因此，在提高各头部单元6A、6B的元件搭载精度方面上有效。

此外，可以如图10A所示那样在第一标记M1与第二标记M2之间以与第一、第二标记M1、M2同样的方式设置第六标记M6，在第三标记M3与第四标记M4之间以与第三、第四标记M3、M4同样的方式设置第七标记M7。根据该结构，在并列安装模式中，例如如图10B所示那样，在生产X方向的尺寸小的基板P时，根据第一、第五、第六标记M1、M5、M6求出第一头部单元6A的补正值，根据第三、第五、第七标记M3、M5、M7求出第二头部单元6B的补正值，从而能够求出在X方向上与基板P的尺寸进一步对应了的可靠性高的补正值。因此，在提高各头部单元6A、6B的元件搭载精度方面上有效。

此外，各实施方式的元件安装装置1为双线方式的元件安装装置，但元件安装装置1也可以为单线方式的元件安装装置。

此情况下，例如如图11A所示那样以如下的方式来设置便可：在将基板搬送装置4的传送带10、11设定在最大间隔的状态下，沿着固定传送带10在其前侧设置第一、第二标记M1、M2，沿着可动传送带11在其后侧设置第三、第四标记M3、M4，在Y方向上，在第一标记M1与第三标记M3的中间位置设置第五标记M5。根据该结构，如图11A所示，在生产大型的基板P时，根据第一标记M1和第三标记M3能够求出Y方向的补正值，在生产小型的基板P时，如图11B所示，根据第一标记M1和第五标记M5能够求出Y方向的补正值。因此，在单线方式的元件安装装置1中，能够求出与基板P的尺寸进一步对应了的可靠性高的补正值。

此外，在各实施方式中，通过由各基板识别摄像机26A、26B拍摄以直线连结时成直角排列的三个标记并且根据这些标记图像来求出头部单元6A、6B的移动误差，但三个标记并不一定要排列成直角。此外，为了求出各头部单元6A、6B的移动误差而被识别的标记的数量并不仅限于三个，也可以是四个以上。

此外，在各实施方式中，设有将投影像作为第五标记M5投影到基准面IP的投影装置32，但也可以将反射像作为第五标记M5形成于基准面IP。

以上所说明的本发明总结如下。

即，本发明的安装头的移动误差检测装置被应用于元件安装装置，该元件安装装置包括：基板搬送装置，包含在第一方向上延伸的固定传送带和相对于该固定传送带能够在与所述第一方向正交的第二方向上移动的可动传送带；以及安装头，将元件搭载于被所述基板搬送装置搬送到指定的作业位置的基板，所述安装头的移动误差检测装置包含：可动区域内标记，由形成在所述可动传送带的可动区域内的投影像或反射像构成；一对可动区域外标记，设置在所述可动区域内标记的第二方向上的两侧，并且分别设置在所述可动传送带的可动区域外且相对于所述作业位置的基板位于外侧的位置；摄像装置，与所述安装头一起移动；控制装置，选定所述可动区域内标记及所述一对可动区域外标记中位于所述基板的第二方向上的两外侧且最接近该基板的两个标记，使所述摄像装置拍摄该标记；以及运算装置，根据所述摄像装置所拍摄的两个标记图像，求出所述安装头的移动误差。

根据该移动误差检测装置的结构，可动区域内标记与一对可动区域外标记中的与基板的尺寸或位置相对应的恰当的标记亦即最靠近基板P的标记被选出，而且安装头的移动误差根据该标记的图像而被求出。因此，能够根据基板的尺寸或位置更精度良好地补正因驱动系统的热变形所产生的安装头的移动误差。而且，可动区域内标记由形成在可动传送带的可动区域内的投影像或反射像构成，能够不妨碍可动传送带的移动地被设置在其可动区域内。因此，根据该移动误差检测装置，不会如标记被固定在可动传送带上的以往的装置(背景技术的专利文献2)那样会伴随标记的移动误差，在这一点上也能够精度良好地补正安装头的第二方向的移动误差。

该移动误差检测装置中较为理想的是，所述可动区域内标记包括在第二方向上排列的多个可动区域内标记，所述一对可动区域外标记设置在所述多个可动区域内标记的第二方向上的两侧。

根据该结构，由于选定最接近基板的两个标记时的标记选定自由度被提高，因此，在精度良好地求出安装头的移动误差方面上有利。

此外，所述移动误差检测装置中也可以包括：第一安装单元，包含所述基板搬送装置、所述安装头及所述摄像装置；以及第二安装单元，包含所述基板搬送装置、所述安装头及所述摄像装置，并且让该基板搬送装置的可动传送带以与所述第一安装单元的基板搬送装置的可动传送带在第二方向上相邻的方式设置；其中，所述一对可动区域外标记设置在所述第一安装单元及所述第二安装单元的固定传送带的外侧，所述可动区域内标记设置在所述第一安装单元及所述第二安装单元的可动传送带的可动区域内，将所述第一安装单元的安装头及摄像装置分别定义为第一安装头及第一摄像装置，将所述第二安装单元的安装头及摄像装置定义分别为第二安装头及第二摄像装置，将所述第一安装单元中的基板的作业位置定义为第一作业位置，将所述第二安装单元中的基板的作业位置定义为第二作业位置，并且将所述一对可动区域外标记中的第一安装单元侧的可动区域外标记和第二安装单元侧的可动区域外标记分别定义为第一可动区域外标记和第二可动区域外标记时，所述控制装置执行第一拍摄动作、第二拍摄动作、第三拍摄动作及第四拍摄动作中的至少一个拍摄动作，所述第一拍摄动作是选定两个位于设置在所述第一作业位置的基板的两外侧且最接近该基板而且至少包含所述第一可动区域外标记的标记并且使所述第一摄像装置拍摄该被选定的标记的动作，所述第二拍摄动作是选定两个位于设置在所述第二作业位置的基板的两外侧且最接近该基板而且至少包含所述第二可动区域外标记的标记并且使所述第二摄像装置拍摄该被选定的标记的动作，所述第三拍摄动作是选定两个位于设置在所述第二作业位置的基板的两外侧且最接近该基板而且至少包含所述第二可动区域外标记的标记并且使所述第一摄像装置拍摄该被选定的标记的动作，所述第四拍摄动作是选定两个位于设置在所述第一作业位置的基板的两外侧且最接近该基板而且至少包含所述第一可动区域外标记的标记并且使所述第二摄像装置拍摄该被选定的标记的动作，所述运算装置根据所述控制装置执行的所述拍摄动作所拍摄的标记图像来求出所述第一安装头及所述第二安装头中的至少一方的移动误差。

根据该移动误差检测装置的结构，由于第一安装单元和第二安装单元并列地排列，因此能够实现安装方式(安装模式)的多样化。而且，在如此多样化的安装方式中，能够根据其安装方式而精度良好地检测第一安装头及第二安装头的移动误差。

此情况下，较为理想的是，所述元件安装装置进行并列安装动作，该并列安装动作是仅由所述第一安装头将元件搭载于设置在所述第一作业位置上的基板并且仅由所述第二安装头将元件搭载于设置在所述第二作业位置上的基板的动作，所述控制装置执行所述第一拍摄动作及所述第二拍摄动作，所述运算装置根据由所述第一拍摄动作拍摄的标记图像来求出所述第一安装头的移动误差，并且根据由所述第二安装动作拍摄的标记图像来求出所述第二安装头的移动误差。

根据该结构，在并列安装动作中，能够在必要且充分的范围内恰当地求出第一安装头及第二安装头的移动误差。

此外，较为理想的是，所述元件安装装置进行一方进入安装动作，该一方进入安装动作是依次将基板仅搬入到所述第一作业位置及所述第二作业位置中任一方的作业位置并且由所述第一安装头及所述第二安装头双方将元件搭载于该基板的动作，所述控制装置在所述一方进入安装动作中在基板仅被搬入到所述第一作业位置时执行所述第一拍摄动作及所述第四拍摄动作，另一方面，在基板仅被搬入到所述第二作业位置时执行所述第二拍摄动作及所述第三拍摄动作，所述运算装置在基板仅被搬入到所述第一作业位置时根据由所述第一拍摄动作拍摄的标记图像来求出所述第一安装头的移动误差，并且根据由所述第四拍摄动作拍摄的标记图像来求出所述第二安装头的移动误差，另一方面，在基板仅被搬入到所述第二作业位置时根据由所述第二拍摄动作拍摄的标记图像来求出所述第二安装头的移动误差，并且根据由所述第三拍摄动作拍摄的标记图像来求出所述第一安装头的移动误差。

根据该结构，在一方进入安装动作中，能够在必要且充分的范围内恰当地求出第一安装头及第二安装头的移动误差。

此外，较为理想的是，所述元件安装装置进行两方进入安装动作，该两方进入安装动作是将基板有选择地搬入到所述第一作业位置及所述第二作业位置中任一作业位置并且由所述第一安装头及所述第二安装头双方将元件搭载于该基板的动作，所述控制装置执行所述第一拍摄动作至所述第四拍摄动作，所述运算装置根据由所述第一拍摄动作及所述第三拍摄动作拍摄的标记图像分别求出所述第一安装头的移动误差，并且根据由所述第二拍摄动作及所述第四拍摄动作拍摄的标记图像分别求出所述第二安装头的移动误差。

根据该结构，在两方进入安装动作中，能够在必要且充分的范围内恰当地求出第一安装头及第二安装头的移动误差。

此外，上述的移动误差检测装置中较为理想的是，所述控制装置在基板被设置于所述第一作业位置及所述第二作业位置之前执行所述拍摄动作。

根据该结构，无需中断元件的安装作业便能够事先求出第一安装头及第二安装头的移动误差，因此，能够实现安装作业的效率化。

另一方面，本发明的元件安装装置包括：基板搬送装置，包含在第一方向上延伸的固定传送带和相对于该固定传送带能够在与所述第一方向正交的第二方向上移动的可动传送带；安装头，将元件搭载于被所述基板搬送装置搬送到指定的作业位置的基板；以及上述的任一移动误差检测装置，用于检测所述安装头的移动误差。

根据该元件安装装置，如上所述，能够根据基板的尺寸或位置更精度良好地补正因驱动系统的热变形所产生的安装头的移动误差，因此，能够相应地提高元件的安装精度。

Claims (12)

1.一种安装头的移动误差检测装置，其特征在于：

被应用于元件安装装置，该元件安装装置包括：基板搬送装置，包含在第一方向上延伸的固定传送带和相对于该固定传送带能够在与所述第一方向正交的第二方向上移动的可动传送带；以及安装头，将元件搭载于被所述基板搬送装置搬送到指定的作业位置的基板，所述安装头的移动误差检测装置包含：

可动区域内标记，由形成在所述可动传送带能够移动的区域亦即可动区域之内的投影像或反射像构成；

一对可动区域外标记，设置在所述可动区域内标记的第二方向上的两侧，并且分别设置在所述可动传送带的可动区域外且相对于所述作业位置的基板位于外侧的位置；

另一对可动区域外标记，分别与所述一对可动区域外标记沿所述第一方向排列；

摄像装置，与所述安装头一起移动；

控制装置，选定所述可动区域内标记及所述一对可动区域外标记中位于所述基板的第二方向上的两外侧且最接近该基板的两个标记，使所述摄像装置拍摄该标记；以及

运算装置，根据所述摄像装置所拍摄的所述两个标记的各图像以及该摄像装置所拍摄的所述另一对可动区域外标记中的至少一个标记的图像，求出所述安装头的移动误差。

2.根据权利要求1所述的安装头的移动误差检测装置，其特征在于：

所述可动区域内标记包括在第二方向上排列的多个可动区域内标记，

所述一对可动区域外标记设置在所述多个可动区域内标记的第二方向上的两侧。

3.根据权利要求1所述的安装头的移动误差检测装置，其特征在于包括：

第一安装单元，包含所述基板搬送装置、所述安装头及所述摄像装置；以及

第二安装单元，包含所述基板搬送装置、所述安装头及所述摄像装置，并且让该基板搬送装置的可动传送带以与所述第一安装单元的基板搬送装置的可动传送带在第二方向上相邻的方式设置；其中，

所述一对可动区域外标记设置在所述第一安装单元及所述第二安装单元的固定传送带的外侧，

所述可动区域内标记设置在所述第一安装单元及所述第二安装单元的可动传送带的可动区域内，

将所述第一安装单元的安装头及摄像装置分别定义为第一安装头及第一摄像装置，将所述第二安装单元的安装头及摄像装置定义分别为第二安装头及第二摄像装置，将所述第一安装单元中的基板的作业位置定义为第一作业位置，将所述第二安装单元中的基板的作业位置定义为第二作业位置，并且将所述一对可动区域外标记中的第一安装单元侧的可动区域外标记和第二安装单元侧的可动区域外标记分别定义为第一可动区域外标记和第二可动区域外标记时，

所述控制装置执行第一拍摄动作、第二拍摄动作、第三拍摄动作及第四拍摄动作中的至少一个拍摄动作，

所述第一拍摄动作是选定两个位于设置在所述第一作业位置的基板的两外侧且最接近该基板而且至少包含所述第一可动区域外标记的标记并且使所述第一摄像装置拍摄该被选定的标记的动作，

所述第二拍摄动作是选定两个位于设置在所述第二作业位置的基板的两外侧且最接近该基板而且至少包含所述第二可动区域外标记的标记并且使所述第二摄像装置拍摄该被选定的标记的动作，

所述第三拍摄动作是选定两个位于设置在所述第二作业位置的基板的两外侧且最接近该基板而且至少包含所述第二可动区域外标记的标记并且使所述第一摄像装置拍摄该被选定的标记的动作，

所述第四拍摄动作是选定两个位于设置在所述第一作业位置的基板的两外侧且最接近该基板而且至少包含所述第一可动区域外标记的标记并且使所述第二摄像装置拍摄该被选定的标记的动作，

所述运算装置根据所述控制装置执行的所述拍摄动作所拍摄的标记的图像来求出所述第一安装头及所述第二安装头中的至少一方的移动误差。

4.根据权利要求3所述的安装头的移动误差检测装置，其特征在于：

所述元件安装装置进行并列安装动作，该并列安装动作是仅由所述第一安装头将元件搭载于设置在所述第一作业位置上的基板并且仅由所述第二安装头将元件搭载于设置在所述第二作业位置上的基板的动作，

所述控制装置执行所述第一拍摄动作及所述第二拍摄动作，

所述运算装置根据由所述第一拍摄动作拍摄的标记的图像来求出所述第一安装头的移动误差，并且根据由所述第二安装动作拍摄的标记的图像来求出所述第二安装头的移动误差。

5.根据权利要求3所述的安装头的移动误差检测装置，其特征在于：

所述元件安装装置进行一方进入安装动作，该一方进入安装动作是依次将基板仅搬入到所述第一作业位置及所述第二作业位置中任一方的作业位置并且由所述第一安装头及所述第二安装头双方将元件搭载于该基板的动作，

所述控制装置在所述一方进入安装动作中在基板仅被搬入到所述第一作业位置时执行所述第一拍摄动作及所述第四拍摄动作，另一方面，在基板仅被搬入到所述第二作业位置时执行所述第二拍摄动作及所述第三拍摄动作，

所述运算装置在基板仅被搬入到所述第一作业位置时根据由所述第一拍摄动作拍摄的标记的图像来求出所述第一安装头的移动误差，并且根据由所述第四拍摄动作拍摄的标记的图像来求出所述第二安装头的移动误差，另一方面，在基板仅被搬入到所述第二作业位置时根据由所述第二拍摄动作拍摄的标记的图像来求出所述第二安装头的移动误差，并且根据由所述第三拍摄动作拍摄的标记的图像来求出所述第一安装头的移动误差。

6.根据权利要求3所述的安装头的移动误差检测装置，其特征在于：

所述元件安装装置进行两方进入安装动作，该两方进入安装动作是将基板有选择地搬入到所述第一作业位置及所述第二作业位置中任一作业位置并且由所述第一安装头及所述第二安装头双方将元件搭载于该基板的动作，

所述控制装置执行所述第一拍摄动作至所述第四拍摄动作，

所述运算装置根据由所述第一拍摄动作及所述第三拍摄动作拍摄的标记的图像分别求出所述第一安装头的移动误差，并且根据由所述第二拍摄动作及所述第四拍摄动作拍摄的标记的图像分别求出所述第二安装头的移动误差。

7.根据权利要求2所述的安装头的移动误差检测装置，其特征在于包括：

第一安装单元，包含所述基板搬送装置、所述安装头及所述摄像装置；以及

第二安装单元，包含所述基板搬送装置、所述安装头及所述摄像装置，并且让该基板搬送装置的可动传送带以与所述第一安装单元的基板搬送装置的可动传送带在第二方向上相邻的方式设置；其中，

所述一对可动区域外标记设置在所述第一安装单元及所述第二安装单元的固定传送带的外侧，

所述可动区域内标记设置在所述第一安装单元及所述第二安装单元的可动传送带的可动区域内，

将所述第一安装单元的安装头及摄像装置分别定义为第一安装头及第一摄像装置，将所述第二安装单元的安装头及摄像装置定义分别为第二安装头及第二摄像装置，将所述第一安装单元中的基板的作业位置定义为第一作业位置，将所述第二安装单元中的基板的作业位置定义为第二作业位置，并且将所述一对可动区域外标记中的第一安装单元侧的可动区域外标记和第二安装单元侧的可动区域外标记分别定义为第一可动区域外标记和第二可动区域外标记时，

所述控制装置执行第一拍摄动作、第二拍摄动作、第三拍摄动作及第四拍摄动作中的至少一个拍摄动作，

所述第一拍摄动作是选定两个位于设置在所述第一作业位置的基板的两外侧且最接近该基板而且至少包含所述第一可动区域外标记的标记并且使所述第一摄像装置拍摄该被选定的标记的动作，

所述第二拍摄动作是选定两个位于设置在所述第二作业位置的基板的两外侧且最接近该基板而且至少包含所述第二可动区域外标记的标记并且使所述第二摄像装置拍摄该被选定的标记的动作，

所述第三拍摄动作是选定两个位于设置在所述第二作业位置的基板的两外侧且最接近该基板而且至少包含所述第二可动区域外标记的标记并且使所述第一摄像装置拍摄该被选定的标记的动作，

所述第四拍摄动作是选定两个位于设置在所述第一作业位置的基板的两外侧且最接近该基板而且至少包含所述第一可动区域外标记的标记并且使所述第二摄像装置拍摄该被选定的标记的动作，

所述运算装置根据所述控制装置执行的所述拍摄动作所拍摄的标记的图像来求出所述第一安装头及所述第二安装头中的至少一方的移动误差。

8.根据权利要求7所述的安装头的移动误差检测装置，其特征在于：

所述元件安装装置进行并列安装动作，该并列安装动作是仅由所述第一安装头将元件搭载于设置在所述第一作业位置上的基板并且仅由所述第二安装头将元件搭载于设置在所述第二作业位置上的基板的动作，

所述控制装置执行所述第一拍摄动作及所述第二拍摄动作，

所述运算装置根据由所述第一拍摄动作拍摄的标记的图像来求出所述第一安装头的移动误差，并且根据由所述第二安装动作拍摄的标记的图像来求出所述第二安装头的移动误差。

9.根据权利要求7所述的安装头的移动误差检测装置，其特征在于：

所述元件安装装置进行一方进入安装动作，该一方进入安装动作是依次将基板仅搬入到所述第一作业位置及所述第二作业位置中任一方的作业位置并且由所述第一安装头及所述第二安装头双方将元件搭载于该基板的动作，

所述控制装置在所述一方进入安装动作中在基板仅被搬入到所述第一作业位置时执行所述第一拍摄动作及所述第四拍摄动作，另一方面，在基板仅被搬入到所述第二作业位置时执行所述第二拍摄动作及所述第三拍摄动作，

所述运算装置在基板仅被搬入到所述第一作业位置时根据由所述第一拍摄动作拍摄的标记的图像来求出所述第一安装头的移动误差，并且根据由所述第四拍摄动作拍摄的标记的图像来求出所述第二安装头的移动误差，另一方面，在基板仅被搬入到所述第二作业位置时根据由所述第二拍摄动作拍摄的标记的图像来求出所述第二安装头的移动误差，并且根据由所述第三拍摄动作拍摄的标记的图像来求出所述第一安装头的移动误差。

10.根据权利要求7所述的安装头的移动误差检测装置，其特征在于：

所述元件安装装置进行两方进入安装动作，该两方进入安装动作是将基板有选择地搬入到所述第一作业位置及所述第二作业位置中任一作业位置并且由所述第一安装头及所述第二安装头双方将元件搭载于该基板的动作，

所述控制装置执行所述第一拍摄动作至所述第四拍摄动作，

所述运算装置根据由所述第一拍摄动作及所述第三拍摄动作拍摄的标记的图像分别求出所述第一安装头的移动误差，并且根据由所述第二拍摄动作及所述第四拍摄动作拍摄的标记的图像分别求出所述第二安装头的移动误差。

11.根据权利要求3至10中任一项所述的安装头的移动误差检测装置，其特征在于：

所述控制装置在基板被设置于所述第一作业位置及所述第二作业位置之前执行所述拍摄动作。

12.一种元件安装装置，其特征在于包括：

基板搬送装置，包含在第一方向上延伸的固定传送带和相对于该固定传送带能够在与所述第一方向正交的第二方向上移动的可动传送带；

安装头，将元件搭载于被所述基板搬送装置搬送到指定的作业位置的基板；以及

权利要求1至11中任一项所述的移动误差检测装置，用于检测所述安装头的移动误差。

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