DE112015006637T5 - Bauteilmontagevorrichtung und Verfahren zur Bauteilmontagebestimmung für eine Bauteilmontagevorrichtung - Google Patents

Bauteilmontagevorrichtung und Verfahren zur Bauteilmontagebestimmung für eine Bauteilmontagevorrichtung Download PDF

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Abstract

Bauteilmontagevorrichtung (100), umfassend einen Montagekopf (42), der ein Bauteil (31) an einer Montageposition (Pa) an einem Substrat (P) montiert, eine Abbildungseinheit (8), die in der Lage ist, die Montageposition von einer Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) abzubilden, deren Abbildungsrichtungen voneinander verschieden sind, und eine Steuerung (9), die ein Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld auswählt, das verwendet wird, um Erfolg oder Misserfolg in Bezug darauf zu bestimmen, ob das Bauteil an der Montageposition montiert worden ist oder nicht, von der Vielzahl von Sichtfeldern gemäß einem Zustand einer Abschirmung (Sa, Sb, Sc, Sd) um die Montageposition herum.

Description

  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bauteilmontagevorrichtung und ein Verfahren zur Bauteilmontagebestimmung für diese Bauteilmontagevorrichtung, und insbesondere eine Bauteilmontagevorrichtung, die in der Lage ist, die Montageposition eines Bauteils an einem Substrat abzubilden und ein Verfahren zur Bauteilmontagebestimmung für diese Bauteilmontagevorrichtung.
  • Allgemeiner Stand der Technik
  • Im Allgemeinen ist eine Bauteilmontagevorrichtung, die in der Lage ist, die Montageposition eines Bauteils an einem Substrat abzubilden, bekannt. Eine solche Bauteilmontagevorrichtung ist beispielsweise in der japanischen Patentoffenlegungsschrift Nr. 2014-93390 offenbart.
  • Die zuvor erwähnte japanischen Patentoffenlegungsschrift Nr. 2014-93390 offenbart eine elektrische Bauteilmontagevorrichtung, umfassend eine Saugdüse, die ein elektronisches Bauteil ansaugt und das angesaugte elektronische Bauteil an einem Substrat montiert, eine Kamera, die die Montageposition an dem Substrat des durch die Saugdüse auf dem Substrat montierten elektronischen Bauteils abbildet, und eine Steuerung, die prüft (bestimmt), ob das elektronische Bauteil normal an der Montageposition montiert worden ist oder nicht, basierend auf einem Bild der Montageposition, das von der Kamera aufgenommen wurde.
  • Stand der Technik
  • Patentdokument
  • Patentdokument 1: Japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. 2014-93390
  • Kurzdarstellung der Erfindung
  • Von der Erfindung zu lösende Aufgabe
  • Bei der in der zuvor erwähnten japanischen Patentoffenlegungsschrift Nr. 2014-93390 offenbarten elektronischen Bauteilmontagevorrichtung schirmt jedoch, wenn eine Abschirmung wie ein weiteres großes elektronisches Bauteil um die Montageposition herum an dem Substrat vorhanden ist, die Abschirmung das Sichtfeld der Kamera ab, und es ist unmöglich, die Montageposition genau abzubilden. In diesem Fall liegt das Problem vor, dass nicht sicher bestimmt werden kann, ob das elektronische Bauteil an der Montageposition montiert worden ist oder nicht.
  • Die vorliegende Erfindung wurde vorgeschlagen, um das zuvor erwähnte Problem zu lösen, und eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Bauteilmontagevorrichtung und ein Verfahren zur Bauteilmontagebestimmung für eine Bauteilmontagevorrichtung bereitzustellen, die jeweils in der Lage sind, sicher zu bestimmen, ob ein Bauteil an einer Montageposition montiert worden ist oder nicht.
  • Mittel zum Lösen der Aufgabe
  • Eine Bauteilmontagevorrichtung gemäß einem ersten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung umfasst einen Montagekopf, der ein Bauteil an einer Montageposition an einem Substrat montiert, eine Abbildungseinheit, die in der Lage ist, die Montageposition von einer Vielzahl von Sichtfeldern abzubilden, deren Abbildungsrichtungen voneinander verschieden sind, und eine Steuerung, die ein Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld von der Vielzahl von Sichtfeldern gemäß einem Zustand einer Abschirmung um die Montageposition herum auswählt, das zur Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung dahingehend verwendet wird, ob das Bauteil an der Montageposition montiert worden ist oder nicht.
  • Bei der Bauteilmontagevorrichtung gemäß dem ersten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ist die Steuerung wie oben beschrieben derart ausgestaltet, dass selbst wenn die Montageposition von einem Sichtfeld aufgrund der Abschirmung nicht genau abgebildet werden kann, die Steuerung als das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld das andere der Vielzahl von Sichtfeldern auswählen kann, das weniger stark durch Abschirmen von der Abschirmung beeinflusst wird als eines der Vielzahl von Sichtfeldern. Folglich kann eine Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung basierend auf einem Abbildungsergebnis von dem Sichtfeld, das weniger stark durch Abschirmen von der Abschirmung beeinflusst wird, ausgeführt werden, und somit kann sicher bestimmt werden, ob das Bauteil an der Montageposition montiert worden ist oder nicht.
  • Bei der zuvor erwähnten Bauteilmontagevorrichtung gemäß dem ersten Gesichtspunkt ist die Steuerung vorzugsweise ausgestaltet, einen Abschirmgrad der Abschirmung in jedem der Vielzahl von Sichtfeldern gemäß dem Zustand der Abschirmung um die Montageposition herum zu erfassen und das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld von der Vielzahl von Sichtfeldern basierend auf dem erfassten Abschirmgrad in jedem der Vielzahl von Sichtfeldern auszuwählen. Bei der vorliegenden Erfindung gibt die Bezeichnung „Abschirmgrad” einen Überbegriff an, umfassend die Größen von Regionen der Vielzahl von Sichtfeldern, die von der Abschirmung abgeschirmt werden, der Prozentsätze der Regionen, die von der Abschirmung abgeschirmt werden etc. Gemäß diesem Aufbau kann das andere der Vielzahl von Sichtfeldern, das weniger stark durch Abschirmen von der Abschirmung beeinflusst wird als eines der Vielzahl von Sichtfeldern, zuverlässig als das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld ausgewählt werden. Folglich kann sicherer bestimmt werden, ob das Bauteil an der Montageposition montiert worden ist oder nicht.
  • In diesem Fall umfasst der Abschirmgrad vorzugsweise einen prozentualen Abschirmanteil, der ein prozentualer Anteil einer Größe eines abgeschirmten Abschnitts des Bauteils ist, der von der Abschirmung abgeschirmt wird, gegenüber einer Gesamtgröße des Bauteils, und die Steuerung ist vorzugsweise ausgestaltet, das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld von der Vielzahl von Sichtfeldern basierend auf dem prozentualen Abschirmanteil in jedem der Vielzahl von Sichtfeldern auszuwählen. Gemäß diesem Aufbau kann das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld unter Berücksichtigung nicht nur der Größe des abgeschirmten Abschnitts, sondern auch der Gesamtgröße des Bauteils, die im Allgemeinen von Typ zu Typ variiert, ausgewählt werden, im Gegensatz zu dem Fall, in dem das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld nur basierend auf der Größe des abgeschirmten Abschnitts ausgewählt wird. Folglich kann der Einfluss des Abschirmens der Abschirmung angemessener bewertet werden, und somit kann das Sichtfeld, das weniger stark durch Abschirmen von der Abschirmung beeinflusst wird, zuverlässiger ausgewählt werden.
  • Bei der zuvor erwähnten Bauteilmontagevorrichtung gemäß dem ersten Gesichtspunkt umfasst die Abschirmung um die Montageposition herum vorzugsweise mindestens eines, das Bauteil, bevor es für die Montage von dem Montagekopf angesaugt wird, das an dem Substrat um die Montageposition herum montierte Bauteil oder den Montagekopf, der das Bauteil angesaugt hat. Gemäß diesem Aufbau kann die Steuerung das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld gemäß dem Zustand des Bauteils, bevor sie für die Montage von dem Montagekopf angesaugt wird, dem an dem Substrat um die Montageposition herum montierten Bauteil oder dem Montagekopf, der das Bauteil angesaugt hat, auswählen, was wahrscheinlich eine Abschirmung ist, die die Sichtfelder abschirmt. Folglich kann die Steuerung zuverlässig als das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld das Sichtfeld, das weniger stark durch Abschirmen von der Abschirmung beeinflusst wird, von der Vielzahl von Sichtfeldern auswählen.
  • Bei der zuvor erwähnten Bauteilmontagevorrichtung gemäß dem ersten Gesichtspunkt ist die Vielzahl von Sichtfeldern, deren Abbildungsrichtungen voneinander verschieden sind, vorzugsweise derart positioniert, dass sich deren Abbildungsrichtungen in voneinander verschiedenen Neigungswinkeln in Bezug auf eine Substratfläche des Substrats befinden, an dem das Bauteil montiert wird. Gemäß diesem Aufbau kann die Montageposition in den verschiedenen Neigungswinkeln abgebildet werden, und somit das Sichtfeld, das weniger stark durch Abschirmen von der Abschirmung beeinflusst wird, in jedem der Vielzahl von Sichtfeldern einfach festgelegt werden.
  • In diesem Fall ist die Vielzahl von Sichtfeldern, deren Abbildungsrichtungen voneinander verschieden sind, vorzugsweise in einer vertikalen Ebene in Bezug auf die Substratfläche benachbart zueinander positioniert. Gemäß diesem Aufbau kann die Vielzahl von Sichtfeldern kompakt positioniert werden im Vergleich zu dem Fall, in dem die Vielzahl von Sichtfeldern in einer Richtung parallel zu der Substratfläche voneinander beabstandet positioniert sind. Folglich kann das Sichtfeld, das weniger stark durch Abschirmen von der Abschirmung beeinflusst wird, in jedem der Vielzahl von Sichtfeldern einfach festgelegt werden, während ein Anstieg der Größe der Abbildungseinheit unterdrückt wird.
  • Bei der zuvor erwähnten Bauteilmontagevorrichtung gemäß dem ersten Gesichtspunkt umfasst die Abbildungseinheit vorzugsweise einen Abbildungsteil, der die Montageposition abbildet, und ein erstes optisches System, das ein Sichtfeld des Abbildungsteils in die Vielzahl von Sichtfeldern aufteilt, deren Abbildungsrichtungen voneinander verschieden sind. Gemäß diesem Aufbau kann, im Gegensatz zu dem Fall, in dem die Vielzahl von Sichtfeldern mit einer Vielzahl von Abbildungsteilen abgebildet wird, die Vielzahl von Sichtfeldern mit dem einzelnen Abbildungsteil abgebildet werden. Folglich kann die Vielzahl von Sichtfeldern abgebildet werden, während eine Verkomplizierung des Aufbaus des Abbildungsteils der Abbildungseinheit unterdrückt wird.
  • In diesem Fall umfasst der Montagekopf vorzugsweise eine Vielzahl von Montageköpfen, das erste optische System der Abbildungseinheit umfasst vorzugsweise eine Vielzahl erster optischer Systeme, die in der Anzahl den Montageköpfen entspricht, und die Abbildungseinheit umfasst überdies vorzugsweise ein zweites optisches System, das das Sichtfeld des Abbildungsteils in jedes der Vielzahl erster optischer Systeme aufteilt. Gemäß diesem Aufbau kann, anders als in dem Fall, in dem die Vielzahl von Sichtfeldern für jeden Montagekopf mit einer Vielzahl von Abbildungsteilen abgebildet wird, die Vielzahl von Sichtfeldern für jeden Montagekopf mit dem einzelnen Abbildungsteil abgebildet werden. Folglich kann die Vielzahl von Sichtfeldern für jeden Montagekopf abgebildet werden, während eine Verkomplizierung des Aufbaus des Abbildungsteils der Abbildungseinheit unterdrückt wird.
  • Bei der zuvor erwähnten Bauteilmontagevorrichtung gemäß dem ersten Gesichtspunkt ist die Steuerung vorzugsweise ausgestaltet, jeweilige aufgenommene Bilder von der Vielzahl von Sichtfeldern von der Abbildungseinheit zu erfassen und, von den erfassten jeweiligen aufgenommenen Bildern von der Vielzahl von Sichtfeldern ein aufgenommenes Bild von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld gemäß dem Zustand der Abschirmung um die Montageposition herum auszuwählen. Gemäß diesem Aufbau kann die Steuerung als das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld das andere von der Vielzahl von Sichtfeldern einfach auswählen, das weniger stark durch Abschirmen von der Abschirmung beeinflusst wird als eines der Vielzahl von Sichtfeldern, und somit kann einfach und sicher bestimmt werden, ob das Bauteil an der Montageposition montiert worden ist, oder nicht.
  • Bei der zuvor erwähnten Bauteilmontagevorrichtung gemäß dem ersten Gesichtspunkt ist die Steuerung vorzugsweise ausgestaltet, zusätzlich zu dem Zustand der Abschirmung um die Montageposition herum, das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld von der Vielzahl von Sichtfeldern gemäß mindestens einem, einem Typ des Bauteils, das an der Montageposition montiert werden soll, oder dem Hintergrund des Bauteils um die Montageposition herum auszuwählen. Gemäß diesem Aufbau kann das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld zusätzlich unter Berücksichtigung von mindestens einem, einem Typ des Bauteils, das an der Montageposition montiert werden soll, oder einem Hintergrund des Bauteils um die Montageposition herum ausgewählt werden, und somit kann das Sichtfeld, das weniger stark durch Abschirmen von der Abschirmung beeinflusst wird, von dem mehr Merkmale des Bauteils abgebildet werden können, einfach ausgewählt werden.
  • Bei der zuvor erwähnten Bauteilmontagevorrichtung gemäß dem ersten Gesichtspunkt ist die Abbildungseinheit vorzugsweise ausgestaltet, die Montageposition vor dem Montieren des Bauteils und die Montageposition nach dem Montieren des Bauteils von jedem der Vielzahl von Sichtfeldern abzubilden, und die Steuerung ist vorzugsweise ausgestaltet, die Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung basierend auf einem aufgenommenen Bild der Montageposition vor dem Montieren des Bauteils von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld und einem aufgenommenen Bild der Montageposition nach dem Montieren des Bauteils von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld, welche beide von jeweiligen aufgenommenen Bildern von der Vielzahl von Sichtfeldern ausgewählt wurden, auszuführen. Gemäß diesem Aufbau kann die Steuerung die Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung basierend auf den ausgewählten aufgenommenen Bildern der Montageposition vor und nach dem Montieren des Bauteils von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld einfach ausführen.
  • Bei der zuvor erwähnten Bauteilmontagevorrichtung gemäß dem ersten Gesichtspunkt ist die Steuerung vorzugsweise ausgestaltet, eine Höhe einer Substratfläche des Substrats in Bezug auf eine Referenzfläche basierend auf einem aufgenommenen Bild der Montageposition von jedem der Vielzahl von Sichtfeldern zu erfassen, und eine Bestimmungsregion, die für die Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung verwendet wird, in einem aufgenommenen Bild von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld basierend auf der erfassten Höhe der Substratfläche zu korrigieren. Gemäß diesem Aufbau kann die Steuerung, selbst wenn sich die Höhe der Substratfläche des Substrats in Bezug auf die Referenzfläche beispielsweise aufgrund von Verformung des Substrats verändert, die Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung durch Korrigieren der Bestimmungsregion angemessen ausführen.
  • Ein Verfahren zur Bauteilmontagebestimmung gemäß einem zweiten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung umfasst das Montieren, durch einen Montagekopf, eines Bauteils an einer Montageposition an einem Substrat, das Abbilden, durch eine Abbildungseinheit, der Montageposition von einer Vielzahl von Sichtfeldern, deren Abbildungsrichtungen voneinander verschieden sind, und das Auswählen, durch eine Steuerung, eines Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfelds, das verwendet wird, um Erfolg oder Misserfolg in Bezug darauf zu bestimmen, ob das Bauteil an der Montageposition montiert worden ist oder nicht, von der Vielzahl von Sichtfeldern gemäß einem Zustand einer Abschirmung um die Montageposition herum.
  • Das Verfahren zur Bauteilmontagebestimmung gemäß dem zweiten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung umfasst den von der Steuerung durchgeführten, oben beschriebenen Schritt, derart, dass sicher bestimmt werden kann, ob das Bauteil an der Montageposition montiert worden ist oder nicht, ähnlich dem Fall der zuvor erwähnten Bauteilmontagevorrichtung gemäß dem ersten Gesichtspunkt.
  • Wirkung der Erfindung
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung, wie oben beschrieben, können die Bauteilmontagevorrichtung und das Verfahren zur Bauteilmontagebestimmung für eine Bauteilmontagevorrichtung bereitgestellt werden, die jeweils in der Lage sind, sicher zu bestimmen, ob das Bauteil an der Montageposition montiert worden ist oder nicht.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Es zeigen:
  • 1 Eine Grafik, die die Gesamtstruktur einer Bauteilmontagevorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • 2 Eine schematische Ansicht einer Kopfeinheit und einer Abbildungseinheit der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, gesehen von der Seite.
  • 3 Eine schematische perspektivische Ansicht zum Veranschaulichen der Gesamtstruktur der Abbildungseinheit der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 4 Eine Grafik zum Veranschaulichen eines Abbildungsstatus vor dem Montieren eines Bauteils und eines Abbildungsstatus nach dem Montieren des Bauteils durch die Abbildungseinheit der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 5 Eine Grafik zum Veranschaulichen eines aufgenommenen Bilds, das von einem ersten Sichtfeld und einem zweiten Sichtfeld der Abbildungseinheit der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung aufgenommen worden ist.
  • 6 Eine Grafik zum Veranschaulichen eines Berechnungsverfahrens für einen prozentualen Ansaugbauteilabschirmanteil, der zum Auswählen eines Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfelds in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zu berechnen ist.
  • 7 Eine Grafik zum Veranschaulichen eines Berechnungsverfahrens für einen prozentualen Nahseitenbauteilabschirmanteil, der zum Auswählen eines Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfelds in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zu berechnen ist.
  • 8 Eine Grafik zum Veranschaulichen eines Berechnungsverfahrens für einen prozentualen Düsenabschirmanteil, der zum Auswählen eines Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfelds in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zu berechnen ist.
  • 9 Eine Grafik zum Veranschaulichen eines weiteren Beispiels eines Berechnungsverfahrens für einen prozentualen Düsenabschirmanteil, der zum Auswählen eines Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfelds in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zu berechnen ist.
  • 10 Eine Grafik zum Veranschaulichen des Zustands eines Bestimmungsrahmens vor der Korrektur und des Zustands des Bestimmungsrahmens nach der Korrektur in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 11 Eine Grafik zum Veranschaulichen eines Berechnungsverfahrens durch Stereoabgleich für eine Substratflächenhöhe, die zu berechnen ist, um den Bestimmungsrahmen in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zu korrigieren.
  • 12 Ein Flussdiagramm zum Veranschaulichen der Montageerfolgs- oder -misserfolgsbestimmungsverarbeitung in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Ausführungsformen der Erfindung
  • Nachstehend wird eine die vorliegende Erfindung darstellende Ausführungsform basierend auf den Zeichnungen beschrieben.
  • [Vorliegende Ausführungsform]
  • (Aufbau der Bauteilmontagevorrichtung)
  • Der Aufbau einer Bauteilmontagevorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nachfolgend mit Bezug auf 1 und 2 beschrieben.
  • Wie in 1 gezeigt, ist die Bauteilmontagevorrichtung 100 eine Bauteilmontagevorrichtung, die ein Substrat P durch ein Paar Fördermittel 2 von einer X1-Seite zu einer X2-Seite befördert und Bauteile 31 an dem Substrat P an einer Montagevorgangsposition M montiert.
  • Die Bauteilmontagevorrichtung 100 umfasst eine Basis 1, das Paar von Fördermitteln 2, Bauteilförderer 3, eine Kopfeinheit 4, einen Träger 5, ein Schienenpaar 6, eine Bauteilerkennungskamera 7, eine Abbildungseinheit 8 und eine Steuerung 9.
  • Das Paar von Fördermitteln 2 ist auf der Basis 1 installiert und ausgestaltet, das Substrat P in einer Richtung X zu befördern. Zusätzlich ist das Paar von Fördermitteln 2 ausgestaltet, das beförderte Substrat P in einem angehaltenen Zustand an der Montagevorgangsposition M zu halten. Überdies ist das Paar von Fördermitteln 2 derart ausgestaltet, dass ein Zwischenraum dazwischen in einer Y-Richtung gemäß den Abmessungen des Substrats P angepasst werden kann.
  • Die Bauteilförderer 3 sind auf beiden Außenseiten (Y1- und Y2-Seiten) in Bezug auf das Paar von Fördermitteln 2 angeordnet. Eine Vielzahl von Bandförderern 3a sind an den Bauteilförderern 3 angebracht.
  • Die Bandförderer 3a halten Rollen (nicht gezeigt), auf die Bänder aufgerollt sind, die eine Vielzahl von Bauteilen 31 mit einem vorbestimmten Zwischenraum halten. Die Bandförderer 3a sind ausgestaltet, die Bauteile 31 von den Spitzen der Bandförderer 3a durch Drehen der Rollen zum Zuführen der Bänder, die die Bauteile 31 halten, zuzuführen. Hier sind unter dem Begriff „Bauteile 31” elektronische Bauteile wie ICs, Transistoren, Kondensatoren und Widerstände zu verstehen.
  • Die Kopfeinheit 4 ist über dem Paar von Fördermitteln 2 und den Bauteilförderern 3 angeordnet und umfasst eine Vielzahl von (fünf) Montageköpfen 42, umfassend Düsen 41 (siehe 2) an ihren unteren Enden, und eine Substraterkennungskamera 43.
  • Die Montageköpfe 42 sind ausgestaltet, nach oben und nach unten beweglich zu sein, und sind ausgestaltet, die Bauteile 31, die von den Bandförderern 3a zugeführt werden, durch Unterdruck, der an den Spitzen der Düsen 41 von einem Unterdruckgenerators (nicht gezeigt) erzeugt wird, anzusaugen und zu halten, und die Bauteile 31 an Montagepositionen Pa (siehe 2) an dem Substrat P zu montieren.
  • Die Substraterkennungskamera 43 ist ausgestaltet, Vergleichsmarkierungen F des Substrats P abzubilden, um die Position des Substrats P zu erkennen. Die Positionen der Vergleichsmarkierungen F werden derart abgebildet und erkannt, dass die Montagepositionen Pa der Bauteile 31 an dem Substrat P genau erfasst werden können.
  • Der Träger 5 umfasst einen Motor 51. Der Träger 5 ist ausgestaltet, die Kopfeinheit 4 durch Antreiben des Motors 51 in die X-Richtung entlang dem Träger 5 zu bewegen. Beide Enden des Trägers 5 werden von dem Schienenpaar 6 gestützt.
  • Das Schienenpaar 6 ist an der Basis 1 befestigt. Eine Schiene 6 auf der X1-Seite umfasst einen Motor 61. Die Schienen 6 sind ausgestaltet, den Träger 5 durch Antreiben des Motors 61 senkrecht zur X-Richtung entlang dem Schienenpaar 6 zu bewegen. Die Kopfeinheit 4 ist in der X-Richtung entlang dem Träger 5 beweglich, und der Träger 5 ist in der Y-Richtung entlang den Schienen 6 beweglich, derart, dass die Kopfeinheit 4 in den X- und Y-Richtungen beweglich ist.
  • Die Bauteilerkennungskamera 7 ist an der oberen Fläche der Basis 1 befestigt. Die Bauteilerkennungskamera 7 ist ausgestaltet, die Bauteile 31 abzubilden, die von den Düsen 41 der Montageköpfe 42 von der Unterseite (Z2-Seite) angesaugt werden, um die Ansaugzustände (Ansaugverhalten) der Bauteile 31 vor dem Montieren der Bauteile 31 zu erkennen. Somit kann die Steuerung 9 die Ansaugzustände der Bauteile 31, die von den Düsen 41 der Montageköpfe 42 angesaugt werden, erfassen.
  • Die Abbildungseinheit 8 ist an der Kopfeinheit 4 mittels eines Abbildungseinheitträgers 8a montiert. Somit ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, sich zusammen mit der Kopfeinheit 4 in die X- und Y-Richtungen zu bewegen, wenn die Kopfeinheit 4 sich in die X- und Y-Richtungen bewegt. Überdies, wie in 2 gezeigt, ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, eine Montageposition Pa von einem ersten Sichtfeld V1 und einem zweiten Sichtfeld V2 abzubilden, deren Abbildungsrichtungen voneinander verschieden sind, damit die Steuerung 9 eine Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung ausführen kann, ob ein Bauteil 31 normal an der Montageposition Pa montiert worden ist oder nicht. Das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2 sind Sichtfelder, von denen eine vorbestimmte Region, umfassend die Montageposition Pa, abgebildet werden kann. Der Aufbau dieser Abbildungseinheit 8 wird weiter unten ausführlich beschrieben.
  • Wie in 1 gezeigt, umfasst die Steuerung 9 eine CPU und ist ausgestaltet, den allgemeinen Betrieb der Bauteilmontagevorrichtung 100 zu steuern, wie einen Vorgang des Beförderns des Substrats P, der von dem Paar von Fördermitteln 2 durchgeführt wird, einen Montagevorgang, der von der Kopfeinheit 4 durchgeführt wird, und Abbildungsvorgänge, die von der Bauteilerkennungskamera 7 und der Abbildungseinheit 8 durchgeführt werden.
  • (Aufbau der Abbildungseinheit)
  • Der Aufbau der Abbildungseinheit 8 wird im Folgenden mit Bezug auf 2 bis 5 ausführlich beschrieben.
  • Wie in 2 und 3 gezeigt, umfasst die Abbildungseinheit 8 eine Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81, ein optisches System 82, eine Vielzahl von (fünf) optischen Systemen 83 und Beleuchtungsteile 84. Die Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 ist ein Beispiel eines „Abbildungsteils” der vorliegenden Erfindung. Das optische System 82 und die optischen Systeme 83 sind Beispiele eines „zweiten optischen Systems” bzw. eines „ersten optischen Systems” der vorliegenden Erfindung.
  • Die Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 umfasst ein Abbildungselement 81a und eine Linse 81b. Die Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 ist ausgestaltet, ein Objekt wie die Montageposition Pa abzubilden, indem Licht, das durch die Linse 81b einfällt, durch das Abbildungselement 81a in ein elektrisches Signal umgewandelt wird.
  • Wie in 3 gezeigt umfasst das optische System 82 eine Vielzahl von Spiegeln 82a. Das optische System 82 ist ausgestaltet, das Sichtfeld der Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 in jede der Vielzahl von (fünf) optischen Systemen 83 aufzuteilen, indem ein optischer Weg durch die Vielzahl von Spiegeln 82a verändert wird. Die Vielzahl von Spiegeln 82a sind so angeordnet, dass die optischen Weglängen von optischen Wegen von der Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 zu den optischen Systemen 83 im Wesentlichen gleich sind. Somit kann ein klares Bild mit wenig Unschärfe einfach aufgenommen werden, selbst wenn das Objekt von irgendeinem der optischen Wege abgebildet wird.
  • Die Vielzahl von (fünf) optischen Systemen 83 entspricht in Anzahl der Vielzahl von (fünf) Montageköpfen 42. Jedes der Vielzahl von optischen Systemen 83 umfasst ein Prisma 83a und ein Paar von Spiegeln 83b. Wie in 2 gezeigt, sind die optischen Systeme 83 jeweils ausgestaltet, das Sichtfeld der Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81, das von dem ersten optischen System in das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2 aufgeteilt ist, durch das Prisma 83a weiter aufzuteilen. Die optischen Systeme 83 sind jeweils ausgestaltet, durch jedes der Spiegelpaare 83b, die optischen Wege des ersten Sichtfelds V1 und des zweiten Sichtfelds V2, die von dem Prisma 83a aufgeteilt werden, zu Winkeln zu ändern, an denen die Montageposition Pa abgebildet werden kann.
  • Insbesondere ist in jedem der optischen Systeme 83 ein Spiegel 83b an der Oberseite (Z1-Seite) derart angeordnet, dass er den optischen Weg des ersten Sichtfelds V1 derart ändert, dass die Montageposition Pa von einer Abbildungsrichtung mit einem Neigungswinkel θH (0 Grad < θH < 90 Grad) in Bezug auf eine Substratfläche Pb des Substrats P, an dem das Bauteil 31 montiert wird, abgebildet werden kann. Überdies ist in jedem der optischen Systeme 83 ein Spiegel 83b an der Unterseite (Z2-Seite) derart angeordnet, dass er den optischen Weg des zweiten Sichtfelds V2 derart ändert, dass die Montageposition Pa von einer Abbildungsrichtung mit einem Neigungswinkel θL (0 Grad < θL < θH) in Bezug auf eine Substratfläche Pb des Substrats P, an dem das Bauteil 31 montiert wird, abgebildet werden kann.
  • Folglich sind das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2 derart positioniert, dass deren Abbildungsrichtungen voneinander verschiedene Neigungswinkel (θH und θL) in Bezug auf die Substratfläche Pb aufweisen. Überdies sind das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2, die voneinander verschiedene Neigungswinkel aufweisen, in einer vertikalen Ebene (in einer YZ-Ebene) benachbart zueinander positioniert, umfassend die Montageposition Pa in Bezug auf die Substratfläche Pb. Das erste Sichtfeld V1 ist ein Sichtfeld, in dem die Montageposition Pa von der Oberseite (Z1-Seite) (höhere Position) abgebildet werden kann, und das zweite Sichtfeld V2 ist ein Sichtfeld, in dem die Montageposition Pa von der Unterseite (untere Position) im Vergleich zu dem ersten Sichtfeld V1 abgebildet werden kann.
  • Ein Satz von (drei) Beleuchtungsteilen 84 ist für jede der Vielzahl von optischen Systemen 83 vorgesehen. Überdies umfassen die Beleuchtungsteile 84 jeweils eine Lichtquelle wie eine LED (Leuchtdiode), und sind ausgestaltet, die Montageposition Pa zu dem Zeitpunkt zu beleuchten, wenn die Montageposition Pa von der Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 abgebildet wird. In 3 sind die Beleuchtungsteile 84 nicht dargestellt.
  • Mit diesen Ausgestaltungen kann die Abbildungseinheit 8 die Montageposition Pa von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 für jeden der Montageköpfe 42 aus schrägen Richtungen mit den Neigungswinkeln θH und θL in Bezug zu der Substratfläche Pb durch die einzelne Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 abbilden.
  • Wie in 4 gezeigt, ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, eine vorbestimmte Region (gezeigt durch eine Strichlinie) abzubilden, umfassend die Montageposition Pa vor dem Montieren des Bauteils 31, und eine vorbestimmte Region (gezeigt durch eine Strichlinie), umfassend die Montageposition Pa nach dem Montieren des Bauteils 31, von jedem, dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2, damit die Steuerung 9 eine Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung ausführen kann, ob das Bauteil 31 normal an der Montageposition Pa montiert worden ist oder nicht. In 4 ist für die Zweckmäßigkeit der Darstellung eines von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 dargestellt.
  • Insbesondere ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, die vorbestimmte Region, umfassend die Montageposition Pa vor dem Montieren des Bauteils 31, von jedem, dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2, abzubilden, wenn ein Montagekopf 42 das Bauteil 31 ansaugt und sich vor dem Montieren des angesaugten Bauteils 31 an der Montageposition Pa an dem Substrat P zu der Montageposition Pa hinunter bewegt. Überdies ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, die vorbestimmte Region, umfassend die Montageposition P, nach dem Montieren des Bauteils 31, abzubilden, wenn der Montagekopf 42 sich nach dem Montieren des angesaugten Bauteils 31 an der Montageposition Pa an dem Substrat P von der Montageposition Pa hoch bewegt. Somit kann die vorbestimmte Region, umfassend die Montageposition Pa, vor und nach dem Montieren während Aufwärts- und Abwärtsbewegung des Montagekopfs 42 abgebildet werden, und so das Auftreten eines Taktverlusts aufgrund eines Abbildens zur Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung unterdrückt werden, im Gegensatz zu dem Fall, in dem der Montagekopf 42 gestoppt wird, um die vorbestimmte Region, umfassend die Montageposition Pa, vor und nach dem Montieren abzubilden. In diesem Fall ist die Abbildungseinheit 8, wie in 5 gezeigt, ausgestaltet, Bilder von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 zu einem Zeitpunkt (gleichzeitig) aufzunehmen. In 5 ist ein aufgenommenes Bild der vorbestimmten Region, umfassend die Montageposition Pa, nach dem Montieren des Bauteils 31, gezeigt.
  • (Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung für montierte Bauteile)
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Steuerung 9 ausgestaltet, ein Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld, das zur Bestimmung verwendet wird, ob das Bauteil 31 normal an der Montageposition Pa montiert worden ist oder nicht, von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 gemäß der Zustände der Abschirmungen Sa bis Sd (siehe 6 bis 9) um die Montageposition Pa herum auszuwählen.
  • Insbesondere ist die Steuerung 9 ausgestaltet, von der Abbildungseinheit 8 ein Abbildungsergebnis von dem ersten Sichtfeld V1 und ein Abbildungsergebnis von dem zweiten Sichtfeld V2 zu erfassen, und ein Abbildungsergebnis von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld von dem erfassten Abbildungsergebnis von dem ersten Sichtfeld V1 und dem erfassten Abbildungsergebnis von dem zweiten Sichtfeld V2 gemäß den Zuständen der Abschirmungen Sa bis Sd (siehe 6 bis 9) um die Montageposition Pa herum auszuwählen.
  • Wie in 6 gezeigt, ist die Abschirmung Sa ein Bauteil 31 (angesaugtes Bauteil) vor dem Montieren, das von dem Montagekopf 42 angesaugt wird. Wie in 7 gezeigt, ist die Abschirmung Sb ein Bauteil 31 (Nahseitenbauteil), das bereits an dem Substrat P um die Montageposition Pa montiert worden ist. Wie in 8 und 9 gezeigt, sind die Abschirmung Sc und die Abschirmung Sd jeweils die Düse 41 des Montagekopfs 42, der das Bauteil 31 angesaugt hat.
  • Die Steuerung 9 ist ausgestaltet, eine Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung basierend auf dem aufgenommenen Bild der vorbestimmten Region, umfassend die Montageposition Pa, vor dem Montieren des Bauteils 31 von dem ausgewählten Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld, und des aufgenommenen Bilds der vorbestimmten Region, umfassend die Montageposition Pa, nach dem Montieren des Bauteils 31, auszuführen. Insbesondere ist, wie in 4 gezeigt, die Steuerung 9 ausgestaltet, einen Bestimmungsrahmen D festzulegen (gezeigt durch eine Zweipunkt-Strichpunktlinie), der zur Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung in den aufgenommenen Bildern der vorbestimmten Region, umfassend die Montageposition Pa, verwendet wird, um ein Differenzbild zwischen dem aufgenommenen Bild vor dem Montieren des Bauteils 31 in dem festgelegten Bestimmungsrahmen D und dem aufgenommenen Bild nach dem Montieren des Bauteils 31 in dem festgelegten Bestimmungsrahmen D zu erzeugen, und um basierend auf dem erzeugten Differenzbild eine Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung auszuführen. Der Bestimmungsrahmen D ist ein Beispiel einer „Bestimmungsregion” in der vorliegenden Erfindung.
  • (Erfassen des Abschirmgrads)
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Steuerung 9 ausgestaltet, die Abschirmgrade der Abschirmungen Sa bis Sd in jedem von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 gemäß der Zustände der Abschirmungen Sa bis Sd um die Montageposition Pa herum zu erfassen und ein Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld, das weniger stark durch Abschirmen von der Abschirmung beeinflusst wird, von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 auszuwählen, basierend auf den erfassten Abschirmgraden.
  • Ein Verfahren zum Erfassen des Abschirmgrads jeder der Abschirmungen Sa bis Sd in jedem von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 wird nachfolgend mit Bezug auf die 6 bis 8 beschrieben. Hier wird ein Verfahren zum Erfassen, als Abschirmgrad, eines prozentualen Anteils (prozentualer Abschirmanteil = Bauteilabschirmabschnittlänge/Gesamtbauteillänge × 100 (%)) der Größe eines abgeschirmten Abschnitts (Bauteilabschirmabschnittlänge) des Bauteils 31 nach dem Montieren, der von jeder der Abschirmungen Sa bis Sd abgeschirmt wird, wenn die Abschirmungen Sa bis Sd vorhanden sind, und das Sichtfeld (das erste Sichtfeld V1 oder das zweite Sichtfeld V2) von jeder der Abschirmungen Sa bis Sd in Bezug auf die Gesamtgröße (Gesamtlänge des Bauteils) des Bauteils 31 nach dem Montieren abgeschirmt wird, der in der Lage ist, von der Abbildungseinheit 8 abgebildet zu werden, wenn das Sichtfeld (das erste Sichtfeld V1 oder das zweite Sichtfeld V2) von keinem der beschriebenen Abschirmungen Sa bis Sd abgeschirmt wird, beschrieben. In der Beschreibung von 6 bis 8 werden das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2 einfach als das Sichtfeld beschrieben, und der Neigungswinkel θH (siehe 2) des ersten Sichtfelds V1 und der Neigungswinkel θL (siehe 2) des zweiten Sichtfelds V2 werden einfach als θ beschrieben.
  • <Erfassen des prozentualen Ansaugbauteilabschirmanteils>
  • Zunächst wird die Abschirmung Sa, die ein Bauteil 31 (angesaugtes Bauteil) ist, bevor es für die Montage von dem Montagekopf 42 angesaugt wird, mit Bezug auf 6 beschrieben. Im Fall der Abschirmung Sa (angesaugtes Bauteil) ist ein Abschnitt des Sichtfelds, das zur Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung verwendet wird, zu dem Zeitpunkt, wenn ein Bild, das vor dem Montieren aufgenommen werden soll, aufgenommen wird, teilweise (d. h., eine Bauteilabschirmabschnittlänge Xi) von der Abschirmung Sa abgeschirmt. In diesem Fall kann ein prozentualer Ansaugbauteilabschirmanteil wie nachfolgend beschrieben berechnet (erfasst) werden.
  • Das heißt, die Abbildungshöhe des Bauteils 31 (Abschirmung Sa) wird zu dem Zeitpunkt des Abbilden durch die Abbildungseinheit 8 vor dem Montieren auf h festgelegt, die Bauteildicke des Bauteils 31 in einer Z-Richtung wird auf t festgelegt, die Bauteilbreite des Bauteils in der Y-Richtung wird auf y festgelegt, und der Abbildungswinkel (Neigungswinkel) der Abbildungseinheit 8 wird auf θ festgelegt (θ = θH oder θL). Entsprechend kann eine obere sichtbare Abschnittslänge yp von dem folgenden Rechenausdruck (1) erhalten werden. yp = (h – t)/tanθ (1)
  • Dann kann, unter Verwendung der oberen sichtbaren Abschnittslänge yp, die von dem Rechenausdruck (1) erhalten wird, die Bauteilabschirmabschnittlänge Xi von dem folgenden Rechenausdruck (2) erhalten werden. Xi = (y – yp) × sinθ (2)
  • Überdies kann eine Gesamtlänge des Bauteils Xt von dem folgenden Rechenausdruck (3) erhalten werden. Xt = y × sinθ + t × cosθ (3)
  • Folglich kann der prozentuale Ansaugbauteilabschirmanteil X (%) aufgrund der Abschirmung Sa (angesaugtes Bauteil) von dem folgenden Rechenausdruck (4) erhalten werden. X = Xi/Xt × 100 (4)
  • <Erfassen des prozentualen Nahseitenbauteilabschirmanteils>
  • Als nächstes wird die Abschirmung, die ein Bauteil 31 (Nahseitenbauteil) ist, die bereits an dem Substrat P um die Montageposition Pa herum montiert worden ist, mit Bezug auf 7 beschrieben. Im Fall der Abschirmung Sb (Nahseitenbauteil) ist ein Abschnitt des Sichtfelds, das zur Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung verwendet wird, zu dem Zeitpunkt, wenn ein Bild, das vor dem Montieren aufgenommen werden soll, aufgenommen wird, und zu dem Zeitpunkt, wenn ein Bild, das nach dem Montieren aufgenommen werden soll, aufgenommen wird, teilweise (d. h., ein Abschnitt einer Bauteilabschirmabschnittlänge Yi) von der Abschirmung Sb abgeschirmt. In diesem Fall kann ein prozentualer Nahseitenbauteilabschirmanteil wie nachfolgend beschrieben berechnet (erfasst) werden.
  • Das heißt, die Bauteildicke der Abschirmung Sb (Nahseitenbauteil) in der Z-Richtung ist auf ta festgelegt, und eine Bauteil-Bauteilspaltlänge zwischen dem montierten Bauteil 31 und der Abschirmung Sb (Nahseitenbauteil) ist auf c festgelegt. Entsprechend kann die Bauteilabschirmabschnittlänge Yi von dem folgenden Rechenausdruck (5) erhalten werden. Dieselben Werte wie in 6 werden durch dieselben Bezugszeichen bezeichnet, wobei auf ihre Beschreibung verzichtet wird. Yi = (ta – c × tanθ) × cosθ (5)
  • Überdies kann eine Gesamtlänge des Bauteils Yt von dem folgenden Rechenausdruck (6) erhalten werden. Yt = y × sinθ + t × cosθ (6)
  • Folglich kann der prozentuale Nahseitenbauteilabschirmanteil Y(%) aufgrund der Abschirmung Sb (Nahseitenbauteil) von dem folgenden Rechenausdruck (7) erhalten werden. Y = Yi/Yt × 100 (7)
  • <Erfassen des prozentualen Düsenabschirmanteils>
  • Als nächstes werden die Abschirmungen Sc und Sd, die jeweils die Düse 41 des Montagekopfs 42 sind, der das Bauteil 31 angesaugt hat, mit Bezug auf die 8 und 9 beschrieben. In 8 und 9 wird für die Zweckmäßigkeit die Ansaugpositionsabweichung des angesaugten Bauteils 31 in Bezug auf die Düse 41 in übertriebener Weise gezeigt. Im Fall der Abschirmung Sc (Düse), der in 8 gezeigt wird, ist, wenn das Bauteil 31 angesaugt wird, während sie von der Düsenmitte zum Zeitpunkt des Ansaugens abweicht, ein Abschnitt des Sichtfelds, das zur Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung verwendet wird, zu dem Zeitpunkt, wenn ein Bild, das vor dem Montieren aufgenommen werden soll, aufgenommen wird, teilweise (d. h., ein Abschnitt einer Bauteilabschirmabschnittlänge Zi) von der Abschirmung Sc (Düse) abgeschirmt. In diesem Fall kann ein prozentualer Düsenabschirmanteil wie nachfolgend beschrieben berechnet (erfasst) werden.
  • Das heißt, eine Düsenflanschhöhe eines Flanschs der Düse 41 zum Zeitpunkt des Abbildens durch die Abbildungseinheit 8 wird vor dem Montieren auf h_nu festgelegt, die Ansaugabweichung des Bauteils 31 in Y-Richtung wird auf d festgelegt, und eine Düsenmitte-Düsenflanschlänge von der Mitte der Düse 41 bis zu einem Ende des Flanschs der Düse 41 auf der Y2-Seite wird auf a festgelegt. Entsprechend kann eine obere sichtbare Abschnittslänge zp von dem folgenden Rechenausdruck (8) erhalten werden. Dieselben Werte wie in 6 werden durch dieselben Bezugszeichen bezeichnet, wobei auf ihre Beschreibung verzichtet wird. zp = (h_nu – t)/tanθ (8)
  • Überdies kann eine Bauteilende-Düsenflanschlänge L von einem Ende de Bauteils 31 auf der Y1-Seite bis zu dem Ende des Flanschs der Düse 41 auf der Y2-Seite von dem folgenden Rechenausdruck (9) erhalten werden. L = (y/2) + d + a (9)
  • Dann kann, unter Verwendung der oberen sichtbaren Abschnittslänge zp, die von dem Rechenausdruck (8) erhalten wird, und der Bauteilende-Düsenflanschlänge L, die von dem Rechenausdruck (9) erhalten wird, die Bauteilabschirmabschnittlänge Zi von dem folgenden Rechenausdruck (10) erhalten werden. Zi = (L – zp) × sinθ (10)
  • Überdies kann eine Gesamtlänge des Bauteils Zt von dem folgenden Rechenausdruck (11) erhalten werden. Zt = y × sinθ + t × cosθ (11)
  • Folglich kann der prozentuale Düsenabschirmanteil Z(%) aufgrund der Abschirmung Sc (Düse) von dem folgenden Rechenausdruck (12) erhalten werden. Z = Zi/Zt × 100 (12)
  • <Weiteres Beispiel zum Erfassen des prozentualen Düsenabschirmanteils>
  • Auch in dem Fall, in dem das Sichtfeld durch den Flansch der Abschirmung Sc (Düse) in 8 dargestellt ist, ist das Sichtfeld möglicherweise durch die Spitze der Düse 41 als die in 9 gezeigte Abschirmung Sd abgeschirmt, abhängig von der Form der Düse 41. In diesem Fall wird eine Düseneckenhöhe bis zu einer Ecke der Spitze der Düse 41 zum Zeitpunkt des Abbildens durch die Abbildungseinheit 8 vor dem Montieren auf h_nb festgelegt, und h_nu in den zuvor erwähnten Rechenausdrücken (8) bis (12) wird durch h_nb ersetzt. Somit können eine obere sichtbare Abschnittslänge zp, eine Düsenmitte-Düseneckenlänge L, eine Bauteilabschirmabschnittlänge Zi, eine Bauteilgesamtlänge Zt und ein prozentualer Düsenabschirmanteil Z in dem Fall, in dem das Sichtfeld von der Spitze der Düse 41 abgeschirmt wird, erhalten werden.
  • Die Steuerung 9 ist in der obigen Weise ausgestaltet, um den prozentualen Abschirmanteil (prozentualer Ansaugbauteilabschirmanteil X) in dem ersten Sichtfeld (dem ersten Sichtfeld und dem zweiten Sichtfeld) aufgrund der Abschirmung Sa, den prozentualen Abschirmanteil (prozentualer Nahseitenbauteilabschirmanteil Y) in dem Sichtfeld aufgrund der Abschirmung Sb, und den prozentualen Abschirmanteil (prozentuale Düsenabschirmanteil Z) in dem Sichtfeld aufgrund der Abschirmung Sc oder Sd zu erfassen. Überdies ist die Steuerung 9 ausgestaltet, von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 basierend auf den prozentualen Abschirmanteilen, das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld auszuwählen, das weniger stark durch Abschirmen von den Abschirmungen Sa bis Sd beeinflusst wird.
  • gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Steuerung 9 ausgestaltet, das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2, zusätzlich zu den erfassten prozentualen Abschirmanteilen, basierend auf dem Typ des Bauteils 31, das an der Montageposition Pa montiert werden soll, und dem Hintergrund (der Substratfläche Pb des Substrats P) des Bauteils 31 um die Montageposition Pa herum auszuwählen. Somit kann das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld, das weniger stark durch Abschirmen von den Abschirmungen Sa bis Sd beeinflusst wird, von dem mehr Merkmale des Bauteils 31 abgebildet werden können, ausgewählt werden.
  • (Korrektur des Bestimmungsrahmens)
  • Wie oben beschrieben, legt die Steuerung 9 den Bestimmungsrahmen D fest (siehe 4), der zur Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung in den aufgenommenen Bildern der vorbestimmten Region, umfassend die Montageposition Pa, verwendet wird, und erzeugt das Differenzbild zwischen dem aufgenommenen Bild vor dem Montieren des Bauteils 31 in dem festgelegten Bestimmungsrahmen D und dem aufgenommenen Bild nach dem Montieren des Bauteils 31 in dem festgelegten Bestimmungsrahmen D, wenn sie eine Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung ausführt.
  • Zu diesem Zeitpunkt weicht die Montageposition Pa möglicherweise positionell in Bezug auf den Bestimmungsrahmen D ab, wenn die Höhenposition der Substratfläche Pb aufgrund von Verformung (Verformung nach oben, Verformung nach unten) des Substrats P verändert wird oder wenn beispielsweise eine Ansaugabweichung in dem Bauteil 31 vorliegt, die von der Düse 41 des Montagekopfs 42 angesaugt wird.
  • Daher ist, gemäß der vorliegenden Ausführungsform, wie in 10 gezeigt, die Steuerung 9 ausgestaltet, die Position des Bestimmungsrahmens D in dem aufgenommenen Bild von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld basierend auf der Höhe (die in 11 gezeigte Substratflächenhöhe hp) der Substratfläche Pb und der Ansaugabweichung des Bauteils 31 zu korrigieren, um die Montageposition Pa von dem Bestimmungsrahmen D zu umfassen. Überdies ist die Steuerung 9 ausgestaltet, ein Differenzbild zwischen dem aufgenommenen Bild vor dem Montieren des Bauteils 31 in dem korrigierten Bestimmungsrahmen D und dem aufgenommenen Bild nach dem Montieren des Bauteils 31 in dem korrigierten Bestimmungsrahmen D zu erzeugen und basierend auf dem erzeugten Differenzbild eine Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung auszuführen.
  • <Erfassen der Substrathöhe>
  • Die Steuerung 9 ist ausgestaltet, die Höhe der Substratfläche Pb des Substrats P in Bezug auf eine Referenzfläche Ps (siehe 11) durch Stereoabgleich basierend auf dem aufgenommenen Bild von dem ersten Sichtfeld V1 und dem aufgenommenen Bild von dem zweiten Sichtfeld V2 zu erfassen.
  • Insbesondere wird zuerst ein Objekt (eine vorbestimmte Position an der Substratfläche Ps) in dem Neigungswinkel θH von dem ersten Sichtfeld V1 abgebildet, und das Objekt wird in dem Neigungswinkel θL von dem zweiten Sichtfeld V2 abgebildet, wie in 11 gezeigt. Dann wird zwischen dem aufgenommenen Bild von dem ersten Sichtfeld V1 und dem aufgenommenen Bild von dem zweiten Sichtfeld V2 ein Stereoabgleich durchgeführt, sodass eine Parallaxe p (Pixel) zwischen dem aufgenommenen Bild von dem ersten Sichtfeld V1 und dem aufgenommenen Bild von dem zweiten Sichtfeld V2 erhalten wird. Dann kann, unter der Annahme, dass die Kameraauflösung der Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 R (μm/Pixel) ist, ein Abstand A (μm) von dem folgenden Rechenausdruck (13) erhalten werden. A = p × R/sin(θH – θL) (13)
  • Dann kann die Substratflächenhöhe hp (μm) der Substratfläche Pb in Bezug auf die Referenzfläche Ps von dem folgenden Rechenausdruck (14) erhalten werden, mit dem Abstand A, der von dem Rechenausdruck (13) erhalten wurde. hp = A × sin(θL) (14)
  • <Erfassen der Ansaugabweichung>
  • Die Steuerung 9 ist ausgestaltet, die Ansaugabweichung des Bauteils 31 basierend auf dem Ansaugzustand (Ansaugverhalten) des Bauteils 31 zu erfassen, die von der Bauteilerkennungskamera 7 abgebildet wird. Überdies ist die Steuerung 9 ausgestaltet, die Position des Bestimmungsrahmens D in dem aufgenommenen Bild von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld basierend auf der erfassten Ansaugabweichung des Bauteils 31 zu korrigieren, um die Montageposition Pa in dem Bestimmungsrahmen D zu umfassen.
  • (Montageerfolgs- oder -misserfolgsbestimmungsverarbeitung)
  • Die zuvor erwähnte Montageerfolgs- oder -misserfolgsbestimmungsverarbeitung wird nun basierend auf einem Flussdiagramm mit Bezug auf 12 beschrieben. Der Betrieb der Bauteilmontagevorrichtung 100 wird von der Steuerung 9 durchgeführt.
  • Zunächst werden in einem Schritt S1 Substratdaten ausgewählt. Somit werden Informationen wie die Größe des Bauteils 31, das montiert werden soll, hieraus erfasst. Das heißt, es werden Informationen wie die Montageposition Pa des Bauteils 31, die Bauteildicke t, die Bauteilbreite y, die Bauteildicke ta des Nahseitenbauteils, die Bauteil-Bauteilspaltlänge c, die Düsenflanschhöhe h_nu, die Düseneckenhöhe h_nb und die Düsenmitte-Düsenflansch(Düsenecke)länge a erfasst.
  • Dann wird in einem Schritt S2 der prozentuale Ansaugbauteilabschirmanteil X (siehe 6) von den zuvor erwähnten Rechenausdrücken (1) bis (4) erfasst. Zu diesem Zeitpunkt werden im Voraus festgelegte Werte als die Abbildungshöhe h und der Abbildungswinkel θ verwendet.
  • Dann wird in einem Schritt S3 ein Montagevorgang des Bauteils 31, der von der Kopfeinheit 4 durchgeführt wird, gestartet. Das heißt, das Bauteil 31 wird von den Bauteilförderern 3 von dem Montagekopf 42 der Kopfeinheit 4 angesaugt.
  • Dann wird in einem Schritt S4 bestimmt, ob das Bauteil 31, das montiert werden soll, das zweite oder nachfolgende Bauteil 31 ist. Wenn bestimmt wird, dass das Bauteil 31 das zweite oder nachfolgende Bauteil 31 ist, fährt die Steuerung 9 fort mit einem Schritt S5.
  • Dann wird im Schritt S5 der prozentuale Nahseitenbauteilabschirmanteil Y (siehe 7) von den zuvor erwähnten Rechenausdrücken (5) bis (7) erfasst.
  • Andererseits überspringt, wenn im Schritt S4 bestimmt wird, dass das Bauteil 31 nicht das zweite oder nachfolgende Bauteil 31 ist, die Steuerung 9 den Schritt S5 und fährt fort mit einem Schritt S6. Das heißt, wenn das Bauteil 31, das montiert werden soll, das erste Bauteil ist, die Abschirmung Sb (Nahseitenbauteil) nicht vorhanden ist, und somit überspringt die Steuerung 9 die Verarbeitung des Schritts S5 und fährt fort mit Schritt S6.
  • Dann wird im Schritt S6 der Ansaugzustand (Ansaugverhalten) des Bauteils 31 von der Bauteilerkennungskamera 7 abgebildet.
  • Dann wird in einem Schritt S7 die Ansaugabweichung d (siehe 8 und 9) basierend auf dem Ansaugzustand des Bauteils 31, der von der Bauteilerkennungskamera 7 abgebildet wird, erfasst.
  • Dann wird in einem Schritt S8 der prozentuale Düsenabschirmanteil Z (siehe 8 und 9) von den zuvor erwähnten Rechenausdrücken (8) bis (12) erfasst. Zu diesem Zeitpunkt wird der prozentuale Düsenabschirmanteil Z, der in 8 oder 9 gezeigt ist, gemäß der Form der Düse 41 erfasst.
  • Dann wird in einem Schritt S9 die vorbestimmte Region, umfassend die Montageposition Pa, vor dem Montieren von der Abbildungseinheit 8 während Abwärtsbewegung des Montagekopfs 42 abgebildet. Zu diesem Zeitpunkt wird die vorbestimmte Region, umfassend die Montageposition Pa, vor dem Montieren von jedem, dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 abgebildet. Dann werden das aufgenommene Bild vor dem Montieren von dem ersten Sichtfeld V1 und das aufgenommene Bild vor dem Montieren von dem zweiten Sichtfeld V2 erfasst.
  • Dann wird in einem Schritt S10 die Substratflächenhöhe hp (siehe 11) durch Stereoabgleich von den zuvor erwähnten Rechenausdrücken (13) und (14) basierend auf dem erfassten aufgenommenen Bild von dem ersten Sichtfeld V1 und dem erfassten aufgenommenen Bild von dem zweiten Sichtfeld V2 erfasst. Zusätzlich wird das Bauteil 31, die von dem Montagekopf 42 angesaugt wird, zwischen dem Schritt S9 und einem Schritt S11 an der Montageposition Pa an dem Substrat P montiert.
  • Dann wird im Schritt S11 die vorbestimmte Region, umfassend die Montageposition Pa, nach dem Montieren von der Abbildungseinheit 8 während Aufwärtsbewegung des Montagekopfs 42 abgebildet. Zu diesem Zeitpunkt wird außerdem die vorbestimmte Region, umfassend die Montageposition Pa, nach dem Montieren von jedem, dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2, abgebildet. Dann werden das aufgenommene Bild nach dem Montieren von dem ersten Sichtfeld V1 und das aufgenommene Bild nach dem Montieren von dem zweiten Sichtfeld V2 erfasst.
  • Dann wird in einem Schritt S12 ein Sichtfeld, das als das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld verwendet wird, von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 ausgewählt, basierend auf drei prozentualen Abschirmanteilen von dem prozentualen Ansaugbauteilabschirmanteil X, der im Schritt S2 erfasst wurde, dem prozentualen Nahseitenbauteilabschirmanteil Y, der im Schritt S5 erfasst wurde, und dem prozentualen Düsenabschirmanteil Z, der im Schritt S8 erfasst wurde, dem Typ des Bauteils 31, das an der Montageposition Pa montiert werden soll, und dem Hintergrund (der Substratfläche Pb des Substrats P) des Bauteils 31 um die Montageposition Pa herum.
  • Dann wird in Schritten S13 bis S17 eine Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung, ob das Bauteil 31 normal an der Montageposition Pa montiert worden ist oder nicht, ausgeführt, basierend auf dem aufgenommenen Bild vor dem Montieren und dem aufgenommenen Bild nach dem Montieren von dem ausgewählten Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld.
  • Insbesondere wird im Schritt S13 ein Überlagerungsabgleich zwischen dem aufgenommenen Bild vor dem Montieren und dem aufgenommenen Bild nach dem Montieren durchgeführt.
  • In den Schritten S14 und S15 wird die Position des Bestimmungsrahmens D korrigiert. Im Schritt 14 wird die Position des Bestimmungsrahmens D basierend auf der Ansaugabweichung des Bauteils 31, korrigiert, die von der Bauteilerkennungskamera 7 in Bezug auf die Düse 41 abgebildet wird, sodass die Montageposition Pa sich innerhalb des Bestimmungsrahmens D befindet. Im Schritt S15 wird die Position des Bestimmungsrahmens D basierend auf der Substratflächenhöhe hp korrigiert, die im Schritt S10 erfasst wurde, sodass die Montageposition Pa sich innerhalb des Bestimmungsrahmens D befindet.
  • Im Schritt S16 wird das Differenzbild zwischen den aufgenommenen Bildern vor und nach dem Montieren des Bauteils 31 in dem korrigierten Bestimmungsrahmen D erzeugt.
  • Im Schritt S17 wird eine Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung, ob das Bauteil 31 normal an der Montageposition Pa montiert worden ist oder nicht, basierend auf dem erzeugten Differenzbild ausgeführt. Wenn sie bestimmt, dass das Bauteil 31 normal an der Montageposition Pa montiert worden ist, beendet die Steuerung 9 die Montageerfolgs- oder -misserfolgsbestimmungsverarbeitung. Wenn sie nicht bestimmt, dass das Bauteil 31 normal an der Montageposition Pa montiert worden ist, fährt die Steuerung 9 andererseits fort mit einem Schritt S18.
  • Dann erfolgt, im Schritt S18, ein Fehlerstopp der Bauteilmontagevorrichtung 100. Danach werden, in einem Schritt S19, das aufgenommene Bild vor dem Montieren und das aufgenommene Bild nach dem Montieren nach außen ausgegeben. Somit kann ein Nutzer, der die Bauteilmontagevorrichtung 100 verwendet, bestätigen, welcher Anomalitätstyp aufgetreten ist.
  • Bei der zuvor erwähnten Montageerfolgs- oder -misserfolgsbestimmungsverarbeitung werden der prozentuale Ansaugbauteilabschirmanteil X, der prozentuale Nahseitenbauteilabschirmanteil Y, und der prozentuale Düsenabschirmanteil Z nacheinander jeweils in den Schritten S2, S5 und S8 erfasst (berechnet). Auf diese Weise wird jeder der prozentualen Abschirmanteile zu dem Zeitpunkt erfasst (berechnet), wenn ein Wert zum Erfassen (Berechnen) jedes der prozentualen Abschirmanteile erfasst wird, sodass jeder der prozentualen Abschirmanteile erfasst werden kann, während eine Verarbeitungslast an der Steuerung 9 verteilt und reduziert wird, im Gegensatz zu dem Fall, in dem die drei prozentualen Abschirmanteile zu einem Zeitpunkt erfasst (berechnet) werden, beispielsweise im Schritt S12.
  • (Wirkungen der vorliegenden Ausführungsform)
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform können folgende Wirkungen erzielt werden:
    Gemäß der vorliegenden Ausführungsform, wie oben beschrieben, ist die Steuerung 9 ausgestaltet, das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld, das zur Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung verwendet wird, ob das Bauteil 31 an der Montageposition Pa montiert worden ist oder nicht, von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 gemäß der Zustände der Abschirmungen Sa bis Sd um die Montageposition Pa auszuwählen. Somit kann die Steuerung 9, selbst wenn die Montageposition Pa von einem Sichtfeld aufgrund der Abschirmungen Sa bis Sd nicht genau abgebildet werden kann, als das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld das andere von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 auswählen, das weniger stark durch Abschirmen von den Abschirmungen Sa bis Sd beeinflusst wird als eines von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2. Folglich kann eine Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung basierend auf dem Abbildungsergebnis von dem Sichtfeld, das weniger stark durch Abschirmen von den Abschirmungen Sa bis Sd beeinflusst wird, ausgeführt werden, und somit kann sicher bestimmt werden, ob das Bauteil 31 an der Montageposition Pa montiert worden ist oder nicht.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Steuerung 9 ausgestaltet, die Abschirmgrade der Abschirmungen Sa bis Sd in jedem von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 gemäß der Zustände der Abschirmungen Sa bis Sd um die Montageposition Pa herum zu erfassen und das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 basierend auf den erfassten Abschirmgraden in jedem von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 auszuwählen. Somit kann die Steuerung 9 als das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld, das andere von dem ersten Sichtfeld und dem zweiten Sichtfeld zuverlässig auswählen, das weniger stark durch Abschirmen von den Abschirmungen Sa bis Sd beeinflusst wird als eines von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2. Folglich kann sicherer bestimmt werden, ob das Bauteil 31 an der Montageposition Pa montiert worden ist oder nicht.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind die Abschirmgrade definiert als die prozentualen Abschirmanteile (der prozentuale Ansaugbauteilabschirmanteil X, der prozentuale Nahseitenbauteilabschirmanteil Y und der prozentuale Düsenabschirmanteil Z), die die prozentualen Anteile der abgeschirmten Abschnitte des Bauteils 31 sind, die von den Abschirmungen Sa bis Sd in Bezug auf die Gesamtgröße des Bauteils 31 abgeschirmt werden. Überdies ist die Steuerung 9 ausgestaltet, das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 auszuwählen, basierend auf den prozentualen Abschirmanteilen in jedem von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2. Somit kann das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld unter Berücksichtigung nicht nur der Größen der abgeschirmten Abschnitte, sondern auch der Gesamtgröße des Bauteils 31, die im Allgemeinen von Typ zu Typ variiert ausgewählt werden, im Gegensatz zu dem Fall, in dem das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld nur basierend auf den Größen der abgeschirmten Abschnitte ausgewählt wird. Folglich kann der Einfluss des Abschirmens der Abschirmungen Sa bis Sd angemessener bewertet werden, und somit kann das Sichtfeld, das weniger stark durch Abschirmen von den Abschirmungen Sa bis Sd beeinflusst wird, zuverlässiger ausgewählt werden.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind die Abschirmungen (Sa bis Sd) um die Montageposition Pa herum das Bauteil 31 (angesaugtes Bauteil) bevor sie für die Montage von dem Montagekopf 42 angesaugt wird, das Bauteil (Nahseitenbauteil), das an dem Substrat P um die Montageposition Pa herum montiert worden ist, und die Düse 41 des Montagekopfs 42, der das Bauteil 31 angesaugt hat. Somit kann die Steuerung 9 das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld gemäß den Zuständen von drei Abschirmungstypen (Sa bis Sd) des Bauteils 31, bevor sie für die Montage von dem Montagekopf 42 angesaugt wird, des an dem Substrat P montierten Bauteils 31 um die Montageposition Pa herum und des Montagekopfs 42, der das Bauteil 31 angesaugt hat, die wahrscheinlich Abschirmungen sind, die die Sichtfelder abschirmen, auswählen. Folglich kann die Steuerung 9 zuverlässig als das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld das Sichtfeld, das weniger stark durch Abschirmen von den Abschirmungen Sa bis Sd beeinflusst wird, von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 auswählen.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2, deren Abbildungsrichtungen voneinander verschieden sind, derart positioniert, dass sich deren Abbildungsrichtungen in voneinander verschiedenen Neigungswinkeln (θH und θL) in Bezug auf die Substratfläche Pb des Substrats P befinden, an dem das Bauteil 31 montiert wird. Somit kann die Montageposition Pa in den verschiedenen Neigungswinkeln abgebildet werden, und somit das Sichtfeld, das weniger stark durch Abschirmen von den Abschirmungen Sa bis Sd beeinflusst wird, in jedem von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 einfach festgelegt werden.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2, deren Abbildungsrichtungen voneinander verschieden sind, in der vertikalen Ebene (in der YZ-Ebene) in Bezug auf die Substratfläche Pb benachbart zueinander positioniert. Somit können das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2 kompakt positioniert werden im Vergleich zu dem Fall, in dem das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2 in einer Richtung parallel zu der Substratfläche Pb voneinander beabstandet positioniert sind. Folglich kann das Sichtfeld, das weniger stark durch Abschirmen von den Abschirmungen Sa bis Sd beeinflusst wird, in jedem von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 einfach festgelegt werden, während ein Anstieg der Größe der Abbildungseinheit 8 unterdrückt wird.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform sind die Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81, die die Montageposition Pa abbildet und die optischen Systeme 83, die das Sichtfeld der Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 in das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2 aufteilt, deren Abbildungsrichtungen voneinander verschieden sind, in der Abbildungseinheit 8 bereitgestellt. Somit können, im Gegensatz zu dem Fall, in dem das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2 mit einer Vielzahl von Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskameras abgebildet werden, das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2 mit der einzelnen Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 abgebildet werden. Folglich können das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2 abgebildet werden, während eine Verkomplizierung des Aufbaus der Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 der Abbildungseinheit 8 unterdrückt wird.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist das optische System 82, das das Sichtfeld der Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 in jedes der Vielzahl von optischen Systemen 83 aufteilt, in der Abbildungseinheit 8 bereitgestellt. Somit können, im Gegensatz zu dem Fall, in dem das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2 für jeden der Montageköpfe 42 mit einer Vielzahl von Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskameras abgebildet werden, das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2 für jeden der Montageköpfe 42 mit der einzelnen Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 abgebildet werden. Folglich können das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2 für jeden der Montageköpfe 42 abgebildet werden, während eine Verkomplizierung des Aufbaus der Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 der Abbildungseinheit 8 unterdrückt wird. Überdies ist in dem Aufbau, in dem die Abbildungseinheit 8 an der Kopfeinheit 4, die in den X- und Y-Richtungen beweglich ist, befestigt ist, wie in der Bauteilmontagevorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform, zusätzlich zu dem Gewicht der Kopfeinheit 4 selbst, das Gewicht der befestigten Abbildungseinheit 8, unter dem Gesichtspunkt, ein Bewegen der Kopfeinheit 4 zu erleichtern, vorzugsweise reduziert. Daher wird, wie oben beschrieben, eine Verkomplizierung des Aufbaus der Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 der Abbildungseinheit 8 unterdrückt, und ein Anstieg der Anzahl von Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskameras 81 und ein Anstieg der Anzahl von Bauteilen wie an die Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 angebrachte Leitungen unterdrückt, sodass ein Anstieg des Gewichts der Abbildungseinheit 8 sehr effektiv unterdrückt werden kann.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Steuerung 9 ausgestaltet, die jeweiligen aufgenommenen Bilder von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 von der Abbildungseinheit 8 zu erfassen und, von den erfassten jeweiligen aufgenommenen Bildern von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2, das aufgenommene Bild von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld gemäß dem Zustand der Abschirmungen Sa bis Sd um die Montageposition Pa herum auszuwählen. Somit kann die Steuerung 9 als das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld das andere von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 einfach auswählen, das weniger stark durch Abschirmen von den Abschirmungen Sa bis Sd beeinflusst wird als eines von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2, und somit kann einfach und sicher bestimmt werden, ob das Bauteil 31 an der Montageposition Pa montiert worden ist oder nicht.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Steuerung 9 ausgestaltet, das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2, zusätzlich zu den Zuständen der Abschirmungen Sa bis Sd um die Montageposition Pa herum, gemäß dem Typ des Bauteils 31, das an der Montageposition Pa montiert werden soll oder dem Hintergrund des Bauteils 31 um die Montageposition Pa herum auszuwählen. Somit kann das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld unter Berücksichtigung von dem Typ des Bauteils 31, das an der Montageposition montiert werden soll, oder dem Hintergrund um die Montageposition Pa herum ausgewählt werden, und somit kann das Sichtfeld, das weniger stark durch Abschirmen von den Abschirmungen Sa bis Sd beeinflusst wird, von dem mehr Merkmale des Bauteils 31 abgebildet werden können, einfach ausgewählt werden.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, die Montageposition Pa vor dem Montieren des Bauteils 31 und die Montageposition Pa nach dem Montieren des Bauteils 31 von jedem, dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2, abzubilden. Überdies ist die Steuerung 9 ausgestaltet, eine Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung basierend auf dem aufgenommenen Bild der Montageposition Pa vor dem Montieren des Bauteils 31 von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld und dem aufgenommenen Bild der Montageposition Pa nach dem Montieren des Bauteils 31 von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld, welche beide von den jeweiligen aufgenommenen Bildern von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 ausgewählt wurden, auszuführen. Somit kann die Steuerung 9 eine Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung basierend auf den ausgewählten aufgenommenen Bildern der Montageposition Pa vor und nach dem Montieren des Bauteils 31 von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld ausführen.
  • Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Steuerung 9 ausgestaltet, die Höhe der Substratfläche Pb des Substrats P in Bezug auf die Referenzfläche Ps basierend auf dem aufgenommenen Bild der Montageposition Pa von jedem, dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2, zu erfassen und den Bestimmungsrahmen D, der für die Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung verwendet wird, basierend auf der erfassten Höhe der Substratfläche Pb in dem aufgenommenen Bild von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld zu korrigieren. Somit kann, selbst wenn sich die Höhe der Substratfläche Pb des Substrats P in Bezug auf die Referenzfläche Ps beispielsweise aufgrund von Verformung des Substrats P verändert, sodass die Montageposition Pa in Bezug auf den Bestimmungsrahmen D positionell abweichend ist, die Steuerung 9 eine Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung durch Korrigieren des Bestimmungsrahmens angemessen ausführen.
  • [Abwandlungen]
  • Die offenbarten Ausführungsformen sollen in allen Punkten veranschaulichen und nicht einschränken. Der Umfang der vorliegenden Erfindung ist nicht durch die zuvor aufgeführte Beschreibung der Ausführungsformen gegeben, sondern durch den Schutzumfang der Patentansprüche, und es sind überdies alle Abwandlungen innerhalb der Bedeutung und des Umfangs, die äquivalent zum Schutzumfang der Patentansprüche sind, umfasst.
  • Während in der zuvor erwähnten Ausführungsform das Beispiel, in dem die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet ist, in der Lage zu sein, die Montageposition Pa von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 abzubilden, gezeigt worden ist, ist die vorliegende Erfindung beispielsweise nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Abbildungseinheit möglicherweise ausgestaltet, in der Lage zu sein, die Montageposition von den drei Sichtfeldern abzubilden.
  • Während das Beispiel, in dem die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet ist, in der Lage zu sein, die Montageposition Pa von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 mit der einzelnen Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 abzubilden, in der zuvor erwähnten Ausführungsform gezeigt worden ist, ist die Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Abbildungseinheit möglicherweise ausgestaltet, in der Lage zu sein, die Montageposition von einer Vielzahl von Sichtfeldern mit einer Vielzahl von Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskameras abzubilden.
  • Während das Beispiel, in dem die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet ist, Bilder von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 zu einem Zeitpunkt abzubilden, in der zuvor erwähnten Ausführungsform gezeigt worden ist, ist die Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist die Abbildungseinheit möglicherweise ausgestaltet, ein Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld auszuwählen und danach ein Bild nur von einem ausgewählten Sichtfeld aufzunehmen.
  • Während das Beispiel, in dem die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet ist, in der Lage zu sein, die Montageposition Pa von dem ersten Sichtfeld V1 und dem zweiten Sichtfeld V2 für jeden der Montageköpfe 42 mit der einzelnen Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 abzubilden in der zuvor erwähnten Ausführungsform gezeigt worden ist, ist die Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera möglicherweise für jeden der Montageköpfe bereitgestellt.
  • Während das Beispiel, in dem die Abbildungseinheit 8 auf der Kopfeinheit 4, umfassend die Vielzahl von (fünf) Montageköpfen 42, in der zuvor erwähnten Ausführungsform gezeigt ist, ist die Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Vielzahl von Abbildungseinheit möglicherweise für eine Kopfeinheit gemäß der Anzahl von Montageköpfen bereitgestellt. Wenn eine Kopfeinheit zehn Montageköpfe umfasst, sind möglicherweise zwei Abbildungseinheit 8 gemäß der zuvor erwähnten Ausführungsform für diese Kopfeinheit bereitgestellt.
  • Während das Beispiel, in dem das Sichtfeld der Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera 81 durch die optischen Systeme 83 in das erste Sichtfeld V1 und das zweite Sichtfeld V2 aufteilt, die jeweils das Prisma 83a und das Paar von Spiegel 83b umfassen, in der zuvor erwähnten Ausführungsform gezeigt worden ist, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung ist das Sichtfeld für die Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera möglicherweise in eine Vielzahl von Sichtfeldern durch andere optische Systeme aufgeteilt, als die optischen Systeme, die in der zuvor erwähnten Ausführungsform gezeigt sind. Beispielsweise ist das Sichtfeld für die Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera möglicherweise in eine Vielzahl von Sichtfeldern durch optische Systeme wie ein optisches System, umfassend Spiegelprismen, optische Systeme umfassend nur Prismen oder optische Systeme, umfassend nur Spiegel, aufgeteilt.
  • Während das Beispiel, in dem die prozentualen Abschirmanteile wie der prozentuale Ansaugbauteilabschirmanteil X, der prozentuale Nahseitenbauteilabschirmanteil Y und der prozentuale Düsenabschirmanteil Z als die Abschirmgrade verwendet werden, in der zuvor erwähnten Ausführungsform gezeigt worden ist, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird möglicherweise anderes als die prozentualen Abschirmanteile als der Abschirmgrad verwendet. Beispielsweise wird möglicherweise die Größe des abgeschirmten Abschnitts, der von der Abschirmung abgeschirmt wird, wie die Bauteilabschirmabschnittlänge Xi (Yi, Zi), als der Abschirmgrad verwendet.
  • Während in dem Beispiel, in dem drei Typen des Bauteils 31 (angesaugtes Bauteil) bevor es für die Montage von dem Montagekopf 42 angesaugt wird, des Bauteils 31 (Nahseitenbauteil), das bereits an dem Substrat P um die Montageposition Pa montiert worden ist, und der Düse 41 des Montagekopfs, der das Bauteil 31 angesaugt hat, als die Abschirmungen Sa bis Sd verwendet werden, in der zuvor erwähnten Ausführungsform gezeigt worden ist, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird möglicherweise ein anderes Sichtfeld als die drei zuvor erwähnten Typen berücksichtigt. Alternativ werden möglicherweise irgendeiner der zuvor erwähnten drei Typen oder Kombinationen von zwei der zuvor erwähnten drei Typen verwendet.
  • Während das Beispiel, in dem die Position des Bestimmungsrahmens D basierend auf der Höhe der Substratfläche Pb und der Ansaugabweichung des Bauteils 31 korrigiert wird, sodass die Montageposition Pa sich innerhalb des Bestimmungsrahmens D befindet, in der zuvor erwähnten Ausführungsform gezeigt worden ist, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird möglicherweise die Größe des Bestimmungsrahmens korrigiert, sodass die Montageposition Pa sich innerhalb des Bestimmungsrahmens befindet.
  • Während die Verarbeitung, die von der Steuerung 9 durchgeführt wird, unter Verwendung des Flussdiagramms, das in flussgetriebener Weise beschrieben wird, in der die Verarbeitung der Reihe nach entlang eines Verarbeitungsflusses durchgeführt wird, in der zuvor erwähnten Ausführungsform zur Veranschaulichung beschrieben wird, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Verarbeitung, die von der Steuerung 9 durchgeführt wird, möglicherweise in ereignisgetriebener Weise durchgeführt, in der Verarbeitung auf einer Ereignisbasis durchgeführt wird. In diesem Fall wird die Verarbeitung möglicherweise in einer vollständig ereignisgetriebenen Weise oder in einer Kombination einer ereignisgetriebenen Weise und einer flussgetriebenen Weise durchgeführt.
  • Bezugszeichenliste
    • 8
    Abbildungseinheit
    9
    Steuerung
    31
    Bauteil
    42
    Montagekopf
    81
    Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungskamera (Abbildungsteil)
    82
    optisches System (zweites optisches System)
    83
    optisches System (erstes optisches System)
    100
    Bauteilmontagevorrichtung
    P
    Substrat
    Pa
    Montageposition
    Pb
    Substratfläche
    Ps
    Referenzfläche
    V1
    erstes Sichtfeld
    V2
    zweites Sichtfeld
    Sa, Sb, Sc, Sd
    Abschirmung

Claims (13)

  1. Bauteilmontagevorrichtung (100), umfassend: einen Montagekopf (42), der ein Bauteil (31) an einer Montageposition (Pa) an einem Substrat (P) montiert; eine Abbildungseinheit (8), die in der Lage ist, die Montageposition (Pa) von einer Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) abzubilden, deren Abbildungsrichtungen voneinander verschieden sind; und eine Steuerung (9), die ein Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld auswählt, das verwendet wird, um Erfolg oder Misserfolg in Bezug darauf zu bestimmen, ob das Bauteil (31) an der Montageposition (Pa) montiert worden ist oder nicht, von der Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) gemäß einem Zustand einer Abschirmung (Sa, Sb, Sc, Sd) um die Montageposition (Pa) herum.
  2. Bauteilmontagevorrichtung (100) nach Anspruch 1, wobei die Steuerung (9) ausgestaltet ist, einen Abschirmgrad der Abschirmung in jedem der Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) gemäß dem Zustand der Abschirmung um die Montageposition (Pa) herum zu erfassen und das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld von der Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) basierend auf dem erfassten Abschirmgrad in jedem der Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) auszuwählen.
  3. Bauteilmontagevorrichtung (100) nach Anspruch 2, wobei der Abschirmgrad einen prozentualen Abschirmanteil umfasst, der ein prozentualer Anteil einer Größe eines abgeschirmten Abschnitts des Bauteils (31) ist, der von der Abschirmung abgeschirmt wird, gegenüber einer Gesamtgröße des Bauteils (31); und die Steuerung (9) ausgestaltet ist, das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld von der Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) basierend auf dem prozentualen Abschirmanteil in jedem der Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) auszuwählen.
  4. Bauteilmontagevorrichtung (100) nach Anspruch 1, wobei die Abschirmung um die Montageposition (Pa) herum mindestens eines, das Bauteil (Sa), bevor es für die Montage von dem Montagekopf (42) angesaugt wird, das an dem Substrat (P) um die Montageposition (Pa) herum montierte Bauteil (Sb) oder den Montagekopf (Sc, Sd), der das Bauteil (31) angesaugt hat, umfasst.
  5. Bauteilmontagevorrichtung (100) nach Anspruch 1, wobei die Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2), deren Abbildungsrichtungen voneinander verschieden sind, derart positioniert sind, dass sich deren Abbildungsrichtungen in voneinander verschiedenen Neigungswinkeln in Bezug auf eine Substratfläche (Pb) des Substrats (P) befinden, an dem das Bauteil (31) montiert wird.
  6. Bauteilmontagevorrichtung (100) nach Anspruch 5, wobei die Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2), deren Abbildungsrichtungen voneinander verschieden sind, in einer vertikalen Ebene in Bezug auf die Substratfläche (Pb) benachbart zueinander positioniert sind.
  7. Bauteilmontagevorrichtung (100) nach Anspruch 1, wobei die Abbildungseinheit (8) Folgendes umfasst: einen Abbildungsteil (81), der die Montageposition (Pa) abbildet, und ein erstes optisches System (83), das ein Sichtfeld des Abbildungsteils in die Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) aufteilt, deren Abbildungsrichtungen voneinander verschieden sind.
  8. Bauteilmontagevorrichtung (100) nach Anspruch 7, wobei der Montagekopf (42) eine Vielzahl von Montageköpfen (42) umfasst, das erste optische System (83) der Abbildungseinheit (8) eine Vielzahl erster optischer Systeme (83) umfasst, die in Anzahl den Montageköpfen entspricht, und die Abbildungseinheit (8) überdies ein zweites optisches System (82) umfasst, das das Sichtfeld des Abbildungsteils in jedes der Vielzahl erster optischer Systeme (83) aufteilt.
  9. Bauteilmontagevorrichtung (100) nach Anspruch 1, wobei die Steuerung (9) ausgestaltet ist, jeweilige aufgenommene Bilder von der Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) von der Abbildungseinheit (8) zu erfassen und, von den erfassten jeweiligen aufgenommenen Bildern von der Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) ein aufgenommenes Bild von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld gemäß dem Zustand der Abschirmung um die Montageposition (Pa) herum auszuwählen.
  10. Bauteilmontagevorrichtung (100) nach Anspruch 1, wobei die Steuerung (9) ausgestaltet ist, zusätzlich zu dem Zustand der Abschirmung um die Montageposition (Pa) herum, das Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld von der Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) auszuwählen, gemäß mindestens einem, einem Typ des Bauteils, das an der Montageposition (Pa) montiert werden soll, oder einem Hintergrund des Bauteils (31) um die Montageposition (Pa) herum.
  11. Bauteilmontagevorrichtung (100) nach Anspruch 1, wobei die Abbildungseinheit (8) ausgestaltet ist, die Montageposition (Pa) vor dem Montieren des Bauteils (31) und die Montageposition (Pa) nach dem Montieren des Bauteils (31) von jedem der Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) abzubilden, und die Steuerung (9) ausgestaltet ist, die Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung basierend auf einem aufgenommenen Bild der Montageposition (Pa) vor dem Montieren des Bauteils (31) von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld und einem aufgenommenen Bild der Montageposition (Pa) nach dem Montieren des Bauteils (31) von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld, welche beide von jeweiligen aufgenommenen Bildern von der Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) ausgewählt wurden, auszuführen.
  12. Bauteilmontagevorrichtung (100) nach Anspruch 1, wobei die Steuerung (9) ausgestaltet ist, eine Höhe einer Substratfläche (Pb) des Substrats (P) in Bezug auf eine Referenzfläche (Ps) basierend auf einem aufgenommenen Bild der Montageposition (Pa) von jedem der Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) zu erfassen, und eine Bestimmungsregion, die für die Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmung verwendet wird, in einem aufgenommenen Bild von dem Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfeld basierend auf der erfassten Höhe der Substratfläche (Pb) zu korrigieren.
  13. Verfahren zur Bauteilmontagebestimmung für eine Bauteilmontagevorrichtung (100), umfassend: Montieren, durch einen Montagekopf (42), eines Bauteils (31) an einer Montageposition (Pa) an einem Substrat (P); Abbilden, durch eine Abbildungseinheit (8), der Montageposition (Pa) von einer Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2), deren Abbildungsrichtungen voneinander verschieden sind; Auswählen, von einer Steuerung (9), eines Erfolgs- oder Misserfolgsbestimmungssichtfelds, das verwendet wird, um Erfolg oder Misserfolg in Bezug darauf zu bestimmen, ob das Bauteil (31) an der Montageposition (Pa) montiert worden ist oder nicht, von der Vielzahl von Sichtfeldern (V1, V2) gemäß einem Zustand einer Abschirmung (Sa, Sb, Sc, Sd) um die Montageposition (Pa) herum.
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