JP6378839B2 - 部品実装装置および部品実装装置における部品実装判定方法 - Google Patents

Description

この発明は、部品実装装置およびこの部品実装装置における部品実装判定方法に関し、特に、基板における部品の実装位置を撮像可能な部品実装装置およびこの部品実装装置における部品実装判定方法に関する。

従来、基板における部品の実装位置を撮像可能な部品実装装置が知られている。このような部品実装装置は、たとえば、特開２０１４−９３３９０号公報に開示されている。

上記特開２０１４−９３３９０号公報には、電子部品を吸着し、吸着された電子部品を基板に実装する吸着ノズルと、吸着ノズルにより基板に実装される電子部品の基板における実装位置を撮像するカメラと、カメラにより撮像された実装位置の画像に基づいて、電子部品が正常に実装位置に実装されたか否かを検査（判定）する制御部と、を備える電子部品実装装置が開示されている。

特開２０１４−９３３９０号公報

しかしながら、上記特開２０１４−９３３９０号公報の電子部品実装装置では、基板の実装位置周辺に、背の高い他の電子部品などの遮蔽物が存在する場合には、遮蔽物によりカメラの視野が遮蔽され、実装位置を正確に撮像することができないと考えられる。この場合、電子部品が実装位置に実装されたか否かを安定して判定することができないという問題点がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、部品が実装位置に実装されたか否かを安定して判定することが可能な部品実装装置および部品実装装置における部品実装判定方法を提供することである。

この発明の第１の局面による部品実装装置は、基板における実装位置に部品を実装する実装ヘッドと、撮像方向が互いに異なる複数の視野により実装位置を撮像可能な撮像ユニットと、実装位置周辺の遮蔽物の状態に応じて、複数の視野のうちから、部品が実装位置に実装されたか否かの成否判定に用いる成否判定用視野を選択する制御部と、を備える。

この発明の第１の局面による部品実装装置では、上記のように制御部を構成することにより、遮蔽物に起因して一の視野により実装位置を正確に撮像できなかったとしても、複数の視野のうち一の視野よりも遮蔽物による遮蔽の影響が少ない他の視野を成否判定用視野として制御部により選択することができる。その結果、遮蔽物による遮蔽の影響がより少ない視野での撮像結果に基づいて成否判定を行うことができるので、部品が実装位置に実装されたか否かを安定して判定することができる。

上記第１の局面による部品実装装置において、好ましくは、制御部は、実装位置周辺の遮蔽物の状態に応じて、遮蔽物による複数の視野の各々の遮蔽度合を取得するとともに、取得された複数の視野の各々の遮蔽度合に基づいて、複数の視野のうちから、成否判定用視野を選択するように構成されている。なお、本発明において、遮蔽度合とは、複数の視野が遮蔽物により遮蔽される領域の大きさや遮蔽物により遮蔽される領域の割合などを含む広い概念である。このように構成すれば、複数の視野のうち一の視野よりも遮蔽物による遮蔽の影響が少ない他の視野を成否判定用視野としてより確実に選択することができる。その結果、部品が実装位置に実装されたか否かをより安定して判定することができる。

この場合、好ましくは、遮蔽度合は、部品の全体の大きさに対する遮蔽物により遮蔽される部品の遮蔽部分の大きさの割合である遮蔽割合を含み、制御部は、複数の視野の各々の遮蔽割合に基づいて、複数の視野のうちから、成否判定用視野を選択するように構成されている。このように構成すれば、遮蔽部分の大きさのみに基づいて成否判定用視野を選択する場合と異なり、通常部品の種類毎に異なる部品の全体の大きさも考慮して成否判定用視野を選択することができる。その結果、遮蔽物による遮蔽の影響をより適切に評価することができるので、遮蔽物による遮蔽の影響が少ない成否判定用視野をより確実に選択することができる。

上記第１の局面による部品実装装置において、好ましくは、実装位置周辺の遮蔽物は、実装ヘッドに吸着されている実装前の部品、実装位置周辺において基板に実装されている部品、および部品を吸着した実装ヘッドの少なくともいずれかを含む。このように構成すれば、視野を遮蔽する遮蔽物となり易い実装ヘッドに吸着されている実装前の部品、実装位置周辺において基板に実装されている部品、または部品を吸着した実装ヘッドの状態に応じて、成否判定用視野を制御部により選択することができる。その結果、複数の視野のうちから遮蔽物により遮蔽の影響が少ない視野を成否判定用視野として制御部により確実に選択することができる。

上記第１の局面による部品実装装置において、好ましくは、撮像方向が互いに異なる複数の視野は、基板の部品が実装される基板面に対してそれぞれの撮像方向が互いに異なる傾き角度となるように配置されている。このように構成すれば、異なる傾き角度から実装位置を撮像することができるので、複数の視野のうちに遮蔽物による遮蔽の影響が少ない視野を容易に設けることができる。

この場合、好ましくは、撮像方向が互いに異なる複数の視野は、基板面に対する鉛直面内において隣接して配置されている。このように構成すれば、複数の視野が基板面に対して平行な方向に離間して配置される場合と比べて、複数の視野をコンパクトに配置することができる。その結果、撮像ユニットが大型化するのを抑制しつつ、複数の視野のうちに遮蔽物による遮蔽の影響が少ない視野を容易に設けることができる。

上記第１の局面による部品実装装置において、好ましくは、撮像ユニットは、実装位置を撮像する撮像部と、撮像部の視野を、撮像方向が互いに異なる複数の視野に分割する第１光学系と、を含む。このように構成すれば、複数の撮像部を用いて複数の視野を撮像する場合と異なり、単一の撮像部を用いて複数の視野を撮像することができる。その結果、撮像ユニットの撮像部の構成が複雑化するのを抑制しつつ、複数の視野を撮像することができる。

この場合、好ましくは、実装ヘッドは、複数設けられており、撮像ユニットの第１光学系は、複数の実装ヘッドに対応するように複数設けられており、撮像ユニットは、撮像部の視野を、複数の第１光学系の各々に向けて分割する第２光学系、をさらに含む。このように構成すれば、複数の撮像部を用いて実装ヘッド毎に複数の視野を撮像する場合と異なり、単一の撮像部を用いて実装ヘッド毎に複数の視野を撮像することができる。その結果、撮像ユニットの撮像部の構成が複雑化するのを抑制しつつ、実装ヘッド毎に複数の視野を撮像することができる。

上記第１の局面による部品実装装置において、好ましくは、制御部は、撮像ユニットから複数の視野による各々の撮像画像を取得するとともに、実装位置周辺の遮蔽物の状態に応じて、取得された複数の視野による各々の撮像画像のうちから、成否判定用視野による撮像画像を選択するように構成されている。このように構成すれば、複数の視野のうち一の視野よりも遮蔽物による遮蔽の影響が少ない他の視野を成否判定用視野として制御部により容易に選択することができるので、部品が実装位置に実装されたか否かを容易に安定して判定することができる。

上記第１の局面による部品実装装置において、好ましくは、制御部は、実装位置周辺の遮蔽物の状態に加えて、実装位置に実装される部品の種類または実装位置周辺の部品の背景の少なくともいずれかにも応じて、複数の視野のうちから、成否判定用視野を選択するように構成されている。このように構成すれば、実装位置に実装される部品の種類または実装位置周辺の背景の少なくともいずれかも考慮して成否判定用視野を選択できるので、遮蔽物による遮蔽の影響が少なくかつ部品の特徴点をより多く撮像可能な視野を容易に選択することができる。

上記第１の局面による部品実装装置において、好ましくは、撮像ユニットは、複数の視野の各々により、部品の実装前の実装位置と部品の実装後の実装位置とを撮像するように構成されており、制御部は、複数の視野の各々による撮像画像のうちから選択された成否判定用視野による部品の実装前の実装位置の撮像画像、および実装後の実装位置の撮像画像に基づいて、成否判定を行うように構成されている。このように構成すれば、選択された成否判定用視野による部品の実装前および実装後のそれぞれの実装位置の撮像画像に基づいて、成否判定を制御部により容易に行うことができる。

上記第１の局面による部品実装装置において、好ましくは、制御部は、複数の視野の各々による実装位置の撮像画像に基づいて、基準面に対する基板の基板面の高さを取得するとともに、取得された基板面の高さに基づいて、成否判定用視野による撮像画像のうち成否判定に用いる判定領域を補正するように構成されている。このように構成すれば、たとえば基板の反りにより基準面に対する基板の基板面の高さが変化することによって、判定領域に対して実装位置が位置ずれするような場合にも、制御部により判定領域が補正されるので、適切に成否判定を行うことができる。

この発明の第２の局面による部品実装装置における部品実装判定方法は、基板における実装位置に部品を実装ヘッドにより実装するステップと、撮像方向が互いに異なる複数の視野により実装位置を撮像ユニットにより撮像するステップと、実装位置周辺の遮蔽物の状態に応じて、複数の視野のうちから、部品が実装位置に実装されたか否かの成否判定に用いる成否判定用視野を制御部により選択するステップと、を備える。

この発明の第２の局面による部品実装装置における部品実装判定方法では、上記のような制御部によるステップを設けることにより、上記第１の局面による部品実装装置の場合と同様に、部品が実装位置に実装されたか否かを安定して判定することができる。

本発明によれば、上記のように、部品が実装位置に実装されたか否かを安定して判定することが可能な部品実装装置および部品実装装置における部品実装判定方法を提供することができる。

本発明の実施形態による部品実装装置の全体構成を示した図である。 本発明の実施形態による部品実装装置のヘッドユニットおよび撮像ユニットを側方から見た模式図である。 本発明の実施形態による部品実装装置の撮像ユニットの全体構成を説明するための模式的な斜視図である。 本発明の実施形態による部品実装装置の撮像ユニットによる部品の実装前の撮像の状態と部品の実装後の撮像の状態とを説明するための図である。 本発明の実施形態による部品実装装置の撮像ユニットの第１視野と第２視野とにより撮像される撮像画像を説明するための図である。 本発明の実施形態による部品実装装置における成否判定用視野を選択するために算出される吸着部品遮蔽割合の算出方法を説明するための図である。 本発明の実施形態による部品実装装置における成否判定用視野を選択するために算出される手前部品遮蔽割合の算出方法を説明するための図である。 本発明の実施形態による部品実装装置における成否判定用視野を選択するために算出されるノズル遮蔽割合の算出方法を説明するための図である。 本発明の実施形態による部品実装装置における成否判定用視野を選択するために算出されるノズル遮蔽割合の算出方法の他の例を説明するための図である。 本発明の実施形態による部品実装装置における補正前の判定枠の状態と補正後の判定枠の状態とを説明するための図である。 本発明の実施形態による部品実装装置における判定枠を補正するために算出される基板面高さのステレオマッチングによる算出方法を説明するための図である。 本発明の実施形態による部品実装装置の実装成否判定処理を説明するためのフローチャートである。

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

［本実施形態］
（部品実装装置の構成）
まず、図１および図２を参照して、本発明の本実施形態による部品実装装置１００の構成について説明する。

図１に示すように、部品実装装置１００は、一対のコンベア２により基板ＰをＸ１側からＸ２側に搬送し、実装作業位置Ｍにおいて基板Ｐに部品３１を実装する部品実装装置である。

部品実装装置１００は、基台１と、一対のコンベア２と、部品供給部３と、ヘッドユニット４と、支持部５と、一対のレール部６と、部品認識カメラ７と、撮像ユニット８と、制御部９とを備えている。

一対のコンベア２は、基台１上に設置され、基板ＰをＸ方向に搬送するように構成されている。また、一対のコンベア２は、搬送中の基板Ｐを実装作業位置Ｍで停止させた状態で保持するように構成されている。また、一対のコンベア２は、基板Ｐの寸法に合わせてＹ方向の間隔を調整可能に構成されている。

部品供給部３は、一対のコンベア２の両外側（Ｙ１側およびＹ２側）に配置されている。また、部品供給部３には、複数のテープフィーダ３ａが装着されている。

テープフィーダ３ａは、複数の部品３１を所定の間隔を隔てて保持したテープが巻き付けられたリール（図示せず）を保持している。テープフィーダ３ａは、リールを回転させて部品３１を保持するテープを送出することにより、テープフィーダ３ａの先端から部品３１を供給するように構成されている。ここで、部品３１は、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサおよび抵抗などの電子部品を示す概念である。

ヘッドユニット４は、一対のコンベア２および部品供給部３の上方位置に配置されており、ノズル４１（図２参照）を下端に含む複数（５つ）の実装ヘッド４２と、基板認識カメラ４３とを含んでいる。

実装ヘッド４２は、昇降可能に構成され、負圧発生機（図示せず）によりノズル４１の先端部に発生された負圧によって、テープフィーダ３ａから供給される部品３１を吸着して保持し、基板Ｐにおける実装位置Ｐａ（図２参照）に搭載（実装）するように構成されている。

基板認識カメラ４３は、基板Ｐの位置を認識するために、基板ＰのフィデューシャルマークＦを撮像するように構成されている。そして、フィデューシャルマークＦの位置を撮像して認識することにより、基板Ｐにおける部品３１の実装位置Ｐａを正確に取得することが可能である。

支持部５は、モータ５１を含んでいる。支持部５は、モータ５１を駆動させることにより、支持部５に沿ってヘッドユニット４をＸ方向に移動させるように構成されている。支持部５は、両端部が一対のレール部６により支持されている。

一対のレール部６は、基台１上に固定されている。Ｘ１側のレール部６は、モータ６１を含んでいる。レール部６は、モータ６１を駆動させることにより、支持部５を一対のレール部６に沿ってＸ方向と直交するＹ方向に移動させるように構成されている。ヘッドユニット４が支持部５に沿ってＸ方向に移動可能であるとともに、支持部５がレール部６に沿ってＹ方向に移動可能であることによって、ヘッドユニット４はＸＹ方向に移動可能である。

部品認識カメラ７は、基台１の上面上に固定されている。部品認識カメラ７は、部品３１の実装に先立って部品３１の吸着状態（吸着姿勢）を認識するために、実装ヘッド４２のノズル４１に吸着された部品３１を下側（Ｚ２側）から撮像するように構成されている。これにより、実装ヘッド４２のノズル４１に吸着された部品３１の吸着状態を制御部９により取得することが可能である。

撮像ユニット８は、撮像ユニット支持部８ａによりヘッドユニット４に取り付けられている。これにより、撮像ユニット８は、ヘッドユニット４がＸＹ方向に移動することにより、ヘッドユニット４と共にＸＹ方向に移動するように構成されている。また、図２に示すように、撮像ユニット８は、部品３１が実装位置Ｐａに正常に実装されたか否かの成否判定を行うために、撮像方向が互いに異なる第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２との２つの視野により実装位置Ｐａを撮像するように構成されている。第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２は、それぞれ、実装位置Ｐａを含む所定領域を撮像可能な視野である。この撮像ユニット８の詳細な構成は、後述する。

図１に示すように、制御部９は、ＣＰＵを含んでおり、一対のコンベア２による基板Ｐの搬送動作、ヘッドユニット４による実装動作、認識カメラ７や撮像ユニット８による撮像動作などの部品実装装置１００の全体の動作を制御するように構成されている。

（撮像ユニットの構成）
次に、図２〜図５を参照して、撮像ユニット８の詳細な構成を説明する。

図２および図３に示すように、撮像ユニット８は、成否判定用カメラ８１と、光学系８２と、複数（５つ）の光学系８３と、照明部８４とを含んでいる。なお、成否判定用カメラ８１は、本発明の「撮像部」の一例である。また、光学系８２および光学系８３は、それぞれ、本発明の「第２光学系」および「第１光学系」の一例である。

成否判定用カメラ８１は、撮像素子８１ａと、レンズ８１ｂとを有している。成否判定用カメラ８１は、レンズ８１ｂを介して入射された光を撮像素子８１ａにより電気信号に変換することにより、実装位置Ｐａなどの被写体を撮像するように構成されている。

光学系８２は、図３に示すように、複数のミラー８２ａを有している。光学系８２は、複数のミラー８２ａにより光路を変更することにより、成否判定用カメラ８１の視野を、複数（５つ）の光学系８３の各々に向けて分割するように構成されている。また、複数のミラー８２ａは、成否判定用カメラ８１から光学系８３までの各光路の光路長が略同じになるように配置されている。これにより、いずれの光路により被写体が撮像されたとしても、ボケの少ない明瞭な画像を容易に撮像することが可能である。

光学系８３は、複数（５つ）の実装ヘッド４２に対応するように複数（５つ）設けられている。また、複数の光学系８３の各々は、プリズム８３ａと、一対のミラー８３ｂとを有している。また、図２に示すように、光学系８３は、光学系８２により分割された成否判定用カメラ８１の視野を、プリズム８３ａにより第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２との２つの視野にさらに分割するように構成されている。また、光学系８３は、プリズム８３ａにより分割された第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２との２つの視野の光路を、一対のミラー８３ｂの各々により実装位置Ｐａを撮像可能な角度に変更するように構成されている。

具体的には、光学系８３において、上側（Ｚ１側）のミラー８３ｂは、基板Ｐの部品３１が実装される基板面Ｐｂに対して傾き角度θＨ（０度＜θＨ＜９０度）の撮像方向から実装位置Ｐａを撮像可能なように、第１視野Ｖ１の光路を変更するように配置されている。また、光学系８３において、下側（Ｚ２側）のミラー８３ｂは、基板Ｐの部品３１が実装される基板面Ｐｂに対して傾き角度θＬ（０度＜θＬ＜θＨ）の撮像方向から実装位置Ｐａを撮像可能なように、第２視野Ｖ２の光路を変更するように配置されている。

この結果、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２は、基板面Ｐｂに対してそれぞれの撮像方向が互いに異なる傾き角度（θＨおよびθＬ）となるように配置されている。また、互いに異なる傾き角度を有する第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２は、基板面Ｐｂに対する実装位置Ｐａを含む鉛直面内（ＹＺ面内）において隣接して配置されている。また、第１視野Ｖ１は、実装位置Ｐａを上側（Ｚ１側）（高い位置）から撮像可能な視野であり、第２視野Ｖ２は、実装位置Ｐａを第１視野Ｖ１よりも下側（低い位置）から撮像可能な視野である。

照明部８４は、複数の光学系８３の各々に対して一組（３つ）ずつ設けられている。また、照明部８４は、ＬＥＤ（発光ダイオード）などの光源を有し、成否判定用カメラ８１により実装位置Ｐａが撮像されるタイミングで、実装位置Ｐａに光を照射するように構成されている。なお、図３では、照明部８４の図示を省略している。

これらの構成により、撮像ユニット８は、単一の成否判定用カメラ８１により、基板面Ｐｂに対して傾き角度θＨおよびθＬで斜方から、実装ヘッド４２毎に第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２との２つの視野により実装位置Ｐａを撮像可能に構成されている。

また、図４に示すように、撮像ユニット８は、部品３１が実装位置Ｐａに正常に実装されたか否かの成否判定を行うために、部品３１の実装前の実装位置Ｐａを含む所定領域（破線により示す）と、部品３１の実装後の実装位置Ｐａを含む所定領域（破線により示す）とを、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２の各々により撮像するように構成されている。なお、図４では、図示の都合上、第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２の２つの視野のうち一の視野について図示している。

詳細には、撮像ユニット８は、部品３１を吸着し、吸着された部品３１を基板Ｐの実装位置Ｐａに実装する前、実装位置Ｐａに向かって実装ヘッド４２が下降している際に、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２の各々により部品３１の実装前の実装位置Ｐａを含む所定領域を撮像するように構成されている。また、撮像ユニット８は、部品３１を基板Ｐの実装位置Ｐａに実装した後、実装位置Ｐａから実装ヘッド４２が上昇している際に、部品３１の実装後の実装位置Ｐａを含む所定領域を撮像するように構成されている。これにより、実装ヘッド４２の上昇中または下降中に実装前後の実装位置Ｐａを含む所定領域を撮像することができるので、実装ヘッド４２を停止させて実装前後の実装位置Ｐａを含む所定領域を撮像する場合と異なり、成否判定用の撮像によりタクトロスが生じるのを抑制することができる。なお、この際、図５に示すように、撮像ユニット８は、第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２とを一度に（同時に）撮像するように構成されている。図５では、部品３１の実装後の実装位置Ｐａを含む所定領域の撮像画像について示している。

（実装部品の成否判定）
ここで、本実施形態では、制御部９は、実装位置Ｐａ周辺の遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄ（図６〜図９参照）の状態に応じて、第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２とのうちから、部品３１が実装位置Ｐａに正常に実装されたか否かの判定に用いる成否判定用視野を選択するように構成されている。

具体的には、制御部９は、撮像ユニット８から第１視野Ｖ１による撮像結果と第２視野Ｖ２による撮像結果とを取得するとともに、実装位置Ｐａ周辺の遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄ（図６〜図９参照）の状態に応じて、取得された第１視野Ｖ１による撮像結果と第２視野Ｖ２による撮像結果とのうちから、成否判定用視野による撮像結果を選択するように構成されている。

なお、図６に示すように、遮蔽物Ｓａは、実装ヘッド４２に吸着されている実装前の部品３１（吸着部品）である。また、図７に示すように、遮蔽物Ｓｂは、実装位置Ｐａ周辺において基板Ｐに既に実装されている部品３１（手前部品）である。また、図８および図９に示すように、遮蔽物Ｓｃおよび遮蔽物Ｓｄは、部品３１を吸着した実装ヘッド４２のノズル４１である。

そして、制御部９は、選択された成否判定用視野による部品３１の実装前の実装位置Ｐａを含む所定領域の撮像画像と、部品３１の実装後の実装位置Ｐａを含む所定領域の撮像画像とに基づいて、成否判定を行うように構成されている。詳細には、図４に示すように、制御部９は、実装位置Ｐａを含む所定領域の撮像画像のうちに成否判定に用いる判定枠Ｄ（二点鎖線により示す）を設定し、設定された判定枠Ｄ内の部品３１の実装前の撮像画像と部品３１の実装後の撮像画像との差画像を生成するとともに、生成された差画像に基づいて、成否判定を行うように構成されている。なお、判定枠Ｄは、本発明の「判定領域」の一例である。

（遮蔽度合の取得）
本実施形態では、制御部９は、実装位置Ｐａ周辺の遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄの状態に応じて、遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄによる第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２の各々の遮蔽度合を取得し、取得された遮蔽度合に基づいて、第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２とのうちから、遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄによる遮蔽の影響が少ない成否判定用視野を選択するように構成されている。

以下に、図６〜図８を参照して、遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄによる第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２の各々の遮蔽度合を取得する方法について説明する。ここでは、遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄにより視野（第１視野Ｖ１または第２視野Ｖ２）が遮蔽されない場合に撮像ユニット８により撮像可能な実装後の部品３１の全体の大きさ（部品全体長）に対する、遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄが存在する場合に遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄにより視野（第１視野Ｖ１または第２視野Ｖ２）が遮蔽される場合に遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄにより遮蔽される実装後の部品３１の遮蔽部分（部品遮蔽部分長）の大きさの割合（遮蔽割合＝部品遮蔽部分長／部品全体長×１００（％））を、遮蔽度合として取得する方法について説明する。なお、図６〜図８の説明では、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２を、単に視野として記載し、第１視野Ｖ１の傾き角度θＨ（図２参照）および第２視野Ｖ２の傾き角度θＬ（図２参照）を、単にθとして記載する。

〈吸着部品遮蔽割合の取得〉
まず、図６を参照して、実装ヘッド４２に吸着されている実装前の部品３１（吸着部品）である遮蔽物Ｓａについて説明する。遮蔽物Ｓａ（吸着部品）の場合には、実装前の撮像画像を撮像するタイミングで、遮蔽物Ｓａにより視野のうち成否判定に用いる部分の一部（つまり、部品遮蔽部分長Ｘｉの部分）が遮蔽されてしまう。この場合、吸着部品遮蔽割合は、以下のように算出（取得）することができる。

すなわち、実装前の撮像ユニット８による撮像時における部品３１（遮蔽物Ｓａ）の撮像高さをｈとし、部品３１のＺ方向の部品厚みをｔとし、部品３１のＹ方向の部品幅をｙとし、撮像ユニット８による撮像角度（傾き角度）をθ（θ＝θＨまたはθＬ）とする。これにより、以下の式（１）により上側可視部分長ｙｐを求めることができる。
ｙｐ＝（ｈ−ｔ）／ｔａｎθ ・・・（１）

そして、式（１）により求めた上側可視部分長ｙｐを用いて、以下の式（２）により部品遮蔽部分長Ｘｉを求めることができる。
Ｘｉ＝（ｙ−ｙｐ）×ｓｉｎθ ・・・（２）

また、以下の式（３）により部品全体長Ｘｔを求めることができる。
Ｘｔ＝ｙ×ｓｉｎθ＋ｔ×ｃｏｓθ ・・・（３）

この結果、以下の式（４）により遮蔽物Ｓａ（吸着部品）による吸着部品遮蔽割合Ｘ（％）を求めることができる。
Ｘ＝Ｘｉ／Ｘｔ×１００ ・・・（４）

〈手前部品遮蔽割合の取得〉
次に、図７を参照して、実装位置Ｐａ周辺において基板Ｐに既に実装されている部品３１（手前部品）である遮蔽物Ｓｂについて説明する。遮蔽物Ｓｂ（手前部品）の場合には、実装前および実装後の撮像画像を撮像する両方のタイミングで、遮蔽物Ｓｂにより視野のうち成否判定に用いる部分の一部（つまり、部品遮蔽部分長Ｙｉの部分）が遮蔽されてしまう。この場合、手前部品遮蔽割合は、以下のように算出（取得）することができる。

すなわち、遮蔽物Ｓｂ（手前部品）のＺ方向の部品厚みをｔａとし、実装された部品３１と遮蔽物Ｓｂ（手前部品）との間の部品間隙間長をｃとする。これにより、以下の式（５）により部品遮蔽部分長Ｙｉを求めることができる。なお、図６と同一の値については、同じ記号を付し、その説明を省略する。
Ｙｉ＝（ｔａ−ｃ×ｔａｎθ）×ｃｏｓθ ・・・（５）

また、以下の式（６）により部品全体長Ｙｔを求めることができる。
Ｙｔ＝ｙ×ｓｉｎθ＋ｔ×ｃｏｓθ ・・・（６）

この結果、以下の式（７）により遮蔽物Ｓｂ（手前部品）による手前部品遮蔽割合Ｙ（％）を求めることができる。
Ｙ＝Ｙｉ／Ｙｔ×１００ ・・・（７）

〈ノズル遮蔽割合の取得〉
次に、図８および図９を参照して、部品３１を吸着した実装ヘッド４２のノズル４１である遮蔽物ＳｃおよびＳｄについて説明する。なお、図８および図９では、便宜的に、ノズル４１に対する部品３１の吸着位置ずれを誇張して示している。図８に示す遮蔽物Ｓｃ（ノズル）の場合には、吸着時に部品３１がノズル中心からずれて吸着されたときに、実装前の撮像画像を撮像するタイミングで、遮蔽物Ｓｃ（ノズル）により視野のうち成否判定に用いる部分の一部（つまり、部品遮蔽部分長Ｚｉの部分）が遮蔽されてしまう。この場合、ノズル遮蔽割合は、以下のように算出（取得）することができる。

すなわち、実装前の撮像ユニット８による撮像時のノズル４１のフランジまでのノズルフランジ高さをｈ＿ｎｕとし、部品３１のＹ方向の吸着ズレ量をｄとし、ノズル４１の中心からＹ２側のノズル４１のフランジの端部までのノズル中心−ノズルフランジ間長をａとする。これにより、以下の式（８）により上側可視部分長ｚｐを求めることができる。なお、図６と同一の値については、同じ記号を付し、その説明を省略する。
ｚｐ＝（ｈ＿ｎｕ−ｔ）／ｔａｎθ ・・・（８）

また、以下の式（９）によりＹ１側の部品３１の端部からＹ２側のノズル４１のフランジの端部までの部品端−ノズルフランジ間長Ｌを求めることができる。
Ｌ＝（ｙ／２）＋ｄ＋ａ ・・・（９）

そして、式（８）により求めた上側可視部分長ｚｐと、式（９）により求めた部品端−ノズルフランジ間長Ｌ用いて、以下の式（１０）により部品遮蔽部分長Ｚｉを求めることができる。
Ｚｉ＝（Ｌ−ｚｐ）×ｓｉｎθ ・・・（１０）

また、以下の式（１１）により部品全体長Ｚｔを求めることができる。
Ｚｔ＝ｙ×ｓｉｎθ＋ｔ×ｃｏｓθ ・・・（１１）

この結果、以下の式（１２）により遮蔽物Ｓｃ（ノズル）によるノズル遮蔽割合Ｚ（％）を求めることができる。
Ｚ＝Ｚｉ／Ｚｔ×１００ ・・・（１２）

〈ノズル遮蔽割合の取得の他の例〉
図８では、遮蔽物Ｓｃ（ノズル）のフランジにより視野が遮蔽される場合について説明したが、ノズル４１の形状によっては、図９に示す遮蔽物Ｓｄのように、ノズル４１の先端部分により視野が遮蔽される場合もある。この場合、実装前の撮像ユニット８による撮像時のノズル４１の先端部分の角部までのノズル角高さをｈ＿ｎｂとして、上記した式（８）〜（１２）におけるｈ＿ｎｕをｈ＿ｎｂに置き換える。これにより、ノズル４１の先端部分により視野が遮蔽される場合における、上側可視長部分ｚｐ、ノズル中心−ノズル角間長Ｌ、部品遮蔽部分長Ｚｉ、部品全体長Ｚｔ、およびノズル遮蔽割合Ｚをそれぞれ求めることができる。

以上のようにして、制御部９は、遮蔽物Ｓａによる視野（第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２）の遮蔽割合（吸着部品遮蔽割合Ｘ）、遮蔽物Ｓｂによる視野の遮蔽割合（手前部品遮蔽割合Ｙ）、および遮蔽物Ｓｃまたは遮蔽物Ｓｄによる視野の遮蔽割合（ノズル遮蔽割合Ｚ）を取得するように構成されている。そして、制御部９は、取得された遮蔽割合に基づいて、第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２とのうちから、遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄによる遮蔽の影響が少ない成否判定用視野を選択するように構成されている。

また、本実施形態では、制御部９は、取得された遮蔽割合に加えて、実装位置Ｐａに実装される部品３１の種類および実装位置Ｐａ周辺の部品３１の背景（基板Ｐの基板面Ｐｂ）にも基づいて、第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２とのうちから、成否判定用視野を選択するように構成されている。これにより、遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄによる遮蔽の影響が少なくかつ部品３１の特徴点がより多く撮像可能な成否判定用視野を選択することが可能となる。
（判定枠の補正）
また、上記のように、制御部９は、成否判定を行う場合には、実装位置Ｐａを含む所定領域の撮像画像のうちに成否判定に用いる判定枠Ｄ（図４参照）を設定し、設定された判定枠Ｄ内の部品３１の実装前の撮像画像と部品３１の実装後の撮像画像との差画像を生成する。この際、基板Ｐの反り（上反り、下反り）に起因して基板面Ｐｂの高さ位置が変化した場合や、実装ヘッド４２のノズル４１に吸着された部品３１に吸着ズレがある場合などには、判定枠Ｄに対して実装位置Ｐａが位置ずれするおそれがある。

したがって、本実施形態では、図１０に示すように、制御部９は、基板面Ｐｂの高さ（図１１に示す基板面高さｈｐ）および部品３１の吸着ズレに基づいて、判定枠Ｄ内に実装位置Ｐａが含まれるように、成否判定用視野による撮像画像のうち判定枠Ｄの位置を補正するように構成されている。また、制御部９は、補正後の判定枠Ｄ内の部品３１の実装前の撮像画像と部品３１の実装後の撮像画像との差画像を生成し、生成された差画像に基づいて、成否判定を行うように構成されている。

〈基板高さの取得〉
制御部９は、第１視野Ｖ１による撮像画像と第２視野Ｖ２による撮像画像とに基づいて、基準面Ｐｓ（図１１参照）に対する基板Ｐの基板面Ｐｂの高さをステレオマッチングにより取得するように構成されている。

具体的には、図１１に示すように、まず、第１視野Ｖ１により傾き角度θＨで対象物（基板面Ｐｓの所定位置）が撮像され、第２視野Ｖ２により傾き角度θＬで対象物が撮像される。そして、第１視野Ｖ１による撮像画像と、第２視野Ｖ２による撮像画像とをステレオマッチングすることにより、第１視野Ｖ１による撮像画像と第２視野Ｖ２による撮像画像との間の視差ｐ（ｐｉｘｅｌ）を求める。そして、成否判定用カメラ８１のカメラ分解能をＲ（μｍ／ｐｉｘｅｌ）とすると、以下の式（１３）により距離Ａ（μｍ）を求めることができる。
Ａ＝ｐ×Ｒ／ｓｉｎ（θＨ−θＬ） ・・・（１３）

そして、式（１３）により求めた距離Ａを用いて、以下の式（１４）により基準面Ｐｓに対する基板面Ｐｂの基板面高さｈｐ（μｍ）を求めることができる。
ｈｐ＝Ａ×ｓｉｎ（θＬ） ・・・（１４）

〈吸着ズレ量の取得〉
制御部９は、部品認識カメラ７により撮像された部品３１の吸着状態（吸着姿勢）に基づいて、部品３１の吸着ズレ量を取得するように構成されている。そして、制御部９は、取得された部品３１の吸着ズレ量に基づいて、判定枠Ｄ内に実装位置Ｐａが含まれるように、成否判定用視野による撮像画像のうち判定枠Ｄの位置を補正するように構成されている。
（実装成否判定処理）
次に、図１２を参照して、上記した実装成否判定処理についてフローチャートに基づいて説明する。部品実装装置１００の動作は、制御部９により行われる。

まず、ステップＳ１において、基板データが選択される。これにより、これから実装される部品３１の大きさなどの情報が取得される。すなわち、部品３１の実装位置Ｐａや、部品厚みｔ、部品幅ｙ、手前部品の部品厚みｔａ、部品間隙間長ｃ、ノズルフランジ高さｈ＿ｎｕ、ノズル角高さｈ＿ｎｂ、ノズル中心−ノズルフランジ（ノズル角）間長ａなどの情報が取得される。

そして、ステップＳ２において、上記した式（１）〜式（４）により、吸着部品遮蔽割合Ｘ（図６参照）が取得される。この際、撮像高さｈおよび撮像角度θとしては、予め設定された値を用いる。

そして、ステップＳ３において、ヘッドユニット４による部品３１の実装動作が開始される。すなわち、ヘッドユニット４の実装ヘッド４２により部品供給部３から部品３１が吸着される。

そして、ステップＳ４において、実装される部品３１が二点目以降の部品３１であるか否かが判断される。二点目以降の部品３１であると判断される場合には、ステップＳ５に進む。

そして、ステップＳ５において、上記した式（５）〜式（７）により、手前部品遮蔽割合Ｙ（図７参照）が取得される。

また、ステップＳ４において、二点目以降の部品３１ではないと判断される場合には、ステップＳ５を飛ばして、ステップＳ６に進む。つまり、実装される部品３１が一点目の部品である場合には、遮蔽物Ｓｂ（手前部品）が存在しないので、ステップＳ５の処理を飛ばして、ステップＳ６に進む。

そして、ステップＳ６において、部品認識カメラ７により部品３１の吸着状態（吸着姿勢）が撮像される。

そして、ステップＳ７において、部品認識カメラ７により撮像された部品３１の吸着状態に基づいて、吸着ズレ量ｄ（図８および図９参照）が取得される。

そして、ステップＳ８において、上記した式（８）〜式（１２）により、ノズル遮蔽割合Ｚ（図８および図９参照）が取得される。この際、ノズル４１の形状に応じて、図８または図９に示すノズル遮蔽割合Ｚが取得される。

そして、ステップＳ９において、実装ヘッド４２の下降中に、実装前の実装位置Ｐａを含む所定領域が撮像ユニット８により撮像される。この際、第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２との各々により、実装前の実装位置Ｐａを含む所定領域が撮像される。そして、実装前の第１視野Ｖ１の撮像画像と、実装前の第２視野Ｖ２の撮像画像とが取得される。

そして、ステップＳ１０において、取得された第１視野Ｖ１の撮像画像と、第２視野Ｖ２との撮像画像とに基づいて、上記した式（１３）および式（１４）により、ステレオマッチングにより基板面高さｈｐ（図１１参照）が取得される。また、ステップＳ９とステップ１１との間に、実装ヘッド４２に吸着された部品３１が、基板Ｐの実装位置Ｐａに実装される。

そして、ステップＳ１１において、実装ヘッド４２の上昇中に、実装後の実装位置Ｐａを含む所定領域が撮像ユニット８により撮像される。この際にも、第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２との各々により、実装後の実装位置Ｐａを含む所定領域が撮像される。そして、実装後の第１視野Ｖ１の撮像画像と、実装後の第２視野Ｖ２の撮像画像とが取得される。

そして、ステップＳ１２において、ステップＳ２で取得された吸着部品遮蔽割合Ｘ、ステップＳ５で取得された手前部品取得割合Ｙ、およびステップＳ８で取得されたノズル遮蔽割合Ｚの３つの遮蔽割合と、実装位置Ｐａに実装される部品３１の種類および実装位置Ｐａ周辺の部品３１の背景（基板Ｐの基板面Ｐｂ）とに基づいて、第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２とのうちから、成否判定用視野として用いられる視野が選択される。

そして、ステップＳ１３〜ステップＳ１７において、選択された成否判定用視野の実装前の撮像画像と実装後の撮像画像とに基づいて、部品３１が実装位置Ｐａに正常に実装されたか否かの成否判定が行われる。

具体的には、まず、ステップＳ１３において、実装前の撮像画像と、実装後の撮像画像との重ね位置合わせが行われる。

そして、ステップＳ１４およびステップＳ１５において、判定枠Ｄの位置補正が行われる。ステップＳ１４では、部品認識カメラ７により撮像された部品３１のノズル４１に対する吸着ズレに基づいて、実装位置Ｐａが判定枠Ｄ内に収まるように、判定枠Ｄの位置補正が行われる。また、ステップＳ１５では、ステップＳ１０で取得された基板面高さｈｐに基づいて、実装位置Ｐａが判定枠Ｄ内に収まるように、判定枠Ｄの位置補正が行われる。

そして、ステップＳ１６において、補正後の判定枠Ｄ内の部品３１の実装前および実装後の撮像画像の差画像が生成される。

そして、ステップＳ１７において、生成された差画像に基づいて、部品３１が実装位置Ｐａに正常に実装されたか否かの成否判定が行われる。部品３１が実装位置Ｐａに正常に実装されたと判断される場合には、実装成否判定処理が終了する。また、部品３１が実装位置Ｐａに正常に実装されたと判断されない場合には、ステップＳ１８に進む。

そして、ステップＳ１８において、部品実装装置１００がエラー停止される。その後、ステップＳ１９において、実装前の撮像画像と実装後の撮像画像とが外部に向けて出力される。これにより、部品実装装置１００を使用するユーザは、どのような異常が生じたかを確認することが可能である。

なお、上記した実装成否判定処理では、ステップＳ２、ステップＳ５およびステップＳ８で、それぞれ、吸着部品遮蔽割合Ｘ、手前部品取得割合Ｙおよびノズル遮蔽割合Ｚが順次取得（算出）された。このように、各遮蔽割合を取得（算出）するための値が取得されたタイミングで、各遮蔽割合を取得（算出）することにより、たとえばステップＳ１２で３つの遮蔽割合を一度に取得（算出）する場合と異なり、制御部９による処理負荷を分散し、軽減しつつ、各遮蔽割合を取得することが可能になる。

（本実施形態の効果）
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

本実施形態では、上記のように、実装位置Ｐａ周辺の遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄの状態に応じて、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２のうちから、部品３１が実装位置Ｐａに実装されたか否かの成否判定に用いる成否判定用視野を選択するように制御部９を構成する。これにより、遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄに起因して一の視野により実装位置Ｐａを正確に撮像できなかったとしても、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２のうち一の視野よりも遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄによる遮蔽の影響が少ない他の視野を成否判定用視野として制御部９により選択することができる。その結果、遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄによる遮蔽の影響がより少ない視野での撮像結果に基づいて成否判定を行うことができるので、部品３１が実装位置Ｐａに実装されたか否かを安定して判定することができる。

また、本実施形態では、実装位置Ｐａ周辺の遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄの状態に応じて、遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄによる第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２の各々の遮蔽度合を取得するとともに、取得された第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２の各々の遮蔽度合に基づいて、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２のうちから、成否判定用視野を選択するように制御部９を構成する。これにより、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２のうち一の視野よりも遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄによる遮蔽の影響が少ない他の視野を成否判定用視野として制御部９により確実に選択することができる。その結果、部品３１が実装位置Ｐａに実装されたか否かをより安定して判定することができる。

また、本実施形態では、遮蔽度合を、部品３１の全体の大きさに対する遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄにより遮蔽される部品３１の遮蔽部分の大きさの割合である遮蔽割合（吸着部品遮蔽割合Ｘ、手前部品遮蔽割合Ｙおよびノズル遮蔽割合Ｚ）とする。また、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２の各々の遮蔽割合に基づいて、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２のうちから、成否判定用視野を選択するように制御部９を構成する。これにより、遮蔽部分の大きさのみに基づいて成否判定用視野を選択する場合と異なり、通常部品３１の種類毎に異なる部品３１の全体の大きさも考慮して成否判定用視野を選択することができる。その結果、遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄによる遮蔽の影響をより適切に評価することができるので、遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄによる遮蔽の影響が少ない成否判定用視野をより確実に選択することができる。

また、本実施形態では、実装位置Ｐａ周辺の遮蔽物（Ｓａ〜Ｓｄ）は、実装ヘッド４２に吸着されている実装前の部品３１（吸着部品）、実装位置Ｐａ周辺において基板Ｐに実装されている部品３１（手前部品）、および部品３１を吸着した実装ヘッド４２のノズル４１である。これにより、視野を遮蔽する遮蔽物となり易い実装ヘッド４２に吸着されている実装前の部品３１、実装位置Ｐａ周辺において基板Ｐに実装されている部品３１、および部品３１を吸着した実装ヘッド４２の３種類の遮蔽物（Ｓａ〜Ｓｄ）の状態に応じて、成否判定用視野を制御部９により選択することができる。その結果、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２のうちから遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄにより遮蔽の影響が少ない視野を成否判定用視野として制御部９により確実に選択することができる。

また、本実施形態では、撮像方向が互いに異なる第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２を、基板Ｐの部品３１が実装される基板面Ｐｂに対してそれぞれの撮像方向が互いに異なる傾き角度（θＨおよびθＬ）となるように配置する。これにより、異なる傾き角度から実装位置Ｐａを撮像することができるので、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２のうちに遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄによる遮蔽の影響が少ない視野を容易に設けることができる。

また、本実施形態では、撮像方向が互いに異なる第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２を、基板面Ｐｂに対する鉛直面内（ＹＺ面内）において隣接して配置されている。これにより、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２が基板面Ｐｂに対して平行な方向に離間して配置される場合と比べて、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２をコンパクトに配置することができる。その結果、撮像ユニット８が大型化するのを抑制しつつ、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２のうちに遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄによる遮蔽の影響が少ない視野を容易に設けることができる。

また、本実施形態では、撮像ユニット８に、実装位置Ｐａを撮像する成否判定用カメラ８１と、成否判定用カメラ８１の視野を、撮像方向が互いに異なる第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２に分割する光学系８３と、を設ける。これにより、複数の成否判定用カメラを用いて第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２を撮像する場合と異なり、単一の成否判定用カメラ８１を用いて第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２を撮像することができる。その結果、撮像ユニット８の成否判定用カメラ８１の構成が複雑化するのを抑制しつつ、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２を撮像することができる。

また、本実施形態では、撮像ユニット８に、成否判定用カメラ８１の視野を、複数の光学系８３の各々に向けて分割する光学系８２、を設ける。これにより、複数の成否判定用カメラを用いて実装ヘッド４２毎に第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２を撮像する場合と異なり、単一の成否判定用カメラ８１を用いて実装ヘッド４２毎に第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２を撮像することができる。その結果、撮像ユニット８の成否判定用カメラ８１の構成が複雑化するのを抑制しつつ、実装ヘッド４２毎に第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２を撮像することができる。また、本実施形態の部品実装装置１００のように、ＸＹ方向に移動可能なヘッドユニット４に撮像ユニット８が固定される構成では、ヘッドユニット４の移動を容易にする観点から、ヘッドユニット４自体の重量に加えて、固定された撮像ユニット８の重量も軽量であるほうが好ましい。したがって、上記のように撮像ユニット８の成否判定用カメラ８１の構成が複雑化するのを抑制し、成否判定用カメラ８１の数や成否判定用カメラ８１に付随するケーブルなどの部品が増加するのを抑制することにより、撮像ユニット８の重量が増加するのを抑制することができることは非常に効果的である。

また、本実施形態では、撮像ユニット８から第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２による各々の撮像画像を取得するとともに、実装位置Ｐａ周辺の遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄの状態に応じて、取得された第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２による各々の撮像画像のうちから、成否判定用視野による撮像画像を選択するように制御部９を構成する。これにより、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２のうち一の視野よりも遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄによる遮蔽の影響が少ない他の視野を成否判定用視野として制御部９により容易に選択することができるので、部品３１が実装位置Ｐａに実装されたか否かを容易に安定して判定することができる。

また、本実施形態では、実装位置Ｐａ周辺の遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄの状態に加えて、実装位置Ｐａに実装される部品３１の種類または実装位置Ｐａ周辺の部品３１の背景にも応じて、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２のうちから、成否判定用視野を選択するように制御部９を構成する。これにより、実装位置Ｐａに実装される部品３１の種類または実装位置Ｐａ周辺の背景も考慮して成否判定用視野を選択できるので、遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄによる遮蔽の影響が少なくかつ部品３１の特徴点をより多く撮像可能な視野を容易に選択することができる。

また、本実施形態では、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２の各々により、部品３１の実装前の実装位置Ｐａと部品３１の実装後の実装位置Ｐａとを撮像するように撮像ユニット８を構成する。そして、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２の各々による撮像画像のうちから選択された成否判定用視野による部品３１の実装前の実装位置Ｐａの撮像画像、および実装後の実装位置Ｐａの撮像画像に基づいて、成否判定を行うように制御部９を構成する。これにより、選択された成否判定用視野による部品３１の実装前および実装後のそれぞれの実装位置Ｐａの撮像画像に基づいて、成否判定を制御部９により容易に行うことができる。

また、本実施形態では、第１視野Ｖ１および第２視野Ｖ２の各々による実装位置Ｐａの撮像画像に基づいて、基準面Ｐｓに対する基板Ｐの基板面Ｐｂの高さを取得するとともに、取得された基板面Ｐｂの高さに基づいて、成否判定用視野による撮像画像のうち成否判定に用いる判定枠Ｄを補正するように制御部９を構成する。これにより、たとえば基板Ｐの反りにより基準面Ｐｓに対する基板Ｐの基板面Ｐｂの高さが変化することによって、判定枠Ｄに対して実装位置Ｐａが位置ずれするような場合にも、制御部９により判定枠Ｄが補正されるので、適切に成否判定を行うことができる。

［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

たとえば、上記実施形態では、第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２との２つの視野により実装位置Ｐａを撮像可能に撮像ユニット８を構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、３つ以上の視野により実装位置を撮像可能に撮像ユニットを構成してもよい。

また、上記実施形態では、単一の成否判定用カメラ８１を用いて第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２との２つの視野により実装位置Ｐａを撮像可能に撮像ユニット８を構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、複数の成否判定用カメラを用いて複数の視野により実装位置を撮像可能に撮像ユニットを構成してもよい。

また、上記実施形態では、第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２とを一度に撮像するように撮像ユニット８を構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、成否判定用視野を選択してから、選択された１つの視野でのみ撮像するように撮像ユニットを構成してもよい。

また、上記実施形態では、単一の成否判定用カメラ８１を用いて実装ヘッド４２毎の第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２との２つの視野により実装位置Ｐａを撮像可能に撮像ユニット８を構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、実装ヘッド毎に成否判定用カメラを設けてもよい。

また、上記実施形態では、複数（５つ）の実装ヘッド４２を含むヘッドユニット４に、１つの撮像ユニット８を設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、実装ヘッドの数に応じて、１つのヘッドユニットに対して複数の撮像ユニットを設けてもよい。たとえば、１０本の実装ヘッドをヘッドユニットが含む場合には、このヘッドユニットに対して上記実施形態の撮像ユニット８を２つ設けてもよい。

また、上記本実施形態では、プリズム８３ａと一対のミラー８３ｂとを有する光学系８３により、成否判定用カメラ８１の視野を、第１視野Ｖ１と第２視野Ｖ２との２つの視野に分割した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、上記実施形態で示した光学系以外の光学系により、成否判定用カメラの視野を複数の視野に分割してもよい。たとえば、鏡面加工を施したプリズムを有する光学系や、プリズムのみからなる光学系、ミラーのみからなる光学系などの光学系により成否判定用カメラの視野を複数の視野に分割してもよい。

また、上記実施形態では、遮蔽度合として、吸着部品遮蔽割合Ｘ、手前部品遮蔽割合Ｙ、およびノズル遮蔽割合Ｚなどの遮蔽割合を用いた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、遮蔽度合として、遮蔽割合以外が用いられてもよい。たとえば、遮蔽度合として、部品遮蔽部分長Ｘｉ（Ｙｉ、Ｚｉ）などの遮蔽物による遮蔽部分の大きさが用いられてもよい。

また、上記実施形態では、遮蔽物Ｓａ〜Ｓｄとして、実装ヘッド４２に吸着されている実装前の部品３１（吸着部品）実装位置Ｐａ周辺において基板Ｐに既に実装されている部品３１（手前部品）部品３１を吸着した実装ヘッド４２のノズル４１の３種類を用いた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、遮蔽物として、上記の３種類以外の遮蔽物を考慮してもよい。また、遮蔽物として、上記３種類の遮蔽物のうちいずれか１つのみ、または２つの組み合わせを用いてもよい。

また、上記本実施形態では、基板面Ｐｂの高さおよび部品３１の吸着ズレに基づいて、判定枠Ｄ内に実装位置Ｐａが含まれるように判定枠Ｄの位置を補正した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、判定枠内に実装位置Ｐａが含まれるように判定枠の形状を補正してもよい。

また、上記実施形態では、説明の便宜上、制御部９の処理を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローを用いて説明したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御部９の処理を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型（イベントドリブン型）の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。

８ 撮像ユニット
９ 制御部
３１ 部品
４２ 実装ヘッド
８１ 成否判定用カメラ（撮像部）
８２ 光学系（第２光学系）
８３ 光学系（第１光学系）
１００ 部品実装装置
Ｐ 基板
Ｐａ 実装位置
Ｐｂ 基板面
Ｐｓ 基準面
Ｖ１ 第１視野
Ｖ２ 第２視野
Ｓａ〜Ｓｄ 遮蔽物

Claims (13)

1. 基板（Ｐ）における実装位置（Ｐａ）に部品（３１）を実装する実装ヘッド（４２）と、
   撮像方向が互いに異なる複数の視野（Ｖ１、Ｖ２）により前記実装位置を撮像可能な撮像ユニット（８）と、
   前記実装位置周辺の遮蔽物（Ｓａ〜Ｓｄ）の状態に応じて、前記複数の視野のうちから、前記部品が前記実装位置に実装されたか否かの成否判定に用いる成否判定用視野を選択する制御部（９）と、を備える、部品実装装置。
2. 前記制御部は、前記実装位置周辺の前記遮蔽物の状態に応じて、前記遮蔽物による前記複数の視野の各々の遮蔽度合を取得するとともに、取得された前記複数の視野の各々の遮蔽度合に基づいて、前記複数の視野のうちから、前記成否判定用視野を選択するように構成されている、請求項１に記載の部品実装装置。
3. 前記遮蔽度合は、前記部品の全体の大きさに対する前記遮蔽物により遮蔽される前記部品の遮蔽部分の大きさの割合である遮蔽割合を含み、
   前記制御部は、前記複数の視野の各々の遮蔽割合に基づいて、前記複数の視野のうちから、前記成否判定用視野を選択するように構成されている、請求項２に記載の部品実装装置。
4. 前記実装位置周辺の遮蔽物は、前記実装ヘッドに吸着されている実装前の前記部品（Ｓａ）、前記実装位置周辺において前記基板に実装されている前記部品（Ｓｂ）、および前記部品を吸着した前記実装ヘッド（Ｓｃ、Ｓｄ）の少なくともいずれかを含む、請求項１に記載の部品実装装置。
5. 撮像方向が互いに異なる前記複数の視野は、前記基板の前記部品が実装される基板面（Ｐｂ）に対してそれぞれの撮像方向が互いに異なる傾き角度となるように配置されている、請求項１に記載の部品実装装置。
6. 撮像方向が互いに異なる前記複数の視野は、前記基板面に対する鉛直面内において隣接して配置されている、請求項５に記載の部品実装装置。
7. 前記撮像ユニットは、
   前記実装位置を撮像する撮像部（８１）と、
   前記撮像部の視野を、撮像方向が互いに異なる前記複数の視野に分割する第１光学系（８３）と、を含む、請求項１に記載の部品実装装置。
8. 前記実装ヘッドは、複数設けられており、
   前記撮像ユニットの前記第１光学系は、複数の前記実装ヘッドに対応するように複数設けられており、
   前記撮像ユニットは、前記撮像部の視野を、複数の前記第１光学系の各々に向けて分割する第２光学系（８２）をさらに含む、請求項７に記載の部品実装装置。
9. 前記制御部は、前記撮像ユニットから前記複数の視野による各々の撮像画像を取得するとともに、前記実装位置周辺の遮蔽物の状態に応じて、取得された前記複数の視野による各々の撮像画像のうちから、前記成否判定用視野による撮像画像を選択するように構成されている、請求項１に記載の部品実装装置。
10. 前記制御部は、前記実装位置周辺の遮蔽物の状態に加えて、前記実装位置に実装される前記部品の種類または前記実装位置周辺の前記部品の背景の少なくともいずれかにも応じて、前記複数の視野のうちから、前記成否判定用視野を選択するように構成されている、請求項１に記載の部品実装装置。
11. 前記撮像ユニットは、前記複数の視野の各々により、前記部品の実装前の前記実装位置と前記部品の実装後の前記実装位置とを撮像するように構成されており、
    前記制御部は、前記複数の視野の各々による撮像画像のうちから選択された前記成否判定用視野による前記部品の実装前の前記実装位置の撮像画像、および実装後の前記実装位置の撮像画像に基づいて、前記成否判定を行うように構成されている、請求項１に記載の部品実装装置。
12. 前記制御部は、前記複数の視野の各々による前記実装位置の撮像画像に基づいて、基準面（Ｐｓ）に対する前記基板の基板面（Ｐａ）の高さを取得するとともに、取得された前記基板面の高さに基づいて、前記成否判定用視野による撮像画像のうち成否判定に用いる判定領域を補正するように構成されている、請求項１に記載の部品実装装置。
13. 基板（Ｐ）における実装位置（Ｐａ）に部品（３１）を実装ヘッド（４２）により実装するステップと、
    撮像方向が互いに異なる複数の視野（Ｖ１、Ｖ２）により前記実装位置を撮像ユニット（８）により撮像するステップと、
    前記実装位置周辺の遮蔽物（Ｓａ〜Ｓｄ）の状態に応じて、前記複数の視野のうちから、前記部品が前記実装位置に実装されたか否かの成否判定に用いる成否判定用視野を制御部（９）により選択するステップと、を備える、部品実装装置における部品実装判定方法。

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