JP6599286B2 - 基板作業装置 - Google Patents
基板作業装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6599286B2 JP6599286B2 JP2016120718A JP2016120718A JP6599286B2 JP 6599286 B2 JP6599286 B2 JP 6599286B2 JP 2016120718 A JP2016120718 A JP 2016120718A JP 2016120718 A JP2016120718 A JP 2016120718A JP 6599286 B2 JP6599286 B2 JP 6599286B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- imaging
- unit
- working
- board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
図1〜図6を参照して、本発明の一実施形態による部品実装装置100の構成について説明する。
次に、図7を参照して、部品実装装置100のCPU81による基板位置認識処理についてフローチャートに基づいて説明する。なお、図7の例では、基板認識カメラ43により、基板Pが(n+1/2)×Tの撮像周期で2回撮像される例について説明する。
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
32 部品
43 基板認識カメラ(撮像部)
81 CPU(制御部)
100 部品実装装置(基板作業装置)
P 基板
Claims (6)
- 部品が実装される基板に対して作業を行うとともに、前記基板に対して移動可能な作業部と、
前記作業部に設けられ、前記基板を撮像可能な撮像部と、
前記作業部の移動および前記撮像部による撮像を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記作業部の振動周期Tに対して、(n+1/2)×T(nは0以上の整数)の撮像周期で前記撮像部により前記基板を複数回撮像して、前記基板の位置を認識するように構成されている、基板作業装置。 - 前記制御部は、(n+1/2)×Tの撮像周期で前記撮像部により前記基板を複数回撮像して、撮像した複数の画像における前記基板の位置座標値を平均して、前記基板の位置を認識するように構成されている、請求項1に記載の基板作業装置。
- 前記制御部は、前記撮像部の撮像可能時間間隔以上で、かつ、nが最小となる、(n+1/2)×Tの撮像周期で前記撮像部により前記基板を複数回撮像して、前記基板の位置を認識するように構成されている、請求項1または2に記載の基板作業装置。
- 前記作業部の振動周期Tは、前記作業部が移動して停止したことによる固有振動の周期である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板作業装置。
- 前記作業部は、水平方向において、第1方向と、前記第1方向に交差する第2方向とに移動可能に構成されるとともに、前記第1方向の移動による第1の振動周期と、前記第2方向の移動による第2の振動周期とを有し、
前記制御部は、前記第1方向および前記第2方向のうち撮像直前に前記作業部が移動した方向に対応する前記第1の振動周期または前記第2の振動周期を振動周期Tとして、(n+1/2)×Tの撮像周期で前記撮像部により前記基板を複数回撮像するように構成されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の基板作業装置。 - 前記制御部は、(n+1/2)×Tの撮像周期で前記撮像部により前記基板を偶数回撮像して、前記基板の位置を認識するように構成されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の基板作業装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016120718A JP6599286B2 (ja) | 2016-06-17 | 2016-06-17 | 基板作業装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016120718A JP6599286B2 (ja) | 2016-06-17 | 2016-06-17 | 基板作業装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017224781A JP2017224781A (ja) | 2017-12-21 |
JP6599286B2 true JP6599286B2 (ja) | 2019-10-30 |
Family
ID=60688485
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016120718A Active JP6599286B2 (ja) | 2016-06-17 | 2016-06-17 | 基板作業装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6599286B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7149143B2 (ja) * | 2018-09-20 | 2022-10-06 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | 実装装置および半導体装置の製造方法 |
JP2020136361A (ja) * | 2019-02-14 | 2020-08-31 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | 実装装置および半導体装置の製造方法 |
KR102489320B1 (ko) * | 2022-06-25 | 2023-01-18 | (주)케이셈테크놀러지 | 외팔보 쿼드 타입 반도체 다이 본딩장치 및 그 본딩방법 |
WO2024018937A1 (ja) * | 2022-07-21 | 2024-01-25 | ボンドテック株式会社 | 接合方法および接合装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005243668A (ja) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 部品実装方法及びその装置 |
JP2006216852A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Fujitsu Ltd | 位置決め装置および位置決め装置の制御方法 |
JP5639419B2 (ja) * | 2010-09-06 | 2014-12-10 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | ダイボンダおよびダイボンディング方法 |
JP5995307B2 (ja) * | 2012-03-27 | 2016-09-21 | Jukiオートメーションシステムズ株式会社 | 認識装置、認識方法、プログラム及び基板の製造方法 |
-
2016
- 2016-06-17 JP JP2016120718A patent/JP6599286B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017224781A (ja) | 2017-12-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6599286B2 (ja) | 基板作業装置 | |
JP6571185B2 (ja) | 部品実装装置および部品実装方法 | |
JP6159124B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP6524250B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP6378839B2 (ja) | 部品実装装置および部品実装装置における部品実装判定方法 | |
JP6190229B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP6534447B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP6154915B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP6411663B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP6831472B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP6078316B2 (ja) | 基板作業装置 | |
JP6849815B2 (ja) | 部品実装装置、撮影方法、実装順序の決定方法 | |
JP2009212251A (ja) | 部品移載装置 | |
JP6756467B2 (ja) | 部品実装装置および部品実装装置における撮像方法 | |
JP7016817B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP6774532B2 (ja) | 部品実装装置および部品実装方法 | |
JP6774568B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP2013206906A (ja) | 認識装置、認識方法、プログラム及び基板の製造方法 | |
US10561051B2 (en) | Movement error detection apparatus of mounting head, and component mounting apparatus | |
JP7008118B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP6259331B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP2019075475A (ja) | 部品実装装置 | |
JP6704840B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP6985901B2 (ja) | 部品実装機および実装ライン | |
JP6804905B2 (ja) | 基板作業装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181212 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190913 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190924 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191002 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6599286 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |