DE112015007025T5

DE112015007025T5 - Bauteilmontagevorrichtung

Info

Publication number: DE112015007025T5
Application number: DE112015007025.7T
Authority: DE
Inventors: Kazushi Takama
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2015-10-15
Filing date: 2015-10-15
Publication date: 2018-07-12
Also published as: US20180206370A1; WO2017064786A1; JPWO2017064786A1; CN107926154B; CN107926154A; US11357148B2; JP6524250B2

Abstract

Eine Bauteilmontagevorrichtung (100) umfasst einen Montagekopf (42), der ein Bauteil (31) an einer Montageposition auf einem Substrat (P) montiert, und eine Steuereinheit (9), die einen Montagezustand eines anderen Bauteils, das im Voraus um die Montageposition montiert ist, basierend auf Höheninformationen einer Region um die Montageposition bestimmt.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bauteilmontagevorrichtung.
Allgemeiner Stand der Technik
Im Allgemeinen ist eine Bauteilmontagevorrichtung bekannt. Eine Bauteilmontagevorrichtung ist beispielsweise in der japanischen Patentoffenlegungsschrift Nr. 2008-098411 offenbart.
Die zuvor erwähnte japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. 2008-098411 offenbart ein Oberflächenmontagegerät (Bauteilmontagevorrichtung), umfassend einen Saugmontagekopf, der ein Bauteil an einer Montageposition auf einem Substrat montiert, und eine Kamera, die in der Lage ist, die Montageposition auf dem Substrat abzubilden. In diesem Oberflächenmontagegerät wird bestimmt, ob jedes Bauteil auf der Grundlage eines Bilds, das zu dem Zeitpunkt der Montage aufgenommen wird, auf dem Substrat montiert wird oder nicht.
Stand der Technik
Patentdokument
Patentdokument 1: Japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. 2008-098411
Kurzdarstellung der Erfindung
Von der Erfindung zu lösende Aufgabe
In dem Oberflächenmontagegerät, das in der zuvor erwähnten japanischen Patentoffenlegungsschrift Nummer 2008-098411 offenbart wird, wird jedoch bestimmt, ob jedes Bauteil auf der Grundlage des Bilds, das zu dem Zeitpunkt der Montage aufgenommen wird, auf dem Substrat montiert wird, und somit kann eine fehlerhafte Montage aufgrund eines Betriebs der Montage eines anderen Bauteils nicht bequem erkannt werden, wenn dieselbe nach der Montage auftritt. Daher besteht solch ein Problem, dass es schwierig ist, eine fehlerhafte Bauteilmontage um das montierte Bauteil unmittelbar zu erkennen.
Die vorliegende Erfindung wurde vorgeschlagen, das zuvor erwähnte Problem zu lösen, und eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Bauteilmontagevorrichtung bereitzustellen, die in der Lage ist, eine fehlerhafte Montage eines Bauteils auf einem Substrat um ein montiertes Bauteil unmittelbar zu erkennen.
Mittel zum Lösen der Aufgabe
Eine Bauteilmontagevorrichtung gemäß einem ersten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung umfasst einen Montagekopf, der ein Bauteil an einer Montageposition auf einem Substrat montiert, und eine Steuer- bzw. Regeleinheit, die einen Montagezustand eines anderen Bauteils, das im Voraus um die Montageposition montiert ist, basierend auf Höheninformationen einer Region um die Montageposition bestimmt.
Die Bauteilmontagevorrichtung gemäß dem ersten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung umfasst die Steuereinheit, die eine Steuerung wie zuvor beschrieben ausführt, sodass eine fehlerhafte Montage eines anderen Bauteils, das im Voraus auf dem Substrat montiert wurde, erkannt werden kann, wenn sich ein anderes Bauteil, das im Voraus montiert wurde, aufgrund des Montagebetriebs zur Zeit der Montage des Bauteils bewegt. Folglich kann, anders als in dem Fall, in dem der Montagezustand von einer nachgeschalteten Überprüfungsvorrichtung oder Ähnlichem bestimmt wird, nachdem alle Bauteile auf dem Substrat montiert sind, eine fehlerhafte Montage des Bauteils auf dem Substrat um das montierte Bauteil unmittelbar erkannt werden. Somit kann ein Fehler unmittelbar erkannt werden, nachdem die fehlerhafte Montage des Bauteils um das montierte Bauteil auftritt, und somit kann die Ursache der fehlerhaften Montage einfach identifiziert werden.
Eine Bauteilmontagevorrichtung gemäß einem zweiten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung umfasst einen Montagekopf, der ein Bauteil an einer Montageposition auf einem Substrat montiert, und eine Steuer- bzw. Regeleinheit, die auf der Grundlage eines Änderungsbetrags in einem Bild einer Region um die Montageposition, das vor und nach der Montage des Bauteils aufgenommen wurde, bestimmt, ob es ein Abblasen eines anderen Bauteils gibt oder nicht, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde.
Die Bauteilmontagevorrichtung gemäß dem zweiten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung umfasst die Steuereinheit, die eine Steuerung wie zuvor beschrieben ausführt, sodass eine fehlerhafte Montage eines anderen Bauteils, das im Voraus auf dem Substrat montiert wurde, erkannt werden kann, wenn sich ein anderes Bauteil, das im Voraus montiert wurde, aufgrund des Montagebetriebs zur Zeit der Montage des Bauteils bewegt. Folglich kann, anders als in dem Fall, in dem der Montagezustand von einer nachgeschalteten Überprüfungsvorrichtung oder Ähnlichem bestimmt wird, nachdem alle Bauteile auf dem Substrat montiert sind, eine fehlerhafte Montage des Bauteils auf dem Substrat um das montierte Bauteil unmittelbar erkannt werden. Somit kann ein Fehler unmittelbar erkannt werden, nachdem die fehlerhafte Montage des Bauteils um das montierte Bauteil auftritt, und somit kann die Ursache der fehlerhaften Montage einfach identifiziert werden.
Die zuvor erwähnte Bauteilmontagevorrichtung gemäß dem ersten und zweiten Gesichtspunkt umfasst vorzugsweise überdies einen Abbildungsabschnitt, der in der Lage ist, die Region um die Montageposition von einer Vielzahl von Richtungen abzubilden, und die Steuereinheit ist vorzugsweise ausgestaltet, die Höheninformationen der Region um die Montageposition oder das Bild der Region um die Montageposition auf der Grundlage eines Abbildungsergebnisses des Abbildungsabschnitts zu erfassen. Gemäß dieser Struktur kann, wenn die Höheninformationen der Montageposition des Bauteils auf der Grundlage der Bilder, die von der Vielzahl von Richtungen aufgenommen werden, erfasst werden, die Positionsabweichung des Bauteils an der Montageposition in dem aufgenommenen Bild genau auf der Grundlage der tatsächlichen Höheninformationen der Montageposition des Bauteils erfasst werden. Zusätzlich können, auch wenn das Bild in der Region um die Montageposition auf der Grundlage der Bilder erfasst wird, die von der Vielzahl von Richtungen aufgenommen werden, die Informationen der Region um die Montageposition in dem aufgenommenen Bild genau erfasst werden. Folglich kann eine fehlerhafte Montage des Bauteils auf dem Substrat um das montierte Bauteil genauer erkannt werden.
In diesem Fall umfasst der Abbildungsabschnitt vorzugsweise eine Vielzahl von Kameras oder eine einzelne Kamera und ein optisches System, das ein Sichtfeld der einzelnen Kamera aufteilt. Gemäß dieser Struktur kann die Montageposition auf dem Substrat einfach aus der Vielzahl von Richtungen von der Vielzahl von Kameras oder dem optischen System abgebildet werden, das das Sichtfeld der einzelnen Kamera aufteilt.
Die zuvor erwähnte Bauteilmontagevorrichtung gemäß dem zweiten Gesichtspunkt umfasst überdies vorzugsweise einen Abbildungsabschnitt, der in der Lage ist, die Region um die Montageposition abzubilden, und die Steuereinheit ist vorzugsweise ausgestaltet, auf der Grundlage eines Änderungsbetrags in einem Bild der Nachbarschaft der Montageposition, das von dem Abbildungsabschnitt vor und nach der Montage des Bauteils aufgenommen wurde, zu bestimmen, ob es ein Abblasen eines anderen Bauteils gibt oder nicht, das im Voraus in einer Nachbarschaft der Montageposition montiert wurde. Gemäß dieser Struktur können das zu montierende Bauteil und ein anderes Bauteil, das im Voraus in der Nachbarschaft der Montageposition montiert wurde, in dem gleichen Bild aufgenommen werden, und somit können eine Montagebestimmung für das Bauteil und eine Abblasbestimmung für ein anderes Bauteil, das im Voraus in der Nachbarschaft der Montageposition montiert wurde, mit der gleichen Abbildung vorgenommen werden.
In diesem Fall ist der Abbildungsabschnitt vorzugsweise ausgestaltet, ein Bild vor der Montage des Bauteils aufzunehmen, wenn sich der Montagekopf vor der Montage des Bauteils zu der Montageposition auf dem Substrat abwärts bewegt und ein Bild nach der Montage des Bauteils aufzunehmen, wenn sich der Montagekopf nach der Montage des Bauteils von der Montageposition auf dem Substrat aufwärts bewegt, und die Steuereinheit ist vorzugsweise ausgestaltet, mittels Vergleichen des Bilds vor der Montage und des Bilds nach der Montage zu bestimmen, ob es das Abblasen des anderen Bauteils, das im Voraus in der Nachbarschaft der Montageposition montiert wurde, gibt oder nicht. Gemäß dieser Struktur werden das Bild vor der Montage und das Bild nach der Montage, die unmittelbar vor und nach der Montage aufgenommen werden, verglichen, und somit ist es nicht notwendig, eine Speichereinheit bereitzustellen, die Bilddaten für die Montagepositionen einer Vielzahl von Bauteilen speichert. Überdies wird das Abbilden während der Abwärtsbewegung und Aufwärtsbewegung des Montagekopfs ausgeführt, und somit ist es möglich, verglichen mit dem Fall, in dem die Abwärts-/ Aufwärtsbewegung des Montagekopfs und der Abbildungsbetrieb separat ausgeführt werden, die Zeit zu vermeiden, die separat und zusätzlich für den Abbildungsbetrieb erforderlich ist.
In der zuvor erwähnten Bauteilmontagevorrichtung gemäß dem ersten Gesichtspunkt ist die Steuereinheit vorzugsweise ausgestaltet, auf der Grundlage der Höheninformationen der Region um die Montageposition zu bestimmen, ob es ein Abblasen des anderen Bauteils, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde, gibt oder nicht. Gemäß dieser Struktur kann eine fehlerhafte Montage des Bauteils auf dem Substrat um das montierte Bauteil auf der Grundlage der Höheninformationen der Region um die Montageposition genau erkannt werden.
In diesem Fall ist die Steuereinheit vorzugsweise ausgestaltet, auf der Grundlage eines Änderungsbetrags in den Höheninformationen der Region um die Montageposition vor und nach der Montage des Bauteils zu bestimmen, ob es das Abblasen des anderen Bauteils, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde, gibt oder nicht. Gemäß dieser Struktur erfolgt die Bestimmung auf der Grundlage der Änderung der Höheninformationen der Region um die Montageposition, sodass beispielsweise der Einfluss von Wölbung des Substrats wesentlich vermindert oder verhindert wird, und somit eine fehlerhafte Montage des Bauteils auf dem Substrat um das montierte Bauteil genauer erkannt werden kann.
Wirkung der Erfindung
Gemäß der vorliegenden Erfindung kann, wie in diesem Dokument zuvor beschrieben, die Bauteilmontagevorrichtung bereitgestellt werden, die in der Lage ist, eine fehlerhafte Montage des Bauteils auf dem Substrat um das montierte Bauteil unmittelbar zu erkennen.
Figurenliste
Es zeigen:

[1] Eine Grafik, die die Gesamtstruktur einer Bauteilmontagevorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
[2] Eine Seitenrissansicht einer Kopfeinheit der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung während des Ansaugens eines Bauteils.
[3] Eine Seitenrissansicht der Kopfeinheit der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung während der Montage des Bauteils.
[4] Eine Grafik zum Veranschaulichen der Montagezustandsbestimmung basierend auf aufgenommenen Bildern in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
[5] Eine Grafik zum Veranschaulichen eines Berechnungsverfahrens durch Stereoabgleich für eine Substratoberflächenhöhe in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
[6] Eine Grafik zum Veranschaulichen der Montagezustandsbestimmung basierend auf Höheninformationen in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
[7] Ein Flussdiagramm zum Veranschaulichen der Steuerungsverarbeitung (erstes Betriebsbeispiel) während eines Montagebetriebs in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
[8] Ein Flussdiagramm zum Veranschaulichen der Steuerungsverarbeitung (zweites Betriebsbeispiel) während eines Montagebetriebs in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
[9] Eine Seitenrissansicht einer Kopfeinheit einer Bauteilmontagevorrichtung gemäß einer Abwandlung der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Ausführungsformen der Erfindung
Nachstehend wird eine die vorliegende Erfindung darstellende Ausführungsform basierend auf den Zeichnungen beschrieben.
(Struktur der Bauteilmontagevorrichtung)
Die Struktur einer Bauteilmontagevorrichtung 100 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nachfolgend mit Bezug auf 1 beschrieben.
Wie in 1 gezeigt, ist die Bauteilmontagevorrichtung 100 eine Bauteilmontagevorrichtung, die ein Substrat P in einer Richtung X mittels eines Paars von Fördermitteln 2 befördert und Bauteile 31 auf dem Substrat P an einer Montagebetriebsposition M montiert.
Die Bauteilmontagevorrichtung 100 umfasst ein Grundgestell 1, das Paar von Fördermitteln 2, Bauteilförderer 3, eine Kopfeinheit 4, einen Träger 5, ein Paar von Schienen 6, Bauteilerkennungsabbildungsabschnitte 7, eine Abbildungseinheit 8 und eine Steuereinheit 9. Die Abbildungseinheit 8 ist ein Beispiel eines „Abbildungsabschnitts“ in den Ansprüchen.
Das Paar von Fördermitteln 2 ist auf dem Grundgestell 1 installiert und ausgestaltet, das Substrat P in der Richtung X zu befördern. Zusätzlich ist das Paar von Fördermitteln 2 ausgestaltet, das gerade beförderte Substrat P in einem gestoppten Zustand an der Montagebetriebsposition M zu halten. Außerdem ist das Paar von Fördermitteln 2 derart ausgestaltet, dass ein Intervall dazwischen in einer Richtung Y gemäß den Abmessungen des Substrats P angepasst werden kann.
Die Bauteilförderer 3 sind außerhalb (Seiten Y1 und Y2) des Paares von Fördermitteln 2 angebracht. Eine Vielzahl von Bandförderern 3a ist in den Bauteilförderern 3 angebracht.
Die Bandförderer 3a halten Trommeln (nicht gezeigt), auf die Bänder aufgespult sind, die eine Vielzahl von Bauteilen 31 in einem vorbestimmten Intervall halten. Die Bandförderer 3a sind ausgestaltet, die Bauteile 31 von den Spitzen der Bandförderer 3a durch Drehen der Trommeln zum Zuführen der Bänder, die die Bauteile 31 halten, zuzuführen. Die Bauteile 31 umfassen elektronische Bauteile wie ICs, Transistoren, Kondensatoren und Widerstände.
Die Kopfeinheit 4 ist über dem Paar von Fördermitteln 2 und den Bauteilförderern 3 angebracht und umfasst eine Vielzahl von (fünf) Montageköpfen 42, umfassend Düsen 41 (siehe 2), die an ihren unteren Enden montiert sind, und eine Substraterkennungskamera 43.
Die Montageköpfe 42 sind ausgestaltet, nach oben und nach unten beweglich zu sein (beweglich in eine Z-Richtung), und sind ausgestaltet, die Bauteile 31, die von den Bandförderern 3a zugeführt werden, durch einen Unterdruck, der an den Spitzen der Düsen 41 von einem Unterdruckgenerator (nicht gezeigt) erzeugt wird, anzusaugen und zu halten, und die Bauteile 31 an Montagepositionen auf dem Substrat P zu montieren.
Die Substraterkennungskamera 43 ist ausgestaltet, Vergleichsmarkierungen F des Substrats P abzubilden, um die Position des Substrats P zu erkennen. Die Positionen der Vergleichsmarkierungen F werden derart abgebildet und erkannt, dass die Montagepositionen der Bauteile 31 auf dem Substrat P genau erfasst werden können.
Der Träger 5 umfasst einen Motor 51. Der Träger 5 ist ausgestaltet, die Kopfeinheit 4 durch Antreiben des Motors 51 in die Richtung X entlang des Trägers 5 zu bewegen. Beide Enden des Trägers 5 werden von dem Paar von Schienen 6 gestützt.
Das Paar von Schienen 6 ist auf dem Grundgestell 1 befestigt. Eine Schiene 6 auf einer Seite X1 umfasst einen Motor 61. Die Schienen 6 sind ausgestaltet, den Träger 5 durch Antreiben des Motors 61 in der Richtung Y senkrecht zur Richtung X entlang des Paars von Schienen 6 zu bewegen. Die Kopfeinheit 4 ist in der Richtung X entlang des Trägers 5 beweglich, und der Träger 5 ist in der Richtung Y entlang der Schienen 6 derart beweglich, dass die Kopfeinheit 4 in den Richtungen X und Y beweglich ist.
Die Bauteilerkennungsabbildungsabschnitte 7 sind auf der oberen Oberfläche des Grundgestells 1 befestigt. Die Bauteilerkennungsabbildungsabschnitte 7 sind außerhalb (Seiten Y1 und Y2) des Paares von Fördermitteln 2 angebracht. Die Bauteilerkennungsabbildungsabschnitte 7 sind ausgestaltet, die Bauteile 31 abzubilden, die von den Düsen 41 der Montageköpfe 42 von der Unterseite (Seite Z2) angesaugt werden, um die Ansaugzustände (Ansaugverhalten) der Bauteile 31 vor dem Montieren der Bauteile 31 zu erkennen. Somit kann die Steuereinheit 9 die Ansaugzustände der Bauteile 31 erfassen, die von den Düsen 41 der Montageköpfe 42 angesaugt werden.
Die Abbildungseinheit 8 ist auf der Kopfeinheit 4 montiert. Somit ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, sich zusammen mit der Kopfeinheit 4 in die Richtungen X und Y zu bewegen, wenn sich die Kopfeinheit 4 in den Richtungen X und Y bewegt. Überdies ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, Bilder der Montagepositionen und Regionen um die Montagepositionen vor und nach der Montage aufzunehmen, damit die Steuereinheit 9 dahingehend eine Bestimmung (Montagebestimmung) vornehmen kann, ob die Bauteile 31 an den Montagepositionen normal montiert wurden oder nicht, und eine Bestimmung der Montagezustände der Bauteile 31 um die Montagepositionen vornehmen kann. Die Abbildungseinheit 8 ist außerdem ausgestaltet, Bilder zum Messen der Höhen der Montagepositionen auf dem Substrat P aufzunehmen. Außerdem ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, Bilder der Bauteile 31, die auf dem Substrat P montiert sind, und Bilder zum Messen der Höhen der Lote auf dem Substrat P aufzunehmen. Wie in 2 und 3 gezeigt, umfasst die Abbildungseinheit 8 eine Vielzahl von Kameras 81 und Illuminatoren 82. Somit kann die Abbildungseinheit 8 die Montagepositionen und die Regionen um die Montagepositionen auf dem Substrat P aus einer Vielzahl von Richtungen (Winkeln) abbilden.
Genauer gesagt ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, Bilder aus Neigungswinkeln (θH und θL) mit unterschiedlichen Abbildungsrichtungen von einander in Bezug auf eine Substratoberfläche Pb aufzunehmen, wie in 5 gezeigt. Die Kameras 81 der Abbildungseinheit 8 sind benachbart zueinander in einer vertikalen Ebene (in einer YZ-Ebene) angebracht, umfassend die Montagepositionen in Bezug auf die Substratoberfläche Pb.
Die Illuminatoren 82 sind ausgestaltet, Licht zu emittieren, wenn die Kameras 81 Bilder aufnehmen. Die Illuminatoren 82 sind um die Kameras 81 bereitgestellt. Die Illuminatoren 82 umfassen jeweils eine Lichtquelle wie eine LED (Leuchtdiode).
Wie in 4 gezeigt, ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, eine vorbestimmte Region, umfassend eine Montageposition, vor dem Montieren eines Bauteils 31 abzubilden, wenn ein Montagekopf 42 das Bauteil 31 ansaugt und sich vor dem Montieren des angesaugten Bauteils 31 an der Montageposition auf dem Substrat P zu der Montageposition abwärts bewegt. Überdies ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, die vorbestimmte Region, umfassend die Montageposition nach dem Montieren des Bauteils 31, abzubilden, wenn sich der Montagekopf 42 von der Montageposition auf dem Substrat P nach der Montage des Bauteils 31 an der Montageposition aufwärts bewegt.
Die Steuereinheit 9 umfasst eine CPU und ist ausgestaltet, den allgemeinen Betrieb der Bauteilmontagevorrichtung 100 zu steuern, wie einen Betrieb des Beförderns des Substrats P, der von dem Paar von Fördermitteln 2 durchgeführt wird, einen Montagebetrieb, der von der Kopfeinheit 4 durchgeführt wird, und Abbildungsbetriebe, die von den Bauteilerkennungsabbildungabschnitten 7, der Abbildungseinheit 8 und der Substraterkennungskamera 43 durchgeführt werden.
Gemäß dieser Ausführungsform ist die Steuereinheit 9 ausgestaltet, den Montagezustand eines anderen Bauteils 31, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde, auf der Grundlage der Höheninformationen einer Region um die Montageposition zu bestimmen. Überdies ist die Steuereinheit 9 ausgestaltet, zu bestimmen, ob es auf der Grundlage des Änderungsbetrags in dem Bild der Region um die Montageposition, das vor und nach der Montage des Bauteils 31 aufgenommen wurde, ein Abblasen eines anderen Bauteils 31, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde, gibt oder nicht. Genauer gesagt, ist die Steuereinheit 9 ausgestaltet, zu bestimmen, ob es ein Abblasen eines anderen Bauteils 31, das im Voraus in der Nachbarschaft der Montageposition montiert wurde, auf der Grundlage des Änderungsbetrags in dem Bild der Nachbarschaft der Montageposition, das von der Abbildungseinheit 8 vor und nach der Montage des Bauteils 31 aufgenommen wurde, gibt oder nicht. Zusätzlich ist die Steuereinheit 9 ausgestaltet, die Höheninformationen der Region um die Montageposition oder das Bild der Region um die Montageposition auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses der Abbildungseinheit 8 zu erfassen.
Die Steuereinheit 9 ist ausgestaltet, zu bestimmen, ob es ein Abblasen eines anderen Bauteils 31, das im Voraus in der Nachbarschaft der Montageposition montiert wurde, durch Vergleichen des Bilds vor der Montage und des Bilds nach der Montage gibt oder nicht. Beispielsweise ist die Steuereinheit 9 ausgestaltet, ein Differenzbild zwischen dem Bild der Montageposition und der Region um die Montageposition vor der Bauteilmontage und dem Bild der Montageposition und der Region um die Montageposition nach der Bauteilmontage zu erfassen, und auf der Grundlage des Differenzbilds, wie in 4 gezeigt, zu bestimmen, ob es ein Abblasen eines anderen Bauteils 31, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde, gibt oder nicht. Genauer gesagt verbleibt, wenn es ein Abblasen gibt, ein Bild des Bauteils 31 in einer Umgebungsregion des Differenzbilds.
Gemäß dieser Ausführungsform ist die Steuereinheit 9 ausgestaltet, die Höhe der Montageposition auf dem Substrat P basierend auf den Bildern zu erfassen, die aus der Vielzahl von Richtungen von der Abbildungseinheit 8 aufgenommen werden. Genauer gesagt ist die Steuereinheit 9 ausgestaltet, die Höhe der Substratoberfläche Pb des Substrats P in Bezug auf eine Referenzoberfläche Ps durch Stereoabgleich zu erfassen, wie in 5 gezeigt.
Noch genauer gesagt, wird ein Objekt (eine vorbestimmte Position auf der Substratoberfläche Pb) in dem Neigungswinkel θH von einer der Kameras 81 abgebildet, und das Objekt wird in dem Neigungswinkel θL von der anderen der Kameras 81 abgebildet. Dann wird ein Stereoabgleich zwischen dem aufgenommenen Bild in dem Neigungswinkel θH und dem aufgenommenen Bild in dem Neigungswinkel θL derart durchgeführt, dass eine Parallaxe p (Pixel) zwischen den beiden aufgenommenen Bildern erhalten wird. Unter der Annahme, dass die Kameraauflösung der Kameras 81 R (µm/Pixel) ist, kann ein Abstand A (µm) von einem Rechenausdruck (1) erhalten werden. $A = p \times R / sin (θ H - θ L)$
Dann kann die Substratoberflächenhöhe hp (µm) der Substratoberfläche Pb in Bezug auf die Referenzoberfläche Ps von einem Rechenausdruck (2) erhalten werden, mit dem Abstand A, der von dem Rechenausdruck (1) erhalten wurde. $hp = A \times sin (θ L)$
Die Steuereinheit 9 ist ausgestaltet, die Höhe des Bauteils 31, das auf dem Substrat P montiert ist, und die Höhen der Lote auf dem Substrat P auf der Grundlage der Bilder zu erfassen, die von der Vielzahl von Richtungen von der Abbildungseinheit 8 aufgenommen werden.
Überdies ist die Steuereinheit 9 ausgestaltet, zu bestimmen, ob es auf der Grundlage der Höheninformationen der Region um die Montageposition ein Abblasen eines anderen Bauteils 31, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde, gibt oder nicht. Überdies ist die Steuereinheit 9 ausgestaltet, zu bestimmen, ob es auf der Grundlage des Änderungsbetrags in den Höheninformationen der Region um die Montageposition vor und nach der Montage des Bauteils 31 ein Abblasen eines anderen Bauteils 31, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde, gibt oder nicht.
Wie in 6 gezeigt, ist beispielsweise im Vergleich zwischen den Höheninformationen der Region um die Montageposition vor der Bauteilmontage und den Höheninformationen der Region um die Montageposition nach der Bauteilmontage die Höhe eines Abschnitts entsprechend einem hinteren Bauteil 31 vermindert, wenn das hintere Bauteil 31 abgeblasen wird, wenn ein vorderes Bauteil 31 montiert wird. Das heißt, wenn die Höhe der Region um die Montageposition vermindert ist, bestimmt die Steuereinheit 9, dass es ein Abblasen eines Umgebungsbauteils 31 gibt.
(Steuerungsverarbeitung während des Montagebetriebs)
Nachfolgend wird die Steuerungsverarbeitung, die während des Montagebetriebs von der Steuereinheit 9 der Bauteilmontagevorrichtung 100 durchgeführt wird, basierend auf einem Flussdiagramm mit Bezug auf 7 und 8 beschrieben.
Zuerst wird ein erstes Betriebsbeispiel mit Bezug auf 7 beschrieben. In Schritt S1 in 7 wird das Bauteil 31 erkannt, das von dem Montagekopf 42 (Düse 41) angesaugt wird. Genauer gesagt, wird das Bauteil 31, das von dem Montagekopf 42 angesaugt wird, von einem Bauteilerkennungsabbildungsabschnitt 7 abgebildet. Dann wird das Bauteil 31 auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses erkannt.
In Schritt S2 werden während der Abwärtsbewegung des Montagekopfs 42 (Düse 41) die Montageposition und die Region um die Montageposition auf dem Substrat P von der Abbildungseinheit 8 abgebildet. Das heißt, es wird ein Bild aufgenommen, in dem das Zielbauteil 31 nicht an der Montageposition auf dem Substrat P montiert ist. Danach wird das Bauteil 31 an der Montageposition montiert. In Schritt S3 werden während der Aufwärtsbewegung des Montagekopfs 42 (Düse 41) die Montageposition und die Region um die Montageposition auf dem Substrat P von der Abbildungseinheit 8 abgebildet. Das heißt, wenn das Bauteil 31 normal montiert ist, wird ein Bild aufgenommen, in dem das Zielbauteil 31 an der Montageposition auf dem Substrat P montiert ist.
In Schritt S4 erfolgt eine Abblasbestimmung für das Bauteil 31 um die Montageposition. Genauer gesagt erfolgt, wie in einem Beispiel von 4 gezeigt, die Abblasbestimmung des Bauteils 31 um die Montageposition auf der Grundlage des Differenzbilds zwischen einem Bild, das während einer Abwärtsbewegung des Montagekopfs 42 (vor dem Bauteilmontagebetrieb) aufgenommen wurde, und einem Bild, das während einer Aufwärtsbewegung des Montagekopfs 42 aufgenommen wurde (nach dem Bauteilmontagebetrieb). In Schritt S5 wird bestimmt, ob es ein Abblasen gibt oder nicht. Wenn es ein Abblasen gibt, fährt die Steuereinheit 9 fort mit Schritt S6, und wenn es kein Abblasen gibt, beendet die Steuereinheit 9 die Steuerungsverarbeitung während des Montagebetriebs.
In Schritt S6 wird eine Fehlerverarbeitung ausgeführt. Beispielsweise wird ein Benutzer über einen Fehler benachrichtigt. Danach wird die Steuerungsverarbeitung während des Montagebetriebs beendet.
Als Nächstes wird ein zweites Betriebsbeispiel mit Bezug auf 8 beschrieben. In Schritt S1 in 8 wird das Bauteil 31 erkannt, das von dem Montagekopf 42 (Düse 41) angesaugt wird. In Schritt S2 werden während der Abwärtsbewegung des Montagekopfs 42 (Düse 41) die Montageposition und die Region um die Montageposition auf dem Substrat P von der Abbildungseinheit 8 abgebildet. Das heißt, es wird ein Bild aufgenommen, in dem das Zielbauteil 31 nicht an der Montageposition auf dem Substrat P montiert ist. Danach wird das Bauteil 31 an der Montageposition montiert.
In Schritt S11 wird ein Vormontagehöhenbild erzeugt. Genauer gesagt wird ein Höhenbild der Montageposition und der Region um die Montageposition auf der Grundlage der Bilder, die von den zwei Winkeln von der Abbildungseinheit 8 aufgenommen wurden, auf dem Substrat P vor dem Bauteilmontagebetrieb durch Stereoabgleich erzeugt. In Schritt S3 werden während der Aufwärtsbewegung des Montagekopfs 42 (Düse 41) die Montageposition und die Region um die Montageposition auf dem Substrat P von der Abbildungseinheit 8 abgebildet.
In Schritt S12 wird ein Nachmontagehöhenbild erzeugt. Genauer gesagt wird ein Höhenbild der Montageposition und der Region um die Montageposition auf der Grundlage der Bilder, die von den zwei Winkeln von der Abbildungseinheit 8 aufgenommen wurden, auf dem Substrat P nach dem Bauteilmontagebetrieb durch Stereoabgleich erzeugt. In Schritt S4 erfolgt eine Abblasbestimmung für das Bauteil 31 um die Montageposition. Genauer gesagt erfolgt, wie in einem Beispiel von 6 gezeigt, die Abblasbestimmung des Bauteils 31 um die Montageposition auf der Grundlage der Höheninformationen auf der Grundlage des Bilds, das während der Abwärtsbewegung des Montagekopfs 42 (vor dem Bauteilmontagebetrieb) aufgenommen wurde, und der Höheninformationen auf der Grundlage des Bilds, das während der Aufwärtsbewegung des Montagekopfs 42 (nach dem Bauteilmontagebetrieb) aufgenommen wurde.
In Schritt S5 wird bestimmt, ob es ein Abblasen gibt oder nicht. Wenn es ein Abblasen gibt, fährt die Steuereinheit 9 fort mit Schritt S6, und wenn es kein Abblasen gibt, beendet die Steuereinheit 9 die Steuerungsverarbeitung während des Montagebetriebs. In Schritt S6 wird eine Fehlerverarbeitung ausgeführt. Beispielsweise wird der Benutzer über einen Fehler benachrichtigt. Danach wird die Steuerungsverarbeitung während des Montagebetriebs beendet.
(Wirkungen der Ausführungsform)
Gemäß dieser Ausführungsform können die folgenden Wirkungen erzielt werden:
Gemäß dieser Ausführungsform umfasst, wie zuvor beschrieben, die Bauteilmontagevorrichtung 100 die Steuereinheit 9, die den Montagezustand eines anderen Bauteils 31 bestimmt, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde, auf der Grundlage der Höheninformationen der Region um die Montageposition oder bestimmt, ob es ein Abblasen eines anderen Bauteils 31 gibt oder nicht, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde, auf der Grundlage des Änderungsbetrags in dem Bild der Region um die Montageposition, das vor und nach der Montage des Bauteils 31 aufgenommen wurde. Eine fehlerhafte Montage eines anderen Bauteils 31, das im Voraus auf dem Substrat P montiert wurde, kann somit erkannt werden, wenn sich ein anderes Bauteil 31, das im Voraus montiert wurde, aufgrund des Montagebetriebs zur Zeit der Montage des Bauteils 31 bewegt. Folglich kann, anders als in dem Fall, in dem der Montagezustand von einer nachgeschalteten Überprüfungsvorrichtung oder Ähnlichem bestimmt wird, nachdem all die Bauteile 31 auf dem Substrat P montiert sind, eine fehlerhafte Montage des Bauteils 31 auf dem Substrat P um das montierte Bauteil 31 unmittelbar erkannt werden. Somit kann ein Fehler unmittelbar erkannt werden, nachdem die fehlerhafte Montage des Bauteils 31 um das montierte Bauteil 31 auftritt, und somit kann die Ursache der fehlerhaften Montage einfach identifiziert werden.
Gemäß dieser Ausführungsform umfasst die Bauteilmontagevorrichtung 100 die Abbildungseinheit 8, die in der Lage ist, die Region um die Montageposition von der Vielzahl von Richtungen abzubilden, wobei die Steuereinheit 9 ausgestaltet ist, die Höheninformationen der Region um die Montageposition oder das Bild der Region um die Montageposition auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses der Abbildungseinheit 8 zu erfassen. Wenn die Höheninformationen der Montageposition des Bauteils 31 auf der Grundlage der Bilder, die von der Vielzahl von Richtungen aufgenommen werden, erfasst werden, kann somit die Positionsabweichung des Bauteils 31 an der Montageposition in dem aufgenommenen Bild genau auf der Grundlage der tatsächlichen Höheninformationen der Montageposition des Bauteils 31 erfasst werden. Zusätzlich können, auch wenn das Bild der Region um die Montageposition auf der Grundlage der Bilder erfasst wird, die von der Vielzahl von Richtungen aufgenommen werden, die Informationen der Region um die Montageposition in dem aufgenommenen Bild genau erfasst werden. Folglich kann eine fehlerhafte Montage des Bauteils 31 auf dem Substrat P um das montierte Bauteil 31 genauer erkannt werden.
Gemäß dieser Ausführungsform umfasst die Abbildungseinheit 8 die Vielzahl von Kameras 81. Somit kann die Montageposition auf dem Substrat P aus der Vielzahl von Richtungen von der Vielzahl von Kameras 81 einfach abgebildet werden.
Gemäß dieser Ausführungsform ist die Steuereinheit 9 ausgestaltet, zu bestimmen, ob es ein Abblasen eines anderen Bauteils 31, das im Voraus in der Nachbarschaft der Montageposition montiert wurde, auf der Grundlage des Änderungsbetrags in dem Bild der Nachbarschaft der Montageposition, das von der Abbildungseinheit 8 vor und nach der Montage des Bauteils 31 aufgenommen wurde, gibt oder nicht. Somit können das zu montierende Bauteil 31 und ein anderes Bauteil 31, das im Voraus in der Nachbarschaft der Montageposition montiert wurde, in dem gleichen Bild aufgenommen werden, und somit können eine Montagebestimmung für das Bauteil 31 und eine Abblasbestimmung für ein anderes Bauteil 31, das im Voraus in der Nachbarschaft der Montageposition montiert wurde, mit der gleichen Abbildung vorgenommen werden.
Gemäß dieser Ausführungsform ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, ein Bild vor der Montage des Bauteils 31 aufzunehmen, wenn sich der Montagekopf 42 vor der Montage des Bauteils 31 zu der Montageposition auf dem Substrat P abwärts bewegt und ein Bild nach der Montage des Bauteils 31 aufzunehmen, wenn sich der Montagekopf 42 nach der Montage des Bauteils 31 von der Montageposition auf dem Substrat P aufwärts bewegt, und die Steuereinheit 9 ist ausgestaltet, mittels Vergleichen des Bilds vor der Montage und des Bilds nach der Montage zu bestimmen, ob es ein Abblasen eines anderen Bauteils 31, das im Voraus in der Nachbarschaft der Montageposition montiert wurde, gibt oder nicht. Somit werden das Bild vor der Montage und das Bild nach der Montage, die unmittelbar vor und nach der Montage aufgenommen werden, verglichen, und somit ist es nicht notwendig, eine Speichereinheit bereitzustellen, die Bilddaten für die Montagepositionen der Vielzahl von Bauteilen 31 speichert. Überdies wird das Abbilden während der Abwärtsbewegung und Aufwärtsbewegung des Montagekopfs 42 ausgeführt, und somit ist es möglich, verglichen mit dem Fall, in dem die Abwärts-/Aufwärtsbewegung des Montagekopfs 42 und der Abbildungsbetrieb separat ausgeführt werden, die Zeit zu vermeiden, die separat und zusätzlich für den Abbildungsbetrieb erforderlich ist.
Gemäß dieser Ausführungsform ist die Steuereinheit 9 ausgestaltet, zu bestimmen, ob es auf der Grundlage der Höheninformationen der Region um die Montageposition ein Abblasen eines anderen Bauteils 31, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde, gibt oder nicht. Somit kann eine fehlerhafte Montage des Bauteils 31 auf dem Substrat P um das montierte Bauteil 31 auf der Grundlage der Höheninformationen der Region um die Montageposition genau erkannt werden.
Gemäß dieser Ausführungsform ist die Steuereinheit 9 ausgestaltet, zu bestimmen, ob es auf der Grundlage des Änderungsbetrags in den Höheninformationen der Region um die Montageposition vor und nach der Montage des Bauteils 31 ein Abblasen eines anderen Bauteils 31, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde, gibt oder nicht. Somit erfolgt die Bestimmung auf der Grundlage der Änderung der Höheninformationen der Region um die Montageposition, sodass beispielsweise der Einfluss von Wölbung des Substrats P wesentlich vermindert oder verhindert wird, und somit eine fehlerhafte Montage des Bauteils 31 auf dem Substrat P um das montierte Bauteil 31 genauer erkannt werden kann.
(Abwandlungen)
Die offenbarten Ausführungsformen sollen in allen Punkten veranschaulichen und nicht einschränken. Der Umfang der vorliegenden Erfindung ist nicht durch die zuvor aufgeführte Beschreibung der Ausführungsformen gegeben, sondern durch den Schutzumfang der Patentansprüche, und es sind überdies alle Abwandlungen innerhalb der Bedeutung und des Umfangs, die äquivalent zum Schutzumfang der Patentansprüche sind, umfasst.
Während das Beispiel, in dem die Abbildungseinheit die Vielzahl von Kameras umfasst und die Montageposition aus der Vielzahl von Richtungen abbilden kann, in der zuvor erwähnten Ausführungsform gezeigt worden ist, ist die vorliegende Erfindung beispielsweise nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung, wie in einer in 9 gezeigten Abwandlung, kann eine Abbildungseinheit 8a eine Kamera 81a, Illuminatoren 82 und optische Systeme 83 umfassen. In diesem Fall kann das Sichtfeld der einzelnen Kamera 81a von den optischen Systemen 83, umfassend Linsen und Spiegel, aufgeteilt werden, und eine Montageposition kann in der Lage sein, aus einer Vielzahl von Richtungen abgebildet zu werden. Die Abbildungseinheit 8a ist ein Beispiel eines „Abbildungsabschnitts“ in den Ansprüchen.
Alternativ nimmt eine Kamera möglicherweise ein Bild auf, während sie sich derart bewegt, dass sie eine Montageposition von einer Vielzahl von Richtungen abbildet.
Während in der zuvor erwähnten Ausführungsform das Beispiel gezeigt worden ist, in dem die Steuereinheit eine Abbildungssteuerung ausführt, wenn sich der Montagekopf vor der Montage des Bauteils abwärts zu der Montageposition auf dem Substrat bewegt, und eine Abbildungssteuerung ausführt, wenn sich der Montagekopf nach der Montage des Bauteils von der Montageposition auf dem Substrat aufwärts bewegt, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung kann die Steuereinheit mindestens eines, eine Abbildungssteuerung, wenn sich der Montagekopf vor der Montage des Bauteils zu der Montageposition auf dem Substrat abwärts bewegt, oder eine Abbildungssteuerung durchzuführen, wenn sich der Montagekopf nach der Montage des Bauteils von der Montageposition auf dem Substrat aufwärts bewegt.
Während das Beispiel, in dem die Höhe des Substrats an der Montageposition des Bauteils basierend auf dem Abbildungsergebnis der Abbildungseinheit (Abbildungsabschnitt) erfasst wird, in der zuvor erwähnten Ausführungsform gezeigt worden ist, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung kann die Höhe des Substrats an der Montageposition des Bauteils basierend auf einem Wegsensor oder einem Abstandssensor erfasst werden. In dem Fall kann der Wegsensor oder der Abstandssensor auf dem Montagekopf oder in der Nähe des Montagekopfs bereitgestellt werden.
Während das Beispiel, in dem die Steuereinheit ausgestaltet ist, zu bestimmen, ob das Bauteil basierend auf dem Differenzbild zwischen dem Bild der Montageposition vor der Montage des Bauteils und dem Bild der Montageposition nach der Montage des Bauteils normal montiert worden ist oder nicht, in der zuvor erwähnten Ausführungsform gezeigt worden ist, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung sind das Bild der Montageposition vor der Montage des Bauteils und das Bild der Montageposition nach der Montage des Bauteils möglicherweise miteinander korreliert, um die Bilder vor und nach der Montage zu vergleichen.
Während die Verarbeitung, die von der Steuereinheit durchgeführt wird, unter Verwendung des Flusses, der in flussgetriebener Weise beschrieben wird, in dem die Verarbeitung der Reihe nach entlang eines Verarbeitungsflusses durchgeführt wird, in der zuvor erwähnten Ausführungsform zur Veranschaulichung beschrieben wird, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Verarbeitung, die von der Steuereinheit durchgeführt wird, möglicherweise in ereignisgetriebener Weise durchgeführt, in der Verarbeitung auf einer Ereignisbasis durchgeführt wird. In diesem Fall wird die Verarbeitung möglicherweise in einer vollständig ereignisgetriebenen Weise oder in einer Kombination aus einer ereignisgetriebenen Weise und einer flussgetriebenen Weise durchgeführt.
Bezugszeichenliste

8, 8a:: Abbildungseinheit (Abbildungsabschnitt)
9:: Steuereinheit
31:: Bauteil
42:: Montagekopf
81:: Kamera
81a:: Kamera
83:: Optisches System
100:: Bauteilmontagevorrichtung
P:: Substrat

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 2008098411 [0004]

Claims

Bauteilmontagevorrichtung, umfassend: einen Montagekopf, der ein Bauteil an einer Montageposition auf einem Substrat montiert; und eine Steuereinheit, die einen Montagezustand eines anderen Bauteils, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde, auf der Grundlage von Höheninformationen einer Region um die Montageposition bestimmt.
Bauteilmontagevorrichtung, umfassend: einen Montagekopf, der ein Bauteil an einer Montageposition auf einem Substrat montiert; und eine Steuereinheit, die bestimmt, ob es auf der Grundlage eines Änderungsbetrags in einem Bild einer Region um die Montageposition, das vor und nach der Montage des Bauteils aufgenommen wurde, ein Abblasen eines anderen Bauteils, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde, gibt oder nicht.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, überdies umfassend einen Abbildungsabschnitt, der in der Lage ist, die Region um die Montageposition von einer Vielzahl von Richtungen abzubilden, wobei die Steuereinheit ausgestaltet ist, die Höheninformationen der Region um die Montageposition oder das Bild der Region um die Montageposition auf der Grundlage eines Abbildungsergebnisses des Abbildungsabschnitts zu erfassen.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 3, wobei der Abbildungsabschnitt eine Vielzahl von Kameras oder eine einzelne Kamera und ein optisches System umfasst, das ein Sichtfeld der einzelnen Kamera aufteilt.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 2, überdies umfassend einen Abbildungsabschnitt, der in der Lage ist, die Region um die Montageposition abzubilden, wobei die Steuereinheit ausgestaltet ist, zu bestimmen, ob es ein Abblasen eines anderen Bauteils, das im Voraus in einer Nachbarschaft der Montageposition montiert wurde, auf der Grundlage eines Änderungsbetrags in einem Bild der Nachbarschaft der Montageposition, das von dem Abbildungsabschnitt vor und nach der Montage des Bauteils aufgenommen wurde, gibt oder nicht.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 5, wobei der Abbildungsabschnitt ausgestaltet ist, ein Bild vor der Montage des Bauteils aufzunehmen, wenn sich der Montagekopf vor der Montage des Bauteils zu der Montageposition auf dem Substrat abwärts bewegt und ein Bild nach der Montage des Bauteils aufzunehmen, wenn sich der Montagekopf nach der Montage des Bauteils von der Montageposition auf dem Substrat aufwärts bewegt, und die Steuereinheit ausgestaltet ist, durch Vergleichen des Bilds vor der Montage und des Bilds nach der Montage zu bestimmen, ob es das Abblasen des anderen Bauteils, das im Voraus in der Nachbarschaft der Montageposition montiert wurde, gibt oder nicht.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Steuereinheit ausgestaltet ist, auf der Grundlage der Höheninformationen der Region um die Montageposition zu bestimmen, ob es ein Abblasen des anderen Bauteils, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde, gibt oder nicht.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 7, wobei die Steuereinheit ausgestaltet ist, auf der Grundlage eines Änderungsbetrags in den Höheninformationen der Region um die Montageposition vor und nach der Montage des Bauteils zu bestimmen, ob es das Abblasen des anderen Bauteils, das im Voraus um die Montageposition montiert wurde, gibt oder nicht.