DE112015006789T5

DE112015006789T5 - Bauteilmontagevorrichtung

Info

Publication number: DE112015006789T5
Application number: DE112015006789.2T
Authority: DE
Inventors: Kazushi Takama
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2015-10-14
Filing date: 2015-10-14
Publication date: 2018-04-19
Also published as: CN108029240B; US20180263150A1; JP6534448B2; CN108029240A; JPWO2017064777A1; WO2017064777A1; US11134597B2

Abstract

Eine Bauteilmontagevorrichtung (100) umfasst einen Montageabschnitt (32), der ein Bauteil (E) auf einem Bondingmaterial (So) montiert, das auf einem Substrat (P) angeordnet ist, eine Messeinheit (8), die einen Zustand des Bondingmaterials zumindest nach einem Betrieb der Montage des Bauteils misst, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, und eine Steuereinheit (9), die den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage eines Messergebnisses überprüft, das von der Messeinheit erhalten wird, wenn eine fehlerhafte Montage des Bauteils aufgetreten ist.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bauteilmontagevorrichtung, und insbesondere betrifft sie eine Bauteilmontagevorrichtung, die ein Bauteil auf einem Bondingmaterial montiert, das auf einem Substrat angebracht ist.
Allgemeiner Stand der Technik
Im Allgemeinen ist eine Bauteilmontagevorrichtung bekannt, die ein Bauteil auf einem Bondingmaterial montiert, das auf einem Substrat angebracht ist (siehe beispielsweise Patentdokument 1).
Das zuvor erwähnte Patentdokument 1 offenbart ein Oberflächenmontagegerät (Bauteilmontagevorrichtung), umfassend eine Saugdüse, die ein Bauteil ansaugt und das Bauteil auf einem Aufschmelzlot (Bondingmaterial) montiert, das auf einer Leiterplatte angebracht ist, und eine Abbildungsvorrichtung, die Abbilden mindestens einmal jeweils in einem Schritt des Ansaugens des Bauteils und einem Schritt des Montierens des Bauteils ausführt. Dieses Oberflächenmontagegerät ist ausgestaltet, in der Lage zu sein, Bilddaten als ein Abbildungsergebnis anzuzeigen, wenn eine fehlerhafte Bauteilmontage aufgetreten ist. Dieses Oberflächenmontagegerät ist somit ausgestaltet, einem Benutzer zu erlauben, zu überprüfen, ob eine fehlerhafte Bauteilmontage aufgrund des Schritts des Ansaugens des Bauteils oder des Schritts des Montierens des Bauteils aufgetreten ist.
Stand der Technik
Patentdokument
Patentdokument 1: Japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. 2008-98411
Kurzdarstellung der Erfindung
Von der Erfindung zu lösende Aufgabe
Obgleich das in dem zuvor erwähnten Patentdokument 1 beschriebene Oberflächenmontagegerät die Bilddaten als das Abbildungsergebnis anzeigt, wenn eine fehlerhafte Bauteilmontage aufgetreten ist, um dem Benutzer zu erlauben, zu überprüfen, ob eine fehlerhafte Bauteilmontage aufgrund des Schritts des Ansaugens des Bauteils oder des Schritts des Montierens des Bauteils aufgetreten ist oder nicht, ist es notwendig, dass der Benutzer eine Ursache der fehlerhaften Bauteilmontage untersucht. Daher besteht ein Problem dahingehend, dass dem Benutzer eine schwere Last auferlegt ist, die Ursache der fehlerhaften Bauteilmontage zu untersuchen.
Die vorliegende Erfindung wurde vorgeschlagen, um das zuvor erwähnte Problem zu lösen, und eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Bauteilmontagevorrichtung bereitzustellen, die in der Lage ist, die Last zu vermindern, die einem Benutzer auferlegt ist, um eine Ursache der fehlerhaften Bauteilmontage zu untersuchen.
Mittel zum Lösen der Aufgabe
Eine Bauteilmontagevorrichtung gemäß einem Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung umfasst einen Montageabschnitt, der ein Bauteil auf einem Bondingmaterial montiert, das auf einem Substrat angeordnet ist, eine Messeinheit, die einen Zustand des Bondingmaterials zumindest nach einem Betrieb der Montage des Bauteils misst, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, und eine Steuereinheit, die den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage eines Messergebnisses überprüft, das von der Messeinheit erhalten wird, wenn eine fehlerhafte Montage des Bauteils aufgetreten ist.
Die Bauteilmontagevorrichtung gemäß diesem Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung umfasst die zuvor erwähnte Steuereinheit. Somit kann der Zustand des Bondingmaterials wie ein Lot automatisch von der Steuereinheit überprüft werden, wenn die fehlerhafte Montage des Bauteils aufgetreten ist, und somit kann, im Vergleich zu dem Fall, in dem ein Benutzer den Zustand des Bondingmaterials selbst überprüft, die Last auf den Benutzer vermindert werden, eine Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils zu untersuchen. Überdies kann der Zustand des Bondingmaterials, das zu überprüfen ist, wenn die fehlerhafte Montage des Bauteils aufgetreten ist, automatisch von der Steuereinheit überprüft werden, und somit kann, ungeachtet dessen, ob der Benutzer (Bediener) ein Fachmann ist oder nicht, die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils einfach untersucht werden.
In der zuvor erwähnten Bauteilmontagevorrichtung gemäß diesem Gesichtspunkt ist die Steuereinheit vorzugsweise ausgestaltet, eine Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils auf der Grundlage des Zustands des Bondingmaterials abzuleiten. Gemäß dieser Struktur kann nicht nur die Überprüfung des Zustands des Bondingmaterials, sondern auch die Ableitung der Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils automatisch von der Steuereinheit ausgeführt werden, und somit kann überdies die Last vermindert werden, die auf dem Benutzer liegt, die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils zu untersuchen.
In diesem Fall ist die Steuereinheit vorzugsweise ausgestaltet, Informationen über die abgeleitete Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils mitzuteilen. Gemäß dieser Struktur kann ungeachtet dessen, ob der Benutzer ein Fachmann ist oder nicht, die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils einfach auf der Grundlage der mitgeteilten Informationen über die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils untersucht werden.
In der zuvor erwähnten Struktur, in der die Informationen über die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils mitgeteilt werden, ist die Steuereinheit vorzugsweise ausgestaltet, das Vorhandensein oder das Nichtvorhandensein von Verformung des Bondingmaterials nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, als den Zustand des Bondingmaterials zu überprüfen, und Informationen über Ursachen der fehlerhaften Montage des Bauteils in einem Fall mitzuteilen, in dem es die Verformung des Bondingmaterials gibt, und in einem Fall, in dem es keine Verformung des Bondingmaterials gibt. Gemäß dieser Struktur kann in jedem dieser Fälle, in denen es eine Verformung des Bondingmaterials wie einem Lot gibt, und in denen es keine Verformung des Bondingmaterials gibt, die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils einfach auf der Grundlage der mitgeteilten Informationen über die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils untersucht werden.
In der zuvor erwähnten Struktur, in der die Informationen über die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils mitgeteilt werden, ist die Steuereinheit vorzugsweise ausgestaltet, die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils auf der Grundlage mindestens eines, eines Messergebnisses einer Dicke des Bauteils, eines Messergebnisses der Wölbung des Substrats, eines Messergebnisses des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins eines Fremdkörpers, der an dem Montageabschnitt haftet, und eines Messergebnisses des Maßes an Trockenheit des Bondingmaterials, zusätzlich zu dem Zustand des Bondingmaterials abzuleiten und die Informationen über die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils mitzuteilen. Gemäß dieser Struktur kann unter Verwendung mindestens eines, eines Messergebnisses der Dicke des Bauteils, des Messergebnisses der Wölbung des Substrats, des Messergebnisses des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins eines Fremdkörpers, der an dem Montageabschnitt haftet, und des Messergebnisses des Maßes an Trockenheit des Bondingmaterials, die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils präziser abgeleitet werden. Folglich kann die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils einfacher untersucht werden, indem die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils präziser abgeleitet wird.
In der zuvor erwähnten Bauteilmontagevorrichtung gemäß diesem Gesichtspunkt umfasst die Messeinheit vorzugsweise eine Höhenmesseinheit, die eine Höhe des Bondingmaterials misst, und die Steuereinheit ist vorzugsweise ausgestaltet, Höheninformationen des Bondingmaterials auf der Grundlage eines Messergebnisses der Höhe des Bondingmaterials zu erfassen, das von der Höhenmesseinheit erhalten wird, und den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage der erfassten Höheninformationen des Bondingmaterials zu überprüfen. Wenn die fehlerhafte Montage aufgetreten ist, obgleich das Bauteil das Bondingmaterial wie ein Lot erreicht hat, ändert sich die Höhe des Bondingmaterials möglicherweise aufgrund von Verformung des Bondingmaterials, wobei sich, wenn die fehlerhafte Montage aufgetreten ist, ohne dass das Bauteil das Bondingmaterial erreicht, die Höhe des Bondingmaterials aufgrund keiner Verformung des Bondingmaterials möglicherweise nicht ändert. Daher ist die Steuereinheit ausgestaltet, den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage der Höheninformationen des Bondingmaterials wie zuvor beschrieben derart zu überprüfen, dass der Zustand des Bondingmaterials einfach und genau überprüft werden kann, wenn die fehlerhafte Montage des Bauteils aufgetreten ist.
In diesem Fall ist die Höhenmesseinheit vorzugsweise vorgesehen, die Höhe des Bondingmaterials vor dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, und die Höhe des Bondingmaterials nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, zu messen, und die Steuereinheit ist vorzugsweise ausgestaltet, den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage einer Änderung der Höheninformationen des Bondingmaterials vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, zu überprüfen. Gemäß dieser Struktur kann im Vergleich zu dem Fall, in dem der Zustand des Bondingmaterials nur auf der Grundlage der Höheninformationen des Bondingmaterials nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, überprüft wird, der Zustand des Bondingmaterials einfacher auf der Grundlage der Änderung der Höheninformationen des Bondingmaterials vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, überprüft werden. Folglich kann sogar der Zustand eines sehr kleinen Bondingmaterials (ein Bondingmaterial, auf dem ein sehr kleines Bauteil montiert ist), dessen Zustand schwer zu überprüfen ist, einfach überprüft werden.
In der zuvor erwähnten Bauteilmontagevorrichtung gemäß diesem Gesichtspunkt umfasst die Messeinheit vorzugsweise einen Abbildungsabschnitt, der einen vorbestimmten Bereich, umfassend das Bondingmaterial, abbildet, der Abbildungsabschnitt ist vorzugsweise ausgestaltet, den vorbestimmten Bereich, umfassend das Bondingmaterial, vor dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, und den vorbestimmten Bereich, umfassend das Bondingmaterial, nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, abzubilden, und die Steuereinheit ist vorzugsweise ausgestaltet, den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage einer Änderung eines Abbildungsergebnisses zu überprüfen, das von dem Abbildungsabschnitt vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, erhalten wird. Sogar gemäß dieser Struktur kann, ähnlich zu dem zuvor erwähnten Fall, in dem der Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage der Änderung der Höheninformationen des Bondingmaterials überprüft wird, der Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage der Änderung des Abbildungsergebnisses, das von dem Abbildungsabschnitt vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, erhalten wird, einfacher überprüft werden. Folglich kann sogar der Zustand eines sehr kleinen Bondingmaterials (ein Bondingmaterial, auf dem ein sehr kleines Bauteil montiert ist), dessen Zustand schwer zu überprüfen ist, einfach überprüft werden.
In diesem Fall ist die Steuereinheit vorzugsweise ausgestaltet, den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage eines Differenzbilds zwischen einem Bild des vorbestimmten Bereichs, der von dem Abbildungsabschnitt vor dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, aufgenommen wurde, und einem Bild des vorbestimmten Bereichs, der von dem Abbildungsabschnitt nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, aufgenommen wurde, zu überprüfen. Gemäß dieser Struktur kann, wenn es eine Änderung in dem Zustand des Bondingmaterials gibt, der Zustand des Bondingmaterials genau unter Verwendung der Tatsache überprüft werden, dass eine Differenz zwischen dem Bild des vorbestimmten Bereichs, der von dem Abbildungsabschnitt vor dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, aufgenommen wurde, und dem Bild des vorbestimmten Bereichs, der von dem Abbildungsabschnitt nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, aufgenommen wurde, auftritt.
In der zuvor erwähnten Struktur, in der der Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage des Differenzbilds überprüft wird, ist die Steuereinheit vorzugsweise ausgestaltet, Höheninformationen des Bondingmaterials auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses zu erfassen, das von dem Abbildungsabschnitt erhalten wird, und die Steuereinheit ist vorzugsweise ausgestaltet, den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage der Höheninformationen des Bondingmaterials zusätzlich zu dem Differenzbild zu überprüfen. Gemäß dieser Struktur kann der Zustand des Bondingmaterials unter Verwendung nicht nur des Differenzbilds, sondern auch der Höheninformationen des Bondingmaterials genauer überprüft werden. Überdies ist es nicht notwendig, eine Höhenmesseinheit getrennt von dem Abbildungsabschnitt bereitzustellen, um die Höheninformationen des Bondingmaterials zu erfassen, und somit kann eine Zunahme der Anzahl von Teilen wesentlich vermindert oder verhindert werden, sogar wenn der Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage der Höheninformationen des Bondingmaterials zusätzlich zu dem Differenzbild überprüft wird. Folglich kann der Zustand des Bondingmaterials genauer überprüft werden, während eine Zunahme der Anzahl von Teilen wesentlich vermindert oder verhindert wird.
In der zuvor erwähnten Struktur, in der der Abbildungsabschnitt den vorbestimmten Bereich abbildet, umfassend das Bondingmaterial vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, ist die Steuereinheit vorzugsweise ausgestaltet, zu überprüfen, ob die fehlerhafte Montage des Bauteils auf der Grundlage der Änderung des Abbildungsergebnisses, das von dem Abbildungsabschnitt vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, aufgetreten ist oder nicht, und die Steuereinheit ist vorzugsweise ausgestaltet, den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage der Änderung des Abbildungsergebnisses zu überprüfen, das von dem Abbildungsabschnitt vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, erhalten wurde, wenn die fehlerhafte Montage des Bauteils aufgetreten ist. Gemäß dieser Struktur können Komplikationen des Abbildungsbetriebs des Abbildungsabschnitts wesentlich vermindert oder verhindert werden, im Vergleich zu dem Fall, in dem ein Abbildungsbetrieb zum Überprüfen des Zustands des Bondingmaterials neu ausgeführt wird, wenn die fehlerhafte Montage des Bauteils aufgetreten ist.
In der zuvor erwähnten Bauteilmontagevorrichtung gemäß diesem Gesichtspunkt umfasst das Bondingmaterial vorzugsweise ein Lot.
Wirkung der Erfindung
Gemäß der vorliegenden Erfindung kann, wie in diesem Dokument zuvor beschrieben, die Bauteilmontagevorrichtung bereitgestellt werden, die in der Lage ist, die Last zu vermindern, die auf dem Benutzer liegt, die Ursache der fehlerhaften Bauteilmontage zu untersuchen.
Figurenliste
Es zeigen:

[1] Eine Grafik, die die Gesamtstruktur einer Bauteilmontagevorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
[2] Ein Blockdiagramm, das die Steuerstruktur der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
[3] Eine Seitenrissansicht zum Veranschaulichen einer Abbildungseinheit der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
[4] Eine Grafik zum Veranschaulichen eines Höhenberechnungsverfahrens durch Stereoabgleich in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
[5] Eine Draufsicht zum Veranschaulichen eines Falles, in dem ein Bauteil demontiert wurde, obgleich das Bauteil ein Lot erreicht hat, und einen Fall, in dem das Bauteil demontiert wurde, ohne das Lot zu erreichen.
[6] Eine Seitenrissansicht zum Veranschaulichen eines Verfahrens zum Überprüfen des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins von Verformung des Lots, auf der Grundlage einer Änderung der Fläche des Lots vor und nach dem Montagebetrieb der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
[7] Eine Draufsicht zum Veranschaulichen eines Verfahrens zum Überprüfen des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins von Verformung des Lots, auf der Grundlage einer Änderung der Höhe des Lots vor und nach dem Montagebetrieb der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
[8] Eine Grafik zum Veranschaulichen eines Verfahrens zum Überprüfen des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins von Verformung des Lots, auf der Grundlage eines Differenzbilds zwischen Bildern, die vor und nach dem Montagebetrieb der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung aufgenommen wurden.
[9] Ein Flussdiagramm zum Veranschaulichen der Fehlerursachenableitungsverarbeitung in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
[10] Eine Grafik zum Veranschaulichen einer Seitenansichtskamera einer Bauteilmontagevorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
[11] Ein Flussdiagramm zum Veranschaulichen der Fehlerursachenableitungsverarbeitung in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
[12] Ein Flussdiagramm zum Veranschaulichen der ersten Ableitungsverarbeitung in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
[13] Ein Flussdiagramm zum Veranschaulichen der zweiten Ableitungsverarbeitung in der Bauteilmontagevorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Ausführungsformen der Erfindung
Nachfolgend werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung auf der Grundlage der Zeichnungen beschrieben.
[Erste Ausführungsform]
(Aufbau der Bauteilmontagevorrichtung)
Der Aufbau einer Bauteilmontagevorrichtung 100 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun mit Bezug auf 1 bis 4 beschrieben.
Wie in Figur 1 gezeigt, ist die
Bauteilmontagevorrichtung 100 eine Vorrichtung, die Bauteile E (elektronische Bauteile) wie ICs, Transistoren, Kondensatoren und Widerstände auf einem Substrat P wie einer gedruckten Leiterplatte montiert.
Die Bauteilmontagevorrichtung 100 umfasst eine Basis 1, einen Förderabschnitt 2, eine Kopfeinheit 3, eine Stütze 4, Schienen 5, Bauteilerkennungskameras 6, eine Substraterkennungskamera 7, eine Abbildungseinheit 8, eine Steuerung 9 (siehe 2) und eine Benachrichtigungseinheit 10 (siehe 2). Die Abbildungseinheit 8 ist ein Beispiel einer „Messeinheit“, einer „Höhenmesseinheit“ oder eines „Abbildungsabschnitts“ in den Ansprüchen. Die Steuerung 9 ist ein Beispiel einer „Steuereinheit“ in den Ansprüchen.
Vorschubplatzierungsabschnitte 12 zum Anbringen einer Vielzahl von Bandvorschubeinrichtungen 11 sind jeweils an beiden Enden (einer Y1-Seite und einer Y2-Seite) der Basis 1 in einer Richtung Y vorgesehen.
Die Bandvorschubeinrichtungen 11 halten Trommeln (nicht gezeigt), auf die Bänder aufgespult sind, die eine Vielzahl von Bauteilen E in einem vorbestimmten Intervall halten. Die Bandvorschubeinrichtungen 11 sind ausgestaltet, die Bauteile E von den Spitzen der Bandvorschubeinrichtungen 11 durch Drehen der Trommeln zum Vorschieben der Bänder, die die Bauteile E halten, vorzuschieben.
Die jeweiligen Bandvorschubeinrichtungen 11 sind in den Vorschubplatzierungsabschnitten 12 in einem Zustand platziert, in dem die Bandvorschubeinrichtungen 11 elektrisch über Anschlüsse (nicht gezeigt), die in den Vorschubplatzierungsabschnitten 12 vorgesehen sind, mit der Steuerung 9 verbunden sind. Die jeweiligen Bandvorschubeinrichtungen 11 sind somit ausgestaltet, die Bänder von den Trommeln vorzuschieben und die Bauteile E auf der Grundlage eines Steuersignals von der Steuerung 9 vorzuschieben. Zu dieser Zeit sind die jeweiligen Bandvorschubeinrichtungen 11 ausgestaltet, die Bauteile E gemäß dem Montagebetrieb der Kopfeinheit 3 vorzuschieben.
Der Förderabschnitt 2 umfasst ein Paar von Förderern 2a. Der Förderabschnitt 2 weist eine Funktion des Förderns des Substrats P in einer horizontalen Richtung (Richtung X) mittels des Paars von Förderern 2a auf. Insbesondere weist der Förderabschnitt 2 eine Funktion des Hineintragens in dem Substrat P vor der Montage von einer vorgelagerten (X1-Seite) Förderstufe (nicht gezeigt) auf, des Förderns des hineingetragenen Substrats P zu einer Montagebetriebsposition M und des Heraustragens des Substrats P, auf dem eine Montage beendet worden ist, zu einer nachgelagerten (X2-Seite) Förderstufe (nicht gezeigt) auf. Der Förderabschnitt 2 ist ausgestaltet, das Substrat P, das an der Montagebetriebsposition M gestoppt ist, mittels eines Substratfixierungsmechanismus (nicht gezeigt) wie ein Klemmmechanismus zu halten und zu fixieren.
Das Paar von Förderern 2a des Förderabschnitts 2 ist ausgestaltet, in der Lage zu sein, das Substrat P in der horizontalen Richtung (Richtung X) zu fördern, während es das Substrat P von unterhalb stützt. Überdies ist das Paar von Förderern 2a derart ausgestaltet, dass ein Intervall dazwischen in der Richtung Y angepasst werden kann. Entsprechend ist es möglich, das Intervall zwischen dem Paar von Förderern 2a in der Richtung Y gemäß der Größe des hineinzutragenden Substrats P anzupassen.
Die Kopfeinheit 3 ist ausgestaltet, ein Bauteil E an einer Montageposition Pa (siehe 3) auf dem Substrat P zu montieren, das an der Montagebetriebsposition M fixiert ist. Die Kopfeinheit 3 umfasst eine Kugelmutter 31, fünf Montageköpfe 32, fünf Z-Achsen-Motoren 33 (siehe 2), die jeweils auf den fünf Montageköpfen 32 vorgesehen sind, und fünf R-Achsen-Motoren 34 (siehe 2), die jeweils auf den fünf Montageköpfen 32 vorgesehen sind. Die Montageköpfe 32 sind Beispiele eines „Montageabschnitts“ in den Ansprüchen.
Die fünf Montageköpfe 32 sind in einer Reihe entlang der Richtung X auf der unteren Oberflächenseite der Kopfeinheit 3 angebracht. Düsen 32a (siehe 3) sind an den jeweiligen Spitzen der fünf Montageköpfe 32 befestigt. Die Montageköpfe 32 sind ausgestaltet, in der Lage zu sein, die Bauteile E, die von den Bandförderern 11 von einem Unterdruck vorgeschoben werden, der an den Spitzen der Düsen 32a von einem Unterdruckgenerator (nicht gezeigt) erzeugt wird, anzusaugen und zu halten.
Überdies sind die Montageköpfe 32 ausgestaltet, in der Lage zu sein, in einer Aufwärts-Abwärts-Richtung (Richtung Z) nach oben und unten zu gehen. Insbesondere sind die Montageköpfe 32 ausgestaltet, in der Lage zu sein, zwischen einer Position in einem abgesenkten Zustand zurzeit des Ansaugens oder Montierens des Bauteils E und einer Position in einem angehobenen Zustand zurzeit des Förderns oder Abbildens des Bauteils E nach oben und unten zu gehen. In der Kopfeinheit 3 ist jeder der fünf Montageköpfe 32 ausgestaltet, in der Lage zu sein, mittels eines Z-Achsen-Motors 33, der für jeden Montagekopf 32 vorgesehen ist, einzeln nach oben und unten zu gehen. Überdies ist jeder der fünf Montageköpfe 32 ausgestaltet, mittels eines R-Achsen-Motors 34, der für jeden Montagekopf 32 vorgesehen ist, einzeln drehbar um die Mittelachse (um die Richtung Z) einer Düse 32a zu sein.
Die Kopfeinheit 3 ist ausgestaltet, in der Richtung X entlang der Stütze 4 beweglich zu sein. Insbesondere umfasst die Stütze 4 einen Kugelgewindeschaft 41, einen X-Achsenmotor 42, der den Kugelgewindeschaft 41 dreht und eine Führungsschiene (nicht gezeigt), die sich in der Richtung X erstreckt. Der Kugelgewindeschaft 41 wird von dem X-Achsen-Motor 42 so gedreht, dass sich die Kopfeinheit 3 in der X-Richtung entlang der Stütze 4 zusammen mit der Kugelmutter 31 bewegen kann, die mit dem Kugelgewindeschaft 41 in Eingriff ist (in die der Kugelgewindeschaft 41 eingeschraubt ist).
Die Stütze 4 ist ausgestaltet, in der Richtung Y senkrecht zu der Richtung X entlang eines Paars von Schienen 5 beweglich zu sein, die auf der Basis 1 fixiert sind. Insbesondere umfassen die Schienen 5 ein Paar von Führungsschienen 51, die beide Enden der Stütze 4 in der Richtung X stützen, sodass die Stütze 4 in der Richtung Y beweglich ist, einen Kugelgewindeschaft 52, der sich in der Richtung Y erstreckt, und einen Y-Achsen-Motor 53, der den Kugelgewindeschaft 52 dreht. Überdies ist die Stütze 4 mit einer Kugelmutter 43 versehen, die mit dem Kugelgewindeschaft 52 in Eingriff ist (in die der Kugelgewindeschaft 52 eingeschraubt ist). Der Kugelgewindeschaft 52 wird von dem Y-Achsen-Motor 53 derart gedreht, dass sich die Stütze 4 in der Richtung Y entlang des Paars von Schienen 5, zusammen mit der Kugelmutter 43, die mit dem Kugelgewindeschaft 52 in Eingriff ist (in die der Kugelgewindeschaft 52 eingeschraubt ist) bewegen kann.
Gemäß dieser Struktur ist die Kopfeinheit 3 ausgestaltet, auf der Basis 1 in der horizontalen Richtung (der Richtung X und der Richtung Y) beweglich zu sein. Somit kann sich die Kopfeinheit 3 beispielsweise über den Bandvorschubeinrichtungen 11 bewegen und kann das Bauteil E ansaugen, das von den Bandvorschubeinrichtungen 11 vorgeschoben wird. Überdies kann sich die Kopfeinheit 3 beispielsweise über dem fixierten Substrat P an der Montagebetriebsposition M bewegen und kann das angesaugte Bauteil E auf dem Substrat P montieren.
Die Bauteilerkennungskameras 6 sind ausgestaltet, die Bauteile E abzubilden, die von den Montageköpfen 32 angesaugt werden, um die Saugzustände der Bauteile E vor der Montage der Bauteile E zu erkennen. Die Bauteilerkennungskameras 6 sind auf der oberen Oberfläche der Basis 1 fixiert und sind ausgestaltet, die Bauteile E abzubilden, die von den Montageköpfen 32 von unterhalb der Bauteile E (Richtung Z2) angesaugt werden. Diese Abbildungsergebnisse werden von der Steuerung 9 erfasst. Die Steuerung 9 kann somit die Saugzustände (die Drehausrichtungen und die Saugpositionen in Bezug auf die Montageköpfe 32) der Bauteile E auf der Grundlage der Abbildungsergebnisse der angesaugten Bauteile E erkennen.
Die Substraterkennungskamera 7 ist ausgestaltet, Positionserkennungskennzeichen (Justiermarken) FM abzubilden, die auf dem Substrat P vor der Montage der Bauteile E vorgesehen werden. Die Positionserkennungskennzeichen FM sind Kennzeichen zum Erkennen der Position des Substrats P. Auf dem Substrat P, das in 1 gezeigt ist, ist ein Paar von Positionserkennungskennzeichen FM an einer unteren rechten Position und einer oberen linken Position auf dem Substrat P vorgesehen. Das Abbildungsergebnis dieser Positionserkennungskennzeichen FM wird von der Steuerung 9 erfasst. Dann kann die Steuerung 9 die genaue Position und Ausrichtung des Substrats P erkennen, das von dem Substratfixiermechanismus (nicht gezeigt) auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses der Positionserkennungskennzeichen FM fixiert wird.
Überdies ist die Substraterkennungskamera 7 auf einem X2-Seitenabschnitt der Kopfeinheit 3 montiert, und ist ausgestaltet, auf der Basis 1 in der Richtung X und der Richtung Y zusammen mit der Kopfeinheit 3 beweglich zu sein. Die Substraterkennungskamera 7 ist ausgestaltet, sich auf der Basis 1 in der horizontalen Richtung (der Richtung X und der Richtung Y) zu bewegen und die Positionserkennungskennzeichen FM, die auf dem Substrat P von oberhalb des Substrats P vorgesehen sind (Richtung Z1) abzubilden.
Wie in 1 und 3 gezeigt, ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, in der Lage zu sein, das Substrat P abzubilden. Insbesondere ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, in der Lage zu sein, einen vorbestimmten Bereich, umfassend die Montageposition Pa auf dem Substrat P abzubilden, um Höhenmessung auszuführen. An der Montageposition Pa ist ein Lot So zum Bonden des Bauteils E auf dem Substrat P angebracht. Daher ist die Abbildungseinheit 8 ausgestaltet, einen vorbestimmten Bereich, umfassend das Lot So, mittels Abbilden des vorbestimmten Bereichs, umfassend die Montageposition Pa auf dem Substrat P abzubilden. Das Lot So ist ein Beispiel eines „Bondingmaterials“ in den Ansprüchen.
Die Abbildungseinheit 8 umfasst eine Vielzahl von Höhenmesskameras 81 und eine Vielzahl von Beleuchtungsteilen 82. Gemäß der ersten Ausführungsform ist die Abbildungseinheit 8 mit zwei Höhenmesskameras 81 und drei Beleuchtungsteilen 82 für jeden Montagekopf 32 versehen.
Wie in 3 gezeigt, sind die zwei Höhenmesskameras 81 ausgestaltet, in der Lage zu sein, den vorbestimmten Bereich, umfassend die Montageposition Pa auf dem Substrat P, von unterschiedlichen Abbildungsrichtungen voneinander abzubilden. Insbesondere ist eine Höhenmesskamera 81 auf der oberen Seite (Z1-Seite) ausgestaltet, in der Lage zu sein, den vorbestimmten Bereich, umfassend die Montageposition Pa auf dem Substrat P von einer Abbildungsrichtung abzubilden, die in einem Neigungswinkel θH (0 Grad < θH < 90 Grad) in Bezug auf eine horizontale Ebene geneigt ist (eine Ebene, die im Wesentlichen parallel zu einer Substratoberfläche Pb ist, auf der das Bauteil E montiert ist). Zusätzlich ist eine Höhenmesskamera 81 auf der unteren Seite (Z2-Seite) ausgestaltet, in der Lage zu sein, den vorbestimmten Bereich, umfassend die Montageposition Pa auf dem Substrat P von einer Abbildungsrichtung abzubilden, die in einem Neigungswinkel θL (0 Grad < θL < θH) in Bezug auf die horizontale Ebene geneigt ist (die Ebene, die im Wesentlichen parallel zu der Substratoberfläche Pb ist, auf der das Bauteil E montiert ist).
Die Abbildungseinheit 8 ist somit ausgestaltet, in der Lage zu sein, den vorbestimmten Bereich, umfassend die Montageposition Pa von einer Vielzahl von Abbildungsrichtungen abzubilden, die in Bezug auf die Substratoberfläche Pb des Substrats P geneigt sind. Die Abbildungsergebnisse des vorbestimmten Bereichs, umfassend die Montageposition Pa, werden von der Steuerung 9 erfasst. Die Steuerung 9 erfasst dann Höheninformationen wie die Höheninformationen über das Lot So, wie nachfolgend beschrieben durch Stereoabgleich auf der Grundlage der zwei Abbildungsergebnisse des vorbestimmten Bereichs, umfassend die Montageposition Pa von den zwei Abbildungsrichtungen.
Ein Höhenmessverfahren durch Stereoabgleich wird nun mit Bezug auf 4 beschrieben.
Wie in 4 gezeigt, wird der vorbestimmte Bereich, umfassend ein Objekt, dessen Höheninformationen erfasst werden, wie das Lot So im Wesentlichen gleichzeitig von den zwei Abbildungsrichtungen mit dem Neigungswinkel θH und dem Neigungswinkel θL von den zwei Höhenmesskameras 81 abgebildet. Dann wird ein Stereoabgleich zwischen dem aufgenommenen Bild von der Abbildungsrichtung mit dem Neigungswinkel θH und der Abbildung, die von der Abbildungsrichtung mit dem Neigungswinkel θL aufgenommen wird, so ausgeführt, dass eine Parallaxe p (Pixel) zwischen den zwei aufgenommenen Bildern erhalten wird. Hier wird, unter der Annahme, dass die Kameraauflösung der Höhenmesskameras 81 R (µm/Pixel) ist, ein Abstand A (µm) von dem folgenden Rechenausdruck (1) erhalten. $A = p \times R/sin (θ H - θ L)$
Zusätzlich wird die Höhe h (µm) des Objekts in Bezug auf eine Referenzoberfläche Ps von dem folgenden Rechenausdruck (2) unter Verwendung des Abstands A erhalten, der von dem Rechenausdruck (1) erhalten wurde. $h = A \times sin (θ L)$
Somit werden die Höheninformationen über das Lot So beispielsweise in Bezug auf die Referenzoberfläche Ps von der Steuerung 9 erfasst.
Als die Höheninformationen können beliebige Informationen verwendet werden, sofern es sich um Informationen handelt, die mit der Höhe h korrelieren. Beispielsweise können Informationen über die Höhe h, die in 4 gezeigt sind, als die Höheninformationen verwendet werden, oder Informationen über den Abstand A, die mit der Höhe h korrelieren, oder Informationen wie Informationen über die Parallaxe p können als die Höheninformationen verwendet werden. Zusätzlich ist ein Verfahren zum Erfassen der Höheninformationen durch Stereoabgleich nicht auf das obige Beispiel begrenzt, sondern ein beliebiges Verfahren kann verwendet werden.
Die Beleuchtungsteile 82 sind in der Nachbarschaft der Höhenmesskameras 81 vorgesehen und sind ausgestaltet, Licht auszusenden, wenn die Höhenmesskameras 81 Abbildungen aufnehmen. Zusätzlich umfassen die Beleuchtungsteile 82 jeweils eine Lichtquelle wie eine LED (Leuchtdiode).
Wie in 1 gezeigt, ist die Abbildungseinheit 8 auf einem Y-Seiten-Abschnitt der Kopfeinheit 3 montiert. Die Abbildungseinheit 8 ist somit ausgestaltet, auf der Basis 1 in der horizontalen Richtung (der Richtung X und der Richtung Y) zusammen mit der Kopfeinheit 3 (Montageköpfe 32) beweglich zu sein.
Wie in 2 gezeigt, umfasst die Steuerung 9 eine Zentraleinheit (Central Processing Unit - CPU), einen Nur-Lese-Speicher (Read Only Memory - ROM), einen Schreib-Lese-Speicher (Random Access Memory - RAM) etc. und ist ausgestaltet, den Betrieb der Bauteilmontagevorrichtung 100 zu steuern. Insbesondere steuert die Steuerung 9 den Förderabschnitt 2, den X-Achsen-Motor 42, den Y-Achsen-Motor 53, den Z-Achsen-Motor 33, den R-Achsen-Motor 34 etc. gemäß Programmen, die im Voraus gespeichert werden, um die Bauteile E auf dem Substrat P zu montieren.
Insbesondere bewegt die Steuerung 9 die Kopfeinheit 3 über die Bandvorschubeinrichtungen 11, erzeugt einen Unterdruck an den Düsen 32a der Montageköpfe 32 mittels des Unterdruckgenerators (nicht gezeigt) und steuert die Düsen 32a, um die Bauteile E anzusaugen, die von den Bandvorschubeinrichtungen 11 vorgeschoben werden.
Dann bewegt die Steuerung 9 die Kopfeinheit 3 von über den Bandvorschubeinrichtungen 11 zu über dem Substrat P, um die angesaugten Bauteile E auf dem Substrat P zu montieren. Während dieser Bewegung bewegt die Steuerung 9 die Kopfeinheit 3 derart, dass die Kopfeinheit 3 über den Bauteilerkennungskameras 6 verläuft, und steuert die Bauteilerkennungskameras 6, die Bauteile E abzubilden, die von den jeweiligen Montageköpfen 32 angesaugt werden. Wenn die Kopfeinheit 3 über dem Substrat P angekommen ist, das an der Substratbetriebsposition M fixiert ist, bewegt die Steuerung 9 die Köpfe 32 nach unten und montiert die angesaugten Bauteile E auf dem Substrat P durch Stoppen der Beaufschlagung der Köpfe 32 mit Unterdruck zu der vorbestimmten Zeitgebung.
Die Benachrichtigungseinheit 10 umfasst eine Anzeige und ist ausgestaltet, einen Benutzer über Informationen zu einer oben beschriebenen fehlerhaften Montage beispielsweise durch Anzeigen der Informationen zu benachrichtigen.
(Fehlerhafte Bauteilmontage)
Eine fehlerhafte Montage des Bauteils E (Demontage des Bauteils E) wird nun mit Bezug auf 5 beschrieben. Wenn das Bauteil E demontiert worden ist, gibt es zwei mögliche Fälle, den Fall, in dem das Bauteil E demontiert worden ist, obgleich das Bauteil E das Lot So erreicht hat, und den Fall, in dem das Bauteil E demontiert worden ist, ohne das Lot So zu erreichen.
Als erstes wird der Fall beschrieben, in dem das Bauteil E demontiert worden ist, obgleich das Bauteil E das Lot So erreicht hat. Wie in Ansicht (A1) von 5 gezeigt, bewegt sich, um das Bauteil E auf dem Lot So zu montieren, das auf dem Substrat P angebracht ist, der Montagekopf 32, der das Bauteil E angesaugt hat, nach unten zu dem Lot So auf dem Substrat P. Wie in Ansicht (B1) von 5 gezeigt, erreicht das Bauteil E, das von dem Montagekopf 32 angesaugt wird, das Lot So. Zu dieser Zeit wird das Lot So, das in Kontakt mit dem Bauteil E ist, verformt, sodass es sich auswärts weitet, indem es um einen Betrag entsprechend dem Volumen des Bauteils E nach außen gedrückt wird. Wie in Ansicht (C1) von 5 gezeigt, wird das Bauteil E danach nicht montiert, sondern zurückgebracht, sodass eine Demontage des Bauteils E auftritt. In diesem Fall weitet sich der Umriss des verformten Lots So nach außen im Vergleich zu dem des ursprünglichen Lots So, und eine Aussparung ist in einem Abschnitt gebildet, den das Bauteil E kontaktiert hat.
Als Nächstes wird der Fall beschrieben, in dem das Bauteil E demontiert worden ist, ohne das Lot So zu erreichen. Wie in Ansicht (A2) von 5 gezeigt, bewegt sich, um das Bauteil E auf dem Lot So zu montieren, das auf dem Substrat P angebracht ist, der Montagekopf 32, der das Bauteil E angesaugt hat, nach unten zu dem Lot So auf dem Substrat P. Wie in Ansicht (B2) von 5 gezeigt, erreicht dann das Bauteil E, das von dem Montagekopf 32 angesaugt wird, nicht das Lot So, und eine Abwärtsbewegung des Montagekopfs 32 wird gestoppt. Wie in Ansicht (C2) von 5 gezeigt, wird danach das Bauteil E nicht montiert, sondern wird zurückgebracht, sodass eine Demontage des Bauteils E auftritt. In diesem Fall bleibt das Lot So unverformt und bleibt ursprünglich.
Wenn eine fehlerhafte Montage des Bauteils E (Demontage des Bauteils E) aufgetreten ist, kann daher überprüft werden, ob das Bauteil E demontiert worden ist, obgleich das Bauteil E das Lot So erreicht hat, oder das Bauteil E demontiert worden ist, ohne das Lot So zu erreichen, indem das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Verformung des Lots überprüft wird.
(Struktur der Steuerung betreffend eine fehlerhafte Bauteilmontage)
<Benachrichtigung von Informationen über die Ursache einer fehlerhaften Bauteilmontage>
Gemäß der ersten Ausführungsform ist die Steuerung 9 ausgestaltet, den Zustand des Lots So auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses zu überprüfen, das von der Abbildungseinheit 8 erhalten wird, wenn eine Demontage des Bauteils E aufgetreten ist.
Gemäß der ersten Ausführungsform ist die Steuerung 9 ausgestaltet, eine Ursache der Demontage des Bauteils E auf der Grundlage des Zustands des Lots So abzuleiten und die Benachrichtigungseinheit 10 zu steuern, die Informationen über die abgeleitete Ursache der Demontage des Bauteils E mitzuteilen.
Insbesondere ist die Steuerung 9 ausgestaltet, das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Verformung des Lots So vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, als den Zustand des Lots So zu überprüfen. Überdies ist die Steuerung 9 ausgestaltet, die Benachrichtigungseinheit 10 zu steuern, die Informationen über Ursachen der Demontage des Bauteils E in dem Fall mitzuteilen, in dem es Verformung des Lots So gibt, und in dem Fall, in dem es keine Verformung des Lots So gibt.
Insbesondere ist, wie in 9 gezeigt, die Steuerung 9 ausgestaltet, die Benachrichtigungseinheit 10 zu steuern, eine Benachrichtigung „Überprüfung des Haftens eines Fremdkörpers an der Düse“ und „Überprüfung von Lottrockenheit“ als die Informationen über die Ursache der Demontage des Bauteils E auszugeben, wenn es Verformung des Lots So gibt.
Wenn es Verformung des Lots So gibt, ist möglicherweise das Bauteil E demontiert worden, obgleich das Bauteil E das Lot So wie zuvor beschrieben erreicht hat. In diesem Fall ist die Demontage des Bauteils E, bei der das Bauteil E zurückgebracht worden ist, obgleich das Bauteil E das Lot So erreicht hat, möglicherweise auf das Haften eines Fremdkörpers wie eines Haftmittels oder des Lots So an der Düse 32a des Montagekopfs 32, und/oder die Trockenheit des Lots So, das auf dem Substrat P angeordnet ist, zurückzuführen. Wenn es Verformung des Lots So gibt, wird daher eine Benachrichtigung „Überprüfung des Haftens eines Fremdkörpers an der Düse“ und „Überprüfung von Lottrockenheit“ als die Informationen über die Ursache der Demontage des Bauteils E ausgegeben.
Die Steuerung 9 ist ausgestaltet, die Benachrichtigungseinheit 10 zu steuern, eine Benachrichtigung „Überprüfung der Bauteilabmessung“ und „Überprüfung des fixierten Zustands des Substrats“ als die Informationen über die Ursache der Demontage des Bauteils E auszugeben, wenn es keine Verformung des Lots So gibt.
Wenn es keine Verformung des Lots So gibt, ist möglicherweise das Bauteil E demontiert worden, ohne das Lot So zu erreichen, wie zuvor beschrieben. In diesem Fall ist die Demontage des Bauteils E, bei der das Bauteil E zurückgebracht wurde, ohne das Lot So zu erreichen, möglicherweise auf einen Fehler in der Abmessung (Dicke) des Bauteils E, die im Voraus eingestellt wird (die Abmessung, die kleiner einzustellen ist als die tatsächliche Abmessung), und/oder eine Abwärtswölbung des Substrats P, die von einem nicht ordnungsgemäßes Stützen des Substrats P mittels Sicherungsstiften (nicht gezeigt) herrührt, zurückzuführen, die das Substrat P von unterhalb an der Montagebetriebsposition M stützen. Wenn es keine Verformung des Lots So gibt, wird daher eine Benachrichtigung „Überprüfung der Bauteilabmessung“ und „Überprüfung des fixierten Zustands des Substrats“ als die Informationen über die Ursache der Demontage des Bauteils E ausgegeben.
<Überprüfung des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins von Verformung des Lots>
Gemäß der ersten Ausführungsform ist die Steuerung 9 ausgestaltet, die Abbildungseinheit 8 zu steuern, um den vorbestimmten Bereich abzubilden, umfassend die Montageposition Pa (Lot So) während der Abwärtsbewegung des Montagekopfs 32 vor dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, und während der Aufwärtsbewegung des Montagekopfs 32 nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird.
Die Steuerung 9 ist ausgestaltet, den Zustand des Lots So (das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Verformung des Lots So) auf der Grundlage einer Differenz zwischen dem Abbildungsergebnis, das von der Abbildungseinheit 8 während der Abwärtsbewegung des Montagekopfs 32 vor dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, und dem Abbildungsergebnis, das von der Abbildungseinheit 8 während der Aufwärtsbewegung des Montagekopfs 32 nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, zu überprüfen. Insbesondere ist die Steuerung 9 ausgestaltet, den Zustand des Lots So auf der Grundlage einer Änderung des Abbildungsergebnisses vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, mittels mindestens einem der folgenden drei Mittel zu überprüfen.
Zuerst wird ein Mittel unter Verwendung des Höhenmessergebnisses des Lots So, das von der Abbildungseinheit 8 erhalten wird, beschrieben. In diesem Fall erfasst die Steuerung 9 die Höheninformationen über das Lot So vor dem Montagebetrieb und das Lot So nach dem Montagebetrieb durch Stereoabgleich auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses, das von der Abbildungseinheit 8 vor dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, und des Abbildungsergebnisses, das von der Abbildungseinheit 8 nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, erhalten wird. Die Steuerung 9 überprüft dann den Zustand des Lots So auf der Grundlage einer Änderung der Höheninformationen über das Lot So vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird.
Wie in 6 gezeigt, ist die Steuerung 9 insbesondere ausgestaltet, eine Änderung in der Fläche eines Abschnitts zu erfassen, der eine Höhe entsprechend der Dicke des Lots So (grob die Fläche der oberen Oberfläche des Lots So) (gezeigt durch Straffierung) der Höheninformationen aufweist, und den Zustand des Lots So auf der Grundlage der erfassten Flächenänderung zu überprüfen.
Das heißt, die Steuerung 9 ist ausgestaltet, das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Verformung des Lots So vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, zu überprüfen, indem bestimmt wird, ob die Fläche des Abschnitts, der eine Höhe entsprechend der Dicke des Lots So der Höheninformationen über das Lot So aufweist, nach dem Montagebetrieb größer ist als die Fläche des Abschnitts, der eine Höhe entsprechend der Dicke des Lots So der Höheninformationen über das Lot So aufweist, vor dem Montagebetrieb oder nicht. Übrigens umfasst die Fläche des Abschnitts, der einen Höhe entsprechend der Dicke des Lots So der Höheninformationen über das Lot So nach dem Montagebetrieb aufweist, auch die Fläche der Aussparung des verformten Lots So.
Wie in 5 und 6 gezeigt, weitet sich, wenn es Verformung des Lots So gibt, der Umriss des verformten Lots So im Vergleich zu dem des ursprünglichen Lots So nach außen, und somit nimmt die Fläche des Abschnitts zu, der eine Höhe entsprechend der Dicke des Lots So der Höheninformationen aufweist. Unter Verwendung dieser Flächenänderung kann das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Verformung des Lots So vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, überprüft werden.
Als Nächstes wird das andere Mittel unter Verwendung des Höhenmessergebnisses des Lots So, das von der Abbildungseinheit 8 erhalten wird, beschrieben. In diesem Fall erfasst die Steuerung 9 die Höheninformationen über das Lot So vor dem Montagebetrieb und die Höheninformationen über das Lot So nach dem Montagebetrieb durch Stereoabgleich auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses, das von der Abbildungseinheit 8 vor dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, und des Abbildungsergebnisses, das von der Abbildungseinheit 8 nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, erhalten wird. Die Steuerung 9 überprüft dann den Zustand des Lots So auf der Grundlage einer Änderung der Höheninformationen über das Lot So vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird.
Wie in 7 gezeigt, ist die Steuerung 9 insbesondere ausgestaltet, eine Änderung in der Höhe der Nachbarschaft des Lots So (die Dicke des Lots So) der Höheninformationen zu erfassen und den Zustand des Lots So auf der Grundlage der erfassten Höhenänderung zu überprüfen.
Das heißt, die Steuerung 9 ist ausgestaltet, das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Verformung des Lots So vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, zu überprüfen, indem bestimmt wird, ob die Höhe in der Nachbarschaft des Lots So der Höheninformationen über das Lot So nach dem Montagebetrieb kleiner ist als die Höhe in der Nachbarschaft des Lots So der Höheninformationen über das Lot So vor dem Montagebetrieb.
Wie in 5 und 7 gezeigt, ist, wenn es Verformung des Lots So gibt, eine leichte Aussparung in dem verformten Lot So, verglichen mit dem ursprünglichen Lot So, gebildet. Daher umfasst, wobei das gesamte ursprüngliche Lot So eine Höhe h1 aufweist (ursprüngliche Höhe), das verformte Lot So einen Abschnitt, der eine Höhe h1 aufweist (Abschnitt, der eine ursprüngliche Höhe aufweist), und einen Abschnitt (Aussparung), der eine Höhe h2 aufweist, die kleiner ist als die Höhe h1, sodass die Höhe in der Nachbarschaft des Lots So insgesamt abnimmt. Unter Verwendung dieser Höhenänderung kann das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Verformung des Lots So vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, überprüft werden.
Als nächstes wird ein Mittel, das das aufgenommene Bild von der Abbildungseinheit 8 verwendet, beschrieben. In diesem Fall erfasst, wie in 8 gezeigt, die Steuerung 9 ein Differenzbild zwischen dem aufgenommenen Bild des vorbestimmten Bereichs, umfassend das Lot So vor dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, und dem aufgenommenen Bild des vorbestimmten Bereichs, umfassend das Lot So nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird. Die Steuerung 9 erfasst auch die Höheninformationen über das Lot So nach dem Montagebetrieb durch Stereoabgleich auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses, das von der Abbildungseinheit 8, nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, erhalten wird. Dann überprüft die Steuerung 9 den Zustand des Lots So auf der Grundlage des erfassten Differenzbilds und der erfassten Höheninformationen über das Lot So.
Insbesondere ist die Steuerung 9 ausgestaltet, zu bestimmen, ob es einen gewissen Betrag an Differenzänderung in dem Differenzbild vor und nach dem Montagebetrieb auf der Grundlage des erfassten Differenzbilds gibt oder nicht. Überdies ist die Steuerung 9 ausgestaltet, zu bestimmen, ob eine Höhe entsprechend der Dicke des Bauteils E auf der Grundlage der Höheninformationen über das Lot So erfasst wird oder nicht, wenn es einen gewissen Betrag an Differenzänderung in dem Differenzbild vor und nach dem Montagebetrieb gibt.
Das heißt, die Steuerung 9 ist ausgestaltet, das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Verformung des Lots So vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, zu überprüfen, indem bestimmt wird, ob es einen gewissen Betrag an Differenzänderung in dem Differenzbild vor und nach dem Montagebetrieb gibt oder nicht und indem bestimmt wird, ob die Höhe entsprechend der Dicke des Bauteils E erfasst wird oder nicht.
Wie in 5 und 8 gezeigt, weitet sich, wenn es Verformung des Lots So gibt, der Umriss des verformten Lots So im Vergleich zu dem des ursprünglichen Lots So nach außen. Daher tritt ein gewisser Betrag an Differenzänderung in dem Differenzbild vor und nach dem Montagebetrieb auf. Wenn eine Demontage des Bauteils E stattgefunden hat, wird das Bauteil E nicht auf dem Lot So montiert, und somit wird die Höhe entsprechend der Dicke des Bauteils E nicht erfasst. Unter Verwendung dieser kann das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Verformung des Lots So vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, überprüft werden. Diese drei Mittel können übrigens allein oder in Kombination verwendet werden.
<Überprüfung fehlerhafter Bauteilmontage>
Gemäß der ersten Ausführungsform ist die Steuerung 9 ausgestaltet, zu überprüfen, ob eine Demontage des Bauteils E auf der Grundlage einer Änderung des Abbildungsergebnisses, das von der Abbildungseinheit 8 vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, erhalten wird, aufgetreten ist oder nicht.
Die Steuerung 9 ist ausgestaltet, zu überprüfen, ob eine Demontage des Bauteils E beispielsweise auf der Grundlage einer Änderung des aufgenommenen Bilds aufgrund der Montage des Bauteils E an der Montageposition Pa oder einer Änderung der Höheninformationen aufgrund der Montage des Bauteils E an der Montageposition Pa aufgetreten ist oder nicht.
(Fehlerursachenableitungsverarbeitung)
Die Fehlerursachenableitungsverarbeitung gemäß der ersten Ausführungsform wird nun auf der Grundlage eines Flussdiagramms mit Bezug auf 9 beschrieben. Die Fehlerursachenableitungsverarbeitung wird von der Steuerung 9 ausgeführt.
Wie in 9 gezeigt, bildet in Schritt S1 die Bauteilerkennungskamera 6 das Bauteil E ab, das von dem Kopf 32 angesaugt wird, und der Saugzustand des Bauteils E wird auf der Grundlage dieses Abbildungsergebnisses erkannt. Danach wird die Kopfeinheit 3 von oberhalb irgendeiner der beiden Bauteilerkennungskameras 6 zu oberhalb des Substrats P bewegt.
Wenn die Kopfeinheit 3 oberhalb des Substrats P ankommt, wird dann der Betrieb der Montage des Bauteils E auf dem Substrat P in Schritt S2 gestartet.
In Schritt S3 wird dann der Montagekopf 32, der das Bauteil E angesaugt hat, abwärts zu der Montageposition Pa bewegt, und der vorbestimmte Bereich, umfassend die Montageposition Pa (Lot So) vor dem Montagebetrieb wird von der Abbildungseinheit 8 während der Abwärtsbewegung des Montagekopfs 32 abgebildet.
Dann wird in Schritt S4 der Montagekopf 32 von der Montageposition Pa aufwärts bewegt, und der vorbestimmte Bereich, umfassend die Montageposition Pa (Lot So) nach dem Montagebetrieb wird von der Abbildungseinheit 8 während der Aufwärtsbewegung des Montagekopfs 32 abgebildet.
Dann bestimmt die Steuerung 9 in Schritt S5, ob die Demontage des Bauteils E auf der Grundlage einer Differenz zwischen dem Abbildungsergebnis, das von der Abbildungseinheit 8 in Schritt S3 erhalten wird, und dem Abbildungsergebnis, das von der Abbildungseinheit 8 in Schritt S4 erhalten wird, aufgetreten ist oder nicht.
Wenn die Steuerung 9 in Schritt S5 bestimmt, dass eine Demontage des Bauteils E nicht aufgetreten ist, ist die fehlerhafte Montage des Bauteils E nicht aufgetreten, und somit beendet die Steuerung 9 die Fehlerursachenableitungsverarbeitung.
Wenn in Schritt S5 bestimmt wird, dass eine Demontage des Bauteils E aufgetreten ist, fährt die Steuerung 9 fort mit Schritt S6.
Dann bestimmt die Steuerung 9 in Schritt S6, auf der Grundlage einer Differenz zwischen dem Abbildungsergebnis, das von der Abbildungseinheit 8 in Schritt S3 erhalten wird, und dem Abbildungsergebnis, das von der Abbildungseinheit 8 in Schritt S4 erhalten wird, ob es Verformung des Lots So gibt oder nicht (das Vorhandensein oder Nichtvorhandenseins von Verformung des Lots So).
Wenn in Schritt S6 bestimmt wird, dass es keine Verformung des Lots So gibt, fährt die Steuerung 9 fort mit Schritt S7.
Dann wird in Schritt S7 eine Benachrichtigung „Überprüfung der Bauteilabmessung“ und „Überprüfung des fixierten Zustands des Substrats“ als die Informationen über die Ursache der Demontage des Bauteils E an der Benachrichtigungseinheit 10 angezeigt, sodass der Benutzer benachrichtigt wird. Danach wird die Fehlerursachenableitungsverarbeitung beendet.
Wenn in Schritt S6 bestimmt wird, dass es Verformung des Lots So gibt, fährt die Steuerung 9 fort mit Schritt S8.
Dann wird in Schritt S8 eine Benachrichtigung „Überprüfung des Haftens eines Fremdkörpers an der Düse“ und „Überprüfung der Düsentrockenheit“ als die Informationen über die Ursache der Demontage des Bauteils E an der Benachrichtigungseinheit 10 angezeigt, sodass der Benutzer benachrichtigt wird. Danach wird die Fehlerursachenableitungsverarbeitung beendet.
(Wirkungen der ersten Ausführungsform)
Gemäß der ersten Ausführungsform können folgende Wirkungen erzielt werden:
Gemäß der ersten Ausführungsform umfasst, wie zuvor in diesem Dokument beschrieben, die Bauteilmontagevorrichtung 100 die Steuerung 9, die den Zustand des Lots So auf der Grundlage des Messergebnisses (Abbildungsergebnis) überprüft, das von der Abbildungseinheit 8 erhalten wird, wenn eine fehlerhafte Montage des Bauteils E aufgetreten ist (Demontage des Bauteils E). Somit kann der Zustand des Lots So automatisch von der Steuerung 9 überprüft werden, wenn eine fehlerhafte Montage des Bauteils E aufgetreten ist, und somit kann, im Vergleich zu dem Fall, in dem der Benutzer den Zustand des Lots So selbst überprüft, die Last auf den Benutzer vermindert werden, die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils E zu untersuchen. Überdies kann der Zustand des Lots So, das zu überprüfen ist, wenn eine fehlerhafte Montage des Bauteils E aufgetreten ist, automatisch von der Steuerung 9 überprüft werden, und somit kann, ungeachtet dessen, ob der Benutzer (Bediener) ein Fachmann ist oder nicht, die Ursache einer fehlerhaften Montage des Bauteils E einfach untersucht werden.
Gemäß der ersten Ausführungsform ist wie in diesem Dokument zuvor beschrieben, die Steuerung 9 ausgestaltet, die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils E auf der Grundlage des Zustands des Lots So abzuleiten. Somit kann nicht nur die Überprüfung des Zustands des Lots So, sondern auch die Ableitung der Ursache einer fehlerhaften Montage des Bauteils E automatisch von der Steuerung 9 ausgeführt werden, und somit kann überdies die Last, die auf dem Benutzer liegt, vermindert werden, die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils E zu untersuchen.
Gemäß der ersten Ausführungsform ist, wie in diesem Dokument zuvor beschrieben, die Steuerung 9 ausgestaltet, die Informationen über die abgeleitete Ursache einer fehlerhaften Montage des Bauteils E mitzuteilen.
Ungeachtet dessen, ob der Benutzer ein Fachmann ist oder nicht, kann die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils E somit einfach auf der Grundlage der mitgeteilten Informationen über die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils E untersucht werden.
Gemäß der ersten Ausführungsform ist, wie in diesem Dokument zuvor beschrieben, die Steuerung 9 ausgestaltet, das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Verformung des Lots So nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, als den Zustand des Lots So zu überprüfen und die Informationen über die Ursachen einer fehlerhaften Montage des Bauteils E in dem Fall, in dem es Verformung des Lots So gibt, und in dem Fall, in dem es keine Verformung des Lots So gibt, mitzuteilen. Somit kann in jedem dieser Fälle, in denen es eine Verformung des Lots So gibt, und in denen es keine Verformung des Lots So gibt, die Ursache fehlerhafter Montage des Bauteils E einfach auf der Grundlage der mitgeteilten Informationen über die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils E untersucht werden.
Gemäß der ersten Ausführungsform ist, wie in diesem Dokument zuvor beschrieben, die Steuerung 9 ausgestaltet, die Höheninformationen über das Lot So auf der Grundlage des Höhenmesserergebnisses des Lots So zu erfassen, das von der Höhenabbildungseinheit 8 erhalten wird, und den Zustand des Lots So auf der Grundlage der erfassten Höheninformationen über das Lot So zu überprüfen. Wie in 5 gezeigt, ändert sich, wenn fehlerhafte Montage (Demontage) aufgetreten ist, obgleich das Bauteil E das Lot So erreicht hat, die Höhe des Lots So möglicherweise aufgrund von Verformung des Lots So, wobei sich, wenn fehlerhafte Montage (Demontage) aufgetreten ist, ohne dass das Bauteil E das Lot So erreicht, die Höhe des Lots So möglicherweise aufgrund keiner Verformung des Lots So nicht ändert. Daher ist die Steuerung 9 ausgestaltet, den Zustand des Lots So auf der Grundlage der Höheninformationen über das Lot So wie zuvor beschrieben derart zu überprüfen, dass der Zustand des Lots So einfach und genau überprüft werden kann, wenn eine fehlerhafte Montage des Bauteils E aufgetreten ist.
Gemäß der ersten Ausführungsform ist die Steuerung 9, wie in diesem Dokument zuvor beschrieben, ausgestaltet, den Zustand des Lots So auf der Grundlage einer Änderung der Höheninformationen über das Lot So vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, zu überprüfen. Somit kann im Vergleich zu dem Fall, in dem der Zustand des Lots So nur auf der Grundlage der Höheninformationen über das Lot So nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E überprüft wird, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, der Zustand des Lots So einfacher auf der Grundlage einer Änderung der Höheninformationen über das Lot So vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, überprüft werden. Folglich kann sogar der Zustand eines sehr kleinen Lots So (ein Lot So, auf dem ein sehr kleines Bauteil E montiert ist), dessen Zustand schwer zu überprüfen ist, einfach überprüft werden.
Gemäß der ersten Ausführungsform ist, wie in diesem Dokument zuvor beschrieben, die Steuerung 9 ausgestaltet, den Zustand des Lots So auf der Grundlage einer Änderung des Abbildungsergebnisses, das von der Abbildungseinheit 8 vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, erhalten wird, zu überprüfen. Somit kann, ähnlich zu dem zuvor erwähnten Fall, in dem der Zustand des Lots So auf der Grundlage einer Änderung der Höheninformationen über das Lot So überprüft wird, der Zustand des Lots So auf der Grundlage einer Änderung des Abbildungsergebnisses, das von der Abbildungseinheit 8 vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, erhalten wird, einfacher überprüft werden. Folglich kann sogar der Zustand eines sehr kleinen Lots So (ein Lot So, auf dem ein sehr kleines Bauteil E montiert ist), dessen Zustand schwer zu überprüfen ist, einfach überprüft werden.
Gemäß der ersten Ausführungsform ist, wie in diesem Dokument zuvor beschrieben, die Steuerung 9 ausgestaltet, den Zustand des Lots So auf der Grundlage des Differenzbilds zwischen dem Bild des vorbestimmten Bereichs, der von dem Abbildungsabschnitt 8 vor dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, aufgenommen wurde, und dem Bild des vorbestimmten Bereichs, der von der Abbildungseinheit 8 nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, aufgenommen wurde, zu überprüfen. Wenn es eine Änderung in dem Zustand des Lots So gibt, kann somit der Zustand des Lots So genau unter Verwendung der Tatsache überprüft werden, dass eine Differenz zwischen dem Bild des vorbestimmten Bereichs, der von der Abbildungseinheit 8 vor dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, aufgenommen wurde, und dem Bild des vorbestimmten Bereichs, der von der Abbildungseinheit 8 nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, aufgenommen wurde, auftritt.
Gemäß der ersten Ausführungsform ist, wie in diesem Dokument zuvor beschrieben, die Steuerung 9 ausgestaltet, die Höheninformationen über das Lot So auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses zu erfassen, das von der Abbildungseinheit 8 erhalten wird. Überdies ist die Steuerung 9 ausgestaltet, den Zustand des Lots So auf der Grundlage der Höheninformationen über das Lot So zusätzlich zu dem Differenzbild zu überprüfen. Somit kann der Zustand des Lots So unter Verwendung nicht nur des Differenzbilds, sondern auch der Höheninformationen über das Lot So genauer überprüft werden. Überdies ist es nicht notwendig, eine Höhenmesseinheit getrennt von der Abbildungseinheit 8 bereitzustellen, um die Höheninformationen des Lots So zu erfassen, und somit kann eine Zunahme der Anzahl von Teilen wesentlich vermindert oder verhindert werden, sogar wenn der Zustand des Lots So auf der Grundlage der Höheninformationen über das Lot So zusätzlich zu dem Differenzbild überprüft wird. Folglich kann der Zustand des Lots So genauer überprüft werden, während eine Zunahme der Anzahl von Teilen wesentlich vermindert oder verhindert wird.
Gemäß der ersten Ausführungsform ist, wie zuvor in diesem Dokument beschrieben, die Steuerung 9 ausgestaltet, zu überprüfen, ob eine fehlerhafte Montage des Bauteils E auf der Grundlage einer Änderung des Abbildungsergebnisses, das von der Abbildungseinheit 8 vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, erhalten wird, aufgetreten ist oder nicht. Überdies ist die Steuerung 9 ausgestaltet, den Zustand des Lots So auf der Grundlage einer Änderung des Abbildungsergebnisses, das von der Abbildungseinheit 8 vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils E, die von dem Montagekopf 32 ausgeführt wird, erhalten wird, wenn fehlerhafte Montage des Bauteils E aufgetreten ist, zu überprüfen. Somit können Komplikationen des Abbildungsbetriebs der Abbildungseinheit 8 wesentlich vermindert oder verhindert werden, im Vergleich zu dem Fall, in dem ein Abbildungsbetrieb zum Überprüfen des Zustands des Lots So neu ausgeführt wird, wenn eine fehlerhafte Montage des Bauteils E aufgetreten ist.
(Zweite Ausführungsform)
Eine zweite Ausführungsform wird nun mit Bezug auf 1 bis 3 und 10 bis 13 beschrieben. In dieser zweiten Ausführungsform wird ein Beispiel beschrieben, in dem eine Ursache einer fehlerhaften Bauteilmontage auf der Grundlage anderer Teile von Informationen genauer abgeleitet wird, zusätzlich zu der Struktur der ersten Ausführungsform, die zuvor beschrieben wurde, in der die Ursache einer fehlerhaften Montage des Bauteils auf der Grundlage des Zustands des Lots abgeleitet wird.
(Aufbau der Bauteilmontagevorrichtung)
Wie in 2 und 10 gezeigt, ist eine Bauteilmontagevorrichtung 200 (siehe 1) gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung von der Bauteilmontagevorrichtung 100 gemäß der ersten Ausführungsform, die in diesem Dokument zuvor beschrieben wurde, dahingehend unterschiedlich, dass die Bauteilmontagevorrichtung 200 eine Steuerung 109 (siehe 2) und eine Seitenansichtskamera 140 umfasst. Die Steuerung 109 ist ein Beispiel einer „Steuereinheit“ in den Ansprüchen. Die gleichen Strukturen, wie die der ersten Ausführungsform, die zuvor beschrieben wurde, sind durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und eine Beschreibung davon wird weggelassen.
(Struktur der Seitenansichtskamera)
Die Seitenansichtskamera 140 ist auf einer Stütze 4 der Bauteilmontagevorrichtung 200 vorgesehen. Die Seitenansichtskamera 140 ist ausgestaltet, ein Bauteil E abzubilden, das von einem Montagekopf 32 von der Seite angesaugt wird, um den Saugzustand des Bauteils E von der Seite vor der Montage des Bauteils E zu erkennen. Dieses Abbildungsergebnis wird von der Steuerung 109 erfasst. Die Steuerung 9 kann somit den Saugzustand des Bauteils E und die Dicke des Bauteils E auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses des Bauteils E erkennen, das von der Seite abgebildet wird.
(Struktur der Steuerung betreffend eine fehlerhafte Bauteilmontage)
Gemäß der zweiten Ausführungsform ist die Steuerung 109 ausgestaltet, die Ursache der Demontage des Bauteils E auf der Grundlage des Messergebnisses der Dicke des Bauteils E, des Messergebnisses der Wölbung eines Substrats P, des Messergebnisses des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins eines Fremdkörpers, der an einer Düse 32a des Montagekopfs 32 haftet, und des Messergebnisses des Grads an Trockenheit eines Lots So zusätzlich zu dem Zustand des Lots So abzuleiten (siehe 3), und die Informationen über die Ursache der Demontage des Bauteils E mitzuteilen.
(Fehlerursachenableitungsverarbeitung)
Die Fehlerursachenableitungsverarbeitung gemäß der zweiten Ausführungsform wird nun auf der Grundlage eines Flussdiagramms mit Bezug auf 11 bis 13 beschrieben. Die Fehlerursachenableitungsverarbeitung wird von der Steuerung 109 ausgeführt. Die gleichen Fehlerursachenableitungsverarbeitungsbetriebe, wie die der ersten Ausführungsform, die zuvor beschrieben wurde, sind durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und eine Beschreibung davon wird weggelassen.
Wie in 11 gezeigt, werden zuerst die Verarbeitungsbetriebe in Schritt S1 bis Schritt S5 ähnlich ausgeführt wie in der ersten Ausführungsform, die zuvor beschrieben wurde. Wenn in Schritt S5 bestimmt wird, dass eine Demontage des Bauteils E nicht aufgetreten ist, beendet die Steuerung 109 dann die Fehlerursachenableitungsverarbeitung.
Wenn in Schritt S5 bestimmt wird, dass eine Demontage des Bauteils E aufgetreten ist, fährt die Steuerung 109 fort mit Schritt S6.
Dann bestimmt die Steuerung 109 in Schritt S6, ob es Verformung des Lots So gibt oder nicht (das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Verformung des Lots So) auf der Grundlage einer Differenz zwischen einem Abbildungsergebnis, das von einer Abbildungseinheit 8 in Schritt S3 erhalten wird, und einem Abbildungsergebnis, das von der Abbildungseinheit 8 in Schritt S4 erhalten wird.
Wenn in Schritt S6 bestimmt wird, dass es keine Verformung des Lots So gibt, fährt die Steuerung 109 fort mit Schritt S10.
In Schritt S10 wird eine erste Ableitungsverarbeitung ausgeführt.
In der ersten Ableitungsverarbeitung bestimmt zuerst die Steuerung 109 in Schritt S11, ob die Dicke des Bauteils E anomal ist oder nicht, wie in 12 gezeigt.
Insbesondere erfasst die Steuerung 109 in Schritt S11 die Dicke des Bauteils E (die tatsächliche Dicke des Bauteils E), das von dem Montagekopf 32 auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses angesaugt wird, das von der Seitenansichtskamera 140 erhalten wird. Dann bestimmt die Steuerung 109, ob die Dicke des Bauteils E auf der Grundlage des Vergleichs zwischen der Dicke des Bauteils E, die im Voraus eingestellt wird (die eingestellte Dicke des Bauteils E), und der tatsächlichen Dicke des Bauteils E anomal ist oder nicht. Das heißt, wenn es eine Differenz zwischen der eingestellten Dicke des Bauteils E und der tatsächlichen Dicke des Bauteils E gibt, bestimmt die Steuerung 109, dass die Dicke des Bauteils E anomal ist, und wenn die eingestellte Dicke des Bauteils E und die tatsächliche Dicke des Bauteils E im Wesentlichen einander gleich sind, bestimmt die Steuerung 109, dass die Dicke des Bauteils E nicht anomal ist.
Wenn in Schritt S11 bestimmt wird, dass die Dicke des Bauteils E nicht anomal ist, fährt die Steuerung 109 fort mit Schritt S12.
Dann bestimmt die Steuerung 109 in Schritt S12, ob die Wölbung des Substrats P anomal ist oder nicht.
Insbesondere erfasst die Steuerung 109 in Schritt S12 die Höheninformationen über die Substratoberfläche Pb des Substrats P in der Nachbarschaft einer Montageposition Pa auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses, das von der Abbildungseinheit 8 in Schritt S3 erhalten wird, oder des Abbildungsergebnisses, das von der Abbildungseinheit 8 in Schritt S4 erhalten wird. Die Steuerung 109 bestimmt dann, auf der Grundlage des Vergleichs zwischen einem Schwellenwert, der im Voraus eingestellt wird, und der Wölbung (Abwärtswölbung) des Substrats P auf der Grundlage der erfassten Höheninformationen über die Substratoberfläche Pb, ob die Wölbung des Substrats P anomal ist oder nicht. Das heißt, wenn die Wölbung (Abwärtswölbung) des Substrats P größer ist als der Schwellenwert, bestimmt die Steuerung 109, dass die Wölbung des Substrats P anomal ist, und wenn die Wölbung (Abwärtswölbung) des Substrats P nicht größer ist als der Schwellenwert, bestimmt die Steuerung 109, dass die Wölbung des Substrats P nicht anomal ist.
Wenn in Schritt S12 bestimmt wird, dass die Wölbung des Substrats P nicht anomal ist, fährt die Steuerung 109 fort mit Schritt S13.
In diesem Fall ist die Dicke des Bauteils E möglicherweise nicht anomal, und die Wölbung des Substrats P ist möglicherweise nicht anomal. Somit wird in Schritt S13 eine Benachrichtigung „Überprüfung eines anderen als des Bauteils und des Substrats“ als die Informationen über die Ursache der Demontage des Bauteils E von einer Benachrichtigungseinheit 10 ausgegeben.
Wenn in Schritt S12 bestimmt wird, dass die Wölbung des Substrats P anomal ist, fährt die Steuerung 109 fort mit Schritt S14.
In diesem Fall ist, wobei die Dicke des Bauteils E möglicherweise nicht anomal ist, die Wölbung des Substrats P möglicherweise anomal, und somit wird in Schritt S14 eine Benachrichtigung „Fixierung des Substrats“ als die Informationen über die Ursache der Demontage des Bauteils E von der Benachrichtigungseinheit 10 ausgegeben. Das heißt, die Benachrichtigungseinheit 10 gibt eine Benachrichtigung aus, sodass die Abstützung (Fixierung) des Sicherungsstifts (nicht gezeigt) des Substrats P verbessert wird.
Wenn in Schritt S11 bestimmt wird, dass die Dicke des Bauteils E anomal ist, fährt die Steuerung 109 fort mit Schritt S15.
Dann bestimmt die Steuerung 109 in Schritt S15, ob die Wölbung des Substrats P anomal ist oder nicht, ähnlich dem Verarbeitungsbetrieb in Schritt S12.
Wenn in Schritt S15 bestimmt wird, dass die Wölbung des Substrats P nicht anomal ist, fährt die Steuerung 109 fort mit Schritt S16.
In diesem Fall ist, wobei die Wölbung des Substrats P möglicherweise nicht anomal ist, die Dicke des Bauteils E möglicherweise anomal, und somit wird in Schritt S16 eine Benachrichtigung „Korrektur der Bauteilabmessung“ als die Informationen über die Ursache der Demontage des Bauteils E von der Benachrichtigungseinheit 10 ausgegeben. Das heißt, die Benachrichtigungseinheit 10 gibt eine Benachrichtigung aus, sodass die eingestellte Abmessung (Dicke) des Bauteils E korrigiert wird.
Wenn in Schritt S15 bestimmt wird, dass die Wölbung des Substrats P anomal ist, fährt die Steuerung 109 fort mit Schritt S17.
In diesem Fall sind sowohl die Dicke des Bauteils E als auch die Wölbung des Substrats P möglicherweise anomal, und somit wird in Schritt S17 eine Benachrichtigung „Korrektur der Bauteilabmessung“ und „Fixierung des Substrats“ als die Informationen über die Ursache der Demontage des Bauteils E von der Benachrichtigungseinheit 10 ausgegeben. Danach wird, wie in 11 gezeigt, die Fehlerursachenableitungsverarbeitung beendet.
Wenn in Schritt S6 bestimmt wird, dass es Verformung des Lots So gibt, fährt die Steuerung 109 fort mit Schritt S20.
In Schritt S20 wird eine zweite Ableitungsverarbeitung ausgeführt.
In der zweiten Ableitungsverarbeitung bestimmt zuerst die Steuerung 109, ob in Schritt S21 ein Fremdkörper (Fremdkörper wie ein Haftmittel oder das Lot) an der Düse 32a des Montagekopfs 32 haftet oder nicht, wie in 13 gezeigt.
Insbesondere wird in Schritt S21 zuerst der Montagekopf 32 über eine Bauteilentsorgungsstelle (nicht gezeigt) wie eine Wanne bewegt, und das Bauteil E wird von der Düse 32a des Montagekopfs 32 entfernt. Dann bildet, nachdem das Bauteil E entfernt worden ist, die Bauteilerkennungskamera 6 die Düse 32a des Montagekopfs 32 von unterhalb ab. Die Steuerung 109 bestimmt auf der Grundlage dieses Abbildungsergebnisses, das von der Bauteilerkennungskamera 6 erhalten wird, ob ein Fremdkörper an der Düse 32a des Montagekopfs 32 haftet oder nicht.
Wenn in Schritt S21 bestimmt wird, dass kein Fremdkörper an der Düse 32a des Montagekopfs 32 haftet, fährt die Steuerung 109 fort mit Schritt S22.
Dann bestimmt die Steuerung 109 in Schritt S22, ob das Lot So Trockenheit aufweist oder nicht (ob das Lot So trocken ist oder nicht).
Insbesondere erfasst die Steuerung 109 in Schritt S22 zuerst die Druckzeit, bei der beispielsweise das Lot So von einem Drucker (nicht gezeigt) in dem vorherigen Prozess auf das Substrat P gedruckt worden ist. Dann bestimmt die Steuerung 109, ob das Lot So auf der Grundlage der erfassten Druckzeit Trockenheit aufweist oder nicht. Das heißt, wenn mehr als eine vorbestimmte Zeit seit der Druckzeit vergangen ist, bestimmt die Steuerung 109, dass das Lot So Trockenheit aufweist, und wenn die vorbestimmte Zeit oder weniger seit der Druckzeit vergangen ist, bestimmt die Steuerung 109, dass das Lot So keine Trockenheit aufweist.
Wenn in Schritt S22 bestimmt wird, dass das Lot So keine Trockenheit aufweist, fährt die Steuerung 109 fort mit Schritt S23.
In diesem Fall haftet möglicherweise kein Fremdkörper an der Düse 32a des Montagekopfs 32, und das Lot So weist möglicherweise keine Trockenheit auf. Somit wird in Schritt S23 eine Benachrichtigung „Überprüfung eines anderen als der Düse und des Lots“ als die Informationen über die Ursache der Demontage des Bauteils E von der Benachrichtigungseinheit 10 ausgegeben.
Wenn in Schritt S22 bestimmt wird, dass das Lot So Trockenheit aufweist (das Lot So ist trocken), fährt die Steuerung 109 fort mit Schritt S24.
In diesem Fall weist das Lot So möglicherweise Trockenheit auf, wobei möglicherweise kein Fremdkörper an der Düse 32a des Montagekopfs 32 haftet, und somit wird in Schritt S24 eine Benachrichtigung „Entfernen eines Zielsubstrats“ als die Informationen über die Ursache der Demontage des Bauteils E von der Benachrichtigungseinheit 10 ausgegeben.
Wenn in Schritt S21 bestimmt wird, dass ein Fremdkörper an der Düse 32a des Montagekopfs 32 haftet, fährt die Steuerung 109 fort mit Schritt S25.
Dann bestimmt die Steuerung 109 in Schritt S25, ob das Lot So Trockenheit aufweist oder nicht, ähnlich dem Verarbeitungsbetrieb in Schritt S22.
Wenn in Schritt S25 bestimmt wird, dass das Lot So keine Trockenheit aufweist, fährt die Steuerung 109 fort mit Schritt S26.
In diesem Fall haftet möglicherweise ein Fremdkörper an der Düse 32a des Montagekopfs 32, wobei das Lot So möglicherweise keine Trockenheit aufweist, und somit wird in Schritt S26 eine Benachrichtigung „Reinigung der Düse“ als die Informationen über die Ursache der Demontage des Bauteils E von der Benachrichtigungseinheit 10 ausgegeben.
Wenn in Schritt S25 bestimmt wird, dass das Lot So Trockenheit aufweist, fährt die Steuerung 109 fort mit Schritt S27.
In diesem Fall haftet möglicherweise ein Fremdkörper an der Düse 32a des Montagekopfs 32, und das Lot So weist möglicherweise Trockenheit auf. Somit wird in Schritt S27 eine Benachrichtigung „Entfernen eines Zielsubstrats“ und „Reinigung der Düse“ als die Informationen über die Ursache der Demontage des Bauteils E von der Benachrichtigungseinheit 10 ausgegeben. Danach wird, wie in 11 gezeigt, die Fehlerursachenableitungsverarbeitung beendet.
Die verbleibenden Strukturen der zweiten Ausführungsform sind ähnlich denen der zuvor erwähnten ersten Ausführungsform.
(Wirkungen der zweiten Ausführungsform)
Gemäß der zweiten Ausführungsform können folgende Wirkungen erzielt werden:
Gemäß der zweiten Ausführungsform ist, wie in diesem Dokument zuvor beschrieben, die Steuerung 109 ausgestaltet, die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils E auf der Grundlage des Messergebnisses der Dicke des Bauteils E, des Messergebnisses der Wölbung des Substrats P, des Messergebnisses des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins eines Fremdkörpers, der an dem Montagekopf 32 haftet, und des Messergebnisses des Maßes an Trockenheit des Lots So zusätzlich zu dem Zustand des Lots So abzuleiten und die Informationen über die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils E mitzuteilen. Unter Verwendung des Messergebnisses der Dicke des Bauteils E, des Messergebnisses der Wölbung des Substrats P, des Messergebnisses des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins eines Fremdkörpers, der an dem Montagekopf 32 haftet, und des Messergebnisses des Maßes an Trockenheit des Lots So kann die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils E präziser abgeleitet werden. Folglich kann die Ursache einer fehlerhaften Montage des Bauteils E einfacher untersucht werden, indem die Ursache einer fehlerhaften Montage des Bauteils präziser abgeleitet wird.
Die verbleibenden Wirkungen der zweiten Ausführungsform sind ähnlich denen der zuvor erwähnten ersten Ausführungsform.
[Abwandlungen]
Die offenbarten Ausführungsformen sollen in allen Punkten veranschaulichen und nicht einschränken. Der Umfang der vorliegenden Erfindung ist nicht durch die zuvor aufgeführte Beschreibung der Ausführungsformen gegeben, sondern durch den Schutzumfang der Patentansprüche, und es sind überdies alle Abwandlungen innerhalb der Bedeutung und des Umfangs, die äquivalent zum Schutzumfang der Patentansprüche sind, umfasst.
Während das Beispiel, in dem die Ursache der fehlerhaften Bauteilmontage abgeleitet wird und der Benutzer über die Informationen zu der abgeleiteten Ursache einer fehlerhaften Bauteilmontage benachrichtigt wird, in jeder der zuvor erwähnten ersten und zweiten Ausführungsform aufgezeigt worden ist, ist beispielsweise die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird der Benutzer möglicherweise nicht über die Informationen zu der abgeleiteten Ursache einer fehlerhaften Bauteilmontage benachrichtigt. Beispielsweise wird möglicherweise die Ursache einer fehlerhaften Bauteilmontage abgeleitet und die Steuereinheit führt möglicherweise einen Betrieb des Berücksichtigens der Ursache einer fehlerhaften Bauteilmontage auf der Grundlage der abgeleiteten Ursache einer fehlerhaften Bauteilmontage aus.
Während das Beispiel, in dem das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Verformung des Lots vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montagekopf ausgeführt wird, als der Zustand des Lots überprüft wird, in jeder der zuvor erwähnten ersten und zweiten Ausführungsform aufgezeigt worden ist, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird möglicherweise anderes als das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Verformung des Lots vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montagekopf ausgeführt wird, als der Zustand des Lots überprüft. Als der Zustand des Lots wird möglicherweise das Maß der Verformung des Lots (beispielsweise die Verformungsgeschwindigkeit des Lots) vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montagekopf ausgeführt wird, überprüft.
Während das Beispiel in jeder der zuvor erwähnten ersten und zweiten Ausführungsform gezeigt worden ist, in dem die Abbildungseinheit (Abbildungsabschnitt) als die Höhenmesseinheit in den Ansprüchen verwendet wird, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird möglicherweise eine andere als die Abbildungseinheit (Abbildungsabschnitt) als die Höhenmesseinheit in den Ansprüchen verwendet. Beispielsweise wird möglicherweise eine Höhenmesseinheit wie ein Wegsensor verwendet.
Während das Beispiel, in dem der Zustand des Lots auf der Grundlage einer Änderung des Abbildungsergebnisses vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils überprüft wird, die von dem Montagekopf ausgeführt wird, in jeder der zuvor erwähnten ersten und zweiten Ausführungsform aufgezeigt worden ist, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird möglicherweise der Zustand des Lots auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montagekopf ausgeführt wird, überprüft. Beispielsweise werden möglicherweise die Höheninformationen über das Lot nach dem Montagebetrieb des Montagekopfs auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montagekopf ausgeführt wird, erfasst, und der Zustand des Lots (das Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Verformung des Lots) wird möglicherweise durch Vergleichen der erfassten Höheninformationen mit einem Schwellenwert überprüft. In diesem Fall wird möglicherweise die Fläche des Abschnitts, der eine Höhe entsprechend der Dicke des Lots der Höheninformationen aufweist, mit einem Schwellenwert verglichen oder die Höhe in der Nachbarschaft des Lots der Höheninformationen über das Lot wird möglicherweise mit einem Schwellenwert verglichen.
Während das Beispiel, in dem der Zustand des Lots auf der Grundlage des Differenzbilds überprüft wird, und die Höheninformationen über das Lot in jeder der zuvor erwähnten ersten und zweiten Ausführungsform aufgezeigt worden sind, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird möglicherweise der Zustand des Lots auf der Grundlage des Differenzbilds überprüft, ohne die Höheninformationen über das Lot zu verwenden.
Während das Beispiel, in dem das Lot als das Bondingmaterial in den Ansprüchen verwendet wird, in jeder der zuvor erwähnten ersten und zweiten Ausführungsform aufgezeigt worden ist, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird möglicherweise ein anderes als das Lot als das Bondingmaterial in den Ansprüchen verwendet.
Während das Beispiel, in dem die Abbildungseinheit ausgestaltet ist, in der Lage zu sein, die Montageposition von der Vielzahl von (zwei) Abbildungsrichtungen mit der Vielzahl von (zwei) Höhenmesskameras abzubilden, in jeder der zuvor erwähnten ersten und zweiten Ausführungsform aufgezeigt worden ist, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Abbildungseinheit möglicherweise ausgestaltet, in der Lage zu sein, die Montageposition von der Vielzahl von Abbildungsrichtungen mit einer einzigen Höhenmesskamera abzubilden.
Während das Beispiel, in dem die Abbildungseinheit ausgestaltet ist, in der Lage zu sein, die Montageposition von den zwei Abbildungsrichtungen abzubilden, in jeder der zuvor erwähnten ersten und zweiten Ausführungsform aufgezeigt worden ist, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Abbildungseinheit möglicherweise ausgestaltet, in der Lage zu sein, die Montageposition von drei oder mehr Abbildungsrichtungen abzubilden. In diesem Fall werden die Höheninformationen möglicherweise durch Stereoabgleich auf der Grundlage von Abbildungsergebnissen von den drei oder mehr Abbildungsrichtungen erfasst.
Während das Beispiel, in dem die Ursache einer Demontage des Bauteils auf der Grundlage des Messergebnisses der Dicke des Bauteils, des Messergebnisses der Wölbung des Substrats, des Messergebnisses des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins eines Fremdkörpers, der an dem Montagekopf haftet, und des Messergebnisses des Maßes an Trockenheit des Lots zusätzlich zu dem Zustand des Lots in der zuvor erwähnten zweiten Ausführungsform aufgezeigt worden ist, abgeleitet wird, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Ursache einer Demontage des Bauteils möglicherweise auf der Grundlage des Zustands des Lots und mindestens einem, dem Messergebnis der Dicke des Bauteils, dem Messergebnis der Wölbung des Substrats, dem Messergebnis des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins eines Fremdkörpers, der an dem Montagekopf haftet, und dem Messergebnis des Maßes an Trockenheit des Lots abgeleitet.
Während die Verarbeitung, die von der Steuerung durchgeführt wird, unter Verwendung des Flusses, der in einer flussgetriebenen Weise beschrieben wird, in dem die Verarbeitung der Reihe nach entlang eines Prozessflusses zur Veranschaulichung in jeder der zuvor erwähnten ersten und zweiten Ausführungsform beschrieben wird, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Verarbeitung, die von der Steuerung durchgeführt wird, möglicherweise in ereignisgetriebener Weise durchgeführt, in der Verarbeitung auf einer Ereignisbasis durchgeführt wird. In diesem Fall wird die Verarbeitung möglicherweise in einer vollständig ereignisgetriebenen Weise oder in einer Kombination aus einer ereignisgetriebenen Weise und einer flussgetriebenen Weise von einem Fluss durchgeführt.
Bezugszeichenliste

8:: Abbildungseinheit (Messeinheit, Höhenmesseinheit, Abbildungsabschnitt)
32:: Montagekopf (Montageabschnitt)
9, 109:: Steuerung (Steuereinheit)
100, 200:: Bauteilmontagevorrichtung
E:: Bauteil
P:: Substrat
So:: Lot (Bondingmaterial)

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 200898411 [0004]

Claims

Bauteilmontagevorrichtung, umfassend: einen Montageabschnitt (32), der ein Bauteil (E) auf einem Bondingmaterial (So) montiert, das auf einem Substrat (P) angeordnet ist; eine Messeinheit (8), die einen Zustand des Bondingmaterials zumindest nach einem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, misst; und eine Steuereinheit (9, 109), die den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage eines Messergebnisses überprüft, das von der Messeinheit erhalten wird, wenn eine fehlerhafte Montage des Bauteils aufgetreten ist.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Steuereinheit ausgestaltet ist, eine Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils auf der Grundlage des Zustands des Bondingmaterials abzuleiten.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 2, wobei die Steuereinheit ausgestaltet ist, Informationen über die abgeleitete Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils mitzuteilen.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Steuereinheit ausgestaltet ist, das Vorhandensein oder das Nichtvorhandensein von Verformung des Bondingmaterials nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, als den Zustand des Bondingmaterials zu überprüfen, und Informationen über Ursachen der fehlerhaften Montage des Bauteils in einem Fall mitzuteilen, in dem es Verformung des Bondingmaterials gibt, und in einem Fall, in dem es keine Verformung des Bondingmaterials gibt.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Steuereinheit ausgestaltet ist, die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils auf der Grundlage mindestens eines, eines Messergebnisses einer Dicke des Bauteils, eines Messergebnisses der Wölbung des Substrats, eines Messergebnisses des Vorhandenseins oder Nichtvorhandenseins eines Fremdkörpers, der an dem Montageabschnitt haftet, und eines Messergebnisses des Maßes an Trockenheit des Bondingmaterials, zusätzlich zu dem Zustand des Bondingmaterials abzuleiten und die Informationen über die Ursache der fehlerhaften Montage des Bauteils mitzuteilen.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Messeinheit eine Höhenmesseinheit (8) umfasst, die eine Höhe des Bondingmaterials misst, und die Steuereinheit ausgestaltet ist, Höheninformationen des Bondingmaterials auf der Grundlage eines Messergebnisses der Höhe des Bondingmaterials zu erfassen, das von der Höhenmesseinheit erhalten wird und den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage der erfassten Höheninformationen des Bondingmaterials zu überprüfen.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 6, wobei die Höhenmesseinheit vorgesehen ist, die Höhe des Bondingmaterials vor dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, und die Höhe des Bondingmaterials nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, zu messen, und die Steuereinheit ausgestaltet ist, den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage einer Änderung der Höheninformationen des Bondingmaterials vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, zu überprüfen.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Messeinheit einen Abbildungsabschnitt (8) umfasst, der einen vorbestimmten Bereich, umfassend das Bondingmaterial, abbildet, der Abbildungsabschnitt ausgestaltet ist, den vorbestimmten Bereich, umfassend das Bondingmaterial, vor dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, und den vorbestimmten Bereich, umfassend das Bondingmaterial, nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, abzubilden, und die Steuereinheit ausgestaltet ist, den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage einer Änderung eines Abbildungsergebnisses, das von dem Abbildungsabschnitt vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, erhalten wird, zu überprüfen.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 8, wobei die Steuereinheit ausgestaltet ist, den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage eines Differenzbilds zwischen einem Bild des vorbestimmten Bereichs, der von dem Abbildungsabschnitt vor dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, aufgenommen wurde, und einem Bild des vorbestimmten Bereichs, der von dem Abbildungsabschnitt nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, aufgenommen wurde, zu überprüfen.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 9, wobei die Steuereinheit ausgestaltet ist, Höheninformationen des Bondingmaterials auf der Grundlage des Abbildungsergebnisses zu erfassen, das von dem Abbildungsabschnitt erhalten wird, und die Steuerung ausgestaltet ist, den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage der Höheninformationen des Bondingmaterials zusätzlich zu dem Differenzbild zu überprüfen.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 8, wobei die Steuereinheit ausgestaltet ist, zu überprüfen, ob die fehlerhafte Montage des Bauteils auf der Grundlage der Änderung des Abbildungsergebnisses, das von dem Abbildungsabschnitt vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, erhalten wird, aufgetreten ist oder nicht, und die Steuereinheit ausgestaltet ist, den Zustand des Bondingmaterials auf der Grundlage der Änderung des Abbildungsergebnisses, das von dem Abbildungsabschnitt vor und nach dem Betrieb der Montage des Bauteils, die von dem Montageabschnitt ausgeführt wird, erhalten wird, zu überprüfen, wenn die fehlerhafte Montage des Bauteils aufgetreten ist.
Bauteilmontagevorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Bondingmaterial ein Lot (So) umfasst.