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Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Lage er-
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kennung von Halbleiterelementen.
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Die Erfindung betrifft ein opto-elektronisches, beruhrungsloses Verfahren
zur weitgehend muster- und oberflächeneigenschaftenunabhängigen automatischen Lageerkennung
von Halbleiterelementen, vorzugsweise integrierten Schaltkreisen, insbesondere für
die Justierung bei Automaten für die Drahtmontage und bei der Übernahme von Halbleiterelementen
(Chip) an Legier-/Klebeautomaten.
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Dabei sind unter Legier-/Klebeautomaten Geräte zu verstehen, bei denen
der Chip von dem Wasser auf den Systemträger übertragen wird.
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Die genaue opto-elektronische Erfassung von Maß, Form und Lage wird
häufig durch folgende Umstände erschwert: zu geringer Kontrast zwischen Objekt und
Umgebung, starke zeitliche und örtliche Schwankungen des Kontrastes und starke örtliche
Helligkeitsunterschiede in der Umgebung der gesuchten Objekte.
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In der DE-OS 2 404 183 ist eine Vorrichtung zur Erkennung der Lage
eines Musters beschrieben und dargestellt. Diese bekannte Vorrichtung hat den Nachteil,
daß die Mustererkennung typenspezifisch ist, das heißt, daß bei jedem neuen Muster
bzw. Typ umgerüstet werden muß. Außerdem müssen diese Muster, die im wesentlichen
in der Aluminiumstruktur liegen, durch technologische Schwankungen das Reflektionsverhalten
ändern und erschweren dadurch eine sichere Erkennung. Außerdem handelt es sich bei
dieser Mustererkennung um ein aufwendiges Verfahren.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das eingangs definierte
Verfahren zu realisieren, das typenunabhängig, weitgehend oberflächenunabhängig
und mit vergleichsweise geringem Aufwand herzustellen ist. Außerdem ist es das Ziel
der Erfindung, die eingangs erwähnten, erschwerenden Umstände weitgehend zu umgehen.
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Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird dadurch gelöst daß
eine Lagebestimmung des Chips über die Ritz-bzw. Systemkante (und nicht über die
Struktur bzw. das Muster im Inneren der Chips) durch eine zeilenförmige, aus der
Umgebung des Chips kommende und über diesen hinweggehende Abtastung vorgenommen
wird, wobei die Zeilen parallel oder nahezu parallel zur Richtung der gesuchten
geradlinigen Kante verlaufen und die momentanen Intensitäten der Helligkeitswerte
zeilenweise oder zeileabschnittsweise aufintegriert werden, die daraus resultierenden
Werte gespeichert und die Differenz aus dem Ergebnis von aufeinanderfolgenden Zeilen
gebildet und nur die Polarität daraus zur weiteren Auswertung herangezogen wird,
die der gesuchten Kante (z. B. Systemkante hell/ dunkel) entspricht und weiter dieses
Ergebnis mit einem Faktor, der der Rauheit der jeweiligen Stelle im Bild entspricht,
gewichtet wird, daß Differenzen in einem rauhen Bereich deutlich abgeschwächt und
Differenzen in einem
glatten Bereich deutlich hervorgehoben werden
und daß durch eine zusätzliche elektronische Breitenbewertung scharfkantige Linien
(System-, Ritzkante) von breiten Ubergängen hervorgehoben und daraus über eine Zeilenzählung
ein Signal zur Korrektur der Lage des Chips gewonnen und zur Lagekorrektur ausgegeben
wird. Ritzkante ist die durch den Ritz- oder Sägevorgang auf den Wafer entstandene
Begrenzung des Chips. Systemkante ist die äußerste reguläre Struktur auf dem Chip,
die im allgemeinen die gesamte aktive Fläche des Chips in Form eines Vierecks umschließt
und im allgemeinen durch einen Ubergang von Silizium auf Siliziumoxid entsteht.
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Mit der Erfindung ist es möglich, eine weitgehend muster-und damit
typenunabhängige, von Reflektionseigenschaften der Oberfläche unbeeinflußte Lageerkennung
mit hoher Genauigkeit und Geschwindigkeit durchzuführen.
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Nach einer Weiterbildung der Erfindung erfolgt die abschnittsweise
Auswertung des Bildinhaltes in einem oder in mehreren nebeneinander angeordneten
oder ineinander verschachtelten, senkrecht zur Abtastrichtung verlaufenden Spalten.
Die Ergebnisse dieser eingangs erläuterten spalten- und zeilenweisen Bildverarbeitung
werden bezüglich ihrer Lage in Spaltenrichtung (Zeilennummer) in einer Recheneinheit,
vorzugsweise einem Mikroprozessor, gespeichert und damit über eine entsprechend
logische Betrachtung quer zu den Spalten fehlerhafte Ergebnisse von den Ergebnissen,
die der gesuchten Kante richtig zugeordnet wurden, unterschieden. Auf diese Weise
wird erreicht, auch die Lage von Chips zu erkennen, die durch örtlich begrenzte
Beschädigungen (z. B. Muschelausbruch) oder durch störende Partikel von ihrer Idealform
abweichen.
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Außerdem wird mit dieser Lösung noch eine erhöhte Erkennungssicherheit
geschaffen. Die dabei eliminierten Störungen resultieren insbesondere aus optischen
Störungen
aus der Umgebung des Chips.
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Nach einer Weiterbildung der Erfindung zur Bestimmung des Winkels
und der beiden Lagekoordinaten des Chips wird das Verfahren in mehreren - vorzugsweise
drei - Gesichtsfeldern mit gleichen oder unterschiedlichen, vorzugsweise orthogonalen
Abtastrichtungen ausgeführt. Diese Lösung dient der Bestimmung der translatorischen
und geringfügig rotatorischen Lageabweichung.
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Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird zur Bestimmung
der Ritzkante ein eindeutiges optisches Bild durch Ausnutzung der Höhenausdehnung
des Chips erzeugt.
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Dies geschieht z. B. dadurch, daß eine parallele Beleuchtung unter
einer Richtung verwendet wird, die wenige Grad zur Senkrechten geneigt ist und in
der Projektion auf' die Chipoberfläche etwa parallel zur Diagonale verläuft, wobei
die Betrachtung unter dem Reflektionswinkel erfolgt. Der Vorteil dieses Verfahrens
besteht darin, daß sich auf diese Weise entlang der Ritzkante ein schmaler Schattensaum
ergibt, der absolut dunkel erscheint und dadurch die Erkennung der Ritzkante im
Sinne des beschriebenen Verfahrens erleichtert.
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Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung findet zur Erfassung
der Systemkante vorzugsweise eine parallele Auflichtbeleuchtung Verwendung, so daß
die Systemkante aufgrund ihrer Böschung das Licht so reflektiert, daß es nur noch
sehr abgeschwächt in das optische System zurückgelangt und dadurch so als schmale,
dunkle Linie erscheint. Diese Beleuchtung gestattet es, auch die Systemkante zur
Auswertung hinreichend deutlich sichtbar zu machen.
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Zur Durchführung des Verfahrens nach der Erfindung ist eine Optik
vorgesehen, die vorzugsweise einen hinreichend
großen Teil der Ecke
eines Chips auf zwei Bildwandler abbildet, deren zeilenförmige Abtastrichtung orthogonal
zueinander liegen. Dadurch ist gewährleistet, daß die jeweiligen Kanten immer parallel
oder annähernd parallel zu der Abtastrichtung des entsprechenden Bildwandlers verlaufen.
Ein drittes Gesichtsfeld zur Erfassung des Drehwinkels wird durch Verfahren des
zweiten Gesichtsfeldes erzeugt. Aufgrund dieser Anordnung können handelsübliche
Fernsehkameras zur zeilenförmigen Abtastung Verwendung finden. Es ist aber auch
möglich, Halbleiterbildwandler (z. B. Charge-coupled-devices) einzusetzen.
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Nach einer weiteren Abwandlung der Erfindung kann nur ein Bildwandler
vorgesehen sein und die zweite Bildkante durch optische Bilddrehung erfaßt werden.
Diese Ausgestaltung der Anordnung hat den Vorteil der Einsparung und der erhöhten
Betriebssicherheit.
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Es ist aber auch möglich, nur einen Bildwandler vorzusehen, dessen
Abtastrichtungen nicht festgelegt sind. Dadurch entfällt eine optische Bilddrehung
bzw. ein zweiter Bildwandler. Hierfür eignen sich z. B. Image dissector tubes oder
auch Halbleiterbildwandler mit wahlweisem Bildzugriff (random access).
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Die Erfindung wird anhand der Figuren erläutert. Es zeigen: Fig. 1
eine schematische Anordnung zur automatischen Lageerkennung der Koordinaten x, y
und des Drehwinkels Fig. 2 eine Beleuchtungsanordnung zur Ausnützung der Höhenausdehnung
eines Chips, Fig. 3 einen Ausschnitt eines Halbleiterelementes mit
Schattensaum,
Fig. 3a eine perspektivische Darstellung der Beleuchtungsanordnung, Fig. 4 die Bildauswertung
im Bereich der Integrationslänge, Fig. 5 ein Schaltungsprinzip für die Bildauswertung
zur Lageerkennung von Schaltkreisen, Fig. 5a Auswertung des Differenzsignals durch
Ausnützung der geringen Breite der System- bzw. Ritzkante, Fig. 6 die Bildauswertung
durch analoge und digitale Bildverarbeitung und Fig. 7 die Lageerkennu.-lg von integrierten
Schaltkreisen.
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Die Fig. 1 zeigt zwei Bildwandler FS1/FS2, deren Abtastrichtungen
orthogonal zueinander sind, eine Optik 1 und einen Chip 2 mit drei Gesichtsfeldern
und beispielsweise jeweils vier Abtästspalten. Die Ritzkante ist mit 4 und die Systemkante
mit 5 bezeichnet. Die Signale der Bildwandler gehen auf eine entsprechende Auswerteelektronik
6, die spaltenweise die Lage#de##Kanten in Form von Zeilennummern erfaßt und diese
an einen Mikroprozessor 7 zur Verarbeitung senkrecht zur Spaltenrichtung und zur
Ermittlung von xO, yO und 8 weitergibt. Ein Ausführungsbeispiel für die analoge
Auswerteelektronik 6 wird anhand der Fig. 5 erläutert. Als Mikroprozessor kann beispielsweise
ein SEP 8080 Verwendung finden, der im Siemens-Datenbuch 76/77 Mikroprozessor Bausteine
System SAB 8080 aufgeführt ist. Die Ritzkante 4 bzw. die Systemkante 5 läuft parallel
bzw. nahezu parallel zu der jeweiligen Zeilenrichtung und senkrecht oder nahezu
senk-
recht zu den Spaltenrichtungen. Die Gesichtsfelder FSl bzw.
FS2' sind den Bildwandlern FS1 bzw. FS2 zugeordnet.
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Bei der Erfindung wird eine zeilenförmige Abtastung des Bildes vorgenommen,
wobei die Zeilen parallel oder annähernd parallel zur Richtung der gesuchten Kante
verlaufen. Über eine Zeile oder über einen Zeilenabschnitt wird die Intensität aufintegriert
und die integralen Spannungswerte von jeweils aufeinanderfolgenden Zeilen subtrahiert.
Zu den Differenzspannungen Au tragen nur die Bildanteile bei, die einen Intensitätsgradienten
senkrecht zur Zeilenrichtung aufweisen und den Betrag dieses Gradienten in Zeilenrichtung
über eine gewisse Strecke in etwa beibehalten. Durch eine weitere Differenzbildung
oder durch eine zusätzliche elektronische Breitenbewertung werden scharfkantige
Linien (System-, Ritzkante) von breiten Ubergängen hervorgehoben.
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Die Lage der Kante erhält man über einen Zeilenzähler mit Köinparator.
Durch die Integration in Zeilenrichtung ist die Auswertung weitgehend unabhängig
von Störungen im Kantenverlauf. Ferner können hierdurch noch Kanten erkannt werden,
deren Kontrasthub deutlich unter der Rauschamplitude des Videosignales liegt. Die
Genauigkeit der Lageerkennung kann noch durch Mittelwertbildung aus mehreren Ergebnissen
erfolgen, die bei einer parallelen Abtastung und Auswertung in verschiedenen Bereichen
des Bildes anfallen.
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Bei der Drahtmontage von integrierten Schaltkreisen ist die Lage des
Chips auf dem Systemträger in x, y und Y zu erfassen. Ist eine hinreichend geringe
Lagetoleranz zwischen Ritzkante und System vorhanden, so bietet sich der Einsatz
des vorgeschlagenen Verfahrens zur Lageerkennung der Ritzkante an. Unter bestimmten
Bedingungen kann jedoch auch die Lage der Systemkante direkt erfaßt werden.
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Der Chip wird dazu auf zwei Bildwandler (z. B. Fernsehkamera FS1,
FS2 - wie in Fig. 1 gezeigt - ) abgebildet, deren Abtastrichtungen senkrecht aufeinanderstehen,
so daß eine parallele Abtastung von orthogonalen Kanten möglich ist.
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Die Erfassung des Drehwinkels Y erfolgt über ein drittes Gesichtsfeld,
das durch das Verfahren des ersten Gesichtsfeldes FS1 um den Betrag L erfolgen kann.
Die Größe des Verfahrweges L ist einstellbar und richtet sich nach der jeweiligen
Chipgröße. Das Verfahren erfolgt zweckmäßigerweise über einen nicht dargestellten
drehbaren Spiegel im Strahlengang der Optik.
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Da die Umgebung des Chips aufgrund verschiedener Klebe-und Legierverfahren
bezüglich der Helligkeitsverteilung extrem unterschiedlich ausfallen kann, wird
zur Erhöhung der Erkennsicherheit ein Schattenwurfverfahren (Fig. 2) durchgeführt.
Dabei wird der Chip 8 mit der Höhe h, der auf dem Systemträger 9 auflegiert oder
aufgeklebt ist, mit parallelem Licht beleuchtet. Die Beleuchtungsrichtung OC ist
um wenige Grad zur Senkrechten geneigt.
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Unter der Betrachtungsrichtung oz' erscheint dann an der Chipkante
ein Schattensaum 10 mit der Breite b. Betrachtungs- und Beleuchtungswinkel sind
im allgemeinen gleich. Die Breite des Schattensaums b ist gegeben durch die Funktion
b = 2sind Um den notwendigen Schattensaum an beiden Seiten einer Chipecke zu erzeugen,
verläuft die Betrachtungs- bzw. Beleuchtungsrichtung bezogen auf die Chipebene ungefähr
unter 450 zu der Chipkante, wie aus Fig. 3 zu ersehen ist. Zum besseren Verständnis
zeigt Fig. 3a Beleuchtungsrichtung, Chip und erzeugten Schattensaum in perspektivischer
Darstellung.
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Neben der Integration und Differenzbildung wird noch eine elektronische
Bewertung der Rauheit der Oberfläche durchgeführt, die zweckmäßigerweise über eine
Differenzierung in Zeilenrichtung und anschließender Betragsbildung und zeilen-
bzw. zeilenabschnittsweiser Integration erfolgen kann. Die Systemkante befindet
sich immer in einem optisch "glatt" erscheinenden Bereich und ist durch einen Hell-Dunkel-Ubergang
gekennzeichnet.
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Störende Hell-Dunkel-Übergänge aus dem Signal der ersten Differenz,
die nicht der Systemkante zuzuordnen sind, werden durch den relativ rauh erscheinenden
Systemträger, sowie von rauhen Kleberändern hervorgerufen. Durch eine Gewichtung
der ersten Differenz mit einem nach oben beschriebener Art zeilenweise gewonnenen
Rauheitssignal (z. B. durch Division) ist eine sichere, elektronische Erkennung
der Systemkante durchführbar.
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In Fig. 4 zeigt das obere Feld einen Typenausschnitt eines Chips 8
mit dessen Randumgebung, die im allgemeinen durch einen Systemträger 9 und ~unregelmäßig
geformte Kleb- bzw. Legiermasse 10 gebildet ist. Ferner ist die mit Ausbrüchen versehene
Ritzkante 4 und die dahinterliegende Systemkante 5 zu sehen, sowie die Kontaktierfelder
11, 12. Die Lage der Zeilen 13 sowie der Bereich "1" der Integration ist ebenfalls
angedeutet.
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Der Kurvenverlauf im Djagramm a zeigt das Ergebnis der zeilenweisen
Integration im obigen Bildausschnitt über die angegebene Integrationslänge nl, Im
nächsten Schritt b wird die Differenz von den integralen Spannungswerten gebildet,
die benachbarten Zeilen zugeordnet sind. Durch die in den Diagrammen a und b dargestellte
Operation werden geradlinige Kanten, die annähernd parallel zur Abtastrichtung verlaufen,
im Verhältnis zu anderen Bildelementen, wie beispielsweise un-
regelmäßig
geformte Konturen, der Umgebung hervorgehoben.
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Die Systemkante ist durch ihre Charakteristik ("Böschung") immer als
Hell-Dunkel-Ubergang zu erkennen, wenn die Abtastrichtung aus der Umgebung des Chips
kommt. Die Ritzkante erscheint aufgrund der Schattenbeleuchtung unter den gleichen
Abtastbedingungen immer als Dunkel-Hell-Ubergang. Je nach Art der zu findenden Kante
kann die Polarität des Signals im Diagramm b beschnitten werden. Im gezeigten Fall
wird die Systemkante gesucht. Ihr Hell-Dunkel-Ubergang ist im Diagramm b den Negativbereich
zuzuordnen. Der Positivbereich braucht deshalb für die weitere Bildbearbeitung nicht
berücksichtigt zu werden.
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In dem so verarbeiteten Bildinhalt können aufgrund sehr intensiver
Störungen der Umgebung noch Signale enthalten sein, deren Höhe das Differenzsignal
an der Stelle der gesuchten Systemkante deutlich überschreitet. Zur Unterdrückung
dieser Störung wird deshalb als weiteres Kriterium die Glattheit der Oberfläche
herangezogen, in der sich die Systemkante im Gegensatz zu den rauh und unregelmäßig
geformten Bildelementen der Umgebung (Systemträger, Kleber) befindet. Dazu wird
das aus dem Bildwandler kommende Signal differenziert, gleichgerichtet und ebenfalls
wieder im Bereich der Integrationslänge 1 zeilenweise integriert. Die sich so ergebenden
integralen Spannungswerte zeigt Diagramm c. Der Verlauf UR ist ein Maß für die Rauheit
der Oberfläche. Das Signal b wird nun mit dem Verlauf der Rauheit als Signal c so
gewichtet, daß das Signal b in rauhen Bereichen abgeschwächt und in glatten Bereichen
verstärkt wird. Dies.
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kann durch eine Division von Signal b durch Signal c erfolgen. Das
Ergebnis dieser Gewichtung zeigt der Signalverlauf d. Durch eine weitere Differenzbildung
von Spannungen, die benachbarten Zeilen im Signal d zuzuordnen sind, ergibt sich
eine nochmalige Verstärkung von
scharfkantigen Ubergängen, wie
es die Systemkante darstellt.
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Das Endergebnis dieser zeilenweisen Bildverarbeitung, die aus Zeit-
und Aufwandsgründen vorzugsweise analog erfolgt, zeigt das Signal e. Der Vergleich
mit dem Übersichtsbild am Kopf der Fig. 4 ergibt, wie der gesamte Bildinhalt auf
eine schmale, sehr deutlich hervortretende Linie komprimiert wurde, die örtlich
mit der Systemkante zusammenfällt und deren Lage nun über eine-Zeilennummer (Fig.
1) weiter verarbeitbar ist.
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Die Fig. 5 zeigt eine schematische Darstellung des prinzipiellen Signalverlaufs..
Das ankommende Videosignal U(x) eines zeilenförmig arbeitenden Bildwandlers teilt
sich in zwei Kanäle auf. Der obere dient zur Hervorhebung der geradlinigen Kanten
aus unregelmäßig geformten Konturen entsprechend Fig. 4, Signalverlauf a und b.
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Der untere Kanal dient zur elektronischen Erfassung der unterschiedlichen
Rauheiten. Dazu wird nach einer Differenzierung des Videosignals U(x) dieses Ergebnis
gleichgerichtet (U) und dann zeilenweise integriert.
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Eine Verknüpfung der beiden Kanäle durch Division b/c liefert nach
einer nochmaligen zeilenweisen Differenzbildung im Bereich der gesuchten Systemkante
bzw. Ritzkante eine schmale, im Vergleich zu dem davor liegenden Bildinhalt sehr
intensive Linie. Diese Differenzbildung entspricht der Differenzbildung im oberen
Kanal nach der Integration. Das Ergebnis stellt in Fig. 4 der Kurvenverlauf e dar.
Die örtliche Lage ist über einen Zeilenzähler 14 zu der gesuchten Ritz- bzw. Systemkante
in Bezug zu bringen.
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Zusätzlich kann es zweckmäßig sein, im oberen Kanal nach der Differenzbildung
der zeilenweisen Integrale
ein Kriterium einzuführen, das die geringe
Breite des Differenzsignals im Bereich der System- bzw. Ritzkante heranzieht und
damit weite Bereiche des Bildinhalts -insbesondere der Umgebung - unterdrückt. Dies
geschieht vorzugsweise dadurch, daß das Signal b entsprechend der Fig. 5a auf einen
Komparator gegeben wird. Überschreitet das Signal eine Spannungsschwelle 15, so
wird ein Tor -bestehend aus einem Analogschalter - geöffnet und nach einer festen
Zeit r wieder geschlossen. Die Zeit Z ist so lange, wie das Differenzsignal im Bereich
der gesuchten Systemkante maximal andauert. Das Differenzsignal wird nun entsprechend
diesen Zeiten über den Analogschalter durchgelassen. Dadurch bleibt das Differenzsignal
im Bereich der gesuchten Systemkante voll erhalten.
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Im übrigen Bereich wird es weitgehend beschnitten. Es entstehen dadurch
noch wenige Bildausschnitte, die entsprechend der Zeit z bereit sind. Durch eine
weitere Elektronik kann noch unterschieden werden, welche Bildausschnitte entsprechend
der Zeit Z durch Beschneidung eines breiteren Signals entstanden sind und welche
Differenzsignale beinhalten, deren Breite der der Systemkante entspricht.
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Die elektronische Bildung der integralen Spannungswerte nach Fig.
5 kann z. B. mit einem entsprechend beschalteten Operationsverstärker des Typs AM
450-2 der Firma Datel in Verbindung mit einem Analogschalter AH 0015 CD der Firma
National Semiconductor durchgeführt werden.
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Die Differenzbildung der zeilenweisen Integrale entsprechend Fig.
4, Signalverlauf b und e, kann beispielsweise mit je zwei Sample and Hold-Bausteinen
SHM-Ic-1 der Firma Datel erfolgen. Die Differenzierung und Gleichrichtung im unteren
Kanal kann ebenfalls mit den genannten Operationsverstärkern und entsprechenden
Beschaltungen realisiert werden.
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Die weitere Bildauswertung erfolgt digital in einem Mikroprozessor.
Diesen werden je Spalte die Zeilennummern der als Systemkante durch die analoge
Auswertung bewerteten Orte mitgeteilt. Durch parallele Vergleiche der Spalteninhalte
werden fehlerhaft bewertete Orte ausgeschieden.
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Fehlerhaft bewertete Stellen treten mit geringer Wahrscheinlichkeit
nebeneinander in zwei benachbarten Spalten auf, wie aus der Fig. 6 zu ersehen ist.
Die Bestimmung der Ablage x, y und der Drehwinkel q des integrierten Schaltkreises
erfolgt durch Auswertung der Ergebnisse der drei Einzelgesichtsfelder, deren Anordnung
aus der Fig. 7 ersichtlich ist.
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Fig. 6 knüpft in der linken Hälfte A an die Figuren 4 und 5 vorzugsweise
mit analoger Bildverarbeitung an und zeigt die weitere Informationsverarbeitung,
die insbesondere digital in einem Mikroprozessor softwaremäßig erfolgt.
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Das Feld a in der Fig. 6 zeigt noch einmal ein Gesichtsfeld, z. B.
FS1 nach Fig. 1, mit der zeilenformigen Abtastung 13, den Spalten senkrecht dazu
sowie des Chipausschnitts 8 mit Systemkante 5 und Ritzkante 4. Das Feld b demonstriert
den daraus spaltenweise reduzierten Bildinhalt. Dieser kann neben der gesuchten
System- bzw. Ritzkante noch Linien enthalten, die durch die vorzugsweise analoge
Bildauswertung entstanden sind und nicht der Systemkante zuzuordnen sind. Durch
einen Vergleich der Lage der Linien in den verschiedenen Spalten zueinander werden
die Linien eliminiert (Feld c)1die nicht auf einer Geraden, wie sie die Systemkante
darstellt, anzuordnen sind.
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Als letzter Schritt (Feld d) wird eine Spalte herausgegriffen und
die Zeilennummern der gefundenen Kante an dieser Stelle als Ergebnis zur endgültigen
Bestimmung
von x, y und mit dem entsprechenden Ergebnis aus den
zwei anderen Feldern (z. B. FS2', FS1' in Fig. 1) herangezogen. In die Berechnung
von x, y, Y aus dem Ergebnis der drei Einzelfelder (Zeilennummer und Spaltennummer)
geht noch die Größe des Verfahrweges L (Fig. 1) ein.
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Fig. 7 zeigt noch einmal zusammengefaßt die Lage der drei Gesichtsfelder,
die Abtastrichtung 16, die jeweilige Zeilenrichtung 13 mit der Integrationslänge
1, die Spaltenanordnung z. B. 4 und den Verfahrweg L. In den einzelnen Spalten sind
die Ergebnisse der vorzugsweise analogen Bildbearbeitung am Beispiel der Ermittlung
der Systemkante eingetragen.
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9 Patentansprüche 9 Figuren