DE3312203C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Kantendetektor in einem
optischen Meßinstrument gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Ein solcher Kantendetektor ist aus der Feingerätetechnik,
Heft 4, 1981, Seiten 170-173, bekannt.
Die DE-AS 21 52 732 offenbart eine Einrichtung zum
Erfassen eines zwei Flächen ungleicher Helligkeit
trennenden Kontrastsprungs, der sich relativ zu der
Einrichtung bewegt. Es sind drei Fotozellen vorgesehen,
die die Helligkeit von jeweils einem von drei
aneinandergrenzenden Flächenbereichen messen. Die Signale
der Fotozellen werden einer Schaltungsanordnung zugeführt,
welche durch geeignete Summen und Differenzbildung der
Signale einen Kontrastsprung ermittelt.
Ein Kantendetektor, wie z. B. ein Projektor
(Auswertekammer), hatte bisher eine solche Anordnung, daß
der zu vermessende Gegenstand auf einen Träger gelegt und
durch parallele Strahlenbündel beleuchtet wurde, daß ein
Projektionsbild des zu vermessenden Gegenstandes auf einen
Schirm durch ein übertragenes oder durchfallendes Licht der
parallelen Strahlenbündel zum Fokussieren gebracht wurde
und daß die Größen, der Umriß u. dgl. des Gegenstands aus
gemessen wurden. Es traten hierbei jedoch im allgemeinen
an den Kanten des auf den Schirm projizierten Bilds des zu
vermessenden Gegenstands Schleier oder Unschärfen auf, was
zur Folge hatte, daß es schwierig war, einen gemessenen Wert
aus der Koinzidenz zwischen dem auf dem Schirm gebildeten
Bild und einer Strichmarke abzulesen.
Um diesen Nachteil auszuschalten, wurde bisher ein Verfahren
angewendet, wonach die Kante des gebildeten Bilds relativ
zu einem lichtelektrischen Element bewegt wird, wodurch eine
Änderung im Wert eines von diesem Element abgegebenen elek
trischen Signals aus einer Änderung im Verhältnis der Fläche
zwischen einem hellen sowie einem dunklen Teil des auf eine
Lichtempfangsebene des lichtelektrischen Elements geworfenen
Bilds erhalten wird, so daß die Änderung im Wert des elek
trischen Signals mit einer Bezugsspannung zu vergleichen
ist, wodurch die Kanten des Projektionsbilds erfaßt werden
können.
Diesem Verfahren haftet jedoch der Nachteil an, daß Inter
ferenzen, wie äußeres unregelmäßiges oder zufälliges Licht,
die Leistungsfähigkeit des Projektors in hohem Maß negativ
beeinflussen und daß die Meßgenauigkeit aufgrund von Ände
rungen im vom lichtelektrischen Element erhaltenen Signal
sowie in der Bezugsspannung stark verschlechtert wird.
Es wurde auch ein anderes Verfahren angewendet, wonach ein
lichtelektrisches Element relativ zum Rand oder zur Kante
des auf den Schirm projizierten Bilds bewegt wird, ein dar
aus erhaltenes Signal einer zweiten Ableitung unterworfen
wird, um ein wellenförmiges Signal zu erhalten, und dieses
wellenförmige Signal mit einer Bezugsspannung verglichen
wird, um die Kante festzustellen. Dieses Verfahren weist
jedoch den Nachteil auf, daß der Ort der auf diese Weise
festgestellten Kante in Abhängigkeit vom Wert der relativen
Bewegungsgeschwindigkeiten zwischen dem lichtelektrischen
Element und dem Projektionsbild abweichen kann. Ferner wird
die Meßgenauigkeit durch eine Veränderung in der Bezugs
spannung in gleicher Weise wie bei dem vorher erwähnten
Verfahren stark negativ beeinflußt.
Bei einem weiteren, ebenfalls angewendeten Verfahren sind
zwei lichtelektrische Elemente vorgesehen, die relativ zur
Kante des Projektionsbilds bewegt werden, wodurch wellen
förmige Signale aus einer Vielzahl von auf diese Weise
erhaltenen Ausgangssignalen gewonnen werden, so daß die
wellenförmigen Signale mit der Bezugsspannung, um die Kante
festzustellen, verglichen werden. Ein Nachteil dieses Ver
fahrens liegt jedoch darin, daß die Messung aufgrund der
relativen Änderung zwischen den von den lichtelektrischen
Elementen erhaltenen Ausgangssignalen sowie der Bezugsspan
nung und einer Veränderung des Pegels in ähnlicher Weise
wie bei den anderen erwähnten Verfahren sehr unstabil wird.
Ferner ist der Anwendungsbereich der Beleuchtungsstrahlen
bündel auf Lichtintensität klein, und ein Fühler- oder ein
Schaltungsteil wird im Aufbau kompliziert.
Insbesondere wird in dem Projektor die Helligkeit des auf
den Schirm projizierten Bilds aufgrund Ermüdung einer für
die Beleuchtung als Lichtquelle dienenden Lampe, der Kenn
werte von Linsen in einem Projektionssystem sowie des ex
ternen unregelmäßigen oder zufälligen Lichts verändert.
Ferner wird die für das Arbeiten geeignete Helligkeit in
Abhängigkeit von der Farbe der Pupille des Auges eines Mes
senden, die von einer Rasse zur anderen unterschiedlich ist,
was als Beispiel für eine der Bedingungen auf seiten der
Messenden dient, verändert, woraus folgt, daß die Helligkeit
in geeigneter Weise gewählt werden muß. Der kleine Anwendungs
bereich der Beleuchtungsstrahlenbündel auf Lichtintensität
resultiert jedoch in einer verminderten Leistungsfähigkeit
des Projektors.
Ferner erhalten bei den herkömmlichen Kantenfeststellungs
verfahren die von dem lichtelektrischen Element (oder den
Elementen), wenn der Fokus des Projektionsbilds verschoben
wird, ausgesandten Wellenformen eine schwache Neigung, wo
durch der Nachteil entsteht, daß keine genaue Kante festge
stellt werden kann.
Dieser Nachteil ist in der Kantenerfassung bei optischen
Meßinstrumenten, bei denen im allgemeinen ein durchfallendes
oder reflektiertes Licht erfaßt wird, um direkt oder indi
rekt Größen u. dgl. eines zu vermessenden Gegenstands aus
zumessen, allgemein vorhanden.
Im Hinblick auf diesen Stand der Technik ist es die
Aufgabe der Erfindung, einen Kantendetektor in einem
optischen Meßinstrument zu schaffen, der die Kante
eines zu vermessenden Gegenstandes genau erfaßt, wobei
die Analogsignale von dem lichtelektrischen Element
unmittelbar verarbeitet werden, auch wenn z. B. eine
Verschiebung der Abbildungsebene des Projektionsbildes des zu
vermessenden Gegenstandes bzw. Objekts vorhanden ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen
Kantendetektor in einem optischen Meßinstrument mit den
Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.
Bevorzugte Ausführungsformen sind in den Unteransprüchen
offenbart.
Der Erfindungsgegenstand wird anhand der Zeichnungen
erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform
eines optischen Systems, in dem der Kantendetektor
des optischen Meßinstruments gemäß der Erfindung
bei einem Projektor zur Anwendung kommt;
Fig. 2 ein Blockdiagramm der Anordnung bei der Ausführungs
form von Fig. 1;
Fig. 3 ein Diagramm über die Signalverarbeitung bei der
Ausführungsform von Fig. 1;
Fig. 4 ein Diagramm zur Erläuterung der mit der Ausführungs
form von Fig. 1 erzielten Wirkungen;
Fig. 5 und 6 Draufsichten auf andere Ausführungsformen der
Anordnung der Lichtempfangselemente im Fühler gemäß
der Erfindung.
Bei der gezeigten Ausführungsform kommt der Erfindungsge
genstand bei einem Projektor zur Anwendung. Der Kantende
tektor ist einem Projektor P zugeordnet. Ein auf einem
Träger 3 ruhender und zu vermessender Gegenstand 4 wird
durch ein von einer als Lichtquelle dienenden Lampe 1,
die unter dem Träger 3 liegt, kommendes Licht über eine
Kondensorlinse 2 oder durch einen anderen, von oberhalb des
Trägers 3 kommenden Lichtweg beleuchtet. Ein Projektions
bild 4A des zu vermessenden Gegenstands 4 wird durch ein
von der Beleuchtung rührendes durchfallendes oder reflek
tiertes Licht durch ein Projektionsobjektiv 5 zum Fokussie
ren auf einem Schirm oder einer Bildwand 6 gebracht, wobei
das Projektionsbild dazu dient, die Abmessungen od. dgl.
des zu vermessenden Gegenstands 4 indirekt zu messen.
Erfindungsgemäß weist der Kantendetektor
vier fotoelektrische Wandlerelemente 7A, 7B, 7C und 7D auf,
die auf einer im wesentlichen zu einer Ebene einer
Relativbewegung zwischen den Wandlerelementen 7A, 7B, 7C, 7D und dem einen zu ver
messenden Gegenstand darstellenden Bild 4A parallelen Ebene
angeordnet sind, so daß wenigstens zwei Gruppen von Phasen
verschiebungssignalen in Übereinstimmung mit der während
der Relativbewegung erzeugten Helligkeit und Dunkelheit
hervorgerufen werden. Ferner sind ein erstes sowie zweites
Subtrahierglied 8 und 9 für die Berechnung von Unterschieden
zwischen den Gruppen der Phasenverschiebungssignale vorhan
den. Weiterhin sind ein drittes Subtrahierglied 10 zur Berech
nung einer Differenz zwischen Ausgangssignalen, die vom
ersten sowie zweiten Subtrahierglied 8, 9 ausgegeben werden,
und ein Addierglied 11 zur Berechnung der Summe
der Ausgangssignale vorgesehen. Schließlich dient eine
Feststell- oder Nachweiseinrichtung 12 dazu, ein Kreuzungs
signal eines Ausgangssignals vom dritten Subtrahierglied 10
mit einem Bezugspegel abzugeben, wobei das Kreuzungssignal
dann erzeugt wird, wenn ein Ausgangssignal vom
Addierglied 11 auf einem vorbestimmten Pegel ist.
Wie die Fig. 1 zeigt, ist der Fühler 7 einstückig mit einer
transparenten Platte 13 ausgebildet, welche auf der Ober
fläche des Schirms 6 des Projektors P aufliegt derart, daß
sie verschiebbar und parallel zum Fühler 7 ist.
Die vier fotoelektrischen Wandlerelemente 7A bis 7D sind
so angeordnet, daß sich zwei dieser Elemente jeweils auf
zwei Geraden, d. h. einer X- und einer Y-Achse, die sich
rechtwinklig schneiden, und je auf entgegengesetzten Sei
ten der Schnittstelle befinden.
Von den fotoelektrischen Wandlerelementen 7A bis 7D sind die Elemente
7A und 7D auf der X-Achse, die Elemente 7B und 7C auf der
Y-Achse angeordnet, wobei die Schnittstelle der beiden
Achsen dazwischenliegt. Es sind elektrische Verbindungen
ausgebildet, so daß Ausgangssignale der Wandlerelemente
7A und 7B dem ersten Subtrahierglied 8 und Ausgangs
signale der Wandlerelemente 7C und 7D dem zweiten
Subtrahierglied 9 zugeführt werden.
Die transparente Platte 13 ist zusammen mit den fotoelektrischen Wandler
elementen 7A, 7B, 7C, 7D längs der X- oder Y-Achse bewegbar.
Wie die Fig. 2 zeigt, enthält die Feststell- oder Nachweis
einrichtung 12 die folgenden Teile: einen Diskriminator
kreis 14, um zu unterscheiden, ob ein Ausgangssignal vom
dritten Subtrahierglied 10 auf einem Bezugspegel ist oder
nicht, und um ein Signal abzugeben, wenn das Ausgangssignal
auf dem Bezugspegel ist; einen Diskriminatorkreis 15, um
zu unterscheiden, ob ein Ausgangssignal vom Addierglied 11
über einem vorbestimmten Wert liegt oder
nicht, und um ein Signal abzugeben, wenn das Ausgangs
signal über dem vorbestimmten Wert ist; eine UND-Schaltung
16, die ein Kreuzungssignal abgibt, wenn ihr gleichzeitig
Ausgangssignale von einem Nulldurchgangsdetektor 14 und des Komparators 15 zugeführt
werden.
Es wird nun die Arbeitsweise der erläuterten Ausführungsform
beschrieben.
Die fotoelektrischen Wandlerelemente 7A, 7B, 7C, 7D werden relativ zum Projektionsbild 4A des zu
vermessenden Gegenstands 4, das auf den Schirm 6 fokussiert
worden ist, längs der X- und Y-Achse auf dem Schirm 6
verschoben, wobei die Kante des Projektionsbildes 4A die Wandlerelemente
7A, 7B, 7C, 7D durchquert.
Wenn sich beispielsweise das Projektionsbild 4A längs der
X-Achse von der Seite des Wandlerelements 7A her nä
hert, wie Fig. 2 zeigt, und den Fühler 7 überquert, so wer
den von den Wandlerelementen 7A bis 7D ausgegebene
Signale in der Phase längs der Zeitachse verschoben, wie
durch die Bezugszeichen A bis D in Fig. 3 angedeutet ist
(zwischen B und C gibt es keine Phasenverschiebung). Diese
Ausgangssignale werden zu A-B und C-D durch das erste sowie
zweite Subtrahierglied 8 sowie 9 berechnet und jeweils aus
gegeben, wie in Fig. 3(b) gezeigt ist.
Eine Differenz zwischen diesen Ausgangssignalen A-B und C-D
wird durch das dritte Subtrahierglied 10, eine Summe dieser
Ausgangssignale wird durch das Addierglied 11
berechnet; die aus den Berechnungen resultierenden Ausgangs
signale sind in Fig. 3(c) dargestellt.
Das vom dritten Subtrahierglied 10 ausgegebene Ausgangssignal
wird dem Nulldurchgangsdetektor 14 zugeführt, der seinerseits
ein digitales Signal "1" abgibt, wenn das vom dritten Subtrahierglied
10 ausgegebene Ausgangssignal "0" ist, wie
Fig. 3(d) zeigt.
Das vom Addierglied 11 ausgegebene Ausgangs
signal wird dem Komparator 15 zugeführt, der seiner
seits ein digitales Signal "1" abgibt, wenn der Pegel des
Ausgangssignals über einem vorbestimmten Wert ist.
Die von dem Nulldurchgangsdetektor 14 und Komparator 15 abgegebenen Aus
gangssignale werden der UND-Schaltung 16 zugeführt, die wie
derum Impulssignale von 10 µsec beispielsweise aussendet,
wenn die beiden Ausgangssignale des Nulldurchgangsdetektors 14 und des
Komparators 15 eine "1" sind, wie Fig. 3(e) zeigt, und die zu dieser
Zeit die Kante des Projektionsbildes 4A feststellt.
Demzufolge sind bei dieser Ausführungsform die vier
Wandlerelemente 7A bis 7D so zusammengefaßt, daß zwei
Gruppen von Phasenverschiebungssignalen zu entnehmen sind,
wobei die dazwischen vorhandenen Differenzen berechnet und
die Signale der Differenzen verarbeitet werden, um die Kante
des Projektionsbilds 4A zu erhalten. Folglich können der
nachteilige Einfluß der großen Abschätzungen im Wert der
von den Wandlerelementen 7A bis 7D ausgegebenen Aus
gangssignale ausgeglichen und der nachteilige Einfluß der
Relativänderung am Pegel der Bezugsspannung für das Fest
stellen einer Kante vermieden werden. Da ferner bei dieser
Ausführungsform das vom Addierglied 11 erhaltene
Signal als ein Torsignal verwendet wird, wird der Vorteil
erreicht, daß Kanten-Impulssignale von der UND-Schaltung
16 nur in einem wirksamen Nachweis- oder Erfassungsbereich
zu erhalten sind. Weil darüber hinaus bei dieser Ausführungs
form von den Wandlerelementen 7A bis 7D erhaltene
Ausgangssignale lediglich durch Subtraktion und Addition
verarbeitet werden, wird der Vorteil geboten, die Ausgangs
signale im Zustand von Analogsignalen verarbeiten zu können.
Die von den vier Wandlerelementen ausgesandten Aus
gangssignale können durch zweifache Subtraktion in Wellen
formsignale umgesetzt werden, und die Steigungen können
groß gemacht werden. Folglich kann, auch wenn das Projek
tionsbild in seinem Brennpunkt verschoben ist, die Kante
des Projektionsbildes genau festgestellt werden.
Da die jeweiligen Paare der Wandlerelemente auf der
X- und Y-Achse unter Einschluß des Schnittpunkts dieser
sich rechtwinklig schneidenden Achsen angeordnet sind,
kann die Kante des Projektionsbildes gleichzeitig sowohl
auf der X- wie auf der Y-Achse erfaßt und durch den Punkt,
der durch die Lagebeziehung zwischen den vier Wandlerelementen
gegeben ist, d. h. die Schnittstelle der X- mit
der Y-Achse, bestimmt werden, wodurch der Vorteil geboten
wird, daß der nachteilige Einfluß des Fühlers 7 auf das
Projektionsbild 4A in der Richtung der Relativbewegung
sehr gering gemacht wird.
Wie mit dem Erfindungsgegenstand durchgeführte Versuche
zeigten, war man bei dem Projektor in der Lage, die Kante
festzustellen, selbst wenn die Helligkeit des hellen Teils
des auf den Schirm projizierten Bilds nur etwa 1 Lux
betrug.
Bei der obigen Ausführungsform sind die vier fotoelektrischen Wandler
elemente 7A bis 7D im Fühler 7 so angeordnet, daß das eine
Paar der Elemente auf der X-Achse am Schirm 6 und das
andere Paar auf der Y-Achse angeordnet ist, wobei sie die
Schnittstelle von X- und Y-Achse einschließen. Jedoch können
die fotoelektrischen Wandlerelementpaare an Orten angeordnet werden,
die von der X- und Y-Achse unter Einschluß der Schnittstel
le verschoben sind, wobei sie also nicht genau auf der X-
und Y-Achse liegen. Darüber hinaus spielt es keine Rolle,
wenn die Orte der fotoelektrischen Wandlerelemente in einer Drehrich
tung mit dem Schnittpunkt als Zentrum verschoben sind.
Obwohl bei den durchgeführten Versuchen (s. Fig. 4) bis zu
einem gewissen Grad erniedrigte Ausgänge sich ergaben,
so wurden doch für ein Messen ausreichende Ausgänge erhal
ten, allerdings mit der Ausnahme, daß die Orte der
Wandlerelemente mit Bezug zur X- und Y-Achse um 45° ver
schoben wurden (die ausgezogenen Linien in Fig. 4 geben die
durch Wellenformen und die obere Stufe in Fig. 3(c) gezeig
ten Ausgänge an, die gestrichelten Linien geben den Aus
gang an der unteren Stufe, d. h. die Torausgänge, an).
Bei der obigen Ausführungsform sind die fotoelektrischen Wandler
elemente 7A bis 7D unabhängig voneinander und kreuzförmig an
geordnet, sie können jedoch auch, wie Fig. 5 und 6 zeigen,
in den jeweiligen Quadranten oder in den jeweiligen Quadra
ten, die von rechtwinkligen Koordinatenachsen auf einer
ebenen Rechteckfläche gebildet werden, angeordnet sein.
Bei der beschriebenen Ausführungsform werden die fotoelektrischen Wandler
elemente 7A-7D relativ zum Projektionsbild 4A bewegt. Diese Anordnung kann
jedoch durch eine solche ersetzt werden, bei der beispiels
weise der Träger 3 und damit das Projektionsbild relativ zu den
Wandlerelementen 7A-7D bewegt werden.
Die erläuterte Ausführungsform hat eine solche Anordnung,
daß im Projektor die Kante des auf den Schirm projizierten
Bilds gemessen wird. Jedoch ist die Erfindung nicht zwin
gend auf diese Anordnung beschränkt, sondern ist allgemein
auf einen Kantendetektor in einem optischen Meßinstrument
zur Feststellung des durchgefallenen oder des reflektier
ten Lichts anwendbar, um damit direkt oder indirekt die Ab
messungen des zu vermessenden Gegenstands maßlich zu erfas
sen.
Demzufolge ist der Erfindungsgegenstand auf einen Kantende
tektor in einem optischen Meßinstrument od. dgl. anwendbar,
wobei beispielsweise eine Hauptskala und eine Teilskala,
die beide optische Gitter tragen, relativ zueinander bewegt
werden und ein zu vermessender Gegenstand parallel von
einem lichtelektrischen Längenmeßinstrument zur photoelek
trischen Vermessung von Abmessungen u. dgl. oder von Laser
strahlenbündeln od. dgl. abgetastet wird, so daß die Abmes
sungen u. dgl. des zu vermessenden Gegenstands aus dem hellen
und dem dunklen Teil gemessen werden können.
Claims (3)
1. Kantendetektor in einem optischen Meßinstrument zum
Feststellen der Lage eines Objekts aufgrund einer Abbildung
des Objekts in eine Ebene, in der vier diese Abbildung
abtastende fotoelektrische Wandlerelemente (7A, 7B, 7C, 7D)
angeordnet sind, die für zwei Koordinatenrichtungen zwei
Paare aus jeweils zwei sich gegenüberliegenden
Wandlerelementen (7A, 7D; 7B, 7C) definieren, wobei die
Abbildung gegenüber den Wandlerelementen innerhalb der Ebene
beweglich ist und die Ausgangssignale der Wandlerelemente
eine Auswertungsschaltung (8-12) speisen, die Glieder mit
jeweils zwei Eingängen und einem Ausgang zur Addition und zur
Subtraktion aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten
Wandlerelemente (7A, 7B) der Paare mit den zwei Eingängen
eines ersten Subtrahiergliedes (8) und die zweiten
Wandlerelemente (7D, 7C) der Paare mit den zwei Eingängen
eines zweiten Subtrahiergliedes (9) verbunden sind, daß der
Ausgang des ersten Subtrahiergliedes (8) und der Ausgang des
zweiten Subtrahiergliedes (9) einerseits mit den zwei
Eingängen eines dritten Subtrahiergliedes (10) und
andererseits mit den zwei Eingängen eines Addiergliedes (11)
verbunden sind, daß der Ausgang des dritten
Subtrahiergliedes (10) mit dem Eingang eines
Nulldurchgangsdetektors (14) und der Ausgang des Addiergliedes
(11) mit dem Eingang eines Komparators (15) verbunden sind,
und daß die Ausgänge des Nulldurchgangsdetektors (14) und des
Komparators (15) an den Eingängen einer UND-Schaltung (16)
liegen, deren Ausgang den Ausgang der Auswertungsschaltung
(8-12) verkörpert.
2. Kantendetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Wandlerelemente (7A, 7B, 7C, 7D) relativ zu dem zu
vermessenden Objekt zweidimensional bewegbar sind.
3. Kantendetektor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Wandlerelemente (7A, 7B, 7C, 7D)
auf einem Schirm (6) eines Projektors (P) angeordnet sind,
auf dem das zu vermessende Objekt (4) abgebildet ist.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |