JP5522290B2 - 電子部品ハンドラ及びハンドラ - Google Patents

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本発明は、電子部品ハンドラ、及び、ハンドラに関する。
一般に、半導体チップ等の電子部品の試験装置には、電子部品を搬送するための複数の搬送用ロボットが備えられている。そして、搬送ロボットによって、検査前の電子部品は、測定を行う検査用ソケットへ搬送され、検査が済んだ後、検査用ソケットから回収される。
具体的には、例えば、検査前の電子部品は、供給ロボットによって吸着把持されて供給シャトルのポケットに離脱配置された後、測定ロボットが吸着把持する位置まで供給シャトルによって移動される。検査前の電子部品は、測定ロボットによって供給シャトルから検査用ソケットに離脱配置され、検査が済んだ後、再び測定ロボットによって吸着把持されて検査用ソケットから回収シャトルのポケットに離脱配置される。そして、検査後の電子部品は、回収ロボットの位置まで回収シャトルによって移動されて、回収ロボットによってテスト結果に応じた回収トレイに離脱配置される。
各ロボットによって検査用ソケットや各ポケットを順次搬送される際に、電子部品は、該検査用ソケットや該各ポケットの所定位置に配置される必要がある。特に、電子部品が検査用ソケットに配置される際には、検査用ソケットの測定端子と電子部品の端子とが好適に接触する必要があるため、電子部品と検査用ソケットとの相対ズレは微少であることが望まれている。また、その他の各ポケットに配置される際についても、各ポケットと電子部品との相対ズレは少ないことが望ましい。
電子部品と検査用ソケット等との相対ズレを少なくするために、カメラで電子部品や検査用ソケット等を撮影した画像データを画像処理して相対ズレの量を演算し、該演算結果に基づいて、相対ズレの分だけ位置補正を行う、様々な方法がある。又、相対ズレの補正を行う一連の処理には時間を要することが多く、その処理に要する時間を短縮することも望まれている。
そこで、ソケット等と電子部品との相対ズレを補正する1つの方法が提案されている(特許文献1)。特許文献1の電子部品ハンドラは、シャトルから検査前の電子部品をテスト装置へ搬送する際に、該電子部品を吸着把持した搬送ヘッドを、シャトルとテスト装置の間に備えられたカメラの上方に移動させて、該カメラにて電子部品の吸着状態を撮影する。電子部品ハンドラの制御装置は、撮影で取得した画像データを画像処理して、電子部品とテスト装置の相対ズレを算出し、算出結果に基づいて搬送装置の調整機構を作動させ、テスト装置に対する電子部品の相対ズレを補正する。
又、電子部品ハンドラは、シャトルから検査済みの電子部品をトレイに搬送する際に、該電子部品を吸着把持したP&Pロボットを、その可動範囲に配設されたカメラの上方に移動させて、該カメラにて電子部品の吸着状態を撮影する。制御装置は、撮影で取得した画像データを画像処理して、電子部品とトレイの相対ズレを算出し、算出結果に基づいてロボットの調整機構を作動させ、トレイに対する電子部品の相対ズレを補正する。
しかし、特許文献1では、カメラを単独で配設する場所が必要であった。さらに、検査前及び検査済みの電子部品を撮影するためにはそれぞれカメラが必要であった。又、搬送ヘッドやP&Pロボットが、カメラの上方まで移動して電子部品を撮影するため電子部品の移載に時間を要していた。
そこで、ズレ補正の処理時間を短くする方法が提案されている(特許文献2)。特許文献2の電子部品ハンドラは、搬送装置に把持された検査前の電子部品がテスト装置の上方に、そのテスト装置と相対向して配置された際に、該電子部品と該テスト装置の間に配設した鏡を介して、該電子部品と該テスト装置との鏡像を、鏡と同じ支持部材に取り付けられたカメラで同時に撮影する。
再公表特許公報WO2003/023430 特許第3063899号公報
しかし、特許文献2では、鏡の鏡像を撮影するため、鏡などの配置及び調整が複雑であった。さらに、電子部品ハンドラに鏡とカメラとを取り付けた支持部材を配設する場所が必要であった。
本発明の目的は、電子部品ハンドラのカメラの設置スペースを小さくできるとともに、カメラによる撮影に要する時間を短縮させる電子部品ハンドラ、及び、ハンドラを提供することにある。
本発明の電子部品ハンドラは、電子部品を載置可能であり、移動するシャトルと、前記シャトルに載置された前記電子部品を前記シャトルから離して搬送するロボットと、前記シャトルに備えられ、前記ロボットが搬送する前記電子部品を撮影可能な第1の撮影装置と、前記シャトルとは異なる位置に備えられ、前記第1の撮影装置の撮影方向とは反対方向を撮影可能な第2の撮影装置と、を備えた。
このような構成によれば、第1の撮影装置を単独で電子部品ハンドラ上に配設するスペースを確保する必要が無いため、第1の撮影装置の配置スペースが省略された結果、電子部品ハンドラを小さくすることができる。さらに、ロボットの第1の撮影装置までの移動距離が短くなれば、電子部品の搬送に要する時間を短くすることができるようにもなる。
この電子部品ハンドラは、上記記載の電子部品のハンドラにおいて、前記第2の撮影装置は、前記ロボットに備えられてもよい。
このような構成によれば、第2の撮影装置はロボットとともに移動することができるようになる。
この電子部品ハンドラは、上記記載の電子部品ハンドラにおいて、前記ロボットには前記電子部品を吸着する吸着ノズルを備え、前記吸着ノズルの位置を変化させる位置可変装置を有することが望ましい。
このような構成によれば、位置可変装置を介して、対応する吸着ノズルの位置調整を行うことができるようになる。これにより、位置可変装置を介して、吸着ノズルをX方向、Y方向に変化させ、または該XY平面における回転角度を変化させることにより同吸着ノズルに吸着された電子部品の向きなどを変更させることができる。その結果、ロボットにより電子部品が適切な向きや位置で搬送先の載置位置、例えば電子部品を検査する検査用ソケットやシャトルの載置部などへ搬送されるようになる。
この電子部品ハンドラは、上記記載の電子部品ハンドラにおいて、前記第1の撮影装置及び前記第2の撮影装置で撮影した画像の画像データを画像処理し、前記吸着ノズルの位置を変更することが好適である。
このような構成によれば、吸着ノズルの位置が第1及び第2の撮像装置で撮影した画像の画像データにより変更される。これにより、第1及び第2の撮像装置が撮像した画像データに基づいて演算された電子部品の吸着ノズルの吸着位置や向きに基づいて、位置可変装置による吸着ノズルに吸着された電子部品の向きなどをより好適に変更させることができる。その結果、ロボットにより電子部品が適切な向きや位置で搬送先の載置位置、例えば電子部品を検査する検査用ソケットやシャトルの載置部などへ搬送されるようになる。
この電子部品ハンドラは、上記記載の電子部品ハンドラにおいて、前記シャトルは複数平行に設けられ、当該各々のシャトルに前記第1の撮影装置が設けられていることが望ましい。
このような構成によれば、複数のシャトルのそれぞれに第1の撮影装置が設けられているため、いずれかのシャトルの上方にあることでロボットが搬送する電子部品を撮像してその向きなどを変更することができる。これにより、電子部品を撮像させるためのロボットの移動距離を短くして、搬送に要する時間を短くすることができるようになる。
この電子部品ハンドラは、上記記載の電子部品ハンドラにおいて、前記シャトルは2列の配置となっており、当該2列の間に前記電子部品を検査する位置が設けられていることが望ましい。
このような構成によれば、電子部品を検査する位置などの所定の位置が2列のシャトルの間に配置されているため、2つのシャトルと当該所定の位置との間を短くして電子部品の搬送に要する時間を短くすることができる。
この電子部品ハンドラは、上記記載の電子部品ハンドラにおいて、前記電子部品は前記シャトルに着脱可能なチェンジキットを介して前記シャトルに載置されることが好適である。
このような構成によれば、チェンジキットはシャトルに着脱可能であるため、シャトルに対するチェンジキットの交換が容易である。
本発明のハンドラは、載置部を有し、移動するシャトルと、前記載置部の上方に移動するロボットと、前記シャトルに備えられ、前記載置部の上方を撮影可能な第1の撮影装置と、前記シャトルとは異なる位置に備えられ、前記第1の撮影装置の撮影方向とは反対方向を撮影可能な第2の撮影装置と、を備えた。
このような構成によれば、第1の撮影装置を単独で電子部品ハンドラなどのハンドラ上に配設するスペースを確保する必要が無いため、第1の撮影装置の配置スペースが省略された結果、電子部品ハンドラなどのハンドラを小さくすることができる。さらに、ロボットの第1の撮影装置までの移動距離が短くなれば、電子部品等の搬送に要する時間を短くすることができるようにもなる。
このハンドラは、上記記載のハンドラにおいて、前記第1の撮影装置の撮影方向は前記シャトルの前記載置部における載置面から上方を向いており、前記第2の撮影装置は前記ロボットに備えられ、前記第2の撮影装置の撮影方向が前記シャトルに向くように、前記ロボットが移動可能であることが望ましい。
このような構成によれば、第2の撮影装置はロボットとともに移動することができるようになるため、第2の撮影装置を移動させる構成を簡単な構成にすることができる。
また、電子部品がロボットにより移動される向きであるシャトルの上方を撮影できるため、撮影に係る準備が少なくて済む。
このハンドラは、上記記載のハンドラにおいて、前記ロボットは、開口端を備えるノズルを有し、当該開口端を負圧にすることができ、前記ノズルは、前記載置部に近づいたり、前記載置部から離れたりすることができる構成であることが望ましい。
このような構成によれば、ロボットはノズルを載置部に近づけてその開口端を負圧にすることで、例えば載置部に載置されているものを吸着して搬送したりするようなことができるようになる。
このハンドラは、上記記載のハンドラにおいて、前記ノズルの位置を変化させる位置可変装置を有することが望ましい。
このような構成によれば、位置可変装置を介して、対応する吸着ノズルの位置調整を行うことができるようになる。これにより、位置可変装置を介して、吸着ノズルをX方向、Y方向に変化させ、または該XY平面における回転角度を変化させることにより同吸着ノズルに吸着された電子部品の向きなどを変更させることができる。その結果、ロボットにより電子部品が適切な向きや位置で搬送先の載置位置、例えば電子部品を検査する検査用ソケットやシャトルの載置部などへ搬送されるようになる。
このハンドラは、上記記載のハンドラにおいて、前記第1の撮影装置及び前記第2の撮影装置で撮影した画像の画像データを画像処理し、前記ノズルの位置を変更することが好適である。
このような構成によれば、吸着ノズルの位置が第1及び第2の撮像装置で撮影した画像の画像データにより変更される。これにより、第1及び第2の撮像装置が撮像した画像データに基づいて演算された電子部品の吸着ノズルの吸着位置や向きに基づいて、位置可変装置による吸着ノズルに吸着された電子部品の向きなどをより好適に変更させることができる。その結果、ロボットにより電子部品が適切な向きや位置で搬送先の載置位置、例えば電子部品を検査する検査用ソケットやシャトルの載置部などへ搬送されるようになる。
このハンドラは、上記記載のハンドラにおいて、前記シャトルは2列平行に設けられ、当該各々のシャトルに前記第1の撮影装置が設けられており、前記ロボットは当該2列の間の所定位置に移動することができることが望ましい。
このような構成によれば、複数のシャトルのそれぞれに第1の撮影装置が設けられているため、いずれかのシャトルの上方にあることでロボットが搬送する電子部品を撮像してその向きなどを変更することができる。これにより、電子部品を撮像させるためのロボットの移動距離を短くして、搬送に要する時間を短くすることができるようになる。
また、電子部品を検査する位置などの所定の位置が2列のシャトルの間に配置されているため、2つのシャトルと当該所定の位置との間を短くして電子部品の搬送に要する時間を短くすることができる。
本実施形態のICハンドラの平面図。 (a)は本実施形態のシャトルの平面図、(b)同じくシャトルの側面図。 本実施形態の供給側チェンジキットの斜視図。 (a)は本実施形態のディンプルプレートが嵌合した回収側チェンジキットの斜視図、(b)同じくディンプルプレートの斜視図、(c)同じくバンプとディンプルが嵌合した部分断面図。 (a)は本実施形態の測定ロボットの側面図、(b)同じく測定ロボットの底面図。 (a)は本実施形態のシャトルの供給位置を説明する説明図、(b)同じく検査前移載位置を説明する説明図、(c)同じくチップ撮影位置を説明する説明図、(d)同じく検査後移載位置を説明する説明図、(e)同じく回収位置を説明する説明図。 本実施形態の測定ロボットの電気ブロック図。 (a)は本実施形態の第3カメラによる検査用ソケット撮影前の説明図、(b)同じく検査用ソケットの撮影の説明図。 (a)は本実施形態の第1カメラによる検査前のICチップTの撮影前の説明図、(b)同じくICチップTの撮影の説明図。 (a)は本実施形態の第1カメラによる検査済みのICチップTの撮影の説明図、(b)同じくICチップTを撮影した後の説明図。 本実施形態の測定ロボットの撮影動作を説明するフローチャート図。 (a)(b)(c)は本実施形態の第3カメラによる検査用ソケットを撮影する別例の説明する説明図。 (a)(b)(c)は本実施形態の第1カメラによる検査前のICチップTを撮影する別例の説明図。 (a)(b)(c)(d)は本実施形態の第1カメラによる検査済みのICチップTを撮影する別例の説明図。
以下、本発明を具体化した一実施形態を図1〜図11に従って説明する。図1は、電子部品ハンドラとしてのICハンドラ10を示す平面図である。
ICハンドラ10は、ベース11、安全カバー12、高温チャンバ13、供給ロボット14、回収ロボット15、第1シャトル16、第2シャトル17、複数のコンベアC1〜C6を備えている。
ベース11は、その上面に前記各要素を搭載している。安全カバー12は、ベース11の大きな領域を囲っていて、この内部には、供給ロボット14、回収ロボット15、第1シャトル16及び第2シャトル17が収容されている。
複数のコンベアC1〜C6は、その一端部側が、安全カバー12の外に位置し、他端部が安全カバー12内に位置するように、ベース11に設けられている。各コンベアC1〜C6は、半導体チップなどの電子部品としてのICチップTを複数収容したトレイ18を、安全カバー12の外から安全カバー12の中へ搬送したり、反対に、トレイ18を、安全カバー12の中から安全カバー12の外へ搬送したりする。
供給ロボット14は、X軸フレームFXと第1のY軸フレームFY1により構成されている。回収ロボット15は、該X軸フレームFXと第2のY軸フレームFY2により構成されている。X軸フレームFXは、X方向に配置されている。第1のY軸フレームFY1及び第2のY軸フレームFY2は、Y方向に沿って互いに平行となるように配置され、前記X軸フレームFXに対して、X方向に移動可能に支持されている。そして、第1のY軸フレームFY1及び第2のY軸フレームFY2は、X軸フレームFXに設けた図示しないそれぞれのモータによって、該X軸フレームFXに沿ってX方向に往復移動する。
第1のY軸フレームFY1の下側には、供給側ロボットハンドユニット20がY方向に移動可能に支持されている。供給側ロボットハンドユニット20は、第1のY軸フレームFY1に設けた図示しないそれぞれのモータによって、該第1のY軸フレームFY1に沿ってY方向に往復移動する。そして、供給側ロボットハンドユニット20は、例えば、コンベアC1のトレイ18に収容された検査前のICチップTを、例えば、第1シャトル16に供給する。
第2のY軸フレームFY2の下側には、回収側ロボットハンドユニット21がY方向に移動可能に支持されている。回収側ロボットハンドユニット21は、第2のY軸フレームFY2に設けた図示しないそれぞれのモータによって、該第2のY軸フレームFY2に沿ってY方向に往復移動する。そして、回収側ロボットハンドユニット21は、例えば、第1シャトル16に供給された検査後のICチップTを、例えば、コンベアC6のトレイ18に供給する。
ベース11の上面であって、供給ロボット14と回収ロボット15の間には、2本のレール30がX軸方向に平行して固設されている。一方のレール30には、第1シャトル16がX軸方向に往復動可能に備えられており、他方のレール30には、第2シャトル17がX軸方向に往復動可能に備えられている。
図2は、第1及び第2シャトル16,17を示す平面図である。第1及び第2シャトル16,17は同様の構造をしているので、説明の都合上、第1シャトル16の構造についてのみ説明し、第2シャトル17の説明は省略する。
第1シャトル16の下部は、X軸方向に長い略板状のベース部材16aで形成されている。ベース部材16aの底面には、図示しないレール受けが固設されていて、該レール受けが、レール30に摺接されている。そして、第1シャトル16に設けた第1シャトルモータM1(図7参照)によって、レール30に沿って往復動される。
第1シャトル16の上面左側(供給ロボット14側)には、供給側チェンジキット31がネジなどで交換可能に固着されている。供給側チェンジキット31の上面には、図2(a)及び図3に示すように、載置部としての供給用ポケット32が4つ凹設されている。
各供給用ポケット32は、その周囲はICチップTよりも大きく形成されて、その内部にICチップTが載置される。各供給用ポケット32の底面には、それぞれ吸着穴33が設けられ、その吸着穴33は、シャトル用切替えバルブV1(図7参照)を介して吸引装置41(図7参照)に接続されている。そして、シャトル用切替えバルブV1の切替えによって、吸着穴33と吸引装置41が接続されると、吸着穴33に負圧が供給されて、負圧の作用によりICチップTを供給用ポケット32の底面に吸着する。反対に、シャトル用切替えバルブV1の切替によって、吸着穴33が吸引装置41から大気に接続されると、吸着穴33は大気圧になり、ICチップTの供給用ポケット32底面への吸着を解除する。従って、供給用ポケット32に吸着されたICチップTは、第1シャトル16の移動の際にも、供給用ポケット32の所定の位置に保持される。
第1シャトル16の上面右側(回収ロボット15側)には、回収側チェンジキット34がネジなどで交換可能に固着されている。回収側チェンジキット34の上面には、図2(a)及び図4(a)に示すように、載置部としての回収用ポケット35が4つ凹設されている。
各回収用ポケット35は、その周囲がICチップTよりも大きく形成されていて、その内部にICチップTが載置される。回収用ポケット35の底面には、ディンプルプレート36が交換可能に嵌合されている。
ディンプルプレート36は、図4(b)に示すように、回収用ポケット35に嵌合される大きさの板状部材であって、ディンプルプレート36の表面には、図4(c)に示すように、ICチップTの底面のバンプ(突起状電極)Bを嵌合する多数のディンプル36dが、ICチップTと略同じか、それよりも広い範囲に設けられている。従って、各回収用ポケット35に載置されて、その底面のバンプBがディンプルプレート36のディンプル36dに嵌合した各ICチップTは、第1シャトル16の移動の際にも、回収用ポケット35の所定の位置に保持される。
第1及び第2シャトル16,17の上面中央には、それぞれ第1の撮影装置としての第1及び第2カメラ37,38が上方を撮影可能に備えられている。第1及び第2カメラ37,38は、後記する測定ロボット22によって把持されているICチップTを撮影し、その撮影データを出力するものであり、測定ロボット22の直下位置においては、該把持されている全て(4個)のICチップTを一度に撮影できる。そして、第1及び第2カメラ37,38が撮影した画像データは画像処理される。尚、本実施形態においては、第1及び第2カメラ37,38はCCDカメラであるが、これに限られない。
図1において、ベース11の上面であって、供給側及び回収側チェンジキット31,34を備えた第1及び第2シャトル16,17の間には、ICチップTを検査する位置としての検査用ソケット23が設けられている。検査用ソケット23は、供給側チェンジキット31の供給用ポケット32の数(4個)に対応した数だけ設けられている。各検査用ソケット23は、それぞれ対応する供給用ポケット32に収容されたICチップTが装着される。
詳述すると、各検査用ソケット23にそれぞれ対応するICチップTは、後記する測定ロボット22によって、それぞれ対応する検査用ソケット23の直上位置に配置される。その後、各ICチップTは、下方に移動し、ICチップTの各バンプBが、上方からそれぞれ対応する検査用ソケット23の接触部と当接しスプリングピンを下方に押し下げることによって、該検査用ソケット23に装着される。
そして、各検査用ソケット23に装着されたICチップTは電気的検査が行われる。そして、検査が終了すると、各検査用ソケット23に装着されたICチップTは、後記する測定ロボット22によって、それぞれ対応する検査用ソケット23から抜き取られて、回収側チェンジキット34の直上位置に配置される。その後、各ICチップTは、下方に移動し、それぞれ対応する回収側チェンジキット34の回収用ポケット35に収容されるようになっている。
そして、本実施形態では、供給側ロボットハンドユニット20によって、第1及び第2シャトル16,17の供給側チェンジキット31の各供給用ポケット32に対してICチップTを供給するときには、図6(a)に示すように、第1及び第2シャトル16,17は、最もレール30の左側の位置(以下、供給位置という)に移動される。
また、供給側チェンジキット31の各供給用ポケット32から対応する検査用ソケット23にICチップTを装着させるときは、図6(b)に示すように、第1及び第2シャトル16,17は、該供給側チェンジキット31が検査用ソケット23と相対向する位置(以下、検査前移載位置という)に移動される。
さらに、測定ロボット22によって把持されているICチップTを第1及び第2カメラ37,38で撮影するときは、図6(c)に示すように、第1及び第2シャトル16,17は、該第1及び第2カメラ37,38が検査用ソケット23と相対向する位置(以下、チップ撮影位置という)に移動される。
さらにまた、検査用ソケットから対応する回収側チェンジキット34の回収用ポケット35にICチップTを収容させるときは、図6(d)に示すように、第1及び第2シャトル16,17は、該回収側チェンジキット34が検査用ソケット23と相対向する位置(以下、検査後移載位置という)に移動される。
また、回収側ロボットハンドユニット21によって、回収側チェンジキット34の各回収用ポケット35からICチップを回収するときは、図6(e)に示すように、第1及び第2シャトル16,17は、最もレール30の右端の位置(以下、回収位置という)に移動される。
次に、測定ロボット22を図5に従って説明する。
高温チャンバ13内は、第1及び第2シャトル16,17及び検査用ソケット23の上方を跨ぐようにY方向に配設された図示しない測定フレームが備えられている。
測定フレームの下面は、図示しないレールに対して、Y方向に往復移動可能に測定ロボット22が支持されている。測定ロボット22は、測定フレームに備えられたY軸モータMY(図7参照)によって、Y方向に往復動させられる。
図5(a)は測定ロボット22の側面図であり、図5(b)は測定ロボット22の底面図である。
測定ロボット22は、図5(a)に示すように、支持部22a、連結部22b、及び押圧保持装置としての押圧保持部22cを有している。支持部22aの上部は、図示しないレールに対して、Y方向に往復移動可能に支持されている。支持部22aの下面は、連結部22bが、該支持部22aに対してZ方向に往復可能に連結支持されている。連結部22bは、支持部22aに備えられたZ軸モータMZ(図7参照)によって、Z方向に往復動させられる。該連結部22bの下端には、押圧保持部22cが固着されている。押圧保持部22cは、連結部22bとともにZ方向に往復動する。つまり、測定ロボット22の押圧保持部22cは、測定フレームに対してY方向及びZ方向に移動可能に構成されている。
尚、押圧保持部22cは、測定ロボット22をY方向に移動して第1及び第2シャトル16,17の中間に配置したとき、検査用ソケット23の直上に位置するように配設されている。
押圧保持部22cの一側面には、下方に位置する検査用ソケット23を撮影するための第2の撮影装置としての第3カメラ24が下方を撮影可能に備えられている。第3カメラ24は、押圧保持部22cの側面に連結された下方にL字状に屈曲した支柱24aの先端に連結固定されている。従って、第3カメラ24は、測定ロボット22がY方向に移動して下方に位置する検査用ソケット23を撮影することができる。
尚、第3カメラ24のレンズ側の下端は、少なくとも押圧保持部22cの下端よりも高い位置になるように構成されている。
押圧保持部22cの下側には、各検査用ソケット23及び各ポケット32,35に対応してX方向に2台、Y方向に2台の計4台の押圧装置26が備えられている。
各押圧装置26下部の中心には、それぞれ下方向に延出する吸着ノズル27が設けられている。4個の吸着ノズル27は、それぞれ前記供給側チェンジキット31の各供給用ポケット32及び回収側チェンジキット34の各回収用ポケット35、及び、各検査用ソケット23に対応して設けられている。
各吸着ノズル27は、その下端に開口端を備え、該開口端は、吸着ノズル27の内部を連通し、ノズル用切替えバルブV2(図7参照)を介して吸引装置41に接続されている。つまり、ノズル用切替えバルブV2の切替えによって、吸着ノズル27と吸引装置41が接続されると、吸着ノズル27の開口端が負圧となり、その負圧によりICチップTを吸着ノズル27の開口端に吸着する。反対に、ノズル用切替えバルブV2の切替えによって、吸着ノズル27が吸引装置41から大気に接続されると、吸着ノズル27の開口端は大気圧になり、吸着していたICチップTを吸着ノズル27の開口端から開放する。
押圧保持部22cの内部には、各押圧装置26に対応してそれぞれ位置可変装置としての位置調整装置25が設けられている。各位置調整装置25は、押圧保持部22cに対して各押圧装置26(吸着ノズル27)をX方向及びY方向に移動可能にするとともに、該XY平面に対して吸着ノズル27の中心軸を回転中心として回転するようになっている。
又、押圧保持部22cのY方向側の両側面には、各押圧装置26に対応して、支柱28aがそれぞれ固着されている。各支柱28aは、コ字状に形成され、その先端部はそれぞれ対応する押圧装置26と相対向配置されている。各支柱28aの先端部には、アライメントマーク28がそれぞれ取着されている。各アライメントマーク28は、円柱状をなし、その円形の下面をマーク部28bとしている。
次に、以上のように構成した測定ロボット22の電気的構成を図7に従って説明する。
図7において、制御装置40は、CPU(中央演算装置)61,ROM62,RAM63、画像プロセッサ64及び画像メモリ65を備えている。制御装置40(CPU61)は、ROM62に記憶された各種データ及び各種制御プログラムに従って、供給側チェンジキット31の供給用ポケット32から検査前のICチップTを吸着把持して取り出して検査用ソケット23に装着する処理を実行する。又、検査後のICチップTを検査用ソケット23から吸着把持して取り出して回収側チェンジキット34の回収用ポケット35に収容する処理等を実行する。
制御装置40は、各種スイッチとディスプレイを有した入出力装置70と接続されている。入出力装置70は、前記各処理の実行を開始する指令信号や、各処理を実行するための初期値データ等を制御装置に出力する。
制御装置40は、Y軸モータ駆動回路71と電気的に接続されている。制御装置40は、Y軸モータ駆動回路71を介してY軸モータMYを駆動制御する。そして、制御装置40は、Y軸モータMYを駆動制御して、押圧保持部22cを検査用ソケット23の上方位置と第1又は第2シャトル16,17の上方位置に配置する。
制御装置40は、Z軸モータ駆動回路72と電気的に接続されている。制御装置40は、Z軸モータ駆動回路72を介してZ軸モータMZを駆動制御する。そして、制御装置40は、Z軸モータMZを駆動制御して、連結部22bを介して押圧保持部22c(吸着ノズル27)を下動開始位置である上方原点位置や吸着開始位置に配置する。
制御装置40は、バルブ駆動回路73と電気的に接続されている。制御装置40は、バルブ駆動回路を介して、シャトル用切替えバルブV1とノズル用切替えバルブV2とをそれぞれ個別に駆動制御する。そして、制御装置40は、シャトル用切替えバルブV1を駆動制御して、供給用ポケット32の吸着穴33を、吸引装置41と大気とのいずれかに切り替える。吸着穴33が吸引装置41に接続されると、ICチップTは供給用ポケット32の底面に吸着保持される。また、制御装置40は、ノズル用切替えバルブV2を駆動制御して、吸着ノズル27の開口端を、吸引装置41と大気とのいずれかに切り替える。開口端が吸引装置41に接続されるとICチップTは吸着ノズル27の開口端に吸着把持される。
制御装置40は、各押圧装置26に対応して設けられた電空レギュレータ回路74が接続されている。制御装置40は、各電空レギュレータ回路74を駆動制御し、それぞれ対応する押圧装置26(吸着ノズル27)を、空圧力にて押圧保持部22cに対して吸着開始位置から下方の装着位置まで移動させる。
制御装置40は、押圧保持部22cに設けた各位置調整装置25と電気的に接続されている。制御装置40は、各位置調整装置25を駆動制御し、該各位置調整装置25を介して各押圧装置26(吸着ノズル27)を、押圧保持部22cに対してX方向及びY方向に移動可能にするとともに、該XY平面に対して吸着ノズル27の中心軸を回転中心として回転する。
制御装置40は、第1モータ駆動回路75と電気的に接続されている。制御装置40は、第1モータ駆動回路75を介して第1シャトルモータM1を駆動制御する。制御装置40は、第1シャトルモータM1を駆動制御して、第1シャトル16を、供給位置、検査前移載位置、チップ撮影位置、検査後移載位置、及び回収位置に配置する。
制御装置40は、第2モータ駆動回路76と電気的に接続されている。制御装置40は、第2モータ駆動回路76を介して第2シャトルモータM2を駆動制御する。制御装置40は、第2シャトルモータM2を駆動制御して、第2シャトル17を、供給位置、検査前移載位置、チップ撮影位置、検査後移載位置、及び回収位置に配置する。
制御装置40は、第1カメラ駆動回路77と電気的に接続されている。制御装置40は、第1カメラ駆動回路77を介して第1カメラ37を駆動制御する。そして、制御装置40は、第1カメラ37を駆動制御して、第1カメラ37が撮影した画像のデータ(画像データ)を取得する。制御装置40は、画像プロセッサ64によって、取得した画像データを使って、各吸着ノズル27に吸着したICチップTの画像処理を行なう。そして、制御装置40は、各ICチップTについて、吸着ノズル27に対するICチップTの吸着位置とその向きを演算する。つまり、吸着ノズル27に対するICチップTの吸着ズレを演算する。また、制御装置40は、吸着ノズル27の中心軸が、ICチップTの上面の中心位置に対して、X方向及びY方向にどれだけ偏倚しているか、また、ICチップTの各辺がX方向及びY方向に対してどれだけ回転しているかを演算する。
制御装置40は、第1ストロボ駆動回路77sと電気的に接続されている。制御装置40は、第1ストロボ駆動回路77sを介して第1カメラ37の撮影に合わせて第1ストロボ37sを駆動制御する。そして、制御装置40は、第1ストロボ37sを駆動して、第1カメラ37がより鮮明に画像を撮影できるように周辺を明るくする。
制御装置40は、第2カメラ駆動回路78と電気的に接続されている。制御装置40は、第2カメラ駆動回路78を介して第2カメラ38を駆動制御する。そして、制御装置40は、第2カメラ38を駆動制御して、第2カメラ38が撮影した画像のデータ(画像データ)を取得する。制御装置40は、画像プロセッサ64によって、取得した画像データを使って、各吸着ノズル27に吸着したICチップTの画像処理を行なう。そして、制御装置40は、各ICチップTについて、吸着ノズル27に対するICチップTの吸着位置とその向きを演算する。つまり、吸着ノズル27に対するICチップTの吸着ズレを演算する。また、制御装置40は、吸着ノズル27の中心軸が、ICチップTの上面の中心位置に対して、X方向及びY方向にどれだけ偏倚しているか、また、ICチップTの各辺がX方向及びY方向に対してどれだけ回転しているかを演算する。
制御装置40は、第2ストロボ駆動回路78sと電気的に接続されている。制御装置40は、第2ストロボ駆動回路78sを介して第2カメラ38の撮影に合わせて第2ストロボ38sを駆動制御する。そして、制御装置40は、第2ストロボ38sを駆動して、第2カメラ38がより鮮明に画像を撮影できるように周辺を明るくする。
制御装置40は、第3カメラ駆動回路79と電気的に接続されている。制御装置40は、第3カメラ駆動回路79を介して第3カメラ24を駆動制御する。そして、制御装置40は、第3カメラ24を駆動制御して、第3カメラ24が撮影した画像(検査用ソケット23)のデータ(画像データ)を取得する。制御装置40は、画像プロセッサ64によって、取得した画像データを使って、検査用ソケット23の画像処理を行なう。そして、制御装置40は、検査用ソケット23の位置を演算する。つまり、検査用ソケット23の位置に対する測定ロボット22の相対位置を演算する。
制御装置40は、第3ストロボ駆動回路79sと電気的に接続されている。制御装置40は、第3ストロボ駆動回路79sを介して第3カメラ24の撮影に合わせて第3ストロボ24sを駆動制御する。そして、制御装置40は、第3ストロボ24sを駆動して、第3カメラ24がより鮮明に画像を撮影できるように周辺を明るくする。
次に、図8に従って、第3カメラ24によって、検査用ソケット23を撮影して検査用ソケット23に対する測定ロボット22の相対位置の位置ズレを演算する手順について説明する。
制御装置40は、測定ロボット22が図8(a)に示すように、第1シャトル16のレール30直上に配置されている場合には、測定ロボット22を検査用ソケット23の方向に移動させる。
制御装置40は、測定ロボット22を移動させて、図8(b)に示すように、第3カメラ24を4つの検査用ソケット23(X方向から見える2つのみ図示)の上方中央に配置させる。制御装置40は、測定ロボット22が検査用ソケット23の上方中央に配置されたときに、連結部22bをZ方向に往復動させて、第3カメラ24と検査用ソケットとの距離を第3カメラ24の焦点距離に合わせる。制御装置40は、第3カメラ24を焦点距離まで移動したら、第3カメラ24によって、第3ストロボ24sに照明された4つの検査用ソケット23のすべてを一度に撮影する。
制御装置40は、撮影した画像データを画像メモリ65に記憶させて、画像プロセッサ64により画像処理を行ない、各検査用ソケット23の位置を演算させる。制御装置40は、該演算結果に基づいて、各検査用ソケット23に対応する吸着ノズル27のX方向、Y方向及び該XY平面における回転角度の位置ズレを演算して、RAM63の各レジスタに記憶する。そして、制御装置40は、RAM63に記憶された各位置ズレに基づいて、各ICチップTを対応する検査用ソケット23に装着する際に、位置調整装置25を介して、対応する吸着ノズル27の位置調整を行う。
次に、図9に従って、第1カメラ37によって、検査前のICチップTを撮影して吸着ノズル27に対するICチップTの吸着ズレを演算する手順について説明する。尚、説明の都合上、以下では第1シャトル16についてのみ説明するが、第2シャトル17についても同様である。
制御装置40は、図9(a)に示すように、第1シャトル16を検査前移載位置に移動して、供給側チェンジキット31に載置された検査前の4つのICチップT(Y方向から見える2つのみ図示)を測定ロボット22に吸着把持させて上昇させる。
制御装置40は、ICチップTが上昇したら、図9(b)に示すように、第1シャトル16をチップ撮影位置まで移動させる。制御装置40は、測定ロボット22の直下に第1カメラ37を配置してから、連結部22bをZ方向に往復動させて第1カメラ37とICチップTの距離を第1カメラ37の焦点距離に合わせる。制御装置40は、初回のみ測定ロボット22による第1カメラ37とICチップTの焦点距離を合わせる動作を行い、該焦点距離をRAM63のレジスタに記憶して、次回からは、直に測定ロボット22をその高さまで移動させる。
そして、制御装置40は、測定ロボット22が焦点距離まで移動してから、第1カメラ37によって、第1ストロボ37sに照明された4つのICチップTと対応するアライメントマーク28とを一度に撮影する。
制御装置40は、前記撮影した画像データを画像メモリ65に記憶させて、画像プロセッサ64により画像処理を行ない、各ICチップTの吸着位置と向きを演算する。制御装置40は、該演算結果に基づいて、各ICチップTの上面中央部の位置と対応する吸着ノズル27とのX方向、Y方向及び該XY平面における回転角度の位置ズレを演算して、RAM63の各レジスタに記憶する。そして、制御装置40は、各位置ズレに基づいて、各ICチップTを対応する検査用ソケット23に装着する際に、位置調整装置25を介して、対応する吸着ノズル27の位置調整を行う。その後、制御装置40は、測定ロボット22にてICチップTを検査用ソケット23へ搬送する。
つまり、ICチップTを検査用ソケット23に配置する際には、ICチップTは、各検査用ソケット23との位置ズレと、アライメントマーク28との位置ズレとの両方の位置ズレの演算結果によって位置調整装置25を介して、各吸着ノズル27により位置調整される。
次に、図10に従って、第1カメラ37によって、検査済みのICチップTを撮影して吸着ノズル27に対するICチップTの吸着ズレを演算する手順について説明する。尚、説明の都合上、以下では第1シャトル16についてのみ説明するが、第2シャトル17についても同様である。
制御装置40は、図10(a)に示すように、チップ撮影位置にある第1シャトル16の直上に、検査済みのICチップTを吸着把持して焦点距離まで上昇した測定ロボット22を移動させる。そして、制御装置40は、測定ロボット22を第1カメラ37の直上に配置してから、第1カメラ37によって、第1ストロボ37sに照明された4つのICチップTと対応するアライメントマーク28とを一度に撮影する。
制御装置40は、前記撮影した画像データを画像メモリ65に記憶させて、画像プロセッサ64により画像処理を行ない、各ICチップTの吸着位置と向きを演算する。制御装置40は、該演算結果に基づいて、各ICチップTの上面中央部の位置と対応する吸着ノズル27とのX方向、Y方向及び該XY平面における回転角度の位置ズレを演算して、RAM63の各レジスタに記憶する。そして、制御装置40は、各位置ズレに基づいて、各ICチップTを対応する、回収側チェンジキット34の回収用ポケット35に収容する際に、位置調整装置25を介して、対応する吸着ノズル27の位置調整を行う。
再度、制御装置40は、チップ撮影位置において、第1カメラ37によって、第1ストロボ37sに照明された4つのICチップTを一度に撮影する。制御装置40は、撮影した画像データを画像メモリ65に記憶させて、画像プロセッサ64により画像処理を行ない、各ICチップT底面のバンプの状態を検査する。制御装置40は、画像プロセッサ64による画像処理によりICチップの底面のバンプの良否を判断して、良否の結果をRAM63のレジスタに記憶する。
次に、測定ロボット22が、供給側チェンジキット31の供給用ポケット32から検査前のICチップTを取り出して検査用ソケット23に装着した後、検査後のICチップTを検査用ソケット23から取り出して回収側チェンジキット34の回収用ポケット35に収容するまでの動作を図11に示すフローチャート図に従って説明する。
まず、制御装置40は、ICハンドラ10の電源投入時や測定対象のICチップTを変更した際に、初期設定動作を行なう。その初期設定動作において、制御装置40は、図8(b)に示すように、第3カメラ24にて撮影した各検査用ソケット23の画像データを、画像プロセッサ64にて画像処理して各検査用ソケット23の位置を演算する。制御装置40は、演算された各検査用ソケット23の位置に基づいて、対応する吸着ノズル27のX方向、Y方向及び該XY平面における回転角度の位置ズレを演算して、RAM63のレジスタに記憶する(ステップS100)。
初期設定動作が終了すると、制御装置40は、図6(a)に示す、供給位置にある第1シャトル16の供給側チェンジキット31の各供給用ポケット32に、供給側ロボットハンドユニット20からICチップTを供給する。
そして、各供給用ポケット32にICチップTが供給されると、制御装置40は、シャトル用切替えバルブV1を吸引装置41側に切替える。ICチップTが供給用ポケットに32の底面に吸着固定されると、制御装置40は、第1シャトル16を、図6(b)に示す、検査前移載位置に移動させる。
第1シャトル16が検査前移載位置に移動すると、制御装置40は、各吸着ノズル27を、供給側チェンジキット31の供給用ポケット32からそれぞれ対応するICチップTが吸着可能の上方位置に移動させる。各吸着ノズル27が上方位置に位置すると、制御装置40は、各吸着ノズル27を下降させて、各ICチップTの上面に各吸着ノズル27の開口端を接触させる。
ICチップTに吸着ノズル27の開口端が接触したら、制御装置40は、ノズル用切替えバルブV2を吸引装置41側に切替えて各吸着ノズル27によってそれぞれのICチップTを吸着把持する。同時に、制御装置40は、シャトル用切替えバルブV1を吸引装置41側から大気側に切替えて、ICチップTの供給用ポケット32への吸着を解除する。
そして、図6(b)に示すように、吸着ノズル27に吸着されたICチップTは、上昇して供給用ポケット32から離脱される。そして、上昇したICチップTは、第1シャトル16の直上で待機する。
続いて、制御装置40は、図6(c)に示すように、第1シャトル16をチップ撮影位置に移動させて、第1シャトル16の直上で待機している各ICチップTの直下に第1カメラ37を移動させる。制御装置40は、第1カメラ37から各吸着ノズル27によって吸着把持されている4つのICチップTの画像データを取得し画像認識を実行して(ステップS102)、各ICチップTの位置ズレ(吸着ズレ)を求める(ステップS104)。制御装置40は、前記求められた各位置ズレ及び初期設定で求められた検査用ソケット23に対する位置ズレに基づいて、位置調整装置25による位置補正が必要かどうか判断する(ステップS106)。
位置補正が必要な場合(ステップS106においてYES)、制御装置40は、位置調整装置25によって検査用ソケット23に対して好適な向きになるように各ICチップTを調整する(ステップS108)。反対に、位置補正が不要な場合(ステップS106においてNO)、制御装置40は、位置調整装置25による位置補正を行なわずステップS110に進む。
尚、カメラ37によるICチップTの撮影が終了しても、制御装置40は、ICチップTの回収の際の撮影のために、第1シャトル16をチップ撮影位置に待機させておく。
調整が完了すると、制御装置40は、各吸着ノズル27を検査用ソケット23の上方に移動させてから、押圧保持部22cを吸着開始位置に下降させ、さらに押圧装置26を装着位置まで下降させ、各ICチップTを対応する検査用ソケット23に装着し、電気的検査を行う(ステップS110)。そして、電気的検査を終了すると(ステップS112)、制御装置40は、吸着ノズル27にて、ICチップTを吸着把持して検査用ソケット23から外して、第1シャトル16のカメラ37の上方まで移動させる。
カメラ37の上方まで移動すると、制御装置40は、第1カメラ37から各吸着ノズル27に吸着把持されたICチップTの画像データを取得し画像認識を実行する(ステップS120)。そして、制御装置40は、各ICチップTの位置ズレを求める(ステップS122)。続いて、制御装置40は、前記求められた各位置ズレに基づいて、位置調整装置25によって位置補正が必要かどうか判断する(ステップS124)。
位置補正が必要な場合(ステップS124でYES)、制御装置40は、前記求められた各位置ズレに基づいて、位置調整装置25によって回収用ポケット35に対して好適な向きになるように各ICチップTを調整する(ステップS126)。反対に、位置補正が不要な場合(ステップS124でNO)、制御装置40は、位置調整装置25による位置補正を行なわずステップS128に進む。
制御装置40は、再度、カメラ37から各吸着ノズル27に吸着把持されたICチップTの画像データを取得し、ICチップT底面のバンプの良否を検出する(ステップS128)。
第1カメラ37による撮影が完了すると、図6(d)に示すように、制御装置40は、第1シャトル16を検査後移載位置に移動させる。即ち、第1シャトル16の回収側チェンジキット34の各回収用ポケット35が、各吸着ノズル27に把持された対応する各ICチップTの直下に位置するようにする。
その後、制御装置40は、吸着ノズル27を下降させ、回収用ポケット35にICチップTを載置する(ステップS130)。その際に、ICチップTの底面のバンプBは、回収用ポケット35底面のディンプルプレート36のディンプル36dに嵌合される(図4(c)参照)。
そして、制御装置40は、吸着ノズル27用のノズル用切替えバルブV2を吸引装置41側から大気側に切替え、吸着ノズル27開口端がICチップTを吸引することを解除する。
次に、制御装置40は、第1シャトル16を回収位置に移動させて、回収用ポケット35のICチップTを回収側ロボットハンドユニット21に搬出させる。その後、制御装置40は、全てのICチップTの検査が終了したか否かを判断する(ステップS132)。全てのICチップTの検査が終了していない場合はステップS102に戻る。一方、全てのICチップTの検査が終了した場合は、処理を終了する。
本実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
(1)本実施形態によれば、第1及び第2シャトル16,17の上面に、第1及び第2カメラ37,38を備えた。従って、ベース11にカメラを設置する場所を必要としない。その結果、第1及び第2シャトル16,17と検査用ソケット23との間隔を短くすることができるので、ICハンドラ10を小さくすることができる。
又、第1及び第2シャトル16,17上面の第1及び第2カメラ37,38にてICチップTを撮影するので、測定ロボット22は吸着把持したICチップTをカメラの位置まで移動させる必要がない。その結果、測定ロボット22は、ICチップTを各シャトル16,17と検査用ソケット23との最短距離で搬送できるので、ICチップTの搬送時間が短縮され、ICチップTの検査工程に要する時間を短縮することができる。
さらに又、第1及び第2カメラ37,38は、測定ロボット22に比較して高速に移動する第1及び第2シャトル16,17によって迅速にチップ撮影位置に移動させられるので、ICチップTの撮影に要する時間を短縮させることができる。
(2)本実施形態によれば、ICチップTとともにアライメントマーク28を撮影した。従って、ICチップTと同時に撮影したアライメントマーク28を基準にして画像処理をし、ICチップTの位置ズレ(吸着ズレ)を演算できる。その結果、ICチップTの位置ズレの演算をする際にアライメントマーク28等を別途撮影する必要が無いので、撮影に要する時間を短縮させることができる。
又、アライメントマーク28を測定ロボット22に備えたので、ベース11にアライメントマーク28等を配設するスペースを確保する必要がなく、ICハンドラ10を小さくすることができる。
(3)本実施形態によれば、第1及び第2カメラ37,38は、測定ロボット22が吸着把持したICチップTを下方から撮影した。従って、第1及び第2カメラ37,38に焦点距離調節機能を備えなくても、測定ロボット22の押圧保持部22cをZ方向に移動させてICチップTと第1及び第2カメラ37,38との焦点距離を合わせることができる。その結果、第1及び第2カメラ37,38を簡単な構造にすることができる。
(4)本実施形態によれば、第1及び第2カメラ37,38は、検査前と検査済みのICチップTの位置ズレの演算を行う為の、及び検査済みのICチップT底面のバンプの状態の検査を行う為の画像データの取得に用いた。従って、1つのカメラを多用途に用いることができるので、高機能なICハンドラ10を、簡単な構造で安価に提供することができる。
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、第3カメラ24は、すべての検査用ソケット23を一度に撮影できた。しかし、これに限らず、第3カメラ24は、各検査用ソケット23を複数回に分けて撮影しても良い。その場合は、Y方向に測定ロボット22を移動させて、順次、第3カメラ24を撮影対象の各検査用ソケット23と対向する位置にそれぞれ合わせて撮影するとよい。そうすれば、カメラ一台で検査用ソケット23を次々と撮影をすることができる。
例えば、第3カメラ24がX方向に並んだ2つの検査用ソケット23を一度に撮影する場合について説明する。このとき、画像プロセッサ64は、好適に2つの検査用ソケット23を抽出して画像処理できる設定に変更しておく。図12(a)に示すように、測定ロボット22を第1シャトル16上に配置してから、検査用ソケット23の方向に移動する。図12(b)に示すように、第3カメラ24が第1シャトル16寄りの検査用ソケット23の直上に配置されたときに、該検査用ソケット23を撮影する。さらに、測定ロボット22を検査用ソケット23の方向に移動する。図12(c)に示すように、第3カメラ24が次の検査用ソケット23の直上に配置されたときに、該検査用ソケット23を撮影すると良い。
・上記実施形態では、第1及び第2カメラ37,38は、測定ロボット22に把持されたすべてのICチップTを一度に撮影できた。しかし、これに限らず、第1及び第2カメラ37,38は、各ICチップTを複数回に分けて撮影しても良い。複数のICチップTを、X方向に分割して撮影する場合は第1又は第2シャトル16,17を移動させ、Y方向に分割して撮影する場合は測定ロボット22を移動させ、順次、第1及び第2カメラ37,38を撮影対象の各ICチップT対向する位置にそれぞれ合わせて撮影するとよい。そうすれば、カメラ一台でICチップTを次々と撮影をすることができる。
例えば、第1カメラ37がY方向に並んだ2つの検査前のICチップTを一度に撮影する場合について説明する。このとき、画像プロセッサ64は、好適に2つのICチップTを抽出して画像処理できる設定に変更しておく。図13(a)に示すように、供給側位置にてICチップTを吸着把持した測定ロボット22は、その位置にて上昇する。第1シャトル16が回収位置方向に移動する。図13(b)に示すように、第1カメラ37が測定ロボット22の回収側にあるICチップTbの直下(以下、第1チップ撮影位置という)に配置されたときに、ICチップTbを撮影する。さらに第1シャトル16が回収位置方向に移動する。図13(c)に示すように、第1カメラ37が測定ロボット22の供給側にあるICチップTaの直下(以下、第2チップ撮影位置という)に配置されたときに、ICチップTaを撮影すると良い。
又、例えば、第1カメラ37がY方向に並んだ2つの検査済みのICチップTを一度に撮影できる場合について説明する。このとき、画像プロセッサ64は、好適に2つのICチップTを抽出して画像処理できる設定に変更しておく。図14(a)に示すように、第1シャトル16が第2チップ撮影位置にあるところで、測定ロボット22が検査済みのICチップTを吸着把持して第1シャトル16の直上に移動して、ICチップTaを撮影する。第1シャトル16が第1チップ撮影位置に移動する。図14(b)に示すように、第1シャトル16が第1チップ撮影位置に配置されたときに、ICチップTbを撮影する。次に、同位置でバンプ検査用にICチップTbを撮影する。第1シャトル16が第2チップ撮影位置に移動する。図14(c)に示すように、同位置でバンプ検査用にICチップTaを撮影する。その後、図14(d)に示すように、第1シャトル16が回収位置に移動すると良い。
・上記実施形態では、第1及び第2カメラ37,38は、ICチップTを撮影する際にICチップTの直下に配置された。しかし、これに限らず、第1及び第2シャトル16,17を移動させたまま、第1及び第2カメラ37,38は、第1及び第2カメラ37,38がICチップTの直下を通過する際にICチップTを撮影してもよい。そうすれば、撮影に要する時間を短縮することができる。
尚、第1及び第2シャトル16,17を移動させたまま撮影した画像は、撮影した画像が流れている場合があるが、第1及び第2ストロボ37s,38s光量を増加させて発光時間を短くすれば、画像の流れを減らすことができる。又、流れた画像であっても、画像プロセッサ64においてICチップT底面のバンプ、及びアライメントマーク28の認識アルゴリズムに重心計測を用いることで、流れた画像から好適にICチップTの位置を求めることができ、制御装置40でICチップTの位置ズレを演算することができる。
・本実施形態においては、第1〜第3カメラ37,38,24は焦点距離調整機能を備えなかった。しかし、これに限らず、各カメラ37,38,24は焦点距離調整機能を備えても良い。
・上記実施形態では、ICハンドラ10に第1及び第2シャトル16,17を備えた。しかし、これに限らず、シャトルは、1台でも、2台よりも多くてもよい。
・上記実施形態では、シャトル16,17には供給側チェンジキット31と回収側チェンジキット34を備えた。しかし、これに限らず、ICハンドラ10に好適であれば第1及び第2シャトル16,17上に配置するチェンジキットはどのような組み合わせはでもよい。又、チェンジキットは1つでも、2つより多くてもよい。この場合は、チェンジキットには、供給側チェンジキット31、又は、回収側チェンジキット34等のうち、好適なチェンジキットを用いればよい。
T…ICチップ、10…ICハンドラ、11…ベース、12…安全カバー、13…高温チャンバ、14…供給ロボット、15…回収ロボット、16…第1シャトル、17…第2シャトル、18…トレイ、20…供給側ロボットハンドユニット、21…回収側ロボットハンドユニット、22…測定ロボット、23…検査用ソケット、24…第3カメラ、27…吸着ノズル、30…レール、31…供給側チェンジキット、32…供給用ポケット、33…吸着穴、34…回収側チェンジキット、35…回収用ポケット、37…第1カメラ、38…第2カメラ。

Claims (13)

  1. 電子部品を載置可能であり、移動するシャトルと、
    前記シャトルに載置された前記電子部品を把持して搬送するロボットと、
    前記シャトルに備えられ、前記ロボットが搬送する前記電子部品の前記把持された面とは反対の面を撮影可能な第1の撮影装置と、
    を備えること特徴とする電子部品ハンドラ。
  2. 前記ロボットに備えられ、前記第1の撮影装置の撮影方向とは反対方向を撮影可能な第2の撮影装置を備えることを特徴とする請求項1に記載の電子部品ハンドラ。
  3. 前記ロボットには前記電子部品を吸着する吸着ノズルを備え、
    前記吸着ノズルの位置を変化させる位置可変装置を有することを特徴とする請求項1または2に記載の電子部品ハンドラ。
  4. 前記第1の撮影装置及び前記第2の撮影装置で撮影した画像の画像データを画像処理し、前記吸着ノズルの位置を変更することを特徴とする請求項3に記載の電子部品ハンドラ。
  5. 前記シャトルは複数平行に設けられ、当該各々のシャトルに前記第1の撮影装置が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の電子部品ハンドラ。
  6. 前記シャトルは2列の配置となっており、当該2列の間に前記電子部品を検査する位置が設けられていることを特徴とする請求項5に記載の電子部品ハンドラ。
  7. 前記電子部品は前記シャトルに着脱可能なチェンジキットを介して前記シャトルに載置されることを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の電子部品ハンドラ。
  8. 載置部を有し、移動するシャトルと、
    前記載置部の上方に移動するロボットと、
    前記シャトルに備えられ、前記載置部の上方を撮影可能な第1の撮影装置と、
    前記シャトルとは異なる位置に備えられ、前記第1の撮影装置の撮影方向とは反対方向を撮影可能な第2の撮影装置と、
    を備えることを特徴とするハンドラ。
  9. 前記第1の撮影装置の撮影方向は前記シャトルの前記載置部における載置面から上方を向いており、
    前記第2の撮影装置は前記ロボットに備えられ、
    前記第2の撮影装置の撮影方向が前記シャトルに向くように、前記ロボットが移動可能なことを特徴とする請求項8に記載のハンドラ。
  10. 前記ロボットは、開口端を備えるノズルを有し、当該開口端を負圧にすることができ、
    前記ノズルは、前記載置部に近づいたり、前記載置部から離れたりすることができる構成であることを特徴とする請求項8または9に記載のハンドラ。
  11. 前記ノズルの位置を変化させる位置可変装置を有することを特徴とする請求項10に記載のハンドラ。
  12. 前記第1の撮影装置及び前記第2の撮影装置で撮影した画像の画像データを画像処理し、前記ノズルの位置を変更することを特徴とする請求項11に記載のハンドラ。
  13. 前記シャトルは2列平行に設けられ、当該各々のシャトルに前記第1の撮影装置が設けられており、前記ロボットは当該2列の間の所定位置に移動することができることを特徴
    とする請求項8乃至12の何れか一項に記載のハンドラ。
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