DE19736622C2 - Gerät zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbauelementen - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Gerät zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbauelementen (allgemein als "Handhabungseinrichtung" bezeichnet), das in Verbindung mit einem zum Testen von Halbleiterbauelementen ausgelegten Halbleiterbauelement-Testgerät dazu ausgelegt ist, zu testende Halbleiterbauelemente zu einem Testabschnitt zu transportieren, die getesteten Halbleiterbauelemente aus dem Testabschnitt herauszufördern und sie dann in Abhängigkeit von den Testergebnissen zu sortieren. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf Verbesserungen bei der Herausnahme von auf einem Tablett aufgebrachten Halbleiterbauelementen aus diesem Tablett mit Hilfe eines Träger- bzw. Transportkopfs.

Vorrichtungen, mit denen Halbleiterbauelemente von einer Handhabungseinrichtung zu einer Testeinrichtung transportiert und, nachdem sie getestet wurden, von der Testeinrichtung zur Weiterverarbeitung, z. B. zur Sortierung, zurücktransportiert werden sind bekannt. Die DE 44 18 142 A1 offenbart beispielsweise eine Vorrichtung, mit der Halbleiterbauelemente von einem Förderband abgenommen, zu einer Testeinrichtung befördert und nach dem Testen zum Förderband zurück gebracht werden.

Die DE 43 10 149 beschreibt eine Einrichtung zum Handeln von scheibenförmigen Objekten in einer Handlingebene eines lokalen Reinraumes, der eine gegenüber der Handlingebene messbar in der Höhe verstellbare Magazinaufnahme und im wesentlichen in der Handlingebene liegende Arbeitsstationen für Bearbeitungs- und Inspektionszwecke enthält. Dabei ist die Handlingebene konstruktiv in fester Beziehung zu einer Bezugsebene mindestens einer, die Magazinaufnahme als Bestandteil enthaltenden Einrichtung zur Indexierung von Magazinen nach ihren Magazinfächern und darin enthaltenen scheibenförmigen Objekten steht und oberhalb eines Zwischenbodens angeordnet ist, der den Reinraum in zwei übereinanderliegende Teilräume unterteilt, in denen eine Luftstromkomponente eines Luftstromes aus dem Teilraum oberhalb des Zwischenbodens in den Teilraum unterhalb des Zwischenbodens gerichtet ist. Die Einrichtung zur Indexierung weist einen aus Sender und Empfänger bestehenden optoelektronischen Sensor auf, durch den eine messtechnische Erfassung sowohl der Magazinfächer als auch der scheibenförmigen Objekte in ihrer Lage relativ zu der Bezugsebene erfolgt. Ein von dem Sender ausgehendes, mit seinem Mittenstrahl in der Bezugsebene liegendes Messstrahlenbündel wird zwischen gegenüberliegenden, die Magazinfächer enthaltenden Wänden hindurchgeführt und auf das Messstrahlenbündel abschattende, in das Innere des Magazins weisende, fächerbildende Vorsprünge einer der Wände gerichtet, die als Auflage für die scheibenförmigen Objekte dienen. Durch die Höhenverstellung in Richtung der übereinanderliegenden Magazinfächer, die dadurch aufeinanderfolgend eine gemeinsame Lage mit der Bezugsebene einnehmen, erfolgt eine Erzeugung eines Abbildes sowohl der Magazinfächer als auch der in den Magazinfächern befindlichen scheibenförmigen Objekte durch eine Modulation des Messstrahlenbündels.

Viele Halbleiterbauelement-Testgeräte, bei denen die elektrischen Eigenschaften von Halbleiter­ bauelementen dadurch gemessen werden, daß ein mit einem vorbestimmten Muster versehenes Testsignal an die zu testenden Halbleiterbauelemente angelegt wird, und insbesondere viele Halbleiterbauelement-Testgeräte (im allgemeinen auch als IC-Tester bezeichnet), die zum Messen der elektrischen Eigenschaften von typische Beispiele für Halbleiterbauelemente darstellenden integrierten Halbleiterschaltungen (im folgenden auch als ICs bezeichnet) ausgelegt sind, weisen ein integral mit ihnen verbundenes Gerät zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbau­ elementen auf. Bei der nachfolgenden Offenbarung der vorliegenden Erfindung wird zum Zwecke der Vereinfachung der Erläuterung auf ICs Bezug genommen, die als typische Beispiele für Halbleiterbauelemente dienen, wobei die vorliegende Erfindung aber nicht auf ICs als Halbleiter­ bauelemente beschränkt ist.

Fig. 4 zeigt den allgemeinen Aufbau eines aus der DE 196 44 509 bekannten Geräts zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbauelementen, das im folgenden als Handhabungseinrichtung bezeichnet wird und ein sogenanntes "horizontales Transportsystem" darstellt. Eine Mehrzahl von insgesamt mit dem Bezugszeichen 2 bezeichneten Tablettgruppen 2A bis 2E, die mehrere jeweils mit ICs bestückte Tabletts enthalten, sind auf einer Plattform 1, die als Basis dient, entlang der unteren Seite 1A der Plattform 1 gemäß der Darstellung in Fig. 4 angeordnet. Jede der Tablettgruppen 2A bis 2E besteht aus einer Anzahl von Tabletts 12, die jeweils vertikal aufeinandergestapelt sind. Die Tablettgruppe 2A, die sich in Fig. 4 links außen befindet, ist an einem Beschickungsabschitt positioniert. Die Tabletts der Gruppe 2A in dem Beschickungsabschnitt sind mit zu testenden ICs bestückt.

Eine Tragarmeinrichtung 3A, 3B mit Tragarmen für den Transport in den Richtungen X und Y nimmt die ICs bei diesem Beispiel jeweils einen nach dem anderen aus dem obersten Tablett der gestapelten, an dem Beschickungsabschnitt befindlichen Tablettgruppe 2A heraus und transpor­ tiert diese einzeln auf einen Drehtisch 4, der als "Durchwärmungsstufe" bzw. "Temperaturanpassungsstufe" bezeichnet wird. Eine Reihe von Positionierausnehmungen 5, die die Positionen für die Aufnahme der ICs definieren, sind in dem Drehtisch 4 in gleichen winkel­ mäßigen Abständen entlang eines konzentrischen Kreises ausgebildet. Jede Positionierausneh­ mung 5 weist eine im wesentlichen quadratische Gestalt auf und ist auf vier Seiten von nach oben geneigten Wänden umgeben. Jedesmal dann, wenn sich der Drehtisch 4 um einen Teilungsabstand (das heißt um einen Transportwinkel einer Positionierausnehmung 5 bzw. um einen Winkelabstand zwischen den Positionierausnehmungen 5) in der Uhrzeigerrichtung bei dem dargestellten Beispiel gedreht hat, läßt die Tragarmeinrichtung 3A, 3B einen IC nach unten in eine der Positionierausnehmungen 5 hineinfallen. Genauer gesagt, ist bei diesem Beispiel an dem Tragarm 3A der Tragarmeinrichtung 3A, 3B ein Transportkopf 3C angebracht, der dazu ausge­ legt ist, einen der in dem Tablett 12 befindlichen, zu testenden ICs zu ergreifen, wobei der ergriffene, zu testende IC dann aus dem Tablett 12 heraus zu dem Drehtisch 4 aufgrund entsprechender Bewegungen der Tragarmeinrichtung 3A, 3B in den Richtungen X und Y transportiert wird.

Mit dem Bezugszeichen 6 ist eine Dreharmeinrichtung bezeichnet, die auch als "Kontaktarm" zum Transportieren der ICs, die durch den Drehtisch 4 gefördert worden waren, zu einem Testabschnitt 7 ausgelegt ist. Genauer gesagt, ist die Dreharmeinrichtung 6 dazu ausgelegt, einen IC jeweils aus den jeweiligen Positionierausnehmungen 5 in dem Drehtisch 4 herauszugrei­ fen und diesen IC zu dem Testabschnitt 7 zu transportieren. Die Dreharmeinrichtung 6 weist drei Arme auf, an denen jeweils ein Träger- bzw. Transportkopf angebracht ist, und führt aufgrund einer Drehung der drei Arme die Arbeitsschritte des sequentiellen Transportierens der durch die Transportköpfe ergriffenen ICs zu dem Testabschnitt 7 sowie des sequentiellen Transportierens der in dem Testabschnitt 7 getesteten ICs zu einer Transportarmeinrichtung 8 durch, die an einem Auslaß des Testabschnitts angeordnet ist.

Es ist hierbei anzumerken, daß der Drehtisch 4, die Kontaktarmeinrichtung 6 und der Testab­ schnitt 7 in einer Konstanttemperaturkammer 9 (üblicherweise einfach als "Kammer" bezeichnet) enthalten sind, so daß die zu testenden ICs dem Testvorgang in der Kammer 9 unterzogen werden können, während sie auf einer vorbestimmten Temperatur gehalten werden. Das Innere der Konstanttemperaturkammer 9 wird hinsichtlich seiner Temperatur derart gesteuert, daß es bei einer vorgegebenen hohen oder niedrigen Temperatur gehalten wird, so daß eine vorbe­ stimmte thermische Belastung auf die zu testenden ICs ausgeübt wird.

Die Transportarmeinrichtung 8, die sich auf der Auslaßseite des Testabschnitts befindet, weist ebenfalls drei Arme auf, die jeweils einen an ihnen angebrachten Träger- bzw. Transportkopf umfassen. Die Transportarmeinrichtung 8 ist derart ausgelegt, daß sie die getesteten, durch die Transportköpfe ergriffenen ICs durch Drehung ihrer drei Arme zu einem Entladeabschnitt heraus transportiert. Die aus der Konstanttemperaturkammer 9 herausgenommenen bzw. heraustrans­ portierten ICs werden auf der Grundlage der Daten der Testergebnisse sortiert und in die jeweils zugeordneten Tablettgruppe aus den Tablettgruppen 2C, 2D und 2E, die in dem Entladeabschnitt angeordnet sind, eingebracht. Bei diesem Beispiel sind somit drei Tablettgruppen 2C, 2D und 2E in dem Entladeabschnitt vorgesehen. Als Beispiel werden nicht auslegungskonforme ICs in einem Tablett der rechts außen befindlichen Tablettgruppe 2E gespeichert, wohingegen auslegungskon­ forme ICs in einem Tablett der Tablettgruppe 2D, die sich links von der Tablettgruppe 2E befindet, gelagert werden, und ICs, bei denen entschieden wurde, daß ein erneuter Test notwendig ist, in einem Tablett der Tablettgruppe 2C gespeichert werden, die sich links von der Tablettgruppe 2D befinden. Dieser Sortiervorgang wird mit Hilfe einer Transportarmeinrichtung 10A, 10B durchgeführt, die auf der Grundlage der Daten der Testergebnisse gesteuert wird. Bei diesem Beispiel ist an dem Transportarm 10A ein Trägerkopf bzw. Transportkopf 10C ange­ bracht, der dazu ausgelegt ist, einen der getesteten ICs zu ergreifen und diesen zu dem bezeich­ neten Tablett 12 zu transportieren.

Es ist anzumerken, daß die Tablettgruppe 2B, die sich ausgehend von der linken Seite an der zweiten Position befindet, eine leere Tablettgruppe ist, die an einem Pufferabschnitt bzw. Zwischenspeicherabschnitt zum Unterbringen von Tabletts angeordnet ist, die jeweils in dem Beschickungsabschnitt von ICs geleert worden sind. Wenn das oberste Tablett eines beliebigen Tablettstapels aus den Tablettstapeln 2C, 2D und 2E in dem Entladeabschnitt mit ICs gefüllt ist, wird ein Tablett aus dieser leeren Tablettgruppe 2B zu der Oberseite des entsprechenden Tablettstapels transportiert und nachfolgend zum Aufnehmen von ICs benutzt.

Bei der in Fig. 4 dargestellten Handhabungseinrichtung weist der Drehtisch 4 lediglich eine einzige Reihe von Positionierausnehmungen 5 auf, die in gleichen winkelmäßigen Abständen angeordnet sind und zum Festlegen der Positionen für die Aufnahme der ICs dienen. Die Positionierausnehmungen 5 sind auf einem konzentrischen Kreis derart angeordnet, daß die Transportarmeinrichtung 3A, 3B jedesmal dann, wenn sich der Drehtisch 4 um einen Teilungsab­ stand in der Uhrzeigerrichtung gedreht hat, einen IC in eine der Positionierausnehmungen 5 einbringt. Es befindet sich aber auch noch eine andere Ausführungsform einer Handhabungsein­ richtung im praktischen Einsatz, die in Fig. 5 gezeigt ist. Bei dieser anderen Ausführungsform der Handhabungseinrichtung weist der Drehtisch 4 zwei Reihen von Positionierausnehmungen 5 auf, die in gleichen winkelmäßigen Abständen auf konzentrischen Kreisen angeordnet sind. Die Ausgestaltung bei dieser zweiten Ausführungsform der Handhabungseinrichtung ist dergestalt getroffen, daß die Transportarmeinrichtung 3A, 3B für den Transport in den Richtungen X und Y jeweils zwei ICs, die gleichzeitig zu testen sind, von einem in dem Beschickungsabschnitt befindlichen Tablett transportiert und die beiden ICs jeweils in zwei entsprechende Positionier­ ausnehmungen 5 der beiden Reihen einbringt, wobei dieser Vorgang bei jeder inkrementalen Drehung des Drehtisches 4 (das heißt einer einem Teilungsabstand entsprechenden Drehung des Drehtisches 4) stattfindet.

Die in Fig. 5 gezeigte Handhabungseinrichtung ist identisch wie die in Fig. 4 gezeigte Handha­ bungseinrichtung, mit der Ausnahme, daß die Kontaktarmeinrichtung 6, die Transportarmeinrich­ tung 8, die sich an der Auslaßseite befindet, und die Transportarmeinrichtung 10 jeweils dazu ausgelegt sind, jeweils zwei ICs gleichzeitig zu handhaben. Ein weiterer Unterschied besteht darin, daß der Testabschnitt 7 ebenfalls derart ausgelegt ist, daß eine Überprüfung von zwei ICs jeweils gleichzeitig durchgeführt werden kann. Die entsprechenden Teile bei der in Fig. 5 gezeigten Ausgestaltung sind daher mit den gleichen Bezugszeichen versehen und werden nicht nochmals erläutert.

Ferner befindet sich auch eine Handhabungseinrichtung in Form eines horizontalen Transportsy­ stems in praktischem Einsatz, wie sie in Fig. 6 in Form einer Transportlaufdarstellung veran­ schaulicht ist. Bei dieser Handhabungseinrichtung werden im Test befindliche oder zu testende ICs 56, die bereits zuvor auf einem Kundentablett (Benutzertablett bzw. für allgemeinen Einsatz ausgelegtes Tablett) 12 durch einen Benutzter aufgebracht sind (zum Beispiel in einem Beschickungsabschnitt 51), in dem Beschickungsabschnitt 51 auf ein Testtablett 53 übertragen und auf dieses umgesetzt. Das Testtablett 53 ist im Stande, hohen und/oder niedrigen Tempera­ turen zu widerstehen und wird nach dem Aufbringen der ICs in umlaufender Weise von dem Beschickungsabschnitt 51 ausgehend zu diesem zurückgeführt, wobei es sequentiell durch die Konstanttemperaturkammer 9 und einen Entladeabschnitt 52 transportiert wird. Hierbei wird an die im Test befindlichen und auf dem Tablett 14 bzw. 53 angeordneten ICs 56 ein Testsignal, das ein vorbestimmtes Muster aufweist, in dem Testabschnitt 7 innerhalb der Konstanttempera­ turkammer 9 angelegt, um hierdurch die elektrischen Eigenschaften der ICs 56 zu messen. Nach dem Abschluß der Messung werden die getesteten, auf dem Testtablett 53 befindlichen ICs aus dem Testabschnitt 7 zu dem Entladeabschnitt 52 transportiert, in dem die getesteten ICs auf der Grundlage der Daten der Testergebnisse sortiert bzw. klassifiziert werden und von dem Testtablett 53 zu den entsprechenden Kundentabletts 12 übertragen werden.

Auch bei der Handhabungseinrichtung, die den in Fig. 6 gezeigten Aufbau aufweist, wird eine einen Transport in den Richtungen X und Y bewirkende Transportarmeinrichtung, die in gleichar­ tiger Weise wie die Transportarmeinrichtung 3A, 3B aufgebaut ist, die bei den in den Fig. 4 und 5 gezeigten Ausgestaltungen der Handhabungseinrichtungen verwendet werden, für den Transport der zu testenden ICs von dem Kundentablett zu dem Testtablett 53 in dem Beschickungsabschitt benutzt. In gleichartiger Weise wird auch in dem Entladeabschnitt eine Transportarmeinrichtung für den Transport in den Richtungen X und Y, die in gleicher Weise wie die Transportarmeinrichtung 10A, 10B aufgebaut ist, für den Transport der getesteten ICs von dem Testtablett 53 zu dem Kundentablett 12 in dem Entladeabschnitt eingesetzt.

Es ist anzumerken, daß gemäß der Darstellung in Fig. 6 eine Kammer 54, die auch als Tempera­ turanpassungskammer bezeichnet wird und in der zu testende, auf dem Testtablett 53 befindli­ che ICs auf eine vorbestimmte Temperatur erwärmt oder abkühlt werden, an der Einlaßseite in der Konstanttemperaturkammer 9 angeordnet ist, und eine Kammer 55, die als Auslaßkammer bezeichnet wird und in der die getesteten ICs wieder auf die Umgebungstemperatur zurückge­ führt werden, an der Auslaßseite in der Konstanttemperaturkammer 9 angeordnet ist. Im allgemeinen sind die Temperaturanpassungskammer 54 und die Auslaßkammer 55 derart ausgestaltet, daß sie eine Mehrzahl von Testtabletts 53 (zum Beispiel zehn Testtabletts), die jeweils aufeinandergestapelt sind, aufnehmen können.

Die einzelnen Tabletts 12 der Tablettgruppen 2A bis 2E, die bei der Handhabungseinrichtung mit dem in den Fig. 4 und 5 dargestellten Aufbau benutzt werden, sind identisch mit den Tabletts 12, die von dem Benutzer zur Anordnung der zu testenden ICs verwendet werden, und identisch wie die Tabletts 12, die zum Speichern der getesteten ICs bei der Handhabungseinrichtung mit dem in Fig. 6 gezeigten Aufbau benutzt werden. Diese Tabletts werden im Stand der Technik als Kundentabletts oder Benutzertabletts bezeichnet und sind aus Harz gegossen. Dies bedeutet, daß sie harzgegossene Teile bzw. Harzgußteile darstellen. Es ist bekannt, daß aus Harz gegos­ sene Teile Nachteile dahingehend aufweisen, daß sie anfällig gegenüber Verformungen wie etwa Verwerfungen sind, die durch Änderungen über die Zeit hinweg und durch Änderungen der Temperatur hervorgerufen werden, und daß auch die Tendenz besteht, daß sie während des Gießvorgangs verformt werden.

Das Kundentablett 12 stellt einen Aufnahmebehälter dar, der eine Mehrzahl von mit Ausneh­ mungen versehenen bzw. durch Ausnehmungen gebildeten Taschen aufweist, die in der Form eines Gitters angeordnet sind und zum Aufnehmen von ICs dienen. Ein Kundentablett 12 mit in seinen Taschen befindlichen ICs wird auf einem Tablettständer in dem Beschickungsabschnitt aufgebracht. Der Tablettständer ist an seiner Bodenseite durch eine in vertikaler Richtung bewegliche Lifteinrichtung abgestützt, so daß das Tablett 12, das auf dem Tablettständer angeordnet ist, durch die Lifteinrichtung bis in eine vorbestimmte Höhenlage bzw. auf ein vorbestimmtes Niveau angehoben werden kann. Hierbei ist anzumerken, daß die Kundentabletts 12 mit den in ihren Taschen befindlichen ICs bei einer Handhabungseinrichtung, die den in den Fig. 4 und 5 dargestellten Aufbau aufweist, oftmals in Form eines vertikalen Stapels auf dem Tablettständer angeordnet werden, wohingegen bei einer Handhabungseinrichtung mit einem Aufbau, wie er in Fig. 6 gezeigt ist, häufig nur ein einziges Kundentablett 12 anstelle eines Tablettstapels auf dem Tablettständer gehalten wird.

Falls in dem Tablett 12 eine gewisse Verformung vorhanden ist, wird es sich beim Aufbringen auf den Tablettständer verkippen, was dazu führt, daß sich Unterschiede in der Höhenlage der die ICs tragenden Oberfläche des Tabletts einstellen. Anders ausgedrückt, sind einige ICs an relativ niedrigen Niveaus (das heißt auf relativ niedrig liegenden Tragflächen zum Tragen der ICs) des Tabletts angeordnet, wohingegen manche anderen ICs bei relativ hohen Niveaus des gleichen Tabletts (bei relativ hoch liegenden Tragoberflächen für die IC Halterung) liegen.

Auf der anderen Seite ist der Transportkopf der Transporteinrichtung für den Transport in den Richtungen X und Y, der zum Abgreifen eines zu testenden ICs von dem Tablett 12 in dem Beschickungsabschnitt sowie zum Transport dieses ICs dient, derart ausgelegt, daß er mit Hilfe einer nicht gezeigten Lifteinrichtung bzw. Absenkeinrichtung um einen vorbestimmten Hub bzw. um eine vorbestimmte Strecke abgesenkt werden kann, um hierdurch den in dem Tablett 12 befindlichen IC mit Hilfe eines Aufnahmekopfes (üblicherweise eines mit Unterdruck arbeitenden Kopfes bzw. Saugkopfes), der an dem Transportkopf angebracht ist, heranzuziehen bzw. anzusaugen und zu ergreifen.

Bei dem Stand der Technik, wie er in Fig. 7 als Beispiel dargestellt ist, ist es übliche Praxis, einen nach dem Durchleuchtungsprinzip arbeitenden Sensor zum Erfassen der Oberseite eines Tabletts 12 an einer vorbestimmten Position oberhalb eines Tablettständers 61 anzuordnen, wobei ein lichtaussendendes Element 62 und ein lichtempfangendes Element 63 des Sensors derart angeordnet sind, daß sie sich einander horizontal gegenüberliegen. Die Anordnung dieser Komponenten ist derart getroffen, daß die Position der Oberseite des auf dem Tablettständer 61 angeordneten Tabletts 12 dadurch erfaßt wird, daß diese Oberseite des Tabletts 12 das von dem lichtaussendenden Element 62 ausgesandte Licht unterbricht, wenn das Tablett 12 durch eine Lifteinrichtung 64 angehoben wird. Als Reaktion auf diese Unterbrechung des Lichts wird die Lifteinrichtung 64 in Abhängigkeit von dem entsprechenden Erfassungssignal angehalten, um hierdurch die Bewegung des Tablettständers 61 zu beenden und damit das Tablett 12 an einer vorbestimmten Position anzuhalten.

Falls das Tablett 12 jedoch bei der vorstehend erläuterten Konstruktion deformiert, das heißt verkippt, sein sollte, wie es in Fig. 8 gezeigt ist, ist die Oberseite des Tabletts 12 nicht flach und es ist zum Beispiel ein Abschnitt (der auf der linken Seite befindliche Abschnitt bei der Darstel­ lung in Fig. 8) der Oberseite des Tabletts gegenüber der Oberfläche des Tablettständers 61 angehoben, wie es durch einen Pfeil 96 veranschaulicht ist. Als Ergebnis dessen ist das linke Ende der Oberseite des Tabletts auf einem höheren Niveau positioniert, als es normalerweise (das heißt bei fehlender Deformation) der Fall wäre. Dies ist durch einen Pfeil 97 veranschau­ licht. Der Sensor erfaßt demzufolge die Oberseite des Tabletts 12 früher als normal, so daß der Tablettständer 61 an einer Position angehalten wird, die tiefer liegt als die normale Anhalteposi­ tion.

In einem Fall, bei dem der Transportkopf 3C mit zwei oder mehr Aufnahmeköpfen ausgestattet ist, wie es bei den in den Fig. 5 und 6 gezeigten Handhabungseinrichtungen der Fall ist, kann somit die Situation auftreten, daß dann, wenn der Transportkopf durch die Lifteinrichtung um eine vorbestimmte Strecke (vorbestimmten Hub) nach unten bewegt wird, einige der Aufnahme­ köpfe (zum Beispiel der in Fig. 8 mit dem Bezugszeichen 91a bezeichnete Aufnahmekopf) die ICs nahezu normal aus dem Tablett 12 abgreifen können, jedoch manche andere Aufnahmeköpfe (zum Beispiel der in Fig. 8 mit dem Bezugszeichen 91b bezeichnete Aufnahmekopf) die in dem Tablett 12 befindlichen ICs nicht erfolgreich herausgreifen können. Dies stellt ein Problem dar. Aber auch in einem Fall, bei dem der Transportkopf 3C mit einem einzigen Aufnahmekopf ausgestattet ist, wie es bei der in Fig. 1 gezeigten Handhabungseinrichtung der Fall ist, kann sich die Situation ergeben, daß der Aufnahmekopf ICs, die in dem Tablett 12 in einer relativ hohen Lage angeordnet sind, aufnehmen kann, jedoch keine ICs herausgreifen kann, die bei relativ niedrigen Niveaus angeordnet sind, da der Abwärtshub des Transportkopfs 3C nicht ausreichend ist.

Wenn, wie vorstehend diskutiert, das Tablett 12 schräg auf dem Tablettständer angeordnet ist, ist der Spalt zwischen der Spitze des Transportkopfs und der oberseitigen Fläche des zu testenden ICs (genauer gesagt der oberen Fläche des IC-Gehäuses), das auf dem Tablett angeordnet ist, in Abhängigkeit von dem Ort, an dem der jeweilige IC auf dem Tablett angeord­ net ist, unterschiedlich, da der Hub der vertikalen Bewegungen des Transportkopfes jeweils konstant ist. Damit kann sich das Ergebnis einstellen, daß der Transportkopf einen IC, der auf einem relativ tief liegenden Niveau an dem Tablett angeordnet ist, manchmal nicht erfolgreich aufnehmen kann, da er den IC nicht erreicht.

Bei den Handhabungseinrichtungen, die in der in den Fig. 4 und 5 aufgebauten Weise konstruiert sind und bei denen eine Tablettgruppe 2A, die eine Anzahl von jeweils aufeinander gestapelten Tabletts 12 enthält, auf dem Tablettständer in dem Beschickungsabschnitt angeordnet wird und die ICs von dem obersten Tablett 12 durch den Transportkopf der einen Transport in den Richtungen X und Y bewirkenden Transportarmeinrichtung 3A, 3B aufgenommen werden, könnten sich dann, wenn bei jedem Tablett eine größere oder kleinere Deformation vorliegt, diese Höhendifferenzen aller Tabletts im schlimmsten Fall sogar kumulativ aufaddieren, so daß ein Tablett, daß in einer höheren Lage positioniert ist, sogar eine noch größere Schräge bzw. Neigung zeigen würde. Als Folge hiervon treten die vorstehend angegebenen Nachteile sogar noch stärker in Erscheinung.

Bei dem Versuch, die vorstehend angegebenen Nachteile zu überwinden, ist es bislang übliche Praxis gewesen, die Lifteinrichtung 24 um eine zusätzliche Strecke nach ihrem Anhalten bei einer vorgegebenen Position zu bewegen, um hierdurch den Tablettständer 61 noch weiter nach oben anzuheben, so daß der Transportkopf 3C alle auf dem Tablett 12 befindlichen, zu testen­ den ICs erreichen kann. Mit dieser Ausgestaltung ist es zwar möglich, daß der Transportkopf 3C alle auf dem Tablett 12 befindlichen, zu testenden ICs ergreifen kann. Es stellt sich dann jedoch der Nachteil ein, daß der Fall auftreten kann, daß zu testende ICs, die in einer relativ hohen Höhenlage auf dem Tablett 12 angeordnet sind, möglicherweise aufgrund einer Kollision mit dem Transportkopf beschädigt oder zerbrochen werden, oder daß möglicherweise ein weiterer, zu testender IC aufgrund der schockförmigen Belastung positionsmäßig unbeabsichtigt verschoben wird.

Aus diesem Grund ist bereits eine Handhabungseinrichtung bereitgestellt worden, bei der eine eine geringe Masse aufweisende IC-Saugfläche bzw. ein IC-Saugnapf an der Spitze des Aufnah­ mekopfs so angebracht ist, daß er begrenzte vertikale Bewegungen ausführen kann. Hierdurch lassen sich Unterschiede in dem Abstand zwischen der Anhalteposition des Aufnahmekopfs und der oberseitigen Oberfläche des ICs durch den in Vertikalrichtung beweglichen Hub des Saug­ napfes ausgleichen.

Wenn jedoch große Verformungen in dem oder den Tabletts 12 vorhanden sind, treten bei den in dem Tablett gehaltenen ICs recht häufig so starke, in Abhängigkeit von den Positionen der ICs in dem Tablett erzeugte Höhenunterschiede auf, daß diese durch die begrenzte variable Hubbewe­ gung des Aufnahmekopfes nicht kompensiert werden können. Darüber hinaus ergibt sich in dem Fall einer Tablettgruppe, die eine Anzahl von in Lagen gestapelten Tabletts enthält, eine kumulativ verstärkte Verkippung des obersten Tabletts, wie bereits vorstehend erläutert, so daß das Problem verbleibt, daß der Unterschied in der Höhenlage viel zu groß ist, um durch den begrenzten variablen Hub des Saugnapfes ausgeglichen werden zu können.

Im Hinblick auf diesen Sachverhalt ist weiterhin bereits vorgeschlagen worden, den Aufnahme­ kopf mit einem Abstandsmeßsensor auszustatten, durch den die Entfernung mit Hilfe einer Projektion eines Laserstrahls gemessen werden kann. Der Abstandsmeßsensor ist dazu ausge­ legt, den Abstand zwischen der oberseitigen Fläche des aufzunehmenden ICs und dem Aufnah­ mekopf zu ermitteln, um hierdurch eine Korrektur der Höhenlage des Aufnahmekopfes derart zu ermöglichen, daß der Abstand jeweils konstant gehalten wird. Hierdurch wird ermöglicht, daß der Aufnahmekopf die ICs stets mit einer konstanten Hubbewegung ansaugen kann.

Bei dieser Ausgestaltung ist jedoch der Einsatz von teueren Sensoren notwendig, was uner­ wünschterweise zu einer starken Zunahme der Gestehungskosten führt.

Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Gerät zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbauelementen zu schaffen, das auf einem Tablett befindliche Halblei­ terbauelemente selbst dann zuverlässig ergreifen und transportieren kann, wenn das Tablett deformiert oder verkippt sein sollte.

Diese Aufgabe wird mit den im Patentanspruch 1 genannten Merkmalen gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Erfindungsgemäß wird zur Lösung der vorstehend genannten Aufgabe somit ein Gerät zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbauelementen bereitgestellt, bei dem ein Transport­ kopf ein oder mehrere Halbleiterbauelemente aus einem mit einer Mehrzahl von Halbleiterbau­ elementen bestückten Tablett herausgreift und dieses bzw. diese zu einer gewünschten Position transportiert, wobei das Gerät enthält: eine Lagemeßeinrichtung zum Messen der Lage oder Stellung bzw. Ausrichtung des Tabletts; eine zur Berechnung einer Höhendifferenz dienende Berechnungseinrichtung, die zur Berechnung der Unterschiede zwischen den Niveaus der Mehrzahl der auf dem Tablett befindlichen Halbleiterbauelemente und einem Referenzhöhenwert auf der Grundlage der durch die Lagemeßeinrichtung ermittelten Lagewerte ausgelegt ist; eine Höhendifferenz-Speichereinrichtung zum Speichern der Höhendifferenzen, die zwischen den Niveaus der Halbleiterbauelemente und dem Referenzhöhenwert bestehen und durch die Berechnungseinrichtung berechnet worden sind; eine Einrichtung zum Auslesen der Höhendiffe­ renz eines bestimmten, durch den Transportkopf zu transportierenden Halbleiterbauelements, bezogen auf den Referenzhöhenwert, aus der Höhendifferenz-Speichereinrichtung, sobald das bestimmte Halbleiterbauelement identifiziert ist; und eine Höhendifferenz-Korrektureinrichtung zum Korrigieren des Niveaus bzw. der Höhenlage des identifizierten Halbleiterbauelements derart, daß seine Höhenlage gleich groß ist wie der Referenzhöhenwert; wobei die Korrektur auf der Grundlage der auf den Referenzhöhenwert bezogenen, aus der Höhendifferenz-Speichereinrich­ tung eingelesenen Lagedifferenz bzw. Höhendifferenz des Bauelements durchgeführt wird.

Das Tablett ist vorzugsweise auf einem in Vertikalrichtung beweglichen Tablettständer gehalten, und es ist die Höhendifferenz-Korrektureinrichtung derart ausgelegt, daß sie eine Lifteinrichtung zur Bewegung des Tablettständers in der Vertikalrichtung betätigt, um hierdurch die Höhenlage des identifizierten, auf dem Tablett befindlichen Halbleiterbauelements derart zu korrigieren, daß die Höhenlage mit dem Referenzhöhenwert übereinstimmt, wobei die Korrektur auf der Grund­ lage der Höhendifferenz erfolgt, die aus der Höhendifferenz-Speichereinrichtung ausgelesen und auf den Referenzhöhenwert bezogen ist.

Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel sind bei einer Tablettgruppe, die aus einer Anzahl von in vertikaler Richtung in Lagen aufeinander gestapelten Tabletts besteht, alle jeweiligen Tabletts, die eine Mehrzahl von Halbleiterbauelementen auf sich tragen, auf einem in vertikaler Richtung beweglichen Tablettständer gehalten. Der Transportkopf ist derart ausgelegt, daß er die auf dem obersten Tablett befindlichen Halbleiterbauelemente zu der gewünschten Position transportiert. Weiterhin ist die Höhendifferenz-Korrektureinrichtung hierbei derart ausgestaltet, daß sie eine Lifteinrichtung zum Bewegen des Tablettständers in Vertikalrichtung derart betätigt, daß die Höhenlage des identifizierten, auf dem obersten Tablett befindlichen Halbleiterbauele­ ments derart korrigiert wird, daß diese mit dem Referenzhöhenwert übereinstimmt, wobei die Korrektur auf der Grundlage der Höhendifferenz erfolgt, die aus der Höhendifferenz-Speicherein­ richtung ausgelesen ist und auf den Referenzhöhenwert bezogen ist.

Die Lagemeßeinrichtung weist vorzugsweise vier Sätze von optischen Sensoren auf, wobei jeder Satz ein lichtaussendendes Element und ein lichtempfangendes Element enthält, die an vorab ausgewählten Positionen derart angeordnet sind, daß sie die Höhenlage der zugeordneten Ecke von den vier Ecken des obersten Tabletts der auf dem Tablettständer befindlichen Tablettgruppe erfassen können.

Die Lagemeßeinrichtung ist dazu ausgelegt, während des Ablaufs der Bewegung des Tablett­ ständers durch die Lifteinrichtung, die zum Anheben der auf dem Tablettständer befindlichen Tablettgruppe dient, die Reihenfolge zu ermitteln, in der die vier Ecken des obersten Tabletts der Tablettgruppe die Lichtstrahlen unterbrechen, die von den lichtaussendenden Elementen der entsprechenden optischen Sensoren ausgesandt werden, und die Strecken zu ermitteln, die von dem Tablett bei seiner Aufwärtsbewegung zwischen der ersten Unterbrechung der Lichtstrahlen bis zu der zweiten Unterbrechung der Lichtstrahlen, von der zweiten Unterbrechung bis zu der dritten Unterbrechung, und von der dritten Unterbrechung bis der vierten Unterbrechung durchwandert werden.

Der Transportkopf ist vorzugsweise mit einem oder mehreren Aufnahmeköpfen ausgestattet, die derart ausgestaltet sind, daß sie die in dem Tablett befindlichen Halbleiterbauelemente für einen Transport anziehen oder ansaugen und ergreifen können. Der Aufnahmekopf weist weiterhin eine Ansaugfläche bzw. einen Ansaugnapf auf, der an dem unteren Bereich des Aufnahmekopfs angebracht ist und vertikale Bewegungen durchführen kann. Die Höhendifferenz-Korrekturein­ richtung ist derart ausgelegt, daß sie die Höhenlage des identifizierten, in bzw. auf dem Tablett angeordneten Halbleiterbauelements derart korrigieren kann, daß die Höhenlage mit dem Referenzhöhenwert übereinstimmt, wobei diese Korrektur auf der Grundlage der Höhendifferenz erfolgt, die aus der Höhendifferenz-Speichereinrichtung ausgelesen worden ist und auf den Referenzhöhenwert bezogen ist. Mit dieser Korrektur wird erreicht, daß das vordere Ende der Ansaugfläche mit der oberen Fläche des identifizierten Halbleiterbauelements in dem Tablett in Kontakt gelangt, wenn der Transportkopf um eine vorbestimmte Strecke zum Ergreifen des in dem Tablett befindlichen, identifizierten Halbleiterbauelements abgesenkt ist.

Alternativ kann die Höhendifferenz-Korrektureinrichtung auch derart ausgestaltet werden, daß sie die Höhenlage des identifizierten, in bzw. auf dem Tablett angeordneten Halbleiterbauelements derart korrigiert, daß die Höhenlage mit dem Referenzhöhenwert übereinstimmt, wobei diese Korrektur auf der Grundlage der Höhendifferenz, bezogen auf den Referenzhöhenwert erfolgt, der aus der Höhendifferenz-Speichereinrichtung ausgelesen worden ist, derart, daß das vordere Ende des Aufnahmekopfs in leichten Kontakt mit der oberen Fläche des identifizierten, auf dem Tablett befindlichen Halbleiterbauelement gelangt, wenn der Trägerkopf um die vorbestimmte Strecke zum Aufnehmen des identifizierten, auf dem Tablett befindlichen Halbleiterbauelements abgesenkt ist.

Bei einem abgeänderten Ausführungsbeispiel kann die Lagemeßeinrichtung drei Sätze von optischen Sensoren enthalten, wobei zwei der Sätze von optischen Sensoren lichtaussendende Elemente und lichtempfangende Elemente enthalten, die in vorab ausgewählten Positionen derart angeordnet sind, daß sie die Niveaus bzw. Höhenlagen von zwei einander diagonal gegenüberlie­ genden Ecken des Tabletts messen können. Der verbleibende Satz von optischen Sensoren enthält ein lichtaussendendes Element und ein lichtempfangendes Element, die in vorab ausge­ wählten Positionen derart angeordnet sind, daß sie die Höhenlage des Tabletts messen können, die sich bei einer Betrachtung in einer Richtung ergibt, die ungefähr durch die Mitte des Tabletts und im wesentlichen rechtwinklig zu den beiden einander gegenüberliegenden Seiten des Tabletts verläuft.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher beschrieben.

Fig. 1 zeigt eine schematische Seitenansicht, die teilweise im Querschnitt gezeigt ist und den Aufbau der hauptsächlichen Abschnitte eines Ausführungsbeispiels des in Überein­ stimmung mit der vorliegenden Erfindung stehenden Geräts zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbauelementen veranschaulicht;

Fig. 2 zeigt eine Draufsicht, in der ein Beispiel einer Lagemeßeinrichtung dargestellt ist, die bei dem in Fig. 1 gezeigten Gerät zum Transportieren und Handhaben von Halbleiter­ bauelementen eingesetzt ist;

Fig. 3 zeigt eine Draufsicht, in der ein Beispiel einer Steuereinrichtung dargestellt ist, die bei dem in Fig. 1 gezeigten Gerät zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbau­ elementen eingesetzt ist;

Fig. 4 zeigt eine Draufsicht, in der ein Beispiel eines herkömmlichen Geräts zum Transportie­ ren und Handhaben von Halbleiterbauelementen dargestellt ist, bei dem die vorliegen­ de Erfindung zweckmäßig eingesetzt werden kann;

Fig. 5 zeigt eine Draufsicht, in der ein weiteres Beispiel eines herkömmlichen Geräts zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbauelementen dargestellt ist, bei dem die vorliegende Erfindung gleichfalls vorteilhaft eingesetzt werden kann;

Fig. 6 zeigt eine schematische Darstellung in der Form eines Bewegungsablaufdiagramms, die ein weiteres Beispiel eines herkömmlichen Geräts zum Transportieren und Handha­ ben von Halbleiterbauelementen veranschaulicht, bei dem die vorliegende Erfindung vorteilhaft eingesetzt werden kann;

Fig. 7 zeigt eine schematische Seitenansicht, in der ein Beispiel eines herkömmlichen Systems zur Erfassung der Oberseite des Tabletts dargestellt ist; und

Fig. 8 zeigt eine schematische Seitenansicht des Tabletts zur Veranschaulichung der Probleme, die mit dem Einsatz des in Fig. 7 gezeigten Systems zur Erfassung der Tablettoberseite verknüpft sind.

In Fig. 2 ist eine Seitenansicht gezeigt, in der der Aufbau der hauptsächlichen Teile eines Ausführungsbeispiels des in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung stehenden Geräts zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbauelementen (Handhabungseinrichtung) dargestellt ist, wobei ein Teil im Schnitt gezeigt ist. Diese Ausgestaltung stellt eine Ausführungs­ form dar, bei der die vorliegende Erfindung bei einem Gerät zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbauelementen mit der in Fig. 4 gezeigten Ausgestaltungsform eingesetzt wird.

Eine Tablettgruppe, die aus einer Anzahl von in vertikaler Richtung in Lagen gestapelten Tabletts 12 besteht, ist auf einem Tabletträger bzw. Tablettständer 11 aufgebracht, der seinerseits durch eine Lifteinrichtung 15, die zum Beispiel eine Zahnstange 13 und ein Zahnrad 14 aufweist, so gelagert ist, daß sie in vertikaler Richtung beweglich ist. In einzelnen ist der Tablettständer 11 derart ausgestaltet, daß er um die einem Tablett entsprechende Höhe jedesmal dann angehoben wird, wenn das oberste Tablett 12 des auf dem Tablettständer 11 gehaltenen Tablettstapels abgenommen wird, was dann der Fall ist, wenn alle auf diesem Tablett befindlichen ICs herausgenommen worden sind. Hierdurch läßt sich erreichen, daß das oberste Tablett 12 der Tablettgruppe stets bei der festgelegten Position gehalten wird.

Oberhalb des Tablettständers 11 ist ein Trägerkopf bzw. Transportkopf 21 angeordnet, der dem Transportkopf 3C der in den Fig. 4 und 5 gezeigten Handhabungseinrichtung entspricht und in den Richtungen X und Y beweglich ist. Von der Oberseite des Transportkopfs 21 erstreckt sich ein Arm 21A, an dessen Unterseite ein Luftzylinder (luftbetätigter Zylinder) 19 befestigt ist. Der Luftzylinder 19 ist mit einer nicht gezeigten Druckluftquelle verbunden und enthält eine Kolben­ stange 19P, deren distales Ende bzw. äußeres Ende an der Oberseite einer Halterung 20 für einen Aufnahmekopf befestigt ist. Die Betätigung des Luftzylinders 19 kann daher über die Kolbenstange 19P eine Absenkung der Halterung 20 des Aufnahmekopfes um eine festgelegte Strecke bewirken.

An der Unterseite der Halterung 20 für den Aufnahmekopf ist bei diesem Beispiel ein Aufnahme­ kopf 16 angebracht. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel weist der Aufnahmekopf 16 eine Ausgestaltung auf, bei der ein Objekt mit Hilfe von Vakuum bzw. Unterdruck angesaugt und ergriffen wird. Es ist aber auch möglich, eine beliebige andere Form eines Aufnahmekopfes zu verwenden, bei dem andere Mittel als Unterdruck zum Heranziehen und Ergreifen eines Objekts eingesetzt werden. Die Halterung 20 für den Aufnahmekopf wird in der Richtung der Achse Z (Vertikalrichtung) bei einer Betätigung des Luftzylinders 19 in stabiler Weise vertikal bewegt, da ein Führungselement 20G vorhanden ist, das auf einer Seite der Halterung 20 verläuft und in gleitendem Eingriff mit einer sich in Vertikalrichtung erstreckenden, eine Führung entlang der Achse Z bewirkenden Führung 17 steht.

Eine Feder 18 ist zwischen der Unterseite des Arms 21A des Transportkopfs 21 einerseits und der Oberseite der Halterung 20 für den Aufnahmekopf andererseits angeordnet und mit diesen Komponenten verbunden, um hierdurch die Halterung 20 normalerweise nach oben vorzuspan­ nen. Wenn somit der Luftzylinder 19 deaktiviert wird, nachdem die Halterung 20 für den Aufnahmekopf um eine vorbestimmte Strecke aufgrund der Betätigung des Luftzylinders 19 abgesenkt worden ist derart, daß der Aufnahmekopf 16 mit der oberen Fläche eines zu testen­ den, in dem Tablett 12 befindlichen ICs in Eingriff treten und den IC herausgreifen kann, wird die Halterung 20 für den Aufnahmekopf somit aufgrund der von der Feder 18 ausgeübten Spannung bzw. Druckkraft in die ursprüngliche Position angehoben, so daß der IC, der durch den Aufnah­ mekopf 16 ergriffen worden ist, aus dem Tablett 12 herausgenommen werden kann.

An dem unteren Ende des Aufnahmekopfs 16 ist bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ein in vertikaler Richtung beweglicher Saugnapf bzw. eine Saugfläche 16A angebracht. Dieser Saugnapf kann aber auch weggelassen werden. Der Saugnapf 16A ist zum Beispiel aus Gummi oder aus Metall hergestellt und weist einen oberen Flanschabschnitt 16B auf, der in einem im wesentlichen zylindrischen Hohlraum 16C lose aufgenommen ist, der seinerseits in dem Aufnahmekopf 16 in der Nähe von dessen unterem Ende ausgebildet ist. Die vertikale Länge des Hohlraums 16C ist derart bemessen, daß das untere Ende des Saugnapfes 16A mit dem unteren Ende des Aufnahmekopfes 16 im wesentlichen fluchtet bzw. ausgerichtet ist, wenn der obere Flanschabschnitt 16B des Saugnapfes 16A an der oberen Wand des Hohlraums 16C anschlägt. Es ist daher ersichtlich, daß das untere Ende des Saugnapfes (bzw. Saugrohr) 16A normaler­ weise von dem unteren Ende des Aufnahmekopfs 16 vorsteht, da der Aufnahmekopf 16 aufgrund seines Eigengewichts absinkt, bis die Unterseite seines oberen Flanschabschnitts 16B mit der bodenseitigen Wand des Hohlraums 16C in Berührung gelangt. Der geringes Gewicht aufweisende Saugnapf 16A hängt somit nach unten lediglich aufgrund seines Eigengewichts herab.

Wenn der Saugnapf 16A einen zu testenden IC aufgrund der Einwirkung der auf den IC ausgeüb­ ten Saugkraft an sich heranzieht, nachdem ein Eingriff zwischen dem unteren Ende des Aufnah­ mekopfs 16 und der oberen Fläche des ICs erfolgt ist, wird der Saugnapf 16A aufgrund der Einwirkung der Saugkraft nach oben bewegt, bis der Flanschabschnitt an der oberen Wand des Hohlraums 16C anschlägt. Die Saugkraft wird hierbei durch eine nicht gezeigte Vakuumpum­ peneinrichtung bzw. Saugpumpeneinrichtung erzeugt. Der im Test befindliche IC wird somit mit dem unteren Ende des Aufnahmekopfs 16 in Berührung gebracht, während er durch Unterdruck angesaugt wird und durch den Saugnapf 16A ergriffen ist.

Der in den Richtungen X und Y bewegliche Transportkopf 21 wird in der Richtung X (rechtwinklig zu der Zeichnungsebene der Darstellung in Fig. 1) mit Hilfe einer Schraubenwelle oder einer Führungsschraube 22 (diese entspricht dem in den Fig. 4 und 5 gezeigten Transport­ arm 3A) bewegt. Mit dem Bezugszeichen 23 ist ein Führungsschaft bezeichnet, der dazu dient, eine Drehung des Transportkopfs 21 um den Schaft bzw. die Schraube 22 herum zu verhindern.

Wie bereits angegeben, stellt sich im Fall einer Tablettgruppe 2A, die eine Mehrzahl von schichtförmig auf dem Tablettständer 11 gestapelten Tabletts 12 enthält, dann, wenn in jedem Tablett eine Verformung vorhanden ist, der Effekt ein, daß das Tablett, das in höherer Lage positioniert ist, eine größere Neigung aufweist, da sich die Höhendifferenzen kumulativ aufsum­ mieren. Selbst dann, wenn Verformungen lediglich in nur einem einzigen oder mehreren Tabletts in den unteren oder mittleren Lagen vorhanden sind, ergibt sich eine erhebliche Verkippung des obersten Tabletts des Tabletts 2A. In Fig. 1 ist ein Beispiel gezeigt, bei dem die Tablettgruppe 2A auf dem Tablettständer 11 derart abgestützt ist, daß die rechte Seite der Tablettgruppe 2A insgesamt deutlich höher liegt als die linke Seite. Dies ist darauf zurückzuführen, daß die rechte Seite von allen Tabletts oder zumindest einer beträchtlichen Anzahl der Tabletts angehoben ist. In Fig. 1 ist mit dem Bezugszeichen 25 die horizontale Ebene bezeichnet, die durch den höchst­ gelegenen Teil des obersten Tabletts der Tablettgruppe 2A berührt wird.

In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung ist eine Lagemeßeinrichtung bzw. Haltungs- oder Stellungsmeßeinrichtung (Ausrichtungsmeßeinrichtung) 24 zum Messen der Lage des obersten Tabletts 12 der Tablettgruppe 2A vorgesehen. Die Niveaus bzw. Höhenlagen einer Mehrzahl von auf dem Tablett 12 angeordneten Halbleiterbauelementen werden mit einem Referenzpegel bzw. einer Referenzhöhenlage verglichen, um hierdurch die mit Bezug zu dem Referenzniveau vorhandenen Höhendifferenzen auf der Grundlage der durchgeführten Lagemes­ sungen zu berechnen. Die in dieser Weise berechneten Höhendifferenzen werden vorab in einer Speichereinrichtung gespeichert. Anschließend wird die Höhenlage eines bestimmten Halbleiter­ bauelements, das auf dem Tablett 12 vorhanden ist und herausgenommen werden soll, derart korrigiert, daß sie dem Referenzniveau entspricht, wozu der Tablettstapel 11 auf der Grundlage der gespeicherten Höhendifferenz nach oben oder nach unten bewegt wird.

In Fig. 2 ist ein Beispiel der Lagemeßeinrichtung dargestellt. Bei diesem Beispiel weist die Lagemeßeinrichtung 24 vier Sätze von optischen Sensoren 24A bis 24D auf, wobei jeder Satz ein lichtaussendendes Element T und ein lichtempfangendes Element R enthält, die in der horizontalen Ebene 25 (siehe Fig. 1) angeordnet sind, die durch den höchsten Teil des obersten Tabletts 12 der Tablettgruppe 2A berührt wird. Die Sätze sind daher im Stande, die Höhenlage der jeweils zugeordneten Ecke aus den vier Ecken des obersten Tabletts 12 zu ermitteln.

Während des Ablaufs der Bewegung des Tablettständers 11 durch die Lifteinrichtung 15 und die hierdurch bewirkte Anhebung der auf dem Tablettständer 11 befindlichen Tablettgruppe 2A erfaßt die in der vorstehend beschriebenen Weise aufgebaute Lagemeßeinrichtung die Reihen­ folge, in der die vier Ecken des Tabletts 12 die Lichtstrahlen OP, die von den lichtaussendenden Elementen T der entsprechenden optischen Sensoren 24A bis 24D ausgesandt werden, unter­ brechen, und ermittelt weiterhin die Strecken, die das Tablett während seiner Aufwärtsbewe­ gung ausgehend von der ersten Unterbrechung der Lichtstrahlen bis zu der zweiten Unterbre­ chung, von der zweiten bis zu der dritten Unterbrechung, und von der dritten bis zu der vierten Unterbrechung, durchwandert hat.

Wie vorstehend angegeben, weist jeder optische Sensor 24A bis 24D jeweils das lichtaussen­ dende Element T und das lichtempfangende Element R auf, die derart angeordnet sind, daß die von dem zugehörigen lichtaussendenden Element T ausgesandten Lichtstrahlen OP quer zu der entsprechenden Ecke des obersten Tabletts 12 und entlang der in Fig. 1 gezeigten horizontalen Ebene 12 verlaufen und von dem zugehörigen lichtempfangenden Element R empfangen werden. Wenn das Tablett 12 bei dieser Ausgestaltung allmählich nach oben bewegt wird, unterbricht die höchste Ecke des Tabletts 12 dann, wenn es verkippt sein sollte, den von dem ersten entspre­ chenden optischen Sensor gebildeten Lichtstrahl OP. Anschließend unterbricht die zweithöchste Ecke des Tabletts 12 den von dem zweiten, zugehörigen optischen Sensor gebildeten Lichtstrahl OP, usw. Auf diese Weise ist es möglich, die Orientierung der Verkippung des Tabletts 12 dadurch in Erfahrung zu bringen, daß die Reihenfolge ermittelt wird, mit der die Lichtunterbre­ chungen auftreten. Darüber hinaus lassen sich die zwischen den vier Ecken vorhandenen Höhendifferenzen dadurch in Erfahrung bringen, daß die Strecken ermittelt werden, die das Tablett zwischen den aufeinanderfolgenden Lichtunterbrechungen jeweils nach oben gewandert ist.

Die Strecken, um die das Tablett zwischen den aufeinanderfolgenden Lichtunterbrechungen jeweils nach oben gewandert ist, lassen sich dadurch ermitteln, daß die Zahnstange 14, die einen Teil der Lifteinrichtung 15 bildet, zum Beispiel durch einen Schrittmotor angesteuert wird und daß die Anzahl von an den Schrittmotor angelegten Impulsen gezählt wird.

Indem die zwischen den vier Ecken des Tabletts vorhandenen Höhendifferenzen gemessen werden, ist es möglich, die niveaumäßigen Unterschieden zwischen den oberen Oberflächen der in dem Tablett 12 aufgenommenen ICs zu berechnen (zum Beispiel die Unterschiede zwischen den Höhenlagen der oberen Fläche des höchstgelegenen ICs und den oberen Flächen der anderen ICs in dem Tablett 12). Die in dieser Weise berechneten, zwischen den ICs vorhandenen Höhendifferenzen werden in einer Speichereinrichtung (vorab) gespeichert. Während des aktuellen Transport von ICs wird zu einem Zeitpunkt, zu dem ein bestimmter, zu testender IC, den der Aufnahmekopf 16 gerade herausgreifen möchte, identifiziert wird, die Höhendifferenz der oberen Oberfläche des identifizierten, zu testenden ICs aus der Speichereinrichtung ausgele­ sen, und es wird das oberste Tablett 12 durch Steuerung der Lifteinrichtung 15 in Abhängigkeit von der jeweils ausgelesenen Höhendifferenz nach oben oder nach unten bewegt, um hierdurch die Position des Tabletts solange zu korrigieren, bis die Entfernung zwischen der Höhenlage der oberen Oberfläche des ICs, den der Aufnahmekopf 16 gerade herausgreifen möchte, und dem Aufnahmekopf 16 selbst gleich groß wird wie ein vorab festgelegter, konstanter Abstand.

Fig. 3 zeigt den Schaltungsaufbau bei einer Ausführungsform einer Steuereinrichtung zum Berechnen der Unterschiede zwischen den Höhenlagen der oberen Oberflächen einer Mehrzahl von in dem Tablett 12 befindlichen ICs und einem Referenzhöhenwert, wobei die Berechnung auf der Grundlage der von der Lagemeßeinrichtung ermittelten Lagewerte erfolgt. Weiterhin dient die Steuereinrichtung zum Steuern des Abstands zwischen der Höhenlage des zu testenden ICs und dem Aufnahmekopf 16, indem der Tablettständer 11 in vertikaler Richtung in Abhängigkeit von den berechneten Höhendifferenzen derart bewegt wird, daß der Abstand gleich groß wird wie der vorab festgelegte, konstante Abstand.

Die Steuereinrichtung 26 kann zum Beispiel einen Mikrocomputer aufweisen. Wie dem Fachmann bekannt ist, weist der Mikrocomputer eine zentrale Verarbeitungseinheit bzw. Zentraleinheit (CPU) 27, einen Festwertspeicher (ROM) 28, der ein Programm zum Betreiben der zentralen Verarbeitungseinheit (CPU) 27 in einer vorbestimmten Sequenz speichert, einen beschreibbaren und lesbaren Direktzugriffsspeicher (RAM) 29 zum zeitweiligen Speichern von extern zugeführten Daten, einen Eingabeanschluß 30, an den die Erfassungssignale angelegt werden, die von den lichtempfangenden Elementen R der vier Sätze von optischen Sensoren 24A bis 24D der Lagemeßeinrichtung 24 angelegt werden, und einen Ausgabeanschluß 31 für die Ausgabe von Steuersignalen auf.

Die Steuersignale, die an dem Ausgabeanschluß 31 abgegeben werden, sind Impulssignale, die an einen Schrittmotor 32 für den Antrieb der Lifteinrichtung 15 angelegt werden. Diese Impuls­ signale werden ebenfalls an die Steuereinrichtung 26 angelegt und dienen zur Ermittlung der Strecken, um die das oberste Tablett jeweils nach oben gewandert ist.

Im folgenden wird die Arbeitsweise der Steuereinrichtung 26 beschrieben.

Wenn das oberste Tablett 12 der Tablettgruppe 2A auf dem Tablettständer 11 geleert worden ist und zu der anderen Station (Zwischenspeicherabschnitt) transportiert worden ist, wird die Liftsteuereinrichtung 28A (diese ist durch ein bereits vorab iri dem Festwertspeicher 28 gespei­ chertes Programm gebildet), die in dem Direktzugriffsspeicher 28 enthalten ist, aktiviert, um hierbei den Schrittmotor 32 über den Ausgabeanschluß 31 mit Impulssignalen zu speisen. Der Schrittmotor 32 wird hierdurch derart betrieben, daß die Lifteinrichtung 15 so betätigt wird, daß sie den Tablettständer 11 und folglich die Tablettgruppe 2A anhebt. Während dieser nach oben gerichteten Bewegung der Tablettgruppe 2A werden die von der Lagemeßeinrichtung 24 erzeugten Erfassungssignale überwacht.

Zunächst wird die Lifteinrichtung 15 derart betätigt, daß die Tablettgruppe 2A angehoben wird, bis ein Erfassungssignal, das von irgendeinem der optischen Sensoren 24A bis 24D erzeugt wird, an den Eingabeanschluß 30 angelegt wird. Die Lifteinrichtung 15 wird weiterhin betätigt, um hierdurch die Tablettgruppe 2A weiter anzuheben, bis ein Erfassungssignal, das von einem zweiten optischen Sensor stammt, an den Eingabeanschluß 30 angelegt wird, woraufhin die Anzahl der Impulse, die ab dem Zeitpunkt, zu dem das erste Erfassungssignal angelegt wurde, bis zu dem Zeitpunkt, zu dem das zweite Erfassungssignal eingespeist wurde, in dem Direktzu­ griffsspeicher 29 gespeichert wird. Die Lifteinrichtung 15 wird in gleichartiger Weiße weiterhin betätigt, um hierdurch die Tablettgruppe 2A anzuheben, bis ein von einem dritten optischen Sensor erzeugtes Erfassungssignal an den Eingabeanschluß 30 angelegt wird, woraufhin die Anzahl der Impulse, die ab dem Zeitpunkt, zu dem das zweite Erfassungssignal erzeugt wurde, bis zu dem Zeitpunkt, zu dem das dritte Erfassungssignal eingegeben wurde, in dem Direktzu­ griffsspeicher 29 gespeichert wird. Wenn ein von dem letzten (vierten) optischen Sensor erzeugtes Erfassungssignal an den Eingabeanschluß 30 angelegt wird, wird die Anzahl der Impulse, die ab dem Zeitpunkt, zu dem das dritte Erfassungssignal angelegt wurde, bis zu dem Zeitpunkt, zu dem das vierte Erfassungssignal angelegt wurde, erzeugt wurden, in dem Direktzu­ griffsspeicher 29 gespeichert.

Sobald alle Erfassungssignale, die von den vier Sätzen von optischen Sensoren 24A bis 24D erzeugt wurden, an die Steuereinrichtung 26 angelegt worden sind, wird die Zuführung von Impulsen zu dem Schrittmotor 32 beendet, woraufhin die Lifteinrichtung 15 angehalten wird und die Aufwärtsbewegung der Tablettgruppe 2A eingestellt wird.

Nachfolgend berechnet die Höhendifferenz-Berechnungseinrichtung 28B, die in dem Festwert­ speicher 28 enthalten ist, die Höhendifferenzen, die zwischen den oberen Oberflächen der auf dem Tablett 12 befindlichen ICs vorhanden sind, in Abhängigkeit von den Daten, die an den Eingabeanschluß 30 zwischen der Einleitung und der Beendigung der Aufwärtsbewegung des obersten Tabletts 12 angelegt wurden. Die Berechnung kann zum Beispiel auf der Grundlage der Höhenunterschiede zwischen den Ecken des Tabletts 12 und den Abständen zwischen den jeweils zu testenden ICs und der höchsten Ecke durchgeführt werden. Alternativ hierzu können die zwischen den oberen Oberflächen der ICs vorhandenen Höhendifferenzen auch dadurch berechnet werden, daß ein imaginäres Tablett mit dreidimensionalen Koordinaten (X, Y und Z) auf der Basis der vorstehend angegebenen Anzahl von Impulsen, die durch bzw. zwischen den von den vier Sätzen von optischen Sensor 24A bis 24D abgegebenen Erfassungssignalen erzeugt wurden, gezeichnet wird, dann ein Referenzpunkt zum Beispiel mit den Koordinaten an der Höhenlage derjenigen Ecke des Tabletts, die als erstes durch den optischen Sensor erfaßt wurde, festgelegt wird, und schließlich der in der. Richtung der Achse Z (vertikale Achse) vorhandene, entfernungsmäßige Unterschied zwischen dem Referenzpunkt und dem Punkt mit den Koordinaten eines zu testenden ICs berechnet wird, der durch den Aufnahmekopf 16 zu ergreifen ist.

Die Höhendifferenzen, die zwischen den oberen Oberflächen der ICs vorhanden sind und durch die Höhendifferenz-Berechnungseinrichtung 28B berechnet worden sind, werden in der Höhendif­ ferenz-Speichereinrichtung 29A, die in dem Direktzugriffsspeicher 29 enthalten ist, (vorab) gespeichert. Während des aktuellen Transports von zu testenden ICs aus dem Tablett heraus, wird dann, wenn ein bestimmter, zu testender IC identifiziert ist, den der Aufnahmekopf 16 gerade herausgreifen will, die Höhendifferenz-Korrektureinrichtung 28C, die in dem Festwert­ speicher 28 enthalten ist, aktiviert, so daß die Höhendifferenz bezüglich der oberseitigen Oberfläche des identifizierten ICs, der durch den Aufnahmekopf 16 aufzunehmen ist, aus der Höhendifferenz-Speichereinrichtung 29A ausgelesen wird, die Anzahl von Impulsen, die zum Korrigieren der ausgelesenen Höhendifferenz erforderlich sind, berechnet wird, und die berechne­ ten Impulse bzw. die berechnete Anzahl von Impulsen über den Ausgabeanschluß 31 an den Schrittmotor 32 angelegt wird. Die Lifteinrichtung 15 wird somit derart aktiviert, daß sie den Tablettständer 11 in vertikaler Richtung um eine Strecke bewegt, die der Anzahl von Impulsen entspricht, wodurch die Höhenlage des auf dem Tablettständer 11 befindlichen Tabletts 12 korrigiert wird.

Durch diese Korrektur wird der Abstand, der zwischen dem vorderen Ende des Aufnahmekopfes 16 und der oberen Fläche desjenigen ICs, der den Aufnahmekopf 16 gerade herausgreifen will, vorhanden ist, auf einen Wert gebracht, der gleich groß ist wie der voreingestellte konstante Wert (Referenzwert). Es ist somit ersichtlich, daß die Anhalteposition des Tablettständers 11 so gesteuert werden kann, daß das vordere Ende des Saugnapfes 16A, der an dem unteren Ende des Aufnahmekopfes 16 angebracht ist, durch die nach unten gerichtete Bewegung des Aufnahmekopfes 16 um eine vorbestimmte Strecke in sanfte Berührung mit demjenigen IC gebracht werden kann, den der Saugnapf gerade herausgreifen soll.

Es ist anzumerken, daß auch andere Verfahren als das vorstehend beschriebene Verfahren zum Herausgreifen eines zu testenden ICs mit Hilfe des Saugnapfes 16A, bei dem lediglich der Saugnapf mit der oberen Fläche des ICs, der herausgegriffen werden soll, in leichten Kontakt gebracht wird, vorhanden sind. Es gibt nämlich eine Vielzahl von Verfahren zum Herausgreifen eines zu testenden ICs mit Hilfe des Aufnahmekopfes 16, beispielsweise ein Verfahren, bei dem ein zu testender IC mit Hilfe des Aufnahmekopfes 16 herausgegriffen wird, in dem der Aufnah­ mekopf 16 mit der oberen Fläche des ICs in leichte Berührung gebracht wird, oder ein Verfahren, bei dem ein zu testender IC mit Hilfe des Aufnahmekopfs 16 dadurch herausgegriffen wird, daß der Aufnahmekopf 16 auf die obere Fläche des ICs gedrückt wird. Bei dem zuletzt genannten Verfahren muß das Ausmaß des Andrückens des Aufnahmekopfes 16 nach unten exakt gesteuert werden, da eine übermäßige Andruckstärke den zu testenden IC beschädigen würde.

Bei dem vorstehend erläuterten Ausführungsbeispiel ist angegeben, daß die Lagemeßeinrichtung 24 vier Sätze von optischen Sensoren 24A bis 24D aufweist. Die Lagemeßeinrichtung 24 kann aber auch drei Sätze von optischen Sensoren aufweisen, wobei sich auch dann eine zufrieden­ stellende Funktion der Messung der Lage bzw. Ausrichtung des Tabletts ergibt. In diesem Fall sind vorzugsweise zwei Sätze von optischen Sensoren so angeordnet, daß sie die Höhenlage von zwei einander diagonal gegenüberliegenden Ecken des Tabletts messen können, wohingegen der verbleibende eine Satz derart angeordnet ist, daß er die Höhenlage des Tabletts an einer Stelle messen kann, die sich bei Betrachtung in einer Richtung ergibt, die ungefähr durch die Mitte des Tabletts und im wesentlichen rechtwinklig zu den beiden einander gegenüberliegenden Seiten des Tabletts verläuft.

Bei den vorstehenden Ausführungen ist die Erfindung unter Bezugnahme auf einen Fall beschrie­ ben, bei dem optische Sensoren eingesetzt werden, die nach dem Transmissionsprinzip bzw. in Form von durchgehenden Lichtschranken arbeiten. Es ist aber auch möglich, die Lage bzw. Ausrichtung des Tabletts 12 unter Verwendung von optischen Sensoren des mit Reflexion arbeitenden Typs zu messen, bei denen Lichtstrahlen auf die Ecken des Tabletts 12 derart projiziert werden, daß die von den Ecken reflektierten Lichtstrahlen zum Messen der Abstände bzw. Strecken oder Entfernungen gemessen werden. Ferner ist es auch möglich, die Lage bzw. Ausrichtung des Tabletts mit Hilfe von arithmetischen Verknüpfungen selbst dann zu messen, wenn die optischen Sensoren nicht zwingend in einer einzigen Ebene angeordnet sind.

Bei den vorstehenden Ausführungen ist ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung in Verbindung mit einem Fall beschrieben, bei dem die Messung der Höhe bezüglich des obersten Tabletts 12 des Tablettstapels 2A durchgeführt wird, der auf dem Tablettständer 11 gehalten ist, wie es bei den in den Fig. 4 und 5 gezeigten Handhabungseinrichtungen der Fall ist. Für den Fachmann ist ersichtlich, daß die vorliegende Erfindung unter Erzielung der gleichen funktionellen Vorteile auch bei einem Fall eingesetzt werden kann, bei dem ein einziges Tablett 12 auf einem Tablettständer 11 angeordnet ist, wie es bei der in Fig. 6 gezeigten Handhabungseinrichtung der Fall ist.

Das vorstehend beschriebene Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung kommt bei einer Handhabungseinrichtung zum Transportieren und Handhaben von ICs zum Einsatz. Es versteht sich aber, daß die vorliegende Erfindung in gleichartiger Weise und unter Erzielung der gleichen funktionellen Vorteile auch bei Handhabungseinrichtungen einsetzbar ist, die zum Transportieren und Handhaben von anderen Halbleiterbauelementen als ICs ausgelegt sind, sofern jeweils die Bedingung erfüllt ist, daß die Handhabungseinrichtungen eine Ausgestaltung aufweisen, bei denen die Halbleiterbauelemente aus einem Tablett mit Hilfe eines Transportkopfs herausge­ nommen werden.

Ferner ist das vorstehend erläuterte Ausführungsbeispiel unter Bezugnahme auf einen Fall beschrieben, bei dem die vorliegende Erfindung zum Transportieren von Halbleiterbauelementen aus einem Tablett 12 in dem Beschickungsabschnitt eingesetzt wird. Es versteht sich, daß die vorliegende Erfindung nicht auf ihre Verwendung in dem Beschickungsabschnitt beschränkt ist, sondern unter Erzielung der gleichen funktionellen Vorteile auch zum Herausnehmen von Halbleiterbauelementen aus beliebigen Tabletts, die gegenüber einer Verformung anfällig sind, eingesetzt werden kann.

Wie vorstehend erläutert, stellt die vorliegende Erfindung bei einem Gerät zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbauelementen, bei dem ein Transportkopf Halbleiterbauelemente aus einem auf einem Tablettständer angeordneten Tablett herausgreift und transportiert, selbst in einem Fall, bei dem die Lage des Tabletts aufgrund von Verformungen und/oder Verzerrungen bzw. Verwerfungen verkippt ist, eine Korrektur irgendwelcher, aufgrund der Verkippung auftretender Höhendifferenzen, die zwischen den oberen Flächen der auf dem Tablett befindli­ chen Halbleiterbauelemente vorhanden sind, sowie eine Korrektur der Entfernung zwischen dem vorderen Ende des Transportkopfs und den oberen Oberflächen der Halbleiterbauelemente derart, daß diese Entfernung stets bei einem konstanten Wert gehalten wird, bereit. Hierdurch wird bei einer nach unten gerichteten Bewegung des Transportkopfs um eine konstante Strecke sicherge­ stellt, daß das vordere Ende des Transportkopfs stets an einer solchen Position angehalten wird, daß der Transportkopf ein Halbleiterbauelement, das an beliebiger Stelle auf dem Tablett angeordnet ist, zuverlässig ergreifen kann, ohne daß ein übermäßiger Druck auf das Bauelement oder das Gerät ausgeübt wird.

Mit der vorliegenden Erfindung wird somit vorteilhafterweise ein Gerät zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbauelementen geschaffen, daß sich durch hohe Zuverlässigkeit auszeichnet und sowohl Störungen aufgrund einer Unfähigkeit des Transportkopfs, Halbleiter­ bauelemente, die an gewissen Positionen auf dem Tablett angeordnet sind, zu ergreifen, als auch Unglücksfälle wie etwa Beschädigungen und Brüche vermeiden kann, die bei den Halbleiterbau­ elementen aufgrund einer Kollision mit dem Transportkopf auftreten könnten.

Claims (11)

1. Gerät zum Transportieren und Handhaben von Halbleiterbauelementen, bei dem ein Transportkopf (16) ein oder mehrere Halbleiterbauelemente aus einem Tablett (12), das mit einer Vielzahl von Halbleiterbauelementen bestückt ist, herausgreift und das oder die Halbleiterbau­ elemente zu einer gewünschten Position transportiert, mit
einer Lagemeßeinrichtung (24) zum Messen der Lage des Tabletts (12),
einer Höhendifferenz-Berechnungseinrichtung (28B) zum Berechnen der Unterschiede zwischen den Höhenlagen der Mehrzahl von auf dem Tablett (12) befindlichen Halbleiterbauele­ menten und einem Referenzhöhenwert, wobei die Berechnung auf der Grundlage der von der Lagemeßeinrichtung (24) ermittelten Lagewerte erfolgt,
einer Höhendifferenz-Speichereinrichtung (29A) zum Speichern der Höhendifferenzen, die von der Höhendifferenz-Berechnungseinrichtung (28B) berechnet wurden und zwischen den Höhenlagen der Halbleiterbauelemente und dem Referenzhöhenwert vorhanden sind,
einer Einrichtung (27) zum Auslesen der auf den Referenzhöhenwert bezogenen Höhendifferenz eines bestimmten, durch den Transportkopf (16) zu transportierenden Halbleiter­ bauelements aus der Höhendifferenz-Speichereinrichtung (29A) sobald das bestimmte Halbleiter­ bauelement identifiziert worden ist, und
einer Höhendifferenz-Korrektureinrichtung (28C) zum Korrigieren der Höhenlage des identifizierten Halbleiterbauelements derart, daß sie gleich groß ist wie der Referenzhöhenwert, wobei die Korrektur auf der Grundlage der auf den Referenzhöhenwert bezogenen und aus der Höhendifferenz-Speichereinrichtung (29A) ausgelesenen Höhendifferenz des Halbleiterbauele­ ments erfolgt.

2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Tablett (12) auf einem vertikal beweglichen Tablettständer (11) gehalten ist, daß die Höhendifferenz-Korrektureinrich­ tung (28C) derart ausgestaltet ist, daß eine zur Bewegung des Tablettständers (11) in vertikaler Richtung vorgesehene Lifteinrichtung (15) derart betätigt wird, daß die Höhenlage des identifi­ zierten, auf dem Tablett (12) befindlichen Halbleiterbauelements so korrigiert wird, daß sie mit dem Referenzhöhenwert übereinstimmt, wobei die Korrektur auf der Grundlage der auf den Referenzhöhenwert bezogenen und aus der Höhendifferenz-Speichereinrichtung (29A) ausgele­ senen Höhendifferenz erfolgt.

3. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Tablettgruppe (2A), die aus einer Mehrzahl von vertikal aufeinander in Lagen gestapelten Tabletts (12) besteht, auf einem in vertikaler Richtung beweglichen Tablettständer (11) gehalten ist, daß jedes Tablett eine Mehrzahl von Halbleiterbauelementen trägt, daß der Transportkopf (16) für den Transport der auf dem obersten Tablett befindlichen Halbleiterbauelemente zu einer gewünschten Position ausgelegt ist, und daß die Höhendifferenz-Korrektureinrichtung (28C) derart ausgelegt ist, daß sie eine für die Bewegung des Tablettständers (11) in vertikaler Richtung vorgesehene Liftein­ richtung (15) derart betätigt, daß die Höhenlage des identifizierten, auf dem obersten Tablett befindlichen Halbleiterbauelements so korrigiert wird, daß sie mit dem Referenzhöhenwert übereinstimmt, wobei die Korrektur auf der Grundlage der auf den Referenzhöhenwert bezoge­ nen und aus der Höhendifferenz-Speichereinrichtung (29A) ausgelesenen Höhendifferenz erfolgt.

4. Gerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagemeßeinrichtung (24) vier Sätze von optischen Sensoren (24A bis 24D) aufweist, wobei jeder Satz ein lichtaussendendes Element und ein lichtempfangendes Element umfaßt, die in vorab ausgewählten Positionen derart angeordnet sind, daß sie die Höhenlage jeweils einer zugeordneten der vier Ecken des Tabletts (12) erfassen können.

5. Gerät nach Anspruch 4 in Verbindung mit Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Sensoren (24A bis 24D) so angeordnet sind, daß sie die Höhenlagen der vier Ecken des obersten Tabletts (12) der auf dem Tablettständer (11) befindlichen Tablettgruppe (2A) erfassen können.

6. Gerät nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagemeßeinrich­ tung (24) derart ausgelegt ist, daß sie während der Bewegung des Tablettständers (11) mittels der Lifteinrichtung (15) zum Anheben des oder der auf dem Tablettständer (11) befindlichen Tabletts (12) die Reihenfolge erfassen, in der die vier Ecken des Tabletts (12) die von den lichtaussendenden Elementen der entsprechenden optischen Sensoren ausgesandten Lichtstrah­ len unterbrechen, und die Strecken ermitteln, die von dem Tablett (12) bei seiner Aufwärtsbe­ wegung zwischen der ersten Lichtstrahlunterbrechung bis zur zweiten Lichtstrahlunterbrechung, zwischen der zweiten Lichtstrahlunterbrechung und der dritten Lichtstrahlunterbrechung, sowie zwischen der dritten Lichtstrahlunterbrechung und der vierten Lichtstrahlunterbrechung durchlau­ fen werden.

7. Gerät nach Anspruch 6 in Verbindung mit Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagemeßeinrichtung (24) dazu ausgelegt ist, die Reihenfolge zu ermitteln, in der die vier Ecken des obersten Tabletts (12) der Tablettgruppe (2A) die jeweiligen, von den lichtaussenden­ den Elementen der entsprechenden optischen Sensoren ausgesandten Lichtstrahlen unterbre­ chen.

8. Gerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Transportkopf (16) mit einem oder mehreren Aufnahmeköpfen ausgestattet ist, die jeweils zum Anziehen und Ergreifen der in dem Tablett befindlichen Halbleiterbauelemente für deren Trans­ port ausgelegt sind.

9. Gerät nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Aufnahmekopf eine Saugeinrichtung (16A) aufweist, die an dem unteren Bereich des Aufnahmekopfs angeordnet ist und in vertikaler Richtung beweglich ist, daß die Höhendifferenz-Korrektureinrichtung (28C) derart ausgelegt ist, daß sie die Höhenlage des identifizierten, in dem Tablett angeordneten Halbleiterbauelements derart korrigiert, daß sie mit dem Referenzhöhenwert übereinstimmt, wobei die Korrektur auf der Grundlage der auf den Referenzhöhenwert bezogenen und aus der Höhendifferenz-Speichereinrichtung (29A) ausgelesenen Höhendifferenz erfolgt, derart, daß das vordere Ende der Saugeinrichtung (16A) mit der oberen Fläche des identifizierten, in dem Tablett befindlichen Halbleiterbauelements in Berührung gelangt, wenn der Transportkopf (16) zum Herausgreifen des identifizierten, in dem Tablett befindlichen Halbleiterbauelements um eine vorbestimmte Strecke abgesenkt wird.

10. Gerät nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Höhendifferenz-Korrek­ tureinrichtung (28C) derart ausgelegt ist, daß sie die Höhenlage des identifizierten, in dem Tablett (12) befindlichen Halbleiterbauelements derart korrigiert, daß diese mit dem Referenzhö­ henwert übereinstimmt, wobei die Korrektur auf der Grundlage der auf den Referenzhöhenwert bezogenen und aus der Höhendifferenz-Speichereinrichtung ausgelesenen Höhendifferenz so erfolgt, daß das vordere Ende des Aufnahmekopfs in leichte Berührung mit der oberen Fläche des identifizierten, in dem Tablett befindlichen Halbleiterbauelements gelangt, wenn der Transportkopf (16) zum Herausgreifen des identifizierten, in dem Tablett befindlichen Halbleiter­ bauelements um eine vorbestimmte Strecke abgesenkt wird.

11. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Lage­ meßeinrichtung (24) drei Sätze von optischen Sensoren aufweist, wobei zwei dieser optischen Sensorsätze lichtaussendende Elemente und lichtempfangende Elemente enthalten, die in vorab ausgewählten Positionen derart angeordnet sind, daß sie die Höhenlagen von zwei einander diagonal gegenüberliegenden Ecken des Tabletts (12) messen können, während der verbleibende eine Satz ein lichtaussendendes Element und ein lichtempfangendes Element enthält, die in vorab ausgewählten Positionen derart angeordnet sind, daß sie die Höhenlage des Tabletts an einer Stelle messen können, die sich bei einer Betrachtung in einer ungefähr durch die Mitte des Tabletts (12) sowie im wesentlichen rechtwinklig zu den beiden einander gegenüberliegenden Seiten des Tabletts (12) verlaufenden Richtung ergibt.