KR100946334B1 - 테스트 트레이, 트레이 식별 장치 및 이를 포함하는 테스트핸들러 - Google Patents

테스트 트레이, 트레이 식별 장치 및 이를 포함하는 테스트핸들러 Download PDF

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Abstract

테스트 트레이, 트레이 식별 장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러가 개시된다. 개시된 테스트 트레이는 프레임 내부에 복수개의 반도체 소자들을 수납하며, 아이디 정보를 제공하기 위하여 프레임의 가장 자리에 적어도 하나의 관통홀을 갖는 아이디 블록을 구비한다. 개시된 트레이 식별 장치는 테스트 트레이의 아이디를 식별하기 위하여 아이디 블록의 관통홀을 기준으로 서로 반대편에 위치하여 광을 조사하는 적어도 하나의 발광부 및 발광부로부터 광을 수용하는 적어도 하나의 수광부를 구비하며, 발광부 및 수광부를 이용하여 관통홀의 위치 정보를 획득한다. 따라서, 트레이 식별 장치의 발광부 및 수광부가 테스트 트레이의 관통홀 및 이송 경로를 기준으로 반대편에 각각 위치함으로써, 테스트 트레이의 이송을 간섭하지 않으면서 트레이의 아이디 정보를 식별할 수 있다.

Description

테스트 트레이, 트레이 식별 장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러{TEST TRAY, APPARATUS OF DISCRIMINATING A TEST TRAY AND TEST HANDLER HAVING THE SAME}
본 발명은 테스트 트레이, 트레이 식별 장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이동하는 테스트 트레이의 아이디를 식별하기 위한 테스트 트레이, 트레이 식별 장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 및 상기 반도체 소자들을 하나의 기판 상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨(Module IC)들은 제조 공정을 수행하는 동안 여러 가지 테스트 과정을 거친 후 출하된다. 예를 들어, 테스트 핸들러는 상기 패키징된 반도체 소자들 및 상기 모듈 아이씨들을 자동으로 외부의 테스터와 전기적으로 접속하여 테스트를 수용하고, 상기 테스트 완료된 반도체 소자들을 테스트 결과에 따라 분류하는데 사용된다.
상기 테스트 핸들러는 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트뿐만 아니라, 밀폐된 챔버 내에서 전열 히터, 액화 질소 분사 시스템 등을 통하여 고온 및 저온 의 극한의 환경을 조성하여 상기 반도체 소자들 및 상기 모듈 아이씨 등이 상기 극한 온도 조건에서 정상적인 기능을 수행할 수 있는 지 여부를 테스트한다.
상기 테스트 핸들러는 상기 반도체 소자들을 내열성을 갖는 테스트 트레이(test tray) 상에 수납시킨다. 그리고, 상기 테스트 트레이를 챔버 내로 투입하여 상기 반도체 소자들을 소정의 온도 상태로 가열 또는 냉각시키고, 테스트 헤드에 전기적으로 접속시켜 상기 반도체 소자들을 테스트한다.
이 때, 상기 테스트 핸들러의 테스트 트레이는 하나의 핸들러에서만 사용되는 것이 아니라 복수개의 핸들러들에서 공통으로 사용된다. 따라서, 테스트 핸들러에서는 각각의 테스트 트레이에 대한 정보, 예를 들어 고유 번호(ID Number) 등을 인식할 필요가 있다.
도 1a 및 도 1b는 종래의 테스트 핸들러의 트레이 식별 장치를 설명하기 위한 도면들이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 테스트 트레이(10)의 아이디를 식별하기 위한 센서(20)는 테스트 트레이(10)의 측면(12)에 부착된 아이디 태그(도시되지 않음) 또는 아이디 홀(도시되지 않음)을 식별하여 테스트 트레이(10)에 대한 정보를 획득한다. 이 때, 센서(20)는 테스트 트레이(10)의 측면(12)에 부착된 아이디 태그 등을 향하여 광을 조사하고 상기 아이디 태그 등으로부터 광의 반사 여부를 통하여 테스트 트레이(10)에 관한 아이디 정보 등을 획득한다.
이 때, 상기 아이디 태그 등에 이물질이 묻을 경우에는 센서(20)가 상기 아이디 태그 등으로부터 테스트 트레이(10)의 아이디 정보 등을 정확하게 인식하지 못하는 문제점이 발생한다. 또한, 테스트 트레이(10)의 위치에 따라 센서 감도가 저하되는 등의 문제점이 발생할 수 있다.
본 발명의 일 목적은 아이디 정보를 제공하기 위한 관통홀을 갖는 아이디 블록을 구비한 테스트 트레이를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 상기 테스트 트레이의 아이디를 식별하기 위한 트레이 식별 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 상기 테스트 트레이 및 상기 트레이 식별 장치를 구비한 테스트 핸들러는 제공하는데 있다.
상술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예들에 따른 테스트 트레이는 프레임 내부에 복수개의 반도체 소자들을 수납하며, 아이디 정보를 제공하기 위하여 상기 프레임의 가장 자리에 적어도 하나의 관통홀을 갖는 아이디 블록을 구비한다.
예를 들어, 상기 관통홀은 상기 테스트 트레이의 아이디 블록에 상기 프레임의 전면과 후면을 관통하여 형성될 수 있다. 이와 달리, 상기 관통홀은 상기 테스트 트레이의 아이디 블록에 상기 프레임의 전면 또는 후면과 측면을 대각선 방향으로 관통하여 형성될 수 있다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예들에 따른 트레이 식별 장치는 테스트 트레이의 아이디를 식별한다. 상기 테스트 트레이는 프레임 내부에 복수개의 반도체 소자들을 수납하며, 아이디 정보를 제공하기 위하여 상기 프레임의 가장 자리에 적어도 하나의 관통홀을 갖는 아이디 블록을 구비한 테스트 트레이를 구비한다. 상기 트레이 식별 장치는 상기 테스트 트레이의 아이디를 식별하기 위하여 상기 아이디 블록의 관통홀을 기준으로 서로 반대편에 위치하여 광을 조사하는 적어도 하나의 발광부 및 상기 발광부로부터 광을 수용하는 적어도 하나의 수광부를 구비한다. 이에 트레이 식별 장치는 상기 발광부 및 상기 수광부를 이용하여 상기 관통홀의 위치 정보를 획득한다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 트레이 식별 장치는 상기 발광부로부터 조사된 광이 상기 관통홀을 통하여 상기 수광부로 전달되는지 여부를 기준으로 테스트 트레이의 아이디 정보를 획득한다.
상술한 본 발명의 또 다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예들에 따른 테스트 핸들러는 예열 챔버, 트레이 이송부, 트레이 식별부 및 테스트 챔버를 포함한다. 상기 예열 챔버는 외부로부터 이송된 복수개의 반도체 소자들을 일정 온도로 가열한다. 상기 트레이 이송부는 테스트 트레이를 상기 예열 챔버 내에서 수직으로 세워진 상태로 이송시킨다. 이 때, 상기 테스트 트레이는 프레임 내부에 상기 반도체 소자들을 수납하며, 아이디 정보를 제공하기 위하여 상기 프레임의 가장 자리에 적어도 하나의 관통홀을 갖는 아이디 블록을 구비한다. 상기 트레이 식별부는 상기 테스트 트레이의 아이디를 식별하기 위하여 상기 테스트 트레이의 관통홀을 기준으로 서로 반대편에 위치하여 광을 조사하는 적어도 하나의 발광부 및 상기 발광부로부터 광을 수용하는 적어도 하나의 수광부를 구비한다. 이에 상기 트레이 식별부는 상기 발광부 및 상기 수광부를 이용하여 상기 관통홀의 위치 정보를 획득 할 수 있다. 상기 테스트 챔버는 상기 아이디가 식별되어 이동된 상기 테스트 트레이에 실장된 상기 반도체 소자들을 테스트하기 위한 공간을 제공한다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 관통홀은 상기 테스트 트레이의 아이디 블록에 상기 프레임의 전면 또는 후면과 측면을 대각선 방향으로 관통하여 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 트레이 이송부는 제1 이송부 및 제2 이송부를 포함한다. 상기 제1 이송부는 상기 트레이의 전면에 대하여 수직하는 방향으로 연장하는 제1 이송 경로를 갖는다. 상기 제2 이송부는 상기 제1 이송 경로에 대하여 수직하는 제2 이송 경로를 갖는다. 이 때, 상기 발광부 및 상기 수광부는 상기 제1 이송 경로와 상기 제2 이송 경로가 교차하는 지점으로 이송된 트레이의 관통홀을 통하여 서로 마주하도록 배치될 수 있다.
상술한 본 발명의 또 다른 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 다른 실시예들에 따른 테스트 핸들러는 테스트 챔버, 소팅 챔버, 트레이 이송부 및 트레이 식별부를 포함한다. 상기 테스트 챔버는 외부로부터 이송된 복수개의 반도체 소자들을 테스트하기 위한 공간을 제공한다. 상기 소팅 챔버는 상기 반도체 소자들을 테스트 결과에 따라 분류한다. 상기 트레이 이송부는 상기 테스트 트레이를 상기 소팅 챔버 내에서 수평으로 누운 상태로 이송시킨다. 이 때, 상기 테스트 트레이는 프레임 내부에 상기 반도체 소자들을 수납하며, 아이디 정보를 제공하기 위하여 상기 프레임의 가장 자리에 적어도 하나의 관통홀을 갖는 아이디 블록을 구비한다. 상기 트레이 식별부는 상기 테스트 트레이의 아이디를 식별하기 위하여 상기 테스트 트레 이의 관통홀을 기준으로 서로 반대편에 위치하여 광을 조사하는 적어도 하나의 발광부 및 상기 발광부로부터 광을 수용하는 적어도 하나의 수광부를 구비한다. 이에 상기 트레이 식별부는 상기 발광부 및 상기 수광부를 이용하여 상기 관통홀의 위치 정보를 획득할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 관통홀은 상기 테스트 트레이의 아이디 블록에 상기 프레임의 전면과 후면을 관통하여 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 발광부 및 상기 수광부는 상기 수평으로 누운 상태로 이동하는 상기 테스트 트레이의 상하에 각각 배치될 수 있다.
본 발명에 따르면, 테스트 트레이는 적어도 하나의 관통홀을 갖는 아이디 블록을 구비하고, 트레이 식별 장치는 관통홀을 기준으로 반대편에 각각 위치하여 테스트 트레이의 이송 경로를 간섭 또는 방해하지 않는다. 따라서, 트레이 식별 장치는 테스트 트레이의 이송을 간섭하지 않으면서 테스트 트레이의 아이디를 효율적으로 식별할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한 다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않 는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 테스트 핸들러를 설명하기 위한 구성도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 테스트 핸들러(100)는 패키지 공정이 완료된 반도체 소자들을 외부의 테스터(도시되지 않음)에 전기적으로 접속시켜 상기 반도체 소자들을 테스트하고, 테스트 완료된 반도체 소자들을 분류한다.
이에 테스트 핸들러(100)는 로더부(110), 로딩부(140), 예열 챔버(150), 테스트 챔버(160), 제열 챔버(170), 소팅 챔버(180), 언로더부(120)를 포함하고, 상기 반도체 소자들이 순차적으로 상기 부재, 챔버 등에서 각각 이동하여 테스트되며, 테스트 결과에 따라 분류된다.
로더부(110)가 테스트 핸들러(100)의 전방부에 배치된다. 테스트할 반도체 소자들이 수납된 커스터머 트레이들(도시되지 않음)이 로더부(110)에 적재된다.
언로더부(120)가 로더부(110)의 일측에 배치된다. 테스트 완료된 반도체 소자들을 테스트 결과에 따라 분류되어 수납된 커스터머 트레이들(도시되지 않음)이 언로더부(120)에 적재된다.
피커(130)가 로더부(110) 및 언로더부(120)의 일측에 배치된다. 예를 들어, 피커(130)는 로더부(110)의 일단으로부터 언로더부(120)의 타단으로 이동 가능하도록 배치될 수 있다. 또한, 피커(130)는 테스트 핸들러(100)의 전방부로부터 후방부로 이동 가능하도록 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 피커(130)는 로더부(110)로부터 상기 반도체 소자들을 로딩부(140)로 전달한다. 예를 들어, 피커(130)는 반도체 소자들을 진공 흡착하여 이송할 수 있다. 이 때, 피커(130)는 상기 반도체 소자들 사이의 간격을 일정 간격만큼 변경하여 이송시킬 수 있다. 구체적으로, 상기 커스터머 트레이와 테스트 트레이(200)의 크기 차이, 반도체 소자들을 수용하는 캐리어(C) 사이의 간격, 후술할 테스트 소켓들의 크기, 간격 등에 대응하여, 피커(130)는 반도체 소자들 간의 피치를 탄력적으로 변경하여 상기 커스터머 트레이로부터 테스트 트레이(200)로 이송시킬 수 있다. 예를 들어, 피커(130)는 캠 방식, 캠 플레이트 방식 등을 사용하여 반도체 소자들 사이의 간격을 변경하여 전달할 수 있다.
로딩부(140)가 로더부(110)의 일측에 배치된다. 로딩부(140)는 로더부(110)로부터 반도체 소자들을 전달받는다. 앞에서 언급한 바와 같이, 피커(130)가 로더부(110)의 커스터머 트레이로부터 로딩부(140)의 테스트 트레이(200)로 반도체 소자들을 진공 흡착하여 이송시킨다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 로딩부(140)는 테스트 트레이(200)를 수평 상태에서 수직 상태로 직립시키는 제1 로테이터(142)를 포함한다. 예를 들어, 제1 로테이터(142)는 테스트 트레이(200)를 90도만큼 회전 가능하도록 구비된다. 따라서, 제1 로테이터(142)는 테스트 트레이(200)를 수직 상태로 회전시켜 예열 챔버(150)로 전달한다.
로딩부(140)로부터 전달된 테스트 트레이(200)는 예열 챔버(150) 내에서 수직으로 세워진 상태로 한 단계씩 이송한다. 이 때, 테스트 트레이(200)에 수납된 상기 반도체 소자들은 예열 챔버(150)에서 일정 온도만큼 가열된다. 예를 들어, 제 1 이송부(도시되지 않음)가 테스트 트레이(200)의 전면, 즉, 예열 챔버(150)의 후방부 방향으로 테스트 트레이(200)를 한 단계씩 단계적으로 이송시킨다. 여기서, 테스트 트레이(200)가 이송하는 경로가 제1 이송 경로에 대응된다. 테스트 트레이(200)가 예열 챔버(150)의 끝단까지 이송된 경우, 제2 이송부(도시되지 않음)가 테스트 트레이(200)를 상기 제1 이송 경로와 수직한 제2 이송 경로로 이송시킨다. 이 때, 상기 제2 이송 경로는 상기 제1 이송 경로가 끝나는 지점으로부터 예열 챔버(150)의 일측에 배치된 테스트 챔버(160)의 방향이 될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 제1 트레이 식별부(300)가 상기 제1 이송 경로와 상기 제2 이송 경로가 교차하는 지점에 배치된다. 예를 들어, 제1 트레이 식별부(300)는 테스트 트레이(200)가 예열 챔버(150)에서 테스트 챔버(160)의 방향으로 이송 경로를 변경하는 지점에 위치하며, 테스트 트레이(200)의 이송 경로를 방해하지 않는 지점에 배치될 수 있다. 따라서, 제1 트레이 식별부(300)는 테스트 트레이(200)의 이송 경로를 간섭하지 않으면서, 테스트 트레이(200)의 아이디를 효율적으로 식별할 수 있다.
테스트 챔버(160)는 예열 챔버(150)를 통하여 일정 온도로 가열된 테스트 트레이(200)의 상기 반도체 소자들을 외부의 테스터(도시되지 않음)와 결합된 테스트 소켓(도시되지 않음)에 전기적으로 접속하여 테스트를 수행하기 위한 공간을 제공한다.
테스트 챔버(160)는 상기 테스트 소켓과 반도체 소자들이 전기적으로 효율적인 접속을 위한 테스트 보드, 예컨대 하이픽스(hifix) 보드(162)를 구비할 수 있 다. 또한, 테스트 챔버(160)는 반도체 소자들을 수납한 테스트 트레이(200)를 하이픽스 보드(162)로 가압하여 접속시키기 위한 콘택터(164)를 더 구비할 수 있다.
테스트 챔버(160)에서 테스트 완료된 반도체 소자들을 수납한 테스트 트레이(200)는 제열 챔버(170)내에서 수직한 상태로 테스트 핸들러(100)의 전방으로 한단계씩 이송시킨다. 이 때, 제열 챔버(170) 내에서 반도체 소자들을 상온 상태로 회복될 수 있다.
소팅 챔버(180)는 테스트 완료된 반도체 소자들을 테스트 결과에 따라 분류한다.
소팅 챔버(180)는 수직 상태로 이송된 수평 상태로 회전시키기 위한 제2 로테이터(182)를 더 포함할 수 있다. 제2 로테이터(182)는 제열 챔버(170)를 통해 수직 상태로 전달된 테스트 트레이(200)를 수평 상태로 회전시켜 소팅 챔버(180) 내부로 반입시킨다. 즉, 제2 로테이터(182)는 테스트 트레이(200)를 90도 만큼 회전시킨 후, 소팅 챔버(180)로 전달한다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 제2 트레이 식별부(400)가 소팅 챔버(180)로 전달된 테스트 트레이(200)의 아이디를 식별한다. 이 때, 제2 트레이 식별부(400)는 소팅 챔버(180)의 내부에서 수평한 상태로 이동하는 테스트 트레이(200)의 이송 경로를 간섭하지 않으면서 테스트 트레이(200)의 아이디를 식별한다. 예를 들어, 제2 트레이 식별부(400)는 테스트 트레이(200)의 이송 경로의 상부 및/또는 하부에 배치되어 테스트 트레이(200)의 아이디를 식별할 수 있다.
별도의 제어부(도시되지 않음)가 제1 트레이 식별부(300)와 제2 트레이 식별 부(400)가 각각 식별한 테스트 트레이(200)의 아이디 정보를 이용하여 해당 아이디를 가진 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들의 테스트 결과를 판단한다.
테스트 결과에 따라, 소팅 유닛(184)이 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들을 분류한다. 이 때, 소팅 유닛(184)은 반도체 소자들을 정상, 불량의 두 가지로 분류할 수 있다. 이와 달리, 반도체 소자들을 정상, 불량, 미측정의 세 가지로 분류할 수도 있을 것이다. 상기 분류 기준, 분류 종류 등은 사용자의 요구에 따라 다양하게 변경될 수 있을 것이다.
피커(130)가 소팅된 반도체 소자들을 언로더부(120)의 커스터머 트레이들로 전달한다. 본 발명의 실시예들에 있어서, 피커(130)는 로더부(110)에서 로딩부(140)로 상기 반도체 소자들을 전달하는 경우와 반대로 상기 반도체 소자들의 간격을 변경하여 상기 커스터머 트레이들로 반도체 소자들을 전달할 수 있다. 이에 반도체 소자들에 대한 테스트 공정이 완료될 수 있다.
도 3은 도 2의 테스트 트레이를 구체적으로 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 테스트 트레이(200)는 프레임 내부에 복수개의 반도체 소자들을 수납한다. 따라서, 테스트 트레이(200)는 반도체 소자들을 개별적으로 수납하기 위한 캐리어(C)를 구비할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 테스트 트레이(200)는 아이디 정보를 제공하기 위한 아이디 블록(210)을 구비한다. 이 때, 아이디 블록(210)은 테스트 트레이(200)의 상기 프레임의 가장 자리에 형성된 적어도 하나의 관통홀을 가질 수 있다. 예를 들어, 아이디 블록(210)이 다섯 개의 홀들로 이루어지는 경우, 상기 홀들 의 관통 여부 또는 막힘 여부를 이용한 2 진수로 테스트 트레이(200)의 고유 아이디를 나타낼 수 있다. 이와 달리, 아이디 블록(210)은 다섯 개 이상 또는 이하의 홀(들)을 이용하여 테스트 트레이(200)의 아이디를 나타낼 수 있다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 아이디 블록(210)은 테스트 트레이(200)의 프레임에 각각 형성된 제1 관통홀(220)과 제2 관통홀(230)을 갖는다. 여기서, 제1 관통홀(220)과 제2 관통홀(230)은 상기 프레임에서의 관통 방법에 차이가 있으나, 테스트 트레이(200)에 대하여 동일한 아이디를 나타낸다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 제1 관통홀(220)은 테스트 트레이(200)의 프레임의 전면(240) 또는 후면(250)과 측면(260)을 대각선 방향으로 관통하여 형성된다. 예를 들어, 제1 관통홀(220)은 상기 프레임의 측면(260)과 후면(250)을 관통하여 형성된다. 이와 달리, 제1 관통홀(220)은 상기 프레임의 측면(260)과 전면(240)을 관통하여 형성될 수도 있다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 제2 관통홀(230)은 테스트 트레이(200)의 프레임의 전면(240)과 후면(250)을 관통하여 형성된다.
한편, 제1 관통홀(220)과 제2 관통홀(230)은 테스트 트레이(200)의 동일한 아이디를 표시하기 위하여 공통적으로 관통되는 면이 있을 수 있다.
이와 같이, 테스트 트레이(200)는 태그 형상이 아닌 관통홀 형상으로 이루어진 아이디 블록(210)을 구비함으로써, 제1 및 제2 관통홀들(220, 230)에 이물질이 삽입되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 아이디 블록(210)의 제1 관통홀(220) 및 제2 관통홀(230)은 테스트 트레이(200)의 아이디를 영구적 또는 반영구적으로 유지 할 수 있다. 이에 테스트 트레이(200)의 아이디 블록(210)에 이물질이 존재하는 것을 방지하여, 테스트 트레이(200)의 아이디를 식별하기 용이해진다.
도 4는 도 2의 제1 트레이 식별부를 구체적으로 도시한 구성도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 테스트 트레이(200)는 예열 챔버(150) 내에서 수직으로 세워진 상태로 한 단계씩 이송한다. 이 때, 테스트 트레이(200)는 전면(240)에 대하여 수직한 방향인 제1 이송 경로(Ⅰ)를 따라 단계적으로 이동한다. 그리고, 테스트 트레이(200)가 예열 챔버(150)의 끝단까지 이송된 후, 테스트 트레이(200)는 제1 이송 경로(Ⅰ)와 수직한 제2 이송 경로(Ⅱ) 방향으로 이송 방향을 변경하여 이동한다. 이 때, 제2 이송 경로(Ⅱ)는 예열 챔버(150)로부터 예열 챔버(150)의 일측에 배치된 테스트 챔버(160)의 방향이 될 수 있다.
도시되지는 않았지만, 예열 챔버(150) 내에서 테스트 트레이(200)를 이송시키기 위한 트레이 이송부가 배치된다. 또한, 상기 트레이 이송부는 테스트 트레이(200)를 제1 이송 경로(Ⅰ)로 이송시키는 제1 이송부 및 테스트 트레이(200)를 제2 이송 경로(Ⅱ)로 이송시키는 제2 이송부를 포함할 수 있다.
앞에서 언급한 바와 같이, 테스트 트레이(200)는 아이디 정보를 제공하기 위하여 프레임의 가장 자리에 형성된 제1 관통홀(220)을 갖는다. 예를 들어, 제1 관통홀(220)은 테스트 트레이(200)의 프레임의 전면(240) 또는 후면(250)과 측면(260)을 대각선 방향으로 관통하여 형성될 수 있다. 본 발명의 실시예들에 있어서, 제1 관통홀(220)은 테스트 트레이(200)의 프레임의 전면(240)과 측면(260)을 대각선 방향으로 관통하여 형성된다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 제1 트레이 식별부(300)는 테스트 트레이(200)의 아이디를 식별하기 위한 제1 발광부(310) 및 제1 수광부(320)를 포함한다. 여기서, 제1 발광부(310)가 제1 관통홀(220)을 통하여 광을 조사하고, 제1 수광부(320)가 제1 관통홀(220)을 통하여 조사된 광을 수용한다. 따라서, 제1 발광부(310)로부터 조사된 광이 아이디 블록(210)의 제1 관통홀(220)을 통하여 제1 수광부(320)로 전달되는지 여부를 기준으로 테스트 트레이(200)의 아이디 정보를 획득할 수 있다.
구체적으로, 아이디 블록(210)에서 제1 관통홀(220)과 관통되지 않은 부분이 교대로 배치되고, 제1 관통홀(220)과 관통되지 않은 부분이 총 5개인 경우, 제1 발광부(310)들로부터의 광은 제1 관통홀(220)을 통과한 광만이 제1 수광부(320)로 수용된다. 따라서, 제1 수광부(320)는 제1 관통홀(220)을 통하여 광을 교대로 수용한다. 이에 테스트 트레이(200)의 아이디 정보는 '10101' 또는 '01010'으로 인식될 수 있다. 여기서, 제1 수광부(230)로 광이 수용된 경우, '0' 또는 '1'로의 인식 여부는 사전에 설정된 기준에 따를 수 있다.
특히, 제1 발광부(310) 및 제1 수광부(320)는 제1 관통홀(220)을 기준으로 서로 반대편에 적어도 하나가 배치된다. 본 발명의 실시예들에 있어서, 제1 발광부(310) 및 제1 수광부(320)는 테스트 트레이(200)의 제1 이송 경로(Ⅰ)와 제2 이송 경로(Ⅱ)가 교차하는 지점에 배치된다. 즉, 제1 발광부(310) 및 제1 수광부(320)는 예열 챔버(150)의 끝단에 제1 관통홀(220)을 기준으로 서로 반대편에 각각 배치된다. 따라서, 제1 발광부(310) 및 제1 수광부(320)는 테스트 트레이(200) 가 테스트 챔버(160) 방향으로 90도 꺽이는 지점에 제1 관통홀(220)을 기준으로 직각으로 배치된다.
따라서, 제1 트레이 식별부(300)가 예열 챔버(150) 내에 테스트 트레이(200)가 이송 경로를 변경하는 지점에 배치됨으로써, 테스트 트레이(200)의 이송 경로를 간섭하지 않고 테스트 트레이(200)의 아이디 정보를 식별할 수 있다. 이와 같이, 테스트 트레이(200)의 간단한 구조 변경 및 제1 트레이 식별부(300)의 효율적인 설계 변경을 통하여, 테스트 트레이(200)의 이송 경로를 방해하지 않고 테스트 트레이(200)의 아이디 정보를 식별할 수 있다. 이에 반도체 소자들의 테스트 공정의 시간을 단축시키고 비용을 절감하여 전체적인 공정 효율 및 수율을 향상시킬 수 있다.
도 5는 도 2의 제2 트레이 식별부를 구체적으로 도시한 구성도이다.
도 3 및 도 5를 참조하면, 소팅 챔버(180) 내에서 테스트 챔버(160)에서 테스트 완료된 반도체 소자들이 테스트 결과에 따라 분류된다. 이에 테스트 트레이(200)를 소팅 챔버(180) 내에서 일 방향으로 이동시켜 테스트 트레이(200)에 수납된 반도체 소자들을 분류한다.
한편, 소팅 챔버(180)에 배치된 제2 로테이터(182)는 제열 챔버(170)에서 수직 상태로 전달된 테스트 트레이(200)를 수평 상태로 회전시킨다. 즉, 제2 로테이터(182)는 제열 챔버(170)를 통해 수직 상태로 이송된 테스트 트레이(200)를 수평 상태로 회전시켜 소팅 챔버(180) 내부로 반입시킨다. 그리고, 테스트 트레이(200)는 수평된 상태로 소팅 챔버(180) 내에서 제3 이송 경로(Ⅲ)로 이송된다.
이 때, 상기 테스트 완료된 반도체 소자들이 수납된 테스트 트레이(200)의 정보를 획득하기 위하여 테스트 트레이(200)의 아이디를 식별한다. 이는 제1 트레이 식별부(300)에서 식별된 테스트 트레이(200)의 아이디 정보와 테스트 챔버(160)에서 테스트 완료된 반도체 소자들을 수납한 테스트 트레이(200)의 아이디 정보를 서로 비교하여 반도체 소자들을 테스트 결과에 따라 분류하기 위해서이다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 테스트 트레이(200)는 아이디 정보를 제공하기 위하여 프레임의 가장 자리에 형성된 제2 관통홀(230)을 갖는다. 예를 들어, 제2 관통홀(230)은 테스트 트레이(200)의 프레임의 전면(240)과 후면(250)을 관통하여 형성된다. 즉, 제2 관통홀(230)은 테스트 트레이(200)의 프레임 가장 자리에 상하로 관통되어 형성된다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 제2 트레이 식별부(400)가 소팅 챔버(180)에서 이동하는 테스트 트레이(200)의 아이디를 식별한다.
예를 들어, 제2 트레이 식별부(400)는 제2 발광부(410) 및 제2 수광부(420)를 포함한다. 여기서, 제2 발광부(410)가 제2 관통홀(230)을 통하여 광을 조사하고, 제2 수광부(420)가 제2 관통홀(230)을 통하여 조사된 광을 수용한다. 따라서, 제2 발광부(410)로부터 조사된 광이 아이디 블록(210)의 제2 관통홀(230)을 통하여 제2 수광부(420)로 전달되는지 여부를 기준으로 테스트 트레이(200)의 아이디 정보를 획득할 수 있다. 제2 트레이 식별부(400)의 테스트 트레이(200)의 아이디 식별 방법은 제1 트레이 식별부(300)의 아이디 식별 방법과 실질적으로 동일하다.
한편, 제2 발광부(410) 및 제2 수광부(420)가 제2 관통홀(230)을 기준으로 반대편에 각각 배치된다. 본 발명의 실시예들에 있어서, 제2 발광부(410) 및 제2 수광부(420)는 수평한 상태로 이동하는 테스트 트레이(200)의 제3 이송 경로(Ⅲ)를 간섭하지 않도록 위치한다. 예를 들어, 제2 발광부(410) 및 제2 수광부(420)는 수평으로 누운 상태로 이동하는 테스트 트레이(200)의 상하에 각각 배치된다.
따라서, 제2 트레이 식별부(400)가 소팅 챔버(180) 내에 테스트 트레이(200)가 제3 이송 경로(Ⅲ)를 간섭하지 않으면서 효율적으로 테스트 트레이(200)의 아이디 정보를 식별할 수 있다. 이와 같이, 테스트 트레이(200)의 간단한 구조 변경 및 제2 트레이 식별부(400)의 효율적인 설계 변경을 통하여 테스트 공정의 시간을 단축시키고 비용을 절감하여 전체적인 공정 효율 및 수율을 향상시킬 수 있다.
테스트 트레이는 프레임의 가장 자리에 형성된 관통홀을 갖는 아이디 블록을 포함하고, 트레이 식별부는 관통홀을 기준으로 서로 반대편에 각각 위치한 발광부 및 수광부를 포함한다. 이 때, 트레이 식별부는 테스트 트레이의 이송 경로를 제외한 영역에 배치되며, 테스트 트레이의 이송 경로를 방해하지 않으면서 테스트 트레이의 아이디 정보를 식별할 수 있다. 따라서, 테스트 트레이 및 트레이 식별부의 간단한 구조 변경, 설계 배치의 변경 등을 통하여 테스트 트레이의 이송 경로를 강제적으로 조절하지 않고 테스트 트레이의 아이디 정보를 효율적으로 식별할 수 있다. 이에 반도체 소자들을 테스트하기 위한 전체적인 테스트 공정 시간을 단축시키고 비용을 절감하여 전체적인 공정 효율 및 수율을 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1a 및 도 1b는 종래의 테스트 핸들러의 트레이 식별 장치를 설명하기 위한 도면들이다.
도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 테스트 핸들러를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 2의 테스트 트레이를 구체적으로 도시한 도면이다.
도 4는 도 2의 제1 트레이 식별부를 구체적으로 도시한 구성도이다.
도 5는 도 2의 제2 트레이 식별부를 구체적으로 도시한 구성도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 테스트 핸들러 200 : 테스트 트레이
210 : 아이디 블록 220: 제1 관통홀
230 : 제2 관통홀 300 : 제1 트레이 식별부
310 : 제1 발광부 320 : 제2 발광부
400 : 제2 트레이 식별부 410 : 제2 발광부
420 : 제2 수광부

Claims (11)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 프레임 내부에 복수개의 반도체 소자들을 수납하며, 아이디 정보를 제공하기 위하여 다수의 인접한 위치들 중 적어도 하나의 위치에 관통홀이 형성된 아이디 블록을 상기 프레임의 가장 자리에 구비한 테스트 트레이를 구비한 테스트 핸들러에 있어서,
    상기 아이디 블록에서 상기 관통홀의 형성이 가능한 위치들을 기준으로 서로 반대편에 위치하여 상기 위치들 각각에 광을 조사하는 다수의 발광부들 및 상기 발광부들 각각으로부터 광을 수용하는 다수의 수광부들을 구비하며, 상기 발광부들 각각으로부터 상기 위치들 각각으로 조사된 광이 상기 관통홀의 형성 여부에 따라 상기 수광부들 각각으로 전달되는지 여부를 2진수법으로 환산하여 상기 테스트 트레이의 아이디 정보를 식별하는 트레이 식별 장치.
  5. 삭제
  6. 외부로부터 이송된 복수개의 반도체 소자들을 일정 온도로 가열하기 위한 예열 챔버;
    프레임 내부에 상기 반도체 소자들을 수납하며, 아이디 정보를 제공하기 위하여 인접한 다수의 위치들 중 적어도 하나의 위치에 관통홀이 형성된 아이디 블록을 상기 프레임의 가장 자리에 구비한 테스트 트레이를 상기 예열 챔버 내에서 수직으로 세워진 상태로 이송시키는 트레이 이송부;
    상기 관통홀의 형성이 가능한 위치들을 기준으로 서로 반대편에 위치하여 상기 위치들 각각에 광을 조사하는 다수의 발광부들 및 상기 발광부들 각각으로부터 광을 수용하는 다수의 수광부들을 구비하며, 상기 발광부들 각각으로부터 상기 위치들 각각으로 조사된 광이 상기 관통홀의 형성 여부에 따라 상기 수광부들 각각으로 전달되는지 여부를 2진수법으로 환산하여 상기 테스트 트레이의 아이디 정보를 식별하는 트레이 식별부; 및
    상기 아이디가 식별되어 이동된 상기 테스트 트레이에 실장된 상기 반도체 소자들을 테스트하기 위한 공간을 제공하는 테스트 챔버를 포함하는 테스트 핸들러.
  7. 제6항에 있어서, 상기 관통홀은 상기 테스트 트레이의 아이디 블록에 상기 프레임의 전면 또는 후면과 측면을 대각선 방향으로 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  8. 제6항에 있어서, 상기 트레이 이송부는
    상기 트레이의 전면에 대하여 수직하는 방향으로 연장하는 제1 이송 경로를 갖는 제1 이송부; 및
    상기 제1 이송 경로에 대하여 수직하는 제2 이송 경로를 갖는 제2 이송부를 포함하고,
    상기 발광부들 각각 및 상기 수광부들 각각은 상기 제1 이송 경로와 상기 제2 이송 경로가 교차하는 지점으로 이송된 트레이에서 상기 관통홀의 형성이 가능한 위치들 각각을 서로 마주하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  9. 외부로부터 이송된 복수개의 반도체 소자들을 테스트하기 위한 공간을 제공하는 테스트 챔버;
    상기 반도체 소자들을 테스트 결과에 따라 분류하기 위한 소팅 챔버;
    프레임 내부에 상기 반도체 소자들을 수납하며, 아이디 정보를 제공하기 위하여 인접한 다수의 위치들 중 적어도 하나의 위치에 관통홀이 형성된 아이디 블록을 상기 프레임의 가장 자리에 구비한 테스트 트레이를 상기 소팅 챔버 내에서 수평으로 누운 상태로 이송시키는 트레이 이송부; 및
    상기 아이디 블록에서 상기 관통홀의 형성이 가능한 위치들을 기준으로 서로 반대편에 위치하여 상기 위치들 각각에 광을 조사하는 다수의 발광부들 및 상기 발광부들 각각으로부터 광을 수용하는 다수의 수광부들을 구비하며, 상기 발광부들 각각으로부터 상기 위치들 각각으로 조사된 광이 상기 관통홀의 형성 여부에 따라 상기 수광부들 각각으로 전달되는지 여부를 2진수법으로 환산하여 상기 테스트 트레이의 아이디 정보를 식별하는 트레이 식별부를 포함하는 테스트 핸들러.
  10. 제9항에 있어서, 상기 관통홀은 상기 테스트 트레이의 아이디 블록에 상기 프레임의 전면과 후면을 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  11. 제9항에 있어서, 상기 발광부들 및 상기 수광부들은 상기 수평으로 누운 상태로 이동하는 상기 테스트 트레이의 상하에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
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