KR100910119B1 - 테스트 핸들러 - Google Patents

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KR100910119B1
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김남형
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Abstract

본 발명의 테스트 핸들러는 복수개의 스택커를 구비한 로딩부와; 로딩부의 일측에 설치되며, X-Y방향으로 이동가능한 제1 로딩헤드와; 로딩부의 스택커로부터 테스트 트레이의 전자부품을 공급받아 일시적으로 저장하기 위한 버퍼와; Y방향으로 이동가능한 적어도 한 개 이상의 프리사이저와; 전자부품을 안착시키기 위한 T-트레이와; X-Y방향으로 이동가능한 제2 로딩헤드와; T-트레이를 회전시키기 위한 로테이터와; 소크챔버, 테스트 챔버 및 디소크 챔버로 이루어진 테스트부와; 복수개의 소팅 테이블을 구비한 소팅부와; X-Y 방향으로 이동가능한 제1 및 제2 소팅헤드와; X-Y방향으로 이동가능한 언로딩 헤드와; 테스트가 완료된 전자부품을 등급별로 분류하며, 복수개의 스택커를 구비한 언로딩부로 이루어진다.
Figure R1020080011500
테스트, 핸들러, 프리사이저, 보트시스템

Description

테스트 핸들러{Test Handler}
본 발명은 테스트 핸들러에 관한 것으로, 특히 반도체 소자의 테스트를 보다 빠르게 안정되게 수행할 수 있는 테스트 핸들러에 관한 것이다.
종래, 메모리나 비메모리 반도체 소자등의 디바이스와, 디바이스들을 하나의 기판상에 적절히 구성한 모듈을 포함하는 전자부품들은 생산 후 여러 종류의 테스트를 거친 후 출하하게 된다. 그리고, 이와 같은 테스트는 핸들러에 의해 행하여 지고 있다.
핸들러는 테스트할 전자부품을 로딩 스택커로부터 흡착한 후에 이동시켜, 상기 전자부품을 교환부에 마련된 테스트 트레이에 수납하고, 테스트 트레이에 수납된 전자부품을 테스트부로 이동하여 테스트하게 된다. 그리고, 핸들러는 테스트 완료된 전자부품을 수납한 테스트 트레이로부터 전자부품을 흡착한 후에 이동시켜 언로딩 스택커에 수납하고, 테스트한 결과에 따라 그 등급에 맞추어 분류한다.
이러한 핸들러는 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트뿐만 아니라, 고온 및 저온의 극한 온도 조건에서도 전자부품이 정상적인 기능을 수행할 수 있는 지를 테스트 할 수 있도록 구성된다. 일반적인 테스트부는 소크챔버, 테스트 챔버 및 디 소크챔버로 구성된다.
상기 소크챔버에서는 로딩부로부터 전자부품이 수납된 테스트 트레이를 공급받아서 상기 전자부품을 가열 또는 냉각등의 작업을 수행하게 된다. 테스트 챔버는 상기 소크챔버로부터 테스트 트레이를 공급받아서 전자부품을 테스트 보드의 테스트 소켓에 접속시킨 후, 외부 테스트장비(테스터)에 의해 테스트를 수행하게 된다. 그리고, 디소크챔버는 상기 테스트 챔버로부터 테스트 트레이를 전달받아서 상온 상태로 되돌린 후, 언로딩부로 언로딩하도록 되어있다.
그러나, 상기와 같이 구성된 종래의 핸들러의 구조는 정해진 시간에 테스트 할 수 있는 전자부품의 수량을 늘리는데 한계가 있고, 처리속도의 저하를 가져오는 문제점이 있다.
본 발명은 이러한 종래기술의 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 그 목적은 트레이의 이동방식이 간단하고, 정해진 시간에 가능한 빨리 전자부품을 테스트할 수 있는 핸들러 및 그 핸들러의 트레이 이송방법을 제공함에 있다.
본 발명의 핸들러는 테스트할 전자부품을 위치시키며, 복수개의 스택커를 구비한 로딩부(100)와; 로딩부의 일측에 설치되며, X-Y방향으로 이동가능한 제1 로딩헤드(150)와; 로딩부의 스택커로부터 테스트 트레이의 전자부품을 공급받아 일시적으로 저장하기 위한 버퍼(200)와; 버퍼(200)의 일측에 설치되며, Y방향으로 이동가 능한 적어도 한 개 이상의 프리사이저(300)와; 프리사이저(300)로부터 전자부품을 안착시키기 위한 T-트레이(400)와; T-트레이(400)의 상부에 설치되며, X-Y방향으로 이동가능한 제2 로딩헤드(250)와; T-트레이(400)를 회전시키기 위한 로테이터(500)와; 유입된 T-트레이(400)의 전자부품을 테스트하기 위하여 소크챔버(610), 테스트 챔버(620) 및 디소크 챔버(Desoak Chamber or Exit Chamber)(630)로 이루어진 테스트부(600)와; 테스트가 완료되어 배출된 T-트레이(400)로부터 전자부품을 소팅하기 위한 복수개의 소팅테이블(710,720)을 구비한 소팅부(700)와; 배출된 T-트레이(400) 및 소팅부(700)의 상부에 설치되어 전자부품을 픽 앤 플레이스하며, X-Y 방향으로 이동가능한 제1 및 제2 소팅헤드(750,760)와; 소팅테이블(710)로부터 복수개의 유저 트레이(910)로 전자부품을 언로딩하며, X-Y방향으로 이동가능한 언로딩 헤드(850)와; 테스트가 완료된 전자부품을 등급별로 분류하며, 복수개의 스택커를 구비한 언로딩부(900)로 이루어지는 점에 있다.
본 발명의 핸들러는 T-tray를 트윈형태로 교호로 이동할 수 있게 설치되므로 전자부품 테스트 작업을 보다 안정되고 신속하게 처리할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 핸들러의 테스트부의 디소크챔버가 전후 및 좌우방향으로 해제할 수 있으므로 작업의 불량원인을 신속하게 찾아 처리할 수 있는 이점도 내포하고 있다.
(실시예)
본 발명의 테스트 핸들러의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 테스트 핸들러(1000)는 로딩부(100), 소팅부(700), 언로딩부(900) 및 테스트부(600)로 구성된다. 상기 로딩부(100)에는 복수개의 커스터머 트레이(10), 버퍼(200) 및 복수개의 프리사이저(300)가 설치되고, 그 상부에는 각기 제1 및 제2 로딩헤드(150,250)가 설치된다. 그리고, 소팅부(700)에는 소팅테이블(710,720)와 제1 및 제2 소팅헤드(750,760)가 설치된다. 언로딩부(900)에는 복수개의 유저 트레이(910) 및 언로딩 헤드(850)가 설치된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 테스트 핸들러(1000)는 그 전방부의 일측에는 로딩부(100)가 설치된다. 상기 로딩부(100)에는 복수개의 스택커(도시되지 않음)가 설치되고, 스택커의 내측에는 커스터머 트레이(10)가 각기 설치된다. 상기 커스터머 트레이(10)의 상부측에는 X-Y방향으로 이동가능한 제1 로딩헤드(150)가 설치된다. 상기 제1 로딩헤드(150)는 도 2에 도시된 바와 같이, 일반적으로 사용하고 있는 X-Y로봇에 복수개의 픽커(도시되지 않음)를 설치하여 한번에 복수개의 전자부품을 픽 앤 플레이스할 수 있게 구성된다.
상기 커스터머 트레이(10)의 후방에는 소정의 전자부품을 일시적(또는 임시적)으로 저장하기 위한 버퍼(200)가 설치된다. 상기 버퍼(200)는 전자부품의 테스트부의 소켓 불량(소켓 오프 또는 기구적 불량(픽커나 T-트레이 불량))된 것을 일시적으로 저장하기 위한 장소이다. 그리고, 상기 버퍼(200)와 일정 간격을 두고 복수개의 프리사이저(300)가 설치된다. 상기 복수개의 프리사이저(300)는 서로 간격 을 두고 설치되고, 이들은 각기 독립적으로 이동하도록 구성되어 있다. 한편, 여기서는 나타내지 않았지만, 상기 프리사이저(300)는 복수개가 동시에 이동하거나 동시에 반송할 수도 있다.
상기 프리사이저(300)의 일측에는 T-트레이(400)가 설치되고, 상기 T-트레이(400)에 프리사이저(300)로부터 전자부품을 제2 로딩헤드(250)에 의해 픽 앤 플레이스하여 안착시키게 된다. 상기 T-트레이(400)에 전자부품의 안착이 완료되면, 푸셔(도시되지 않음)에 의해 T-트레이(400)를 소크챔버(610)측으로 밀어주게 된다.
T-트레이(400)가 유입되면 로테이터(500)에 의해 T-트레이(400)를 이동시키면서 90도 회전시키게 된다. 즉, 테스트부(600)에 T-트레이(400)가 공급되기 전에 로테이터(500)에 의해 이동하면서 단계적으로 90도를 회전하게 된다.
상기 로테이터(500)에 의해 회전된 T-트레이(400)는 소크챔버(610)에 1매씩 순차적으로 수직상태로 공급된다. 상기 소크챔버(610)는 수직상태로 공급된 트레이를 고온 또는 저온 환경에 노출시킨 후에 테스트 챔버(620)측으로 배출시킨다.
상기 테스트 챔버(620)에서는 챔버의 외부로부터 내측으로 소정 두께만큼 삽입된 하이픽스 보드(Hi-Fix Board)(도시되지 않음)에 대해 소크챔버(610)로부터 공급된 테스트 트레이를 수직으로 정합하고 소정의 전기적인 테스트를 수행하게 된다. 즉, 공급된 소정개수의 반도체 디바이스를 동시에 전기적 테스트를 수행하게 된다.
테스트 챔버(620)에서 테스트가 완료된 반도체 디바이스는 다시 디소크 챔버(630)로 이동하게 되고, 이때 반도체 디바이스들이 수납된 테스트 트레이들을 상 온에 노출시키고 소정 시간경과 후에 배출하게 된다. 상기 디소크 챔버(630)로부터 배출된 테스트 트레이는 로테이터(500)에 의해 수직상태에서 수평상태로 된 후에 T-트레이(400)에 안착되게 된다.
상기 T-트레이(400)는 소팅부(700)에서 제1 및 제2 소팅헤드(750,760)에 의해 각기 복수개의 소팅테이블(710,720)에 테스트결과에 따른 등급에 따라 등급별로 분류되어 안착된다. 상기 제1 및 제2 소팅헤드(750,760)는 동일한 작업을 수행하게 된다. 그리고, 빈 T-트레이(400)는 화살표를 따라 우측에서 좌측으로 이동되게 된다. 상기 T-트레이(400)는 2개가 교호로 움직이게 구성되어 있다. 즉, 소팅부(700)에서 로딩부(100)측으로 2개가 교호로 좌,우로 움직이게 된다.
상기 제1 및 제2 소팅헤드(750,760)는 2열로 배열된 복수개의 소팅테이블(710,710;720,720)에 대하여 중첩되지 않게 등급별로 분리하여 전자부품을 안착하게 된다. 상기 제1 및 제2 소팅헤드(750,760)에는 도시되지 않았지만 복수개의 헤드가 설치되고, 상기 헤드에는 도시되지는 않았지만 복수개의 픽커를 구비하여 복수개의 전자부품을 픽앤 플레이스할 수 있게 구성되어 있다.
테스트가 완료된 전자부품이 등급별로 분류되어 채워진 복수개의 소팅테이블(710,720)는 Y방향으로 이동하여 언로딩부(900)의 전방부에 설치된 유저 트레이(910)의 위치로 이동된다. 상기 유저 트레이(910)의 하부에는 도시되지 않은 스택커가 각기 설치된다. 즉, 상기 소팅테이블(710,720)는 X방향 및 Y방향으로 선택적으로 또는 교호로 이동가능하게 설치된다.
그리고, 언로딩 헤드(850)는 소팅테이블(710,720)로부터 전자부품을 픽킹하 여 유저 트레이(910)에 안착하게 된다.
테스트부(600)는 도 3a 및 도3b에 도시된 바와 같이, 소크챔버(610), 테스트챔버(620) 및 디소크 챔버(630)로 구성된다. 상기 디소크 챔버(630)는 챔버의 이상 유무를 검사할 때나 챔버에 이상이 있을 경우 프레임(605)으로부터 좌,우방향으로 슬라이드방식으로 이동시킬 수 있게 구성되어 있다. 그리고, 상기 테스트부(600)는 소크챔버(610)와 테스트 챔버(620)를 일체로 형성하고, 디소크 챔버(630)를 별도로 구성시킬 수 있다. 상기 디소크 챔버(630)를 전,후방향으로 슬라이드 방식으로 이동시킬 수 있게 구성되어 있다. 즉, 상기 테스트부(600)의 구성은 사용자의 요구에 따라 전후 및 좌우방향으로 적절히 슬라이드 방식으로 이동시킬 수 있게 구성시킬 수 있다.
한편, T-트레이(400)가 설치된 보트 시스템(550)은 도 4에 도시된 바와 같이, 로딩부(100) 및 언로딩부(900)가 설치된 메인부(990)와 테스트부(600)의 사이에 설치되며, 상기 보트 시스템(550)은 좌,우방향으로 인출하여 해제할 수 있게 구성된다. 즉, 본 발명은 메인부(990)을 분리하는 것이 다소 어려움이 보트 시스템(550)과 테스트부(660)를 별도로 분리하는 것을 적용하였다.
이와 같이 구성된 본 발명의 테스트 핸들러의 동작에 대하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 로딩부(100)의 커스터머 트레이(10)에서 제1 로딩헤드(150)가 전자부품을 추출하고 프리사이저(300)로 이송한다. 그러나 오류가 밸생된 전자부품은 버퍼(200)에 일시적으로 저장하게 된다. 그리고, 프리사이저(300)에 각기 전자부품이 다 채워지게 되면 제2 로딩헤드(250)가 이동된 프리사이저(300)로부터 디바이스를 추출하여 T-트레이(400)로 전자부품을 이송하게 된다.
상기 T-트레이(400)에 전자부품이 전부 채워지게 되면, 로테이터(500)에 의해 90도 회전하게 된 후, 소크챔버(610)로 유입되어 소정 단계를 진행하고, 테스트 챔버(620)로 이동하여 테스트 한 후, 다시 디소크 챔버(630)에서 소정 단계를 진행하게 된다. 디소크 챔버(630)에서 나온 T-트레이(400)는 로테이터(500)에 의해 다시 90도 회전하게 된다.
그리고, 제1 및 제2 소팅헤드(750,760)에 의해 T-트레이(400)로부터 디바이스를 추출하여 소팅 테이블(710,720)에 등급별로 분류하여 적재하게 된다. 그리고, 소팅 테이블(710,720)로부터 언로딩 헤드(850)에 의해 유저 트레이(910)에 적재되게 된다.
본 발명의 테스트 핸들러는 전자부품을 전기적으로 신속하게 테스트 할 수 있는 테스트 핸들러 분야에 적용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 핸들러의 평면도,
도 2는 본 발명의 요부인 로봇 시스템의 헤드들을 나타낸 도면,
도 3a 및 3b는 본 발명의 핸들러의 테스트부를 개략적으로 나타낸 도면,
도 4는 본 발명의 핸들러의 보트 시스템이 좌,우로 이동가능한 것을 나타낸 도면.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100: 로딩부 200: 버퍼
300: 프리사이저 400: T-트레이
500: 로테이터 600: 테스트부
700: 소팅부 900: 언로딩부

Claims (6)

  1. 테스트할 전자부품을 위치시키며, 복수개의 스택커를 구비한 로딩부(100)와;
    상기 로딩부의 일측에 설치되며, X-Y방향으로 이동가능한 제1 로딩헤드(150)와;
    상기 로딩부의 스택커로부터 테스트 트레이의 전자부품을 공급받아 일시적으로 저장하기 위한 버퍼(200)와;
    상기 버퍼(200)의 일측에 설치되며, Y방향으로 이동가능한 적어도 한 개 이상의 프리사이저(300)와;
    상기 프리사이저(300)로부터 전자부품을 안착시키기 위한 T-트레이(400)와;
    상기 T-트레이(400)의 상부에 설치되며, X-Y방향으로 이동가능한 제2 로딩헤드(250)와;
    상기 T-트레이(400)를 회전시키기 위한 로테이터(500)와;
    유입된 T-트레이(400)의 전자부품을 테스트하기 위하여 소크챔버(610), 테스트 챔버(620) 및 디소크 챔버(630)로 이루어진 테스트부(600)와;
    테스트가 완료되어 배출된 T-트레이(400)로부터 전자부품을 소팅하기 위한 복수개의 소팅테이블(710,720)을 구비한 소팅부(700)와;
    상기 배출된 T-트레이(400) 및 소팅부(700)의 상부에 설치되어 전자부품을 픽 앤 플레이스하며, X-Y 방향으로 이동가능한 제1 및 제2 소팅헤드(750,760)와;
    상기 소팅테이블(710)로부터 복수개의 유저 트레이(910)로 전자부품을 언로 딩하며, X-Y방향으로 이동가능한 언로딩 헤드(850)와;
    테스트가 완료된 전자부품을 등급별로 분류하며, 복수개의 스택커를 구비한 언로딩부(900)로 이루어지며,
    상기 T-트레이는 소팅부에서 로딩부측으로 2개가 교호로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  2. 제1항에 있어서, 상기 프리사이저(300)는 서로 교호로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제2 로딩헤드(250)는 프리사이저(300)의 전자부품을 픽킹하여 T-트레이에 플레이스(적재)시키는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  4. 제1항에 있어서, 상기 테스트부(600)의 디소크챔버(630)는 전후 및 좌우방향으로 해제할 수 있게 구성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  5. 제1항에 있어서, 상기 소팅부(700)의 복수개의 소팅테이블(710,720)은 X방향 및 Y방향으로 서로 교호로 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  6. 테스트할 전자부품을 위치시키며, 복수개의 스택커를 구비한 로딩부(100)와;
    상기 로딩부의 일측에 설치되며, X-Y방향으로 이동가능한 제1 로딩헤드(150)와;
    상기 로딩부의 스택커로부터 테스트 트레이의 전자부품을 공급받아 일시적으로 저장하기 위한 버퍼(200)와;
    상기 버퍼(200)의 일측에 설치되며, Y방향으로 이동가능한 적어도 한 개 이상의 프리사이저(300)와;
    상기 프리사이저(300)로부터 전자부품을 안착시키기 위한 T-트레이(400)와;
    상기 T-트레이(400)의 상부에 설치되며, X-Y방향으로 이동가능한 제2 로딩헤드(250)와;
    상기 T-트레이(400)를 회전시키기 위한 로테이터(500)와;
    유입된 T-트레이(400)의 전자부품을 테스트하기 위하여 소크챔버(610), 테스트 챔버(620) 및 디소크 챔버(630)로 이루어진 테스트부(600)와;
    테스트가 완료되어 배출된 T-트레이(400)로부터 전자부품을 소팅하기 위한 복수개의 소팅테이블(710,720)을 구비한 소팅부(700)와;
    상기 배출된 T-트레이(400) 및 소팅부(700)의 상부에 설치되어 전자부품을 픽 앤 플레이스하며, X-Y 방향으로 이동가능한 제1 및 제2 소팅헤드(750,760)와;
    상기 소팅테이블(710)로부터 복수개의 유저 트레이(910)로 전자부품을 언로딩하며, X-Y방향으로 이동가능한 언로딩 헤드(850)와;
    테스트가 완료된 전자부품을 등급별로 분류하며, 복수개의 스택커를 구비한 언로딩부(900)로 이루어지며,
    상기 T-트레이가 설치된 보트 시스템(550)은 로딩부(100) 및 언로딩부(900)가 설치된 메인부(990)와 테스트부(600)의 사이에 설치되며, 상기 보트 시스템(550)은 좌,우방향으로 인출하여 해제할 수 있는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
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