KR20090102020A - 테스트 트레이, 트레이 식별 장치 및 이를 포함하는 테스트핸들러 - Google Patents
테스트 트레이, 트레이 식별 장치 및 이를 포함하는 테스트핸들러Info
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- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
Abstract
Description
Claims (11)
- 프레임 내부에 복수개의 반도체 소자들을 수납하며, 아이디 정보를 제공하기 위하여 상기 프레임의 가장 자리에 적어도 하나의 관통홀을 갖는 아이디 블록을 구비한 테스트 트레이.
- 제1항에 있어서, 상기 관통홀은 상기 테스트 트레이의 아이디 블록에 상기 프레임의 전면과 후면을 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
- 제1항에 있어서, 상기 관통홀은 상기 테스트 트레이의 아이디 블록에 상기 프레임의 전면 또는 후면과 측면을 대각선 방향으로 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
- 프레임 내부에 복수개의 반도체 소자들을 수납하며, 아이디 정보를 제공하기 위하여 상기 프레임의 가장 자리에 적어도 하나의 관통홀을 갖는 아이디 블록을 구비한 테스트 트레이를 구비한 테스트 핸들러에 있어서,상기 테스트 트레이의 아이디를 식별하기 위하여 상기 아이디 블록의 관통홀을 기준으로 서로 반대편에 위치하여 광을 조사하는 적어도 하나의 발광부 및 상기 발광부로부터 광을 수용하는 적어도 하나의 수광부를 구비하며, 상기 발광부 및 상기 수광부를 이용하여 상기 관통홀의 위치 정보를 획득하기 위한 트레이 식별 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 트레이 식별 장치는 상기 발광부로부터 조사된 광이 상기 관통홀을 통하여 상기 수광부로 전달되는지 여부를 기준으로 테스트 트레이의 아이디 정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 트레이 식별 장치.
- 외부로부터 이송된 복수개의 반도체 소자들을 일정 온도로 가열하기 위한 예열 챔버;프레임 내부에 상기 반도체 소자들을 수납하며, 아이디 정보를 제공하기 위하여 상기 프레임의 가장 자리에 적어도 하나의 관통홀을 갖는 아이디 블록을 구비한 테스트 트레이를 상기 예열 챔버 내에서 수직으로 세워진 상태로 이송시키는 트레이 이송부;상기 테스트 트레이의 아이디를 식별하기 위하여 상기 테스트 트레이의 관통홀을 기준으로 서로 반대편에 위치하여 광을 조사하는 적어도 하나의 발광부 및 상기 발광부로부터 광을 수용하는 적어도 하나의 수광부를 구비하며, 상기 발광부 및 상기 수광부를 이용하여 상기 관통홀의 위치 정보를 획득하기 위한 트레이 식별부; 및상기 아이디가 식별되어 이동된 상기 테스트 트레이에 실장된 상기 반도체 소자들을 테스트하기 위한 공간을 제공하는 테스트 챔버를 포함하는 테스트 핸들러.
- 제6항에 있어서, 상기 관통홀은 상기 테스트 트레이의 아이디 블록에 상기 프레임의 전면 또는 후면과 측면을 대각선 방향으로 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제6항에 있어서, 상기 트레이 이송부는상기 트레이의 전면에 대하여 수직하는 방향으로 연장하는 제1 이송 경로를 갖는 제1 이송부; 및상기 제1 이송 경로에 대하여 수직하는 제2 이송 경로를 갖는 제2 이송부를 포함하고,상기 발광부 및 상기 수광부는 상기 제1 이송 경로와 상기 제2 이송 경로가 교차하는 지점으로 이송된 트레이의 관통홀을 통하여 서로 마주하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 외부로부터 이송된 복수개의 반도체 소자들을 테스트하기 위한 공간을 제공하는 테스트 챔버;상기 반도체 소자들을 테스트 결과에 따라 분류하기 위한 소팅 챔버;프레임 내부에 상기 반도체 소자들을 수납하며, 아이디 정보를 제공하기 위하여 상기 프레임의 가장 자리에 적어도 하나의 관통홀을 갖는 아이디 블록을 구비한 테스트 트레이를 상기 소팅 챔버 내에서 수평으로 누운 상태로 이송시키는 트레이 이송부; 및상기 테스트 트레이의 아이디를 식별하기 위하여 상기 테스트 트레이의 관통홀을 기준으로 서로 반대편에 위치하여 광을 조사하는 적어도 하나의 발광부 및 상기 발광부로부터 광을 수용하는 적어도 하나의 수광부를 구비하며, 상기 발광부 및 상기 수광부를 이용하여 상기 관통홀의 위치 정보를 획득하기 위한 트레이 식별부를 포함하는 테스트 핸들러.
- 제9항에 있어서, 상기 관통홀은 상기 테스트 트레이의 아이디 블록에 상기 프레임의 전면과 후면을 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
- 제9항에 있어서, 상기 발광부 및 상기 수광부는 상기 수평으로 누운 상태로 이동하는 상기 테스트 트레이의 상하에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
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