KR19980063277A - 반도체장치 시험장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (21)
- 테스터부와 핸들러부와를 구비하고, 핸들러부의 로우더부에 반송되어 정지상태에 있는 테스트 트레이에 피시험 반도체장치를 전송, 탑재하고, 이 테스트 트레이를 상기 로우더부로부터 핸들러부의 테스트부에 반송하여 반도체장치를 시험하고, 시험종료후, 시험필 반도체장치를 탑재한 테스트 트레이를 상기 테스트부로 부터 핸들러부의 언로우더부에 반출하고, 이 언로우더부에 있어서 상기 테스트 트레이상의 시험필 반도체장치를 남용 트레이에 옮겨 쌓고, 빈 것으로 된 테스트 트레이를 상기 언로우더부로부터 상기 로우더부로 반송하여 상기 동작을 반복하도록 구성하고 있는 반도체장치 시험장치에 있어서,상기 언로우더부와 상기 로우더부와의 사이의 테스트 트레이의 반송로중에 테스트 트레이상에 반도체장치가 존재하는가의 여부를 감시하는 반도체장치 검출센서를 설치하고, 이 반도체장치 검출센서에 의하여, 상기 언로우더부로 부터 상기 로우더부에 반송되는 테스트 트레이상에 반도체장치가 남겨져 있는가의 여부를 검출하도록 한 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 테스터부와 핸들러부와를 구비하고, 핸들러부의 로우더부에 반송되어 정지상태에 있는 테스트 트레이에 피시험 반도체장치를 전송, 탑재하고, 이 테스트 트레이를 상기 로우더부로부터 핸들러부의 테스트부에 반송하여 반도체장치를 시험하고, 시험종료후, 시험필 반도체장치를 탑재한 테스트 트레이를 상기 테스트부로 부터 핸들러부의 언로우더부에 반출하고, 이 언로우더부에 있어서 상기 테스트 트레이상의 시험필 반도체장치를 남용 트레이에 옮겨 쌓고, 빈 것으로 된 테스트 트레이를 상기 언로우더부로부터 상기 로우더부로 반송하여 상기 동작을 반복하도록 구성하고 있는 반도체장치 시험장치에 있어서,상기 테스트부와 상기 언로우더부와의 사이의 테스트 트레이의 반송로중에 테스트 트레이상에 반도체장치가 존재하는가의 여부를 감시하는 반도체장치 검출센서를 설치하고, 이 반도체장치 검출센서에 의하여, 상기 테스트부로부터 상기 언로우더부에 반송되는 테스트 트레이상에 빈 반도체장치 수납부가 존재하는가 여부를 검출하도록 한 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 테스터부와 핸들러부와를 구비하고, 핸들러부의 로우더부에 반송되어 정지상태에 있는 테스트 트레이에 피시험 반도체장치를 전송, 탑재하고, 이 테스트 트레이를 상기 로우더부로부터 핸들러부의 테스트부에 반송하여 반도체장치를 시험하고, 시험종료후, 시험필 반도체장치를 탑재한 테스트 트레이를 상기 테스트부로부터 핸들러부의 언로우더부에 반출하고, 이 언로우더부에 있어서 상기 테스트 트레이상의 시험필 반도체장치를 남용 트레이에 옮겨 쌓고, 빈 것으로 된 테스트 트레이를 상기 언로우더부로부터 상기 로우더부로 반송하여 상기 동작을 반복하도록 구성하고 있는 반도체장치 시험장치에 있어서,상기 로우더부와 상기 테스트부와의 사이의 테스트 트레이의 반송로중에 테스트 트레이상에 반도체장치가 존재하는가의 여부를 감시하는 반도체장치 검출센서를 설치하고, 이 반도체장치 검출센서에 의하여, 상기 로우더부로부터 상기 테스트부에 향하여 반송되는 테스트 트레이에 빈 반도체장치 수납부가 존재하는가의 여부를 검출하도록 한 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한항에 있어서, 상기 핸들러부는 봉형상의 매거진 이라 불리우는 반도체장치 수납용기에 수납되어 있는 반도체장치이거나, 범용 트레이에 수납되어 있는 반도체장치이거나, 테스트 트레이에 옮겨쌓아 테스트부로 반송하여 시험하고, 언로우더부에 있어서 시험결과의 데이터에 의거하여 시험필 반도체장치에 대하여 여러 가지 처리를 행하도록 구성되어 있는 매거진 트레이 겸용형의 핸들러이고, 상기 로우더부는 상기 매거진으로부터 배출된 반도체장치를 테스트 트레이에 옮겨쌓는 장소인 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한항에 있어서, 상기 핸들러부는 상기 로우더부에 있어서 범용 트레이에 수납되어 있는 반도체장치를 테스트 트레이에 옮겨쌓아서 테스트부에 반송하여 시험하고, 언로우더부에 있어서 시험결과의 테이터에 의거하여 시험필 반도체장치에 대하여 여러 가지 처리를 행하도록 구성되어 있는 수평반송 방식이라 불리우는 핸들러인 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 테스트부와 상기 언로우더부와의 사이의 테스트 트레이의 반송로중에 테스트 트레이상에 반도체장치가 존재하는가 여부를 감시하는 반도체장치 검출센서가 더 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 로우더부와 상기 테스트부와의 사이의 테스트 트레이의 반송로중에 테스트 트레이상에 반도체장치가 존재하는가의 여부를 감시하는 반도체장치 검출센서가 더 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 테스트부와 상기 언로우더부와의 사이의 테스트 트레이의 반송로중과 상기 로우더부와 상기 테스트부와의 사이의 테스트 트레이의 반송로중에 각각 테스트 트레이상에 반도체장치가 존재하는지 여부를 감시하는 반도체장치 검출센서가 더 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 6 항 내지 제 8 항중 어느 한항에 있어서, 상기 반도체장치 검출센서는 테스트 트레이의 이동방향과 직각인 방향에 배열된 테스트 트레이상의 반도체장치 수납부의 개수분 만큼 설치되어 있고, 동시에 투과광을 검출하는 광센서인 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 6 항 내지 제 8 항중 어느 한항에 있어서, 상기 반도체장치 검출센서는 테스트 트레이의 이동방향과 직각인 방향으로 배열된 테스트 트레이상의 반도체장치 수납부의 개수분 만큼 설치되어 있고 더욱이, 테스트 트레이의 프레임에 테스트 트레이의 이동방향에 관하여 소정의 간격으로 타이밍 마크가 설치되어 있고, 이 타이밍 마크를 검출하는 타이밍 검출센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 6 항 내지 제 8 항중 어느 한항에 있어서, 상기 반도체장치 검출센서는 테스트 트레이의 이동방향과 직각인 방향으로 배열된 테스트 트레이상의 반도체장치 수납부의 개수분 만큼 설치되어 있고 동시에 반도체장치의 금속부분을 검출하는 근접 스위치인 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 6 항 내지 제 8 항중 어느 한항에 있어서, 상기 반도체장치 검출센서는 테스트 트레이의 이동방향과 직각인 방향으로 배열된 테스트 트레이상의 반도체장치 수납부의 개수분 만큼 설치되어 있고, 동시에 패턴 인식기능을 갖는 카메라인 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 6 항 내지 제 8 항중 어느 한항에 있어서, 상기 타이밍 검출센서는 반사광을 검출하는 광센서이고, 상기 테스트 트레이의 프레임에 설치된 타이밍 마크는 빛을 반사하는 마크이고, 상기 타이밍 검출센서에 의하여 상기 프레임에 설치된 광반사 마크로부터 반사되는 빛을 검출하고, 이 반사광의 검출과 동기하여 상기 반도체장치 검출센서로부터 출력되는 검출신호에 의하여, 반도체장치의 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 6 항 내지 제 8 항중 어느 한항에 있어서, 상기 타이밍 검출센서는 반사광을 검출하는 광센서이고, 상기 테스트 트레이의 프레임에 설치된 타이밍 마크는 빛을 반사하지 않는 비광반사 마크이고, 상기 테스트 트레이의 프레임은 빛을 반사하는 재료로 형성되어 있고, 상기 타이밍 검출센서에 의하여 상기 프레임에 설치된 비광반사 마크을 검출하고, 이 비광반사 마크의 검출과 동기하여 상기 반도체장치 검출센서로부터 출력되는 검출신호에 의하여, 반도체장치의 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 6 항 내지 제 8 항중 어느 한항에 있어서, 상기 타이밍 검출센서는 투과광을 검출하는 광센서이고, 상기 테스트 트레이의 프레임에 설치된 상기 타이밍 마크는 빛을 투과하는 슬릿에 있고, 상기 타이밍 검출센서에 의하여 상기 프레임에 설치된 상기 슬릿을 투과하는 빛을 검출하고, 이 투과광의 검출과 동기하여 상기 반도체장치 검출센서로부터 출력되는 검출신호에 의하여, 반도체장치의 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 6 항 내지 제 8 항중 어느 한항에 있어서, 상기 타이밍 검출센서는 투과광을 검출하는 광센서이고, 상기 테스트 트레이의 프레임에 설치된 상기 타이밍 마크는 상기 테스트 트레이에 장착되는 반도체장치 수납부의 각각에 형성된 빛을 투과하는 위치결정용 핀 삽입구멍에 있고, 상기 타이밍 검출센서에 의하여 상기 위치결정용 핀 삽입구멍을 투과하는 빛을 검출하고, 이 투과광의 검출과 동기하여 상기 반도체장치 검출센서로부터 출력되는 검출신호에 의하여, 반도체장치의 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 13 항 또는 제 14 항중 어느 한항에 있어서, 상기 반사 마크 또는 비반사 마크는 상기 테스트 트레이의 이동방향에 배열된 테스트 트레이의 반도체장치 수납부의 각각의 중심부분과 대칭이고, 상기 테스트 트레이의 프레임의 이동방향에 평행한 한쪽의 변에 설치된 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 9 항에 있어서, 상기 각 반도체장치 검출센서는 광원과 수광기로 구성되어 있고, 상기 광원이 테스트 트레이의 이동하는 평면의 한쪽측에 배치되고, 상기 수광기가 상기 테스트 트레이의 이동하는 평면의 반대측에 배치되어, 테스트 트레이에 장착되는 각 반도체장치 수납부의 바닥부의 중앙부 근방에 관통구멍을 형성하고, 상기 광원으로 부터의 빛이 이 관통구멍을 통과하는가의 여부를 상기 수광기로 검출하고, 반도체장치의 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 10 항에 있어서, 테스트 트레이에 장착된 반도체장치 수납부의 각각에 반도체장치가 존재하는가의 여부를 검출하는 회로와,테스트 트레이의 프레임에 테스트 트레이의 이동방향에 관하여, 소정의 간격으로 설치된 타이밍 마크을 검출하는 타이밍 검출센서와,이 타이밍 검출센서로부터 타이밍 마크을 검출할 때 마다 출력되는 한쪽의 레벨의 논리신호에 의하여 끼워둠 신호를 발생하는 끼워둠 신호발생회로와,복수개의 반도체장치 검출센서의 검출신호를 각각 대치하는 대응하는 수의 래치회로와,중앙연산 처리장치, 프로그램 등을 격납한 ROM, 해독한 데이터등을 일시 기억하는 RAM, 상기 래치회로의 출력신호가 공급되는 입력포트, 상기 끼워둠 신호 발생회로의 끼워둠 신호가 공급되는 끼워둠용 입력포트, 및 출력포트을 포함하는 제어기, 로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 제 10 항에 있어서, 테스트 트레이에 장착된 반도체장치 수납부의 각각에 반도체장치가 존재하는가 여부를 검출하는 회로와,테스트 트레이의 프레임에 테스트 트레이의 이동방향에 관하여 소정의 간격으로 설치된 타이밍 마크을 검출하는 타이밍 검출센서와,복수개의 반도체장치 검출센서의 검출신호를 꺼내는 앤드(AND) 게이트와,상기 타이밍 검출센서가 타이밍 마크을 검출하고 있는 상태에 있어서 상기 반도체장치 검출센서가 반도체장치 수납부의 관통구멍을 통과하는 투과광을 검출하였을 때에 한쪽 레벨의 논리신호를 기억, 동시에 출력하고, 상기 반도체장치 검출센서가 반도체장치 수납부의 관통구멍을 통과하는 투과광을 검출하지 않는 경우에는 다른 편의 레벨의 논리신호를 기억, 동시에 출력하는 제1플립플롭과,이 제1플립플롭이 한번이라도 반도체장치의 존재를 검출하여 상기 다른편의 레벨의 논리신호를 출력하면, 그 논리신호를 거두어들여 테스트 트레이가 통과할때까지 그 상태를 유지하는 제2플립플롭, 으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 시험장치.
- 테스터부와 핸들러부와를 구비하고, 핸들러부의 로우더부에 반송되어 정지상태에 있는 테스트 트레이에 피시험 반도체장치를 전송, 탑재하고, 이 테스트 트레이를 상기 로우더부로부터 핸들러부의 테스트부에 반송하여 반도체장치를 시험하고, 시험 종료후, 시험필 반도체장치를 탑재한 테스트 트레이를 상기 테스트부로부터 핸들러부의 언로우더부에 반출하고, 이 언로우더부에 있어서 상기 테스트 트레이상의 시험필 반도체장치를 납용트레이에 옮겨 쌓고, 빈 것으로 된 테스트 트레이를 상기 언로우더부로 상기 로우더부로 반송하여 상기 동작을 반복하도록 구성하고 있는 반도체장치 시험장치에 있어서,테스트 트레이가 반송되어 있는 사이에, 이 테스트 트레이에 장착된 복수개의 반도체장치 수납부의 각각의 바닥부에 형성된 관통구멍을 통과하는 빛을 검출하는 단계와,상기 테스트 트레이의 프레임에, 이 테스트 트레이의 이동방향에 관하여 소정의 간격으로 설치된 타이밍 마크을 검출하는 단계와,상기 타이밍 마크가 검출되고 있는 사이에, 상기 테스트 트레이의 반도체장치 수납에 형성된 관통구멍을 통과하는 빛이 검출되면, 그 반도체장치 수납부에는 반도체장치가 존재하지 않다고 판단하고, 상기 테스트 트레이의 반도체장치 수납부에 형성된 관통구멍을 통과하는 빛이 검출되지 않을 때에는 그의 반도체장치 수납부에는 반도체장치가 존재한다고 판단하는 단계, 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체장치 검출방법.
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