JPS6035279A - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
- Publication number
- JPS6035279A JPS6035279A JP58143845A JP14384583A JPS6035279A JP S6035279 A JPS6035279 A JP S6035279A JP 58143845 A JP58143845 A JP 58143845A JP 14384583 A JP14384583 A JP 14384583A JP S6035279 A JPS6035279 A JP S6035279A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- point
- board
- reference point
- coordinates
- computer
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は、位置検出技術、特に、機械的基準合わせを実
行することなく対象物上の任意の点を検出する技術に関
し、たとえば、ボードテスタにおいて配線上にプローブ
を接触させるのに使用して有効な技術に関する。
行することなく対象物上の任意の点を検出する技術に関
し、たとえば、ボードテスタにおいて配線上にプローブ
を接触させるのに使用して有効な技術に関する。
［背景技術］
プリント基板（ボード）に搭載された半導体装置につい
て電気的試験を実行する場合、ボード配線上の所定の各
位置に接触する複数のプローブを備えたボードテスタを
使用することが考えられる。
て電気的試験を実行する場合、ボード配線上の所定の各
位置に接触する複数のプローブを備えたボードテスタを
使用することが考えられる。
このようなボードテスタにおいては、複数のプローブを
ボード上の各所定位置に接触させるため、ボードとテス
タとの基準合わせを高精度に行う必要がある。
ボード上の各所定位置に接触させるため、ボードとテス
タとの基準合わせを高精度に行う必要がある。
しかし、このようなボードとテスタとの基準合＼
わせは、ボードの外形寸法の誤差が大きいため、精度お
よび作業性が悪くなるという問題点があることが、本発
明者によって明らかにされた。
よび作業性が悪くなるという問題点があることが、本発
明者によって明らかにされた。
［発明の目的］
本発明の目的は、位置合わせを高精度に行うことが可能
な位置検出技術を提供することにある。
な位置検出技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
［発明の概要］
本願において開示される発明のうぢ代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、探索した実基準点と理想基準点との差をめ、
この差により理想基準点に対する被検出点の仮想座標を
補正し、実際の被検出点の座標をめることにより、実基
準点と理想基準点との機械的位置合わせを省略しても任
意の点が検出できるようにしたものである。
この差により理想基準点に対する被検出点の仮想座標を
補正し、実際の被検出点の座標をめることにより、実基
準点と理想基準点との機械的位置合わせを省略しても任
意の点が検出できるようにしたものである。
［実施例］
第１図は本発明の一実施例である位置検出装置を備えた
ボードテスタを示す斜視図、第２図はその位置検出装置
を示すブロック図、第３図は作用を示す説明図である。
ボードテスタを示す斜視図、第２図はその位置検出装置
を示すブロック図、第３図は作用を示す説明図である。
本実施例において、このボードテスタは、測定対象物で
あるボード１を保持するための治具３を備えている。ボ
ード１には配線パターン（図示省略）が形成され、半導
体装置２が搭載されている。
あるボード１を保持するための治具３を備えている。ボ
ード１には配線パターン（図示省略）が形成され、半導
体装置２が搭載されている。
治具３はボード１を両側から挟持することによりプリア
ライメントできるように構成されている。
ライメントできるように構成されている。
治具３に保持されたボード１の下には、一対のＸ方向レ
ール４が互いに平行に敷設され、レール４上には一対の
移動体５が２組、リニアモータの原理を利用する等の駆
動手段（図示省略）により移動量と制御されるように跨
設されている。両レール上の移動体５．５間には一対の
Ｙ方向レール６がＸ方向レール４と直交するように架設
され、このレール６上には一対の移動体７Ａ、７Ｂが移
動量を制御されるようにそれぞれ跨設されている。
ール４が互いに平行に敷設され、レール４上には一対の
移動体５が２組、リニアモータの原理を利用する等の駆
動手段（図示省略）により移動量と制御されるように跨
設されている。両レール上の移動体５．５間には一対の
Ｙ方向レール６がＸ方向レール４と直交するように架設
され、このレール６上には一対の移動体７Ａ、７Ｂが移
動量を制御されるようにそれぞれ跨設されている。
移動体７Ａ、７Ｂにはボードテスタのプローブ８Ａ、８
Ｂがボード１裏面の配線パターンに適時接触し得るよう
にそれぞれ立設されており、このプローブはボードテス
タの本体（不図示）にワイヤハーネス等（図示省略）を
介して接続されている。
Ｂがボード１裏面の配線パターンに適時接触し得るよう
にそれぞれ立設されており、このプローブはボードテス
タの本体（不図示）にワイヤハーネス等（図示省略）を
介して接続されている。
移動体７Ａ、７Ｂには、対象物であるボード１に対して
相対移動される探索子としての４分割ホトセンサ９Ａ、
９Ｂがボード１に正対するように搭載されている。ボー
ド１の上方には一対の光源１０Ａ、ＩＯＢが、ボード１
のスルーボール群のうちあらかじめ設定された一対のス
ルーホール１１ＡとＩＩＢとにそれぞれ投光するように
設けられており、ホトセンサ９Ａ、９Ｂは両ホールから
の透過光を検出し得るように構成されている。
相対移動される探索子としての４分割ホトセンサ９Ａ、
９Ｂがボード１に正対するように搭載されている。ボー
ド１の上方には一対の光源１０Ａ、ＩＯＢが、ボード１
のスルーボール群のうちあらかじめ設定された一対のス
ルーホール１１ＡとＩＩＢとにそれぞれ投光するように
設けられており、ホトセンサ９Ａ、９Ｂは両ホールから
の透過光を検出し得るように構成されている。
したがって、両ホールＩＩＡ、ＩＩＢは対象物であるボ
ード１に設けられた一対の基準点を実質的に構成してい
る。ボード１の外形寸法は誤差が大きいが、スルーホー
ルは配線バクーンと共に形成されるので、位置寸法精度
が高い。したがって、スフ１／−ホー／Ｌ／ １１ Ａ
、ＩＩＢは基準点としての役目を十分に果たす。
ード１に設けられた一対の基準点を実質的に構成してい
る。ボード１の外形寸法は誤差が大きいが、スルーホー
ルは配線バクーンと共に形成されるので、位置寸法精度
が高い。したがって、スフ１／−ホー／Ｌ／ １１ Ａ
、ＩＩＢは基準点としての役目を十分に果たす。
第２図において、移動体７Ａ、７Ｂ上に搭載されたホト
センサ９Ａ、９Ｂの出力端には、演算装置としてのコン
ピュータ１２が接続されている。
センサ９Ａ、９Ｂの出力端には、演算装置としてのコン
ピュータ１２が接続されている。
このコンピュータ１２には設定器としてのメモリ１３が
接続され、メモリ１３は第３図に示されるような仮想座
標軸１４Ｘ、１４Ｙ１この座標軸に対する基準点の理想
位置く理想基準点）１５Ａ、１５Ｂの座標（ｘｔ、ｙｔ
）、（Ｘ２、ｙ２）等をコンピュータに入力させるよう
に構成されている。
接続され、メモリ１３は第３図に示されるような仮想座
標軸１４Ｘ、１４Ｙ１この座標軸に対する基準点の理想
位置く理想基準点）１５Ａ、１５Ｂの座標（ｘｔ、ｙｔ
）、（Ｘ２、ｙ２）等をコンピュータに入力させるよう
に構成されている。
コンピュータ１２には、移動体７Ａ、７Ｂおよび５（第
２図では省略）の移動を制御するためのコントローラ１
６Ａおよび１６Ｂが接続され、このコントローラはコン
ピュータ１２の指令に応じて移動体を移動せしめるよう
になっている。
２図では省略）の移動を制御するためのコントローラ１
６Ａおよび１６Ｂが接続され、このコントローラはコン
ピュータ１２の指令に応じて移動体を移動せしめるよう
になっている。
次に作用を説明する。
第１図に示されるように、ボードエが治具３に保持され
、光源１０Ａ、１０Ｂによりスルーポール１１Ａ、ＩＩ
Ｂが照明されると、このホールを透過した光により第３
図に示される基準点１７Ａ１１７Ｂが構成される。
、光源１０Ａ、１０Ｂによりスルーポール１１Ａ、ＩＩ
Ｂが照明されると、このホールを透過した光により第３
図に示される基準点１７Ａ１１７Ｂが構成される。
コンピュータエ２により指令が入力されると、コントロ
ーラ１６Ａ、１６Ｂにより移動体５．７Ａ、７Ｂが制御
移動され、移動体７Ａ、７Ｂ上に搭載されたホトセンサ
９Ａ、９Ｂはスルーホール１１Ａ、ＩＩＢの透過光から
なる基準点１７Ａ、１７Ｂをそれぞれ探索する。このと
き、探索が効果的に実行されるように、コンピュータ１
２ばあらかじめ用意されたキャリブレーション係数にし
たがってコントローラ１６Ａ、１６Ｂに指令信号を与え
る。
ーラ１６Ａ、１６Ｂにより移動体５．７Ａ、７Ｂが制御
移動され、移動体７Ａ、７Ｂ上に搭載されたホトセンサ
９Ａ、９Ｂはスルーホール１１Ａ、ＩＩＢの透過光から
なる基準点１７Ａ、１７Ｂをそれぞれ探索する。このと
き、探索が効果的に実行されるように、コンピュータ１
２ばあらかじめ用意されたキャリブレーション係数にし
たがってコントローラ１６Ａ、１６Ｂに指令信号を与え
る。
４分割ホトセンサ９Ａ、９Ｂの一部に基準点１７Ａ、１
７Ｂの透過光が入射され、検出信号がコンピュータ１２
に入力されると、コンピュータ】２は４分割ホトセンサ
各部の受光量が等しくなる移動を呈するようにコントロ
ーラ１６Ａ、１６Ｂに指令を与える。４分割ホトセンサ
９Ａ、９Ｂにおける受光量が等しくなったところで、基
準点１７Ａ、１．７Ｂが正確に探索されたことになる。
７Ｂの透過光が入射され、検出信号がコンピュータ１２
に入力されると、コンピュータ】２は４分割ホトセンサ
各部の受光量が等しくなる移動を呈するようにコントロ
ーラ１６Ａ、１６Ｂに指令を与える。４分割ホトセンサ
９Ａ、９Ｂにおける受光量が等しくなったところで、基
準点１７Ａ、１．７Ｂが正確に探索されたことになる。
第３図に示されるように、コンピュータ１２は、探索さ
れた基準点１７Ａ、１７Ｂの仮想座標軸１４Ｘ、１４Ｙ
に対する座標（Ｘ３、ｙａ）、（Ｘ４、）’４）を演算
し、さらに、この座標と、あらかじめ想定された理想基
準点１．５Ａ、１５Ｂの座標（ｘｚ、ｙｔ）、（ｘｚ、
ｙ２）との差を演算するとともに、基準点１７Ａと１７
Ｂとを結ぶ線１５に対する傾斜角θを演算する。
れた基準点１７Ａ、１７Ｂの仮想座標軸１４Ｘ、１４Ｙ
に対する座標（Ｘ３、ｙａ）、（Ｘ４、）’４）を演算
し、さらに、この座標と、あらかじめ想定された理想基
準点１．５Ａ、１５Ｂの座標（ｘｚ、ｙｔ）、（ｘｚ、
ｙ２）との差を演算するとともに、基準点１７Ａと１７
Ｂとを結ぶ線１５に対する傾斜角θを演算する。
今、第３図において、ボード１の検出すべき点１８の仮
想座標軸１４Ｘ、１４Ｙに対する座標（Ｘｓ、ｙｓ）と
仮定する。この被検出点１８はボード１の配線パターン
上の一点であるから、ボード１に対する座標（図示省略
）はあらかじめ知り得る。したがって、ボードエの基準
点１７Ａ、１７Ｂが理想基準点１５Ａ、１５Ｂに合致し
た場合における被検出点１８′の仮想座標軸１４Ｘ、１
４Ｙに対する座標は、あらかじめ知得でき、コンピュー
タ１２またはメモリ１３に記憶しておくことができる。
想座標軸１４Ｘ、１４Ｙに対する座標（Ｘｓ、ｙｓ）と
仮定する。この被検出点１８はボード１の配線パターン
上の一点であるから、ボード１に対する座標（図示省略
）はあらかじめ知り得る。したがって、ボードエの基準
点１７Ａ、１７Ｂが理想基準点１５Ａ、１５Ｂに合致し
た場合における被検出点１８′の仮想座標軸１４Ｘ、１
４Ｙに対する座標は、あらかじめ知得でき、コンピュー
タ１２またはメモリ１３に記憶しておくことができる。
この座標を（ｘｓ、ｙｔ＋）とする。
そして、コンピュータ１２は、この座標（ｘｅ、ｙも）
、実基準点１７Ａの座標（Ｘ３ 、ｙｓ ）、傾斜角θ
を用いて、次式の演算を実行することにより、実際の被
検出点１８の仮想座標軸１４Ｘ、１４Ｙに対する実座標
（ｘｓ、ｙｓ）をめることができる。
、実基準点１７Ａの座標（Ｘ３ 、ｙｓ ）、傾斜角θ
を用いて、次式の演算を実行することにより、実際の被
検出点１８の仮想座標軸１４Ｘ、１４Ｙに対する実座標
（ｘｓ、ｙｓ）をめることができる。
ｘｓ ＝ｘ３ ＋ｘ６ ｃｏｓθ−ｙｓｓｉｎθｙｓ
−ｙａ ＋）ｃｓ ｓｉｎθ−ｙ６ＣＯ３θこのように
してめられた被検出点１８の座標（ｘ＋＋、ｙｓ）に基
づき、コンピュータ１２はコントローラ１６Ａまたは１
６Ｂに制御指令信号を与える。このコントローラにより
移動体５および７Ａまたは７Ｂが制御移動され、移動体
７Ａまたは７Ｂに搭載されたプローブ８Ａまたは８Ｂが
被検出点１８に接触される。
−ｙａ ＋）ｃｓ ｓｉｎθ−ｙ６ＣＯ３θこのように
してめられた被検出点１８の座標（ｘ＋＋、ｙｓ）に基
づき、コンピュータ１２はコントローラ１６Ａまたは１
６Ｂに制御指令信号を与える。このコントローラにより
移動体５および７Ａまたは７Ｂが制御移動され、移動体
７Ａまたは７Ｂに搭載されたプローブ８Ａまたは８Ｂが
被検出点１８に接触される。
前述の作用により、ボード１における複数のプローブ接
触点（被検出点に相当する。）の仮想座標軸に対する各
座標（ｘ、 ｎ ％ ｙ ｎ）がめられ、各座標にした
がって移動体を移動させてプローブを接触させることに
より、電気的試験が実行されることになる。
触点（被検出点に相当する。）の仮想座標軸に対する各
座標（ｘ、 ｎ ％ ｙ ｎ）がめられ、各座標にした
がって移動体を移動させてプローブを接触させることに
より、電気的試験が実行されることになる。
このようにして、電気的試験が実行されるので、ボード
１の基準点を理想原点に合致させるための基準合わせ作
業、たとえば、治具３についての微調整操作等は省略す
ることができる。したがって、基準合わせ作業の手間が
省けて作業性が向上されるばかりでなく、機械的基準合
わせが介在しないため、プローブと接触点との位置合わ
せ精度がき才〕めで高くなる。
１の基準点を理想原点に合致させるための基準合わせ作
業、たとえば、治具３についての微調整操作等は省略す
ることができる。したがって、基準合わせ作業の手間が
省けて作業性が向上されるばかりでなく、機械的基準合
わせが介在しないため、プローブと接触点との位置合わ
せ精度がき才〕めで高くなる。
［効果］
（１）、探索した実基準点と理想基準点との差をめ、こ
の差により理想基準点に対する被検出点の仮想座標を補
正し、実際の被検出点の座標をめることにより、基準合
わせを省略しても任意の点を検出することができる。
の差により理想基準点に対する被検出点の仮想座標を補
正し、実際の被検出点の座標をめることにより、基準合
わせを省略しても任意の点を検出することができる。
（２）、ボードテスタにおいて、ボードにおけるプロー
ブ接触点の座標をめることにより、ボードのファインア
ライメントを省略してもプローブを各接触点に相対移動
させることができる。
ブ接触点の座標をめることにより、ボードのファインア
ライメントを省略してもプローブを各接触点に相対移動
させることができる。
（３）、探索子として光学的手段を用いることにより、
非接触にて実基準点を探索することができる。
非接触にて実基準点を探索することができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、探索子としては光学的手段を使用するに限ら
ないし、探索子をプローブ搭載の移動体とは別の移動体
に搭載してもよい。また、探索子は対象物に対し相対移
動すればよく、対象物の方または両方を移動させるよう
にしてもよい。さらに、探索子は一対設けるに限らず、
単一でも２以上でもよい。
ないし、探索子をプローブ搭載の移動体とは別の移動体
に搭載してもよい。また、探索子は対象物に対し相対移
動すればよく、対象物の方または両方を移動させるよう
にしてもよい。さらに、探索子は一対設けるに限らず、
単一でも２以上でもよい。
基準点としてはスルーホールを使用するに限らず、配線
パターンの一部または専用のターゲットを使用してもよ
い。
パターンの一部または専用のターゲットを使用してもよ
い。
［利用分野］
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるボードテスタに適用
した場合について説明したが、それに限定されるもので
はなく、たとえば、自動部品挿入装置等に通用すること
ができる。
をその背景となった利用分野であるボードテスタに適用
した場合について説明したが、それに限定されるもので
はなく、たとえば、自動部品挿入装置等に通用すること
ができる。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図はブロ
ック図、 第３図は作用を説明するための説明図である。 １・・・ボード（対象物）、３・・・治具、４゜６・・
・レール、５．７Ａ、７Ｂ・・・移動体、８Ａ、８Ｂ・
・・プローブ、９Ａ、９Ｂ・・・ホトセンサ（探索子）
、ＩＯＡ、ＩＯＢ・・・光源、１１Ａ、ＩＩＢ・・・基
準スルーホール、１２・・・コンピュータ、１３・・・
メモリ （設定器）、１４Ｘ、１４Ｙ・・・仮想座標軸
、１５Ａ、１５Ｂ・・・理想基準点、１６Ａ、１６Ｂ・
・・コントローラ、１７Ａ、１７Ｂ・・・実基準点、１
８・・・実被検出点。 第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ 図
ック図、 第３図は作用を説明するための説明図である。 １・・・ボード（対象物）、３・・・治具、４゜６・・
・レール、５．７Ａ、７Ｂ・・・移動体、８Ａ、８Ｂ・
・・プローブ、９Ａ、９Ｂ・・・ホトセンサ（探索子）
、ＩＯＡ、ＩＯＢ・・・光源、１１Ａ、ＩＩＢ・・・基
準スルーホール、１２・・・コンピュータ、１３・・・
メモリ （設定器）、１４Ｘ、１４Ｙ・・・仮想座標軸
、１５Ａ、１５Ｂ・・・理想基準点、１６Ａ、１６Ｂ・
・・コントローラ、１７Ａ、１７Ｂ・・・実基準点、１
８・・・実被検出点。 第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被検出点を有する対象物と、対象物に設けられた一
対の基準点と、対象物に対して相対移動される探索子と
、探索子の相対移動を制御して前記基準点を探索せしめ
るコントローラと、探索された実基準点の仮想座標軸に
対する座標と理想基準点のこの座標軸に対する座標との
差をめ、この解を用いて基準点が理想基準点に合致した
ときの前記被検出点の前記仮想座標軸に対するあらかじ
め想定された座標を補正し、実際の被検出点の仮想座標
軸の座標を演算する演算装置とを備え、被検出点の位置
を仮想座標軸の座標により検出するようにした位置検出
装置。 ２、探索子が、光学的手段であることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143845A JPS6035279A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143845A JPS6035279A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | 位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6035279A true JPS6035279A (ja) | 1985-02-23 |
Family
ID=15348284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58143845A Pending JPS6035279A (ja) | 1983-08-08 | 1983-08-08 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6035279A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01305304A (ja) * | 1988-06-03 | 1989-12-08 | Ono Sokki Co Ltd | 二次元位置測定方法および装置 |
| JPH0659099U (ja) * | 1993-02-04 | 1994-08-16 | 株式会社大田製作所 | 定規用地べら |
| US6111246A (en) * | 1996-04-05 | 2000-08-29 | Advantest Corporation | Semiconductor device testing apparatus having presence or absence detectors issuing an alarm when an error occurs |
-
1983
- 1983-08-08 JP JP58143845A patent/JPS6035279A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01305304A (ja) * | 1988-06-03 | 1989-12-08 | Ono Sokki Co Ltd | 二次元位置測定方法および装置 |
| JPH0659099U (ja) * | 1993-02-04 | 1994-08-16 | 株式会社大田製作所 | 定規用地べら |
| US6111246A (en) * | 1996-04-05 | 2000-08-29 | Advantest Corporation | Semiconductor device testing apparatus having presence or absence detectors issuing an alarm when an error occurs |
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