JPH0567200A - 光学式測定装置における画像処理方法 - Google Patents

光学式測定装置における画像処理方法

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JPH0567200A
JPH0567200A JP3229216A JP22921691A JPH0567200A JP H0567200 A JPH0567200 A JP H0567200A JP 3229216 A JP3229216 A JP 3229216A JP 22921691 A JP22921691 A JP 22921691A JP H0567200 A JPH0567200 A JP H0567200A
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 光切断画像SのX軸方向の極大部の最先端位
置を計測する。この位置からX軸方向に所定長さ後戻り
した位置にY軸方向に長手の2つのウインドW6、W7
を設定する。各ウインドにおける画像重心G6、G7の
位置を計測し、両重心と所定の相関関係を持った基準点
Mの位置を決定する。極大部のY軸方向両側に位置する
画像部分に、基準点Mを位置出し基準として夫々複数の
ウインドW1…W5を設定する。これらウインドにおい
て計測される画像重心G1…G5からY軸方向両側の画
像部分の画像線を表わす方程式を算定し、両線の交点を
求める。 【効果】 画像が画面上で変位しても、画像の所定部分
に正確にウインドを設定して、画像線の方程式を正確に
算定でき、この方程式から求められる交点を基準にして
ワークの計測を精度良く行い得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ワークにスリット光を
照射する投光器と、ワークに照射されたスリット光が描
く光切断像を撮像する撮像器とを備える光学式測定装置
の画像処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の光学式測定装置を用い、
撮像器の画面上の光切断画像からワークの形状や位置を
計測することは知られている。この場合、画面上の横方
向と縦方向の座標軸を夫々X軸、Y軸として、光切断画
像が一方の座標軸例えばX軸方向の極大部を有し、この
極大部が角付けされていて極大点が明瞭に識別できれ
ば、この極大点を基準にしてワークの形状や位置を計測
できるが、極大部が丸くなっていると極大点を一義的に
決定することが困難になるため、この場合は、極大部に
対しY軸方向両側に位置する光切断画像の部分の線の方
程式を算定して、画像のY軸方向の一側部分の線と他側
部分の線との交点の位置を両方程式から求め、この交点
を極大点に代わるものとしてワークの計測を行うことが
考えられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、光切断画像
はある幅を持った帯線状の画像となり、上記の如くY軸
方向一側と他側の画像部分の線の方程式を算定する場
合、この画像部分に複数箇所のウインドを設定し、これ
らウインドの夫々における光切断画像の重心位置を計測
して、これら重心位置を通る曲線又は直線の方程式を算
定することになるが、光学式測定装置に対するワークの
位置が変化すると、光切断画像の画面上の位置も変化す
るため、ウインドを画面上の一定位置に設定したので
は、ウインドが光切断画像から外れたり、又個々のワー
クで光切断画像に対するウインドの設定位置がずれたり
するため、光切断画像の変位に応じてウインドの設定位
置も変位させる必要がある。この場合、光切断画像の極
大部の位置から該画像の変位を検出してウインドの設定
位置を変更することが考えられるが、上記の如く極大部
が丸くなっていると、極大部のX軸方向の変位はある程
度正確に検出できても、Y軸方向の変位は正確には検出
できないため、ウインドの設定位置がY軸方向にずれる
おそれがある。本発明は、以上の点に鑑み、光切断画像
が画面上で変位しても画像の所要箇所に正確にウインド
を設定し得るようにした画像処理方法を提供することを
その目的としている。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明は、ワークにスリット光を照射する投光器と、ワ
ークに照射されたスリット光が描く光切断像を撮像する
撮像器とを備える光学式測定装置の画像処理方法であっ
て、撮像器の画面上の光切断画像が該画面の一方の座標
軸方向の極大部を有し、該極大部に対し画面の他方の座
標軸方向両側に位置する光切断画像の部分に夫々所定の
ウインドを設定し、該各ウインドにおける光切断画像の
重心位置を計測するものにおいて、光切断画像の極大部
の前記一方の座標軸方向の最先端の位置を計測し、この
位置から該一方の座標軸方向に所定長さ後戻りした位置
に前記他方の座標軸方向に長手の2個のウインドを設定
し、該両ウインドの夫々における光切断画像の重心位置
を計測して、該両重心位置と所定の相関関係を持った基
準点を求め、前記所定のウインドを夫々該基準点に対し
所定の位置関係で設定することを特徴とする。
【0005】
【作用】上記一方の座標軸をX軸、他方の座標軸をY軸
として本発明の作用を説明する。光切断画像の極大部が
丸くなっていると、極大部の最先端の位置をY軸方向複
数の画素が検出して、該最先端のY軸座標値を一義的に
決定できなくなるが、X軸座標値は一義的に決定され、
このX軸座標値からX軸方向に所定長さ後戻りした位置
にY軸方向に長手の2つのウインドを設定すれば、極大
部からX軸方向に後戻りしつつY軸方向一側と他側とに
のびる光切断画像の所定部分に各ウインドがかかる。そ
して、両ウインドにおける画像重心位置を計測し、両重
心位置に対し所定の相関関係を持った点、例えば両重心
位置の中点を基準点にすれば、この基準点のX、Y座標
値は光切断画像の画面上のX軸方向とY軸方向の変位を
ほぼ正確に表わす。従って、光切断画像が画面上でX軸
及びY軸方向に変位しても、光切断画像の極大部に対す
るY軸方向一側部分と他側部分とに、上記基準点を基準
にして各所定のウインドをこれら画像部分に対し一定の
位置関係で正確に設定できる。そのため、これらウイン
ドにおいて計測される画像重心位置からY軸方向一側部
分の画像線の方程式と他側部分の画像線の方程式とを精
度良く算定できるようになり、両方程式から求められる
両画像線の交点を基準にしてワークの形状や位置を高精
度で計測できる。
【0006】
【実施例】図示の実施例は、図1に示す自動車車体のル
ーフサイドレールから成るワークAの光切断画像に基い
てワークAの位置を計測し、車体の組立精度を判定する
光学式測定装置の画像処理に本発明を適用したもので、
該測定装置は、図2に示す如く、ワークAに向けて垂直
のスリット光を照射するレーザ等から成る投光器1と、
ワークAの表面上のスリット光の像たるワークAの光切
断像S′を撮像するCCDカメラから成る撮像器2と
を、スリット光の光軸と撮像器2の光軸とが所要の角度
θで斜交するような位置関係で、共通のベースプレート
3に取付けて成るものとした。図中4は画像処理を行う
電子制御回路である。
【0007】撮像器2の画面Wには、図3に示すよう
に、画面Wの横方向と縦方向の座標軸を夫々X軸、Y軸
として、X軸方向の極大部を有し、この極大部に対しY
軸方向上側が曲線部分、下側が直線部分となった光切断
画像Sが結像される。この画像Sは、極大部が丸くなっ
ていて位置の判定基準に適した明瞭な角部が無いため、
曲線部分の線S1と直線部分の線S2との交点Qの画面W
上のX、Y座標値を、曲線S1の方程式と直線S2の方程
式とから算出し、この交点Qを基準点としてワークAの
位置を計測するようにした。
【0008】ここで、曲線S1の方程式は、近似的に曲
線部分の特定領域の3点を通る円の方程式として表わす
ことができ、そのため光切断画像Sの上半部に第1乃至
第3の3つのウインドW1、W2、W3を設定して、こ
れら各ウインドにおける光切断画像Sの重心G1、G
2、G3のX、Y座標値を計測し、これら3つの重心を
通る円の方程式を求めてこれを曲線S1の方程式とし
た。ところで、光切断画像Sはある幅を持っており、こ
の画像Sの境界線近傍に位置する画素の受光量が所定の
閾値を上回るか否かの微妙な差で重心の座標値が変化し
てしまい、同一のワークを同一の位置に置いた場合でも
重心の座標値は多少とも変化する。この場合、中間の第
2ウインドW2の画像重心G2の座標値の変化に対する
円の半径の変化率と、他の重心G1、G3の座標値の変
化に対する円の半径の変化率とを比べると、前者の変化
率の方が大きく、重心G2の座標値の誤差が曲線S1
方程式の算出精度に大きく影響する。一方、ワークAの
曲率は個々の製品で左程ばらつくことはなく、この曲率
半径を予め計測しておけば、曲線S1上の2点の座標値
と曲率半径とから曲線S1の方程式を算出できる。そし
て、曲線方程式を微小領域からサンプリングして算出す
る場合、上記G2の座標値の誤差による影響を排除して
方程式の算出精度を向上させるには、2つの点と曲率半
径とから曲線S1の方程式を算出する方が有利であり、
そこで本実施例では、図4に示すように、光切断画像S
の上半部に第1と第3の2つのウインドW1、W3を設
定して、該各ウインドの画像重心G1、G3の座標値を
計測し、これと曲率半径Rとから曲線S1の方程式を算
出するようにした。尚、曲率半径Rの計測に際しては、
ワークAと同形状のマスタワークを所定の基準位置に置
いてその光切断画像を撮像し、画面Wに上記第1乃至第
3の3つのウインドW1、W2、W3を設定して、これ
らウインドの画像重心からマスタワークの光切断画像の
曲線の半径を求め、これを数回繰返して求められた半径
の平均値を曲率半径Rとし、この値を電子制御回路4に
記憶させておく。尚、前記マスタワークは、生産ライン
でのオンライン計測をする場合、該ラインに流れる車体
でもよく、その場合、測定を開始する際の最初の1台も
しくは数台をマスタワークとする。ワークAの光切断画
像Sの直線S2の方程式は、画像Sの下半部に第4と第
5の2つのウインドW4、W5を設定し、該各ウインド
の画像重心G4、G5の座標値を計測することで算出す
る。
【0009】ところで、ワークAの撮像器2との相対位
置関係が変化すると、画面W上の光切断画像Sの位置も
変化し、上記ウインドW1〜W5を画面Wの定位置に設
定したのでは、ウインドが光切断画像Sから外れたり、
又曲線部分に設定するウインドW1、W3が曲率半径の
小さな画像部分にかかって曲線方程式を正確に算出でき
なくなることがある。この場合、図4に示すように、光
切断画像SのX軸方向の極大部の最左端の点Pを基準に
してウインドW1〜W5の位置を設定することも考えら
れるが、光切断画像Sの極大部が角付けされていない限
り点PのY軸座標値を一義的に決定することは困難であ
り、ウインドW1〜W5の光切断画像Sに対する相対的
位置がY軸方向にばらついてしまう。そこで、本実施例
では、点PのX座標値を基準にして右方に所定長さ離間
した位置に、図5(a)に示す如く、Y軸方向に長手の
第6と第7の上下1対のウインドW6、W7を設定し、
該各ウインドの画像重心G6、G7の座標値を計測し
て、両重心G6、G7と所定の相関関係を持った点、例
えば両重心G6、G7の中点となる基準点Mの座標値を
求め、この点Mを基準にして図5(b)に示すように前
記各ウインドW1〜W5の位置を決定するようにした。
【0010】これによれば、光切断画像Sの画面W上の
位置がずれても、この画像Sに対し一定の相関関係を保
って正確にウインドW1〜W5を設定でき、かくて曲線
1と直線S2との方程式を正しく算出して、正確に交点
Qの座標値を求めることができる。尚、図5(b)にお
いて、dxn、dynは各ウインドWnの左上コーナの
基準点Mに対するX軸方向とY軸方向の位置、Wxn、
Wynは各ウインドWnのX軸方向とY軸方向の長さで
あり、電子制御回路4に記憶されている。
【0011】又、ワークAがスリット光の光軸方向に変
位すると、光切断画像Sが画面W上でX軸方向に変位す
ると共に、画像Sの拡大率が変化する。これを図6を参
照して説明する。図6は、撮像器2の光軸をZ軸とし、
Z軸上のC点に撮像器2を置いて、C点から所定の基準
距離Lだけ離れた撮像器2の基準撮像面W′上にX軸と
Y軸とを取ると共に、スリット光の光軸を含むスリット
光に平行な光切断面T上に光軸方向のU軸とこれに直交
するV軸とを取ってV軸をY軸に合致させ、且つX−Y
座標の原点OをU軸が通るように座標系を設定した状態
を示している。今、撮像面W′からZ軸方向に距離aだ
け離れた位置に存する光切断面T上の長さHの像をC点
を視点として撮像面W′に投射したときの像の長さをh
とすると、拡大率K=h/HはL/(L−a)となる。
ここで、HのU軸座標値をu、hのX軸座標値をx(原
点Oの左側が正、右側が負)とすると、aはucosθ
となり、拡大率Kは、 K=L/(L−ucosθ) ……(1) となる。一方、X−Z座標面におけるC点からHへの視
線とZ軸との成す角度をαとして、tanα=x/Lと
なり、又、HのX軸座標値はusinθであるから、 tanα=usinθ/(L−a)=usinθ/(L−ucosθ) となり、これからxとuとの関係を求めると、 x/L=usinθ/(L−ucosθ) 即ち、 u=Lx/(Lsinθ+xcosθ) ……(2) となり、(2)式を(1)式に代入して整理すると、拡
大率Kは、 K=1+(x/L)cotθ ……(3) となる。従って、ワークAがスリット光の光軸方向に変
位するとき、光切断画像Sが画面W上においてX軸方向
に変位し、この変位の方向はワークAが近付くとき左
方、遠ざかるとき右方となり、且つ画像Sの大きさが
(3)式の拡大率に応じて拡大縮小されることになる。
そのため、画像Sの拡大率に応じて上記ウインドW1〜
W5の位置及び大きさを変更することが望まれる。そこ
で、本実施例では、ワークAを正規の位置にセットした
ときに、光切断画像Sの最左端の点Pの画面W上のX軸
座標値が零になるように光学式測定装置を調節してお
き、画像SがX軸方向に変位したとき、点PのX軸座標
値Pxを(3)式のxとして代入して拡大率Kを求め、
図7に示すように各ウインドWnのY軸座標値を上記d
ynにKを乗算した値とし、更に各ウインドWnの大き
さも拡大率Kに応じて変え、光切断画像Sの所要位置に
夫々ウインドW1〜W5を設定できるようにした。
【0012】又、画像処理による形状の計測では、撮像
器2のレンズ系の歪曲による誤差や、ピントずれによる
誤差や、ベースプレート3の加工誤差及びこれへの投光
器1と撮像器2の取付誤差に起因した投光器1と撮像器
2の相対位置関係の誤差による誤差を生ずることがあ
る。そこで、図8に示す如く、光学式測定装置を定盤5
上に取付けると共に、定盤5上に光切断面上の直交2方
向即ち前記U軸方向とV軸方向とに移動可能なテーブル
6を設けて、該テーブル6上にワークAの形状に似た形
状の基準ブロック7を置き、誤差を予め計測するように
した。これを詳述するに、基準ブロック7をテーブル6
により後記する交点に対応する基準ブロック7の仮想コ
ーナ点が光切断面上に設定した複数の計測ポイントU1
1、…UmVmに各合致するように順に移動し、各ポイ
ントにおいて基準ブロック7に投光器1からスリット光
を照射して該ブロック7上の光切断像S′を撮像器2で
撮像し、撮像器2の画面上の光切断画像から上記と同様
の方法で該画像を構成する2つの線の交点(上記Qに対
応する点)の位置を求め、この交点に対応する光切断面
上の座標値と計測ポイントの座標値とのU軸方向とV軸
方向の誤差Δu、Δvを各計測ポイント毎に計測する。
尚、本実施例では基準ブロック7の基部に上記仮想コー
ナ点に合致するエッジ部7aを形成し、仮想コーナ点が
計測ポイントに合致するように該エッジ部7aを目安に
して基準ブロック7を正確にセッティングし得るように
した。図9は、複数の計測ポイントU11、…UmVmに
おける夫々のΔuを立体的に示した図であり、Δuのデ
ータから重回帰によりΔuを表す補正式Δu=f
1(u、v)を求め、同様にΔvを表す補正式Δy=f2
(u、v)を求め、ワークAの計測で得られた交点Qの
光切断面上の座標値にこれら補正式で求められる補正値
を加減算して、ワークAの位置を判定する座標値とし、
上記種々の原因による誤差を一括して補正して正確な計
測を行い得られるようにした。
【0013】以上の処理手順をまとめて表わすと図10
の通りとなる。即ち、先ず誤差計測により補正式f1
2を求め、次にマスタワークを用いて曲率半径Rを求
め、その後に量産車体の計測を行う。この計測に際して
は、図11に示す如く、先ず光切断画像Sの最左端の点
Pの位置を計測し(S1)、次に点Pを基準にして第6
ウインドW6を設定し(S2)、該ウインドW6におけ
る画像重心G6の位置を計測する(S3)。又、点Pを
基準にして第7ウインドW7を設定し(S4)、該ウイ
ンドW7における画像重心G7の位置を計測して(S
5)、両重心G6、G7の位置から基準点Mを決定する
(S6)。次に、基準点Mに基いて第1ウインドW1を
設定して該ウインドW1の画像重心G1の位置を計測し
(S7、S8)、以下同様にして第3乃至第5ウインド
W3、W4、W5を順に設定して各ウインドの画像重心
G3、G4、G5の位置を計測する(S9…S14)。
ここで各ウインドW1〜W5の設定処理手順は図12に
示す通りであり、即ちメモリから各ウインドWnの位置
及び大きさを表すパラメータdxn、dyn、Wxn、
Wynを読出し()、次に点PのX軸座標値Pxに応
じた拡大率Kを求めて()、dynをK・dyn、W
xnとWynを夫々K・Wxn、K・Wynに変更し
()、基準点Mからdxn、dynの位置にWxn、
Wynの大きさのウインドWnを設定する()。図1
1に戻って、各重心G1〜G5の位置を計測した後、G
1とG3と上記曲率半径Rに前記拡大率Kを乗算した半
径とから曲線S1の方程式を算出し(S15)、次にG
4とG5から直線S2の方程式を算出して(S16)、
両方程式から交点Qの位置を求め(S17)、次いで交
点Qの画面Wの座標値を光切断面上の座標値に変換して
(S18)、この座標値に補正式f1、f2から求められ
る補正値を加減算して(S19)、このように補正され
た座標値をワークAの位置データとして車体の組立精度
を判定する上位コンピュータに送信し(S20)、1回
の計測処理を完了する。
【0014】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、光切断画像が変位しても、拡大部の両側の画
像部分の所定箇所に正確にウインドを設定でき、両側の
画像部分の画像線の方程式を正確に算定して、両画像線
の交点を基準にしたワークの計測を高精度で行い得られ
る効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 ワークの斜視図
【図2】 本発明を適用する光学式測定装置の一例の
平面図
【図3】 光切断画像の極大部両側の画像線の交点の
求め方を示す図
【図4】 光切断画像の曲線部分の画像線の方程式を
2つのウインドを設定して求める方法を示す図
【図5】 (a)は本発明の基準点の求め方を示す
図、(b)は基準点を基準にしたウインドの設定パラメ
ータを示す図
【図6】 ワークの光軸方向の変化による画像変化の
原理を示す図
【図7】 画像変化に合わせたウインドの設定パラメ
ータの変更を示す図
【図8】 誤差を計測する際の装置レイアウトを示す
斜視図
【図9】 光切断面に合致する座標面上に計測された
誤差を立体的に表わした図
【図10】 全体的な計測手順を示すフローチャート
【図11】 ワーク計測時の処理手順を示すフローチャ
ート
【図12】 ウインドの設定手順を示すフローチャート
【符号の説明】
1 投光器 2 撮像器 A ワーク W 画面 S 光切断画像 W1〜W5 極大部両側に設定するウインド W6、W7 極大部先端から所定長さ離して設定するウ
インド G1〜G7 画像重心 M 基準点 Q 交点

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワークにスリット光を照射する投光器
    と、ワークに照射されたスリット光が描く光切断像を撮
    像する撮像器とを備える光学式測定装置の画像処理方法
    であって、撮像器の画面上の光切断画像が該画面の一方
    の座標軸方向の極大部を有し、該極大部に対し画面の他
    方の座標軸方向両側に位置する光切断画像の部分に夫々
    所定のウインドを設定し、該各ウインドにおける光切断
    画像の重心位置を計測するものにおいて、光切断画像の
    極大部の前記一方の座標軸方向の最先端の位置を計測
    し、この位置から該一方の座標軸方向に所定長さ後戻り
    した位置に前記他方の座標軸方向に長手の2個のウイン
    ドを設定し、該両ウインドの夫々における光切断画像の
    重心位置を計測して、該両重心位置と所定の相関関係を
    持った基準点を求め、前記所定のウインドを夫々該基準
    点に対し所定の位置関係で設定することを特徴とする光
    学式測定装置における画像処理方法。
  2. 【請求項2】 前記極大部に対し前記他方の座標軸方向
    両側に位置する光切断画像の部分に夫々前記所定のウイ
    ンドを複数箇所設定し、光切断画像の該座標軸方向一側
    部分に設定した複数のウインドにおいて計測される光切
    断画像の重心位置から該一側部分の線の方程式を算定す
    ると共に、光切断画像の該座標軸方向他側部分に設定し
    た複数のウインドにおいて計測される光切断画像の重心
    位置から該他側部分の線の方程式を算定し、両方程式か
    ら一側部分の線と他側部分の線との交点の位置を求める
    ことを特徴とする請求項1に記載の光学式測定装置にお
    ける画像処理方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5633950A (en) * 1993-12-28 1997-05-27 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Method of image processing in optical measuring apparatus
JP2013170839A (ja) * 2012-02-17 2013-09-02 Keyence Corp 光学式変位計
JP2013170841A (ja) * 2012-02-17 2013-09-02 Keyence Corp 光学式変位計および測定対象物の計測方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5633950A (en) * 1993-12-28 1997-05-27 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Method of image processing in optical measuring apparatus
JP2013170839A (ja) * 2012-02-17 2013-09-02 Keyence Corp 光学式変位計
JP2013170841A (ja) * 2012-02-17 2013-09-02 Keyence Corp 光学式変位計および測定対象物の計測方法

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