JPH03138956A - ハンドラ - Google Patents
ハンドラInfo
- Publication number
- JPH03138956A JPH03138956A JP1276852A JP27685289A JPH03138956A JP H03138956 A JPH03138956 A JP H03138956A JP 1276852 A JP1276852 A JP 1276852A JP 27685289 A JP27685289 A JP 27685289A JP H03138956 A JPH03138956 A JP H03138956A
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- JP
- Japan
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- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 56
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 2
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、集積回路などの各種の被測定物の特性を、測
定部に接続され九計測機により測定し、収納部に分類収
納するハンドラに関する。
定部に接続され九計測機により測定し、収納部に分類収
納するハンドラに関する。
第３図は、従来のハンドラの動作を説明するブロック図
である。図において、ハンドラ１は、制御部２０制御の
もとく供給部３に供給された集積回路などの被測定物を
測定部４にセットするとともに１測定部４に接続された
計測機５に対し測定開始要求を行う、この計測機５によ
る測定結果は、通常合否やグレード等の分類指示として
制御部２に返される。制御部２は、測定部４から被測定
物を収納部６に送シ、測定結果に従って分類収納部７に
収納する分類収納部７は、単純な合否判定の場合は２組
、グレード分類等の多分類の場合Ｆ！、５からｌＯ組程
度設けられる。また、分類不能や再測定が必要とされた
被測定物のための分類部が設けられる場合もある。
である。図において、ハンドラ１は、制御部２０制御の
もとく供給部３に供給された集積回路などの被測定物を
測定部４にセットするとともに１測定部４に接続された
計測機５に対し測定開始要求を行う、この計測機５によ
る測定結果は、通常合否やグレード等の分類指示として
制御部２に返される。制御部２は、測定部４から被測定
物を収納部６に送シ、測定結果に従って分類収納部７に
収納する分類収納部７は、単純な合否判定の場合は２組
、グレード分類等の多分類の場合Ｆ！、５からｌＯ組程
度設けられる。また、分類不能や再測定が必要とされた
被測定物のための分類部が設けられる場合もある。
この従来のハンドラは、測定部４において測定された被
測定物が、測定結果に応じて自動的に収納部６内の該幽
する分類収納部７に収納されるように制御部２によ多制
御される。近年、製造工程におけるデータ収集の重要度
が高まるＫっれ、従来のような単純な検査、分類のみを
目的とするシステムではなく、計測機５や情報処理用コ
ンピュータを含めたトータルシステムが要求されてきて
いるが、そのようなシステムを構成しようとした場合、
単なる合否、分類結果のみの収拾ではなく、特性データ
のようなよシ高度なデータを収集する必要性が出てくる
。このような場合、特性データ等の収集は、ハンドラ１
側で行われるのではなく、測定結果情報の発生源であり
、よシ高展の情報処理能力を有する計６１１１＆５の側
で行われるのが普通である。計測機５の側では収集すべ
きデータを、ある一定の単位のブロック毎にまとめて、
磁気ディスク等の不揮発性の記憶媒体に記録するか、通
信回線を通じて他のコンピュータ等に送付し保存する。
測定物が、測定結果に応じて自動的に収納部６内の該幽
する分類収納部７に収納されるように制御部２によ多制
御される。近年、製造工程におけるデータ収集の重要度
が高まるＫっれ、従来のような単純な検査、分類のみを
目的とするシステムではなく、計測機５や情報処理用コ
ンピュータを含めたトータルシステムが要求されてきて
いるが、そのようなシステムを構成しようとした場合、
単なる合否、分類結果のみの収拾ではなく、特性データ
のようなよシ高度なデータを収集する必要性が出てくる
。このような場合、特性データ等の収集は、ハンドラ１
側で行われるのではなく、測定結果情報の発生源であり
、よシ高展の情報処理能力を有する計６１１１＆５の側
で行われるのが普通である。計測機５の側では収集すべ
きデータを、ある一定の単位のブロック毎にまとめて、
磁気ディスク等の不揮発性の記憶媒体に記録するか、通
信回線を通じて他のコンピュータ等に送付し保存する。
一方、ハンドラ１側では計測機５からの測定結果を受領
した時点で、測定部４から被測定物を取出し、収納部６
に送付するとともに、供給部３よシ供給される新たな被
測定物を測定部４にセットし、再び測定開始要求を発生
する。この収納部６に送られた測定済みの被測定物は、
測定結果に応じて予め設定されている分類収納部７に収
納される。被測定物の交換および測定済み被測定物の収
納動作は、測定結果の受領、つまシ測定終了応答の受領
によ多口動的に開始するように制御されるので、計測機
５の側でのデータの保存動作とは時間的にズレが生ずる
のが普通である。
した時点で、測定部４から被測定物を取出し、収納部６
に送付するとともに、供給部３よシ供給される新たな被
測定物を測定部４にセットし、再び測定開始要求を発生
する。この収納部６に送られた測定済みの被測定物は、
測定結果に応じて予め設定されている分類収納部７に収
納される。被測定物の交換および測定済み被測定物の収
納動作は、測定結果の受領、つまシ測定終了応答の受領
によ多口動的に開始するように制御されるので、計測機
５の側でのデータの保存動作とは時間的にズレが生ずる
のが普通である。
上述した従来のハンド２では、ハンドラ１における測定
済み被測定物の、分類収納部７への収納動作と、計測機
５側でのデータの保存動作の実行されるタイミングが、
かならず一致するとは保証されないため、計測機５１１
１１また社ハンドラ１側でのトラブルが発生等による測
定中断時において、ハンドラ１側としては測定終了応答
を受領済みではあるが、計測機５側でのデータがまだ保
存されていない被測定物は、再測定を行う必要があるに
もかかわらず、分類収納部７に収納されてしまい、デー
タが正しく保存された被測定物との分離ができないとい
う欠点がある。
済み被測定物の、分類収納部７への収納動作と、計測機
５側でのデータの保存動作の実行されるタイミングが、
かならず一致するとは保証されないため、計測機５１１
１１また社ハンドラ１側でのトラブルが発生等による測
定中断時において、ハンドラ１側としては測定終了応答
を受領済みではあるが、計測機５側でのデータがまだ保
存されていない被測定物は、再測定を行う必要があるに
もかかわらず、分類収納部７に収納されてしまい、デー
タが正しく保存された被測定物との分離ができないとい
う欠点がある。
本発明の目的は、測定済みの被測定物のうち、測定部に
おける測定結果が、実質的に不揮発性を有する形態で保
存されていないものと、保存済みの庵のと分離可能な状
態で保持することができるようにしたハンドラを提供す
ることＫある。
おける測定結果が、実質的に不揮発性を有する形態で保
存されていないものと、保存済みの庵のと分離可能な状
態で保持することができるようにしたハンドラを提供す
ることＫある。
本発明の構成は、供給部に投入された被測定物を、計測
機と接続された測定部において計測し、収納部に分類収
納するハンドラにおいて、前記測定部で測定後の被測定
物のうち、前記測定部の測定結果が実質的に不揮発性を
有する形態で保存されていないものを、保存済みのもの
と分離可能な状態で一時保存する仮収納部を備えること
を特徴とする。
機と接続された測定部において計測し、収納部に分類収
納するハンドラにおいて、前記測定部で測定後の被測定
物のうち、前記測定部の測定結果が実質的に不揮発性を
有する形態で保存されていないものを、保存済みのもの
と分離可能な状態で一時保存する仮収納部を備えること
を特徴とする。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例のブロック図である。
ハンドラ１は、制御部２の制御のもとに供給部３よ）被
測定物を測定部４にセットし、この測定部４に接続され
た計測機５に対し測定開始要求を発生する。計測機５は
、ハンドラ１からの測定開始要求によシ、測定を開始し
、必要な測定が終了すると、ハンドラ１にたいし測定終
了応答と測定結果を遮光す。計測機５は、測定結果デー
タが予め設定された数に達すると、内部に設けられた磁
気ディスク記録装置やバッテリイ・バックアップされた
半導体記憶装置のような実質的に不揮発といえる記録装
置に保存するか、通信回線を介して他のコンビ二−タ等
に送付し、保存する。計測機５は、どの被測定物に関す
る測定データまでを保存したかを明示して、データ保存
完了応答をハンドラＩＫ遮光す。
測定物を測定部４にセットし、この測定部４に接続され
た計測機５に対し測定開始要求を発生する。計測機５は
、ハンドラ１からの測定開始要求によシ、測定を開始し
、必要な測定が終了すると、ハンドラ１にたいし測定終
了応答と測定結果を遮光す。計測機５は、測定結果デー
タが予め設定された数に達すると、内部に設けられた磁
気ディスク記録装置やバッテリイ・バックアップされた
半導体記憶装置のような実質的に不揮発といえる記録装
置に保存するか、通信回線を介して他のコンビ二−タ等
に送付し、保存する。計測機５は、どの被測定物に関す
る測定データまでを保存したかを明示して、データ保存
完了応答をハンドラＩＫ遮光す。
ハンドラ１の制御部２は、計測機５からの測定終了応答
を受取り、測定済みの被測定物を仮収納部８に仮収納す
るとともに、供給部３から新たな被測定物を取出し測定
部４にセットし、再び測定開始要求を発生する。仮収納
部８に仮収納された被測定物は、計測機５からのデータ
保存完了応答を受は九時点で、個々の被測定物に対応す
る測定結果データに応じて、予め設定されている分類基
準に従って収納部６内の該当する分類収納部７に収納さ
れる。分類収納するための測定結果データは、測定終了
応答と一緒に受領し、ハンドラ１内でデータ保存完了応
答の受領時まで保持する方式でもよいし、測定結果とデ
ータ保存完了応答を一緒に受領する方式でもよい。
を受取り、測定済みの被測定物を仮収納部８に仮収納す
るとともに、供給部３から新たな被測定物を取出し測定
部４にセットし、再び測定開始要求を発生する。仮収納
部８に仮収納された被測定物は、計測機５からのデータ
保存完了応答を受は九時点で、個々の被測定物に対応す
る測定結果データに応じて、予め設定されている分類基
準に従って収納部６内の該当する分類収納部７に収納さ
れる。分類収納するための測定結果データは、測定終了
応答と一緒に受領し、ハンドラ１内でデータ保存完了応
答の受領時まで保持する方式でもよいし、測定結果とデ
ータ保存完了応答を一緒に受領する方式でもよい。
計測機５において伺等かのトラブルが発生し、測定結果
データの保存ができなくなった場合、直前に行われたデ
ータ保存動作よシ後に測定された被測定物は、ハンドラ
ー内の仮収納部８に仮収納されているので、供給部３へ
戻して再測定を行うことが可能である。
データの保存ができなくなった場合、直前に行われたデ
ータ保存動作よシ後に測定された被測定物は、ハンドラ
ー内の仮収納部８に仮収納されているので、供給部３へ
戻して再測定を行うことが可能である。
第２図は、本発明の第２の実施例を示すブロック図であ
る。本実施例では、仮収納部８内に分類収納部７と対応
する仮分類収納部９が設けられている。測定済みの被測
定物は、計測機５による測定結果データによシ、予め設
定されている分類基準に従って仮収納部８内の該当する
仮分類収納部９に収納される。計測機５においてデータ
の保存がなされると、ハンドラ１は、データ保存完了応
答を受領し、仮収納部８内の仮分類収納部９に収納され
ていた被測定物を、収納部６内の該当する分類収納部７
に収納する。
る。本実施例では、仮収納部８内に分類収納部７と対応
する仮分類収納部９が設けられている。測定済みの被測
定物は、計測機５による測定結果データによシ、予め設
定されている分類基準に従って仮収納部８内の該当する
仮分類収納部９に収納される。計測機５においてデータ
の保存がなされると、ハンドラ１は、データ保存完了応
答を受領し、仮収納部８内の仮分類収納部９に収納され
ていた被測定物を、収納部６内の該当する分類収納部７
に収納する。
本実施例では、比較的時間がかかる分類収納作業が仮収
納部８内において行われるので、収納作業全体の時間が
短縮されるという利点がある。
納部８内において行われるので、収納作業全体の時間が
短縮されるという利点がある。
以上説明したように本発明は、測定後の被測定物のうち
測定部における測定結果が実質的に不揮発性を有する形
態で保存されていないものを、保存済みのものと分離可
能な状態で保持するだめの仮収納部を有することにより
、計測機において例等かのトラブルが発生し、測定結果
データの保存ができなくなった場合、直前に行われたデ
ータ保存動作よシ後に測定された被測定物を供給部へ戻
して再測定を行うことが可能であるという効果がある。
測定部における測定結果が実質的に不揮発性を有する形
態で保存されていないものを、保存済みのものと分離可
能な状態で保持するだめの仮収納部を有することにより
、計測機において例等かのトラブルが発生し、測定結果
データの保存ができなくなった場合、直前に行われたデ
ータ保存動作よシ後に測定された被測定物を供給部へ戻
して再測定を行うことが可能であるという効果がある。
第１図、第２図は本発明のハンドラの第１お↓び第２の
実施例のブロック図、第３図は従来のハンドラの一例の
ブロック図である。 １・・・ハンドラ、２・・・制御部、３・・・供給部、
４・・・測定部、５・・・計測機、６・・・収納部、７
・・−分類収納部、８・・・仮収納部、９・・・仮分類
収納部。
実施例のブロック図、第３図は従来のハンドラの一例の
ブロック図である。 １・・・ハンドラ、２・・・制御部、３・・・供給部、
４・・・測定部、５・・・計測機、６・・・収納部、７
・・−分類収納部、８・・・仮収納部、９・・・仮分類
収納部。
Claims (1)
- 供給部に投入された被測定物を、計測機と接続された
一定部において計測し、収納部に分類収納するハンドラ
において、前記測定部で測定後の被測定物のうち、前記
測定部の測定結果が実質的に不揮発性を有する形態で保
存されていないものを、保存済みのものと分離可能な状
態で一時保存する仮収納部を備えることを特徴とするハ
ンドラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1276852A JPH03138956A (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | ハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1276852A JPH03138956A (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | ハンドラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03138956A true JPH03138956A (ja) | 1991-06-13 |
Family
ID=17575309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1276852A Pending JPH03138956A (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | ハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03138956A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997005496A1 (fr) * | 1995-07-28 | 1997-02-13 | Advantest Corporation | Testeur de dispositif a semiconducteur et systeme de test de dispositif a semiconducteur comportant plusieurs testeurs |
| US6111246A (en) * | 1996-04-05 | 2000-08-29 | Advantest Corporation | Semiconductor device testing apparatus having presence or absence detectors issuing an alarm when an error occurs |
| US7017094B2 (en) | 2002-11-26 | 2006-03-21 | International Business Machines Corporation | Performance built-in self test system for a device and a method of use |
-
1989
- 1989-10-23 JP JP1276852A patent/JPH03138956A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997005496A1 (fr) * | 1995-07-28 | 1997-02-13 | Advantest Corporation | Testeur de dispositif a semiconducteur et systeme de test de dispositif a semiconducteur comportant plusieurs testeurs |
| US6066822A (en) * | 1995-07-28 | 2000-05-23 | Advantest Corporation | Semiconductor device testing apparatus and semiconductor device testing system having a plurality of semiconductor device testing apparatus |
| US6433294B1 (en) | 1995-07-28 | 2002-08-13 | Advantest Corporation | Semiconductor device testing apparatus and semiconductor device testing system having a plurality of semiconductor device testing apparatus |
| US6111246A (en) * | 1996-04-05 | 2000-08-29 | Advantest Corporation | Semiconductor device testing apparatus having presence or absence detectors issuing an alarm when an error occurs |
| US7017094B2 (en) | 2002-11-26 | 2006-03-21 | International Business Machines Corporation | Performance built-in self test system for a device and a method of use |
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