JPH04196454A - 半導体装置製造システム - Google Patents
半導体装置製造システムInfo
- Publication number
- JPH04196454A JPH04196454A JP2328067A JP32806790A JPH04196454A JP H04196454 A JPH04196454 A JP H04196454A JP 2328067 A JP2328067 A JP 2328067A JP 32806790 A JP32806790 A JP 32806790A JP H04196454 A JPH04196454 A JP H04196454A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magazine
- ics
- data
- computer system
- handler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体装置製造における半導体装置製造シス
テムに関する。
テムに関する。
［従来の技術］
従来の技術としては、第２図に示すようにパッケージＩ
Ｃを測定し、マガジンに収納するハンドラーにおいてそ
のＩＣを不良品、良品、及びその良品をアクセス、消費
電力等で分類する機構があり、さらに分類されたＩＣを
収納するためのその分類に応じた数のマガジンを備え付
けていた。
Ｃを測定し、マガジンに収納するハンドラーにおいてそ
のＩＣを不良品、良品、及びその良品をアクセス、消費
電力等で分類する機構があり、さらに分類されたＩＣを
収納するためのその分類に応じた数のマガジンを備え付
けていた。
［発明が解決しようとする課Ｊ８！］
前述の従来技術では、ハンドラーの機構の複雑化や、マ
ガジンのための装置空間の広さ、また、ハンドラーでの
分類後からパッケージ印刷までの間で、分類されたマガ
ジンの混入という問題点を有する。
ガジンのための装置空間の広さ、また、ハンドラーでの
分類後からパッケージ印刷までの間で、分類されたマガ
ジンの混入という問題点を有する。
そこで本発明はこのような問題点を、解決するもので、
その目的とするところはコンピュータシステムにより、
ＩＣの特性データを管理しさらにその特性データをもと
に印刷工程での印刷を行うことを提供せんとするもので
ある。
その目的とするところはコンピュータシステムにより、
ＩＣの特性データを管理しさらにその特性データをもと
に印刷工程での印刷を行うことを提供せんとするもので
ある。
［ｉｍ題を解決するための手段］
上記課題を解決するため、本発明の半導体製造システム
は、測定後パッケージＩＣをマガジンに収納する装置に
おいて、前記マガジンに収納された結果をコンピュータ
システムにより管理しさらにそのデータを印刷機に提供
することを特徴とする。
は、測定後パッケージＩＣをマガジンに収納する装置に
おいて、前記マガジンに収納された結果をコンピュータ
システムにより管理しさらにそのデータを印刷機に提供
することを特徴とする。
［実施例］
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図において、ハンドラー１は従来からあるパッケージ
ＩＣを計測し分類のための判断となる機構である計測部
２と計測終了後マガジンにＩＣを収納する機構の分類部
３及び、収納用マガジン４を備えている。
１図において、ハンドラー１は従来からあるパッケージ
ＩＣを計測し分類のための判断となる機構である計測部
２と計測終了後マガジンにＩＣを収納する機構の分類部
３及び、収納用マガジン４を備えている。
またこのハンドラー１に搬送された複数のパッケージＩ
Ｃは、まず計測部によりここの特性データを計測しマガ
ジンに収納される。このＩＣの流動経路７を矢印で示す
。
Ｃは、まず計測部によりここの特性データを計測しマガ
ジンに収納される。このＩＣの流動経路７を矢印で示す
。
続いて、マガジンに収納されたＩＣに名称を入れるため
の印刷装置５にＩＣは搬送される。この印刷装置をコン
ピュータシステム６によって管理を行う。
の印刷装置５にＩＣは搬送される。この印刷装置をコン
ピュータシステム６によって管理を行う。
次に第３図においてデータの流れを示す。
ハンドラーに搬送された複数のパッケージＩＣは、まず
計測部でその特性の計測が行われる。その時点で、計測
部により個々の特性データ８をコンピュータシステムに
アップロードし、コンピュータシステムは、個々の４！
性データをマガジン毎にデータベー ス９に書き込む。
計測部でその特性の計測が行われる。その時点で、計測
部により個々の特性データ８をコンピュータシステムに
アップロードし、コンピュータシステムは、個々の４！
性データをマガジン毎にデータベー ス９に書き込む。
この場合、データとマガジンの整合性をとるためマガジ
ンに識別子１０を用いる必要がある。
ンに識別子１０を用いる必要がある。
またこの特性データは、良品／不良品の識別、または消
費電力・アクセス等のデータを用いる場合が多い。
費電力・アクセス等のデータを用いる場合が多い。
マガジンに収納されたＩＣは、その後の印刷工程に搬送
される。
される。
印刷工程において、マガジンの識別子を印刷装置に入力
するか、またはコンピュータシステム付随の端末に入力
する事により、そのマガジンに収納されている工Ｃの特
性データをコンピュータシステムのデータベースにアク
セスし印刷装置に、特性データをダウンロードする。印
刷装置はこの特性データを用いてマガジンから取り呂さ
れる各々のＩＣに対して特性データに対応した名称を印
刷する。
するか、またはコンピュータシステム付随の端末に入力
する事により、そのマガジンに収納されている工Ｃの特
性データをコンピュータシステムのデータベースにアク
セスし印刷装置に、特性データをダウンロードする。印
刷装置はこの特性データを用いてマガジンから取り呂さ
れる各々のＩＣに対して特性データに対応した名称を印
刷する。
以上のように実施例において、ハンドラーの分類部は、
単一のマガジンにＩＣを収納するための機構となり計測
後の特性データによる分類を必要としなくなるため非常
に簡素化できる。またハンドラーの装置構成においても
、マガジンも従来装置とは異なり単一でＩＣを収納する
構成になるため装置空間も狭まる。
単一のマガジンにＩＣを収納するための機構となり計測
後の特性データによる分類を必要としなくなるため非常
に簡素化できる。またハンドラーの装置構成においても
、マガジンも従来装置とは異なり単一でＩＣを収納する
構成になるため装置空間も狭まる。
その他に、ハンドラーでの作業終了後、印刷工程に搬送
されるまでの間、従来装置ではマガジンを特性データ毎
に分類していたため、他のマガジンとの混入が問題にな
っていたが、その特性データをコンピュータシステムが
管理するため、以上のような問題は解決される。
されるまでの間、従来装置ではマガジンを特性データ毎
に分類していたため、他のマガジンとの混入が問題にな
っていたが、その特性データをコンピュータシステムが
管理するため、以上のような問題は解決される。
［発明の効果〕
以上述べたように発明によれば、パッケージＩＣをマガ
ジンに収納させる装置において、マガジンに収納される
ＩＣの分類をコンピュータシステムを利用してＩＣを管
理することによりＩＣをマガジンに収納される装置のＩ
Ｃ分類機椙の簡素化、前記装置空間の縮小及び、後工程
までの他マガジンの混入の防止という効果を有する。
ジンに収納させる装置において、マガジンに収納される
ＩＣの分類をコンピュータシステムを利用してＩＣを管
理することによりＩＣをマガジンに収納される装置のＩ
Ｃ分類機椙の簡素化、前記装置空間の縮小及び、後工程
までの他マガジンの混入の防止という効果を有する。
第１図は、本発明のコンピュータシステムの管理を行っ
ているハンドラーの構成図。第２図は、従来のハンドラ
ーの構成図。第３図は、特性データの流れを示す、イメ
ージ図。 １−一一一ハンドラー ２−一一一計測部 ３−一一一分類部 ４−一一一マガジン ５−一一一印刷装置 ６−−−−コンピユータシステム ７−−−−ＩＣの流動経路 ８−一一一特性データ ９−一一一データベース １０−−−一特性データの識別子 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 齢木喜三部（化１名）ｌｌｌｉ２
図
ているハンドラーの構成図。第２図は、従来のハンドラ
ーの構成図。第３図は、特性データの流れを示す、イメ
ージ図。 １−一一一ハンドラー ２−一一一計測部 ３−一一一分類部 ４−一一一マガジン ５−一一一印刷装置 ６−−−−コンピユータシステム ７−−−−ＩＣの流動経路 ８−一一一特性データ ９−一一一データベース １０−−−一特性データの識別子 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 齢木喜三部（化１名）ｌｌｌｉ２
図
Claims (1)
- パッケージ済みＩＣをマガジンに収納する装置において
、前記マガジンに収納される前記ＩＣの分類をコンピュ
ータシステムを利用して、前記ＩＣを管理することを特
徴とした半導体装置製造システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2328067A JPH04196454A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 半導体装置製造システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2328067A JPH04196454A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 半導体装置製造システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04196454A true JPH04196454A (ja) | 1992-07-16 |
Family
ID=18206148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2328067A Pending JPH04196454A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 半導体装置製造システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04196454A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07218581A (ja) * | 1994-01-28 | 1995-08-18 | Toshiba Corp | 半導体装置の処理装置およびその処理方法 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP2328067A patent/JPH04196454A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07218581A (ja) * | 1994-01-28 | 1995-08-18 | Toshiba Corp | 半導体装置の処理装置およびその処理方法 |
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