JPH0574899A - Icオートハンドラー - Google Patents
IcオートハンドラーInfo
- Publication number
- JPH0574899A JPH0574899A JP3238119A JP23811991A JPH0574899A JP H0574899 A JPH0574899 A JP H0574899A JP 3238119 A JP3238119 A JP 3238119A JP 23811991 A JP23811991 A JP 23811991A JP H0574899 A JPH0574899 A JP H0574899A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ics
- image data
- lens
- visual inspection
- ccd camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】半導体の電気的特性を測定、分類するICオー
トハンドラーとCCDカメラ7、CCDカメラ用レンズ
8で構成され、さらにCCDカメラ7及びCCDカメラ
用レンズ8は移動機構を有する。ICオートハンドラー
は、IC4の画像データーをレンズ8、CCDカメラ7
より取り込みIC4の外観検査を実施し、IC4の外観
検査良否を決定する。さらにICオートハンドラは、こ
の良否判定別にIC4をソートレール5に搬送され、収
容マガジン6に収容される。 【効果】IC検査工程において、作業コストを削減し、
ICが完成するまでのリードタイムを低減できる。ま
た、ICの良品、不良品混入等による作業ミスも阻止す
ることが実現できる。
トハンドラーとCCDカメラ7、CCDカメラ用レンズ
8で構成され、さらにCCDカメラ7及びCCDカメラ
用レンズ8は移動機構を有する。ICオートハンドラー
は、IC4の画像データーをレンズ8、CCDカメラ7
より取り込みIC4の外観検査を実施し、IC4の外観
検査良否を決定する。さらにICオートハンドラは、こ
の良否判定別にIC4をソートレール5に搬送され、収
容マガジン6に収容される。 【効果】IC検査工程において、作業コストを削減し、
ICが完成するまでのリードタイムを低減できる。ま
た、ICの良品、不良品混入等による作業ミスも阻止す
ることが実現できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はICテストシステムに係
わる、ICの電気的特性を測定、分類するためのICオ
ートハンドラーに関する。
わる、ICの電気的特性を測定、分類するためのICオ
ートハンドラーに関する。
【0002】
【従来の技術】従来ICの外観検査は、ICの電気的特
性を測定、分類する工程の前後、別工程においてIC外
観検査専用機、もしくは人間の眼によりICの外観検査
を実施していた。
性を測定、分類する工程の前後、別工程においてIC外
観検査専用機、もしくは人間の眼によりICの外観検査
を実施していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、別工程におい
てIC外観検査専用機でICの外観検査を行うと、作業
コストがかかり、ICが完成するまでのリードタイムも
増え、またICの良品、不良品混入等による作業ミスも
発生する結果となってしまう。
てIC外観検査専用機でICの外観検査を行うと、作業
コストがかかり、ICが完成するまでのリードタイムも
増え、またICの良品、不良品混入等による作業ミスも
発生する結果となってしまう。
【0004】そこで本発明は、ICオートハンドラーに
ICの外観検査機構を取り付け、ICの電気的特性を測
定し、ただちにICの外観検査を行い、その後分類する
ため作業コストも削減され、ICが完成するまでのリー
ドタイムも低減できる。また、ICの良品、不良品混入
等による作業ミスも阻止することができる。
ICの外観検査機構を取り付け、ICの電気的特性を測
定し、ただちにICの外観検査を行い、その後分類する
ため作業コストも削減され、ICが完成するまでのリー
ドタイムも低減できる。また、ICの良品、不良品混入
等による作業ミスも阻止することができる。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明のICオートハン
ドラーは、ICの電気的特性を測定するテスターとハン
ドリング装置を含むテストシステムにおいて、上記テス
ターのテストヘッドと、ICの間で電気的特性を測定、
分類するために用いられるICオートハンドラーにおい
て、ICの外観検査機構を取り付けたことを特徴とす
る。
ドラーは、ICの電気的特性を測定するテスターとハン
ドリング装置を含むテストシステムにおいて、上記テス
ターのテストヘッドと、ICの間で電気的特性を測定、
分類するために用いられるICオートハンドラーにおい
て、ICの外観検査機構を取り付けたことを特徴とす
る。
【0006】
【実施例】以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【0007】図1は本発明のICオートハンドラーの概
略図である。
略図である。
【0008】図1において、IC4が収容されている供
給マガジン1より、IC4はICオートハンドラー本体
のチャンバーレール2に収容される。
給マガジン1より、IC4はICオートハンドラー本体
のチャンバーレール2に収容される。
【0009】このチャンバーレール2により、IC4は
測定部3に適した並びとされ、必要に応じた個数が収容
される。
測定部3に適した並びとされ、必要に応じた個数が収容
される。
【0010】さらにIC4の電気的特性の測定条件に合
わせた温度に設定される。
わせた温度に設定される。
【0011】チャンバーレール2に収容されたIC4は
設定温度、待機時間の確認をおこない測定部3に搬送さ
れ、テスター等によりIC4の電気的特性を測定する。
設定温度、待機時間の確認をおこない測定部3に搬送さ
れ、テスター等によりIC4の電気的特性を測定する。
【0012】この電気的特性の測定結果により、テスタ
ーはICオートハンドラーにIC4の分類データーを転
送する。
ーはICオートハンドラーにIC4の分類データーを転
送する。
【0013】ICオートハンドラーは、この分類データ
ー別にIC4の外観検査をおこなう。ICオートハンド
ラーはICの外観検査項目別にレンズ8、CCDカメラ
7を適正位置に移動させる。
ー別にIC4の外観検査をおこなう。ICオートハンド
ラーはICの外観検査項目別にレンズ8、CCDカメラ
7を適正位置に移動させる。
【0014】移動動作終了を確認後、ICオートハンド
ラーは画像データーをレンズ8、CCDカメラ7より取
り込み、予め取り込んである良品画像データーと比較を
おこなう。
ラーは画像データーをレンズ8、CCDカメラ7より取
り込み、予め取り込んである良品画像データーと比較を
おこなう。
【0015】この比較値が設定値以下の場合、つぎの外
観検査項目をおこなうため再びレンズ8、CCDカメラ
7を適正位置に移動させる。
観検査項目をおこなうため再びレンズ8、CCDカメラ
7を適正位置に移動させる。
【0016】移動動作終了を確認後、ICオートハンド
ラーは画像データーをレンズ8、CCDカメラ7より取
り込み、予め取り込んである良品画像データーと比較を
おこない、比較値が設定値以上になるまでICオートハ
ンドラーは以上の作業を繰り返す。
ラーは画像データーをレンズ8、CCDカメラ7より取
り込み、予め取り込んである良品画像データーと比較を
おこない、比較値が設定値以上になるまでICオートハ
ンドラーは以上の作業を繰り返す。
【0017】全ての外観検査項目において、予め取り込
んである良品画像データーとの比較値が設定値以下の場
合、ICオートハンドラーはIC4を外観検査良品 と
判断する。
んである良品画像データーとの比較値が設定値以下の場
合、ICオートハンドラーはIC4を外観検査良品 と
判断する。
【0018】測定部3において外観検査されたIC4
は、ICオートハンドラの良品ソートレール5に搬送さ
れ、電気的特性及び、外観検査別に分類され、収容マガ
ジン6に収容される。
は、ICオートハンドラの良品ソートレール5に搬送さ
れ、電気的特性及び、外観検査別に分類され、収容マガ
ジン6に収容される。
【0019】
【発明の効果】以上に述べたように本発明によれば、半
導体の電気的特性を測定するテスターとハンドリング装
置を含むテストシステムで、上記テスターのテストヘッ
ドと被測定体の間で電気的特性を測定、分類するために
用いられるICオートハンドラーにおいて、ICの外観
検査をおこなうIC外観検査機構を設けることにより、
ICが完成するまでのリードタイム、作業コストの低減
と、ICの不良品混入等の作業ミスを阻止できるため、
ICのコストを下げ、品質の高いICの生産を実現でき
る。
導体の電気的特性を測定するテスターとハンドリング装
置を含むテストシステムで、上記テスターのテストヘッ
ドと被測定体の間で電気的特性を測定、分類するために
用いられるICオートハンドラーにおいて、ICの外観
検査をおこなうIC外観検査機構を設けることにより、
ICが完成するまでのリードタイム、作業コストの低減
と、ICの不良品混入等の作業ミスを阻止できるため、
ICのコストを下げ、品質の高いICの生産を実現でき
る。
【図1】本発明のICオートハンドラーの一実施例を示
す主要構成図。
す主要構成図。
1 供給マガジン 2 チャンバーレール 3 測定部 4 IC 5 ソートレール 6 収容マガジン 7 CCDカメラ 8 レンズ
Claims (1)
- 【請求項1】 ICの電気的特性を測定するテスターと
ハンドリング装置を含むテストシステムで、上記テスタ
ーのテストヘッドとICの間で電気的特性を測定するた
めに用いられるICオートハンドラーにおいて、ICの
外観検査機構を取り付けたことを特徴とするICオート
ハンドラー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3238119A JPH0574899A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Icオートハンドラー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3238119A JPH0574899A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Icオートハンドラー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0574899A true JPH0574899A (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=17025465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3238119A Pending JPH0574899A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Icオートハンドラー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0574899A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6990421B2 (en) | 2002-10-02 | 2006-01-24 | Seiko Epson Corporation | Method of displaying measurement result in inspection process and system thereof, and computer program |
US7123979B2 (en) | 2002-10-23 | 2006-10-17 | Seiko Epson Corporation | Method of intercorporate information-sharing, system, and computer program |
CN103190758A (zh) * | 2013-04-26 | 2013-07-10 | 王道林 | 防打翻多功能组合式墨砚盒 |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP3238119A patent/JPH0574899A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6990421B2 (en) | 2002-10-02 | 2006-01-24 | Seiko Epson Corporation | Method of displaying measurement result in inspection process and system thereof, and computer program |
USRE43405E1 (en) | 2002-10-02 | 2012-05-22 | Seiko Epson Corporation | Method of displaying measurement result in inspection process and system thereof, and computer program |
US7123979B2 (en) | 2002-10-23 | 2006-10-17 | Seiko Epson Corporation | Method of intercorporate information-sharing, system, and computer program |
CN103190758A (zh) * | 2013-04-26 | 2013-07-10 | 王道林 | 防打翻多功能组合式墨砚盒 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW452915B (en) | Method of sorting and investigating automatic semiconductor wafer with extended optical inspection and apparatus for implementing the same | |
US4696047A (en) | Apparatus for automatically inspecting electrical connecting pins | |
KR20060022350A (ko) | 반도체 패키지의 테스트 핸들러 및 그 검사 방법 | |
JPH0574899A (ja) | Icオートハンドラー | |
KR0162001B1 (ko) | 오토핸들러 및 그것을 사용하는 디바이스의 측정방법 | |
JPH0574900A (ja) | Icオートハンドラー | |
CN209061648U (zh) | 一种全自动验证测试芯片设备 | |
JPH09178807A (ja) | Ic検査用オートハンドラ | |
JP4409687B2 (ja) | 電子部品試験装置および電子部品の試験方法 | |
JPS59663A (ja) | 波形テスト方法 | |
JP3105837B2 (ja) | 外観検査機能付きicハンドラ | |
KR100835999B1 (ko) | Ic 소팅 핸들러 및 그 제어방법 | |
JP3150414B2 (ja) | 半導体装置の再検査方法及び半導体装置の検査装置 | |
KR200368650Y1 (ko) | 반도체 패키지의 테스트 핸들러 | |
JP3040233B2 (ja) | 半導体装置の検査方法 | |
JPS61237444A (ja) | Ic製品検査用ハンドラ装置 | |
JPH04177107A (ja) | 成形品の外観検査装置 | |
JPH04268459A (ja) | 線輪部品電気特性検査装置 | |
JPH02140946A (ja) | プローバー | |
JPS6399541A (ja) | 半導体ウエハプロ−バ装置 | |
JPS6364335A (ja) | Ic製品検査用ハンドラ装置 | |
JPH0794559A (ja) | プローバ | |
JPH03147346A (ja) | 半導体発光素子用チップの自動検査器 | |
JPH0514951U (ja) | 半導体テスト装置 | |
JPS5935441A (ja) | プロ−バ装置 |