JPH09178807A - Ｉｃ検査用オートハンドラ - Google Patents
Ｉｃ検査用オートハンドラInfo
- Publication number
- JPH09178807A JPH09178807A JP7336279A JP33627995A JPH09178807A JP H09178807 A JPH09178807 A JP H09178807A JP 7336279 A JP7336279 A JP 7336279A JP 33627995 A JP33627995 A JP 33627995A JP H09178807 A JPH09178807 A JP H09178807A
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- Japan
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- handler
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＩＣの電気特性を検査するハンドラでは、Ｉ
Ｃ種類に対応した検査用プログラムをテスタに具備させ
る必要があり、ＩＣ種類が増えるとテスタ規模が大きく
なり、また検査用プログラムが適正でないとＩＣを破損
するおそれがある。 【解決手段】 ストッパ３におかれたＩＣを撮像装置４
で撮像し、画像認識装置５でＩＣの種類を認識し、比較
装置６においてＩＣの種類に対応する検査用プログラム
をプログラム記憶装置８から読み出し、ロード命令出力
装置９はこの検査用プログラムをテスタ１０にロードす
る。テスタ１０はＩＣにコンタクト１２で電気接続さ
れ、ロードされた検査用プログラムに基づいてＩＣの電
気特性を検査する。複数種類のＩＣが混在状態で検査さ
れる場合でも、各ＩＣに対応した検査用プログラムをそ
の都度ロードさせるため、適切な検査が可能となり、か
つテスタは最低限必要とされる検査用プログラムを記憶
すればよく、その構成規模が縮小できる。
Ｃ種類に対応した検査用プログラムをテスタに具備させ
る必要があり、ＩＣ種類が増えるとテスタ規模が大きく
なり、また検査用プログラムが適正でないとＩＣを破損
するおそれがある。 【解決手段】 ストッパ３におかれたＩＣを撮像装置４
で撮像し、画像認識装置５でＩＣの種類を認識し、比較
装置６においてＩＣの種類に対応する検査用プログラム
をプログラム記憶装置８から読み出し、ロード命令出力
装置９はこの検査用プログラムをテスタ１０にロードす
る。テスタ１０はＩＣにコンタクト１２で電気接続さ
れ、ロードされた検査用プログラムに基づいてＩＣの電
気特性を検査する。複数種類のＩＣが混在状態で検査さ
れる場合でも、各ＩＣに対応した検査用プログラムをそ
の都度ロードさせるため、適切な検査が可能となり、か
つテスタは最低限必要とされる検査用プログラムを記憶
すればよく、その構成規模が縮小できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＩＣ（半導体集積回
路装置）の特性検査を行うための検査装置に関し、特に
異なる種類のＩＣが混在した状態での試験を可能にした
ＩＣ検査用オートハンドラに関する。
路装置）の特性検査を行うための検査装置に関し、特に
異なる種類のＩＣが混在した状態での試験を可能にした
ＩＣ検査用オートハンドラに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣの製造工程では、製造されたＩＣの
電気的な特性検査を行うための工程があり、この特性検
査のためにＩＣ検査用ハンドラが用いられている。例え
ば、特開昭６３−６４３３５号公報に記載されているハ
ンドラでは、測定されるＩＣに印刷された記号や文字を
画像認識装置を用いて認識し、その認識情報に基づいて
ＩＣを検査するためのテスタを起動させている。そし
て、この公報の技術では、特に検査時のリードとテスタ
コンタクトとを好適に位置合わせするための技術であ
り、前記認識情報を基準データと比較し、ＩＣのリード
位置を適正な位置に設定する制御が行われている。ま
た、これに併せて、画像認識装置によりＩＣリードの曲
がりやパッケージの異常を認識し、リード不良やパッケ
ージ不良と判定されたものについては試験を行うことな
く不良箱に収納する制御も行われている。
電気的な特性検査を行うための工程があり、この特性検
査のためにＩＣ検査用ハンドラが用いられている。例え
ば、特開昭６３−６４３３５号公報に記載されているハ
ンドラでは、測定されるＩＣに印刷された記号や文字を
画像認識装置を用いて認識し、その認識情報に基づいて
ＩＣを検査するためのテスタを起動させている。そし
て、この公報の技術では、特に検査時のリードとテスタ
コンタクトとを好適に位置合わせするための技術であ
り、前記認識情報を基準データと比較し、ＩＣのリード
位置を適正な位置に設定する制御が行われている。ま
た、これに併せて、画像認識装置によりＩＣリードの曲
がりやパッケージの異常を認識し、リード不良やパッケ
ージ不良と判定されたものについては試験を行うことな
く不良箱に収納する制御も行われている。
【０００３】なお、このように、画像認識装置を用いて
ＩＣの検査を行うハンドラに関する技術としてはその他
にも種々提案されており、例えば、特開平２−１３９６
７２号公報、特開平４−１１５１４５号公報、実開平１
−８５６８２号公報に記載の技術がある。
ＩＣの検査を行うハンドラに関する技術としてはその他
にも種々提案されており、例えば、特開平２−１３９６
７２号公報、特開平４−１１５１４５号公報、実開平１
−８５６８２号公報に記載の技術がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のハン
ドラでは、画像認識装置を用いてＩＣを認識し、そのＩ
Ｃに対応した検査を行っていることからみれば、異なる
種類のＩＣに対する検査も可能であると言える。しかし
ながら、先に説明した公報の技術のものは単にＩＣの認
識に基づいてリードとテスタコンタクトとの位置合わせ
を行っているのに過ぎない。したがって、リードとテス
タコンタクトとの好適な接触は可能とされても、ＩＣの
電気特性については何ら触れられていないため、異なる
種類のＩＣのそれぞれに対して適切な電気特性の検査を
行うことは期待することはできない。特に、近年のよう
にＩＣ種類の多様化により、ＩＣの電気特性の検査を行
う項目も多岐にわたるため、直接ＩＣの検査を行うため
のテスタに全てのＩＣに対応する電気特性のためのプロ
グラムを記憶させておくことは、テスタに必要以上の記
憶容量が要求されることになり、テスタの構成が複雑
化、かつ大型化されることになる。
ドラでは、画像認識装置を用いてＩＣを認識し、そのＩ
Ｃに対応した検査を行っていることからみれば、異なる
種類のＩＣに対する検査も可能であると言える。しかし
ながら、先に説明した公報の技術のものは単にＩＣの認
識に基づいてリードとテスタコンタクトとの位置合わせ
を行っているのに過ぎない。したがって、リードとテス
タコンタクトとの好適な接触は可能とされても、ＩＣの
電気特性については何ら触れられていないため、異なる
種類のＩＣのそれぞれに対して適切な電気特性の検査を
行うことは期待することはできない。特に、近年のよう
にＩＣ種類の多様化により、ＩＣの電気特性の検査を行
う項目も多岐にわたるため、直接ＩＣの検査を行うため
のテスタに全てのＩＣに対応する電気特性のためのプロ
グラムを記憶させておくことは、テスタに必要以上の記
憶容量が要求されることになり、テスタの構成が複雑
化、かつ大型化されることになる。
【０００５】そのため、テスタの記憶容量に制限がある
場合には、テスタには特定のＩＣの電気特性のための検
査用プログラムを記憶させ、その種類のＩＣをバッチ状
態で検査し、このＩＣの検査が終了したときには記憶さ
せている検査用プログラムを他の検査用プログラムに交
換し、しかる上でこの検査用プログラムに対応したＩＣ
をバッチ状態で試験することが行われる。このため、Ｉ
Ｃの種類に応じて検査用プログラムを交換する必要があ
り、検査作業が煩雑なものになる。また、異なる種類の
ＩＣが混在していたような場合には、これに対応でき
ず、混在されている他のＩＣは正しい検査が行われず、
全て不良品となり、或いは破壊されてしまうことがあ
る。
場合には、テスタには特定のＩＣの電気特性のための検
査用プログラムを記憶させ、その種類のＩＣをバッチ状
態で検査し、このＩＣの検査が終了したときには記憶さ
せている検査用プログラムを他の検査用プログラムに交
換し、しかる上でこの検査用プログラムに対応したＩＣ
をバッチ状態で試験することが行われる。このため、Ｉ
Ｃの種類に応じて検査用プログラムを交換する必要があ
り、検査作業が煩雑なものになる。また、異なる種類の
ＩＣが混在していたような場合には、これに対応でき
ず、混在されている他のＩＣは正しい検査が行われず、
全て不良品となり、或いは破壊されてしまうことがあ
る。
【０００６】本発明の目的は、異なる種類のＩＣが混在
される場合においても、テスタの規模を大きくすること
なく、しかも作業を複雑化することなく自動的にＩＣの
検査を行うことができるＩＣ検査用オートハンドラを提
供することにある。
される場合においても、テスタの規模を大きくすること
なく、しかも作業を複雑化することなく自動的にＩＣの
検査を行うことができるＩＣ検査用オートハンドラを提
供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のオートハンドラ
は、ＩＣを撮像し、その撮像データに基づいてＩＣの種
類を認識する手段と、異なる種類のＩＣのそれぞれに対
応する複数種類の検査用のプログラムを記憶しているプ
ログラム記憶手段と、ロードされる検査用プログラムに
基づいてＩＣに対する電気的特性検査を行うテスタと、
前記ＩＣ種類の認識手段の認識結果に基づいてプログラ
ム記憶手段に記憶されている検査用プログラムのうちか
ら認識されたＩＣに対応する検査用プログラムを前記テ
スタにロードさせる手段とを備えることを特徴とする。
は、ＩＣを撮像し、その撮像データに基づいてＩＣの種
類を認識する手段と、異なる種類のＩＣのそれぞれに対
応する複数種類の検査用のプログラムを記憶しているプ
ログラム記憶手段と、ロードされる検査用プログラムに
基づいてＩＣに対する電気的特性検査を行うテスタと、
前記ＩＣ種類の認識手段の認識結果に基づいてプログラ
ム記憶手段に記憶されている検査用プログラムのうちか
ら認識されたＩＣに対応する検査用プログラムを前記テ
スタにロードさせる手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】特に、ＩＣ種類の認識手段はＩＣのパッケ
ージに形成された型名を認識してＩＣ種類を認識し、ま
た、検査用プログラムをテスタにロードする手段は、認
識した型名を予め検査用プログラムに対応して記憶して
いる型名とを比較し、両者が一致されたときにプログラ
ム記憶手段から対応する検査用プログラムを読み出して
テスタにロードするようにそれぞれ構成することが好ま
しい。
ージに形成された型名を認識してＩＣ種類を認識し、ま
た、検査用プログラムをテスタにロードする手段は、認
識した型名を予め検査用プログラムに対応して記憶して
いる型名とを比較し、両者が一致されたときにプログラ
ム記憶手段から対応する検査用プログラムを読み出して
テスタにロードするようにそれぞれ構成することが好ま
しい。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図１は本発明のオートハンドラの全
体構成を示すブロック図である。パッケージ工程が完了
された被検査ＩＣは、供給装置１から滑走部２に順次供
給され、滑走部２を滑走してストッパ３により検査位置
に停止される。このストッパ３の位置には撮像装置４が
設けられており、停止されているＩＣの製品型名を撮像
し、その撮像情報を画像認識装置５に送出する。画像認
識装置５は入力された画像情報に基づいてＩＣの製品型
名を認識し、この認識情報を比較装置６に送り、ここで
型名記憶装置７に記憶されている各ＩＣの種類と比較す
る。
参照して説明する。図１は本発明のオートハンドラの全
体構成を示すブロック図である。パッケージ工程が完了
された被検査ＩＣは、供給装置１から滑走部２に順次供
給され、滑走部２を滑走してストッパ３により検査位置
に停止される。このストッパ３の位置には撮像装置４が
設けられており、停止されているＩＣの製品型名を撮像
し、その撮像情報を画像認識装置５に送出する。画像認
識装置５は入力された画像情報に基づいてＩＣの製品型
名を認識し、この認識情報を比較装置６に送り、ここで
型名記憶装置７に記憶されている各ＩＣの種類と比較す
る。
【００１０】この比較が一致したときには、今度はプロ
グラム記憶装置８からのプログラム情報との比較を行
う。このプログラム記憶装置８には、前記型名記憶装置
７に記憶されている全てのＩＣのそれぞれの電気特性を
検査するための検査用プログラムが記憶されており、こ
れらの検査用プログラム情報と前記ＩＣの製品型名とを
順次比較し、一致いたときにはロード命令出力装置９に
一致信号を出力する。ロード命令出力装置９は、この一
致信号を受けてテスタ１０を駆動し、一致された検査用
プログラムをプログラム記憶装置８から読み出し、これ
をテスタ１０内の記憶装置にロード（記憶）する。
グラム記憶装置８からのプログラム情報との比較を行
う。このプログラム記憶装置８には、前記型名記憶装置
７に記憶されている全てのＩＣのそれぞれの電気特性を
検査するための検査用プログラムが記憶されており、こ
れらの検査用プログラム情報と前記ＩＣの製品型名とを
順次比較し、一致いたときにはロード命令出力装置９に
一致信号を出力する。ロード命令出力装置９は、この一
致信号を受けてテスタ１０を駆動し、一致された検査用
プログラムをプログラム記憶装置８から読み出し、これ
をテスタ１０内の記憶装置にロード（記憶）する。
【００１１】図２は前記プログラム記憶装置８とテスタ
１０との関係を示すブロック図であり、ここではプログ
ラム記憶装置８にはＰ１〜Ｐｎのｎ種類の電気特性検査
用のプログラムが記憶されている。したがって、プログ
ラム記憶装置８は、例えば大型のハードディスク或いは
ＲＯＭで構成される。一方、テスタ１０にはＲＡＭで構
成されるメモリ１０１と、このメモリに記憶されたプロ
グラムに基づいて所定の電気特性検査を行う検査回路１
０２とが設けられており、このメモリ１０は１つのＩＣ
の検査を行うために必要とされる検査用プログラムをロ
ードすることが可能でかつ十分な容量に設定されてい
る。そして、前記ロード命令出力装置９からの一致信号
がテスタ１０に入力されると、テスタはＰ１〜Ｐｎの検
査用プログラムのうちから対応する検査用プログラムの
みを選択し、これをメモリ１０１にロードする。これに
より、テスタ１０はその検査用プログラムで動作される
環境に設定される。
１０との関係を示すブロック図であり、ここではプログ
ラム記憶装置８にはＰ１〜Ｐｎのｎ種類の電気特性検査
用のプログラムが記憶されている。したがって、プログ
ラム記憶装置８は、例えば大型のハードディスク或いは
ＲＯＭで構成される。一方、テスタ１０にはＲＡＭで構
成されるメモリ１０１と、このメモリに記憶されたプロ
グラムに基づいて所定の電気特性検査を行う検査回路１
０２とが設けられており、このメモリ１０は１つのＩＣ
の検査を行うために必要とされる検査用プログラムをロ
ードすることが可能でかつ十分な容量に設定されてい
る。そして、前記ロード命令出力装置９からの一致信号
がテスタ１０に入力されると、テスタはＰ１〜Ｐｎの検
査用プログラムのうちから対応する検査用プログラムの
みを選択し、これをメモリ１０１にロードする。これに
より、テスタ１０はその検査用プログラムで動作される
環境に設定される。
【００１２】このロードが完了すると、テスタ１０から
ハンドラ制御装置１１にＩＣ型名情報を含んだスタート
信号が出力され、これを受けてハンドラ制御装置１１は
ストッパ３を解除し、ＩＣをコンタクト１２にセットす
る。このとき、コンタクト１２ではハンドラ制御装置１
１の制御によりＩＣの製品型名に対応した位置に設定さ
れるため、ＩＣのリードとコンタクト１２とは適切な電
気接触が行われる状態とされる。そして、このコンタク
ト１２を介してＩＣとテスタ１０とが電気的に接続され
るため、テスタ１０はロードされている検査用プログラ
ムに基づいてそのＩＣに対する適切な電気特性検査を実
行する。そして、テスタは検査の結果に基づく良否の判
定結果をハンドラ制御装置１１に送出し、これを受けて
ハンドラ制御装置１１は選別装置１３を駆動し、良品Ｉ
Ｃと不良品ＩＣとを区分けして製品収納部１４に収納す
る。
ハンドラ制御装置１１にＩＣ型名情報を含んだスタート
信号が出力され、これを受けてハンドラ制御装置１１は
ストッパ３を解除し、ＩＣをコンタクト１２にセットす
る。このとき、コンタクト１２ではハンドラ制御装置１
１の制御によりＩＣの製品型名に対応した位置に設定さ
れるため、ＩＣのリードとコンタクト１２とは適切な電
気接触が行われる状態とされる。そして、このコンタク
ト１２を介してＩＣとテスタ１０とが電気的に接続され
るため、テスタ１０はロードされている検査用プログラ
ムに基づいてそのＩＣに対する適切な電気特性検査を実
行する。そして、テスタは検査の結果に基づく良否の判
定結果をハンドラ制御装置１１に送出し、これを受けて
ハンドラ制御装置１１は選別装置１３を駆動し、良品Ｉ
Ｃと不良品ＩＣとを区分けして製品収納部１４に収納す
る。
【００１３】一方、前記比較装置６におけるＩＣの認識
情報と製品型名が一致されない場合には、電気特性を検
査するための検査用プログラムが存在していないために
検査が不可能であるとして不一致信号を作業中止出力装
置１５に出力する。そして、ここからハンドラ制御装置
１１に中止信号が出力され、ハンドラ制御装置１１はス
トッパ３を停止した状態を保持し、以降の試験を停止さ
せる。あるいは、図示されてはいないがＩＣ除去装置を
駆動してＩＣをラインから外し、次のＩＣを対象とした
動作に移行する。また、このような中止状態が所定回数
継続した場合には、ハンドラ制御装置１１はアラーム発
生器１６を駆動させ、以降の試験を完全に中止させるよ
うにしてもよい。
情報と製品型名が一致されない場合には、電気特性を検
査するための検査用プログラムが存在していないために
検査が不可能であるとして不一致信号を作業中止出力装
置１５に出力する。そして、ここからハンドラ制御装置
１１に中止信号が出力され、ハンドラ制御装置１１はス
トッパ３を停止した状態を保持し、以降の試験を停止さ
せる。あるいは、図示されてはいないがＩＣ除去装置を
駆動してＩＣをラインから外し、次のＩＣを対象とした
動作に移行する。また、このような中止状態が所定回数
継続した場合には、ハンドラ制御装置１１はアラーム発
生器１６を駆動させ、以降の試験を完全に中止させるよ
うにしてもよい。
【００１４】したがって、このオートハンドラでは、予
めプログラム記憶装置８に記憶されている検査用プログ
ラムによって検査が可能なＩＣであれば、全て自動的に
その試験を行うことができ、かつ良品と不良品とを区分
けして収納することができる。このため、同じ種類のＩ
Ｃが連続して検査される場合は勿論のこと、異なる種類
のＩＣが混在されている場合でも、その都度テスタはプ
ログラム記憶装置から該当する検査用プログラムをロー
ドして試験を実行することができ、しかもこれは自動的
に行われるため作業性が改善され、かつ極めて迅速に行
われる。そして、テスタには該当するＩＣの検査のため
の検査用プログラムだけがロードされるため、そのメモ
リ容量を小さくでき、テスタの小型化が可能となる。
めプログラム記憶装置８に記憶されている検査用プログ
ラムによって検査が可能なＩＣであれば、全て自動的に
その試験を行うことができ、かつ良品と不良品とを区分
けして収納することができる。このため、同じ種類のＩ
Ｃが連続して検査される場合は勿論のこと、異なる種類
のＩＣが混在されている場合でも、その都度テスタはプ
ログラム記憶装置から該当する検査用プログラムをロー
ドして試験を実行することができ、しかもこれは自動的
に行われるため作業性が改善され、かつ極めて迅速に行
われる。そして、テスタには該当するＩＣの検査のため
の検査用プログラムだけがロードされるため、そのメモ
リ容量を小さくでき、テスタの小型化が可能となる。
【００１５】ここで、前記実施形態では、テスタ内に１
つのメモリを備えた場合を説明したが、図３に示すよう
に、テスタ１０内に２つのメモリ１０１Ａ，１０１Ｂを
備え、これらのメモリを選択使用できるようにすれば、
一方のメモリに記憶された検査用プログラムで検査を行
っている間に、ストッパ位置にある次のＩＣが異なる種
類の場合に、その検査用プログラムを他方のメモリにロ
ードしておき、このＩＣの検査を行うときにメモリを切
り換えることにより、メモリに検査用プログラムをロー
ドする間ＩＣの試験が停止される状態が生じることはな
く、ＩＣの検査をより迅速に行うことができる。
つのメモリを備えた場合を説明したが、図３に示すよう
に、テスタ１０内に２つのメモリ１０１Ａ，１０１Ｂを
備え、これらのメモリを選択使用できるようにすれば、
一方のメモリに記憶された検査用プログラムで検査を行
っている間に、ストッパ位置にある次のＩＣが異なる種
類の場合に、その検査用プログラムを他方のメモリにロ
ードしておき、このＩＣの検査を行うときにメモリを切
り換えることにより、メモリに検査用プログラムをロー
ドする間ＩＣの試験が停止される状態が生じることはな
く、ＩＣの検査をより迅速に行うことができる。
【００１６】なお、説明は省略したが、撮影装置で撮影
したＩＣの撮像情報に基づいて、ＩＣリードの曲がりや
パッケージの異常等を認識し、電気特性検査を行う前に
そのＩＣを不良品として収納部に収納させるように構成
してもよいことは言うまでもない。
したＩＣの撮像情報に基づいて、ＩＣリードの曲がりや
パッケージの異常等を認識し、電気特性検査を行う前に
そのＩＣを不良品として収納部に収納させるように構成
してもよいことは言うまでもない。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ＩＣを撮
像してその種類を認識し、このＩＣの種類に対応する検
査用プログラムを記憶されている複数の検査用プログラ
ムから読み出し、この検査用プログラムをテスタにロー
ドさせ、このテスタはロードされた検査用プログラムに
基づいてＩＣ種類に対応した適正な電気特性の検査を行
うので、複数種類のＩＣが混在状態で検査される場合で
も、各ＩＣを適切に検査することができ、誤検査やＩＣ
の破損を未然に防止することができる。また、テスタに
は最低限必要とされる検査用プログラムを記憶させれば
よいため、その構成規模を縮小でき、テスタの小型化が
実現でき、オートハンドラの低価格化が可能となる。
像してその種類を認識し、このＩＣの種類に対応する検
査用プログラムを記憶されている複数の検査用プログラ
ムから読み出し、この検査用プログラムをテスタにロー
ドさせ、このテスタはロードされた検査用プログラムに
基づいてＩＣ種類に対応した適正な電気特性の検査を行
うので、複数種類のＩＣが混在状態で検査される場合で
も、各ＩＣを適切に検査することができ、誤検査やＩＣ
の破損を未然に防止することができる。また、テスタに
は最低限必要とされる検査用プログラムを記憶させれば
よいため、その構成規模を縮小でき、テスタの小型化が
実現でき、オートハンドラの低価格化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態のブロック構成図である。
【図２】テスタとプログラム記憶装置の詳細構成図であ
る。
る。
【図３】テスタの変形例の構成図である。
１ 供給装置 ２ 滑走部 ３ ストッパ ４ 撮像装置 ５ 画像認識装置 ６ 比較装置 ７ 型名記憶装置 ８ プログラム記憶装置 ９ ロード命令出力装置 １０ テスタ １１ ハンドラ制御装置 １２ コンタクト １３ 選別装置 １４ 製品収納部 １５ 作業中止出力装置 １６ アラーム発生器 １０１ メモリ １０２ 検査回路
Claims (4)
- 【請求項１】 ＩＣ（半導体集積回路装置）の端子に電
気接続を行い、所要の通電を行って電気的特性の検査を
行うＩＣ検査用オートハンドラにおいて、前記ＩＣを撮
像し、その撮像データに基づいてＩＣの種類を認識する
手段と、異なる種類のＩＣのそれぞれに対応する複数種
類の検査用のプログラムを記憶しているプログラム記憶
手段と、ロードされる検査用プログラムに基づいてＩＣ
に対する電気的特性検査を行うテスタと、前記ＩＣ種類
の認識手段の認識結果に基づいてプログラム記憶手段に
記憶されている検査用プログラムのうちから認識された
ＩＣに対応する検査用プログラムを前記テスタにロード
させる手段とを備えることを特徴とするＩＣ検査用オー
トハンドラ。 - 【請求項２】 テスタの記憶部がＲＡＭで構成される請
求項１のＩＣ検査用オートハンドラ。 - 【請求項３】 テスタの記憶部が少なくとも２つ設けら
れ、一方の記憶部に記憶された検査プログラムで検査を
行ない、他方の記憶部に次のＩＣの検査プログラムの書
き込みを行う請求項２のＩＣ検査用オートハンドラ。 - 【請求項４】 ＩＣ種類の認識手段はＩＣのパッケージ
に形成された型名を認識してＩＣ種類を認識し、検査用
プログラムをテスタにロードする手段は、認識した型名
を予め検査用プログラムに対応して記憶している型名と
を比較し、両者が一致されたときにプログラム記憶手段
から対応する検査用プログラムを読み出してテスタにロ
ードするようにそれぞれ構成される請求項１ないし３の
いずれかのＩＣ検査用オートハンドラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7336279A JPH09178807A (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | Ｉｃ検査用オートハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7336279A JPH09178807A (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | Ｉｃ検査用オートハンドラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09178807A true JPH09178807A (ja) | 1997-07-11 |
Family
ID=18297473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7336279A Pending JPH09178807A (ja) | 1995-12-25 | 1995-12-25 | Ｉｃ検査用オートハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09178807A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003207542A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-07-25 | Agilent Technol Inc | 電子テストシステム |
| JP2006203388A (ja) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Yokogawa Electric Corp | 固体撮像素子検査システム |
| KR100809365B1 (ko) * | 2006-09-07 | 2008-03-05 | (주)테크윙 | 테스트핸들러의 테스트지원방법 및 테스트핸들러 |
| JP2014020985A (ja) * | 2012-07-20 | 2014-02-03 | Seiko Epson Corp | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
| JP2018054464A (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置及び電子部品検査装置 |
| JP2023033172A (ja) * | 2021-08-26 | 2023-03-09 | テックウイング インコーポレイテッド | 電子部品テスター用ハンドラー及び電子部品テスト用ハンドラーにおける電子部品撮影方法 |
Citations (3)
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