JP2808966B2 - プローバ - Google Patents
プローバInfo
- Publication number
- JP2808966B2 JP2808966B2 JP4039988A JP3998892A JP2808966B2 JP 2808966 B2 JP2808966 B2 JP 2808966B2 JP 4039988 A JP4039988 A JP 4039988A JP 3998892 A JP3998892 A JP 3998892A JP 2808966 B2 JP2808966 B2 JP 2808966B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- prober
- data
- wafer
- marking
- wafer carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプローバに関し、特にウ
エハ検査工程で使用するプローバのウエハキャリアの一
部に取付けたバーコードを自動的に読み取りを行う装置
に関する。
エハ検査工程で使用するプローバのウエハキャリアの一
部に取付けたバーコードを自動的に読み取りを行う装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウエハ検査工程に於ける作業は、
受入されたウエハを工程で使用するウエハキャリアに移
し替えて、製品を測定できるテスタに接続されたプロー
バへ持って行き、プローバのローダ部へセットする。
受入されたウエハを工程で使用するウエハキャリアに移
し替えて、製品を測定できるテスタに接続されたプロー
バへ持って行き、プローバのローダ部へセットする。
【０００３】その後プローバがプロービングを行うため
に必要なウエハサイズ、ウエハに作り込まれたチップサ
イズ、オリエンタルフラットの向き、等のデータを作業
条件票を見ながら、プローバのキーボードより入力して
いた。
に必要なウエハサイズ、ウエハに作り込まれたチップサ
イズ、オリエンタルフラットの向き、等のデータを作業
条件票を見ながら、プローバのキーボードより入力して
いた。
【０００４】また、一部バーコードの読み取りを行って
いる所では、拡散工程から上がってきたウエハを受入れ
る際に、ウエハキャリアの側面又は上面に、バーコード
ラベルを取付けたウエハキャリアに移し替え、プローバ
群をネットワークで管理しているホストの入力装置に付
いている読取装置で、バーコードを読取りインデックス
にしてウエハキャリア内の情報をホストへ登録する。
いる所では、拡散工程から上がってきたウエハを受入れ
る際に、ウエハキャリアの側面又は上面に、バーコード
ラベルを取付けたウエハキャリアに移し替え、プローバ
群をネットワークで管理しているホストの入力装置に付
いている読取装置で、バーコードを読取りインデックス
にしてウエハキャリア内の情報をホストへ登録する。
【０００５】その後、製品を測定できるテスタに接続さ
れているプローバへウエハキャリアを持って行き、プロ
ーバと信号ケーブルで接続された読取装置で作業者がそ
れぞれのウエハキャリアのバーコードを読み取らせ、ウ
エハキャリアをローダに決めた順序でセットする。
れているプローバへウエハキャリアを持って行き、プロ
ーバと信号ケーブルで接続された読取装置で作業者がそ
れぞれのウエハキャリアのバーコードを読み取らせ、ウ
エハキャリアをローダに決めた順序でセットする。
【０００６】読み取ったバーコードデータは、プローバ
の制御部へ送られ、そこからネットワークを介してホス
トへ上がり、ホストはバーコードデータに対応するプロ
ービングに必要なデータをプローバへ送り出す。プロー
バはプロービングデータに基づいてプロービングを行
い、テスト結果をテスタからもらい、ウエハキャリアの
バーコードデータをインデックスとしてバス、フェイル
データとアドレスデータを対応づけてホストへ保管す
る。
の制御部へ送られ、そこからネットワークを介してホス
トへ上がり、ホストはバーコードデータに対応するプロ
ービングに必要なデータをプローバへ送り出す。プロー
バはプロービングデータに基づいてプロービングを行
い、テスト結果をテスタからもらい、ウエハキャリアの
バーコードデータをインデックスとしてバス、フェイル
データとアドレスデータを対応づけてホストへ保管す
る。
【０００７】測定が終了したら製品をマーキングプロー
バへセットし、測定プローバと同様の手続きでマーキン
グデータとなるバス、フェイルデータとアドレスデータ
をホストより読み込みマーキングを行う。
バへセットし、測定プローバと同様の手続きでマーキン
グデータとなるバス、フェイルデータとアドレスデータ
をホストより読み込みマーキングを行う。
【０００８】ここで、ローダとは、ウエハ検査工程で自
動的にウエハキャリアからウエハをプロービングステー
ジへ供給収納できる機構をいう。
動的にウエハキャリアからウエハをプロービングステー
ジへ供給収納できる機構をいう。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来の技術で
は、ウエハキャリアのバーコードデータをインデックス
としてマーキングデータとなるバス、フェイルデータと
アドレスデータが対応づけられ、ホストに保管されてい
る。
は、ウエハキャリアのバーコードデータをインデックス
としてマーキングデータとなるバス、フェイルデータと
アドレスデータが対応づけられ、ホストに保管されてい
る。
【００１０】このため、マーキングプローバでマーキン
グを行おうとするときは、ウエハキャリアをローダにセ
ットする前に、読取装置でバーコードデータを読み込む
ことが条件となり、マーキングプローバにウエハキャリ
アをセットするとき、誤ってバーコードデータを読み込
ませた順番と逆にセットしてしまうミスが発生し、ミス
マーキングを行ってしまい、製品を不良にしてしまうと
いう問題点が有った。
グを行おうとするときは、ウエハキャリアをローダにセ
ットする前に、読取装置でバーコードデータを読み込む
ことが条件となり、マーキングプローバにウエハキャリ
アをセットするとき、誤ってバーコードデータを読み込
ませた順番と逆にセットしてしまうミスが発生し、ミス
マーキングを行ってしまい、製品を不良にしてしまうと
いう問題点が有った。
【００１１】本発明の目的は、前記問題点を解決し、ミ
スマーキングが発生しないようにしたプローバを提供す
ることにある。
スマーキングが発生しないようにしたプローバを提供す
ることにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明のプローバの構成
は、半導体ウエハ検査工程で自動的にウエハキャアから
前記ウエハをプロービングステージへ供給収納できるロ
ーダを有するプローバにおいて、前記ウエハキャリアの
一部に取付けたバーコードを読み取るための読取装置と
前記読取装置で読み取ったバーコードデータと前記ロー
ダの対応を判別するための判別部と、プローバ本体の制
御部を設けたことを特徴とする。
は、半導体ウエハ検査工程で自動的にウエハキャアから
前記ウエハをプロービングステージへ供給収納できるロ
ーダを有するプローバにおいて、前記ウエハキャリアの
一部に取付けたバーコードを読み取るための読取装置と
前記読取装置で読み取ったバーコードデータと前記ロー
ダの対応を判別するための判別部と、プローバ本体の制
御部を設けたことを特徴とする。
【００１３】
【実施例】図１は本発明の一実施例のプローバを示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【００１４】図２は図１で用いられるウエハキャリアの
斜視図である。
斜視図である。
【００１５】図１，図２において、本実施例は、テスタ
１に接続された測定プローバ本体２がローダ３ａ、３ｂ
とそれぞれに対応するように読取装置４ａ、４ｂが取付
けられ、これら読取装置４ａ、４ｂはどちらのローダか
ら読み取ったデータか判別し、出力できる判別部５ａに
接続され、この判別部５ａはプローバ本体の制御部６ａ
に接続されている。
１に接続された測定プローバ本体２がローダ３ａ、３ｂ
とそれぞれに対応するように読取装置４ａ、４ｂが取付
けられ、これら読取装置４ａ、４ｂはどちらのローダか
ら読み取ったデータか判別し、出力できる判別部５ａに
接続され、この判別部５ａはプローバ本体の制御部６ａ
に接続されている。
【００１６】マーキングプローバ本体２０も、測定プロ
ーバ本体２と同様に、ローダ３ｃ、３ｄと読取装置４
ｃ、４ｄと判別部５ｂ及び制御部６ｂを備えている。制
御部６ａ、６ｂはネットワークでホスト７と接続され、
ホスト７には入力装置８が接続されている。入力装置８
は、ＣＲＴとキーボードとを備えたものであり。読取装
置４ｅも備えている。
ーバ本体２と同様に、ローダ３ｃ、３ｄと読取装置４
ｃ、４ｄと判別部５ｂ及び制御部６ｂを備えている。制
御部６ａ、６ｂはネットワークでホスト７と接続され、
ホスト７には入力装置８が接続されている。入力装置８
は、ＣＲＴとキーボードとを備えたものであり。読取装
置４ｅも備えている。
【００１７】また、ウエハキャリア９には取っ手１０が
取付けられており、この取っ手１０は反対側にラベル部
１１を備えており、ラベル部１１にはバーコード１２が
取り付けられている。
取付けられており、この取っ手１０は反対側にラベル部
１１を備えており、ラベル部１１にはバーコード１２が
取り付けられている。
【００１８】以上の構成であるから、これを使用すると
きは、拡散工程から上がってきたウエハを受入る際にウ
エハキャリア９へ移し替え、入力装置８の読取装置４ｅ
でウエハキャリア９のラベル部１１に取付けてあるバー
コード１２を読取り、このデータをインデックスとして
プロービングに必要なデータをホスト７に登録してか
ら、ウエハキャリア９に収納されている製品を測定でき
るテスタ１に接続されている測定プローバ本体２のロー
ダ３ａ、３ｂにセットする。
きは、拡散工程から上がってきたウエハを受入る際にウ
エハキャリア９へ移し替え、入力装置８の読取装置４ｅ
でウエハキャリア９のラベル部１１に取付けてあるバー
コード１２を読取り、このデータをインデックスとして
プロービングに必要なデータをホスト７に登録してか
ら、ウエハキャリア９に収納されている製品を測定でき
るテスタ１に接続されている測定プローバ本体２のロー
ダ３ａ、３ｂにセットする。
【００１９】次に測定プローバ本体２のスタートスイッ
チを押すと、ウエハキャリア９のラベル部１１に取付け
たバーコード１２を読取装置４ａ、４ｂで自動的に読取
り、判別部５ａでウエハキャリアがセットされたローダ
とバーコードデータの関連づけを行い、制御部６ａへデ
ータを送り、制御部６ａからホスト７へ送られ、ホスト
７でバーコードデータをインデックスとしたファイルを
作り、それにウエハ１枚毎のバス、フェイルデータとア
ドレスデータを順次保管していく。
チを押すと、ウエハキャリア９のラベル部１１に取付け
たバーコード１２を読取装置４ａ、４ｂで自動的に読取
り、判別部５ａでウエハキャリアがセットされたローダ
とバーコードデータの関連づけを行い、制御部６ａへデ
ータを送り、制御部６ａからホスト７へ送られ、ホスト
７でバーコードデータをインデックスとしたファイルを
作り、それにウエハ１枚毎のバス、フェイルデータとア
ドレスデータを順次保管していく。
【００２０】測定が終了したら、ウエハキャリア９をマ
ーキングプローバ本体２０へセットし、測定プローバ本
体と同様の手順で読取装置４ｃ、４ｄでバーコードデー
タを読取り、同様にウエハキャリア９をセットしたロー
ダとバーコードデータの関連づけを行い、制御部６ｂへ
データを送りホスト７からバス、フェイルデータとアド
レスデータを読み込みマーキングを行う。
ーキングプローバ本体２０へセットし、測定プローバ本
体と同様の手順で読取装置４ｃ、４ｄでバーコードデー
タを読取り、同様にウエハキャリア９をセットしたロー
ダとバーコードデータの関連づけを行い、制御部６ｂへ
データを送りホスト７からバス、フェイルデータとアド
レスデータを読み込みマーキングを行う。
【００２１】このように、本実施例のプローバは、ウエ
ハキャリアのウエハ取り出し口と反対側の上部に取付け
たバーコードを有するウエハキャリアと、ウエハキャリ
アをセットするローダと、ローダが定めた位置にあると
き、バーコードを読み取れるように設置した読取装置
と、読み取ったバーコードデータがどちらのローダのも
のか判別し、出力することができる判別部とをそなえて
いる。
ハキャリアのウエハ取り出し口と反対側の上部に取付け
たバーコードを有するウエハキャリアと、ウエハキャリ
アをセットするローダと、ローダが定めた位置にあると
き、バーコードを読み取れるように設置した読取装置
と、読み取ったバーコードデータがどちらのローダのも
のか判別し、出力することができる判別部とをそなえて
いる。
【００２２】次に本発明の他の実施例を説明する。
【００２３】前記実施例で説明したプローバは、ウエハ
検査工程内でもプローバの群管理をホストでコントロー
ルしている状態を現したが、本実施例では同じ工程内の
トリミング装置も同様にネットワークで接続し、プロー
バ本体と同じホストを共有することにより、前記プロー
バと同様の効果を得る事ができる効果がある。
検査工程内でもプローバの群管理をホストでコントロー
ルしている状態を現したが、本実施例では同じ工程内の
トリミング装置も同様にネットワークで接続し、プロー
バ本体と同じホストを共有することにより、前記プロー
バと同様の効果を得る事ができる効果がある。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、プロー
バ本体のローダに読取装置を取付けることにより、マー
キングプローバのローダにセットしたウエハキャリアの
製品とそのウエハキャリアに収納されている製品のバ
ス、フェイルデータとアドレスデータが確実に一致する
ようになり、ミスマーキングを行い、製品を不良にして
しまう問題点が無くなる効果を有する。
バ本体のローダに読取装置を取付けることにより、マー
キングプローバのローダにセットしたウエハキャリアの
製品とそのウエハキャリアに収納されている製品のバ
ス、フェイルデータとアドレスデータが確実に一致する
ようになり、ミスマーキングを行い、製品を不良にして
しまう問題点が無くなる効果を有する。
【図１】本発明の一実施例のプローバのブロック図であ
る。
る。
【図２】図１で用いるウエハキャリアの斜視図である。
１ テスタ ２ 測定プローバ本体 ３ａ〜ｄ ローダ ４ａ〜ｅ 読取装置 ５ａ〜ｂ 判別部 ６ａ〜ｂ 制御部 ７ ホスト ８ 入力装置 ９ ウエハキャリア １０ 取っ手 １１ ラベル部 １２ バーコード ２０ マーキングプローバ本体
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体ウエハ検査工程で自動的にウエハ
キャリアから前記ウエハをプロービングステージへ供給
収納できるローダを有する測定プローバと、測定後前記
ウエハをマーキングステージへ供給収納できるローダを
有するマーキングプローバとを備えたプローバにおい
て、前記ローダを前記測定プローバと前記マーキングプ
ローバにそれぞれ２列ずつ設け、各ローダには前記ウエ
ハキャリアの一部に取付けたバーコードを読み取るため
の読取装置を設け、前記測定プローバの読取装置で読み
取ったバーコードデータがどちらのローダから読み取っ
たデータかを判別する判別部と、前記判別部からのデー
タにより測定プローバを制御する制御部と、測定したウ
エハ毎のデータをバーコードデータファイルとして保管
するホスト部とを備え、測定終了後前記ウエハキャリア
を前記マーキングプローバにセットし、測定プローバと
同様の手順で読み取り及び判別を行い、マーキングプロ
ーバから得られたデータと前記ホスト部からのデータと
の関連付けを行って前記ウエハにマーキングを施すこと
を特徴とするプローバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4039988A JP2808966B2 (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | プローバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4039988A JP2808966B2 (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | プローバ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05251547A JPH05251547A (ja) | 1993-09-28 |
| JP2808966B2 true JP2808966B2 (ja) | 1998-10-08 |
Family
ID=12568325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4039988A Expired - Lifetime JP2808966B2 (ja) | 1992-02-27 | 1992-02-27 | プローバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2808966B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104107806B (zh) * | 2014-06-13 | 2016-05-11 | 益利光电股份有限公司 | 电脑视觉辨识输出图像辅助led晶粒挑选系统及其方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60216534A (ja) * | 1984-04-12 | 1985-10-30 | Toshiba Corp | 半導体ウエハの識別方法 |
| JPS63169738A (ja) * | 1987-01-07 | 1988-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置 |
| JPS63220513A (ja) * | 1987-03-09 | 1988-09-13 | Oki Electric Ind Co Ltd | モニタウエハのデ−タ管理方法 |
-
1992
- 1992-02-27 JP JP4039988A patent/JP2808966B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05251547A (ja) | 1993-09-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980630 |