JPH07104032A - 半導体検査システム - Google Patents
半導体検査システムInfo
- Publication number
- JPH07104032A JPH07104032A JP5268154A JP26815493A JPH07104032A JP H07104032 A JPH07104032 A JP H07104032A JP 5268154 A JP5268154 A JP 5268154A JP 26815493 A JP26815493 A JP 26815493A JP H07104032 A JPH07104032 A JP H07104032A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、半導体検査システムにおいて、ロツ
ト番号を手作業で入力する際の間違いや煩雑さを解消し
て製品を検査する検査処理能力を向上させ得るようにす
る。 【構成】半導体でなる検査対象に対応付けた表示手段１
８に表示されたバーコード１９をバーコード検出手段１
７で検出し、バーコード１９に記録された検査対象の情
報をバーコード読取り装置１６で読み取つて自動的に半
導体検査装置１５に与える。
ト番号を手作業で入力する際の間違いや煩雑さを解消し
て製品を検査する検査処理能力を向上させ得るようにす
る。 【構成】半導体でなる検査対象に対応付けた表示手段１
８に表示されたバーコード１９をバーコード検出手段１
７で検出し、バーコード１９に記録された検査対象の情
報をバーコード読取り装置１６で読み取つて自動的に半
導体検査装置１５に与える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体検査システムに関
し、例えば半導体製品の良否情報をロツト番号と対応さ
せて得るものに適用し得る。
し、例えば半導体製品の良否情報をロツト番号と対応さ
せて得るものに適用し得る。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の半導体検査システムに
は、各製造工程毎の製品の良否情報すなわち歩留情報に
加えて工程毎に異なる各種情報を得るようにしたものが
ある。図４に示すように、ウエハ処理工程１の半導体検
査システムでは処理の日付、処理のプロセス、作業者名
等を得る。また組み立て工程２の半導体検査システムで
は日付やモールドの種類、作業者名を得る。さらに測定
工程３の半導体検査システムでは日付、最終歩留情報、
作業者名等の種々の情報をロツト番号と対応させて得て
いる。このようにして得た各種情報は品質や歩留りを向
上させるための各工程の管理に利用される。
は、各製造工程毎の製品の良否情報すなわち歩留情報に
加えて工程毎に異なる各種情報を得るようにしたものが
ある。図４に示すように、ウエハ処理工程１の半導体検
査システムでは処理の日付、処理のプロセス、作業者名
等を得る。また組み立て工程２の半導体検査システムで
は日付やモールドの種類、作業者名を得る。さらに測定
工程３の半導体検査システムでは日付、最終歩留情報、
作業者名等の種々の情報をロツト番号と対応させて得て
いる。このようにして得た各種情報は品質や歩留りを向
上させるための各工程の管理に利用される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで図５に示すよ
うに、例えば半導体製造の最終工程である検査工程３で
検査する際には、検査者はまず製品毎のロツト番号をホ
ストコンピユータ４に接続された半導体検査装置５に入
力する。このとき検査者はロツト番号を半導体検査装置
５の情報入力端５Ａに接続されたコンピユータの端末装
置６より入力している。
うに、例えば半導体製造の最終工程である検査工程３で
検査する際には、検査者はまず製品毎のロツト番号をホ
ストコンピユータ４に接続された半導体検査装置５に入
力する。このとき検査者はロツト番号を半導体検査装置
５の情報入力端５Ａに接続されたコンピユータの端末装
置６より入力している。
【０００４】ところが、ロツト番号を入力する際、検査
者は端末装置６のキーボード７を使用するため手作業に
なり、しかも製品毎の管理カード（図示せず）に記録さ
れたロツト番号（９桁）を逐一見て確認して入力する必
要がある。このためロツト番号の打ち間違い等の作業の
煩雑さが発生して検査処理能力を上げることが困難であ
るという問題がある。
者は端末装置６のキーボード７を使用するため手作業に
なり、しかも製品毎の管理カード（図示せず）に記録さ
れたロツト番号（９桁）を逐一見て確認して入力する必
要がある。このためロツト番号の打ち間違い等の作業の
煩雑さが発生して検査処理能力を上げることが困難であ
るという問題がある。
【０００５】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、ロツト番号を手作業で入力する際の間違いや煩雑さ
を解消して、製品を検査する検査処理能力を向上させ得
る半導体検査システムを提案しようとするものである。
で、ロツト番号を手作業で入力する際の間違いや煩雑さ
を解消して、製品を検査する検査処理能力を向上させ得
る半導体検査システムを提案しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、半導体でなる検査対象に対応付け
たバーコード１９を表示する表示手段１８と、バーコー
ド１９を検出するバーコード検出手段１７と、バーコー
ド検出手段１７の信号Ｓ１に基づいてバーコード１９に
記録された検査対象の情報を読み取る情報読取り装置１
６と、情報読取り装置１６が読み取つた情報を与えら
れ、検査対象を検査する検査装置１５と、情報及び検査
装置１５が検査した検査対象の検査結果とを入力され、
情報及び又は検査結果を処理して検査対象の歩留りを管
理する処理装置４とを設けるようにする。
め本発明においては、半導体でなる検査対象に対応付け
たバーコード１９を表示する表示手段１８と、バーコー
ド１９を検出するバーコード検出手段１７と、バーコー
ド検出手段１７の信号Ｓ１に基づいてバーコード１９に
記録された検査対象の情報を読み取る情報読取り装置１
６と、情報読取り装置１６が読み取つた情報を与えら
れ、検査対象を検査する検査装置１５と、情報及び検査
装置１５が検査した検査対象の検査結果とを入力され、
情報及び又は検査結果を処理して検査対象の歩留りを管
理する処理装置４とを設けるようにする。
【０００７】
【作用】半導体でなる検査対象に対応付けた表示手段１
８に表示されたバーコード１９をバーコード検出手段１
７で検出し、バーコード１９に記録された検査対象の情
報をバーコード読取り装置１６で読み取つて自動的に半
導体検査装置１５に与えるようにしたことによつて、検
査対象の情報を手作業で入力する際の間違いや煩雑さを
解消して、検査対象を検査する検査処理能力を向上し得
る。
８に表示されたバーコード１９をバーコード検出手段１
７で検出し、バーコード１９に記録された検査対象の情
報をバーコード読取り装置１６で読み取つて自動的に半
導体検査装置１５に与えるようにしたことによつて、検
査対象の情報を手作業で入力する際の間違いや煩雑さを
解消して、検査対象を検査する検査処理能力を向上し得
る。
【０００８】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【０００９】図５との対応部分に同一符号を付して示す
図１において、１０は全体としてモールドされた半導体
製品を測定工程３で測定するときのロツト番号を入力す
るロツト番号入力システムを示し、半導体検査装置５に
代えて半導体検査装置１５をホストコンピユータ４に接
続する。
図１において、１０は全体としてモールドされた半導体
製品を測定工程３で測定するときのロツト番号を入力す
るロツト番号入力システムを示し、半導体検査装置５に
代えて半導体検査装置１５をホストコンピユータ４に接
続する。
【００１０】半導体検査装置１５は半導体検査装置５に
配された情報入力端５Ａに加えて情報入力端１５Ａを配
されている。この情報入力端１５Ａにはバーコード読取
り装置１６が接続される。バーコード読取り装置１６に
は手持ち式のバーコード検出器１７が所定の長さのカー
ル式ケーブル１７Ａで接続されており、これによりバー
コード検出器１７はバーコード読取り装置１６より所定
の範囲内で自在に移動し得るようになされている。
配された情報入力端５Ａに加えて情報入力端１５Ａを配
されている。この情報入力端１５Ａにはバーコード読取
り装置１６が接続される。バーコード読取り装置１６に
は手持ち式のバーコード検出器１７が所定の長さのカー
ル式ケーブル１７Ａで接続されており、これによりバー
コード検出器１７はバーコード読取り装置１６より所定
の範囲内で自在に移動し得るようになされている。
【００１１】検査者がこのバーコード検出器１７でバー
コード付き管理カード１８の表面に印刷されたバーコー
ド１９をなぞると、バーコード検出器１７はバーコード
を検出して検出データＳ１をバーコード読取り装置１６
に送出する。バーコード読取り装置１６は検出データＳ
１に基づいてバーコードに記録されたロツト番号を読み
取り、ロツト番号データＳ２を半導体検査装置１５へ自
動的に送出してロツト番号を入力する。
コード付き管理カード１８の表面に印刷されたバーコー
ド１９をなぞると、バーコード検出器１７はバーコード
を検出して検出データＳ１をバーコード読取り装置１６
に送出する。バーコード読取り装置１６は検出データＳ
１に基づいてバーコードに記録されたロツト番号を読み
取り、ロツト番号データＳ２を半導体検査装置１５へ自
動的に送出してロツト番号を入力する。
【００１２】ロツト番号データＳ２を入力されると、半
導体検査装置１５は半導体製品の電気的特性の測定を開
始して良否を判定する。また半導体検査装置１５は測定
したロツト全部の良否の結果に基づいて歩留情報を得
て、ロツト番号と共に日付、検査者等の他の情報を加え
た歩留情報Ｓ３をコンピユータネツトワークを通じてホ
ストコンピユータ４へ自動的に送出する。
導体検査装置１５は半導体製品の電気的特性の測定を開
始して良否を判定する。また半導体検査装置１５は測定
したロツト全部の良否の結果に基づいて歩留情報を得
て、ロツト番号と共に日付、検査者等の他の情報を加え
た歩留情報Ｓ３をコンピユータネツトワークを通じてホ
ストコンピユータ４へ自動的に送出する。
【００１３】このようにしてホストコンピユータ４は半
導体検査装置５より送出された歩留情報Ｓ３を既知の歩
留情報ベース４Ａに追加し、この歩留情報ベース４Ａを
種々の解析に利用する
導体検査装置５より送出された歩留情報Ｓ３を既知の歩
留情報ベース４Ａに追加し、この歩留情報ベース４Ａを
種々の解析に利用する
【００１４】図２に示すように、管理カード１８は半導
体製品を収納するキヤリングボツクス２０の側面に固着
されたポケツト２１に差し込まれ、キヤリングボツクス
２０と共に測定工程３に搬送される。これにより製品の
各ロツトに確実に対応させて添付し得るようになされて
いる。
体製品を収納するキヤリングボツクス２０の側面に固着
されたポケツト２１に差し込まれ、キヤリングボツクス
２０と共に測定工程３に搬送される。これにより製品の
各ロツトに確実に対応させて添付し得るようになされて
いる。
【００１５】以上の構成において、管理カード１８はキ
ヤリングボツクス２０と共に測定工程３に搬入される。
すると検査者は管理カード１８をポケツトより取り出す
か又はポケツトに差し込んだ状態で、バーコード検出器
１７で管理カード１８の表面のバーコード１９をなぞ
る。これによりバーコード１９に記録された製品毎のロ
ツト番号はバーコード読取り装置１６で読み出されて自
動的に半導体検査装置１５へ与えられる。この後、半導
体検査装置１５はロツト番号を与えられたロツトの測定
を開始する。
ヤリングボツクス２０と共に測定工程３に搬入される。
すると検査者は管理カード１８をポケツトより取り出す
か又はポケツトに差し込んだ状態で、バーコード検出器
１７で管理カード１８の表面のバーコード１９をなぞ
る。これによりバーコード１９に記録された製品毎のロ
ツト番号はバーコード読取り装置１６で読み出されて自
動的に半導体検査装置１５へ与えられる。この後、半導
体検査装置１５はロツト番号を与えられたロツトの測定
を開始する。
【００１６】同様にして他のキヤリングボツクス２０に
添付された管理カード１８のロツト番号も検査者がバー
コード検出器１７でなそるだけで自動的に半導体検査装
置１５へ与えられる。
添付された管理カード１８のロツト番号も検査者がバー
コード検出器１７でなそるだけで自動的に半導体検査装
置１５へ与えられる。
【００１７】以上の構成によれば、半導体製品の各ロツ
トに添付された管理カード１８に印刷されたバーコード
１９をバーコード検出器１７で検出し、バーコード１９
に記録されたロツト番号をバーコード読取り装置１６で
読み取つて自動的に半導体検査装置１５に与えるように
したことによつて、ロツト番号を手作業で入力する際の
間違いや煩雑さを解消して、製品を検査する検査処理能
力を向上できる。
トに添付された管理カード１８に印刷されたバーコード
１９をバーコード検出器１７で検出し、バーコード１９
に記録されたロツト番号をバーコード読取り装置１６で
読み取つて自動的に半導体検査装置１５に与えるように
したことによつて、ロツト番号を手作業で入力する際の
間違いや煩雑さを解消して、製品を検査する検査処理能
力を向上できる。
【００１８】なお上述の実施例においては、管理カード
１８をキヤリングボツクス２０の側面に配したポケツト
２１に差し込んでロツト毎に添付する場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、図３に示すように、キヤ
リングボツクスの側面に管理カード１８を張つたり、キ
ヤリングボツクスの側面に直接バーコード１９を印刷し
ても良い。この場合にも上述と同様の効果を得ることが
できる。
１８をキヤリングボツクス２０の側面に配したポケツト
２１に差し込んでロツト毎に添付する場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、図３に示すように、キヤ
リングボツクスの側面に管理カード１８を張つたり、キ
ヤリングボツクスの側面に直接バーコード１９を印刷し
ても良い。この場合にも上述と同様の効果を得ることが
できる。
【００１９】また上述の実施例においては、検査者が手
持ち式のバーコード検出器１７で管理カード１８の表面
のバーコード１９をなぞつてロツト番号を読み取るよう
にした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
キヤリングボツクスの所定位置に管理カード１８を張つ
たり、直接バーコード１９を印刷し、バーコード読取り
装置内やバーコード読取り装置の表面に配したバーコー
ド読取り器の近くを通過させる等によつて、人手をかけ
ずに自動的にバーコードを読み取らせたり、さらにこの
ようにして自動的にバーコードを読み取らせた後、自動
的に製品を測定させるようにしても良い。
持ち式のバーコード検出器１７で管理カード１８の表面
のバーコード１９をなぞつてロツト番号を読み取るよう
にした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
キヤリングボツクスの所定位置に管理カード１８を張つ
たり、直接バーコード１９を印刷し、バーコード読取り
装置内やバーコード読取り装置の表面に配したバーコー
ド読取り器の近くを通過させる等によつて、人手をかけ
ずに自動的にバーコードを読み取らせたり、さらにこの
ようにして自動的にバーコードを読み取らせた後、自動
的に製品を測定させるようにしても良い。
【００２０】さらに上述の実施例においては、ロツト番
号入力システム１０を測定工程３で使用し、ロツト番号
を出作業で入力する際の間違いや煩雑さを解消する場合
について述べたが、本発明はこれに限らず、処理工程１
や組み立て工程２で使用することによつてそれぞれ処理
や組み立ての能力を向上させるようにしても良い。
号入力システム１０を測定工程３で使用し、ロツト番号
を出作業で入力する際の間違いや煩雑さを解消する場合
について述べたが、本発明はこれに限らず、処理工程１
や組み立て工程２で使用することによつてそれぞれ処理
や組み立ての能力を向上させるようにしても良い。
【００２１】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、半導体で
なる検査対象に対応付けた表示手段に表示されたバーコ
ードをバーコード検出手段で検出し、バーコードに記録
された検査対象の情報をバーコード読取り装置で読み取
つて自動的に半導体検査装置に与えるようにしたことに
よつて、検査対象の情報を手作業で入力する際の間違い
や煩雑さを解消して、検査対象を検査する検査処理能力
を向上し得る半導体検査システムを実現できる。
なる検査対象に対応付けた表示手段に表示されたバーコ
ードをバーコード検出手段で検出し、バーコードに記録
された検査対象の情報をバーコード読取り装置で読み取
つて自動的に半導体検査装置に与えるようにしたことに
よつて、検査対象の情報を手作業で入力する際の間違い
や煩雑さを解消して、検査対象を検査する検査処理能力
を向上し得る半導体検査システムを実現できる。
【図１】本発明による半導体検査システムの一実施例を
示す接続図である。
示す接続図である。
【図２】バーコード付き管理カードの添付方法を示す斜
視図である。
視図である。
【図３】他の実施例によるバーコード付き管理カードの
添付方法を示す斜視図である。
添付方法を示す斜視図である。
【図４】作業工程の流れを示す略線図である。
【図５】従来のロツト番号入力システムの構成を示す接
続図である。
続図である。
【符号の説明】 ４……ホストコンピユータ、５、１５……半導体検査装
置、５Ａ、１５Ａ……情報入力端、６……コンピユータ
の端末装置、７……キーボード、１６……バーコード読
取り装置、１７……バーコード検出器、１７Ａ……カー
ル式ケーブル、１８……バーコード付き管理カード、１
９……バーコード、２０．……キヤリングボツクス、２
１．……ポケツト。
置、５Ａ、１５Ａ……情報入力端、６……コンピユータ
の端末装置、７……キーボード、１６……バーコード読
取り装置、１７……バーコード検出器、１７Ａ……カー
ル式ケーブル、１８……バーコード付き管理カード、１
９……バーコード、２０．……キヤリングボツクス、２
１．……ポケツト。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 23/00 Ａ
Claims (6)
- 【請求項１】半導体でなる検査対象に対応付けたバーコ
ードを表示する表示手段と、 上記バーコードを検出するバーコード検出手段と、 上記バーコード検出手段の信号に基づいて上記バーコー
ドに記録された上記検査対象の情報を読み取る情報読取
り装置と、 上記情報読取り装置が読み取つた上記情報を与えられ、
上記検査対象を検査する検査装置と、 上記情報と上記検査装置が検査した上記検査対象の検査
結果とが入力され、上記情報及び又は上記検査結果を処
理して上記検査対象の歩留りを管理する処理装置とを具
えることを特徴とする半導体検査システム。 - 【請求項２】上記バーコード検出手段は、 上記情報読取り装置の外部に配され、かつ上記情報読取
り装置との間を所定の長さのケーブルで接続され、操作
者が手に持つて上記表示手段の上を移動させて上記バー
コードを検出させることを特徴とする請求項１に記載の
半導体検査システム。 - 【請求項３】上記情報読取り装置は、 上記バーコード検出手段を内蔵することを特徴とする請
求項１に記載の半導体検査システム。 - 【請求項４】上記表示手段は、 上記検査対象を収納する容器の表面に配設された差し込
み部に差し込まれて保持されることを特徴とする請求項
１に記載の半導体検査システム。 - 【請求項５】上記表示手段は、 上記検査対象を収納する容器の表面に付着して保持され
ることを特徴とする請求項１に記載の半導体検査システ
ム。 - 【請求項６】上記表示手段は、 上記検査対象を収納する容器でなり、当該容器の表面に
直接上記バーコードが表示されることを特徴とする請求
項１に記載の半導体検査システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5268154A JPH07104032A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 半導体検査システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5268154A JPH07104032A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 半導体検査システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07104032A true JPH07104032A (ja) | 1995-04-21 |
Family
ID=17454653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5268154A Pending JPH07104032A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 半導体検査システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07104032A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100809919B1 (ko) * | 2006-10-04 | 2008-03-06 | (주)테크윙 | 테스트핸들러, 테스트핸들러용 랏카드 구분기의 랏카드구분방법 및 테스트핸들러의 테스트지원방법 |
| CN104107806A (zh) * | 2014-06-13 | 2014-10-22 | 益利光电股份有限公司 | 电脑视觉辨识输出图像辅助led晶粒挑选系统及其方法 |
-
1993
- 1993-09-30 JP JP5268154A patent/JPH07104032A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100809919B1 (ko) * | 2006-10-04 | 2008-03-06 | (주)테크윙 | 테스트핸들러, 테스트핸들러용 랏카드 구분기의 랏카드구분방법 및 테스트핸들러의 테스트지원방법 |
| CN104107806A (zh) * | 2014-06-13 | 2014-10-22 | 益利光电股份有限公司 | 电脑视觉辨识输出图像辅助led晶粒挑选系统及其方法 |
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