JPS62220839A

JPS62220839A - 検査装置

Info

Publication number: JPS62220839A
Application number: JP6403886A
Authority: JP
Inventors: Yoshikazu Tanabe; 義和田辺
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1986-03-24
Filing date: 1986-03-24
Publication date: 1987-09-29

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、検査技術、特に、半導体装置の製造における
ウェハの外観検査に適用して有効な技術に関する。

［従来の技術〕半導体装置の製造におけるウェハの外観検査については
、株式会社工業調査会、昭和５９年１１月２０日発行、
［電子材料Ｊ　１９８４年１１月号別冊、Ｐ２１３〜Ｐ
２１９に記載されている。

ところで、本発明者は、ウェハの外観検査において、検
査結果と、検査される個々のウェハの識別番号などとを
対応させて記録する作業について検討した。以下は、公
知とされた技術ではないが本発明者によって検討された
技術であり、その概要は次のとおりである。

すなわち、ウェハを検査ステージなどに載置する直前に
、ウェハに記されている識別番号などを作業者が目視で
読み取り、所定の検査の終了後に検査装置から印字され
て出力される検査結果に、前記識別番号を記入すること
によって、個々のウェハの検査結果とウェハの識別番号
などとを対応させて記録するものである。

［発明が解決しようとする問題点］しかしながら、上記のように作業者が目視によってウェ
ハの識別番号を読み取り、検査結果などに添記する方法
では、作業者がウェハを取り扱う際にウェハが損傷され
たり、識別番号の誤認や検査結果への識別番号の誤記な
どの発生が避けられず、ウェハの外観検査などにおける
信頼性低下の原因となっていることを本発明者は見いだ
した。

本発明の目的は、検査の生産性を向上させることが可能
な検査技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろ
う。

し問題点を解決するための手段〕本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、検査部と供給部との間における被検査物の搬
送径路に、被検査物に記された識別情報を自動的に把握
する認識部を設け、被検査物の識別情報と該被検査物の
検査結果とが自動的に出力されるようにしたものである
。

［作　用］上記した手段によれば、たとえば、作業者などが被検査
物に直接関与することなく被検査物の識別情報の読み取
りおよび検査結果への記入などを正確に行うことができ
、被検査物を損傷することなく、検査結果と該検査結果
に対応する個々の被検査物の識別情報とが正確に記録さ
れ、検査における生産性が向上される。

［実施例］第１図は、本発明の一実施例である検査装置の要部を示
す説明図である。

本体ｌには、検査ステージ２（検査部）が設けられ、該
検査ステージ２の上に＠［される、たとえばウェハなど
の被検査物３の外観検査などが行われる構造とされてい
る。

前記本体１には、ベルトコンベアなどの搬送機構４を介
して、供給部５が接続されている。

この供給部５は、複数の被検査物３が収容されたカート
リッジ６が載置され、昇降自在なエレベータ５ａ、およ
びカートリッジ６に収容された複数の被検査物３を個別
に外部に押し出すブツシャ５ｂなどで構成され、エレベ
ータ５ａを逐次上昇または下降させる毎にブツシャ５ｂ
を作動させることによって、被検査物３がカートリッジ
６の内部から搬送機構４の上に個別に移動され、該搬送
機構４の搬送動作によって、前記検査ステージ２に供給
される構造とされている。

また、検査ステージ２には図示しないアンローダ部が接
続され、所定の検査を終えた被検査物３が順次外部に搬
出される構造とされている。

この場合、搬送機構４の上方には、所定のレンズ群７ａ
、ハーフミラー７ｂ、光源７Ｃなどの光学系、さらには
撮像部７ｄ９画像処理部７０などからなる認識部７が設
けられている。

そして、たとえばストロボスコープなどで構成され、瞬
間的に点滅する光源７Ｃによって照明されることにより
、搬送機構４の上を移動される被検査物３の所定の部位
に記され、該被検査物３の品種や工程などを示す固有の
番号などの識別情報が把握され、本体１の制御部８に伝
達される構造とされている。

また、前記画像処理部７ｅには、被検査物３の表面状態
などの種別に応じた画像処理条件などを保持する記憶部
７ｆが接続されている。

さらに、制御部８には、表示部９が接続され、被検査物
３の検査結果と、ｆ！識郡部７おいて得られた該被検査
物３に固有な番号などの識別情報が自動的に印字などに
よって出力され、記録されるように構成されている。

以下、本実施例の作用について説明する。

始めに、複数のウェハなどの被検査物３が収容されたカ
ートリッジ６が供給部５のエレベータ５ａに位置される
とともに、該被検査物３の表面状態などの種別に応じて
、記憶部７ｆに保持された所定の画像処理条件などが画
像処理部７ｅにセットされる。

次に、エレベータ５ａが適宜昇降され、所定の高さで停
止された後、ブツシャ５ｂが作動され、カートリッジ６
に収容された被検査物３が個別に搬送機構４の上に移載
され、搬送機構４の搬送動作によって被検査物３は検査
ステージ２の方向に徐々に移動される。

そして、被検査物３が搬送機構４の上方に設けられた認
識部７の直下を通過する時、瞬間的に点滅する光源７Ｃ
によって被検査物３の所定の部位が照明され、盪像部７
ｄおよび画像処理部７ｅによって、被検査物３の所定の
部位に記された該被検査物３に固有な番号などの識別情
報が把握され、制御部８に伝達されて保持される。

その後、該被検査物３は、検査ステージ２の上に移載さ
れて所定の検査が行われ、得られた検査結果が、制御部
８に保持されている被検査物３に固有な番号などの識別
情報とともに、表示部９に自動的に印字などによって出
力され、記録される。

そして、検査ステージ２における所定の検査が完了した
被検査物３は、図示しないアンローダ部によって順次外
部に搬出される。

上記の一連の操作を繰り返すことにより、複数の被検査
物３の検査結果と各々の被検査物３に固有な番号などの
識別情報とが正確に対応して記録される。

このように、本実施例によれば、以下の効果を得ること
ができる。

＋１１．供給部５と検査ステージ２との間に介設された
搬送機構４の近傍に認識部７が設けられ、搬送機構４を
通過する被検査物３の所定の部位に記された該被検査物
３に固有な番号などの識別情報が、検査ステージ２にお
ける所定の検査に先立って自動的に把握され、複数の被
検査物３の個々の検査結果と識別情報とが表示部９に自
動的に出力されて記録されるため、たとえば、作業者が
被検査物３に記された識別情報を目視によって把握し、
検査結果に記入する場合などに比較して、被検査物３の
損傷や識別情報の誤認、誤記などがなく、被検査物３の
検査における生産性が向上される。

（２）０画像処理部７ｅに、被検査物３の表面状態など
の種別に応じた画像処理条件を保持する記憶部７ｒが設
けられていることにより、被検査物３の種類の変化など
に起因して、認識部７による、該被検査物３の所定の部
位に記された識別情報の認識精度が低下されることが回
避される。

（３）、前記（１１，（２１の結果、被検査物３の検査
の自動化が可能となり、半導体装置の製造におけるウェ
ハ検査工程の生産性が向上される。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるウェハの検査技術に
適用した場合について説明したが、それに限定されるも
のではなく、複数の被検査物の検査結果を個々の被検査
物に対応して正確に記録することが必要とされる技術な
どに広く適用できる。

［発明の効果］本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。

すなわち、供給部から検査部に至る被検査物の搬送径路
に、該被検査物に記され、複数の被検査物を個々に識別
する識別情報を自動的に把握する認識部が設けられ、被
検査物の識別情報と該被検査物に対応する検査結果とが
自動的に出力される構造であるため、たとえば、作業者
などが被検査物に直接関与することなく被検査物の識別
情報の読み取りおよび検査結果への記入などを正確に行
うことができ、被検査物を損傷することなく、検査結果
と該検査結果に対応する個々の被検査物の識別情報とが
正確に記録され、検査における生産性が向上される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である検査装置の要部を示
す説明図である。１・・・本体、２・・・検査ステージ（検査部）、３・
・・被検査物、４・・・搬送機構、５・・・供給部、５
ａ・・・エレベータ、５ｂ・・・ブツシャ、６・・・カ
ートリッジ、７・・・認識部、７ａ・・・レンズ群、７
ｂ・・・ハーフミラ−１７ｃ・・・光源、７ｄ・・・撮
像部、７ｅ・・・画像処理部、７「・・・記憶部、８・
・・制御部、９・・・表示部。筑　　ＩＦＸｌ７−ｉ居雀邪

Claims

【特許請求の範囲】１、供給部から検査部に至る被検査物の搬送径路に、該
被検査物に記され、複数の被検査物を個々に識別する識
別情報を自動的に把握する認識部が設けられ、被検査物
の識別情報と該被検査物に対応する検査結果とが自動的
に出力されることを特徴とする検査装置。２、前記認識部が、瞬間的に点滅される光源によって照
明される前記被検査物の画像を得る撮像部と、該撮像部
で得られた画像信号に基づいて、被検査物に記された識
別情報を認識する画像処理部とで構成されていることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の検査装置。３、前記認識部に、前記被検査物の種別などに応じた画
像処理条件を保持する記憶部が設けられていることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の検査装置。４、前記被検査物がウェハであり、前記検査装置がウェ
ハの外観検査装置であることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の検査装置。