JP2000275032A

JP2000275032A - テープキャリア欠陥検査装置

Info

Publication number: JP2000275032A
Application number: JP11079497A
Authority: JP
Inventors: Hideki Matsui; 秀樹松井; Hiroshi Idemoto; 浩井手元; Yukio Nakamori; 幸雄中森
Original assignee: NIPPON INTER CONNECTION SYSTEM; NIPPON INTER CONNECTION SYSTEMS KK; Nippon Steel Corp
Current assignee: NIPPON INTER CONNECTION SYSTEM; NIPPON INTER CONNECTION SYSTEMS KK; Nippon Steel Corp
Priority date: 1999-03-24
Filing date: 1999-03-24
Publication date: 2000-10-06

Abstract

(57)【要約】【課題】フレーム単位で製品の検査結果を管理するこ
とができるテープキャリア欠陥検査装置を提供する。【解決手段】ＣＣＤカメラ３１ａは、搬送装置１０で
所定の検査領域に搬送されてきたテープキャリアを撮像
する。欠陥検査部２０ａは、その得られた画像に基づい
てテープキャリアの各製品に生じた欠陥を検査する。記
憶部８０は、検査結果を各フレームの製品毎に記憶す
る。統括制御装置７０は、その検査結果を管理し、例え
ば各フレーム毎の製品の歩留りを求める。また、統括制
御装置７０は、テープキャリアの両方の面の検査が行わ
れる場合、その表面及び裏面のうち一方の面の検査が行
われた後に、一方の面の検査結果を記憶部８０から読み
出し、その検査結果に基づいて良品と判定された製品を
特定すると共に、他方の面についてはその特定した製品
のみの検査を行うように欠陥検査部２０ａを制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣなどを実装す
るのに用いられるテープキャリアに生じた欠陥を検査す
るテープキャリア欠陥検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】テープキャリアは、スプロケットホール
やデバイスホールなどが形成されたテープ上に、銅箔で
リードを形成したものである。このテープキャリアは、
全長が２０〜２００ｍの長尺であり、リールに巻かれ
て、ユーザに出荷される。また、テープキャリアは、フ
レームと称される複数の領域に区分され、通常、１フレ
ームに一個の製品が含まれている。

【０００３】テープキャリアをユーザに出荷する前に
は、テープキャリアの外観検査が行われる。このテープ
キャリアの外観検査は、専用の欠陥検査装置により行わ
れる。かかる欠陥検査装置では、リールからリールへの
搬送方式を用いて、テープキャリアを１フレームずつ送
る。テープキャリアの送り動作が停止する度に、ＣＣＤ
カメラにより、所定の検査領域に送られてきたテープキ
ャリアの１フレームについての画像を撮像する。この検
査領域は１フレームとほぼ同じ大きさである。そして、
各フレーム毎の画像に基づいてテープキャリアの各製品
に生じた欠陥を検査する。欠陥が生じていると判定され
た不良品については、テープキャリアの搬送経路の下流
側に配置されたパンチャが駆動されて、その製品の所定
位置にパンチ穴があけられる。特に、テープキャリアの
表面と裏面の両方について検査を行う場合には、例え
ば、表面について各製品の検査を行った後、裏面につい
て各製品の検査を行う。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年になっ
て、例えば図３及び図４に示すような、１フレームに複
数の製品が含まれるテープキャリアが現れてきた。かか
るテープキャリアは、フレーム単位でユーザに出荷され
ることがあるため、フレーム単位での製品の歩留りを把
握する必要がある。しかしながら、従来の欠陥検査装置
では、テープキャリア全体でしか不良品を計数すること
ができず、フレーム単位での不良品の計数に対応できな
いのが実情である。このため、フレーム単位で製品の検
査結果を管理することができる欠陥検査装置の実現が望
まれている。

【０００５】また、従来は、テープキャリアの表面と裏
面の両方について検査を行う場合に、表面と裏面とのそ
れぞれについて独立に検査を行っていた。すなわち、表
面の検査で欠陥が生じていると判定された製品でも、再
度、裏面の検査を行っていた。しかし、表面の検査で欠
陥が生じていると判定された製品は、裏面の検査を行う
までもなく、当然、不良品である。このため、従来の欠
陥検査装置では、テープキャリアの表面と裏面の両方に
ついての検査を効率よく行うことができないという問題
があった。しかも、表面と裏面の両方の検査で欠陥が生
じていると判定された不良品があると、表面の検査で得
られた不良品の数と裏面の検査で得られた不良品の数と
を単純に足し合わせるだけでは、テープキャリア全体で
の不良品の数を得ることはできず、したがって、その正
確な数を求めることは困難であった。

【０００６】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、フレーム単位で製品の検査結果を管理すること
ができるテープキャリア欠陥検査装置を提供することを
目的とするものである。

【０００７】また、本発明の他の目的は、テープキャリ
アの表面と裏面の両方についての検査を効率よく行うこ
とができるテープキャリア欠陥検査装置を提供すること
である。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明に係るテープキャリア欠陥検査装置は、テー
プキャリアを所定の送り量ずつ搬送する搬送手段と、前
記搬送手段で所定の検査領域に搬送されてきた前記テー
プキャリアを撮像する撮像手段と、前記撮像手段で得ら
れた画像に基づいて前記テープキャリアの各製品に生じ
た欠陥を検査する欠陥検査手段と、前記欠陥検査手段で
の検査結果を前記テープキャリアの各フレームの製品毎
に記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記
各フレームの製品毎の検査結果を管理する制御手段と、
を具備することを特徴とするものである。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下に本発明の一実施形態につい
て図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施形態
であるテープキャリア欠陥検査装置の概略構成図、図２
乃至図４はテープキャリアの種類を説明するための図、
図５（ａ）は本実施形態のテープキャリア欠陥検査装置
の検査ステージの概略拡大斜視図、図５（ｂ）はその検
査ステージの動作を説明するための図、図６は本実施形
態のテープキャリア欠陥検査装置の第一ＣＣＤカメラ及
び第二ＣＣＤカメラを説明するための図、図７はそのテ
ープキャリア欠陥検査装置における第一欠陥検査部及び
第二欠陥検査部の検査内容を説明するための図である。

【００１０】本実施形態のテープキャリア欠陥検査装置
は、図１に示すように、搬送装置１０と、第一欠陥検査
部２０ａと、第二欠陥検査部２０ｂと、パンチ部４０
と、入力装置５０と、表示装置６０と、統括制御装置７
０と、記憶部８０とを備えるものである。

【００１１】テープキャリア（Tape Carrier）１００
は、全長が２０〜２００ｍの長尺であり、フレームと称
される複数の領域に区分されている。このフレームはテ
ープキャリア１００の製造・加工時の単位となるもので
ある。テープキャリア１００には、１フレームの長さや
１フレームに含まれる製品の数に応じて、さまざまな種
類のものがある。図２乃至図４に代表的なテープキャリ
ア１００の例を示す。図２に示すテープキャリア１００
は、通常製品と言われるものであり、１フレームに一個
の製品を含んでいる。そのフレームは略正方形状をして
いる。これに対し、図３及び図４に示すテープキャリア
１００は、ＣＳＰ（Chip Scale Packageあるいは Chip
Size Package）等に対応するものであり、１フレームに
複数の製品を含んでいる。図３に示すテープキャリア１
００では、フレームが略正方形状であり、１フレーム内
には、上下各行に２個ずつ合計４個の製品が含まれる。
一方、図４に示すテープキャリア１００では、フレーム
の送り方向の長さが長く、１フレーム内には、上下各行
に６個ずつ合計１２個の製品が含まれる。本実施形態の
テープキャリア欠陥検査装置では、これらすべての種類
のテープキャリア１００を検査対象とする。

【００１２】尚、１本のテープキャリアに上記各種類の
ものが混在することはない。したがって、１フレームの
サイズは各テープキャリア毎に一定に決まっている。

【００１３】次に、テープキャリア１００について詳し
く説明する。テープキャリア１００は、例えば図２に示
すように、スプロケットホール１１１やデバイスホール
１１２が形成されたテープ（基材）１１０上に、銅箔で
リード１２０が形成されたものである。このリード１２
０は各デバイスホール１１２の周りの略正方形状の領域
に所定のパターンで形成される。この一つの略正方形状
の領域が１個の製品となる。図２に示すテープキャリア
１００では、この略正方形状の領域が１フレームとな
る。各フレームは一定間隔だけ離して形成される。尚、
一般に、製品はユーザの仕様に応じてさまざまな形状・
サイズに設計される。

【００１４】スプロケットホール１１１は、テープキャ
リア１００を搬送するための孔である。また、デバイス
ホール１１２にはインナーリード１２１が導出されてい
る。デバイスホール１１２は、このインナーリード１２
１とボンディングされるＩＣを配置するための孔であ
る。テープキャリア１００のインナーリード１２１とＩ
Ｃの電極とを接続すると、ＴＡＢ（Tape Automated Bon
ding）テープやＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）テ
ープが得られる。

【００１５】かかるテープキャリア１００は、リールに
巻かれた状態でユーザに出荷される。本実施形態のテー
プキャリア欠陥検査装置では、ユーザに出荷する前に、
各製品についてリードに欠けや太り等の欠陥が生じてい
るかどうかについて検査する。特に、テープキャリア１
００の表面だけでなく、表面と裏面の両方について検査
を行う場合もある。

【００１６】次に、テープキャリア欠陥検査装置の各部
について説明する。搬送装置１０は、テープキャリア１
００をリールからリールへの搬送方式で搬送するもので
あり、図１に示すように、巻き出し部１１と、巻き取り
部１２と、駆動ローラ１３と、モータ１４と、搬送制御
装置１５とを有する。巻き出し部１１は、テープキャリ
ア１００を送り出す供給リール１１ａと、インターリー
フを巻き取るインターリーフ巻取リール１１ｂとから構
成される。また、巻き取り部１２は、供給リール１１ａ
から供給されるテープキャリア１００を巻き取る巻取リ
ール１２ａと、テープキャリア１００を巻き取るときに
インターリーフを供給するインターリーフ供給リール１
２ｂとから構成される。ここで、インターリーフとは、
テープキャリア１００をリールに巻いたときに、製品に
傷が付かないようにテープキャリア１００とテープキャ
リア１００との間に挿入される保護用フィルムのことで
ある。また、搬送制御装置１５は、統括制御装置７０か
らの指示に基づいて、モータ１４を駆動するものであ
る。モータ１４により駆動ローラ１３が回転すると、テ
ープキャリア１００は供給リール１１ａから巻取リール
１２ａに向かって所定の送り量ずつ搬送される。尚、巻
き出し部１１と巻き取り部１２との間には、多数のガイ
ドローラ１８が設けられている。

【００１７】第一欠陥検査部２０ａ及び第二欠陥検査部
２０ｂは、テープキャリア１００の各製品に生じた欠陥
を検査するものである。第一欠陥検査部２０ａは、テー
プキャリア２の搬送経路上の上流側に設けられ、一方、
第二欠陥検査部２０ｂは、第一欠陥検査部２０ａより
も、テープキャリア２の搬送経路上の下流側に設けられ
る。第一欠陥検査部２０ａは、検査ステージ２１ａと、
第一ＣＣＤカメラ３１ａと、照明装置３２ａと、Ｘ−Ｙ
ステージ３３ａと、ステージコントローラ３４ａと、第
一画像処理装置３５ａとを有する。第二欠陥検査部２０
ｂは、検査ステージ２１ｂと、第二ＣＣＤカメラ３１ｂ
と、照明装置３２ｂと、Ｘ−Ｙステージ３３ｂと、ステ
ージコントローラ３４ｂと、第二画像処理装置３５ｂと
を有する。

【００１８】検査ステージ２１ａ，２１ｂは、図５
（ａ）に示すように、押さえ板２５と、吸引台２６と、
吸引装置（不図示）とを有する。押さえ板２５の中央部
には、略正方形状の開口部２５ａが形成されている。吸
引台２６には、吸引装置と繋がる多数の孔２６ａが形成
されている。これら押さえ板２５及び吸引台２６はとも
に、上下方向に移動可能に構成される。テープキャリア
１００は、押さえ板２５と吸引台２６との間を通過す
る。テープキャリア１００が所定の送り量だけ送られて
停止すると、押さえ板２５が下方に移動すると共に吸引
台２６が上方に移動して、図５（ｂ）の右側の図に示す
ように、テープキャリア１００をクランプする。そし
て、吸引装置で吸引すると、テープキャリア１００の平
面が吸引台２６に吸い付けられる。これにより、テープ
キャリア１００はしっかりと固定され、この状態で検査
が行われる。このように検査時にテープキャリア１００
を固定するのは、テープキャリア１００はカールしてし
まうことがあり、かかる状態のテープキャリア１００を
第一ＣＣＤカメラ３１ａ又は第二ＣＣＤカメラ３１ｂで
撮像すると、画像の焦点がボケてしまい、正確な検査が
行えないからである。

【００１９】第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二ＣＣＤカ
メラ３１ｂは、テープキャリア１００を撮像するもので
あり、押さえ板２５，２５の開口部２５ａの上方に設け
られる。したがって、第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二
ＣＣＤカメラ３１ｂは、押さえ板２５，２５の開口部２
５ａに位置するテープキャリア１００についての画像を
取得する。すなわち、本実施形態では、押さえ板２５，
２５の開口部２５ａがテープキャリア１００の検査領域
となる。また、第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二ＣＣＤ
カメラ３１ｂの近傍にはそれぞれ、照明装置３２ａ，３
２ｂが配置される。第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二Ｃ
ＣＤカメラ３１ｂはそれぞれ、照明装置３２ａ，３２ｂ
から照射され、検査ステージ２１ａ，２１ｂに固定され
たテープキャリア１００により反射された反射光を検出
することにより、テープキャリア１００を撮像する。

【００２０】また、第一ＣＣＤカメラ３１ａとしては、
図６（ａ）に示すように、広い視野を持つラインセンサ
を用いる。テープキャリア１００が検査ステージ２１ａ
に固定されたときに、第一ＣＣＤカメラ３１ａがスキャ
ニングすることにより、開口部２５ａに含まれるテープ
キャリア全面についての画像が取得される。例えば、図
２に示すテープキャリア１００の場合には、図６（ｂ）
に示すような画像が取得される。しかも、第一ＣＣＤカ
メラ３１ａとしては、４０００画素×４０００画素から
なる高精細な画像を取得できるものを用いる。尚、第一
ＣＣＤカメラ３１ａとして視野の狭いものを用いる場合
には、検査領域を複数の領域に分割し、各領域毎にスキ
ャニングすることにより、検査領域に含まれるテープキ
ャリア全面についての画像を取得するようにしてもよ
い。

【００２１】ところで、本実施形態のテープキャリア欠
陥検査装置では、押さえ板２５として開口部２５ａの大
きさの異なるものを予め複数用意している。そして、テ
ープキャリア１００を検査する際に、少なくとも一個の
製品が開口部２５ａに完全に含まれるような押さえ板２
５を使用する。したがって、第一ＣＣＤカメラ３１ａで
撮像された画像には、必ず一つの製品が入るようにな
る。ここで、第一ＣＣＤカメラ３１ａで撮像された画像
中に一部しか写っていない製品については、検査の対象
外とされる。特に、本実施形態では、図２及び図３に示
すテープキャリア１００についての１フレームを完全に
含むことができるような大きさの開口部２５ａを有する
押さえ板２５を使用することにする。但し、この押さえ
板２５の開口部２５ａは、図４に示すテープキャリアに
ついての１フレームよりは小さいとする。

【００２２】一方、第二ＣＣＤカメラ３１ｂとしては、
第一ＣＣＤカメラ３１ａと異なり、図６（ｃ）に示すよ
うに、狭い視野を持つエリアセンサを用いる。また、第
二ＣＣＤカメラ３１ｂには第一ＣＣＤカメラ３１ａより
も高倍率の光学系を用い、図６（ｄ）に示すように、製
品の局所的な拡大画像を取得することにしている。この
第二ＣＣＤカメラ３１ｂにより、６００〜８００×４０
０〜６００画素からなる画像が得られる。尚、第二ＣＣ
Ｄカメラ３１ｂにラインセンサを用いずにエリアセンサ
を用いたのは、制御が簡単であり、しかも、第二欠陥検
査部２０ｂでは局所的な画像を取得するため小さい視野
を持つもので十分だからである。

【００２３】Ｘ−Ｙステージ３３ａ，３３ｂはそれぞ
れ、第一ＣＣＤカメラ３１ａ、第二ＣＣＤカメラ３１ｂ
をＸ−Ｙ二次元平面内（テープキャリア１００の表面に
平行な平面内）の所定の位置に移動するものである。Ｘ
−Ｙステージ３３ａ，３３ｂの動作はそれぞれ、ステー
ジコントローラ３４ａ，３４ｂにより制御される。した
がって、第一欠陥検査部２０ａでは、ステージコントロ
ーラ３４ａで第一ＣＣＤカメラ３１ａの位置を調整する
ことにより、検査領域内におけるテープキャリア１００
全体の画像を取得することができ、一方、第二欠陥検査
部２０ｂでは、ステージコントローラ３４ｂで第二ＣＣ
Ｄカメラ３１ｂの位置を移動することにより、検査領域
内におけるテープキャリア１００の各製品について所望
の位置の拡大画像を取得することができる。

【００２４】本実施形態においては、第一欠陥検査部２
０ａでは、検査領域に含まれる一又は複数の製品の全面
を検査し、一方、第二欠陥検査部２０ｂでは、各製品の
局所的な部分を検査する。すなわち、二つの欠陥検査部
２０ａ，２０ｂを用いて二段階の検査を行う。ここで、
本実施形態では、リードの欠け及びリードの太りを検査
対象とする場合について説明する。

【００２５】第一欠陥検査部２０ａの第一画像処理装置
３５ａは、第一ＣＣＤカメラ３１ａによって取得された
画像に所定の処理を施し、その画像に完全に含まれてい
る各製品について検査する。具体的には、まず、パター
ンマッチングの手法を用いて、各製品毎に、リードの欠
け又は太りを検出する。ここで、欠けには断線が含ま
れ、太りには短絡が含まれる。第一画像処理装置３５ａ
は、欠け又は太りを検出すると、欠け又は太りの部分
（欠陥箇所）の面積値を求めると共に、欠陥箇所の領域
の重心位置を求める。そして、欠陥箇所の面積値を予め
定められた所定のしきい値と比較し、欠陥箇所の面積値
がしきい値よりも大きいときに、大欠陥があると判定す
る。ここで、しきい値は検査項目、すなわち欠け又は太
りに応じて異なる。例えば、図７（ａ）に示すような画
像が取得された場合には、断線Ｄ₁ と、大きな太りＤ₂
とが生じており、第一画像処理装置３５ａは大欠陥があ
ると判定する。一方、欠陥箇所の面積値がしきい値以下
であるときに、再検査を必要とする微小な欠陥があると
判定する。例えば、図７（ｂ）に示すような画像が取得
された場合には、微小な欠陥（欠け）Ｄ₃ があると判定
する。第一画像処理装置３５ａでの検査結果は、統括制
御装置７０に送られ、記憶部８０に記憶される。尚、同
じリードであっても、インナーリードとパッド用リード
とでは、幅等が異なり、当然、欠陥の判定基準も異な
る。このため、リードを各部位別に区別し、その区別し
た部位毎に、しきい値を設定するようにしてもよい。ま
た、本実施形態では、リードに不純物が付着している場
合も欠けとして処理することができる。

【００２６】第二欠陥検査部２０ｂの第二画像処理装置
３５ｂでは、第一欠陥検査部２０ａで微小な欠陥が検出
された場合のみ、各製品毎に、その微小な欠陥の箇所を
再検査する。したがって、第一欠陥検査部２０ａにおい
て欠陥が検出されなかった製品及び大欠陥が検出された
製品については、第二欠陥検査部２０ｂでの検査は行わ
れない。

【００２７】統括制御装置７０は、再検査の必要な製品
が第二欠陥検査部２０ｂの検査ステージ２１ｂに送られ
てきたときに、再検査箇所の重心座標についての情報を
第二画像処理装置３５ｂに送る。すると、第二画像処理
装置３５ｂは、第二ＣＣＤカメラ３１ｂの視野の中心が
再検査箇所の重心座標位置に一致するように、ステージ
コントローラ３４ｂを介してＸ−Ｙステージ３３ｂを移
動する。そして、第二ＣＣＤカメラ３１ｂで当該製品に
ついて再検査箇所を含む拡大画像を取り込む。例えば、
第一欠陥検査部２０ａで図７（ｂ）に示す微小な欠陥Ｄ
₃ が検出された場合、第二ＣＣＤカメラ３１ｂでは、図
７（ｂ）の破線で示す範囲を、第一ＣＣＤカメラ３１ａ
よりも拡大した倍率（例えば３、４倍程度）で撮像す
る。これにより、図７（ｃ）に示すように、再検査箇所
Ｄ₃ の鮮明な画像を得ることができる。

【００２８】その後、第二画像処理装置３５ｂは、第一
画像処理装置３５ａと同様に、第二ＣＣＤカメラ３１ｂ
で取得された拡大画像に所定の処理を施し、パターンマ
ッチングの手法を用いて、再検査箇所を再検査する。具
体的には、再検査箇所の面積値を求め、その面積値を予
め定められた所定のしきい値を比較する。但し、第二画
像処理装置３５ｂで用いるしきい値は第一画像処理装置
３５ａで用いるしきい値と異なる。第二画像処理装置３
５ｂは、再検査箇所の面積値がしきい値よりも大きいと
きに、欠陥であると判定し、一方、再検査箇所の面積値
がしきい値以下であるときに、欠陥ではないと判定す
る。第二画像処理装置３５ｂでの検査結果は、統括制御
装置７０に送られ、記憶部８０に記憶される。尚、各製
品について複数の再検査箇所がある場合には、欠陥の程
度が高い再検査箇所から検査が行われる。

【００２９】また、各製品について欠陥が生じているか
否かの最終的な判断は、統括制御装置７０が第一画像処
理装置３５ａ及び第二画像処理装置３５ｂの検査結果に
基づいて行う。本実施形態では、このように二つの欠陥
検査部２０ａ，２０ｂを設け、二段階の検査を行うこと
により、各製品について欠陥が生じているか否かを正確
に判定することができる。

【００３０】パンチ部４０は、第二欠陥検査部２０ｂよ
りもテープキャリア１００の搬送経路上の下流側に設け
られており、図１に示すように、パンチャ４１と、Ｘ−
Ｙステージ４２と、ステージコントローラ４３と、位置
合わせ用カメラ４４と、画像表示装置４５とを有する。
パンチャ４１は、統括制御装置７０により最終的に欠陥
が生じていると判定された不良品の所定位置にパンチ穴
をあけるものである。ここでは、エアーシリンダ式のパ
ンチャ４１を用いている。このパンチャ４１は、搬送制
御装置１５からの信号に基づいて作動する。また、Ｘ−
Ｙステージ４２は、パンチャ４１をＸ−Ｙ二次元平面内
の所定の位置に移動するものである。このＸ−Ｙステー
ジ４２の動作は、搬送制御装置１５からステージコント
ローラ４３を介して制御される。したがって、パンチ部
４０では、不良品について所望の位置にパンチ穴をあけ
ることができる。

【００３１】また、位置合わせ用カメラ４４は、Ｘ−Ｙ
ステージ４２上に設けられ、そのＸ−Ｙステージ４２上
においてＸ−Ｙ二次元平面内の所定の位置に手動で調整
可能に構成されている。画像表示装置４５は、位置合わ
せ用カメラ４４で映した画像を表示する。オペレータ
は、検査を開始する前に、画像表示装置４５に映し出し
た画像を見ながら、位置合わせ用カメラ４４の中心位置
をテープキャリア１００上の所定の基準位置に合わせ
る。この基準位置はＸ−Ｙステージ４２の座標原点とな
る。そして、オペレータが入力装置５０を用いて、その
座標原点から実際にパンチ穴をあけたい位置までのオフ
セット量を入力することにより、製品上のパンチ穴をあ
ける位置が設定される。

【００３２】入力装置５０は、例えばキーボード等であ
って、この入力装置５０から、検査を行う前に予め各テ
ープキャリア毎の検査に必要な情報等が入力される。入
力内容としては、例えば、テープキャリア１００のフレ
ームのピッチ間隔Ｆ、１フレームに含まれる製品の送り
方向のピッチ間隔Ｐ等である（図２乃至図４参照）。ま
た、第一ＣＣＤカメラ３１ａにより撮像した画像に対し
て、検査領域に完全に含まれる製品の範囲を指定するこ
とにより、検査を行う範囲を設定したり、１フレーム内
に含まれる各製品について検査の順番を指定したりす
る。更に、各欠陥検査部２０ａ，２０ｂにおいて欠陥を
判定する際のしきい値を入力したりする。入力装置５０
から入力された情報は、統括制御装置７０に送られ、記
憶部８０に記憶される。また、表示装置６０は、第一Ｃ
ＣＤカメラ３１ａ又は第二ＣＣＤカメラ３１ｂにより撮
像した画像を表示したり、各製品についての最終的な検
査結果を表示する。

【００３３】統括制御装置７０は、本テープキャリア欠
陥検査装置の各部の制御を統括するものである。例え
ば、第一欠陥検査部２０ａの第一画像処理装置３５ａ及
び第二欠陥検査部２０ｂの第二画像処理装置３５ｂから
送られた検査結果に基づいて、最終的にテープキャリア
１００の各製品に欠陥が生じているか否かを判定する。
具体的には、第一画像処理装置３５ａで大欠陥が生じて
いると判定された製品については、統括制御装置７０は
不良品と判定する。また、第一画像処理装置３５ａで再
検査が必要であると判定された製品については、第二欠
陥検査部２０ｂに再検査を実行させる。この再検査の結
果、第二画像処理装置３５ｂで欠陥が生じていると判定
された製品については、統括制御装置７０は不良品と判
定する。さらに、第一画像処理装置３５ａにおいて欠陥
が生じていないと判定された製品、及び第二画像処理装
置３５ｂにおいて再検査の結果、欠陥が生じていないと
判定された製品については、統括制御装置７０は良品と
判定する。

【００３４】統括制御装置７０で判定された検査結果
は、テープキャリア１００の各フレームの製品毎に記憶
部８０に記憶される。ここでは、各製品を、各フレーム
に付与されたフレーム識別符号と、１フレーム内におけ
る各製品に付与された製品識別符号とを用いて特定して
いる。例えば、フレーム識別符号としては、テープキャ
リア１００の一方の先端側から各フレームに順次付与し
た番号を用いることができ、また、製品識別符号として
は、入力装置５０から入力された１フレーム内の各製品
についての検査の順番をそのまま用いることができる。
そして、統括制御装置７０は、実際には、かかるフレー
ム識別符号と製品識別符号とにしたがって、検査結果を
マトリクス形式で記憶部８０に格納している。これによ
り、例えば、検査結果で不良品と判定された製品に対応
するフレーム識別符号と製品識別符号とに基づいて、そ
の不良品のテープキャリア上の位置を容易に認識するこ
とができる。

【００３５】また、統括制御装置７０は、入力装置５０
から所定の指示を受けると、各フレームの製品毎の検査
結果を記憶部８０から読み出し、その読み出した検査結
果に基づいて、テープキャリア全体での良品（又は不良
品）の数、各フレーム毎の良品（又は不良品）の数を計
数する。そして、テープキャリア全体での製品の数に対
する良品の数の割合を算出することにより、テープキャ
リア全体での歩留りを求めると共に、各フレーム毎の製
品の数に対する良品の数の割合を算出することにより、
各フレーム毎の歩留りを求める。これらの歩留りに関す
るデータは、表示装置６０の画面上に表示される。

【００３６】更に、統括制御装置７０は、テープキャリ
ア１００の表面と裏面の両方について検査が行われる場
合には、テープキャリア１００の表面及び裏面のうち一
方の面についての検査が行われた後に、他方の面につい
ての検査を行うときに、一方の面についての検査結果を
記憶部８０から読み出し、その読み出した検査結果に基
づいて良品と判定された製品を特定する。そして、他方
の面については、その特定した製品のみの検査を行うよ
うに第一欠陥検査部２０ａを制御する。これにより、一
方の面についての検査で不良品と判定された製品に対し
ては、他方の面についての検査を省略することができる
ので、検査時間の短縮化を図ることができる。その後、
統括制御装置７０は、両方の面についての検査結果を統
合して、最終的な検査結果を判定し、記憶部８０に格納
する。したがって、テープキャリア１００の表面と裏面
の両方について検査を行う場合でも、テープキャリア全
体又はフレーム毎の不良品の数を正確に求めることがで
きる。

【００３７】ところで、第一欠陥検査部２０ａでは、検
査領域に完全に含まれる製品について検査が行われる。
したがって、テープキャリア１００の送り動作が停止し
たときに、製品の一部分しか検査領域に含まれない製品
については、検査は行われない。しかも、本実施形態で
は、図２乃至図４に示すようなさまざまな種類のテープ
キャリア１００を検査対象としているので、テープキャ
リア１００の種類に応じて、送り動作の停止時に各製品
が検査領域に完全に含まれるような送り量を設定する必
要がある。このため、統括制御装置７０は、入力装置５
０で入力されたフレームのピッチ間隔Ｆ及び製品の送り
方向のピッチ間隔Ｐに基づいて、テープキャリア１００
の種類に応じた適切な送り量を算出し、その算出した送
り量に基づいて搬送装置１０の動作を制御する。

【００３８】次に、統括制御装置７０がテープキャリア
１００の送り量を算出する手順について説明する。図８
はテープキャリア１００の送り量を算出する手順を説明
するためのフローチャートである。

【００３９】まず、オペレータは入力装置５０を用い
て、今回の検査対象となるテープキャリア１００につい
てのフレームのピッチ間隔Ｆと、一フレームに含まれる
製品の送り方向のピッチ間隔Ｐとを入力する（Ｓ１）。
統括制御装置７０は、フレームのピッチ間隔Ｆが検査領
域の送り方向の長さＲ（図５参照）以下であるか否かを
判断する（Ｓ２）。ここで、検査領域のサイズは予め決
められており、検査領域の送り方向の長さＲについての
情報は記憶部８０に既に記憶されている。フレームのピ
ッチ間隔Ｆが検査領域の送り方向の長さＲ以下であると
判断されると、統括制御装置７０は、テープキャリア１
００の一回の送り量Ｌをフレームのピッチ間隔Ｆに設定
する（Ｓ３）。この場合、テープキャリア１００を一回
送る毎に、各フレームが順次検査領域に移動するので、
送り動作の停止時に各製品は必ず検査領域に完全に含ま
れる。

【００４０】一方、ステップＳ２においてフレームのピ
ッチ間隔Ｆが検査領域の送り方向の長さＲよりも長いと
判断されると、統括制御部７０は、各フレームを、検査
領域の送り方向の長さＲ内に完全に含めることができる
一又は複数の製品を含む複数の領域に分割し、フレーム
のピッチ間隔Ｆ及び製品の送り方向のピッチ間隔Ｐに基
づいて、各フレームの各領域が順次、検査領域に送られ
るような送り量を算出する。これにより、各分割領域に
含まれる一又は複数の製品毎に検査が行われることにな
る。この場合、送り量は具体的には以下のように算出さ
れる。統括制御装置７０は、まず、製品の送り方向のピ
ッチ間隔Ｐに基づいて、検査領域の送り方向の長さＲ内
に完全に含めることができる製品の送り方向に沿った最
大数ｎを算出する（Ｓ４）。この製品の最大数ｎは、検
査領域の送り方向の長さＲを製品の送り方向のピッチ間
隔Ｐで割り、その得られた値の小数点以下を切り捨てる
ことにより、容易に求めることができる。

【００４１】その後、統括制御装置７０は、ステップＳ
４で得られた製品の最大数ｎに基づいて１フレームを複
数の領域に分割したときの分割領域の数ｄを算出する
（Ｓ５）。この分割領域の数ｄは、フレームのピッチ間
隔Ｆを製品の最大数ｎで割り、その得られた値の少数点
以下を切り上げることにより、容易に求めることができ
る。ここでは、各フレームをｄ個の分割領域に分割する
際、最初から最後の一つ前までの各分割領域には送り方
向に沿って最大数ｎの製品を含むように、最後の分割領
域には残りの製品を含むようにｄ個の分割領域を決定す
る。また、各フレームにおいて最初の分割領域が検査領
域に入っている状態から最後の分割領域が検査領域に入
っている状態に移行させるのに要する送り動作の回数
は、ｄ−１回である。

【００４２】次に、統括制御装置７０は、各フレームに
おいて一の分割領域から次の分割領域を検査領域に送る
ときの送り量Ｌ₁ を、製品の送り方向のピッチ間隔Ｐと
製品の最大数ｎとの積で与えられる値（Ｐ×ｎ）として
算出する（Ｓ６）。これにより、１フレーム内に含まれ
る各製品は必ず検査領域に完全に含まれることになる。
また、一のフレームの最後の分割領域が検査領域に入っ
ている状態から次のフレームの最初の分割領域が検査領
域に入る状態に移行する際には、フレーム間に一定の間
隔が設けられていることを考慮する必要がある。このた
め、統括制御装置７０は、一のフレームの最後の分割領
域から次のフレームの最初の分割領域を検査領域に送る
ときの送り量Ｌ₂ を、フレームのピッチ間隔Ｆから製品
の送り方向のピッチ間隔Ｐと製品の最大数ｎと分割領域
の数から１引いた数ｄ−１との積を減じて得られる値
（Ｆ−Ｐ×ｎ×（ｄ−１））として算出する（Ｓ７）。
これにより、次のフレームの最初の分割領域について
は、当該一のフレームの最初の分割領域が検査領域に入
っている状態と全く同じ状態が再現される。

【００４３】次に、本実施形態のテープキャリア欠陥検
査装置において、テープキャリアの表面と裏面の両方に
ついて検査を行う場合の手順を説明する。図９は図３に
示すテープキャリアについて両面検査を行う場合に表面
検査時と裏面検査時とにおける各製品の位置関係を説明
するための図である。

【００４４】まず、オペレータは、入力装置５０から検
査に必要な情報、例えば両面検査を行う旨、テープキャ
リア１００の種類等を入力する。ここでは、図３に示す
テープキャリア１００について両面検査を行うものとす
る。そして、オペレータは、図９（ａ）に示すように、
テープキャリア１００の表面を上側にして、そのテープ
キャリア１００を本欠陥検査装置にセットする。

【００４５】次に、オペレータが入力装置５０から表面
の検査を開始する旨の指示を与えると、統括制御装置７
０は、所定の送り量に基づいて搬送装置１０の動作を制
御しながら、第一欠陥検査部２０ａに検査を実行させる
と共に、第二欠陥検査部２０ｂに検査を実行させる。そ
して、統括制御装置７０は、各製品についての表面の検
査結果をマトリクス形式で記憶部８０に格納する。ここ
で、図９（ａ）に示すように、各フレームには、フレー
ム識別符号としてテープキャリア１００の先端側から順
次、番号ｎ＝１，２，・・・，Ｎが付与されており、ま
た、１フレームに含まれる４個の製品にはそれぞれ、製
品識別番号ｋ＝１，２，３，４が付与されている。これ
により、各製品はフレーム識別符号ｎと製品識別符号ｋ
とにより特定することができ、各製品の検査結果は、記
憶部８０内の（ｎ，ｋ）で指定される記憶領域に記憶さ
れる。

【００４６】また、不良品がパンチ部４０に送られてき
た場合には、統括制御装置７０は、Ｘ−Ｙステージ４３
の移動を制御して、パンチャ４１のパンチ軸を当該不良
品のパンチ位置に一致させる。その後、パンチャ４１を
駆動することにより、当該不良品のパンチ位置にパンチ
穴があけられる。こうして、すべての製品がパンチ部４
０を通過し、テープキャリア１００が巻取リール１２ａ
に完全に巻き取られると、表面検査が終了する。

【００４７】次に、オペレータは、その巻取リール１２
ａを取り外し、供給リール１１ａとして取り付ける。こ
こで、図９（ｂ）に示すように、テープキャリア１００
の裏面が上側になるように、そのテープキャリア１００
を本欠陥検査装置にセットする。このとき、裏面検査時
におけるテープキャリア１００の送り方向は、図９に示
すように、表面検査時の送り方向と反対になる。すなわ
ち、裏面検査時には、フレーム識別符号がＮであるフレ
ームから順次搬送される。特に、１フレームに複数の製
品が含まれている場合には、送り方向が反対になるだけ
でなく、図９（ｂ）に示すように、フレーム内における
製品の位置関係も変わる。しかし、統括制御装置７０
は、テープキャリア１００の種類についての情報に基づ
いて、裏面検査時における製品識別符号と表面検査時に
おける製品識別符号との対応関係を認識することができ
るので、製品の位置関係が変わっても検査結果の管理に
関して何ら問題はない。

【００４８】次に、オペレータが入力装置５０から裏面
の検査を開始する旨の指示を与えると、統括制御装置７
０は、まず、表面の検査結果を記憶部８０から読み出
し、その表面の検査結果に基づいて良品であると判定さ
れた製品を特定する。そして、その良品についてのフレ
ーム識別符号と製品識別符号とに基づいて、裏面につい
ては当該良品のみの検査が行われるように第一欠陥検査
部２０ａを制御する。統括制御装置７０は、裏面検査で
不良品と判定された製品については、記憶部８０に記憶
されている表面の検査結果を良品から不良品と書き換え
る。これにより、表面の検査結果と裏面の検査結果とが
統合され、最終的に両面の検査結果が得られる。

【００４９】また、裏面検査において不良品がパンチ部
４０に送られてきた場合には、統括制御装置７０は、表
面検査の場合と同様に、Ｘ−Ｙステージ４３の移動とパ
ンチャ４１の駆動を制御して、当該不良品のパンチ位置
にパンチ穴があけられる。こうして、すべての製品がパ
ンチ部４０を通過し、テープキャリア１００が巻取リー
ル１２ａに完全に巻き取られると、当該テープキャリア
１００の両面検査が終了する。

【００５０】テープキャリア１００の両面検査が終了し
た後に、オペレータが入力装置５０から歩留りを表示す
る旨の指示を与えると、統括制御装置７０は、各フレー
ムの製品毎の検査結果を記憶部８０から読み出し、その
読み出した検査結果に基づいて、全体の歩留りや各フレ
ーム毎の歩留りを算出する。その算出した結果は、表示
装置６０の画面上に表示される。

【００５１】本実施形態のテープキャリア欠陥検査装置
では、統括制御装置が、第一及び第二の欠陥検査部での
検査結果を各フレームの製品毎に管理することにより、
かかる各フレームの製品毎の検査結果に基づいて、例え
ば、全体の歩留りやフレーム毎の歩留りを容易に算出す
ることができると共に、不良品がテープキャリア上のど
の位置に生じているのかを容易に知ることができる。特
に、各フレーム毎の歩留りを調べることにより、どのフ
レームに不良品が多く発生しているのか等についての情
報を得ることができる。かかる情報は、テープキャリア
の製造部門にフィードバックして、生産管理情報として
利用するのに適している。

【００５２】また、統括制御装置は、テープキャリアの
表面と裏面の両方について検査を行う場合、テープキャ
リアの表面及び裏面のうち一方の面についての検査が行
われた後、他方の面についての検査を行うときに、一方
の面についての検査結果を記憶部から読み出し、その読
み出した検査結果に基づいて良品であると判定された製
品を特定し、他方の面についてはその特定した製品のみ
の検査を行うように欠陥検査部を制御することにより、
重複した検査を回避して、両面検査を効率よく行うこと
ができる。

【００５３】尚、本発明は上記の実施形態に限定される
ものではなく、その要旨の範囲内において種々の変形が
可能である。

【００５４】例えば、上記の実施形態では、各フレーム
の製品毎に検査結果を記憶部に記憶しておく場合につい
て説明したが、不良品と判定された製品については検査
結果と共に検査内容を記憶部に記憶するようにしてもよ
い。具体的に、検査内容としては、表面及び裏面のうち
いずれの面について不良品と判定されたか、第一欠陥検
査部及び第二欠陥検査部のうちいずれで不良品と判定さ
れたか、不良品と判定されたときの検査項目等が挙げら
れる。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように本発明のテープキャ
リア欠陥検査装置によれば、制御手段が、欠陥検査手段
での検査結果を各フレームの製品毎に管理することによ
り、かかる各フレームの製品毎の検査結果に基づいて、
例えば、全体の歩留りやフレーム毎の歩留りを容易に算
出したり、不良品がテープキャリア上のどの位置に生じ
ているのかを容易に知ることができる。特に、各フレー
ム毎の歩留りを調べることにより、どのフレームに不良
品が多く発生しているのか等についての情報を得ること
ができる。かかる情報は、テープキャリアの製造部門に
フィードバックして、生産管理情報として利用するのに
適している。

【００５６】また、制御手段は、テープキャリアの表面
と裏面の両方について検査を行う場合、テープキャリア
の表面及び裏面のうち一方の面についての検査が行われ
た後、他方の面についての検査を行うときに、一方の面
についての検査結果を記憶手段から読み出し、その読み
出した検査結果に基づいて良品であると判定された製品
を特定し、他方の面についてはその特定した製品のみの
検査を行うように欠陥検査手段を制御することにより、
重複した検査を回避して、両面検査を効率よく行うこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態であるテープキャリアの欠
陥検査装置の概略構成図である。

【図２】１フレームに１個の製品を含むテープキャリア
を説明するための図である。

【図３】１フレームに複数の製品を含むテープキャリア
を説明するための図である。

【図４】１フレームに複数の製品を含み且つ１フレーム
の長さが図３に示すものに比べて長いテープキャリアを
説明するための図である。

【図５】（ａ）は本実施形態のテープキャリア欠陥検査
装置の検査ステージの概略拡大斜視図、（ｂ）はその検
査ステージの動作を説明するための図である。

【図６】本実施形態のテープキャリア欠陥検査装置の第
一ＣＣＤカメラ及び第二ＣＣＤカメラを説明するための
図である。

【図７】そのテープキャリア欠陥検査装置における第一
欠陥検査部及び第二欠陥検査部の検査内容を説明するた
めの図である。

【図８】テープキャリアの送り量を算出する手順を説明
するためのフローチャートである。

【図９】図３に示すテープキャリアについて両面検査を
行う場合に表面検査時と裏面検査時とにおける各製品の
位置関係を説明するための図である。

【符号の説明】

１０搬送装置１１巻き出し部１１ａ供給リール１１ｂインターリーフ巻取リール１２巻き取り部１２ａ巻取リール１２ｂインターリーフ供給リール１３駆動ローラ１４モータ１５搬送制御装置１８ガイドローラ２０ａ第一欠陥検査部２０ｂ第二欠陥検査部２１ａ，２１ｂ検査ステージ２５押さえ板２５ａ開口部２６吸引台２６ａ孔３１ａ第一ＣＣＤカメラ３１ｂ第二ＣＣＤカメラ３２ａ，３２ｂ照明装置３３ａ，３３ｂＸ−Ｙステージ３４ｂ，３４ｂステージコントローラ３５ａ第一画像処理装置３５ｂ第二画像処理装置４０パンチ部４１パンチャ４２Ｘ−Ｙステージ４３ステージコントローラ４４位置合わせ用カメラ４５画像表示装置５０入力装置６０表示装置７０統括制御装置８０記憶部１００テープキャリア１１０テープ１１１スプロケットホール１１２デバイスホール１２０リード１２１インナーリード

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者井手元浩東京都千代田区大手町２丁目６番３号新日本製鐵株式会社内 (72)発明者中森幸雄千葉県君津市君津１番地日本インターコネクションシステムズ株式会社内Ｆターム(参考） 2F065 AA17 AA49 AA61 BB11 BB15 DD06 FF04 GG17 JJ03 JJ05 JJ19 JJ26 MM03 MM14 MM24 MM28 PP03 PP11 QQ23 QQ31 QQ39 QQ41 SS13 TT03 TT08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】テープキャリアを所定の送り量ずつ搬送
する搬送手段と、前記搬送手段で所定の検査領域に搬送されてきた前記テ
ープキャリアを撮像する撮像手段と、前記撮像手段で得られた画像に基づいて前記テープキャ
リアの各製品に生じた欠陥を検査する欠陥検査手段と、前記欠陥検査手段での検査結果を前記テープキャリアの
各フレームの製品毎に記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記各フレームの製品毎の検
査結果を管理する制御手段と、を具備することを特徴とするテープキャリア欠陥検査装
置。
【請求項２】前記制御手段は、入力手段から所定の指
示を受けたときに、前記各フレームの製品毎の検査結果
を前記記憶手段から読み出し、前記読み出した検査結果
に基づいて、各フレーム毎に良品又は不良品と判定され
た製品の数を求め、且つ、その求めた結果を出力手段に
出力することを特徴とする請求項１記載のテープキャリ
ア欠陥検査装置。
【請求項３】前記制御手段は、前記テープキャリアの
表面と裏面の両方について検査が行われる場合、前記欠
陥検査手段で前記テープキャリアの表面及び裏面のうち
一方の面についての検査が行われた後に、他方の面につ
いての検査を行うときに、前記一方の面についての検査
結果を前記記憶手段から読み出し、前記読み出した検査
結果に基づいて良品と判定された製品を特定し、前記他
方の面については前記特定した製品のみの検査を行うよ
うに前記欠陥検査手段を制御することを特徴とする請求
項１又は２記載のテープキャリア欠陥検査装置。
【請求項４】前記制御手段は、不良品と判定された製
品については検査結果と共に検査内容を前記記憶手段に
記憶させることを特徴とする請求項１、２又は３記載の
テープキャリア欠陥検査装置。