JP2000266688A

JP2000266688A - テープキャリア欠陥検査装置

Info

Publication number: JP2000266688A
Application number: JP11073303A
Authority: JP
Inventors: Hideki Matsui; 秀樹松井; Hiroshi Idemoto; 浩井手元; Yukio Nakamori; 幸雄中森; Toshiki Arai; 俊企新井
Original assignee: NIPPON INTER CONNECTION SYSTEM; NIPPON INTER CONNECTION SYSTEMS KK; Nippon Steel Corp
Current assignee: NIPPON INTER CONNECTION SYSTEM; NIPPON INTER CONNECTION SYSTEMS KK; Nippon Steel Corp
Priority date: 1999-03-18
Filing date: 1999-03-18
Publication date: 2000-09-29

Abstract

(57)【要約】【課題】パンチング装置とマーキング装置とを容易に
切り替えて使用することができるテープキャリア欠陥検
査装置を提供する。【解決手段】パンチング装置４１は、欠陥が生じてい
ると判定された製品（不良製品）の所定の位置にパンチ
穴をあけるものであり、マーキング装置４２は、不良製
品の所定の位置に目印を記すものである。Ｘ−Ｙステー
ジ４３は、パンチング装置４１又はマーキング装置４２
の台座４１ｅ，４２ｅをネジで止めるための共通のネジ
止め機構４８を有する。オペレータは、検査を開始する
前に、ユーザの要求に応じて、パンチング装置４１及び
マーキング装置４２のいずれかを選択する。そして、そ
の選択したパンチング装置４１又はマーキング装置４２
をＸ−Ｙステージ４３のネジ止め機構４８にネジ止めす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣなどを実装す
るのに用いられるテープキャリアに生じた欠陥を検査す
るテープキャリア欠陥検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】テープキャリアは、スプロケットホール
やデバイスホールなどが形成されたテープ（基材）上
に、銅箔でリードを形成したものである。このテープキ
ャリアは、全長が２０〜２００ｍの長尺であり、リール
に巻かれて、ユーザに出荷される。また、テープキャリ
アは、フレームと称される複数の領域に区分され、通
常、１フレームに一個の製品が含まれている。

【０００３】テープキャリアをユーザに出荷する前に
は、テープキャリアの外観検査が行われる。このテープ
キャリアの外観検査は、専用の欠陥検査装置により行わ
れる。かかる欠陥検査装置では、リールからリールへの
搬送方式を用いて、テープキャリアを１フレームずつ送
る。テープキャリアの送り動作が停止する度に、ＣＣＤ
カメラにより、所定の検査領域に送られてきたテープキ
ャリアの１フレームについての画像を撮像する。この検
査領域は１フレームとほぼ同じ大きさである。そして、
各フレーム毎の画像に基づいてテープキャリアの各製品
に生じた欠陥を検査する。欠陥が生じていると判断され
た製品（不良製品）については、いわゆるＮＧ処理が行
われる。すなわち、テープキャリアの搬送経路の下流側
に配置されたパンチング装置が駆動されて、その製品の
所定位置にパンチ穴があけられる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ユーザはテ
ープキャリア毎に異なるＮＧ処理を要求することがあ
る。例えば、不良製品に対して、パンチ穴をあけるので
はなく、所定のマークを記してほしいという要求があ
る。しかしながら、従来の欠陥検査装置では、通常、パ
ンチング装置を装備しており、しかも、このパンチング
装置は簡単に取り外すことができない。このため、ユー
ザの要求に応じて、パンチング装置とマークを記すため
のマーキング装置とを容易に切り替えて使用することが
できるテープキャリア欠陥検査装置の実現が望まれてい
る。

【０００５】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、パンチング装置とマーキング装置とを容易に切
り替えて使用することができるテープキャリア欠陥検査
装置を提供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明は、搬送手段によりテープキャリアを所定の
送り量ずつ搬送し、所定の検査領域に搬送されてきた前
記テープキャリアを撮像し、その撮像して得られた画像
に基づいて前記テープキャリアの各製品に生じた欠陥を
検査するテープキャリア欠陥検査装置において、欠陥が
生じていると判定された不良製品の所定の位置にパンチ
穴をあけるパンチング手段と、前記不良製品の所定の位
置に目印を記すマーキング手段と、前記パンチング手段
及び前記マーキング手段に共通の取付け機構を有し、前
記取付け機構に取り付けられた前記パンチング手段又は
前記マーキング手段を前記搬送手段により搬送されてき
た前記不良製品の所定の位置に移動する移動手段と、を
具備することを特徴とするものである。

【０００７】また、上記の目的を達成するための本発明
は、搬送手段によりテープキャリアを所定の送り量ずつ
搬送し、所定の検査領域に搬送されてきた前記テープキ
ャリアを撮像し、その撮像して得られた画像に基づいて
前記テープキャリアの各製品に生じた欠陥を検査するテ
ープキャリア欠陥検査装置において、欠陥が生じている
と判定された不良製品の所定の位置にパンチ穴をあける
パンチング手段と、前記不良製品の所定の位置に目印を
記すマーキング手段と、前記パンチング手段及び前記マ
ーキング手段が回転軸から一定の距離の位置に設置され
ており、前記パンチング手段及び前記マーキング手段を
前記回転軸の回りに回転又は回動することにより、予め
選択された前記パンチング手段又は前記マーキング手段
を所定の位置に配置する切替手段と、前記切替手段が設
けられた、前記予め選択された前記パンチング手段又は
前記マーキング手段を前記搬送手段により搬送されてき
た前記不良製品の所定の位置に移動する移動手段と、を
具備することを特徴とするものである。

【０００８】更に、上記の目的を達成するための本発明
は、搬送手段によりテープキャリアを所定の送り量ずつ
搬送し、所定の検査領域に搬送されてきた前記テープキ
ャリアを撮像し、その撮像して得られた画像に基づいて
前記テープキャリアの各製品に生じた欠陥を検査するテ
ープキャリア欠陥検査装置において、欠陥が生じている
と判定された不良製品の所定の位置にパンチ穴をあける
パンチング手段と、前記不良製品の所定の位置に目印を
記すマーキング手段と、前記パンチング手段及び前記マ
ーキング手段が前記テープキャリアの搬送経路に沿って
同一架台上に併設されており、予め選択された前記パン
チング手段又は前記マーキング手段を前記搬送手段によ
り搬送されてきた前記不良製品の所定の位置に移動する
移動手段と、を具備することを特徴とするものである。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下に本発明の第一実施形態につ
いて図面を参照して説明する。図１は本発明の第一実施
形態であるテープキャリア欠陥検査装置の概略構成図、
図２乃至図４はテープキャリアの種類を説明するための
図、図５（ａ）は第一実施形態のテープキャリア欠陥検
査装置の検査ステージの概略拡大斜視図、図５（ｂ）は
その検査ステージの動作を説明するための図、図６は第
一実施形態のテープキャリア欠陥検査装置の第一ＣＣＤ
カメラ及び第二ＣＣＤカメラを説明するための図、図７
はそのテープキャリア欠陥検査装置における第一欠陥検
査部及び第二欠陥検査部の検査内容を説明するための
図、図８はそのテープキャリア欠陥検査装置のＮＧ処理
部の概略拡大斜視図、図９はそのＮＧ処理部のパンチン
グ装置の概略側面図、図１０はそのＮＧ処理部のマーキ
ング装置の概略側面図である。

【００１０】第一実施形態のテープキャリア欠陥検査装
置は、図１に示すように、搬送装置１０と、第一欠陥検
査部２０ａと、第二欠陥検査部２０ｂと、ＮＧ処理部４
０と、入力装置５０と、表示装置６０と、統括制御装置
７０とを備えるものである。

【００１１】テープキャリア（Tape Carrier）１００
は、全長が２０〜２００ｍの長尺であり、フレームと称
される複数の領域に区分されている。このフレームはテ
ープキャリア１００の製造・加工時の単位となるもので
ある。テープキャリア１００には、１フレームの長さや
１フレームに含まれる製品の数に応じて、さまざまな種
類のものがある。図２乃至図４に代表的なテープキャリ
ア１００の例を示す。図２に示すテープキャリア１００
は、通常製品と言われるものであり、１フレームに一個
の製品を含んでいる。そのフレームは略正方形状をして
いる。これに対し、図３及び図４に示すテープキャリア
１００は、ＣＳＰ（Chip Scale Package）等に対応する
ものであり、１フレームに複数の製品を含んでいる。図
３に示すテープキャリア１００では、フレームが略正方
形状であり、１フレーム内には、上下各行に２個ずつ合
計４個の製品が含まれる。一方、図４に示すテープキャ
リア１００では、フレームの送り方向の長さが長く、１
フレーム内には、上下各行に６個ずつ合計１２個の製品
が含まれる。本実施形態のテープキャリア欠陥検査装置
では、これらすべての種類のテープキャリア１００を検
査対象とする。

【００１２】尚、１本のテープキャリアに上記各種類の
ものが混在することはない。したがって、１フレームの
サイズは各テープキャリア毎に一定に決まっている。

【００１３】次に、テープキャリア１００について詳し
く説明する。テープキャリア１００は、例えば図２に示
すように、スプロケットホール１１１やデバイスホール
１１２が形成されたテープ（基材）１１０上に、銅箔で
リード１２０が形成されたものである。このリード１２
０は各デバイスホール１１２の周りの略正方形状の領域
に所定のパターンで形成される。この一つの略正方形状
の領域が１個の製品となる。図２に示すテープキャリア
１００では、この略正方形状の領域が１フレームとな
る。各フレームは一定間隔だけ離して形成される。尚、
一般に、製品はユーザの仕様に応じてさまざまな形状・
サイズに設計される。

【００１４】スプロケットホール１１１は、テープキャ
リア１００を搬送するための孔である。また、デバイス
ホール１１２にはインナーリード１２１が導出されてい
る。デバイスホール１１２は、このインナーリード１２
１とボンディングされるＩＣを配置するための孔であ
る。テープキャリア１００のインナーリード１２１とＩ
Ｃの電極とを接続すると、ＴＡＢ（Tape Automated Bon
ding）テープやＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）テ
ープが得られる。

【００１５】かかるテープキャリア１００は、リールに
巻かれた状態でユーザに出荷される。本実施形態のテー
プキャリア欠陥検査装置では、ユーザに出荷する前に、
各製品についてリードに欠けや太り等の欠陥が生じてい
るかどうかについて検査する。

【００１６】次に、テープキャリア欠陥検査装置の各部
について説明する。搬送装置１０は、テープキャリア１
００をリールからリールへの搬送方式で搬送するもので
あり、図１に示すように、巻き出し部１１と、巻き取り
部１２と、駆動ローラ１３と、モータ１４と、搬送制御
装置１５とを有する。巻き出し部１１は、テープキャリ
ア１００を送り出す供給リール１１ａと、インターリー
フを巻き取るインターリーフ巻取リール１１ｂとから構
成される。また、巻き取り部１２は、供給リール１１ａ
から供給されるテープキャリア１００を巻き取る巻取リ
ール１２ａと、テープキャリア１００を巻き取るときに
インターリーフを供給するインターリーフ供給リール１
２ｂとから構成される。ここで、インターリーフとは、
テープキャリア１００をリールに巻いたときに、製品に
傷が付かないようにテープキャリア１００とテープキャ
リア１００との間に挿入される保護用フィルムのことで
ある。また、搬送制御装置１５は、統括制御装置７０か
らの指示に基づいて、モータ１４を駆動するものであ
る。モータ１４により駆動ローラ１３が回転すると、テ
ープキャリア１００は供給リール１１ａから巻取リール
１２ａに向かって所定の送り量ずつ搬送される。尚、巻
き出し部１１と巻き取り部１２との間には、多数のガイ
ドローラ１８が設けられている。

【００１７】第一欠陥検査部２０ａ及び第二欠陥検査部
２０ｂは、テープキャリア１００の各製品に生じた欠陥
を検査するものである。第一欠陥検査部２０ａは、テー
プキャリア２の搬送経路上の上流側に設けられ、一方、
第二欠陥検査部２０ｂは、第一欠陥検査部２０ａより
も、テープキャリア２の搬送経路上の下流側に設けられ
る。第一欠陥検査部２０ａは、検査ステージ２１ａと、
第一ＣＣＤカメラ３１ａと、照明装置３２ａと、Ｘ−Ｙ
ステージ３３ａと、ステージコントローラ３４ａと、第
一画像処理装置３５ａとを有する。第二欠陥検査部２０
ｂは、検査ステージ２１ｂと、第二ＣＣＤカメラ３１ｂ
と、照明装置３２ｂと、Ｘ−Ｙステージ３３ｂと、ステ
ージコントローラ３４ｂと、第二画像処理装置３５ｂと
を有する。

【００１８】検査ステージ２１ａ，２１ｂは、図５
（ａ）に示すように、押さえ板２５と、吸引台２６と、
吸引装置（不図示）とを有する。押さえ板２５の中央部
には、略正方形状の開口部２５ａが形成されている。吸
引台２６には、吸引装置と繋がる多数の孔２６ａが形成
されている。これら押さえ板２５及び吸引台２６はとも
に、上下方向に移動可能に構成される。テープキャリア
１００は、押さえ板２５と吸引台２６との間を通過す
る。テープキャリア１００が所定の送り量だけ送られて
停止すると、押さえ板２５が下方に移動すると共に吸引
台２６が上方に移動して、図５（ｂ）の右側の図に示す
ように、テープキャリア１００をクランプする。そし
て、吸引装置で吸引すると、テープキャリア１００の平
面が吸引台２６に吸い付けられる。これにより、テープ
キャリア１００はしっかりと固定され、この状態で検査
が行われる。このように検査時にテープキャリア１００
を固定するのは、テープキャリア１００はカールしてし
まうことがあり、かかる状態のテープキャリア１００を
第一ＣＣＤカメラ３１ａ又は第二ＣＣＤカメラ３１ｂで
撮像すると、画像の焦点がボケてしまい、正確な検査が
行えないからである。

【００１９】第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二ＣＣＤカ
メラ３１ｂは、テープキャリア１００を撮像するもので
あり、押さえ板２５，２５の開口部２５ａの上方に設け
られる。したがって、第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二
ＣＣＤカメラ３１ｂは、押さえ板２５，２５の開口部２
５ａに位置するテープキャリア１００についての画像を
取得する。すなわち、本実施形態では、押さえ板２５，
２５の開口部２５ａがテープキャリア１００の検査領域
となる。また、第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二ＣＣＤ
カメラ３１ｂの近傍にはそれぞれ、照明装置３２ａ，３
２ｂが配置される。第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二Ｃ
ＣＤカメラ３１ｂはそれぞれ、照明装置３２ａ，３２ｂ
から照射され、検査ステージ２１ａ，２１ｂに固定され
たテープキャリア１００により反射された反射光を検出
することにより、テープキャリア１００を撮像する。

【００２０】また、第一ＣＣＤカメラ３１ａとしては、
図６（ａ）に示すように、広い視野を持つラインセンサ
を用いる。テープキャリア１００が検査ステージ２１に
固定されたときに、第一ＣＣＤカメラ３１ａがスキャニ
ングすることにより、開口部２５ａに含まれるテープキ
ャリア全面についての画像が取得される。例えば、図２
に示すテープキャリア１００の場合には、図６（ｂ）に
示すような画像が取得される。しかも、第一ＣＣＤカメ
ラ３１ａとしては、４０００画素×４０００画素からな
る高精細な画像を取得できるものを用いる。尚、第一Ｃ
ＣＤカメラ３１ａとして視野の狭いものを用いる場合に
は、検査領域を複数の領域に分割し、各領域毎にスキャ
ニングすることにより、検査領域に含まれるテープキャ
リア全面についての画像を取得するようにしてもよい。

【００２１】ところで、本実施形態のテープキャリア欠
陥検査装置では、押さえ板２５として開口部２５ａの大
きさの異なるものを予め複数用意している。そして、テ
ープキャリア１００を検査する際に、少なくとも一個の
製品が開口部２５ａに完全に含まれるような押さえ板２
５を使用する。したがって、第一ＣＣＤカメラ３１ａで
撮像された画像には、必ず一つの製品が入るようにな
る。ここで、第一ＣＣＤカメラ３１ａで撮像された画像
中に一部しか写っていない製品については、検査の対象
外とされる。特に、本実施形態では、図２及び図３に示
すテープキャリア１００についての１フレームを完全に
含むことができるような大きさの開口部２５ａを有する
押さえ板２５を使用することにする。但し、この押さえ
板２５の開口部２５ａは、図４に示すテープキャリアに
ついての１フレームよりは小さいとする。

【００２２】一方、第二ＣＣＤカメラ３１ｂとしては、
第一ＣＣＤカメラ３１ａと異なり、図６（ｃ）に示すよ
うに、狭い視野を持つエリアセンサを用いる。また、第
二ＣＣＤカメラ３１ｂには第一ＣＣＤカメラ３１ａより
も高倍率の光学系を用い、図６（ｄ）に示すように、製
品の局所的な拡大画像を取得することにしている。この
第二ＣＣＤカメラ３１ｂにより、６００〜８００×４０
０〜６００画素からなる画像が得られる。尚、第二ＣＣ
Ｄカメラ３１ｂにラインセンサを用いずにエリアセンサ
を用いたのは、制御が簡単であり、しかも、第二欠陥検
査部２０ｂでは局所的な画像を取得するため小さい視野
を持つもので十分だからである。

【００２３】Ｘ−Ｙステージ３３ａ，３３ｂはそれぞ
れ、第一ＣＣＤカメラ３１ａ、第二ＣＣＤカメラ３１ｂ
をＸＹ二次元平面内（テープキャリア１００の表面に平
行な平面内）の所定の位置に移動するものである。ま
た、Ｘ−Ｙステージ３３ａ，３３ｂの動作はそれぞれ、
統括制御装置７０によりステージコントローラ３４ａ，
３４ｂを介して制御される。したがって、第一欠陥検査
部２０ａでは、ステージコントローラ３４ａで第一ＣＣ
Ｄカメラ３１ａの位置を調整することにより、検査領域
内におけるテープキャリア１００全体の画像を取得する
ことができ、一方、第二欠陥検査部２０ｂでは、ステー
ジコントローラ３４ｂで第二ＣＣＤカメラ３１ｂの位置
を移動することにより、検査領域内におけるテープキャ
リア１００の各製品について所望の位置の拡大画像を取
得することができる。

【００２４】本実施形態においては、第一欠陥検査部２
０ａでは、検査領域に含まれる一又は複数の製品の全面
を検査し、一方、第二欠陥検査部２０ｂでは、各製品の
局所的な部分を検査する。すなわち、二つの欠陥検査部
２０ａ，２０ｂを用いて二段階の検査を行う。ここで、
本実施形態では、リードの欠け及びリードの太りを検査
対象とする場合について説明する。

【００２５】第一欠陥検査部２０ａの第一画像処理装置
３５ａは、第一ＣＣＤカメラ３１ａによって取得された
画像に所定の処理を施し、その画像に完全に含まれてい
る各製品について検査する。具体的には、まず、パター
ンマッチングの手法を用いて、各製品毎に、リードの欠
け又は太りを検出する。ここで、欠けには断線が含ま
れ、太りには短絡が含まれる。第一画像処理装置３５ａ
は、欠け又は太りを検出すると、欠け又は太りの部分
（欠陥箇所）の面積値を求めると共に、欠陥箇所の領域
の重心位置を求める。そして、欠陥箇所の面積値を予め
定められた所定のしきい値と比較し、欠陥箇所の面積値
がしきい値よりも大きいときに、大欠陥があると判定す
る。ここで、しきい値は検査項目、すなわち欠け又は太
りに応じて異なる。例えば、図７（ａ）に示すような画
像が取得された場合には、断線Ｄ₁ と、大きな太りＤ₂
とが生じており、第一画像処理装置３５ａは大欠陥があ
ると判定する。一方、欠陥箇所の面積値がしきい値以下
であるときに、再検査を必要とする微小な欠陥があると
判定する。例えば、図７（ｂ）に示すような画像が取得
された場合には、微小な欠陥（欠け）Ｄ₃ があると判定
する。第一画像処理装置３５ａでの検査結果は、統括制
御装置７０に送られ、所定の記憶部に記憶される。尚、
同じリードであっても、インナーリードとパッド用リー
ドとでは、幅等が異なり、当然、欠陥の判定基準も異な
る。このため、リードを各部位別に区別し、その区別し
た部位毎に、しきい値を設定するようにしてもよい。ま
た、本実施形態では、リードに不純物が付着している場
合も欠けとして処理することができる。

【００２６】第二欠陥検査部２０ｂの第二画像処理装置
３５ｂでは、第一欠陥検査部２０ａで微小な欠陥が検出
された場合のみ、各製品毎に、その微小な欠陥の箇所を
再検査する。したがって、第一欠陥検査部２０ａにおい
て欠陥が検出されなかった製品及び大欠陥が検出された
製品については、第二欠陥検査部２０ｂでの検査は行わ
れない。

【００２７】統括制御装置７０は、再検査の必要な製品
が第二欠陥検査部２０ｂの検査ステージ２１ｂに送られ
てきたときに、再検査箇所の重心座標についての情報を
第二画像処理装置３５ｂに送る。すると、第二画像処理
装置３５ｂは、第二ＣＣＤカメラ３１ｂの視野の中心が
再検査箇所の重心座標位置に一致するように、ステージ
コントローラ３４ｂを介してＸ−Ｙステージ３３ｂを移
動する。そして、第二ＣＣＤカメラ３１ｂで当該製品に
ついて再検査箇所を含む拡大画像を取り込む。例えば、
第一欠陥検査部２０ａで図７（ｂ）に示す微小な欠陥Ｄ
₃ が検出された場合、第二ＣＣＤカメラ３１ｂでは、図
７（ｂ）の破線で示す範囲を、第一ＣＣＤカメラ３１ａ
よりも拡大した倍率（例えば３、４倍程度）で撮像す
る。これにより、図７（ｃ）に示すように、再検査箇所
Ｄ₃ の鮮明な画像を得ることができる。

【００２８】その後、第二画像処理装置３５ｂは、第一
画像処理装置３５ａと同様に、第二ＣＣＤカメラ３１ｂ
で取得された拡大画像に所定の処理を施し、パターンマ
ッチングの手法を用いて、再検査箇所を再検査する。具
体的には、再検査箇所の面積値を求め、その面積値を予
め定められた所定のしきい値を比較する。但し、第二画
像処理装置３５ｂで用いるしきい値は第一画像処理装置
３５ａで用いるしきい値と異なる。第二画像処理装置３
５ｂは、再検査箇所の面積値がしきい値よりも大きいと
きに、欠陥であると判定し、一方、再検査箇所の面積値
がしきい値以下であるときに、欠陥ではないと判定す
る。第二画像処理装置３５ｂでの検査結果は、統括制御
装置７０に送られ、所定の記憶部に記憶される。尚、各
製品について複数の再検査箇所がある場合には、欠陥の
程度が高い再検査箇所から検査が行われる。

【００２９】また、各製品について欠陥が生じているか
否かの最終的な判断は、統括制御装置７０が第一画像処
理装置３５ａ及び第二画像処理装置３５ｂの検査結果に
基づいて行う。本実施形態では、このように二つの欠陥
検査部２０ａ，２０ｂを設け、二段階の検査を行うこと
により、各製品について欠陥が生じているか否かを正確
に判定することができる。

【００３０】ＮＧ処理部４０は、第二欠陥検査部２０ｂ
よりもテープキャリア１００の搬送経路上の下流側に設
けられており、図１及び図８に示すように、パンチング
装置４１と、マーキング装置４２と、Ｘ−Ｙステージ
（移動手段）４３と、ステージコントローラ４４と、位
置合わせ用カメラ４５と、画像表示装置４６とを備え
る。

【００３１】パンチング装置４１は、統括制御装置７０
により最終的に不良と判定された不良製品の所定の位置
に、欠陥の目印としてのパンチ穴をあけるものである。
このパンチング装置４１は、図９に示すように、パンチ
４１ａと、パンチダイ４１ｂと、上シリンダ４１ｃと、
下シリンダ４１ｄと、台座４１ｅとを有する。台座４１
ｅには、図８に示すように、パンチング装置４１をＸ−
Ｙステージ４３に取り付けるためのネジ孔４１ｆが形成
されている。テープキャリア１００は、パンチ４１ａと
パンチダイ４１ｂとの間を通過する。下シリンダ４１ｄ
によってパンチ台４１ｂがテープキャリア１００の表面
位置まで上方に移動すると同時に、上シリンダ４１ｃに
よってパンチ４１ａが下方に移動し、パンチ４１ａの先
端部がテープキャリア１００を介してパンチダイ４１ｂ
に挿入することにより、不良製品にパンチ穴があけられ
る。

【００３２】また、マーキング装置４２は、不良製品の
所定の位置に、欠陥の目印としてのマークを記すもので
ある。このマーキング装置４２は、図１０に示すよう
に、マーキングペン４２ａと、受け台４２ｂと、上シリ
ンダ４２ｃと、下シリンダ４２ｄと、台座４２ｅとを有
する。台座４２ｅには、図８に示すように、マーキング
装置４２をＸ−Ｙステージ４３に取り付けるためのネジ
孔４２ｆが形成されている。本実施形態では、マーキン
グ装置４２のネジ孔４２ｆの位置・大きさ等がパンチン
グ装置４１のネジ孔４１ｆの位置・大きさ等と全く同じ
になるように設計している。テープキャリア１００は、
マーキングペン４２ａと受け台４２ｂとの間を通過す
る。下シリンダ４２ｄによって受け台４２ｂがテープキ
ャリア１００の表面位置まで上方に移動すると同時に、
上シリンダ４２ｃによってマーキングペン４２ａが下方
に移動し、マーキングペン４２ａの先端が不良製品に当
接することにより、不良製品にマークが記される。

【００３３】Ｘ−Ｙステージ４３は、パンチング装置４
１及びマーキング装置４２に共通の取付け機構を有す
る。特に、本実施形態では、かかる取付け機構として、
図８に示すように、パンチング装置４１又はマーキング
装置４２の台座４１ｅ，４２ｅをネジで止めるためのネ
ジ止め機構４８を用いる。オペレータは、検査を開始す
る前に、ユーザの要求（不良製品にパンチ穴をあける
か、マークを記すか）に応じて、パンチング装置４１又
はマーキング装置４２を選択する。そして、その選択し
たパンチング装置４１又はマーキング装置４２をＸ−Ｙ
ステージ４３上に載せた後、パンチング装置４１又はマ
ーキング装置４２の台座のネジ孔とネジ止め機構４８の
ネジ孔とを合わせた後、ネジ止めする。このように、Ｘ
−Ｙステージ４３がパンチング装置４１及びマーキング
装置４２に共通の取付け機構を有することにより、オペ
レータは、パンチング装置４１とマーキング装置４２を
簡単に交換することができる。

【００３４】実際、パンチング装置４１又はマーキング
装置４２をＸ−Ｙステージ４３にネジ止めしたときの位
置精度はミリオーダまで十分合っている。また、不良製
品にパンチ穴をあけたり、マークを記す位置についての
精度は、ミクロンオーダまで要求されることはない。こ
のため、パンチング装置４１又はマーキング装置４２を
Ｘ−Ｙステージ４３にネジ止めしただけで、検査に必要
な精度が十分出ている。したがって、パンチング装置４
１又はマーキング装置４２の取り付け後にさらに位置の
微調整等を行う必要はなく、この点でも、オペレータに
とって、パンチング装置４１とマーキング装置４２の取
り外し・取り付け作業は容易である。

【００３５】尚、Ｘ−Ｙステージ４３に設ける共通の取
付け機構としては、上記のネジ止め機構の他、例えば、
パンチング装置４１又はマーキング装置４２の台座を差
し込むガイドレールと、ガイドレールの間隔を調整して
パンチング装置４１又はマーキング装置４２を固定する
クランプとを有するものを用いてもよい。

【００３６】パンチング装置４１又はマーキング装置４
２は、統括制御装置７０の管理の下、搬送制御装置１５
からの信号に基づいて作動する。また、Ｘ−Ｙステージ
４３は、パンチング装置４１又はマーキング装置４２を
ＸＹ二次元平面内の所定の位置に移動する。このＸ−Ｙ
ステージ４３の動作は、統括制御装置７０により搬送制
御装置１５、ステージコントローラ４４を介して制御さ
れる。したがって、ＮＧ処理部４０では、不良製品につ
いて所定の位置（目印位置）にパンチ穴をあけたり、あ
るいはマークを付けたりすることができる。この目印位
置は、テープキャリア１００毎にユーザから予め指定さ
れる。尚、目印位置はどの製品でも同じ位置である。

【００３７】また、位置合わせ用カメラ４５は、Ｘ−Ｙ
ステージ４３上に設けられ、そのＸ−Ｙステージ４３上
においてＸ−Ｙ二次元平面内の所定の位置に手動で調整
可能に構成されている。画像表示装置４６は、位置合わ
せ用カメラ４５で映した画像を表示する。オペレータ
は、検査を開始する前に、画像表示装置４６に映し出し
た画像を見ながら、位置合わせ用カメラ４５の中心位置
をテープキャリア１００上の所定の基準位置に合わせ
る。この基準位置はＸ−Ｙステージ４３の座標原点とな
る。そして、オペレータが入力装置５０を用いて、その
座標原点から実際に欠陥の目印を付けたい目印位置まで
のオフセット量を入力することにより、製品上のパンチ
穴又はマークを付ける位置が設定される。

【００３８】入力装置５０は、例えばキーボード等であ
って、この入力装置５０から、検査を行う前に予め各テ
ープキャリア毎の検査に必要な情報等が入力される。入
力内容としては、例えば、テープキャリア１００のフレ
ームのピッチ間隔Ｆ、１フレームに含まれる製品の送り
方向のピッチ間隔Ｐ、Ｘ−Ｙステージ４３の座標原点か
ら目印位置までのオフセット量等である。また、第一Ｃ
ＣＤカメラ３１ａにより撮像した画像に対して、検査領
域に完全に含まれる製品の範囲を指定することにより、
検査を行う範囲を設定したり、１フレーム内に含まれる
各製品について検査の順番を指定したりする。更に、各
欠陥検査部２０ａ，２０ｂにおいて欠陥を判定する際の
しきい値を入力したりする。入力装置５０から入力され
た情報は、統括制御装置７０に送られ、所定の記憶部に
記憶される。また、表示装置６０は、第一ＣＣＤカメラ
３１ａ又は第二ＣＣＤカメラ３１ｂにより撮像した画像
を表示したり、各製品についての最終的な検査結果を表
示する。

【００３９】統括制御装置７０は、本テープキャリア欠
陥検査装置の各部の制御を統括するものである。例え
ば、第一欠陥検査部２０ａの第一画像処理装置３５ａ及
び第二欠陥検査部２０ｂの第二画像処理装置３５ｂから
送られた検査結果に基づいて、最終的にテープキャリア
１００の各製品に欠陥が生じているか否かを判定する。
具体的には、第一画像処理装置３５ａで大欠陥が生じて
いると判定された製品については、統括制御装置７０は
不良品と判定する。また、第一画像処理装置３５ａで再
検査が必要であると判定された製品については、第二欠
陥検査部２０ｂに再検査を実行させる。この再検査の結
果、第二画像処理装置３５ｂで欠陥が生じていると判定
された製品については、統括制御装置７０は不良品と判
定する。さらに、第一画像処理装置３５ａにおいて欠陥
が生じていないと判定された製品、及び第二画像処理装
置３５ｂにおいて再検査の結果、欠陥が生じていないと
判定された製品については、統括制御装置７０は良品と
判定する。

【００４０】ところで、第一欠陥検査部２０ａでは、検
査領域に完全に含まれる製品について検査が行われる。
したがって、テープキャリア１００の送り動作が停止し
たときに、製品の一部分しか検査領域に含まれない製品
については、検査は行われない。しかも、本実施形態で
は、図２乃至図４に示すようなさまざまな種類のテープ
キャリア１００を検査対象としているので、テープキャ
リア１００の種類に応じて、送り動作の停止時に各製品
が検査領域に完全に含まれるような送り量を設定する必
要がある。このため、統括制御装置７０は、入力装置５
０で入力されたフレームのピッチ間隔Ｆ及び製品の送り
方向のピッチ間隔Ｐに基づいて、テープキャリア１００
の種類に応じた適切な送り量を算出し、その算出した送
り量に基づいて搬送装置１０の動作を制御する。

【００４１】次に、統括制御装置７０がテープキャリア
１００の送り量を算出する手順について説明する。図１
１はテープキャリア１００の送り量を算出する手順を説
明するためのフローチャートである。

【００４２】まず、オペレータは入力装置５０を用い
て、今回の検査対象となるテープキャリア１００につい
てのフレームのピッチ間隔Ｆと、一フレームに含まれる
製品の送り方向のピッチ間隔Ｐとを入力する（Ｓ１）。
統括制御装置７０は、フレームのピッチ間隔Ｆが検査領
域の送り方向の長さＲ（図５参照）以下であるか否かを
判断する（Ｓ２）。ここで、検査領域のサイズは予め決
められており、検査領域の送り方向の長さＲについての
情報は所定の記憶部に既に記憶されている。フレームの
ピッチ間隔Ｆが検査領域の送り方向の長さＲ以下である
と判断されると、統括制御装置７０は、テープキャリア
１００の一回の送り量Ｌをフレームのピッチ間隔Ｆに設
定する（Ｓ３）。この場合、テープキャリア１００を一
回送る毎に、各フレームが順次検査領域に移動するの
で、送り動作の停止時に各製品は必ず検査領域に完全に
含まれる。

【００４３】一方、ステップＳ２においてフレームのピ
ッチ間隔Ｆが検査領域の送り方向の長さＲよりも長いと
判断されると、統括制御部７０は、各フレームを、検査
領域の送り方向の長さＲ内に完全に含めることができる
一又は複数の製品を含む複数の領域に分割し、フレーム
のピッチ間隔Ｆ及び製品の送り方向のピッチ間隔Ｐに基
づいて、各フレームの各領域が順次、検査領域に送られ
るような送り量を算出する。これにより、各分割領域に
含まれる一又は複数の製品毎に検査が行われることにな
る。この場合、送り量は具体的には以下のように算出さ
れる。統括制御装置７０は、まず、製品の送り方向のピ
ッチ間隔Ｐに基づいて、検査領域の送り方向の長さＲ内
に完全に含めることができる製品の送り方向に沿った最
大数ｎを算出する（Ｓ４）。この製品の最大数ｎは、検
査領域の送り方向の長さＲを製品の送り方向のピッチ間
隔Ｐで割り、その得られた値の小数点以下を切り捨てる
ことにより、容易に求めることができる。

【００４４】その後、統括制御装置７０は、ステップＳ
４で得られた製品の最大数ｎに基づいて１フレームを複
数の領域に分割したときの分割領域の数ｄを算出する
（Ｓ５）。この分割領域の数ｄは、フレームのピッチ間
隔Ｆを製品の最大数ｎで割り、その得られた値の少数点
以下を切り上げることにより、容易に求めることができ
る。ここでは、各フレームをｄ個の分割領域に分割する
際、最初から最後の一つ前までの各分割領域には送り方
向に沿って最大数ｎの製品を含むように、最後の分割領
域には残りの製品を含むようにｄ個の分割領域を決定す
る。また、各フレームにおいて最初の分割領域が検査領
域に入っている状態から最後の分割領域が検査領域に入
っている状態に移行させるのに要する送り動作の回数
は、ｄ−１回である。

【００４５】次に、統括制御装置７０は、各フレームに
おいて一の分割領域から次の分割領域を検査領域に送る
ときの送り量Ｌ₁ を、製品の送り方向のピッチ間隔Ｐと
製品の最大数ｎとの積で与えられる値（Ｐ×ｎ）として
算出する（Ｓ６）。これにより、１フレーム内に含まれ
る各製品は必ず検査領域に完全に含まれることになる。
また、一のフレームの最後の分割領域が検査領域に入っ
ている状態から次のフレームの最初の分割領域が検査領
域に入る状態に移行する際には、フレーム間に一定の間
隔が設けられていることを考慮する必要がある。このた
め、統括制御装置７０は、一のフレームの最後の分割領
域から次のフレームの最初の分割領域を検査領域に送る
ときの送り量Ｌ₂ を、フレームのピッチ間隔Ｆから製品
の送り方向のピッチ間隔Ｐと製品の最大数ｎと分割領域
の数から１引いた数ｄ−１との積を減じて得られる値
（Ｆ−Ｐ×ｎ×（ｄ−１））として算出する（Ｓ７）。
これにより、次のフレームの最初の分割領域について
は、当該一のフレームの最初の分割領域が検査領域に入
っている状態と全く同じ状態が再現される。

【００４６】次に、本実施形態のテープキャリア欠陥検
査装置において、テープキャリア１００の欠陥を検査す
る手順について説明する。

【００４７】まず、オペレータは、ユーザの要求に応じ
て、ＮＧ処理部４０にパンチング装置４１又はマーキン
グ装置４２を取り付ける。例えば、ＮＧ処理部４０にパ
ンチング装置４１が取り付けられている場合に、ユーザ
から不良製品にマークを記してほしいという要求があっ
たときには、パンチング装置４１を取り外し、マーキン
グ装置４１を取り付ける。次に、オペレータは、入力装
置５０から検査に必要な情報等を入力すると共に、テー
プキャリア１００を本欠陥検査装置にセットする。

【００４８】以上の準備作業が完了した後、オペレータ
が入力装置５０から検査を開始する旨の指示を与える
と、統括制御装置７０は、所定の送り量に基づいて搬送
装置１０の動作を制御しながら、第一欠陥検査部２０ａ
に検査を実行させると共に、第二欠陥検査部２０ｂに検
査を実行させる。また、不良製品がＮＧ処理部４０に送
られてきた場合には、統括制御装置７０は、Ｘ−Ｙステ
ージ４３の座標原点から当該不良製品の目印位置までの
オフセット量に基づいて、Ｘ−Ｙステージ４３の移動量
を算出する。そして、その移動量にしたがってＸ−Ｙス
テージ４３の移動を制御することにより、パンチング装
置４１のパンチ軸又はマーキング装置４２のペン軸を当
該不良製品の目印位置に一致させる。その後、パンチン
グ装置４１又はマーキング装置４２を駆動することによ
り、当該不良製品の目印位置にパンチ穴又はマークの目
印が付けられる。

【００４９】本実施形態のテープキャリア欠陥検査装置
では、ＮＧ処理部のＸ−Ｙステージがパンチング装置及
びマーキング装置に共通のネジ止め機構を有することに
より、パンチング装置又はマーキング装置をＸ−Ｙステ
ージから簡単に取り外すことができると共にＸ−Ｙステ
ージに簡単に取り付けることができるので、パンチング
装置とマーキング装置を容易に切り替えて使用すること
ができる。

【００５０】次に、本発明の第二実施形態について図面
を参照して説明する。図１２は本発明の第二実施形態で
あるテープキャリア欠陥検査装置のＮＧ処理部の概略拡
大斜視図である。尚、第二実施形態において、上記第一
実施形態のものと同様の機能を有するものには同一の符
号を付すことによりその詳細な説明を省略する。

【００５１】第二実施形態のテープキャリア欠陥検査装
置は、ＮＧ処理部４０ａの構造が上記第一実施形態のも
のと異なる。その他の構造は第一実施形態と全く同じで
ある。ＮＧ処理部４０ａは、図１２に示すように、パン
チング装置４１と、マーキング装置４２と、Ｘ−Ｙステ
ージ（移動手段）４３ａと、切替機構４９と、図示しな
いステージコントローラ、位置合わせ用カメラ及び画像
表示装置とを備える。

【００５２】Ｘ−Ｙステージ４３ａ上には切替機構４９
が設けられ、この切替機構４９には、パンチング装置４
１及びマーキング装置４２が回転軸から一定の距離だけ
離れた位置に設置されている。図１２の例では、パンチ
ング装置４１及びマーキング装置４２を回転軸に対して
対称な位置に設置している。オペレータは、検査を開始
する前に、ユーザの要求に応じて、パンチング装置４１
及びマーキング装置４２のいずれかを選択する。そし
て、切替機構４９をその回転軸の回りに回転又は回動し
て、その選択したパンチング装置４１又はマーキング装
置４２をテープキャリア１００の搬送経路に対応する位
置に向ける。その後、切替機構４９を、動かないように
ロックする。検査が開始されると、統括制御装置７０
は、不良製品がＮＧ処理部４０ａに送られてきたとき
に、Ｘ−Ｙステージ４３ａの移動を制御し、テープキャ
リア１００の搬送経路に対応する位置に向けられたパン
チング装置４１又はマーキング装置４２を不良製品の所
定の位置に移動させる。そして、当該パンチング装置４
１又はマーキング装置４２を駆動することにより、不良
製品にパンチ穴又はマークを付ける。

【００５３】第二実施形態のテープキャリア欠陥検査装
置では、パンチング装置及びマーキング装置が回転軸か
ら一定の距離だけ離れた位置に設置された切替機構をＸ
−Ｙステージ上に設けたことにより、切替機構を回転軸
の回りに回転又は回動して、予め選択されたパンチング
装置又はマーキング装置をテープキャリアの搬送経路に
対応する位置に向けるだけで、パンチング装置とマーキ
ング装置を容易に切り替えて使用することができる。

【００５４】次に、本発明の第三実施形態について図面
を参照して説明する。図１３は本発明の第三実施形態で
あるテープキャリア欠陥検査装置のＮＧ処理部の概略拡
大斜視図である。尚、第三実施形態において、上記第一
実施形態のものと同様の機能を有するものには同一の符
号を付すことによりその詳細な説明を省略する。

【００５５】第三実施形態のテープキャリア欠陥検査装
置は、ＮＧ処理部４０ｂの構造が上記第一及び第二実施
形態のものと異なる。その他の構造は第一実施形態と全
く同じである。ＮＧ処理部４０ｂは、図１３に示すよう
に、パンチング装置４１と、マーキング装置４２と、Ｘ
−Ｙステージ（移動手段）４３ｂと、図示しないステー
ジコントローラ、位置合わせ用カメラ及び画像表示装置
とを備える。

【００５６】Ｘ−Ｙステージ４３ｂには、図１３に示す
ように、パンチング装置４１及びマーキング装置４２が
テープキャリア１００の搬送経路に沿って併設されてい
る。オペレータは、検査を開始する前に、ユーザの要求
に応じて、パンチング装置４１及びマーキング装置４２
のいずれかを選択する。そして、入力装置５０を用い
て、その選択の結果を入力する。検査が開始されると、
統括制御装置７０は、不良製品がＮＧ処理部４０ｂに送
られてきたときに、Ｘ−Ｙステージ４３ｂの移動を制御
し、選択されたパンチング装置４１又はマーキング装置
４２を不良製品の所定位置に移動させる。そして、当該
パンチング装置４１又はマーキング装置４２を駆動する
ことにより、当該不良製品にパンチ穴又はマークを付け
る。

【００５７】第三実施形態のテープキャリア欠陥検査装
置では、ＮＧ処理部のＸ−Ｙステージにパンチング装置
及びマーキング装置をテープキャリアの搬送経路に沿っ
て併設したことにより、入力装置を用いてパンチング装
置及びマーキング装置のいずれかを選択するだけで、パ
ンチング装置とマーキング装置を容易に切り替えて使用
することができる。尚、本発明は上記の各実施形態に限
定されるものではなく、その要旨の範囲内において種々
の変形が可能である。

【００５８】例えば、上記の各実施形態では、ＮＧ処理
部において不良製品にパンチ穴又はマークを付ける際
に、位置合わせ用カメラを使用して位置合わせを行う場
合について説明したが、例えば、位置合わせ用カメラの
代わりにレーザ照射器を使用し、レーザ照射器が照射す
るレーザ光のポインタにパンチ穴又はマークが付くよう
に、パンチング装置又はマーキング装置の位置合わせを
行うようにしてもよい。

【００５９】また、上記の各実施形態において、ＮＧ処
理部で不良製品に付けるパンチ穴又はマークの形状は、
どのようなものであってもよい。例えば、四角形や円等
の形状のパンチ穴を不良製品にあけたり、黒丸や×印等
のマークを不良製品に付けたりすることができる。特
に、マークを不良製品に付ける際には、テープキャリア
の表面と裏面のうちいずれの面にマークを付けてもよ
い。

【００６０】

【発明の効果】以上説明したように本発明のテープキャ
リア欠陥検査装置によれば、移動手段がパンチング手段
及びマーキング手段に共通の取付け機構を有することに
より、パンチング手段又はマーキング手段を移動手段か
ら簡単に取り外すことができると共に移動手段に簡単に
取り付けることができるので、パンチング手段とマーキ
ング手段を容易に切り替えて使用することができる。

【００６１】また、本発明のテープキャリア欠陥検査装
置によれば、パンチング手段及びマーキング手段が回転
軸から一定の距離の位置に設置された切替手段を移動手
段上に設けたことにより、切替手段を回転軸の回りに回
転又は回動して、予め選択されたパンチング手段又はマ
ーキング手段をテープキャリアの搬送経路に対応する位
置に向けるだけで、パンチング手段とマーキング手段を
容易に切り替えて使用することができる。

【００６２】更に、本発明のテープキャリア欠陥検査装
置によれば、移動手段の架台上にパンチング手段及びマ
ーキング手段をテープキャリアの搬送経路に沿って併設
したことにより、入力手段を用いてパンチング手段及び
マーキング手段のいずれかを選択するだけで、パンチン
グ手段とマーキング手段を容易に切り替えて使用するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施形態であるテープキャリア欠
陥検査装置の概略構成図である。

【図２】１フレームに１個の製品を含むテープキャリア
を説明するための図である。

【図３】１フレームに複数の製品を含むテープキャリア
を説明するための図である。

【図４】１フレームに複数の製品を含み且つ１フレーム
の長さが図３に示すものに比べて長いテープキャリアを
説明するための図である。

【図５】（ａ）は第一実施形態のテープキャリア欠陥検
査装置の検査ステージの概略拡大斜視図、（ｂ）はその
検査ステージの動作を説明するための図である。

【図６】第一実施形態のテープキャリア欠陥検査装置の
第一ＣＣＤカメラ及び第二ＣＣＤカメラを説明するため
の図である。

【図７】そのテープキャリア欠陥検査装置における第一
欠陥検査部及び第二欠陥検査部の検査内容を説明するた
めの図である。

【図８】そのテープキャリア欠陥検査装置のＮＧ処理部
の概略拡大斜視図である。

【図９】そのＮＧ処理部のパンチング装置の概略側面図
である。

【図１０】そのＮＧ処理部のマーキング装置の概略側面
図である。

【図１１】テープキャリアの送り量を算出する手順を説
明するためのフローチャートである。

【図１２】本発明の第二実施形態であるテープキャリア
欠陥検査装置のＮＧ処理部の概略拡大斜視図である。

【図１３】本発明の第三実施形態であるテープキャリア
欠陥検査装置のＮＧ処理部の概略拡大斜視図である。

【符号の説明】

１０搬送装置１１巻き出し部１１ａ供給リール１１ｂインターリーフ巻取リール１２巻き取り部１２ａ巻取リール１２ｂインターリーフ供給リール１３駆動ローラ１４モータ１５搬送制御装置１８ガイドローラ２０ａ第一欠陥検査部２０ｂ第二欠陥検査部２１ａ，２１ｂ検査ステージ２５押さえ板２５ａ開口部２６吸引台２６ａ孔３１ａ第一ＣＣＤカメラ３１ｂ第二ＣＣＤカメラ３２ａ，３２ｂ照明装置３３ａ，３３ｂＸ−Ｙステージ３４ｂ，３４ｂステージコントローラ３５ａ第一画像処理装置３５ｂ第二画像処理装置４０，４０ａ，４０ｂＮＧ処理部４１パンチング装置４１ａパンチ４１ｂパンチダイ４１ｃ上シリンダ４１ｄ下シリンダ４１ｅ台座４１ｆネジ孔４２マーキング装置４２ａマーキングペン４２ｂ受け台４２ｃ上シリンダ４２ｄ下シリンダ４２ｅ台座４２ｆネジ孔４３，４３ａ，４３ｂＸ−Ｙステージ４４ステージコントローラ４５位置合わせ用カメラ４６画像表示装置４８ネジ止め機構４９切替機構５０入力装置６０表示装置７０統括制御装置１００テープキャリア１１０テープ１１１スプロケットホール１１２デバイスホール１２０リード１２１インナーリード

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者井手元浩東京都千代田区大手町２丁目６番３号新日本製鐵株式会社内 (72)発明者中森幸雄千葉県君津市君津１番地日本インターコネクションシステムズ株式会社内 (72)発明者新井俊企北海道室蘭市仲町12 ニッテツ北海道制御システム株式会社内Ｆターム(参考） 2F065 AA17 AA49 AA58 BB02 CC25 FF01 HH02 JJ00 JJ03 JJ26 PP12 QQ04 QQ38 SS07 2G051 AA32 AA41 AA90 AB02 AC02 CA03 CA04 CA07 DA06 DA15 EA11 EB01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送手段によりテープキャリアを所定の
送り量ずつ搬送し、所定の検査領域に搬送されてきた前
記テープキャリアを撮像し、その撮像して得られた画像
に基づいて前記テープキャリアの各製品に生じた欠陥を
検査するテープキャリア欠陥検査装置において、欠陥が生じていると判定された不良製品の所定の位置に
パンチ穴をあけるパンチング手段と、前記不良製品の所定の位置に目印を記すマーキング手段
と、前記パンチング手段及び前記マーキング手段に共通の取
付け機構を有し、前記取付け機構に取り付けられた前記
パンチング手段又は前記マーキング手段を前記搬送手段
により搬送されてきた前記不良製品の所定の位置に移動
する移動手段と、を具備することを特徴とするテープキャリア欠陥検査装
置。
【請求項２】前記取付け機構は、前記パンチング手段
又は前記マーキング手段の台座をネジで止めるためのネ
ジ止め機構を有するものであることを特徴とする請求項
１記載のテープキャリア欠陥検査装置。
【請求項３】前記取付け機構は、前記パンチング手段
又は前記マーキング手段の台座を差し込むガイドレール
と、前記ガイドレールの間隔を調整して前記パンチング
手段又は前記マーキング手段を固定するクランプとを有
するものであることを特徴とする請求項１記載のテープ
キャリア欠陥検査装置。
【請求項４】搬送手段によりテープキャリアを所定の
送り量ずつ搬送し、所定の検査領域に搬送されてきた前
記テープキャリアを撮像し、その撮像して得られた画像
に基づいて前記テープキャリアの各製品に生じた欠陥を
検査するテープキャリア欠陥検査装置において、欠陥が生じていると判定された不良製品の所定の位置に
パンチ穴をあけるパンチング手段と、前記不良製品の所定の位置に目印を記すマーキング手段
と、前記パンチング手段及び前記マーキング手段が回転軸か
ら一定の距離の位置に設置されており、前記パンチング
手段及び前記マーキング手段を前記回転軸の回りに回転
又は回動することにより、予め選択された前記パンチン
グ手段又は前記マーキング手段を所定の位置に配置する
切替手段と、前記切替手段が設けられた、前記予め選択された前記パ
ンチング手段又は前記マーキング手段を前記搬送手段に
より搬送されてきた前記不良製品の所定の位置に移動す
る移動手段と、を具備することを特徴とするテープキャリア欠陥検査装
置。
【請求項５】搬送手段によりテープキャリアを所定の
送り量ずつ搬送し、所定の検査領域に搬送されてきた前
記テープキャリアを撮像し、その撮像して得られた画像
に基づいて前記テープキャリアの各製品に生じた欠陥を
検査するテープキャリア欠陥検査装置において、欠陥が生じていると判定された不良製品の所定の位置に
パンチ穴をあけるパンチング手段と、前記不良製品の所定の位置に目印を記すマーキング手段
と、前記パンチング手段及び前記マーキング手段が前記テー
プキャリアの搬送経路に沿って同一架台上に併設されて
おり、予め選択された前記パンチング手段又は前記マー
キング手段を前記搬送手段により搬送されてきた前記不
良製品の所定の位置に移動する移動手段と、を具備することを特徴とするテープキャリア欠陥検査装
置。