JP2000227401A

JP2000227401A - テープキャリア欠陥検査装置及びテープキャリア欠陥検査装置におけるテープキャリアの搬送方法

Info

Publication number: JP2000227401A
Application number: JP11029963A
Authority: JP
Inventors: Hideki Matsui; 秀樹松井; Hiroshi Idemoto; 浩井手元; Yukio Nakamori; 幸雄中森
Original assignee: NIPPON INTER CONNECTION SYSTEM; NIPPON INTER CONNECTION SYSTEMS KK; Nippon Steel Corp
Current assignee: NIPPON INTER CONNECTION SYSTEM; NIPPON INTER CONNECTION SYSTEMS KK; Nippon Steel Corp
Priority date: 1999-02-08
Filing date: 1999-02-08
Publication date: 2000-08-15

Abstract

(57)【要約】【課題】検査領域の送り方向の長さよりも長いフレー
ムを有するテープキャリアに対して適切な送り量を算出
し、各製品を漏れなく検査することができるテープキャ
リア欠陥検査装置を提供する。【解決手段】テープキャリアは搬送装置１０により所
定の送り量ずつ搬送され、所定の検査領域に搬送されて
きたときにＣＣＤカメラ３１ａで撮像される。統括制御
装置７０は、テープキャリアについてのフレームのピッ
チ間隔が検査領域の送り方向の長さよりも長いときに、
各フレームを、検査領域の送り方向の長さ内に完全に含
めることができる一又は複数の製品を含む複数の領域に
分割し、入力装置５０から入力されたフレームのピッチ
間隔及び製品の送り方向のピッチ間隔に基づいて、各フ
レームの各領域が順次検査領域に送られるような送り量
を算出する。そして、その送り量に基づいて搬送装置１
０の動作を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣなどを実装す
るのに用いられるテープキャリアに生じた欠陥を検査す
るテープキャリア欠陥検査装置及びテープキャリア欠陥
検査装置におけるテープキャリアの搬送方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】テープキャリアは、スプロケットホール
やデバイスホールなどが形成されたテープ（基材）上
に、銅箔でリードを形成したものである。このテープキ
ャリアは、全長が２０〜２００ｍの長尺であり、リール
に巻かれて、ユーザに出荷される。また、テープキャリ
アは、フレームと称される複数の領域に区分され、通
常、１フレームに一個の製品が含まれている。

【０００３】テープキャリアをユーザに出荷する前に
は、テープキャリアの外観検査が行われる。このテープ
キャリアの外観検査は、専用の欠陥検査装置により行わ
れる。かかる欠陥検査装置では、リールからリールへの
搬送方式を用いて、テープキャリアを１フレームずつ送
る。テープキャリアの送り動作が停止する度に、ＣＣＤ
カメラにより、所定の検査領域に送られてきたテープキ
ャリアの１フレームについての画像を撮像する。この検
査領域は１フレームとほぼ同じ大きさである。そして、
各フレーム毎の画像に基づいてテープキャリアの各製品
に生じた欠陥を検査する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年になっ
て、例えば図３及び図４に示すような、１フレームに複
数の製品が含まれるテープキャリアが現れてきた。特
に、図４に示すように、検査領域の送り方向の長さより
も長いフレームを有するテープキャリアを、１フレーム
ずつ送ったのでは、送り動作の停止時に検査領域に含ま
れない一部の製品については検査が行えなくなっしま
う。したがって、テープキャリアの種類に応じてテープ
キャリアの送り量を設定する必要がある。しかしなが
ら、従来の欠陥検査装置では、送り量の設定・変更を容
易に行うことができず、検査領域の送り方向の長さより
も長いフレームを有するテープキャリアに対応できない
のが実情である。このため、かかるテープキャリアであ
っても、適切な送り量を算出し、各製品を漏れなく検査
することができる欠陥検査装置の実現が望まれている。

【０００５】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、検査領域の送り方向の長さよりも長いフレーム
を有するテープキャリアに対して適切な送り量を算出
し、各製品を漏れなく検査することができるテープキャ
リア欠陥検査装置及びテープキャリア欠陥検査装置にお
けるテープキャリアの搬送方法を提供することを目的と
するものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明に係るテープキャリア欠陥検査装置は、テー
プキャリアを所定の送り量ずつ搬送する搬送手段と、前
記搬送手段で所定の検査領域に搬送されてきた前記テー
プキャリアを撮像する撮像手段と、前記撮像手段で得ら
れた画像に基づいて前記テープキャリアの各製品に生じ
た欠陥を検査する欠陥検査手段と、前記テープキャリア
についてのフレームのピッチ間隔及び１フレームに含ま
れる前記製品の送り方向のピッチ間隔を入力するための
入力手段と、前記フレームのピッチ間隔が前記検査領域
の送り方向の長さよりも長いときに、各フレームを、前
記検査領域の送り方向の長さ内に完全に含めることがで
きる一又は複数の製品を含む複数の領域に分割し、前記
フレームのピッチ間隔及び前記製品の送り方向のピッチ
間隔に基づいて、各フレームの前記各領域が順次前記検
査領域に送られるような送り量を算出し、且つ、その算
出した送り量に基づいて前記搬送手段の動作を制御する
制御手段と、を具備することを特徴とするものである。

【０００７】また、上記の目的を達成するための本発明
に係るテープキャリア欠陥検査装置におけるテープキャ
リアの搬送方法は、搬送手段によりテープキャリアを所
定の送り量ずつ搬送し、所定の検査領域に搬送されてき
た前記テープキャリアを撮像し、その撮像して得られた
画像に基づいて前記テープキャリアの各製品に生じた欠
陥を検査するテープキャリア欠陥検査装置において、前
記テープキャリアについてのフレームのピッチ間隔が前
記検査領域の送り方向の長さよりも長い場合、各フレー
ムを、前記検査領域の送り方向の長さ内に完全に含める
ことができる一又は複数の製品を含む複数の領域に分割
し、各フレームの前記各領域が順次前記検査領域に送ら
れるように前記テープキャリアを搬送することを特徴と
するものである。

【０００８】また、上記の目的を達成するための本発明
は、搬送手段によりテープキャリアを所定の送り量ずつ
搬送し、所定の検査領域に搬送されてきた前記テープキ
ャリアを撮像し、その撮像して得られた画像に基づいて
前記テープキャリアの各製品に生じた欠陥を検査するテ
ープキャリア欠陥検査装置をコンピュータに実現させる
ためのプログラムが記録されたコンピュータ読み取り可
能な記録媒体において、入力手段により入力された前記
テープキャリアについてのフレームのピッチ間隔及び１
フレーム内に含まれる前記製品の送り方向のピッチ間隔
を記憶手段に記憶させる第一手順と、前記フレームのピ
ッチ間隔が前記検査領域の送り方向の長さよりも長いと
きに、各フレームを、前記検査領域の送り方向の長さ内
に完全に含めることができる一又は複数の製品を含む複
数の領域に分割し、前記フレームのピッチ間隔及び前記
製品の送り方向のピッチ間隔に基づいて、各フレームの
前記各領域が順次前記検査領域に送られるような送り量
を算出する第二手順と、を実現させるためのプログラム
が記録されたことを特徴とするものである。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下に本発明の一実施形態につい
て図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施形態
であるテープキャリア欠陥検査装置の概略構成図、図２
乃至図４はテープキャリアの種類を説明するための図、
図５（ａ）は本実施形態のテープキャリア欠陥検査装置
の検査ステージの概略拡大斜視図、図５（ｂ）はその検
査ステージの動作を説明するための図、図６は本実施形
態のテープキャリア欠陥検査装置の第一ＣＣＤカメラ及
び第二ＣＣＤカメラを説明するための図、図７はそのテ
ープキャリア欠陥検査装置における第一欠陥検査部及び
第二欠陥検査部の検査内容を説明するための図である。

【００１０】本実施形態のテープキャリア欠陥検査装置
は、図１に示すように、搬送装置１０と、第一欠陥検査
部２０ａと、第二欠陥検査部２０ｂと、パンチ部４０
と、入力装置５０と、表示装置６０と、統括制御装置７
０とを備えるものである。

【００１１】テープキャリア（Tape Carrier）１００
は、全長が２０〜２００ｍの長尺であり、フレームと称
される複数の領域に区分されている。このフレームはテ
ープキャリア１００の製造・加工時の単位となるもので
ある。テープキャリア１００には、１フレームの長さや
１フレームに含まれる製品の数に応じて、さまざまな種
類のものがある。図２乃至図４に代表的なテープキャリ
ア１００の例を示す。図２に示すテープキャリア１００
は、通常製品と言われるものであり、１フレームに一個
の製品を含んでいる。そのフレームは略正方形状をして
いる。これに対し、図３及び図４に示すテープキャリア
１００は、ＣＳＰ（Chip Scale Packageあるいは Chip
Size Package）等に対応するものであり、１フレームに
複数の製品を含んでいる。図３に示すテープキャリア１
００では、フレームが略正方形状であり、１フレーム内
には、上下各行に２個ずつ合計４個の製品が含まれる。
一方、図４に示すテープキャリア１００では、フレーム
の送り方向の長さが長く、１フレーム内には、上下各行
に６個ずつ合計１２個の製品が含まれる。本実施形態の
テープキャリア欠陥検査装置では、これらすべての種類
のテープキャリア１００を検査対象とする。

【００１２】尚、１本のテープキャリアに上記各種類の
ものが混在することはない。したがって、１フレームの
サイズは各テープキャリア毎に一定に決まっている。

【００１３】次に、テープキャリア１００について詳し
く説明する。テープキャリア１００は、例えば図２に示
すように、スプロケットホール１１１やデバイスホール
１１２が形成されたテープ（基材）１１０上に、銅箔で
リード１２０が形成されたものである。このリード１２
０は各デバイスホール１１２の周りの略正方形状の領域
に所定のパターンで形成される。この一つの略正方形状
の領域が１個の製品となる。図２に示すテープキャリア
１００では、この略正方形状の領域が１フレームとな
る。各フレームは一定間隔だけ離して形成される。尚、
一般に、製品はユーザの仕様に応じてさまざまな形状・
サイズに設計される。

【００１４】スプロケットホール１１１は、テープキャ
リア１００を搬送するための孔である。また、デバイス
ホール１１２にはインナーリード１２１が導出されてい
る。デバイスホール１１２は、このインナーリード１２
１とボンディングされるＩＣを配置するための孔であ
る。テープキャリア１００のインナーリード１２１とＩ
Ｃの電極とを接続すると、ＴＡＢ（Tape Automated Bon
ding）テープやＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）テ
ープが得られる。

【００１５】かかるテープキャリア１００は、リールに
巻かれた状態でユーザに出荷される。本実施形態のテー
プキャリア欠陥検査装置では、ユーザに出荷する前に、
各製品についてリードに欠けや太り等の欠陥が生じてい
るかどうかについて検査する。

【００１６】次に、テープキャリア欠陥検査装置の各部
について説明する。搬送装置１０は、テープキャリア１
００をリールからリールへの搬送方式で搬送するもので
あり、図１に示すように、巻き出し部１１と、巻き取り
部１２と、駆動ローラ１３と、モータ１４と、搬送制御
装置１５とを有する。巻き出し部１１は、テープキャリ
ア１００を送り出す供給リール１１ａと、インターリー
フを巻き取るインターリーフ巻取リール１１ｂとから構
成される。また、巻き取り部１２は、供給リール１１ａ
から供給されるテープキャリア１００を巻き取る巻取リ
ール１２ａと、テープキャリア１００を巻き取るときに
インターリーフを供給するインターリーフ供給リール１
２ｂとから構成される。ここで、インターリーフとは、
テープキャリア１００をリールに巻いたときに、製品に
傷が付かないようにテープキャリア１００とテープキャ
リア１００との間に挿入される保護用フィルムのことで
ある。また、搬送制御装置１５は、統括制御装置７０か
らの指示に基づいて、モータ１４を駆動するものであ
る。モータ１４により駆動ローラ１３が回転すると、テ
ープキャリア１００は供給リール１１ａから巻取リール
１２ａに向かって所定の送り量ずつ搬送される。尚、巻
き出し部１１と巻き取り部１２との間には、多数のガイ
ドローラ１８が設けられている。

【００１７】第一欠陥検査部２０ａ及び第二欠陥検査部
２０ｂは、テープキャリア１００の各製品に生じた欠陥
を検査するものである。第一欠陥検査部２０ａは、テー
プキャリア２の搬送経路上の上流側に設けられ、一方、
第二欠陥検査部２０ｂは、第一欠陥検査部２０ａより
も、テープキャリア２の搬送経路上の下流側に設けられ
る。第一欠陥検査部２０ａは、検査ステージ２１ａと、
第一ＣＣＤカメラ３１ａと、照明装置３２ａと、Ｘ−Ｙ
ステージ３３ａと、ステージコントローラ３４ａと、第
一画像処理装置３５ａとを有する。第二欠陥検査部２０
ｂは、検査ステージ２１ｂと、第二ＣＣＤカメラ３１ｂ
と、照明装置３２ｂと、Ｘ−Ｙステージ３３ｂと、ステ
ージコントローラ３４ｂと、第二画像処理装置３５ｂと
を有する。

【００１８】検査ステージ２１ａ，２１ｂは、図５
（ａ）に示すように、押さえ板２５と、吸引台２６と、
吸引装置（不図示）とを有する。押さえ板２５の中央部
には、略正方形状の開口部２５ａが形成されている。吸
引台２６には、吸引装置と繋がる多数の孔２６ａが形成
されている。これら押さえ板２５及び吸引台２６はとも
に、上下方向に移動可能に構成される。テープキャリア
１００は、押さえ板２５と吸引台２６との間を通過す
る。テープキャリア１００が所定の送り量だけ送られて
停止すると、押さえ板２５が下方に移動すると共に吸引
台２６が上方に移動して、図５（ｂ）の右側の図に示す
ように、テープキャリア１００をクランプする。そし
て、吸引装置で吸引すると、テープキャリア１００の平
面が吸引台２６に吸い付けられる。これにより、テープ
キャリア１００はしっかりと固定され、この状態で検査
が行われる。このように検査時にテープキャリア１００
を固定するのは、テープキャリア１００はカールしてし
まうことがあり、かかる状態のテープキャリア１００を
第一ＣＣＤカメラ３１ａ又は第二ＣＣＤカメラ３１ｂで
撮像すると、画像の焦点がボケてしまい、正確な検査が
行えないからである。

【００１９】第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二ＣＣＤカ
メラ３１ｂは、テープキャリア１００を撮像するもので
あり、押さえ板２５，２５の開口部２５ａの上方に設け
られる。したがって、第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二
ＣＣＤカメラ３１ｂは、押さえ板２５，２５の開口部２
５ａに位置するテープキャリア１００についての画像を
取得する。すなわち、本実施形態では、押さえ板２５，
２５の開口部２５ａがテープキャリア１００の検査領域
となる。また、第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二ＣＣＤ
カメラ３１ｂの近傍にはそれぞれ、照明装置３２ａ，３
２ｂが配置される。第一ＣＣＤカメラ３１ａ及び第二Ｃ
ＣＤカメラ３１ｂはそれぞれ、照明装置３２ａ，３２ｂ
から照射され、検査ステージ２１ａ，２１ｂに固定され
たテープキャリア１００により反射された反射光を検出
することにより、テープキャリア１００を撮像する。

【００２０】また、第一ＣＣＤカメラ３１ａとしては、
図６（ａ）に示すように、広い視野を持つラインセンサ
を用いる。テープキャリア１００が検査ステージ２１に
固定されたときに、第一ＣＣＤカメラ３１ａがスキャニ
ングすることにより、開口部２５ａに含まれるテープキ
ャリア全面についての画像が取得される。例えば、図２
に示すテープキャリア１００の場合には、図６（ｂ）に
示すような画像が取得される。しかも、第一ＣＣＤカメ
ラ３１ａとしては、４０００画素×４０００画素からな
る高精細な画像を取得できるものを用いる。尚、第一Ｃ
ＣＤカメラ３１ａとして視野の狭いものを用いる場合に
は、検査領域を複数の領域に分割し、各領域毎にスキャ
ニングすることにより、検査領域に含まれるテープキャ
リア全面についての画像を取得するようにしてもよい。

【００２１】ところで、本実施形態のテープキャリア欠
陥検査装置では、押さえ板２５として開口部２５ａの大
きさの異なるものを予め複数用意している。そして、テ
ープキャリア１００を検査する際に、少なくとも一個の
製品が開口部２５ａに完全に含まれるような押さえ板２
５を使用する。したがって、第一ＣＣＤカメラ３１ａで
撮像された画像には、必ず一つの製品が入るようにな
る。ここで、第一ＣＣＤカメラ３１ａで撮像された画像
中に一部しか写っていない製品については、検査の対象
外とされる。特に、本実施形態では、図２及び図３に示
すテープキャリア１００についての１フレームを完全に
含むことができるような大きさの開口部２５ａを有する
押さえ板２５を使用することにする。但し、この押さえ
板２５の開口部２５ａは、図４に示すテープキャリアに
ついての１フレームよりは小さいとする。

【００２２】一方、第二ＣＣＤカメラ３１ｂとしては、
第一ＣＣＤカメラ３１ａと異なり、図６（ｃ）に示すよ
うに、狭い視野を持つエリアセンサを用いる。また、第
二ＣＣＤカメラ３１ｂには第一ＣＣＤカメラ３１ａより
も高倍率の光学系を用い、図６（ｄ）に示すように、製
品の局所的な拡大画像を取得することにしている。この
第二ＣＣＤカメラ３１ｂにより、６００〜８００×４０
０〜６００画素からなる画像が得られる。尚、第二ＣＣ
Ｄカメラ３１ｂにラインセンサを用いずにエリアセンサ
を用いたのは、制御が簡単であり、しかも、第二欠陥検
査部２０ｂでは局所的な画像を取得するため小さい視野
を持つもので十分だからである。

【００２３】Ｘ−Ｙステージ３３ａ，３３ｂはそれぞ
れ、第一ＣＣＤカメラ３１ａ、第二ＣＣＤカメラ３１ｂ
をＸ−Ｙ二次元平面内（テープキャリア１００の表面に
平行な平面内）の所定の位置に移動するものである。Ｘ
−Ｙステージ３３ａ，３３ｂの動作はそれぞれ、ステー
ジコントローラ３４ａ，３４ｂにより制御される。した
がって、第一欠陥検査部２０ａでは、ステージコントロ
ーラ３４ａで第一ＣＣＤカメラ３１ａの位置を調整する
ことにより、検査領域内におけるテープキャリア１００
全体の画像を取得することができ、一方、第二欠陥検査
部２０ｂでは、ステージコントローラ３４ｂで第二ＣＣ
Ｄカメラ３１ｂの位置を移動することにより、検査領域
内におけるテープキャリア１００の各製品について所望
の位置の拡大画像を取得することができる。

【００２４】本実施形態においては、第一欠陥検査部２
０ａでは、検査領域に含まれる一又は複数の製品の全面
を検査し、一方、第二欠陥検査部２０ｂでは、各製品の
局所的な部分を検査する。すなわち、二つの欠陥検査部
２０ａ，２０ｂを用いて二段階の検査を行う。ここで、
本実施形態では、リードの欠け及びリードの太りを検査
対象とする場合について説明する。

【００２５】第一欠陥検査部２０ａの第一画像処理装置
３５ａは、第一ＣＣＤカメラ３１ａによって取得された
画像に所定の処理を施し、その画像に完全に含まれてい
る各製品について検査する。具体的には、まず、パター
ンマッチングの手法を用いて、各製品毎に、リードの欠
け又は太りを検出する。ここで、欠けには断線が含ま
れ、太りには短絡が含まれる。第一画像処理装置３５ａ
は、欠け又は太りを検出すると、欠け又は太りの部分
（欠陥箇所）の面積値を求めると共に、欠陥箇所の領域
の重心位置を求める。そして、欠陥箇所の面積値を予め
定められた所定のしきい値と比較し、欠陥箇所の面積値
がしきい値よりも大きいときに、大欠陥があると判定す
る。ここで、しきい値は検査項目、すなわち欠け又は太
りに応じて異なる。例えば、図７（ａ）に示すような画
像が取得された場合には、断線Ｄ₁ と、大きな太りＤ₂
とが生じており、第一画像処理装置３５ａは大欠陥があ
ると判定する。一方、欠陥箇所の面積値がしきい値以下
であるときに、再検査を必要とする微小な欠陥があると
判定する。例えば、図７（ｂ）に示すような画像が取得
された場合には、微小な欠陥（欠け）Ｄ₃ があると判定
する。第一画像処理装置３５ａでの検査結果は、統括制
御装置７０に送られ、所定の記憶部に記憶される。尚、
同じリードであっても、インナーリードとパッド用リー
ドとでは、幅等が異なり、当然、欠陥の判定基準も異な
る。このため、リードを各部位別に区別し、その区別し
た部位毎に、しきい値を設定するようにしてもよい。ま
た、本実施形態では、リードに不純物が付着している場
合も欠けとして処理することができる。

【００２６】第二欠陥検査部２０ｂの第二画像処理装置
３５ｂでは、第一欠陥検査部２０ａで微小な欠陥が検出
された場合のみ、各製品毎に、その微小な欠陥の箇所を
再検査する。したがって、第一欠陥検査部２０ａにおい
て欠陥が検出されなかった製品及び大欠陥が検出された
製品については、第二欠陥検査部２０ｂでの検査は行わ
れない。

【００２７】統括制御装置７０は、再検査の必要な製品
が第二欠陥検査部２０ｂの検査ステージ２１ｂに送られ
てきたときに、再検査箇所の重心座標についての情報を
第二画像処理装置３５ｂに送る。すると、第二画像処理
装置３５ｂは、第二ＣＣＤカメラ３１ｂの視野の中心が
再検査箇所の重心座標位置に一致するように、ステージ
コントローラ３４ｂを介してＸ−Ｙステージ３３ｂを移
動する。そして、第二ＣＣＤカメラ３１ｂで当該製品に
ついて再検査箇所を含む拡大画像を取り込む。例えば、
第一欠陥検査部２０ａで図７（ｂ）に示す微小な欠陥Ｄ
₃ が検出された場合、第二ＣＣＤカメラ３１ｂでは、図
７（ｂ）の破線で示す範囲を、第一ＣＣＤカメラ３１ａ
よりも拡大した倍率（例えば３、４倍程度）で撮像す
る。これにより、図７（ｃ）に示すように、再検査箇所
Ｄ₃ の鮮明な画像を得ることができる。

【００２８】その後、第二画像処理装置３５ｂは、第一
画像処理装置３５ａと同様に、第二ＣＣＤカメラ３１ｂ
で取得された拡大画像に所定の処理を施し、パターンマ
ッチングの手法を用いて、再検査箇所を再検査する。具
体的には、再検査箇所の面積値を求め、その面積値を予
め定められた所定のしきい値を比較する。但し、第二画
像処理装置３５ｂで用いるしきい値は第一画像処理装置
３５ａで用いるしきい値と異なる。第二画像処理装置３
５ｂは、再検査箇所の面積値がしきい値よりも大きいと
きに、欠陥であると判定し、一方、再検査箇所の面積値
がしきい値以下であるときに、欠陥ではないと判定す
る。第二画像処理装置３５ｂでの検査結果は、統括制御
装置７０に送られ、所定の記憶部に記憶される。尚、各
製品について複数の再検査箇所がある場合には、欠陥の
程度が高い再検査箇所から検査が行われる。

【００２９】また、各製品について欠陥が生じているか
否かの最終的な判断は、統括制御装置７０が第一画像処
理装置３５ａ及び第二画像処理装置３５ｂの検査結果に
基づいて行う。本実施形態では、このように二つの欠陥
検査部２０ａ，２０ｂを設け、二段階の検査を行うこと
により、各製品について欠陥が生じているか否かを正確
に判定することができる。

【００３０】パンチ部４０は、第二欠陥検査部２０ｂよ
りもテープキャリア１００の搬送経路上の下流側に設け
られており、図１に示すように、パンチャ４１と、Ｘ−
Ｙステージ４２と、ステージコントローラ４３と、位置
合わせ用カメラ４４と、画像表示装置４５とを有する。
パンチャ４１は、統括制御装置７０により最終的に不良
と判定された製品の所定位置にパンチ穴をあけるもので
ある。ここでは、エアーシリンダ式のパンチャ４１を用
いている。このパンチャ４１は、搬送制御装置１５から
の信号に基づいて作動する。また、Ｘ−Ｙステージ４２
は、パンチャ４１をＸ−Ｙ二次元平面内の所定の位置に
移動するものである。このＸ−Ｙステージ４２の動作
は、搬送制御装置１５からステージコントローラ４３を
介して制御される。したがって、パンチ部４０では、不
良製品について所望の位置にパンチ穴をあけることがで
きる。

【００３１】また、位置合わせ用カメラ４４は、Ｘ−Ｙ
ステージ４２上に設けられ、そのＸ−Ｙステージ４２上
においてＸ−Ｙ二次元平面内の所定の位置に手動で調整
可能に構成されている。画像表示装置４５は、位置合わ
せ用カメラ４４で映した画像を表示する。オペレータ
は、検査を開始する前に、画像表示装置４５に映し出し
た画像を見ながら、位置合わせ用カメラ４４の中心位置
をテープキャリア１００上の所定の基準位置に合わせ
る。この基準位置はＸ−Ｙステージ４２の座標原点とな
る。そして、オペレータが入力装置５０を用いて、その
座標原点から実際にパンチ穴をあけたい位置までのオフ
セット量を入力することにより、製品上のパンチ穴をあ
ける位置が設定される。

【００３２】入力装置５０は、例えばキーボード等であ
って、この入力装置５０から、検査を行う前に予め各テ
ープキャリア毎の検査に必要な情報等が入力される。入
力内容としては、例えば、テープキャリア１００のフレ
ームのピッチ間隔Ｆ、１フレームに含まれる製品の送り
方向のピッチ間隔Ｐ等である（図２乃至図４参照）。ま
た、第一ＣＣＤカメラ３１ａにより撮像した画像に対し
て、検査領域に完全に含まれる製品の範囲を指定するこ
とにより、検査を行う範囲を設定したり、１フレーム内
に含まれる各製品について検査の順番を指定したりす
る。更に、各欠陥検査部２０ａ，２０ｂにおいて欠陥を
判定する際のしきい値を入力したりする。入力装置５０
から入力された情報は、統括制御装置７０に送られ、所
定の記憶部に記憶される。また、表示装置６０は、第一
ＣＣＤカメラ３１ａ又は第二ＣＣＤカメラ３１ｂにより
撮像した画像を表示したり、各製品についての最終的な
検査結果を表示する。

【００３３】統括制御装置７０は、本テープキャリア欠
陥検査装置の各部の制御を統括するものである。例え
ば、第一欠陥検査部２０ａの第一画像処理装置３５ａ及
び第二欠陥検査部２０ｂの第二画像処理装置３５ｂから
送られた検査結果に基づいて、最終的にテープキャリア
１００の各製品に欠陥が生じているか否かを判定する。
具体的には、第一画像処理装置３５ａで大欠陥が生じて
いると判定された製品については、統括制御装置７０は
不良品と判定する。また、第一画像処理装置３５ａで再
検査が必要であると判定された製品については、第二欠
陥検査部２０ｂに再検査を実行させる。この再検査の結
果、第二画像処理装置３５ｂで欠陥が生じていると判定
された製品については、統括制御装置７０は不良品と判
定する。さらに、第一画像処理装置３５ａにおいて欠陥
が生じていないと判定された製品、及び第二画像処理装
置３５ｂにおいて再検査の結果、欠陥が生じていないと
判定された製品については、統括制御装置７０は良品と
判定する。

【００３４】ところで、第一欠陥検査部２０ａでは、検
査領域に完全に含まれる製品について検査が行われる。
したがって、テープキャリア１００の送り動作が停止し
たときに、製品の一部分しか検査領域に含まれない製品
については、検査は行われない。しかも、本実施形態で
は、図２乃至図４に示すようなさまざまな種類のテープ
キャリア１００を検査対象としているので、テープキャ
リア１００の種類に応じて、送り動作の停止時に各製品
が検査領域に完全に含まれるような送り量を設定する必
要がある。このため、統括制御装置７０は、入力装置５
０で入力されたフレームのピッチ間隔Ｆ及び製品の送り
方向のピッチ間隔Ｐに基づいて、テープキャリア１００
の種類に応じた適切な送り量を算出し、その算出した送
り量に基づいて搬送装置１０の動作を制御する。

【００３５】次に、統括制御装置７０がテープキャリア
１００の送り量を算出する手順について説明する。図８
はテープキャリア１００の送り量を算出する手順を説明
するためのフローチャートである。

【００３６】まず、オペレータは入力装置５０を用い
て、今回の検査対象となるテープキャリア１００につい
てのフレームのピッチ間隔Ｆと、一フレームに含まれる
製品の送り方向のピッチ間隔Ｐとを入力する（Ｓ１）。
統括制御装置７０は、フレームのピッチ間隔Ｆが検査領
域の送り方向の長さＲ（図５参照）以下であるか否かを
判断する（Ｓ２）。ここで、検査領域のサイズは予め決
められており、検査領域の送り方向の長さＲについての
情報は所定の記憶部に既に記憶されている。フレームの
ピッチ間隔Ｆが検査領域の送り方向の長さＲ以下である
と判断されると、統括制御装置７０は、テープキャリア
１００の一回の送り量Ｌをフレームのピッチ間隔Ｆに設
定する（Ｓ３）。この場合、テープキャリア１００を一
回送る毎に、各フレームが順次検査領域に移動するの
で、送り動作の停止時に各製品は必ず検査領域に完全に
含まれる。

【００３７】一方、ステップＳ２においてフレームのピ
ッチ間隔Ｆが検査領域の送り方向の長さＲよりも長いと
判断されると、統括制御部７０は、各フレームを、検査
領域の送り方向の長さＲ内に完全に含めることができる
一又は複数の製品を含む複数の領域に分割し、フレーム
のピッチ間隔Ｆ及び製品の送り方向のピッチ間隔Ｐに基
づいて、各フレームの各領域が順次、検査領域に送られ
るような送り量を算出する。これにより、各分割領域に
含まれる一又は複数の製品毎に検査が行われることにな
る。この場合、送り量は具体的には以下のように算出さ
れる。統括制御装置７０は、まず、製品の送り方向のピ
ッチ間隔Ｐに基づいて、検査領域の送り方向の長さＲ内
に完全に含めることができる製品の送り方向に沿った最
大数ｎを算出する（Ｓ４）。この製品の最大数ｎは、検
査領域の送り方向の長さＲを製品の送り方向のピッチ間
隔Ｐで割り、その得られた値の小数点以下を切り捨てる
ことにより、容易に求めることができる。

【００３８】その後、統括制御装置７０は、ステップＳ
４で得られた製品の最大数ｎに基づいて１フレームを複
数の領域に分割したときの分割領域の数ｄを算出する
（Ｓ５）。この分割領域の数ｄは、フレームのピッチ間
隔Ｆを製品の最大数ｎで割り、その得られた値の少数点
以下を切り上げることにより、容易に求めることができ
る。ここでは、各フレームをｄ個の分割領域に分割する
際、最初から最後の一つ前までの各分割領域には送り方
向に沿って最大数ｄの製品を含むように、最後の分割領
域には残りの製品を含むようにｄ個の分割領域を決定す
る。また、各フレームにおいて最初の分割領域が検査領
域に入っている状態から最後の分割領域が検査領域に入
っている状態に移行させるのに要する送り動作の回数
は、ｄ−１回である。

【００３９】次に、統括制御装置７０は、各フレームに
おいて一の分割領域から次の分割領域を検査領域に送る
ときの送り量Ｌ₁ を、製品の送り方向のピッチ間隔Ｐと
製品の最大数ｎとの積で与えられる値（Ｐ×ｎ）として
算出する（Ｓ６）。これにより、１フレーム内に含まれ
る各製品は必ず検査領域に完全に含まれることになる。
また、一のフレームの最後の分割領域が検査領域に入っ
ている状態から次のフレームの最初の分割領域が検査領
域に入る状態に移行する際には、フレーム間に一定の間
隔が設けられていることを考慮する必要がある。このた
め、統括制御装置７０は、一のフレームの最後の分割領
域から次のフレームの最初の分割領域を検査領域に送る
ときの送り量Ｌ₂ を、フレームのピッチ間隔Ｆから製品
の送り方向のピッチ間隔Ｐと製品の最大数ｎと分割領域
の数から１引いた数ｄ−１との積を減じて得られる値
（Ｆ−Ｐ×ｎ×（ｄ−１））として算出する（Ｓ７）。
これにより、次のフレームの最初の分割領域について
は、当該一のフレームの最初の分割領域が検査領域に入
っている状態と全く同じ状態が再現される。

【００４０】次に、本実施形態のテープキャリアの欠陥
検査装置においてテープキャリア１００の送り動作につ
いて説明する。図９は図２に示すテープキャリア１００
の送り動作を説明するための図、図１０は図３に示すテ
ープキャリア１００の送り動作を説明するための図、図
１１は図４に示すテープキャリア１００の送り動作を説
明するための図である。

【００４１】まず、図２に示すテープキャリア１００の
送り動作について説明する。図２に示すテープキャリア
１００では、そのフレームのピッチ間隔Ｆが検査領域の
送り方向の長さＲ以下であるので、テープキャリア１０
０の送り量Ｌをフレームのピッチ間隔Ｆに設定する。こ
の場合は、テープキャリア１００を常にこの送り量Ｌず
つ搬送する。例えば、図９（ａ）に示すように、一のフ
レームｆ₁ が検査領域に完全に含まれている状態から、
テープキャリア１００をフレームのピッチ間隔Ｆだけ送
ると、図９（ｂ）に示すように、当該一のフレームｆ₁
の次のフレームｆ₂ が検査領域に完全に含まれるように
なる。図２に示すテープキャリアでは、１フレームに１
個の製品が含まれているので、第一欠陥検査部２０ａで
は、ＣＣＤカメラ３１により検査領域内に含まれるフレ
ームが撮像され、その撮像された画像に基づいて、フレ
ーム内の１個の製品について検査が行われる。

【００４２】次に、図３に示すテープキャリア１００の
送り動作について説明する。図３に示すテープキャリア
１００においても、そのフレームのピッチ間隔Ｆが検査
領域の送り方向の長さＲ以下であるので、テープキャリ
ア１００の送り量Ｌをフレームのピッチ間隔Ｆに設定す
る。この場合も、テープキャリア１００を常にこの送り
量Ｌずつ搬送する。そして、図９の場合と同様に、図１
０（ａ）に示すように、一のフレームｆ₁ が検査領域に
完全に含まれている状態から、テープキャリア１００を
フレームのピッチ間隔Ｆだけ送ると、図１０（ｂ）に示
すように、当該一のフレームｆ₁ の次のフレームｆ₂ が
検査領域内に完全に含まれるようになる。但し、図３に
示すテープキャリア１００は、１フレームに複数の製品
が含まれているので、各フレーム内の複数の製品につい
てまとめて検査が行われる。

【００４３】次に、図４に示すテープキャリア１００の
送り動作について説明する。図４に示すテープキャリア
１００では、フレームのピッチ間隔Ｆが検査領域の送り
方向の長さＲよりも長いので、１フレームを複数の領域
に分割し、各フレームの各分割領域が順次、検査領域に
送られるようにテープキャリア１００を搬送する。例え
ば、図１１（ａ）に示すように、検査領域の送り方向の
長さＲ内に２個の製品が完全に含まれるものとする（ｎ
＝２）。また、分割領域の数ｄは３である。この場合、
図１１（ａ）に示す当該フレームの最初の分割領域ｒ₁
が検査領域に完全に含まれている状態から、テープキャ
リア１００を送り量Ｌ₁ ＝２×Ｐだけ送ると、図１１
（ｂ）に示すように、次の分割領域ｒ₂ が検査領域に完
全に含まれるようになる。次に、図１１（ｂ）の状態か
らテープキャリア１００を送り量Ｌ ₁ ＝２×Ｐだけ送る
と、図１１（ｃ）に示すように、最後の分割領域ｒ₃ が
検査領域に完全に含まれるようになる。そして、図１１
（ｃ）の状態からテープキャリア１００を送り量Ｌ₂ ＝
Ｆ−４×Ｐだけテープキャリア１００を送ると、次のフ
レームについて図１１（ａ）と同じ状態が再現される。
その後は、同様の送り動作が繰り返される。

【００４４】本実施形態のテープキャリア欠陥検査装置
では、フレームのピッチ間隔が検査領域の送り方向の長
さよりも長いときに、各フレームを、検査領域の送り方
向の長さ内に完全に含めることができる一又は複数の製
品を含む複数の領域に分割し、フレームのピッチ間隔及
び製品の送り方向のピッチ間隔に基づいて、各フレーム
の各分割領域が順次、検査領域に送られるような送り量
を算出し、且つ、その算出した送り量に基づいてテープ
キャリアを搬送することにより、検査領域の送り方向の
長さよりも長いフレームを有するテープキャリアについ
て、送り動作が停止したときに各製品が検査領域に完全
に含まれるような送り量を算出することができるので、
各製品を漏れなく検査することができる。

【００４５】また、本実施形態のテープキャリア欠陥検
査装置では、入力装置から入力されたフレームのピッチ
間隔が検査領域の送り方向の長さ以下であるかどうかを
判断し、フレームのピッチ間隔が検査領域の送り方向の
長さ以下であるときには、テープキャリアの送り量をフ
レームのピッチ間隔に設定することにより、フレームの
長さや１フレームに含まれる製品数に関係なく、どのよ
うな種類のテープキャリアに対しても自動で送り量を算
出して欠陥の検査を行うことができる。尚、本発明は上
記の実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範
囲内において種々の変形が可能である。

【００４６】例えば、上記の実施形態では、フレームの
ピッチ間隔が検査領域の送り方向の長さよりも長い場
合、各フレームを複数の分割領域に分割する際に、最初
から最後の一つ前までの各分割領域には送り方向に沿っ
て検査領域の送り方向の長さ内に完全に含めることがで
きる最大数の製品を含むように、最後の分割領域には残
りの製品を含むように複数の分割領域を定めた。しか
し、送り方向に沿って上記最大数より少ない数の製品を
含むように各分割領域を定めてもよい。この場合は、当
然のことながら、その少ない数を含む各分割領域が順
次、検査領域に送られるような送り量を算出することに
なる。

【００４７】尚、本発明は、上記の実施形態の機能を実
現するプログラムを記録媒体に格納し、コンピュータを
用いてその記録媒体に格納されたプログラムを読み出し
て実行するようにしてもよい。記録媒体としては、フロ
ッピーディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気
ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ等を用いることができる。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように本発明のテープキャ
リア欠陥検査装置によれば、フレームのピッチ間隔が検
査領域の送り方向の長さよりも長いときに、各フレーム
を、検査領域の送り方向の長さ内に完全に含めることが
できる一又は複数の製品を含む複数の領域に分割し、フ
レームのピッチ間隔及び製品の送り方向のピッチ間隔に
基づいて、各フレームの各分割領域が順次、検査領域に
送られるような送り量を算出し、且つ、その算出した送
り量に基づいてテープキャリアを搬送することにより、
検査領域の送り方向の長さよりも長いフレームを有する
テープキャリアについて、送り動作が停止したときに各
製品が検査領域に完全に含まれるような送り量を算出す
ることができるので、各製品を漏れなく検査することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態であるテープキャリアの欠
陥検査装置の概略構成図である。

【図２】１フレームに１個の製品を含むテープキャリア
を説明するための図である。

【図３】１フレームに複数の製品を含むテープキャリア
を説明するための図である。

【図４】１フレームに複数の製品を含み且つ１フレーム
の長さが図３に示すものに比べて長いテープキャリアを
説明するための図である。

【図５】（ａ）は本実施形態のテープキャリア欠陥検査
装置の検査ステージの概略拡大斜視図、（ｂ）はその検
査ステージの動作を説明するための図である。

【図６】本実施形態のテープキャリア欠陥検査装置の第
一ＣＣＤカメラ及び第二ＣＣＤカメラを説明するための
図である。

【図７】そのテープキャリア欠陥検査装置における第一
欠陥検査部及び第二欠陥検査部の検査内容を説明するた
めの図である。

【図８】テープキャリアの送り量を算出する手順を説明
するためのフローチャートである。

【図９】図２に示すテープキャリアの送り動作を説明す
るための図である。

【図１０】図３に示すテープキャリアの送り動作を説明
するための図である。

【図１１】図４に示すテープキャリアの送り動作を説明
するための図である。

【符号の説明】

１０搬送装置１１巻き出し部１１ａ供給リール１１ｂインターリーフ巻取リール１２巻き取り部１２ａ巻取リール１２ｂインターリーフ供給リール１３駆動ローラ１４モータ１５搬送制御装置１８ガイドローラ２０ａ第一欠陥検査部２０ｂ第二欠陥検査部２１ａ，２１ｂ検査ステージ２５押さえ板２５ａ開口部２６吸引台２６ａ孔３１ａ第一ＣＣＤカメラ３１ｂ第二ＣＣＤカメラ３２ａ，３２ｂ照明装置３３ａ，３３ｂＸ−Ｙステージ３４ｂ，３４ｂステージコントローラ３５ａ第一画像処理装置３５ｂ第二画像処理装置４０パンチ部４１パンチャ４２Ｘ−Ｙステージ４３ステージコントローラ４４位置合わせ用カメラ４５画像表示装置５０入力装置６０表示装置７０統括制御装置１００テープキャリア１１０テープ１１１スプロケットホール１１２デバイスホール１２０リード１２１インナーリード

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者井手元浩東京都千代田区大手町２丁目６番３号新日本製鐵株式会社内 (72)発明者中森幸雄千葉県君津市君津１番地日本インターコネクションシステムズ株式会社内Ｆターム(参考） 2G051 AA61 AA90 AB20 BA01 BA20 CA03 CA04 CA07 CB01 CD04 DA01 DA06 EA14 EB01 EB02 ED07 ED15 ED23 FA10 4M106 AA04 AA05 CA39 DB04 DB21 DB30 DJ04 DJ14 DJ21 DJ23 5F044 MM00

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】テープキャリアを所定の送り量ずつ搬送
する搬送手段と、前記搬送手段で所定の検査領域に搬送されてきた前記テ
ープキャリアを撮像する撮像手段と、前記撮像手段で得られた画像に基づいて前記テープキャ
リアの各製品に生じた欠陥を検査する欠陥検査手段と、前記テープキャリアについてのフレームのピッチ間隔及
び１フレームに含まれる前記製品の送り方向のピッチ間
隔を入力するための入力手段と、前記フレームのピッチ間隔が前記検査領域の送り方向の
長さよりも長いときに、各フレームを、前記検査領域の
送り方向の長さ内に完全に含めることができる一又は複
数の製品を含む複数の領域に分割し、前記フレームのピ
ッチ間隔及び前記製品の送り方向のピッチ間隔に基づい
て、各フレームの前記各領域が順次前記検査領域に送ら
れるような送り量を算出し、且つ、その算出した送り量
に基づいて前記搬送手段の動作を制御する制御手段と、を具備することを特徴とするテープキャリア欠陥検査装
置。
【請求項２】前記制御手段は、前記製品の送り方向の
ピッチ間隔に基づいて前記検査領域の送り方向の長さ内
に完全に含めることができる製品の最大数を求め、各フ
レームにおいて一の前記領域から次の前記領域を前記検
査領域に送るときの送り量を前記製品の送り方向のピッ
チ間隔と前記最大数との積で与えられる値として算出す
ると共に、一のフレームの最後の前記領域から次のフレ
ームの最初の前記領域を前記検査領域に送るときの送り
量を、前記フレームのピッチ間隔から前記製品の送り方
向のピッチ間隔と前記最大数と前記分割した領域の数か
ら１引いた数との積を減じて得られる値として算出する
ことを特徴とする請求項１記載のテープキャリア欠陥検
査装置。
【請求項３】前記制御手段は、前記フレームのピッチ
間隔が前記検査領域の送り方向の長さ以下であるか否か
を判断し、前記フレームのピッチ間隔が前記検査領域の
送り方向の長さ以下であるときには、前記テープキャリ
アの送り量を前記フレームのピッチ間隔とすることを特
徴とする請求項１又は２記載のテープキャリア欠陥検査
装置。
【請求項４】搬送手段によりテープキャリアを所定の
送り量ずつ搬送し、所定の検査領域に搬送されてきた前
記テープキャリアを撮像し、その撮像して得られた画像
に基づいて前記テープキャリアの各製品に生じた欠陥を
検査するテープキャリア欠陥検査装置において、前記テープキャリアについてのフレームのピッチ間隔が
前記検査領域の送り方向の長さよりも長い場合、各フレ
ームを、前記検査領域の送り方向の長さ内に完全に含め
ることができる一又は複数の製品を含む複数の領域に分
割し、各フレームの前記各領域が順次前記検査領域に送
られるように前記テープキャリアを搬送することを特徴
とするテープキャリア欠陥検査装置におけるテープキャ
リアの搬送方法。
【請求項５】前記フレームのピッチ間隔が前記検査領
域の送り方向の長さより長い場合、前記製品の送り方向
のピッチ間隔に基づいて前記検査領域の送り方向の長さ
内に完全に含めることができる製品の最大数を求め、各
フレームにおいて一の前記領域から次の前記領域を前記
検査領域に送るときには、前記製品の送り方向のピッチ
間隔と前記最大数との積で与えられる送り量だけ前記テ
ープキャリアを搬送すると共に、一のフレームの最後の
前記領域から次のフレームの最初の前記領域を前記検査
領域に送るときには、前記フレームのピッチ間隔から前
記製品の送り方向のピッチ間隔と前記最大数と前記分割
した領域の数から１引いた数との積を減じて得られる送
り量だけ前記テープキャリアを搬送することを特徴とす
る請求項４記載のテープキャリア欠陥検査装置における
テープキャリアの搬送方法。
【請求項６】前記フレームのピッチ間隔が前記検査領
域の送り方向の長さ以下である場合には、前記テープキ
ャリアを前記フレームのピッチ間隔ずつ搬送することを
特徴とする請求項４又は５記載のテープキャリア欠陥検
査装置におけるテープキャリアの搬送方法。
【請求項７】搬送手段によりテープキャリアを所定の
送り量ずつ搬送し、所定の検査領域に搬送されてきた前
記テープキャリアを撮像し、その撮像して得られた画像
に基づいて前記テープキャリアの各製品に生じた欠陥を
検査するテープキャリア欠陥検査装置をコンピュータに
実現させるためのプログラムが記録されたコンピュータ
読み取り可能な記録媒体において、入力手段により入力された前記テープキャリアについて
のフレームのピッチ間隔及び１フレーム内に含まれる前
記製品の送り方向のピッチ間隔を記憶手段に記憶させる
第一手順と、前記フレームのピッチ間隔が前記検査領域の送り方向の
長さよりも長いときに、各フレームを、前記検査領域の
送り方向の長さ内に完全に含めることができる一又は複
数の製品を含む複数の領域に分割し、前記フレームのピ
ッチ間隔及び前記製品の送り方向のピッチ間隔に基づい
て、各フレームの前記各領域が順次前記検査領域に送ら
れるような送り量を算出する第二手順と、を実現させるためのプログラムが記録されたことを特徴
とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項８】前記第二手順では、前記製品の送り方向
のピッチ間隔に基づいて前記検査領域の送り方向の長さ
内に完全に含めることができる製品の最大数を求め、各
フレームにおいて一の前記領域から次の前記領域を前記
検査領域に送るときの送り量を前記製品の送り方向のピ
ッチ間隔と前記最大数との積で与えられる値として算出
すると共に、一のフレームの最後の前記領域から次のフ
レームの最初の前記領域を前記検査領域に送るときの送
り量を、前記フレームのピッチ間隔から前記製品の送り
方向のピッチ間隔と前記最大数と前記分割した領域の数
から１引いた数との積を減じて得られる値として算出す
ることを特徴とする請求項７記載のコンピュータ読み取
り可能な記録媒体。
【請求項９】前記フレームのピッチ間隔が前記検査領
域の送り方向の長さ以下であるか否かを判断する手順
と、前記フレームのピッチ間隔が前記検査領域の送り方向の
長さ以下であるときに、前記テープキャリアの送り量を
前記フレームのピッチ間隔に設定する手順と、をコンピュータに実現させるためのプログラムが記録さ
れたことを特徴とする請求項７又は８記載のコンピュー
タ読み取り可能な記録媒体。