JPS5963519A - 作業指示機能付検査装置 - Google Patents
作業指示機能付検査装置Info
- Publication number
- JPS5963519A JPS5963519A JP17391582A JP17391582A JPS5963519A JP S5963519 A JPS5963519 A JP S5963519A JP 17391582 A JP17391582 A JP 17391582A JP 17391582 A JP17391582 A JP 17391582A JP S5963519 A JPS5963519 A JP S5963519A
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- JP
- Japan
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- inspection
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- work
- computer
- inspected
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D21/00—Measuring or testing not otherwise provided for
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Indicating Measured Values (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、作業指示機能付検査装置に係り、特に複雑な
検査項目を表示画面上に表示して作業者の検査作業能率
を向上することができる作業指示機能付検査装置に関す
るものである。
検査項目を表示画面上に表示して作業者の検査作業能率
を向上することができる作業指示機能付検査装置に関す
るものである。
一般に半導体製品等の検査作業は、検査対象となる単位
（検査ロット）が多く、また個々の検査ロットによって
検査項目が異なるため、複雑な検査作業が要求されてい
る。更にこのような検査作業なよ、抜取検査方式である
ため、サンプリング数やサンプリング当りの測定回数（
点数）も、それまでの測定結果Ｃ基づいて推定された平
均的な品質によって逐次変更しなければならないため、
作業能力の向上や作業誤り防止の観点から的確な検査作
業が要求される。
（検査ロット）が多く、また個々の検査ロットによって
検査項目が異なるため、複雑な検査作業が要求されてい
る。更にこのような検査作業なよ、抜取検査方式である
ため、サンプリング数やサンプリング当りの測定回数（
点数）も、それまでの測定結果Ｃ基づいて推定された平
均的な品質によって逐次変更しなければならないため、
作業能力の向上や作業誤り防止の観点から的確な検査作
業が要求される。
この要求に答えるため従来、作業者に対して作業指示票
による指示１画面表示による指示あるいは音声指示を与
える方法が提案されているが、これら従来方法はいずれ
も、サンプリング数やサンプリング光りの測定回数（点
数）及び検査作業単位の処理を決定する判定規準が定め
られているため、次の様な問題点を招いていた。即ち、
作業指示票による方法にふ・いては、一作業者が品種名
や検査項目あるいは作業履歴別に作成された複数の作業
指示票の中から該当する作業指示票を探し出す必要が、
＆ｖ、Ｌかも該当作業指示票の全体内容を読んだ後にそ
の一部分だけを実施するため、作業能率が低いと共に、
作業者判断に負うところが大きいため作業誤りが多いと
言う問題点を招く。また、作業手順を画面あるいは音声
により指示する方法においては、作業者がそれまでの検
査結果の判定を考慮して表示あるいは音声よＶ指示され
た作業手順の内から必要な手順を選択して作業を実施し
なければならないため、作業能率の低下及び作業誤りを
招いていた。
による指示１画面表示による指示あるいは音声指示を与
える方法が提案されているが、これら従来方法はいずれ
も、サンプリング数やサンプリング光りの測定回数（点
数）及び検査作業単位の処理を決定する判定規準が定め
られているため、次の様な問題点を招いていた。即ち、
作業指示票による方法にふ・いては、一作業者が品種名
や検査項目あるいは作業履歴別に作成された複数の作業
指示票の中から該当する作業指示票を探し出す必要が、
＆ｖ、Ｌかも該当作業指示票の全体内容を読んだ後にそ
の一部分だけを実施するため、作業能率が低いと共に、
作業者判断に負うところが大きいため作業誤りが多いと
言う問題点を招く。また、作業手順を画面あるいは音声
により指示する方法においては、作業者がそれまでの検
査結果の判定を考慮して表示あるいは音声よＶ指示され
た作業手順の内から必要な手順を選択して作業を実施し
なければならないため、作業能率の低下及び作業誤りを
招いていた。
本発明の目的は、前記従来技術の問題点を除去すること
であり、作業辞率の向上及び作業誤りを防止することが
できる作業指示機能付検査装置を提供することである、 〔発明の概要〕 上記目的を達成するため本発明による作業指示機能付検
査装置は、被検査対象の８°キ別情報を読み取る読取り
手段と、被検査対象の検査手順情報及び作業履歴情報輛
格納する記憶手段と、指示された検査手順に従った検査
項目を実行する検査手段と、前記記憶手段の検査手順情
報を表示する表示手段と、該表示手段に表示された検査
手順情報を指示入力することにより検査手段の実行を指
示する入力手段とを備え、識別情報に対応する作業履歴
情報を参照して未着手の検査手順情報を表示手段に表示
すると共に、前記未着手の検査手順情報を入力手段によ
り指示入力することに、ｃ、ｐ検査手段が被検査対象を
検査し、この検査結果を参照して次の検査手順情報を更
新することを特徴とする。
であり、作業辞率の向上及び作業誤りを防止することが
できる作業指示機能付検査装置を提供することである、 〔発明の概要〕 上記目的を達成するため本発明による作業指示機能付検
査装置は、被検査対象の８°キ別情報を読み取る読取り
手段と、被検査対象の検査手順情報及び作業履歴情報輛
格納する記憶手段と、指示された検査手順に従った検査
項目を実行する検査手段と、前記記憶手段の検査手順情
報を表示する表示手段と、該表示手段に表示された検査
手順情報を指示入力することにより検査手段の実行を指
示する入力手段とを備え、識別情報に対応する作業履歴
情報を参照して未着手の検査手順情報を表示手段に表示
すると共に、前記未着手の検査手順情報を入力手段によ
り指示入力することに、ｃ、ｐ検査手段が被検査対象を
検査し、この検査結果を参照して次の検査手順情報を更
新することを特徴とする。
以下本発明による作業指示機能付検査装置の一実施例を
図面を用いて詳細に説明する。
図面を用いて詳細に説明する。
第１図は本実施例による作業指示機能付検査装置を示す
図であり、また、第２図はそれを説明するためのフロー
チャートである。第１図に卦いて、７はバーコード６が
付与された検査対象であるカートリッジ、５は前記カー
トリッジ７を計算機２の指示に従って検査する自動検査
部、４はカートリッジ７のバーコード６を読み取るバー
コードリーダ、３は計算機２の指示に従って検査手順情
報を表示すると共に作業者の検査指示をインプットする
ことができるタッチ・母ネル付画面表示部、１は部外記
憶部である。尚、前記タッチパネル付画面表示部３は、
通常の画面上に透明板を配置し、画面上に表示された項
目に対応する位置の透明板を作業者が押圧することによ
り、その項目を計算機２に入力することができるもので
ある。この項目の入力は、透明板の押圧された位置を、
加重の検出あるいは弾性表面波の検出によって行なうも
のである。また、外部記憶部１は、予じめ検査作業単位
別に検査作業別に応じて、その都度他システムよυ央部
された検査手順情報を格納している。
図であり、また、第２図はそれを説明するためのフロー
チャートである。第１図に卦いて、７はバーコード６が
付与された検査対象であるカートリッジ、５は前記カー
トリッジ７を計算機２の指示に従って検査する自動検査
部、４はカートリッジ７のバーコード６を読み取るバー
コードリーダ、３は計算機２の指示に従って検査手順情
報を表示すると共に作業者の検査指示をインプットする
ことができるタッチ・母ネル付画面表示部、１は部外記
憶部である。尚、前記タッチパネル付画面表示部３は、
通常の画面上に透明板を配置し、画面上に表示された項
目に対応する位置の透明板を作業者が押圧することによ
り、その項目を計算機２に入力することができるもので
ある。この項目の入力は、透明板の押圧された位置を、
加重の検出あるいは弾性表面波の検出によって行なうも
のである。また、外部記憶部１は、予じめ検査作業単位
別に検査作業別に応じて、その都度他システムよυ央部
された検査手順情報を格納している。
更に計算機２は、カートリッジ７のバーコード６に該当
する作業履歴情報を外部記憶部１から読み出し、該検査
作業単位７の未着手検査手順情報を画面表示部３に表示
するものである。
する作業履歴情報を外部記憶部１から読み出し、該検査
作業単位７の未着手検査手順情報を画面表示部３に表示
するものである。
さて、作業者がカートリッジ７のバーコード６をバーコ
ードリーダ４に読み取らせることにより、計算機２は、
該当のバーコード６に対する作業履歴情報を外部記憶部
１から読出し、読み出（また作業履歴情報から算出した
未着手検査名を外部記憶部１から読み出してタッチパネ
ル付画面表示部３上に表示する。作業者はタッチパネル
付表示部３上に逐次表示される検査手順に従って、検査
開始情報をタッチ・やネル付表示部３から入力（指示）
する。指示を受けた計算機２は、検査指示情報を自動検
査装置５に送信する。これを受けた自動検査装置５は、
指示された検査指示情報に基づいて自動的にその検査を
行ない、検査結果を計算機２に送信する。計算機２は前
記検査結果を判定し、その判定結果に応じて検査手順情
報の追加あるいは変更を画面表示部３土に表示を行なう
。
ードリーダ４に読み取らせることにより、計算機２は、
該当のバーコード６に対する作業履歴情報を外部記憶部
１から読出し、読み出（また作業履歴情報から算出した
未着手検査名を外部記憶部１から読み出してタッチパネ
ル付画面表示部３上に表示する。作業者はタッチパネル
付表示部３上に逐次表示される検査手順に従って、検査
開始情報をタッチ・やネル付表示部３から入力（指示）
する。指示を受けた計算機２は、検査指示情報を自動検
査装置５に送信する。これを受けた自動検査装置５は、
指示された検査指示情報に基づいて自動的にその検査を
行ない、検査結果を計算機２に送信する。計算機２は前
記検査結果を判定し、その判定結果に応じて検査手順情
報の追加あるいは変更を画面表示部３土に表示を行なう
。
尚、検査結果の判定ルールは、予め品種別に各検査作業
別に、該検査対象の検査手順に組込まれており、その方
法は、第２図にて示すように、動作する。同フローチャ
ートは第１図に示す計算機２の動作の１実施例である。
別に、該検査対象の検査手順に組込まれており、その方
法は、第２図にて示すように、動作する。同フローチャ
ートは第１図に示す計算機２の動作の１実施例である。
まず第２図に示すステップ】００において、第１図の計
算機２に取込まれた検算結果を該検査作業単位に関する
データと識別して新規登録し、登録したデータは、ステ
ップ１１０において予め定められた該検査作業単位の規
格値（巾、要因）と比較する。例えば、寸法・膜厚等の
計量値データは規格範囲内か否かで良・否を判定し、官
能検査には異物有・キズ有・ハガレ有等の計数値データ
（要因）は予め決められた要因の有・無で良・否を判定
する。
算機２に取込まれた検算結果を該検査作業単位に関する
データと識別して新規登録し、登録したデータは、ステ
ップ１１０において予め定められた該検査作業単位の規
格値（巾、要因）と比較する。例えば、寸法・膜厚等の
計量値データは規格範囲内か否かで良・否を判定し、官
能検査には異物有・キズ有・ハガレ有等の計数値データ
（要因）は予め決められた要因の有・無で良・否を判定
する。
ステップ１２０において、上記判定結果が否の場合、検
査の信頼度の観点から、予め決められた該検査作業単位
の追加検査回数に関する情報を算出する。ステップ１３
０ 、１５０において９判定結果が良の場合、予め決め
られた該検査作業単位当たりの検査回数、該検査作業指
示当たりの被検査作業単位の抜取数が終了したか否かを
判定する。
査の信頼度の観点から、予め決められた該検査作業単位
の追加検査回数に関する情報を算出する。ステップ１３
０ 、１５０において９判定結果が良の場合、予め決め
られた該検査作業単位当たりの検査回数、該検査作業指
示当たりの被検査作業単位の抜取数が終了したか否かを
判定する。
ステップ１４０ 、１６０において、上記判定結果が良
の場合、該検査作業単位、該検査作業対象の平均品質を
算出し該検査手順情報のなかに予め組込まれている要求
品質と比較して、次工程へ送るが否か判定する、 このようなステップを繰り返えすことによって、追加の
検査回数指示や該検査作業対象の廃棄・再生等の内容を
第１図のタッチパネル付画面表示部３に表示し、該検査
作業単位・該検査作業・・対象の処置が決定するまで検
査作業指示が繰り返えし行なわれる。
の場合、該検査作業単位、該検査作業対象の平均品質を
算出し該検査手順情報のなかに予め組込まれている要求
品質と比較して、次工程へ送るが否か判定する、 このようなステップを繰り返えすことによって、追加の
検査回数指示や該検査作業対象の廃棄・再生等の内容を
第１図のタッチパネル付画面表示部３に表示し、該検査
作業単位・該検査作業・・対象の処置が決定するまで検
査作業指示が繰り返えし行なわれる。
そして、前記したカートリッジ７に対する検査作業が終
了すると、計算機２はカートリッジ７に対する作業履歴
とその検査結果を更新して外部記憶部１に記憶する。
了すると、計算機２はカートリッジ７に対する作業履歴
とその検査結果を更新して外部記憶部１に記憶する。
この様に本実施例によれば、検査対象をバーコードによ
り自動的に識別し、外部記憶部に格納された作業履歴を
参照して必要な検査手順を表示画面上に表示するため、
作業者の判断が不砂となり作業効率の向上及び作業誤り
の発生を防止することができる。また、検査結果が逐次
計算機に入力されて計算機がその検査結果を判定して次
の検査手順を指示するため、常にＩ電断の検をを実行す
ることができる８ 〔発明の効果〕 ルＪ、上述べた如く本発明によれば、計算機が検査履歴
情報を常に参照しながら次の検査手順情報を表示画面上
に表示するため次のような効果を得ることができる。
り自動的に識別し、外部記憶部に格納された作業履歴を
参照して必要な検査手順を表示画面上に表示するため、
作業者の判断が不砂となり作業効率の向上及び作業誤り
の発生を防止することができる。また、検査結果が逐次
計算機に入力されて計算機がその検査結果を判定して次
の検査手順を指示するため、常にＩ電断の検をを実行す
ることができる８ 〔発明の効果〕 ルＪ、上述べた如く本発明によれば、計算機が検査履歴
情報を常に参照しながら次の検査手順情報を表示画面上
に表示するため次のような効果を得ることができる。
（］） 検査対象の符号（バーコード）を、バーコー
ドリーダで読み込ませる為、品種別・検査項目別・作業
履歴別の検査手順を自動表示でき、そのため作業能率が
向上し、作業誤り防止も期待できる。
ドリーダで読み込ませる為、品種別・検査項目別・作業
履歴別の検査手順を自動表示でき、そのため作業能率が
向上し、作業誤り防止も期待できる。
（２）表示画面に直接触れることにより、検査指示情報
を確認しながら、検査作業が行なうことができ、同時に
、測定結果の計算機への入力も行なわれるので、作業能
率が向上し、検査作業の信頼性も著しく向上する。
を確認しながら、検査作業が行なうことができ、同時に
、測定結果の計算機への入力も行なわれるので、作業能
率が向上し、検査作業の信頼性も著しく向上する。
（３）測定結果の判定と検査作業単位の処置決定は計算
機が行なうので、迅速・確実さが得られるとともに、経
済的な作業指示ができる。
機が行なうので、迅速・確実さが得られるとともに、経
済的な作業指示ができる。
（４）計算機は、複数台の検査装置の検査指示と測定結
果の収集が同時に行なえるので、安価に検査作業指示装
置を構成できる。
果の収集が同時に行なえるので、安価に検査作業指示装
置を構成できる。
第１図は本発明による作業指示機能付検査装置の一実施
例を示すブロック図、第２図は第１図の動作説明をする
フローチャートである。 １・・・外部記憶部、２・・・計算機、３・・・タッチ
パネル付画面表示部、４・・・バーコードリーダ、５・
・・自動検査部、６・・・バーコード、７・・・被検査
対象であるカートリッジ。 代理人弁理士 秋 本 正 実
例を示すブロック図、第２図は第１図の動作説明をする
フローチャートである。 １・・・外部記憶部、２・・・計算機、３・・・タッチ
パネル付画面表示部、４・・・バーコードリーダ、５・
・・自動検査部、６・・・バーコード、７・・・被検査
対象であるカートリッジ。 代理人弁理士 秋 本 正 実
Claims (1)
- 被検査対象を識別する識別情報が付与された被検査対象
の識別情報を読メ取る訊・み１１ｖす手段と、被検査対
象の検査手順である検査手順情報及び被検査対象単位の
作業履歴情報を格納する記憶手段と、被検査対象の指示
された検査手順に従った検査を実行する検査手段と、前
記記憶手段に格納された検査手順が表示される表示手段
と、該表示手段に表示された検査手順を指示入力するこ
とにより前記検査手段に被検査対象の検査を指示する入
力手段とを備え、前記読取り手段が読み出した被検査対
象の識別情報に対応する作業履歴情報を記憶手段から読
み出し、検査手順情報の中から未着手の未着手検査手順
情報を前記表示手段に表示すると共に、前記表示手段に
表示された未着手検査手順情報を入力手段により指示す
ることにより検査手段が被検査対象を検査し、この検査
結果を参照して次の検査手順情報を更新することを特徴
とする作業指示機能付検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17391582A JPS5963519A (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | 作業指示機能付検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17391582A JPS5963519A (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | 作業指示機能付検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5963519A true JPS5963519A (ja) | 1984-04-11 |
Family
ID=15969431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17391582A Pending JPS5963519A (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | 作業指示機能付検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5963519A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4718025A (en) * | 1985-04-15 | 1988-01-05 | Centec Corporation | Computer management control system |
| EP0457924A1 (en) * | 1990-01-11 | 1991-11-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Apparatus for supporting inspection of plant |
| JPH08320885A (ja) * | 1996-03-15 | 1996-12-03 | Hitachi Ltd | 携帯型検針データ収集処理装置 |
-
1982
- 1982-10-05 JP JP17391582A patent/JPS5963519A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4718025A (en) * | 1985-04-15 | 1988-01-05 | Centec Corporation | Computer management control system |
| EP0457924A1 (en) * | 1990-01-11 | 1991-11-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Apparatus for supporting inspection of plant |
| JPH08320885A (ja) * | 1996-03-15 | 1996-12-03 | Hitachi Ltd | 携帯型検針データ収集処理装置 |
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