JP2001266125A - 基板検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】自動的に欠陥部分の情報を集計してガラス基板
の良否判定を行い、欠陥部分の情報の管理を容易にする
こと。 【解決手段】画像取込部１において液晶ディスプレイに
用いられるガラス基板３を撮像して取得された干渉画像
データ、回折画像データを画像表示用ディスプレイ１４
の画面上に表示し、このディスプレイ画面上の表示画像
に対してキーボード１１又はマウス１２の操作により欠
陥部分が指示されると、この欠陥部分の欠陥情報、例え
ば傷、異物、むら、汚れが欠陥登録部１９により欠陥情
報メモリ２０に登録され、この登録された欠陥情報に基
づいて基板判定部２２によりガラス基板３の良否判定を
行い、さらに画像処理部１６によって欠陥情報を干渉画
像データ又は回折画像データに重ね合せてディスプレイ
画面上に表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶ディス
プレイに用いられるガラス基板や半導体ウエハなどの被
検査体を撮像してその画像をディスプレイ画面上に表示
し、この表示画像上から欠陥部分の欠陥情報の登録を行
い、被検査体の判定を行う基板検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイの生産ラインでは、こ
の液晶ディスプレイに用いられるガラス基板のマクロ検
査又はミクロ検査が行われている。マクロ検査は、ガラ
ス基板上における欠陥部分として傷、異物、むら、汚れ
などをマクロ的に観察するもので、例えばガラス基板に
対して斜め方向から照明光を照射し、オペレータの目視
によりガラス基板上の欠陥を観察したり、又はガラス基
板の全体を撮像してその画像をディスプレイに表示し、
この表示画像を目視して観察している。

【０００３】そして、オペレータの目視によるガラス基
板上の欠陥の観察の結果から傷、異物、むら、汚れなど
の欠陥部分の情報を取りまとめ、最終的にガラス基板の
良否を判定する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガラス
基板上の欠陥を観察結果から欠陥部分の情報を取りまと
めてガラス基板の良否を判定しているが、欠陥部分の種
類も傷、異物、むら、汚れなどと多くあり、それに加え
て多数のガラス基板のマクロ検査を実施することから欠
陥部分の情報量が膨大となる。

【０００５】このため、１枚１枚のガラス基板の欠陥部
分の情報を管理するのが大変であり、かつ自動的に欠陥
部分の情報を集計してガラス基板の良否判定を行うこと
の要求がある。

【０００６】そこで本発明は、自動的に欠陥部分の情報
を集計してガラス基板の良否判定を行い、欠陥部分の情
報の管理を容易にできる基板検査装置を提供することを
目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載による本発
明は、被検査体を撮像して取得された複数種類の画像デ
ータをディスプレイ画面上に表示する画像表示手段と、
前記ディスプレイ画面上に表示される各種画像に対して
欠陥部分が指示されると、この指示された前記欠陥部分
の欠陥情報を登録する欠陥登録手段と、この欠陥登録手
段により登録された各種画像に対応する前記欠陥情報を
重ね合せて前記ディスプレイ画面上に表示する合成表示
手段と、前記欠陥登録手段により登録された前記欠陥情
報に基づいて前記被検査体の良否判定を行う判定手段と
を具備したことを特徴とする基板検査装置である。

【０００８】請求項２記載による本発明は、請求項１記
載の基板検査装置において、前記欠陥登録手段は、前記
欠陥部分の少なくとも欠陥種類、欠陥形状及び欠陥位置
を欠陥情報として登録する機能を有することを特徴とす
る。

【０００９】請求項３記載による本発明は、請求項１記
載の基板検査装置において、前記合成表示手段は、少な
くとも回折画像データ又は干渉画像データにより登録さ
れた前記欠陥情報を重ね合せて前記ディスプレイ画面上
に表示する機能を有することを特徴とする。

【００１０】請求項４記載による本発明は、請求項１記
載の基板検査装置において、前記判定手段は、前記欠陥
登録手段により登録された前記欠陥情報を前記欠陥種類
別に集計し、この集計結果に基づいて前記被検査体を良
否判定する機能を有することを特徴とする。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。

【００１２】図１は基板検査装置の構成図である。画像
取込部１は、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板
又は半導体ウエハなどの被検査体を撮像してその画像デ
ータを取得するものである。基板ステージ２上には、被
検査体としてのガラス基板３が載置されている。この基
板ステージ２は、装置制御ユニット４の駆動制御によっ
て、後述するライン状の照明光のライン方向に対して垂
直方向に所定の速度で移動するものとなっている。

【００１３】ガラス基板３は、例えばパーソナルコンピ
ュータに用いる液晶ディスプレイの大きさを６面又は８
面取りした大きさである。

【００１４】基板ステージ２の上方には、ライン照明装
置５が配置されている。このライン照明装置５は、移動
するガラス基板３に対して斜め方向からライン状の照明
光６を照射するものである。又、ガラス基板３からの反
射光７の光路上には、ラインセンサ・カメラ８が配置さ
れている。このラインセンサ・カメラ８は、移動するガ
ラス基板３からの反射光７を逐次入射してその画像信号
を出力する機能を有している。

【００１５】画像処理ボード９は、ラインセンサ・カメ
ラ８から出力される画像信号を逐次入力し、１枚のガラ
ス基板３に対する画像の取り込みが終了したところでガ
ラス基板３の全面に対する画像データを作成する機能を
有している。

【００１６】ここで、画像取込部１は、画像データとし
て複数の画像データ、例えば回折画像データと干渉画像
データとを取得する機能を有している。このうち回折画
像データは、ガラス基板３に対して斜め方向から照明光
６を照射し、このときのガラス基板３の表面上の傷やご
みにより生じる散乱光をラインセンサ・カメラ８により
捉えて取得されるものである。干渉画像データは、レジ
ストが塗布されたガラス基板３に対して斜め方向から照
明光６を照射し、このときのレジスト表面からの反射光
とガラス基板３の表面からの反射光との干渉光をライン
センサ・カメラ８により捉えて取得される明暗の画像で
ある。

【００１７】演算・制御装置１０は、画像取込部１から
ガラス基板３の画像データ（回折画像データ、干渉画像
データ）を受け取り画像処理して画像表示用ディスプレ
イ１４に表示し、この表示画像上でオペレータにより指
示された欠陥部分の欠陥情報を登録し、かつこの登録さ
れた欠陥情報を画像データ上に重ね合せて表示し、さら
に欠陥情報に基づいてガラス基板３の良否判定を行うと
いう一連の演算・制御する機能を有するもので、ユーザ
・インターフェイスとしてのキーボード１１とマウス１
２、画像サーバ１３及び画像表示用ディスプレイ１４が
接続されている。

【００１８】図２はかかる演算・制御装置１０の具体的
な機能ブロック図である。画像取込部１のラインセンサ
・かめら８から取り込んだ画像データは、画像処理ボー
ド９を介して演算・制御装置１０の画像メモリ１５に記
憶（展開）されるようになっている。

【００１９】画像処理部１６は、画像メモリ１５に記憶
された画像データを読み取り、この画像データを画像表
示用の映像信号に変換して画像表示用ディスプレイ１４
に表示出力させる機能を有している。

【００２０】又、この画像処理部１６は、キーボード１
１又はマウス１２からの操作信号を受けて、例えば図３
に示すようにポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ
１４の画面上で移動表示する機能を有している。

【００２１】画像保存検索部１７は、画像メモリ１５に
記憶された画像データを読み取り、この画像データから
画像ファイル１８を作成して画像サーバ１３に保存する
機能を有している。

【００２２】又、この画像保存検索部１７は、キーボー
ド１１又はマウス１２からの検索指示を受けて、複数保
存している画像ファイル１８のうち指示された画像ファ
イル１８を検索し読み出してその画像データを画像メモ
リ１５に記憶する機能を有している。

【００２３】一方、欠陥登録部１９は、キーボード１１
又はマウス１２からの操作信号を受け、図３に示すよう
にポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の画面
上で移動表示させて、このポインタ１４ａにより表示画
像上で欠陥部分、例えば便宜上付された欠陥ラベル
「１」「２」又は「３」の欠陥部分を指示すると、この
指示した欠陥部分の欠陥情報、例えば欠陥種類（傷、異
物、むら、汚れ）、欠陥形状及び欠陥位置（座標）を欠
陥情報メモリ２０に登録する機能を有している。

【００２４】この欠陥情報の登録方法は、例えばキーボ
ード１１又はマウス１２からの指示を受けた画像処理部
１６によって欠陥情報メモリ２０に記憶されている欠陥
登録ダイアログウィンドウ情報を読み出して図３に示す
ように画像表示用ディスプレイ１４に表示する。この登
録ダイアログウィンドウ２１の欠陥名称リストボックス
２１ａは、欠陥種類として予め分かっている傷、異物、
むら、汚れなどが登録されており、キーボード１１又は
マウス１２の操作により選択決定されるようになってい
る。

【００２５】又、キーボード１１又はマウス１２の操作
信号によりポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１
４の画面上で移動表示させることにより、欠陥ラベル
「１」「２」又は「３」の各欠陥部分の形状、欠陥位置
（座標）を指示できるようになっている。

【００２６】従って、欠陥種類（欠陥名称）、欠陥部分
の形状及び欠陥位置（座標）が指示された後に、登録ダ
イアログウィンドウ２１上の登録ボタン２１ｂが操作さ
れると、これら欠陥種類（欠陥名称）の選択決定、欠陥
部分の形状及び欠陥位置（座標）が欠陥情報メモリ２０
に登録されるものとなっている。

【００２７】基板判定部２２は、欠陥情報メモリ２０に
登録された欠陥情報を読み込み、この欠陥情報から少な
くとも各欠陥種類（欠陥名称）別にその大きさや個数の
集計を行い、この集計結果に基づいてガラス基板３の良
否、例えば良品、廃棄、リワーク（ガラス基板３の表面
を削ってレジストをやり直す）を判定する機能を有して
いる。

【００２８】欠陥情報保存検索部２３は、欠陥情報メモ
リ２０に登録されている欠陥種類（例えば傷、異物、む
ら、汚れ）と共に、基板判定部２２でのガラス基板３の
判定結果（例えば良品、廃棄、リワーク）を欠陥情報フ
ァイル２４として画像サーバ１３に保存する機能を有し
ている。

【００２９】又、この欠陥情報保存検索部２３は、キー
ボード１１又はマウス１２からの検索指示を受けて、複
数保存している欠陥情報ファイル２４のうち指示された
欠陥情報ファイル２４を検索し読み出してその欠陥情報
を欠陥情報メモリ２０に記憶する機能を有している。

【００３０】上記画像処理部１６は、欠陥情報メモリ２
０に記憶されている欠陥登録部１９からの欠陥情報又は
欠陥情報保存検索部２３から読み出された欠陥情報を、
任意の画像データ、例えば回折画像データ、干渉画像デ
ータ又は他の画像データに重ね合せて画像表示用ディス
プレイ１４の画面上に表示する合成表示手段としての機
能を有している。

【００３１】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて図４及び図５に示す欠陥管理フローチャートに従
って説明する。

【００３２】画像取込部１における基板ステージ２上に
ガラス基板３が載置される。このガラス基板３に対して
斜め方向からライン照明装置５からのライン状の照明光
６が照射されると共に、基板ステージ２が装置制御ユニ
ット４の駆動制御によってライン状の照明光６のライン
方向に対して垂直方向に所定の速度で移動する。この状
態にラインセンサ・カメラ８は、移動するガラス基板３
からの反射光７を逐次入射してその画像信号を出力す
る。

【００３３】画像処理ボード９は、ラインセンサ・カメ
ラ８から出力される画像信号を逐次入力し、１枚のガラ
ス基板３に対する画像の取り込みが終了したところでガ
ラス基板３の全面に対する画像データを作成する。

【００３４】ここで、回折画像データと干渉画像データ
との２つの画像データを取得するために、画像取込部１
では、ガラス基板３に対して斜め方向から照明光６を照
射し、このときのガラス基板３の表面上の傷やごみによ
り生じる散乱光をラインセンサ・カメラ８により捉えて
回折画像データを取得し、又レジストが塗布されたガラ
ス基板３に対して斜め方向から照明光６を照射し、この
ときのレジスト表面からの反射光とガラス基板３の表面
からの反射光との干渉光をラインセンサ・カメラ８によ
り捉えて明暗の干渉画像データを取得する。以下、回折
画像データ、干渉画像データとして説明する。

【００３５】画像取込部１から回折画像データ、続いて
干渉画像データが演算・制御装置１０に送られると、こ
の演算・制御装置１０は、ステップ＃１において、回折
画像データ、続いて干渉画像データを新規画像データと
して取り込み、これら回折画像データ、続いて干渉画像
データを画像メモリ１５に記憶（展開）する。

【００３６】次に、画像保存検索部１７は、ステップ＃
２において、画像メモリ１５に記憶された回折画像デー
タ及び干渉画像データを読み取り、これら回折画像デー
タ及び干渉画像データからそれぞれ画像ファイル１８を
作成して画像サーバ１３に保存する。

【００３７】次に、画像処理部１６は、ステップ＃３に
おいて、画像メモリ１５に記憶された回折画像データ、
干渉画像データを読み取り、これら回折画像データ及び
干渉画像データを画像表示用の映像信号に変換して画像
表示用ディスプレイ１４に表示出力する。なお、画像表
示用ディスプレイ１４の画面上には、回折画像データ又
は干渉画像データのいずれか一方又は両方を表示させる
ようにしてよい。

【００３８】次に、演算・制御装置１０は、ステップ＃
４において、現在、画像表示用ディスプレイ１４の画面
上に表示されている回折画像データ又は干渉画像データ
のいずれか一方又は両方の欠陥情報が欠陥情報ファイル
２４に保存されているか否かを判断する。

【００３９】ここで、現在、画像表示用ディスプレイ画
面上に表示されている回折画像データ又は干渉画像デー
タは、いずれも新規の画像であるので、演算・制御装置
１０は、ステップ＃６に移り、欠陥情報の入力を行うか
否かを判断する。これら回折画像データ又は干渉画像デ
ータは、いずれも新規の画像であるので、キーボード１
１又はマウス１２から欠陥情報の入力を行う指示が入力
される。

【００４０】次に、演算・制御装置１０は、ステップ＃
７において欠陥情報の保存を行う。このとき、画像処理
部１６は、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に回折
画像データ又は干渉画像データのいずれか一方又は両方
を表示すると共に、図３に示すようにキーボード１１又
はマウス１２の操作により移動可能にポインタ１４ａを
表示している。なお、図３は回折画像データ又は干渉画
像データのいずれか一方の表示である。

【００４１】又、キーボード１１又はマウス１２から欠
陥登録の指示を受けた画像処理部１６は、欠陥情報メモ
リ２０に記憶されている欠陥登録ダイアログウィンドウ
情報を読み出して図３に示すように画像表示用ディスプ
レイ１４の画面上に欠陥登録ダイアログウィンドウ２１
を表示する。

【００４２】この表示状態に、キーボード１１又はマウ
ス１２の操作によりポインタ１４ａを画像表示用ディス
プレイ１４の画面上で移動表示させ、例えば各欠陥ラベ
ル「１」「２」又は「３」の各欠陥部分の形状、欠陥位
置（座標）を指示する。このように画像表示用ディスプ
レイ１４の画面上でポインタ１４ａを移動させて欠陥部
分の形状、欠陥位置を指示すれば、欠陥登録部１９は、
それらの座標が回折画像データ上、干渉画像データ上に
おいて対応できる。

【００４３】又、欠陥ラベル「１」については、画像表
示用ディスプレイ１４の画面上の欠陥登録ダイアログウ
ィンドウ２１の欠陥名称リストボックス２１ａにおいて
欠陥種類としてむらが選択決定され、欠陥ラベル「２」
については傷、欠陥ラベル「３」についてはごみが選択
決定される。

【００４４】この後、欠陥種類（欠陥名称）の選択決
定、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）が指示された
後に、登録ダイアログウィンドウ２１上の登録ボタン２
１ｂが操作されると、欠陥登録部１９は、これら欠陥種
類（欠陥名称）、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）
を欠陥情報メモリ２０に登録する。なお、これら欠陥情
報は、回折画像データと干渉画像データとのそれぞれに
対して登録される。

【００４５】このように欠陥情報の入力が終了すると、
基板判定部２２は、ステップ＃８において、欠陥情報メ
モリ２０に登録された欠陥情報を読み込み、この欠陥情
報から少なくとも各欠陥種類（欠陥名称）別に例えばそ
の個数の集計を行い、この集計結果に基づいてガラス基
板３の良否、例えば良品、廃棄、リワーク（ガラス基板
３の表面を削ってレジストをやり直す）を判定する。

【００４６】ここで、ガラス基板３の判定ついて具体的
に図５に示す良否判定フローチャートに従って説明す
る。

【００４７】先ず、判定前の準備として、事前に基板判
定ファイルを作成する。この基板判定ファイルは、欠陥
情報を登録する際の欠陥種類（欠陥名称）ごとに判定基
準となるデータを設定するものである。

【００４８】基板判定ファイルにおいて、判定結果は、
判定コードを用いる。

【００４９】良品のガラス基板３の場合の判定コードは
良品となる。

【００５０】総欠陥数判定では、判定コードとして「廃
棄」、「リワーク」となり、それぞれの判定個数は例え
ば「１」「１０」に登録されている。

【００５１】欠陥種類（欠陥名称）ごとの判定では、
傷、異物、むら、汚れに対して判定個数がそれぞれ例え
ば「１」「５」「５」「３」となり、判定コードがそれ
ぞれ「廃棄」、「リワーク」、「リワーク」、「リワー
ク」に登録されている。この欠陥種類（欠陥名称）ごと
の判定個数は、判定の重要項目ほどその個数を少なくす
ればよく、判定の重み付けを行うものとなる。上記判定
個数例では、傷、汚れ、異物及びむらの順序で重要な判
定項目となっている。

【００５２】このような基板判定ファイルが登録されて
いる基板判定部２２は、ステップ＃２０において、欠陥
情報メモリ２０に登録されている欠陥種類（欠陥名
称）、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）からなる欠
陥情報を読み取り、これら欠陥種類（欠陥名称）を判定
コードごとに分けて集計する。この集計の結果、廃棄が
ｎ個、リワークがｍ個となった。

【００５３】次に、基板判定部２２は、ステップ＃２１
において、ガラス基板３の欠陥総数、すなわち回折画像
データ及び干渉画像データの両方から登録された欠陥の
総数が基板判定ファイルに登録された判定コード「廃
棄」、「リワーク」の各判定個数「１」「１０」に達し
ているか否かを判定する。

【００５４】この判定の結果、判定コード「破棄」「リ
ワーク」について、判定個数「１（破棄）」「１０（リ
ワーク）」に達していなければ、基板判定部２２は、ス
テップ＃２２に移り、欠陥情報メモリ２０に登録されて
いる欠陥情報から各欠陥種類（欠陥名称）ごとに分けて
その個数を集計する。この集計の結果、傷がｋ個、異物
がｐ個、むらがｑ個、汚れがｒ個となった。

【００５５】次に、基板判定部２２は、ステップ＃２３
において、集計した各欠陥種類（欠陥名称）ごとの個数
が基板判定ファイルに登録された判定個数（傷「１（破
棄）」、異物「５（リワーク）」、むら「５（リワー
ク）」、汚れ「３（リワーク）」）に達しているか否か
を判定する。

【００５６】この判定の結果、いずれの欠陥種類（欠陥
名称）も判定個数に達していなければ、基板判定部２２
は、ステップ＃２４において、判定コードに良品を設定
し、次のステップ＃２５において判定コードを基板判定
結果とする。

【００５７】又、いずれか１つの欠陥種類（欠陥名称）
でも判定個数に達していれば、基板判定部２２は、ステ
ップ＃２５において、判定コードに「廃棄」又は「リワ
ーク」を設定し、次のステップ＃２５において判定コー
ドを基板判定結果とする。

【００５８】具体的な判定例を示すと、異物が３個、汚
れが３個の場合、汚れが欠陥種類（欠陥名称）ごとの判
定個数に達しているので、判定結果は「リワーク」とな
る。

【００５９】異物が４個、むらが４個、汚れが２個の場
合、判定コード「リワーク」の欠陥が欠陥総数判定の判
定個数「１０」に達しているので、判定結果は「リワー
ク」となる。

【００６０】異物が２個、むらが２個、汚れが１個の場
合、欠陥種類（欠陥名称）、欠陥総数判定のいずれの判
定個数「１０」に達していないので、判定結果は「良
品」となる。

【００６１】このようにガラス基板３の良否判定が終了
すると、欠陥情報保存検索部２３は、ステップ＃９にお
いて、欠陥情報メモリ２０に登録されている欠陥種類
（例えば傷、異物、むら、汚れ）と共に、基板判定部２
２でのガラス基板３の判定結果（例えば良品、廃棄、リ
ワーク）を欠陥情報ファイル２４として画像サーバ１３
に保存する。

【００６２】そして、画像の取り込み・検索を繰り返さ
なければ、演算・制御装置１０は、ステップ＃１１にお
いて、システム終了を判断する。

【００６３】一方、キーボード１１又はマウス１２から
任意の画像ファイル１８の検索指示が入力されると、画
像保存検索部１７は、この検索指示を受けて、複数保存
している画像ファイル１８のうち指示された画像ファイ
ル１８を検索し読み出してその画像データ、例えば回折
画像データ、干渉画像データ又は他の画像データを画像
メモリ１５に記憶する。

【００６４】又、キーボード１１又はマウス１２から任
意の欠陥情報ファイル２４の検索指示が入力されると、
この検索指示を受けて、複数保存している欠陥情報ファ
イル２４のうち指示された欠陥情報ファイル２４を検索
し読み出してその欠陥情報を欠陥情報メモリ２０に記憶
する。

【００６５】このように任意の画像データ及び任意の欠
陥情報が読み出されると、画像処理部１６は、上記ステ
ップ＃１において、画像メモリ１５に記憶されている回
折画像データ、干渉画像データ又は他の画像データを読
み取り、これら回折画像データ及び干渉画像データを画
像表示用の映像信号に変換して画像表示用ディスプレイ
１４に表示出力する。

【００６６】次に、演算・制御装置１０は、上記ステッ
プ＃４において、現在、画像表示用ディスプレイ１４の
画面上に表示されている回折画像データ、干渉画像デー
タ又は他の画像データの欠陥情報が欠陥情報ファイル２
４に保存されているか否かを判断する。

【００６７】ここで、現在、画像表示用ディスプレイ１
４の画面上に表示されている画像データの欠陥情報は既
に欠陥情報ファイル２４に保存されているので、演算・
制御装置１０は、ステップ＃５に移って画像合成を行
う。

【００６８】すなわち、画像処理部１６は、欠陥情報メ
モリ２０に記憶されている欠陥情報を、任意の画像デー
タ、例えば回折画像データ、干渉画像データ又は他の画
像データに重ね合せて画像表示用ディスプレイ１４の画
面上に合成表示する。

【００６９】図６は例えば干渉画像データから得られた
欠陥情報を回折画像データに重ね合せた合成画像を示
す。この合成画像は、干渉画像データから得られた欠陥
ラベル「１０」のむらの欠陥情報を、欠陥ラベル「１
１」「１２」の傷、異物が現われている回折画像データ
に重ね合せたものである。なお、欠陥ラベル「１１」
「１２」の傷、異物は、欠陥情報の欠陥部分の形状及び
欠陥位置（座標）から表示できる。この場合、欠陥ラベ
ルとして回折画像と干渉画像とから得られた欠陥を分類
するマークをラベル番号に付記したり、ラベル番号の色
を変えることにより、どちらの画像での欠陥かが容易に
分かる。

【００７０】このように上記一実施の形態においては、
液晶ディスプレイに用いられるガラス基板３を撮像して
取得された干渉画像データ、回折画像データをディスプ
レイ画面上に表示し、このディスプレイ画面上の表示画
像に対して欠陥部分が指示されると、この欠陥部分の欠
陥情報、例えば傷、異物、むら、汚れを登録し、この登
録された欠陥情報に基づいてガラス基板３の良否判定を
行い、さらに登録された欠陥情報を干渉画像データ又は
回折画像データに重ね合せてディスプレイ画面上に表示
するようにしたので、自動的に欠陥部分の情報を集計し
てガラス基板３の良否判定を行うことができ、かつ欠陥
部分の情報の管理が容易にできる。

【００７１】欠陥情報の登録は、登録ダイアログウィン
ドウ２１の欠陥名称リストボックス２１ａ上で欠陥種類
（欠陥名称）を選択決定し、かつキーボード１１又はマ
ウス１２の移動により欠陥部分の形状及び欠陥位置（座
標）を指示することにより行えるので、オペレータのデ
ィスプレイ画面上に対する対話形式で簡単にかつ短時間
で自動的に行える。又、欠陥情報の登録は、例えば傷、
異物、むら、汚れなどのガラス基板３の良否判定を行う
のに十分な情報を登録できる。

【００７２】又、欠陥情報の登録は、干渉画像データや
回折画像データ自体を加工処理することがないので、登
録する情報量を少なくできる。

【００７３】さらに、登録した欠陥情報から自動的にガ
ラス基板３の良否判定を行うことができ、かつその判定
は、欠陥情報から各欠陥種類（欠陥名称）別にその個数
の集計を行い、この集計結果に基づいてガラス基板３の
良否、例えば良品、廃棄、リワークを判定するので、ガ
ラス基板３に対して定量的な判定ができ、その判定結果
の信頼性を向上できる。

【００７４】このガラス基板３の良否判定では、基板判
定ファイルにおいて、総欠陥数判定の判定個数、欠陥種
類（欠陥名称）ごとの判定判定個数をユーザ側で任意に
変えることができ、これによりガラス基板３の判定に対
する重み付けを変えることができる。

【００７５】又、欠陥情報を取った画像データ以外の画
像データに重ね合せてディスプレイ画面上に表示するの
で、例えば干渉画像データから得られた欠陥情報を回折
画像データに重ね合せた合成画像を表示できるので、ガ
ラス基板３の全ての欠陥の状況がディスプレイ画面上で
一目で分かる。

【００７６】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく次の通りに変形しとてもよい。

【００７７】例えば、ガラス基板３の良否判定は、欠陥
の形状のうちその大きさ、長さ、幅などによって判定す
るようにしてもよい。

【００７８】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、自
動的に欠陥部分の情報を集計してガラス基板の良否判定
を行い、欠陥部分の情報の管理を容易にできる基板検査
装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を
示す構成図。

【図２】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おける演算・制御装置の具体的な機能ブロック図。

【図３】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おける欠陥情報の登録方法を示す図。

【図４】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おける欠陥管理フローチャート。

【図５】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おけるガラス基板の良否判定フローチャート。

【図６】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おける欠陥情報を画像データに重ね合せた合成画像を示
す図。

【符号の説明】

１：画像取込部 ２：基板ステージ ３：ガラス基板 ４：装置制御ユニット ５：ライン照明装置 ８：ラインセンサ・カメラ ９：画像処理ボード １０：演算・制御装置 １１：キーボード １２：マウス １３：画像サーバ １４：画像表示用ディスプレイ １５：画像メモリ １６：画像処理部 １７：画像保存検索部 １８：画像ファイル １９：欠陥登録部 ２０：欠陥情報メモリ ２１：登録ダイアログウィンドウ ２２：基板判定部 ２３：欠陥情報保存検索部 ２４：欠陥情報ファイル

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｂ 11/24 Ｋ Ｆターム(参考） 2F065 AA03 AA49 AA51 AA61 CC19 CC25 DD06 FF42 FF51 GG16 HH12 JJ02 JJ08 JJ25 MM03 NN20 PP12 QQ00 QQ21 QQ23 QQ24 QQ27 QQ28 QQ51 RR05 RR06 SS02 SS13 TT08 2G051 AA42 AA51 AB02 CA03 DA06 EA12 EA14 EB01 EC01 FA01 5B057 AA03 BA02 BA23 BA24 CA12 CA16 CB12 CB16 CE08 CH12 DA03 DA16

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査体を撮像して取得された複数種類
   の画像データをディスプレイ画面上に表示する画像表示
   手段と、 前記ディスプレイ画面上に表示される各種画像に対して
   欠陥部分が指示されると、この指示された前記欠陥部分
   の欠陥情報を登録する欠陥登録手段と、 この欠陥登録手段により登録された各種画像に対応する
   前記欠陥情報を重ね合せて前記ディスプレイ画面上に表
   示する合成表示手段と、 前記欠陥登録手段により登録された前記欠陥情報に基づ
   いて前記被検査体の良否判定を行う判定手段と、を具備
   したことを特徴とする基板検査装置。
2. 【請求項２】 前記欠陥登録手段は、前記欠陥部分の少
   なくとも欠陥種類、欠陥形状及び欠陥位置を欠陥情報と
   して登録する機能を有することを特徴とする請求項１記
   載の基板検査装置。
3. 【請求項３】 前記合成表示手段は、少なくとも回折画
   像データ又は干渉画像データにより登録された前記欠陥
   情報を重ね合せて前記ディスプレイ画面上に表示する機
   能を有することを特徴とする請求項１記載の基板検査装
   置。
4. 【請求項４】 前記判定手段は、前記欠陥登録手段によ
   り登録された前記欠陥情報を前記欠陥種類別に集計し、
   この集計結果に基づいて前記被検査体を良否判定する機
   能を有することを特徴とする請求項１記載の基板検査装
   置。