JP4958114B2 - 情報処理装置、情報処理方法、コンピュータプログラム - Google Patents
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Description
・撮像カメラ:200万画素CCDカメラ(1600×1200画素、素子サイズ:2μm×2μm)
暗視野照明装置5で照明すると、異物に反射した拡散光のために、2μmφ前後の異物を検出することが可能であるが、その大きさを正確に判断することができない。確実に2μmφの異物を検出するには、分解能を高め、明視野照明装置6で照明する必要がある。
2 ズームレンズ
3 Z軸ステージ
4 X・Y軸ステージ
5 暗視野照明装置
6 明視野照明装置
7 検査トレー
8 照明装置コントローラ
9 XYZズームコントローラ
10 パーソナルコンピュータ(PC)
100 デバイス
201 CPU
202 ROM
203 RAM
Claims (9)
- 検査対象物の撮影画像データを用いて、該検査対象物の外観検査を行う情報処理装置であって、
第1の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第1の撮影画像データと、前記第1の撮影条件とは異なる第2の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第2の撮影画像データと、を記憶する第1の記憶手段と、
前記第1の撮影画像データに含まれる異物の検出に用いる第1の基準画像データと、前記第2の撮影画像データに含まれる異物の検出に用いる第2の基準画像データと、を記憶する第2の記憶手段と、
前記第1の撮影画像データと前記第1の基準画像データを用いて、第1の差分画像データを作成する第1の作成手段と、
前記第2の撮影画像データと前記第2の基準画像データを用いて、第2の差分画像データを作成する第2の作成手段と、
前記第1の差分画像データと予め設定された第1の判定基準を用いて、前記第1の撮影画像データに含まれる異物のうち良と判定されない異物を検出する第1の検出手段と、
前記第2の差分画像データと予め設定された第2の判定基準を用いて、前記第2の撮影画像データに含まれる異物のうち良と判定されない異物を検出する第2の検出手段と、
を備え、
前記第1の撮影条件及び第2の撮影条件にはそれぞれ照明の照射条件及び撮影倍率が含まれ、前記第1の撮影条件の照明の照射条件は暗視野照明、前記第2の撮影条件の照明条件は明視野照明であり、前記第1の撮影条件の撮影倍率より前記第2の撮影条件の撮影倍率が高く、
前記第1の判定基準及び前記第2の判定基準には、それぞれ撮影画像データに含まれる異物のうち良と判定されない異物を検出する基準となる面積及び長さの条件の少なくともいずれかが含まれ、前記第1の判定情報に含まれる面積及び長さの条件の数値より、前記第2の判定情報に含まれる面積及び長さの条件の数値が小さいこと
を特徴とする情報処理装置。 - 前記第1の判定基準の面積及び長さの条件には、前記第2の検出手段による検出処理を必要とする異物の面積及び長さの条件が含まれ、
前記第1の検出手段で検出した異物に、第2の検出手段による検出処理を必要とする異物が含まれるかを判定する判定手段を更に備え、
前記判定手段で、第2の検出手段による検出処理を必要とする異物が前記第1の検出手段で検出されたと判定した後に、前記第2の検出手段は、前記第2の差分画像データを予め設定された第2の判定基準とを用いて、前記第2の画像データに含まれる異物のうち良と判定されない異物を検出すること
を特徴とする請求項1に記載の情報処理装置。 - 前記第1の差分画像データ、及び前記第2の差分画像データから作成される2値化画像に対する粒子解析の結果から、異物の面積や長さに関する情報を計算する計算手段をさらに備え、
前記第1の検出手段は、前記第1の判定基準と、前記計算手段による前記第1の差分画像データに対する処理の結果計算されたそれぞれの異物の面積や長さと、を用いて、前記第1の撮影画像データに含まれる異物のうち良と判定されない異物を検出し、
前記第2の検出手段は、前記第2の判定基準と、前記計算手段による前記第2の差分画像データに対する処理の結果計算されたそれぞれの異物の面積や長さと、を用いて、前記第2の撮影画像データに含まれる異物のうち良と判定されない異物を検出すること
を特徴とする請求項1または2に記載の情報処理装置。 - 前記計算手段は、第1の差分画像データ及び前記第2の差分画像データから作成される2値化画像に対する粒子解析の結果から、異物の位置をさらに計算し、
前記計算手段により計算された前記第1の撮影画像データに含まれる異物の位置を認識可能に第1の撮影画像を、前記計算手段により計算された前記第2の撮影画像データに含まれる異物の位置を認識可能に前記第2の撮影画像データを表示する表示手段
を更に備えることを特徴とする請求項3に記載の情報処理装置。 - 前記表示手段はさらに、前記第1の撮影画像データに含まれる異物の検査結果一覧情報及び前記第2の撮影画像データに含まれる異物の検査結果一覧情報を表示すること
を特徴とする請求項4に記載の情報処理装置。 - 前記計算手段によって計算された、前記第1の検出手段で検出された良と判定されない異物のうち、前記第2の検出手段による検出処理が必要と判定された異物の位置に基づいて、前記検査対象物が設置された検査台の位置の変更指示を行う指示手段をさらに備え、
前記第2の作成手段は、指示手段での変更指示に従った検査台の位置の変更が行われた後に前記第2の撮影条件に従って前記撮影装置で撮影された第2の撮影画像データと、前記第2の基準画像データとを用いて、第2の差分画像データを作成すること
を特徴とする請求項4または5に記載の情報処理装置。 - 前記第1の判定基準及び/または前記第2の判定基準の設定変更をする変更手段と、
前記変更手段で前記第1の判定基準の設定変更をした後に、前記第1の検出手段は、前記第1の差分画像データと変更された第1の判定基準を用いて、前記第1の撮影画像データに含まれる異物のうち良と判定されない異物を検出し、
前記変更手段で前記第2の判定基準の設定変更をした後に、前記第2の検出手段は、前記第2の差分画像データと変更された第2の判定基準を用いて、前記第2の撮影画像データに含まれる異物のうち良と判定されない異物を検出すること
を特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の情報処理装置。 - 第1の撮影条件に従って検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第1の撮影画像データと、前記第1の撮影条件とは異なる第2の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第2の撮影画像データと、を記憶する第1の記憶手段と、前記第1の撮影画像データに含まれる異物の検出に用いる第1の基準画像データと、前記第2の撮影画像データに含まれる異物の検出に用いる第2の基準画像データと、を記憶する第2の記憶手段とを備え、検査対象物の撮影画像データを用いて、該検査対象物の外観検査を行う情報処理装置によって行われる情報処理方法であって、
前記第1の撮影画像データと前記第1の基準画像データを用いて、第1の差分画像データを作成する第1の作成工程と、
前記第2の撮影画像データと前記第2の基準画像データを用いて、第2の差分画像データを作成する第2の作成工程と、
前記第1の差分画像データと予め設定された第1の判定基準を用いて、前記第1の撮影画像データに含まれる異物のうち良と判定されない異物を検出する第1の検出工程と、
前記第2の差分画像データと予め設定された第2の判定基準を用いて、前記第2の撮影画像データに含まれる異物のうち良と判定されない異物を検出する第2の検出工程と、
を備え、
前記第1の撮影条件及び第2の撮影条件にはそれぞれ照明の照射条件及び撮影倍率が含まれ、前記第1の撮影条件の照明の照射条件は暗視野照明、前記第2の撮影条件の照明条件は明視野照明であり、前記第1の撮影条件の撮影倍率より前記第2の撮影条件の撮影倍率が高く、
前記第1の判定基準及び前記第2の判定基準には、それぞれ撮影画像データに含まれる異物のうち良と判定されない異物を検出する基準となる面積及び長さの条件の少なくともいずれかが含まれ、前記第1の判定情報に含まれる面積及び長さの条件の数値より、前記第2の判定情報に含まれる面積及び長さの条件の数値が小さいこと
を特徴とする情報処理方法。 - 第1の撮影条件に従って検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第1の撮影画像データと、前記第1の撮影条件とは異なる第2の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第2の撮影画像データと、を記憶する第1の記憶手段と、前記第1の撮影画像データに含まれる異物の検出に用いる第1の基準画像データと、前記第2の撮影画像データに含まれる異物の検出に用いる第2の基準画像データと、を記憶する第2の記憶手段とを備え、検査対象物の撮影画像データを用いて、該検査対象物の外観検査を行う情報処理装置を、
前記第1の撮影画像データと前記第1の基準画像データを用いて、第1の差分画像データを作成する第1の作成手段と、
前記第2の撮影画像データと前記第2の基準画像データを用いて、第2の差分画像データを作成する第2の作成手段と、
前記第1の差分画像データと予め設定された第1の判定基準を用いて、前記第1の撮影画像データに含まれる異物のうち良と判定されない異物を検出する第1の検出手段と、
前記第2の差分画像データと予め設定された第2の判定基準を用いて、前記第2の撮影画像データに含まれる異物のうち良と判定されない異物を検出する第2の検出手段として機能させ、
前記第1の撮影条件及び第2の撮影条件にはそれぞれ照明の照射条件及び撮影倍率が含まれ、前記第1の撮影条件の照明の照射条件は暗視野照明、前記第2の撮影条件の照明条件は明視野照明であり、前記第1の撮影条件の撮影倍率より前記第2の撮影条件の撮影倍率が高く、
前記第1の判定基準及び前記第2の判定基準には、それぞれ撮影画像データに含まれる異物のうち良と判定されない異物を検出する基準となる面積及び長さの条件の少なくともいずれかが含まれ、前記第1の判定情報に含まれる面積及び長さの条件の数値より、前記第2の判定情報に含まれる面積及び長さの条件の数値が小さいこと
を特徴とするコンピュータプログラム。
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