JP2007327896A - 検査装置 - Google Patents
検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007327896A JP2007327896A JP2006160511A JP2006160511A JP2007327896A JP 2007327896 A JP2007327896 A JP 2007327896A JP 2006160511 A JP2006160511 A JP 2006160511A JP 2006160511 A JP2006160511 A JP 2006160511A JP 2007327896 A JP2007327896 A JP 2007327896A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- field illumination
- inspected
- angle
- inspection apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
【解決手段】被検査体の表面の欠陥を検出する検査装置であって、前記被検査体の表面を第1の角度で照明する明視野照明手段と、前記被検査体の表面を前記第1の角度と異なる第2の角度で照明する暗視野照明手段と、前記明視野照明手段の正反射角方向に配置され、前記被検査体の表面からの拡散光を受光するレンズ系と光電変換センサとを有する受光光学系と、前記明視野照明手段で前記被検査体を照明した際の前記光電変換センサの出力信号と前記暗視野照明手段で前記被検査体を照明した際の前記光電変換センサの出力信号との差分を演算する演算手段とを有することを特徴とする検査装置を提供する。
【選択図】図1
Description
検査装置1は、明視野照明光源(明視野照明手段)10と、暗視野照明光源(暗視野照明手段)20と、あおりレンズ系30と、画像センサ(光電変換センサ)40と、同期信号出力部50とを有する。更に、検査装置1は、暗視野画像レベル調整部62と、明視野画像レベル調整部64と、画像差分演算部70と、欠陥判定部80とを有する。
10 明視野照明光源
20 暗視野照明光源
30 あおりレンズ系
40 画像センサ
50 同期信号出力部
62 暗視野画像レベル調整部
64 明視野画像レベル調整部
70 画像差分演算部
80 欠陥判定部
1A 検査装置
92 カラーフィルタ
1B 検査装置
94 波長分離ミラー
1C 検査装置
96 偏光分離ミラー
TI 被検査体
TIS 被検査面(表面)
DF 微小凹凸
Claims (10)
- 被検査体の表面の欠陥を検出する検査装置であって、
前記被検査体の表面を第1の角度で照明する明視野照明手段と、
前記被検査体の表面を前記第1の角度と異なる第2の角度で照明する暗視野照明手段と、
前記明視野照明手段の正反射角方向に配置され、前記被検査体の表面からの拡散光を受光するレンズ系と光電変換センサとを有する受光光学系と、
前記明視野照明手段で前記被検査体を照明した際の前記光電変換センサの出力信号と前記暗視野照明手段で前記被検査体を照明した際の前記光電変換センサの出力信号との差分を演算する演算手段とを有することを特徴とする検査装置。 - 前記レンズ系は、前記被検査体の表面、前記レンズ系の主平面及び前記光電変換センサの受光面がシャインプルーフの法則を満足するように、構成されることを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 前記第1の角度は、5°以上25°以下であることを特徴とする請求項1又は2記載の検査装置。
- 前記第1の角度と第2の角度との差は、−20°以上+20°以下であることを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか一項記載の検査装置。
- 前記明視野照明手段で前記被検査体を照明した際の前記光電変換センサの出力信号と前記暗視野照明手段で前記被検査体を照明した際の前記光電変換センサの出力信号との信号レベルを調整する信号レベル調整部を更に有し、
前記信号レベル調整部は、前記演算手段で得られる信号が最大となるように、前記信号レベルを調整することを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか一項記載の検査装置。 - 前記明視野照明手段及び前記暗視野照明手段は、各々独立して前記被検査体の照明又は非照明を切り換えることを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか一項記載の検査装置。
- 前記被検査体の照明又は非照明を切り換える信号を出力する同期信号出力部を更に有することを特徴とする請求項6記載の検査装置。
- 前記明視野照明手段は、第1の波長の光で前記被検査体を照明し、
前記暗視野照明手段は、前記第1の波長とは異なる第2の波長の光で前記被検査体を照明し、
前記受光光学系は、前記第1の波長の光と前記第2の波長の光とを分離する波長分離手段を有することを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか一項記載の検査装置。 - 前記明視野照明手段は、第1の偏光の光で前記被検査体を照明し、
前記暗視野照明手段は、前記第1の偏光とは異なる第2の偏光の光で前記検査体を照明し、
前記受光光学系は、前記第1の偏光の光と前記第2の偏光の光とを分離する偏光分離手段を有することを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか一項記載の検査装置。 - 前記演算手段で得られる信号に基づいて、被検査体の表面の欠陥の有無又は密度を判定する判定手段を更に有することを特徴とする請求項1乃至9のうちいずれか一項記載の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006160511A JP2007327896A (ja) | 2006-06-09 | 2006-06-09 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006160511A JP2007327896A (ja) | 2006-06-09 | 2006-06-09 | 検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007327896A true JP2007327896A (ja) | 2007-12-20 |
Family
ID=38928457
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006160511A Pending JP2007327896A (ja) | 2006-06-09 | 2006-06-09 | 検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007327896A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009162563A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Canon It Solutions Inc | デバイス外観検査装置及び方法、プログラム |
CN103430013A (zh) * | 2010-12-30 | 2013-12-04 | 美德客科技(深圳)有限公司 | 目视检查装置 |
JP2014163874A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Visco Technologies Corp | 検査装置 |
US9429525B2 (en) | 2014-08-13 | 2016-08-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical module for surface inspection and surface inspection apparatus including the same |
WO2017179243A1 (ja) * | 2016-04-12 | 2017-10-19 | 新日鐵住金株式会社 | 被検査体撮像装置、被検査体撮像方法、表面検査装置及び表面検査方法 |
CN110441321A (zh) * | 2019-10-10 | 2019-11-12 | 征图新视(江苏)科技股份有限公司 | 基于分时曝光图像综合的透明材质内部缺陷检测方法 |
JP2021086121A (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 富士フイルム株式会社 | 撮像装置及び表面検査装置 |
KR20220105838A (ko) * | 2021-01-21 | 2022-07-28 | 주식회사 나노프로텍 | 투명 기판 검사 장치 및 투명기판 검사 방법 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06222013A (ja) * | 1992-09-11 | 1994-08-12 | Hologenix Inc | 表面の光学的検査装置 |
JPH07128241A (ja) * | 1993-11-05 | 1995-05-19 | Konica Corp | 電子写真感光体欠陥検査装置 |
JPH07151703A (ja) * | 1993-11-26 | 1995-06-16 | Dainippon Printing Co Ltd | ビューファインダー用カラーフイルターの検査装置 |
JPH09138201A (ja) * | 1995-11-15 | 1997-05-27 | Mitsubishi Electric Corp | 表面検査装置 |
JPH1130589A (ja) * | 1997-07-10 | 1999-02-02 | Nikon Corp | 面検査装置及び方法 |
JP2000014640A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-01-18 | Toomee:Kk | 非接触式角膜内皮細胞観察撮影装置 |
JP2000055826A (ja) * | 1998-08-12 | 2000-02-25 | Dakku Engineering Kk | 品質検査装置 |
JP2000162134A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-06-16 | Nidek Co Ltd | 表面検査装置 |
JP2000241362A (ja) * | 1999-02-18 | 2000-09-08 | Spectra Physics Visiontech Oy | 表面品質検査装置及びその方法 |
JP2002535687A (ja) * | 1999-01-29 | 2002-10-22 | ライカ ミクロジュステムス ヴェツラー ゲーエムベーハー | 物体のパタン加工表面を光学的に検査する方法および装置 |
-
2006
- 2006-06-09 JP JP2006160511A patent/JP2007327896A/ja active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06222013A (ja) * | 1992-09-11 | 1994-08-12 | Hologenix Inc | 表面の光学的検査装置 |
JPH07128241A (ja) * | 1993-11-05 | 1995-05-19 | Konica Corp | 電子写真感光体欠陥検査装置 |
JPH07151703A (ja) * | 1993-11-26 | 1995-06-16 | Dainippon Printing Co Ltd | ビューファインダー用カラーフイルターの検査装置 |
JPH09138201A (ja) * | 1995-11-15 | 1997-05-27 | Mitsubishi Electric Corp | 表面検査装置 |
JPH1130589A (ja) * | 1997-07-10 | 1999-02-02 | Nikon Corp | 面検査装置及び方法 |
JP2000014640A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-01-18 | Toomee:Kk | 非接触式角膜内皮細胞観察撮影装置 |
JP2000055826A (ja) * | 1998-08-12 | 2000-02-25 | Dakku Engineering Kk | 品質検査装置 |
JP2000162134A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-06-16 | Nidek Co Ltd | 表面検査装置 |
JP2002535687A (ja) * | 1999-01-29 | 2002-10-22 | ライカ ミクロジュステムス ヴェツラー ゲーエムベーハー | 物体のパタン加工表面を光学的に検査する方法および装置 |
JP2000241362A (ja) * | 1999-02-18 | 2000-09-08 | Spectra Physics Visiontech Oy | 表面品質検査装置及びその方法 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009162563A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Canon It Solutions Inc | デバイス外観検査装置及び方法、プログラム |
CN103430013A (zh) * | 2010-12-30 | 2013-12-04 | 美德客科技(深圳)有限公司 | 目视检查装置 |
JP2014503824A (ja) * | 2010-12-30 | 2014-02-13 | ミルテク カンパニー リミテッド | 視覚検査装置 |
JP2014163874A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Visco Technologies Corp | 検査装置 |
US9429525B2 (en) | 2014-08-13 | 2016-08-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical module for surface inspection and surface inspection apparatus including the same |
KR20170129949A (ko) * | 2016-04-12 | 2017-11-27 | 신닛테츠스미킨 카부시키카이샤 | 피검사체 촬상 장치, 피검사체 촬상 방법, 표면 검사 장치 및 표면 검사 방법 |
WO2017179243A1 (ja) * | 2016-04-12 | 2017-10-19 | 新日鐵住金株式会社 | 被検査体撮像装置、被検査体撮像方法、表面検査装置及び表面検査方法 |
JPWO2017179243A1 (ja) * | 2016-04-12 | 2018-04-19 | 新日鐵住金株式会社 | 被検査体撮像装置、被検査体撮像方法、表面検査装置及び表面検査方法 |
US10281408B2 (en) | 2016-04-12 | 2019-05-07 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Inspection object imaging apparatus, inspection object imaging method, surface inspection apparatus, and surface inspection method |
KR101992042B1 (ko) * | 2016-04-12 | 2019-06-21 | 닛폰세이테츠 가부시키가이샤 | 피검사체 촬상 장치, 피검사체 촬상 방법, 표면 검사 장치 및 표면 검사 방법 |
CN110441321A (zh) * | 2019-10-10 | 2019-11-12 | 征图新视(江苏)科技股份有限公司 | 基于分时曝光图像综合的透明材质内部缺陷检测方法 |
JP2021086121A (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 富士フイルム株式会社 | 撮像装置及び表面検査装置 |
JP7266514B2 (ja) | 2019-11-29 | 2023-04-28 | 富士フイルム株式会社 | 撮像装置及び表面検査装置 |
KR20220105838A (ko) * | 2021-01-21 | 2022-07-28 | 주식회사 나노프로텍 | 투명 기판 검사 장치 및 투명기판 검사 방법 |
KR102542814B1 (ko) * | 2021-01-21 | 2023-06-14 | 주식회사 나노프로텍 | 투명 기판 검사 장치 및 투명기판 검사 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI498546B (zh) | Defect inspection device and defect inspection method | |
US7957636B2 (en) | Illumination apparatus and appearance inspection apparatus including the same | |
US8885037B2 (en) | Defect inspection method and apparatus therefor | |
JP2007327896A (ja) | 検査装置 | |
US8416292B2 (en) | Defect inspection apparatus and method | |
JP4511978B2 (ja) | 表面疵検査装置 | |
KR100472129B1 (ko) | 결함 검사 장치 및 결함 검사 방법 | |
US20080297783A1 (en) | Defect inspection system and method of the same | |
KR101376831B1 (ko) | 표면결함 검사방법 | |
JP2009053132A (ja) | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
US20130063721A1 (en) | Pattern inspection apparatus and method | |
JP2019120506A (ja) | 検出方法、検査方法、検出装置及び検査装置 | |
JP2008128811A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2004022797A (ja) | マーク位置検出装置およびマーク位置検出方法 | |
US7394048B2 (en) | Focusing device, focusing method and a pattern inspecting apparatus | |
JP2008070273A (ja) | 表面欠陥検出装置及び表面欠陥検出方法 | |
JP2006258582A (ja) | 画像入力装置および画像入力方法 | |
EP0977029A1 (en) | Pattern inspecting apparatus | |
JP2009109263A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2007147376A (ja) | 検査装置 | |
US20130250297A1 (en) | Inspection apparatus and inspection system | |
JP7136064B2 (ja) | 被検査体の表面検査装置および被検査体の表面検査方法 | |
JP2008064656A (ja) | 周縁検査装置 | |
JP2006105926A (ja) | 検査装置 | |
JP4162319B2 (ja) | 欠陥検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20090604 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20110607 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20110804 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20111101 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20120306 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |