JP2000055826A

JP2000055826A - 品質検査装置

Info

Publication number: JP2000055826A
Application number: JP10228326A
Authority: JP
Inventors: Masato Kanekawa; 正人金川; Takanori Aoki; 孝典青木; Ginkai Ri; 銀会李; Yoshitaka Hikami; 好孝氷上
Original assignee: DAKKU ENGINEERING KK
Current assignee: DAKKU ENGINEERING KK
Priority date: 1998-08-12
Filing date: 1998-08-12
Publication date: 2000-02-25

Abstract

(57)【要約】【課題】検査面へ低い傾斜角度で光入射するように明
視野用光源を配置し、検査面の明視野像を得るように撮
像カメラを配置しつつも、コンパクト設計が可能であ
り、撮像カメラの光軸の微調整などが不要であるため簡
易な製造工程と低コスト化とが可能な品質検査装置を提
供することを目的とする。【解決手段】本発明は、光源２の出射光１０が連続シ
ート９の検査面へ向けて１゜〜３０゜の傾斜角度で入射
し該検査面で反射した反射光１１を撮像カメラ５へ案内
し、この撮像カメラ５に検査面の明視野像を与える反射
鏡３を備えることを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、枚葉印刷物やフィ
ルムなどの表面傷、異物の混入などの有無を判定する品
質検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、被検査物の検査面に光を照射
し、その反射像の光強度分布を基に検査面の品質を判定
する品質検査装置が知られている。図８に、このような
従来の品質検査装置１１０の概略構成を示し、その検査
方法を以下に説明する。図８によれば、従来の品質検査
装置１１０は、明視野用光源１１１、暗視野用光源１１
２、撮像カメラ１１３、および判定手段１１４から構成
される。矢印方向１１５に搬送されている被検査物１１
６は、その検査面の上に、明視野用光源１１１または暗
視野用光源１１２の出射光１１７，１１８を照射され、
次に、撮像カメラ１１３が、その反射像を撮像する。撮
像された反射像は判定手段１１４へ転送され、ここで多
階調画像データとして画素単位で処理され、この多階調
画像データの各画素での濃度レベルと、予め作成してお
いた表面に欠陥の無いマスタ画像データの各画素での濃
度レベルとを比較・照合することにより、検査面の欠陥
や異物の有無を検査する。

【０００３】暗視野用光源１１２は、主に検査面の散乱
光成分による像（以下、暗視野像と呼ぶ。）を得るとき
に、また明視野用光源１１１は、主に検査面の正反射光
成分による像（以下、明視野像と呼ぶ。）を得るときに
用いられる。明視野用光源１１１と暗視野用光源１１２
とのどちらを使うかは、検査面の性状に応じて決められ
る。たとえば、被検査物の検査面がフィルム、コート紙
などの透明・半透明の被覆面を有する場合や、検査面が
アルミニウム、銀などの高反射率の素材からなる梨地を
有する場合、検査面の凹凸や平滑度の異常を検出したい
場合には、（１）明視野用光源を採用し、（２）検査面
への入射光の傾斜角度を比較的低角度（θ＝３０゜以
下）とし、得られる明視野像を基にして表面の性状異常
（擦り傷など）や異物の混入の有無を検出することが多
い。

【０００４】特に、フィルム、コート紙などの透明・半
透明の被覆面の状態を検査する場合は、検査面への入射
光の傾斜角度が高角度であると、その被覆面の屈折率の
関係から、入射光の大部分は被覆面を透過してしまい、
表面像を満足に得ることができない。従って、その入射
光の傾斜角度を低角度にする必要が生ずる。また、検査
面の異常箇所からくる影を強調し明瞭に表したい場合
は、この検査面への入射光の傾斜角度を低角度にする必
要があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、明視野
用光源を採用し、検査面への入射光の傾斜角度を比較的
低角度となるように、品質検査装置内に明視野用光源と
撮像カメラとを組み込むと、（１）検査面への入射光の
傾斜角度を低角度にするため、撮像カメラは検査面近く
に配置せねばならず、（２）撮像カメラのワーキング・
ディスタンス（撮像カメラから検査面までの設計上の距
離）を確保するため、品質検査装置の全長（Ｌ）が大き
くならざるを得ない。従って、場所的制約の厳しい検査
ラインに合わせて、コンパクトな品質検査装置の設計・
組み立てを行うことは、非常に困難であった。例えば、
輪転印刷機で印刷処理後のロール紙の印刷面は、４００
〜１２５０ｍｍ程度の幅を有する。この印刷面の幅全体
を一度に検査するため、撮像カメラとしてＣＣＤ（電荷
結合素子）を配列したラインセンサを用いることが多
い。しかし、この種の撮像カメラは重量およびサイズが
非常に大きいため、コンパクトに品質検査装置の設計・
組み立てを行うことが一層困難となっていた。

【０００６】そこで、本発明者らは、品質検査装置の全
長（Ｌ）を縮めるべく、撮像カメラと検査面との間に広
角レンズを介在させ、そのワーキング・ディスタンスの
短縮を試みたが、結果は、像の周辺が歪み、この周辺部
において検査面の性状を正確に判別できなかった。

【０００７】また、品質検査装置を組み立てた後、撮像
カメラの光軸や光源位置を微調整する必要がある。しか
し、撮像カメラの光軸を微調整するには、前記の如く重
量およびサイズの大きな撮像カメラの方向や位置を僅か
に変える作業を要するが、この作業は、非常に手間と時
間を要するものなので、品質検査装置の製造コストが高
くなる一因となっていた。

【０００８】本発明は、このような事情に鑑み、検査面
へ低い傾斜角度で光入射するように明視野用光源を配置
し、検査面の明視野像を得るように撮像カメラを配置し
つつも、コンパクト設計が可能であり、撮像カメラの光
軸の微調整などが不要であるため簡易な製造工程と低コ
スト化とが可能な品質検査装置を提供することを目的と
する。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の品質検査装置は、被検査物の検査面を照射
する単または複数の光源と、該検査面の反射光を案内す
る光学系と、該光学系の結像面に設けられた撮像手段
と、該撮像手段によって撮像された反射像の光強度分布
をもとに前記検査面の品質を判定する判定手段とを備え
た品質検査装置であって、前記光源の出射光が検査面へ
向けて１゜〜３０゜の傾斜角度で入射し該検査面で反射
した反射光を撮像手段へ案内し、該撮像手段に検査面の
明視野像を与える単または複数の反射鏡を備えることを
特徴としている。

【００１０】前記反射鏡の鏡面の傾きおよび位置を調整
する調整手段が備わることが、好ましい。

【００１１】また、前記撮像手段が検査面のライン状領
域を撮像するものとすることができる。

【００１２】このような品質検査装置を用いて、透明ま
たは半透明の被覆面を検査することができる。

【００１３】また、前記光源としてレーザ光源を用いる
こともできる。このレーザ光源を用いて半導体ウェハの
表面検査を行うことができる。

【００１４】このような品質検査装置に備わる判定手段
としては、前記撮像手段によって撮像された反射像の光
強度分布から得られる多階調画像データの濃度レベルを
マスタ画像データの基準濃度レベルと比較して検査面の
欠陥の有無を判定するものを用いることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明に係る代表的な種々の実施の形態について説明する。
図１は、本発明に係る品質検査装置であって連続シート
の表面状態を検査するものの概略構成図である。本実施
例の品質検査装置１は、明視野用光源２、反射鏡３、反
射鏡３の傾斜角度および位置の調整手段４、撮像カメラ
５および判定手段６から構成されており、搬送ローラ７
ａ，７ｂ，…，７ｅによって適度なテンションを付与さ
れ、矢印方向８に搬送されている連続シート９の表面状
態の良否を判定するものである。

【００１６】明視野用光源２は、その出射光１０が被検
査物９の検査面へ傾斜角度θで入射するように配置され
ている。この傾斜角度θの範囲は、被検査物の表面状態
を明瞭に表す像を得るという観点からは、１゜〜３０
゜、特には１０゜〜２０゜が好ましい。また、反射鏡３
は、検査面の正反射光（入射光の入射角と等しい反射角
で表面から反射する光）１１を反射して撮像カメラへ到
達させるものであり、この反射鏡３の背面には、鏡面の
傾斜角度や位置を調整する調整手段４が設けられてい
る。このように反射鏡３の存在により、撮像カメラ５を
ワーキング・ディスタンスを確保しつつ、上方へ配置す
ることができ、品質検査装置の水平方向の寸法（Ｌ₁）
を、従来よりも小さくすることが可能となる。また、撮
像カメラ５の光軸に僅かなズレがある場合でも、前記調
整手段４を用いることで容易にそのズレを補正すること
ができる。これにより、従来、前記のようなズレを補正
すべく、重量およびサイズの大きな撮像カメラの方向や
位置を手間を要して調整していたことが、不要となり、
製造工程の簡易化が可能となった。

【００１７】また、本発明に係る品質検査装置の別の形
態としては、図２〜図５のものが挙げられる。これら実
施例の各部の構成や役割は、前記図１の実施例のものと
略同じである。図２に係る品質検査装置２０は、明視野
用光源２１、反射鏡２２ａ，２２ｂ、反射鏡２２ａ，２
２ｂの背面に設けられた調整手段２３ａ，２３ｂ、撮像
カメラ２４および判定手段２５から構成され、被検査物
２６の検査面に明視野用光源２１の出射光２７を照射
し、この反射光２８を２枚の反射鏡２２ａ，２２ｂを用
いて撮像カメラへ案内する構成となっている。これによ
り、１枚の反射鏡を用いるときと比べると撮像カメラの
配置位置の自由度をより高めることができる。また、図
３〜図５に示す各実施例においても、複数の反射鏡を用
いることで、装置の水平方向および垂直方向の寸法がコ
ンパクトにされる。

【００１８】本発明に係る明視野用光源としては、被検
査物の搬送幅（図面奥行き方向の幅）のライン状領域を
一様に光照射するという観点からは、ライン光源や直管
状ランプを用いることが好ましい。このような光源の具
体例としては、蛍光灯、ライトガイド式照明器（光ファ
イバなどで光照射領域近辺まで光源の光を案内する照明
器）などが挙げられる。さらに、前記のライン状領域を
光照射する光源としては、レーザ発振器などの光ビーム
をレンズを用いてライン状に照射するもの、もしくは、
前記光ビームを回転するポリゴンミラーを用いてライン
状領域に順次照射するものであってもよい。

【００１９】また、本発明に係る撮像カメラとしては、
被検査物の搬送幅のライン状領域を一度に撮像できると
いう観点からは、ラインセンサを用いることが好まし
い。このラインセンサとしては、ＣＣＤ（電荷結合素
子）やフォトダイオードなどの固体撮像素子を配列した
ものを用いることができる。たとえば、２５６画素，５
１２画素，１０２４画素，２０４８画素，４０９６画
素，８１９２画素を有するラインセンサにより高精度の
像を得ることができる。また、ラインセンサとしては、
白黒面撮像用のものに限らず、カラー面撮像用のものを
用いることができる。

【００２０】また、本発明に係る被検査物としては、押
出成形などによる透明・半透明のフィルムやシート、も
しくは、基材上に透明・半透明の薄い被覆面をラミネー
ト形成して得られるラミネートフィルムなどが挙げられ
る。たとえばフィルムは、押出成形機において、熱可塑
性樹脂からなる樹脂ペレットを輸送、溶融、混練した後
に、Ｔダイにおいて所定の厚みにフィルム状にして、冷
却固化することにより成形される。その樹脂ペレットを
溶融する際、溶融が不十分だと、成形フィルムに、いわ
ゆるフィッシュアイなどが生じて不良個所となり、ま
た、成形フィルムを搬送する際、成形フィルムに、ロー
ラなどの搬送部材と擦れて筋状の傷が生じて不良個所と
なることもある。上述したように、これら材質の被検査
物の検査面の不良個所の有無は、検査光を低い傾斜角度
で検査面へ入射させ、その反射像を明視野像として得な
いと見つけることが難しい。なお、ロール紙などの紙面
に生じた表面傷などの不良個所の有無も同様に検査する
ことができる。

【００２１】また、本発明に係る被検査物としては、上
記の他に、基材上にアルミニウムや銀などを真空蒸着し
たもの、もしくはスパッタリングにより表面に金属粒子
を蒸着させて薄い皮膜を形成したものが挙げられる。本
発明では、これら蒸着面の欠けの有無を検査することが
できる。

【００２２】さらに、本発明に係る品質検査装置は、上
記の被検査物の上にオフセット印刷、グラビア印刷、フ
レキソ印刷、スクリーン印刷などを施し、その印刷面の
印刷状態をも同時に検査することができる。たとえば、
カラーインクによる印刷面の品質検査の他、フィルムや
シートなどの上に、引掻き剥離性（印刷処理後に硬貨や
爪などにより印刷面を容易に剥離可能とする性質）を有
するインクで印刷したものの品質検査を行うことも可能
である。引掻き剥離性を有する印刷面は、通常、銀色な
どの高反射率の素材からなる梨地であることが多く、印
刷面は適度な乱反射を起こす。印刷面に欠けが生じる
と、被検査物の一部が露出するので、この露出箇所を本
発明に係る品質検査装置で検出することができる。ま
た、印刷インクとして、アルミニウム粉，ブロンズ粉，
銅粉などの金属粉顔料、パール粉などの真珠光沢顔料を
使用し、印刷面に適度な凹凸を生じさせた表面状態も同
様にして検査することができる。

【００２３】撮像カメラで撮像された検査面の像は、判
定手段に転送され、ここで処理される。好ましい判定手
段としては、光強度分布による多階調画像データとして
画素単位で処理し、この多階調画像データの各画素の濃
度レベルと、予め撮像された無欠陥の表面のマスタ画像
データの基準濃度レベルとを比較・照合することによ
り、検査面の良否を判定するものが挙げられる。この判
定結果は、スピーカーへ転送されて警告音などとして出
力してもよいし、また、ＣＲＴなどの画像表示手段へ出
力されて欠陥個所などを表示してもよい。

【００２４】次に、図６は、本発明に係る品質検査装置
の別の実施例を示す概略構成図である。本実施例の品質
検査装置６０は、レーザ光源６１、反射鏡６２ａ，６２
ｂ、反射鏡６２ａ，６２ｂの傾斜角度調整手段６３ａ，
６３ｂ、撮像カメラ６４および判定手段６５から構成さ
れ、半導体ウェハ６６の表面状態の良否を判定するもの
である。被検査物である半導体ウェハ６６の表面は、蒸
着膜のエピタキシー成長や集積回路形成などのため、凹
凸や平坦度、塵埃などの異物の混入の有無などを厳しく
管理される必要がある。とくに表面に塵埃が付着するの
を防ぐため、半導体ウェハ６６は、高清浄度の雰囲気下
にあるクリーンルーム内において表面検査を行われる。

【００２５】その半導体ウェハ６６の表面検査は、以下
のように行われる。先ず、レーザ光源６１のレーザ出射
光６７は、反射鏡６２ａにおいて反射し、所定の入射角
度で半導体ウェハ６６の表面に入射する。そして、その
反射光６８が反射鏡６２ｂで反射した後にＣＣＤカメラ
などの撮像カメラへ到達し、半導体ウェハ表面の所定領
域の像を与える。半導体ウェハ６６を保持する保持台６
９には、半導体ウェハ６６をＸ−Ｙ方向へ移動させるＸ
−Ｙ方向移動手段７０が備わっており、このＸ−Ｙ方向
移動手段７０により半導体ウェハ６６を移動させ、レー
ザ光による照射領域を順次移動させて、その全表面の像
を与える。次に、得られた像は判定手段６５へ転送さ
れ、ここで、多階調画像データとして画素単位で処理さ
れる。この多階調画像データの各画素の濃度レベルと、
予め撮像された無欠陥の表面のマスタ画像データの基準
濃度レベルとを比較・照合することにより、検査面の良
否が判定される。

【００２６】このように反射鏡６２ａ，６２ｂの存在に
より、撮像カメラ６４は、半導体ウェハの搬送の障害と
ならずに、また狭いクリーンルーム内においても効率的
に配置される。従って、低い傾斜角度（１゜〜３０゜）
で検査面にレーザ光を照射し、撮像カメラでその明視野
像を得ることが可能となるのである。

【００２７】次に、図７は、本発明に係る品質検査装置
の別の実施例を示す概略構成図である。本実施例の品質
検査装置は、オフセット印刷装置により印刷された枚葉
印刷紙の印刷状態および表面状態の良否を判定するもの
である。

【００２８】図７によれば、オフセット印刷装置の印刷
部９０は、圧胴９１、ブランケット胴９２、中間胴（ま
たは枚葉紙送り胴）９３、および枚葉紙を案内するシー
トガイド９４などから構成される。枚葉紙は、中間胴９
３によって圧胴９１とブランケット胴９２との間に送り
こまれ、ここで印刷される。多色印刷を行う場合には、
このような印刷部が中間胴を介して複数並置されてお
り、各印刷部で順次印刷が施される。最終的に印刷され
た枚葉印刷紙は、圧胴９１からスプロケット９５ａへ案
内される。スプロケット９５ａ，９５ｂには、左右一対
のチェン９６が無端状に掛けられ、一方のスプロケット
９５ａがモータ（図示せず）により図の時計方向に駆動
され、このスプロケット９５ａの駆動によりチェン９６
が矢印方向９７に走行している。チェン９６には竿、把
持爪などからなる把持手段９８が取り付けられ、この把
持手段９８により、最終的に印刷された枚葉印刷紙９９
の先端部が把持されて、チェン９６の走行に伴い搬送さ
れる。枚葉印刷紙９９は、ガイド１００の上を水平状態
で搬送され、品質検査装置８０において検査される。検
査後の枚葉印刷紙は、インク乾燥装置１０１へと搬送さ
れ、ここで、ＵＶ（紫外線）ランプやＩＲ（赤外線）ラ
ンプなどによって乾燥される。この後、枚葉印刷紙は、
把持手段９８の解放により、検査の結果に応じて、不良
品用受箱１０２または良品用受箱１０３へ選択的に落下
して収納される。

【００２９】本実施例の品質検査装置８０は、スプロケ
ット９５ａとインク乾燥装置１０１との間に配置され、
主な構成として、検査面を照射する明視野用光源８１
と、撮像カメラ８２と、検査面の反射光を撮像カメラ８
２へ案内する反射鏡８３と、撮像カメラ８２によって撮
像された反射像の光強度分布をもとに検査面の状態の良
否を判定する判定手段８４とを備えている。本実施例の
光源としては、インク乾燥装置の近辺の高温環境下でも
安定して発光できるという観点からは、ハロゲンラン
プ、ハロゲン化金属ランプまたは水銀ランプを用いるこ
とが好ましい。とくにハロゲンランプは、約４００℃の
高温環境下でも安定して発光可能なので、より好まし
い。

【００３０】このように反射鏡８３の存在により、スプ
ロケット９５ａとインク乾燥装置１０１との間の限られ
た空間内に検査ラインを設け、この検査ラインに本実施
例の品質検査装置を組み込むことが可能となる。

【００３１】

【発明の効果】上述の如く、本発明の品質検査装置は、
光源の出射光が検査面へ向けて１゜〜３０゜の傾斜角度
で入射し該検査面で反射した反射光を撮像手段へ案内
し、該撮像手段に検査面の明視野像を与える単または複
数の反射鏡を備えているので、撮像カメラの配置位置を
自在に決められるため、場所的制約の厳しい検査ライン
に合わせて品質検査装置をコンパクトに設計することが
できる。

【００３２】また、前記反射鏡の鏡面の傾きおよび位置
を調整する調整手段が備わることにより、撮像カメラ本
体の方向や位置を調整し撮像カメラの光軸などの微調整
をする必要が無くなるので、簡易な製造工程と製造コス
トを低く抑えることとが可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る品質検査装置であって連続シート
の表面状態を検査する実施例を示す概略構成図である。

【図２】本発明に係る品質検査装置であって２枚の反射
鏡を用いた実施例を示す概略構成図である。

【図３】本発明に係る品質検査装置であって４枚の反射
鏡を用いた実施例を示す概略構成図である。

【図４】本発明に係る品質検査装置であって３枚の反射
鏡を用いた実施例を示す概略構成図である。

【図５】本発明に係る品質検査装置であって４枚の反射
鏡を用いた実施例を示す概略構成図である。

【図６】本発明に係る品質検査装置であって半導体ウェ
ハ検査用の実施例を示す概略構成図である。

【図７】本発明に係る品質検査装置であって枚葉印刷紙
を検査する実施例を示す概略構成図である。

【図８】従来の品質検査装置を示す概略構成図である。

【符号の説明】

１品質検査装置２明視野用光源３反射鏡４調整手段５撮像カメラ６判定手段７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ搬送ローラ８矢印方向９連続シート１０出射光１１正反射光２０品質検査装置２１明視野用光源２２ａ，２２ｂ反射鏡２３ａ，２３ｂ調整
手段２４撮像カメラ２５判定手段２６被検査物２７光源の出射光２８検査面の反射光３０品質検査装置３１光源３２ａ，３２ｂ，３２ｃ, ３２ｄ反射鏡３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄ調整手段３４撮像カメラ３５被検査物４０品質検査装置４１光源４２ａ，４２ｂ，４２ｃ反射鏡４３ａ，４３ｂ，４３ｃ調整手段４４撮像カメラ４５被検査物５０品質検査装置５１光源５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ反射鏡５３ａ，５３ｂ，５３ｃ，５３ｄ調整手段５４撮像カメラ５５被検査物６０品質検査装置６１レーザ光源６２ａ，６２ｂ反射鏡６３ａ、６３ｂ傾斜
角度調整手段６４撮像カメラ６５判定手段６６半導体ウェハ６７レーザ出射光６８反射光６９保持台７０Ｘ−Ｙ方向移動手段８０品質検査装置８１明視野用光源８２撮像カメラ８３反射鏡８４判定手段９０印刷部９１圧胴９２ブランケット胴９３中間胴（または
枚葉紙送り胴）９４シートガイド９５ａ，９５ｂスプ
ロケット９６チェン９７矢印方向９８把持手段９９枚葉印刷紙１００ガイド１０１インク乾燥装
置１０２不良品用受箱１０３良品用受箱１１０品質検査装置１１１明視野用光源１１２暗視野用光源１１３撮像カメラ１１４判定手段１１５矢印方向１１６被検査物１１７，１１８出射
光

フロントページの続き (72)発明者李銀会京都市南区上鳥羽大柳町１番５ダックエンジニアリング株式会社内 (72)発明者氷上好孝京都市南区上鳥羽大柳町１番５ダックエンジニアリング株式会社内Ｆターム(参考） 2C250 EA02 EA12 EB32 EB43 EC01 2G051 AA34 AA41 AA51 AB02 AB07 AC21 BA01 BA10 BB01 CA03 CB01 CC11 DA06 DA07 EA16 EB01 5B057 AA03 AA11 BA15 BA17 DA03 DB02 DB09 DC22 DC36

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査物の検査面を照射する単または複
数の光源と、該検査面の反射光を案内する光学系と、該
光学系の結像面に設けられた撮像手段と、該撮像手段に
よって撮像された反射像の光強度分布をもとに前記検査
面の品質を判定する判定手段とを備えた品質検査装置で
あって、前記光源の出射光が検査面へ向けて１゜〜３０
゜の傾斜角度で入射し該検査面で反射した反射光を撮像
手段へ案内し、該撮像手段に検査面の明視野像を与える
単または複数の反射鏡を備えることを特徴とする品質検
査装置。
【請求項２】前記反射鏡の鏡面の傾きおよび位置を調
整する調整手段が備わる請求項１記載の品質検査装置。
【請求項３】前記撮像手段が検査面のライン状領域を
撮像するものである請求項１または請求項２記載の品質
検査装置。
【請求項４】前記検査面が透明または半透明の被覆面
を有する請求項１〜３の何れか１項に記載の品質検査装
置。
【請求項５】前記光源としてレーザ光源を用いる請求
項１〜４の何れか１項に記載の品質検査装置。
【請求項６】前記検査面が半導体ウェハである請求項
５記載の品質検査装置。
【請求項７】前記判定手段が、前記撮像手段によって
撮像された反射像の光強度分布から得られる多階調画像
データの濃度レベルをマスタ画像データの基準濃度レベ
ルと比較して検査面の欠陥の有無を判定するものである
請求項１〜６の何れか１項に記載の品質検査装置。