JP2000162134A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
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- JP2000162134A JP2000162134A JP10341505A JP34150598A JP2000162134A JP 2000162134 A JP2000162134 A JP 2000162134A JP 10341505 A JP10341505 A JP 10341505A JP 34150598 A JP34150598 A JP 34150598A JP 2000162134 A JP2000162134 A JP 2000162134A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コントラストの高い画像で効率的に検査が行
える表面検査装置を提供する。 【解決手段】 検査試料表面に明視野照明光を投光する
明視野照明投光光学系と、検査試料表面に暗視野照明光
を投光する暗視野照明投光光学系と、検査試料表面に対
して両照明光を異なるタイミングで個別に投光するよう
に切換える照明光切換手段と、該切換手段により照明さ
れる前記検査試料の明視野照明像及び暗視野照明像を撮
像する撮像手段と、該撮像手段により得られた暗視野画
像と明視野画像とを相対的に減算処理した減算処理画像
を生成する画像生成手段と、該生成された画像を表示す
る表示手段とを備える。
える表面検査装置を提供する。 【解決手段】 検査試料表面に明視野照明光を投光する
明視野照明投光光学系と、検査試料表面に暗視野照明光
を投光する暗視野照明投光光学系と、検査試料表面に対
して両照明光を異なるタイミングで個別に投光するよう
に切換える照明光切換手段と、該切換手段により照明さ
れる前記検査試料の明視野照明像及び暗視野照明像を撮
像する撮像手段と、該撮像手段により得られた暗視野画
像と明視野画像とを相対的に減算処理した減算処理画像
を生成する画像生成手段と、該生成された画像を表示す
る表示手段とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、明視野照明と暗視
野照明を利用した表面検査装置に関する。
野照明を利用した表面検査装置に関する。
【０００２】
【従来技術】半導体ウエハ等の検査試料表面に照明光を
投光し、その反射光を目視や顕微鏡やＴＶカメラ等で捉
えた像を観察することにより、試料に形成されたＩＣパ
ターンの段差構造や表面上のキズ、埃などの欠陥を検査
する表面検査装置が知られている。検査試料表面への照
明光の投光としては、試料表面からの正反射光を主に利
用する明視野照明と乱反射光を主に利用する暗視野照明
があり、検査内容に応じて有利な方を選択的に切換えて
検査を行っていた。
投光し、その反射光を目視や顕微鏡やＴＶカメラ等で捉
えた像を観察することにより、試料に形成されたＩＣパ
ターンの段差構造や表面上のキズ、埃などの欠陥を検査
する表面検査装置が知られている。検査試料表面への照
明光の投光としては、試料表面からの正反射光を主に利
用する明視野照明と乱反射光を主に利用する暗視野照明
があり、検査内容に応じて有利な方を選択的に切換えて
検査を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体
ウエハ等においてはそのパターンの微細化が進み、さら
に解像能力のアップが望まれているが、明視野照明又は
暗視野照明のどちらを使用しても画像のコントラストが
悪く、表面状態の認識がしづらいことがある。このよう
な場合、ウエハ面への照明角度を変更したり、別角度の
照明装置を設けることにより、暗視野での認識率を多少
上げることができるが、それでも十分でない場合があ
る。また、照明角度を変更することは時間が掛かり手間
である。
ウエハ等においてはそのパターンの微細化が進み、さら
に解像能力のアップが望まれているが、明視野照明又は
暗視野照明のどちらを使用しても画像のコントラストが
悪く、表面状態の認識がしづらいことがある。このよう
な場合、ウエハ面への照明角度を変更したり、別角度の
照明装置を設けることにより、暗視野での認識率を多少
上げることができるが、それでも十分でない場合があ
る。また、照明角度を変更することは時間が掛かり手間
である。
【０００４】本発明は、上記従来装置の欠点に鑑み、コ
ントラストの高い画像で効率的に検査が行える表面検査
装置を提供することを技術課題とする。
ントラストの高い画像で効率的に検査が行える表面検査
装置を提供することを技術課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とす
る。
に、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とす
る。
【０００６】（１） 検査試料表面に明視野照明光を投
光する明視野照明投光光学系と、検査試料表面に暗視野
照明光を投光する暗視野照明投光光学系と、検査試料表
面に対して両照明光を異なるタイミングで個別に投光す
るように切換える照明光切換手段と、該切換手段により
照明される前記検査試料の明視野照明像及び暗視野照明
像を撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた暗
視野画像と明視野画像とを相対的に減算処理した減算処
理画像を生成する画像生成手段と、該生成された画像を
表示する表示手段と、を備えることを特徴とする。
光する明視野照明投光光学系と、検査試料表面に暗視野
照明光を投光する暗視野照明投光光学系と、検査試料表
面に対して両照明光を異なるタイミングで個別に投光す
るように切換える照明光切換手段と、該切換手段により
照明される前記検査試料の明視野照明像及び暗視野照明
像を撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた暗
視野画像と明視野画像とを相対的に減算処理した減算処
理画像を生成する画像生成手段と、該生成された画像を
表示する表示手段と、を備えることを特徴とする。
【０００７】（２） （１）の表面検査装置において、
前記照明光切換手段は明視野照明光と暗視野照明光を連
続して交互に投光するように切換える手段であり、前記
画像生成手段は前記減算処理画像を連続的に生成する手
段であることを特徴とする。
前記照明光切換手段は明視野照明光と暗視野照明光を連
続して交互に投光するように切換える手段であり、前記
画像生成手段は前記減算処理画像を連続的に生成する手
段であることを特徴とする。
【０００８】（３） （２）の表面検査装置において、
前記照明光切換手段による明視野照明光と暗視野照明光
の切換を、前記撮像手段の１フレーム分の出力信号に同
期したタイミングで行うように制御する切換制御手段を
備えることを特徴とする。
前記照明光切換手段による明視野照明光と暗視野照明光
の切換を、前記撮像手段の１フレーム分の出力信号に同
期したタイミングで行うように制御する切換制御手段を
備えることを特徴とする。
【０００９】（４） （１）の表面検査装置において、
前記撮像手段により得られる明視野画像と暗視野画像と
をそれぞれ取り込むフレームメモリを有し、前記画像生
成手段は該フレームメモリに取り込まれた２画像から画
像を生成することを特徴とする。
前記撮像手段により得られる明視野画像と暗視野画像と
をそれぞれ取り込むフレームメモリを有し、前記画像生
成手段は該フレームメモリに取り込まれた２画像から画
像を生成することを特徴とする。
【００１０】（５） （１）の表面検査装置において、
前記照明光切換手段は明視野照明投光光学系の光路と暗
視野照明投光光学系の光路を選択的に遮蔽する回転式シ
ャッタを有することを特徴とする。
前記照明光切換手段は明視野照明投光光学系の光路と暗
視野照明投光光学系の光路を選択的に遮蔽する回転式シ
ャッタを有することを特徴とする。
【００１１】（６） （１）の表面検査装置において、
前記表示手段に表示する画像を前記画像生成手段で生成
された画像又は前記撮像手段により撮像された画像に切
替える画像切換手段を備えることを特徴とする。
前記表示手段に表示する画像を前記画像生成手段で生成
された画像又は前記撮像手段により撮像された画像に切
替える画像切換手段を備えることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて以下に説明する。図１は実施形態の装置の光学系と
制御系の要部を示した図である。
いて以下に説明する。図１は実施形態の装置の光学系と
制御系の要部を示した図である。
【００１３】１は接眼レンズであり、プリズム２及び対
物レンズ３と共に顕微鏡の観察系を構成する。観察眼Ｅ
はこの顕微鏡観察系を介して、水平駆動装置３２及び垂
直駆動装置により移動するステージ４に載置されたウエ
ハ５を観察することができる。
物レンズ３と共に顕微鏡の観察系を構成する。観察眼Ｅ
はこの顕微鏡観察系を介して、水平駆動装置３２及び垂
直駆動装置により移動するステージ４に載置されたウエ
ハ５を観察することができる。
【００１４】６は暗視野用の照明光源、７は明視野用の
照明光源である。８はモータ２０によって回転駆動され
るディスクであり、ディスク８は図２（ａ）に示すよう
に、照明光を透過する半円の透過部８ａと照明光を遮光
する半円の遮光部８ｂを有する。このディスク８は、例
えば、光を透過する素材（透明なガラス材等）の半円部
分に遮光用のクロム蒸着等を施すことにより形成するこ
とができる。モータ２０の駆動によりディスク８が回転
されることにより、照明光源６、７からの光束が交互に
かつ断続的に通過する。モータ２０はディスク８を１／
１５秒にて１回転させる速度にて駆動する。
照明光源である。８はモータ２０によって回転駆動され
るディスクであり、ディスク８は図２（ａ）に示すよう
に、照明光を透過する半円の透過部８ａと照明光を遮光
する半円の遮光部８ｂを有する。このディスク８は、例
えば、光を透過する素材（透明なガラス材等）の半円部
分に遮光用のクロム蒸着等を施すことにより形成するこ
とができる。モータ２０の駆動によりディスク８が回転
されることにより、照明光源６、７からの光束が交互に
かつ断続的に通過する。モータ２０はディスク８を１／
１５秒にて１回転させる速度にて駆動する。
【００１５】ディスク８の回転状態はセンサ２２によっ
て検知される。センサ２２はディスク８を挟むような格
好で取り付けられたＬＥＤ２２ａと受光部２２ｂを有し
（図２（ｂ）参照）、受光部２２ｂに検出されるＬＥＤ
２２ａの光の受光状態により、回転するディスク８の透
過部８ａ、遮光部８ｂの切換わりを検知する。照明光源
６、７による両照明光束の通過範囲に対するセンサ２２
の配置位置は図のようになっており、ディスク８がＡ方
向に回転をして、センサ２２の位置に遮光部８ｂが来た
ことが検知されるときは、照明光源７の照明範囲に透過
部８ａが位置するためディスク８を通過するは明視野の
照明光束となる。さらにディスク８が回転してセンサ２
２の位置に透過部８ａが来たことが検知されるときは、
照明光源６の照明範囲に透過部８ａが位置するためディ
スク８を通過するのは暗視野の照明光束となる。
て検知される。センサ２２はディスク８を挟むような格
好で取り付けられたＬＥＤ２２ａと受光部２２ｂを有し
（図２（ｂ）参照）、受光部２２ｂに検出されるＬＥＤ
２２ａの光の受光状態により、回転するディスク８の透
過部８ａ、遮光部８ｂの切換わりを検知する。照明光源
６、７による両照明光束の通過範囲に対するセンサ２２
の配置位置は図のようになっており、ディスク８がＡ方
向に回転をして、センサ２２の位置に遮光部８ｂが来た
ことが検知されるときは、照明光源７の照明範囲に透過
部８ａが位置するためディスク８を通過するは明視野の
照明光束となる。さらにディスク８が回転してセンサ２
２の位置に透過部８ａが来たことが検知されるときは、
照明光源６の照明範囲に透過部８ａが位置するためディ
スク８を通過するのは暗視野の照明光束となる。
【００１６】ディスク８を通過した照明光源６からの光
束は、コリメートレンズ９によって平行光束とされた
後、リングスリット１０を通過しミラー１１にて反射さ
れる。ミラー１１にて反射された照明光束は穴あきミラ
ー１２の外周部にて反射された後、ハーフミラー１３、
プリズム２、リング状レンズ１４を経てウエハ５に投光
される。ウエハ５上にて乱反射された光束の一部は対物
レンズ３を通過した後、プリズム２、ハーフミラー１３
を介してＣＣＤカメラ２１に受光される。
束は、コリメートレンズ９によって平行光束とされた
後、リングスリット１０を通過しミラー１１にて反射さ
れる。ミラー１１にて反射された照明光束は穴あきミラ
ー１２の外周部にて反射された後、ハーフミラー１３、
プリズム２、リング状レンズ１４を経てウエハ５に投光
される。ウエハ５上にて乱反射された光束の一部は対物
レンズ３を通過した後、プリズム２、ハーフミラー１３
を介してＣＣＤカメラ２１に受光される。
【００１７】一方、ディスク８を通過した照明光源７か
らの光束は、コリメートレンズ１６によって平行光束と
された後、穴あきミラー１２の中央開口部を通過し、ハ
ーフミラー１３、プリズム２、対物レンズ３を経てウエ
ハ５に投光される。ウエハ５からの正反射光は再び対物
レンズ３を通過した後、暗視野照明光束と同様にプリズ
ム２、ハーフミラー１３を介してＣＣＤカメラ２１にて
受光される。
らの光束は、コリメートレンズ１６によって平行光束と
された後、穴あきミラー１２の中央開口部を通過し、ハ
ーフミラー１３、プリズム２、対物レンズ３を経てウエ
ハ５に投光される。ウエハ５からの正反射光は再び対物
レンズ３を通過した後、暗視野照明光束と同様にプリズ
ム２、ハーフミラー１３を介してＣＣＤカメラ２１にて
受光される。
【００１８】図１において、３０は装置全体の動作を制
御する制御部である。３１はステージ４を垂直方向（光
軸方向）に移動するフォーカス調節部であり、図示なき
フォーカス検知機構からの検知信号に基づいてウエハの
フォーカス位置を合せる。３２はステージ４を水平方向
に移動させるための水平駆動装置である。水平駆動装置
３２はジョイスティック２３を操作することにより駆動
する。
御する制御部である。３１はステージ４を垂直方向（光
軸方向）に移動するフォーカス調節部であり、図示なき
フォーカス検知機構からの検知信号に基づいてウエハの
フォーカス位置を合せる。３２はステージ４を水平方向
に移動させるための水平駆動装置である。水平駆動装置
３２はジョイスティック２３を操作することにより駆動
する。
【００１９】３４、３５はフレームメモリであり、ＣＣ
Ｄカメラ２１からの画像データはデジタル化等の所定の
処理が施された後、制御部３０からの制御によって何れ
かに取り込まれる。３６は画像処理部であり、フレーム
メモリ３４、３５に取り込まれた画像データを基に画像
処理を行い、モニタ３７に表示する画像を生成する。３
８はモニタ３７に表示する画像（フレームメモリ３４の
画像、フレームメモリ３５の画像、又は画像処理部３６
により生成された画像）を切換える画像切換部である。
３３は各種のスイッチが設けられたスイッチ部であり、
観察画像切換用のスイッチ３３ａを有する。なお、ＣＣ
Ｄカメラ２１からの１フレーム分の撮像データは１／３
０秒間隔で出力される。
Ｄカメラ２１からの画像データはデジタル化等の所定の
処理が施された後、制御部３０からの制御によって何れ
かに取り込まれる。３６は画像処理部であり、フレーム
メモリ３４、３５に取り込まれた画像データを基に画像
処理を行い、モニタ３７に表示する画像を生成する。３
８はモニタ３７に表示する画像（フレームメモリ３４の
画像、フレームメモリ３５の画像、又は画像処理部３６
により生成された画像）を切換える画像切換部である。
３３は各種のスイッチが設けられたスイッチ部であり、
観察画像切換用のスイッチ３３ａを有する。なお、ＣＣ
Ｄカメラ２１からの１フレーム分の撮像データは１／３
０秒間隔で出力される。
【００２０】画像処理部３６による画像処理、画像生成
について図４を使用して説明する。なお、フレームメモ
リ３４にはＣＣＤカメラ２１からの暗視野画像が取り込
まれ、フレームメモリ３５には明視野画像が取り込まれ
るものとする。
について図４を使用して説明する。なお、フレームメモ
リ３４にはＣＣＤカメラ２１からの暗視野画像が取り込
まれ、フレームメモリ３５には明視野画像が取り込まれ
るものとする。
【００２１】図４の（ａ）は、ウエハ面に付けられたキ
ズ部分の断面形状を拡大して示した模式図である。図４
（ｂ）は、この図４（ａ）の部分を明視野画像データと
して捉えた時の輝度信号を示したものである。明視野画
像の場合、ウエハ面の平滑面部分は正反射光により輝度
が高い信号として得られ、キズ部分はその凹凸形状によ
って輝度が低い信号として得られる。一方、図４（ｃ）
は同じ図４（ａ）の部分を暗視野画像として捉えた時の
輝度信号を示したものである。暗視野画像の場合、ウエ
ハ面の平滑面部分は乱反射光が極めて少ないので輝度が
低い信号として得られ、キズ部分はその凹凸形状によっ
て生じる乱反射光により輝度が高い信号として得られ
る。
ズ部分の断面形状を拡大して示した模式図である。図４
（ｂ）は、この図４（ａ）の部分を明視野画像データと
して捉えた時の輝度信号を示したものである。明視野画
像の場合、ウエハ面の平滑面部分は正反射光により輝度
が高い信号として得られ、キズ部分はその凹凸形状によ
って輝度が低い信号として得られる。一方、図４（ｃ）
は同じ図４（ａ）の部分を暗視野画像として捉えた時の
輝度信号を示したものである。暗視野画像の場合、ウエ
ハ面の平滑面部分は乱反射光が極めて少ないので輝度が
低い信号として得られ、キズ部分はその凹凸形状によっ
て生じる乱反射光により輝度が高い信号として得られ
る。
【００２２】ここで、ウエハの形成状態（ウエハ面の膜
状態）によっては、凹凸形状部分と平滑なウエハ面部分
との輝度差（コントラスト）がはっきりせず、暗視野画
像と明視野画像を個別にモニタ３７上で観察しただけで
は、キズ部分の欠陥が明確に区別できないことがある。
状態）によっては、凹凸形状部分と平滑なウエハ面部分
との輝度差（コントラスト）がはっきりせず、暗視野画
像と明視野画像を個別にモニタ３７上で観察しただけで
は、キズ部分の欠陥が明確に区別できないことがある。
【００２３】そこで本発明では、フレームメモリ３４の
暗視野画像による輝度信号から、これと対応するフレー
ムメモリ３５の明視野画像による輝度信号を減算処理し
て、図４（ｄ）のように、平滑面部分に対して凹凸部分
の信号が強調された輝度情報を持つ画像を生成する。こ
うすることにより両者の輝度差が強調される（すなわち
キズ部分のコントラストが高くなる）ので、これをモニ
タ３７に表示すれば欠陥部分の観察をより明確に行える
ようになる。また、パターン等においても同様にはっき
りした画像が得られる。なお、両画像データの減算処理
は、逆に明視野画像による輝度信号から暗視野画像によ
る輝度信号を減算しても良い。
暗視野画像による輝度信号から、これと対応するフレー
ムメモリ３５の明視野画像による輝度信号を減算処理し
て、図４（ｄ）のように、平滑面部分に対して凹凸部分
の信号が強調された輝度情報を持つ画像を生成する。こ
うすることにより両者の輝度差が強調される（すなわち
キズ部分のコントラストが高くなる）ので、これをモニ
タ３７に表示すれば欠陥部分の観察をより明確に行える
ようになる。また、パターン等においても同様にはっき
りした画像が得られる。なお、両画像データの減算処理
は、逆に明視野画像による輝度信号から暗視野画像によ
る輝度信号を減算しても良い。
【００２４】以上のような装置における表面検査の動作
を説明する。まず、ステージ４に載せられたウエハ５の
検査面に対して、フォーカス調節部３１によるフォーカ
ス調整、水平駆動装置３２による水平移動を行い検査部
位を顕微鏡下に置く。
を説明する。まず、ステージ４に載せられたウエハ５の
検査面に対して、フォーカス調節部３１によるフォーカ
ス調整、水平駆動装置３２による水平移動を行い検査部
位を顕微鏡下に置く。
【００２５】スイッチ３３ａにより明視野観察モードを
選択すると、制御部３０はモータ２０を駆動させディス
ク８をイニシャライズし、センサ２２による検知信号に
基づいて透過部８ａが照明光源７の照明範囲に来るよう
にした後、ディスク８の回転を停止させる。これにより
ＣＣＤカメラ２１には前述の光学系を経てウエハ５の明
視野画像が撮像されるようになる。また、制御部３０は
その明視野画像がフレームメモリ３５を取り込まれるよ
うに制御するとともに、モニタ３７に表示されるように
画像切換部３８を切換える。これによりオペレータはモ
ニタ３７で明視野画像を観察できるようになる。
選択すると、制御部３０はモータ２０を駆動させディス
ク８をイニシャライズし、センサ２２による検知信号に
基づいて透過部８ａが照明光源７の照明範囲に来るよう
にした後、ディスク８の回転を停止させる。これにより
ＣＣＤカメラ２１には前述の光学系を経てウエハ５の明
視野画像が撮像されるようになる。また、制御部３０は
その明視野画像がフレームメモリ３５を取り込まれるよ
うに制御するとともに、モニタ３７に表示されるように
画像切換部３８を切換える。これによりオペレータはモ
ニタ３７で明視野画像を観察できるようになる。
【００２６】一方、スイッチ３３ａにより暗視野観察モ
ードを選択すると、ディスク８の透過部８ａが照明光源
６の照明範囲に来るように配置され、ＣＣＤカメラ２１
には暗視野画像が撮像されるようになる。その像はフレ
ームメモリ３４、画像切換部３８を介してモニタ３７に
表示される。
ードを選択すると、ディスク８の透過部８ａが照明光源
６の照明範囲に来るように配置され、ＣＣＤカメラ２１
には暗視野画像が撮像されるようになる。その像はフレ
ームメモリ３４、画像切換部３８を介してモニタ３７に
表示される。
【００２７】次に、スイッチ３３ａにより画像強調モー
ドを選択した場合について説明する。制御部３０は、モ
ータ２０を駆動してディスク８を所定速度（１／１５秒
で１回転する速度）で回転させる。同時にＣＣＤカメラ
２１から出力される画像の１／３０秒毎の同期信号とセ
ンサ２２からの検知信号（透過部８ａ、遮光部８ｂの切
換わりの検知信号）を同期させるようにさらにディスク
８の回転を制御する（フェイズロックループ）。このデ
ィスク８の回転により、ウエハ５は明視野照明光と暗視
野照明光が交互に照明され、ＣＣＤカメラ２１からは１
／３０秒毎に明視野画像と暗視野画像の信号が連続的に
交互に出力されるようになる。制御部３０はその出力さ
れる同期信号に合せてフレームメモリ３４、３５への画
像取り込みを制御する。
ドを選択した場合について説明する。制御部３０は、モ
ータ２０を駆動してディスク８を所定速度（１／１５秒
で１回転する速度）で回転させる。同時にＣＣＤカメラ
２１から出力される画像の１／３０秒毎の同期信号とセ
ンサ２２からの検知信号（透過部８ａ、遮光部８ｂの切
換わりの検知信号）を同期させるようにさらにディスク
８の回転を制御する（フェイズロックループ）。このデ
ィスク８の回転により、ウエハ５は明視野照明光と暗視
野照明光が交互に照明され、ＣＣＤカメラ２１からは１
／３０秒毎に明視野画像と暗視野画像の信号が連続的に
交互に出力されるようになる。制御部３０はその出力さ
れる同期信号に合せてフレームメモリ３４、３５への画
像取り込みを制御する。
【００２８】図３は、画像取り込みのタイミングとモニ
タ３７への表示を概略的に示したものである。なお、こ
のモードではモニタ３７の表示画像は画像処理部３６用
に切換えられる。
タ３７への表示を概略的に示したものである。なお、こ
のモードではモニタ３７の表示画像は画像処理部３６用
に切換えられる。
【００２９】前述したようにセンサ２２により暗視野照
明に切換わったことが検知されると、ＣＣＤカメラ２１
からの暗視野画像がフレームメモリ３４に取り込まれる
（1回目）。次にセンサ２２により明視野照明に切換わ
ったことが検知されると、今度はＣＣＤカメラ２１から
の明視野野画像がフレームメモリ３５に取り込まれる
（２回目）。この２回目の取り込みができると、前述の
ようにして画像処理部３６にてフレームメモリ３４の暗
視野画像データ（この場合１回目に取り込んだ画像）か
らフレームメモリ３５の明視野画像データが減算処理さ
れた新たな画像が生成される。モニタ３７はその画像が
表示される。
明に切換わったことが検知されると、ＣＣＤカメラ２１
からの暗視野画像がフレームメモリ３４に取り込まれる
（1回目）。次にセンサ２２により明視野照明に切換わ
ったことが検知されると、今度はＣＣＤカメラ２１から
の明視野野画像がフレームメモリ３５に取り込まれる
（２回目）。この２回目の取り込みができると、前述の
ようにして画像処理部３６にてフレームメモリ３４の暗
視野画像データ（この場合１回目に取り込んだ画像）か
らフレームメモリ３５の明視野画像データが減算処理さ
れた新たな画像が生成される。モニタ３７はその画像が
表示される。
【００３０】続いて、３回目の画像取り込みとして、再
び暗視野画像がフレームメモリ３４に取り込まれる。こ
の取り込みにより、画像処理部３６では３回目の暗視野
画像データから２回目の明視野画像データを減算処理し
た画像が生成され、モニタ３７にその画像が表示され
る。さらに続いて４回目の画像取り込みとして、再び明
視野画像がフレームメモリ３５に取り込まれ、これは３
回目の暗視野画像データから減算処理されて生成された
画像がモニタ３７に表示れていく。
び暗視野画像がフレームメモリ３４に取り込まれる。こ
の取り込みにより、画像処理部３６では３回目の暗視野
画像データから２回目の明視野画像データを減算処理し
た画像が生成され、モニタ３７にその画像が表示され
る。さらに続いて４回目の画像取り込みとして、再び明
視野画像がフレームメモリ３５に取り込まれ、これは３
回目の暗視野画像データから減算処理されて生成された
画像がモニタ３７に表示れていく。
【００３１】このようにして、フレームメモリ３４とフ
レームメモリ３５に交互に取り込まれる画像データは画
像処理部３６で１／３０秒毎に減算処理され、生成され
た新たな画像も１／３０秒毎に順次連続的に表示されて
いく。このため人の目にはほぼリアルタイムな画像とし
て観察される。従って、ジョイスティック２３でウエハ
５を移動させながら欠陥等を探す場合でも、さほど違和
感なくコントラストが強調された画像を観察でき、検査
が効率的に行える。
レームメモリ３５に交互に取り込まれる画像データは画
像処理部３６で１／３０秒毎に減算処理され、生成され
た新たな画像も１／３０秒毎に順次連続的に表示されて
いく。このため人の目にはほぼリアルタイムな画像とし
て観察される。従って、ジョイスティック２３でウエハ
５を移動させながら欠陥等を探す場合でも、さほど違和
感なくコントラストが強調された画像を観察でき、検査
が効率的に行える。
【００３２】以上の実施形態は種々の変容が可能であ
る。例えば、照明光源６，７を一つにして、光学部材を
用いて２光束に分離しても良い。
る。例えば、照明光源６，７を一つにして、光学部材を
用いて２光束に分離しても良い。
【００３３】また、暗視野照明光と明視野照明光を切換
える手段は、例えば液晶シャッタ等を使用して交互に照
明光を通過させることもできる。
える手段は、例えば液晶シャッタ等を使用して交互に照
明光を通過させることもできる。
【００３４】また、解像力が高いコンフォーカル顕微鏡
の光学系と本発明の光学系とを組み合わせると、コンフ
ォーカル顕微鏡の能力をより引き出して、コントラスト
をさらに高めることができる。
の光学系と本発明の光学系とを組み合わせると、コンフ
ォーカル顕微鏡の能力をより引き出して、コントラスト
をさらに高めることができる。
【００３５】さらにまた、明視野照明と暗視野照明の切
換えに対するＣＣＤカメラ２１の出力信号の同期は、Ｃ
ＣＤカメラ２１側の撮像のタイミングを制御して画像の
取り込みを行っても良い。
換えに対するＣＣＤカメラ２１の出力信号の同期は、Ｃ
ＣＤカメラ２１側の撮像のタイミングを制御して画像の
取り込みを行っても良い。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
明視野画像や暗視野画像を個別に得て検査を行う場合に
比べて、コントラストの高い画像を得ることができるの
で、より正確な検査が行える。また、その画像はリアル
タイムに近い形で得ることができるので、検査試料を移
動させながらの検査を効率良く行える。
明視野画像や暗視野画像を個別に得て検査を行う場合に
比べて、コントラストの高い画像を得ることができるの
で、より正確な検査が行える。また、その画像はリアル
タイムに近い形で得ることができるので、検査試料を移
動させながらの検査を効率良く行える。
【図１】実施形態の装置の光学系と制御系の要部を示し
た図である。
た図である。
【図２】ディスクの状態を示した図である。
【図３】画像取り込みのタイミングとモニタ３７への表
示を概略的に示した図である。
示を概略的に示した図である。
【図４】ウエハ面に付けられたキズ部分に対する明視
野、暗視野の信号等を模式的に示した図である。
野、暗視野の信号等を模式的に示した図である。
５ ウエハ ６ 照明光源 ７ 照明光源 ８ ディスク ２０ モータ ２１ ＣＣＤカメラ ２２ センサ ３０ 制御部 ３４ フレームメモリ ３５ フレームメモリ ３６ 画像処理部 ３７ モニタ
Claims (6)
- 【請求項１】 検査試料表面に明視野照明光を投光する
明視野照明投光光学系と、検査試料表面に暗視野照明光
を投光する暗視野照明投光光学系と、検査試料表面に対
して両照明光を異なるタイミングで個別に投光するよう
に切換える照明光切換手段と、該切換手段により照明さ
れる前記検査試料の明視野照明像及び暗視野照明像を撮
像する撮像手段と、該撮像手段により得られた暗視野画
像と明視野画像とを相対的に減算処理した減算処理画像
を生成する画像生成手段と、該生成された画像を表示す
る表示手段と、を備えることを特徴とする表面検査装
置。 - 【請求項２】 請求項１の表面検査装置において、前記
照明光切換手段は明視野照明光と暗視野照明光を連続し
て交互に投光するように切換える手段であり、前記画像
生成手段は前記減算処理画像を連続的に生成する手段で
あることを特徴とする表面検査装置。 - 【請求項３】 請求項２の表面検査装置において、前記
照明光切換手段による明視野照明光と暗視野照明光の切
換を、前記撮像手段の１フレーム分の出力信号に同期し
たタイミングで行うように制御する切換制御手段を備え
ることを特徴とする表面検査装置。 - 【請求項４】 請求項１の表面検査装置において、前記
撮像手段により得られる明視野画像と暗視野画像とをそ
れぞれ取り込むフレームメモリを有し、前記画像生成手
段は該フレームメモリに取り込まれた２画像から画像を
生成することを特徴とする表面検査装置。 - 【請求項５】 請求項１の表面検査装置において、前記
照明光切換手段は明視野照明投光光学系の光路と暗視野
照明投光光学系の光路を選択的に遮蔽する回転式シャッ
タを有することを特徴とする表面検査装置。 - 【請求項６】 請求項１の表面検査装置において、前記
表示手段に表示する画像を前記画像生成手段で生成され
た画像又は前記撮像手段により撮像された画像に切替え
る画像切換手段を備えることを特徴とする表面検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10341505A JP2000162134A (ja) | 1998-12-01 | 1998-12-01 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10341505A JP2000162134A (ja) | 1998-12-01 | 1998-12-01 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000162134A true JP2000162134A (ja) | 2000-06-16 |
| JP2000162134A5 JP2000162134A5 (ja) | 2006-03-23 |
Family
ID=18346588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10341505A Withdrawn JP2000162134A (ja) | 1998-12-01 | 1998-12-01 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000162134A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002310939A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-23 | Nec Corp | 気泡検査装置 |
| JP2005536732A (ja) * | 2002-08-23 | 2005-12-02 | ライカ マイクロシステムス セミコンダクタ ゲーエムベーハー | 物体を検査するための装置及び方法 |
| JP2007327896A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Canon Inc | 検査装置 |
| CN104458760A (zh) * | 2013-09-13 | 2015-03-25 | 楚天科技股份有限公司 | 自动灯检机异物检测装置 |
| CN105043982A (zh) * | 2015-07-02 | 2015-11-11 | 武汉中导光电设备有限公司 | 一种自动光学检测系统 |
| WO2015181956A1 (ja) * | 2014-05-30 | 2015-12-03 | 富士電機株式会社 | 多成分用レーザ式ガス分析計 |
| US9429525B2 (en) | 2014-08-13 | 2016-08-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical module for surface inspection and surface inspection apparatus including the same |
| JP2019121677A (ja) * | 2018-01-04 | 2019-07-22 | 株式会社ディスコ | 板状物の加工方法 |
-
1998
- 1998-12-01 JP JP10341505A patent/JP2000162134A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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