JP2005536732A - 物体を検査するための装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 物体
3 結像光学系
4 明視野・照明光線路
5 明視野・光源
6 暗視野・照明光線路
7 暗視野・光源
8 検知器
9 検知光線路
10 暗視野・光源7の光パルスの時間的な強度経過
11 明視野・光源の光の時間的な強度経過
12 レンズ
13 光学構成部材、回転シャッターホイール
14 光学構成部材13の回転軸線
15 絞り
16 検知システム
17 同期ライン
18 遅延回路
19 時間間隔
20 光線分割器
21 光線分割器
22 結合光学系
23 光導体
24 集束光学系
25 明視野・照明光線路4の光学軸線
26 物体の検査すべき表面
27 検知光線路の光学軸線
28 暗視野・照明光線路6の光学軸線
29 光学軸線27及び28間の角度
30 ポジショニングシステム
31 検知システム16とポジショニングシステム30の間のライン
32 制御・読出ライン
I1 物体の個所における暗視野・光源7の光パルスのパルス強度
I2 物体の個所における明視野・光源5の光の強度
t1 時間間隔19の開始
t2 光パルスの中央
t3 時間間隔19の終了
Claims (18)
- 結像光学系(3)に対して形成されている明視野・光源(5)の明視野・照明光線路(4)と、結像光学系(3)に対して形成されている暗視野・光源(7)の暗視野・照明光線路(6)と有する、物体(2)を検査するための装置であって、物体(2)が結像光学系(3)を用いて少なくとも1つの検知器(8)上に結像され、更に物体(2)が両方の光源(5、7)により同時に照明されている、前記装置において、
暗視野照明のために用いられる光がパルス化されていること、及び、暗視野照明のために用いられる光のパルス強度が、パルス間隔に関連付けられた強度であって明視野照明のために用いられる連続光の強度より、少なくとも1オーダー分、大きいことを特徴とする装置。 - 暗視野照明のために用いられる光のパルス強度が、パルス間隔に関連付けられた強度であって明視野照明のために用いられる連続光の強度より、10倍から10000倍、大きいことを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 暗視野・光源(7)がパルス化された光を放出することを特徴とする、請求項1又は2に記載の装置。
- 暗視野・光源(7)が連続光を放出し、この連続光が、少なくとも1つの光学構成部材(13)を用いて個々のパルスに分割可能であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の装置。
- 光学構成部材(13)が、シャッター、回転式シャッターホイール、電子光学変調器、又は音響光学変調器を有することを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の装置。
- 検知器(8)及び/又は検知システム(16)の読出スタンバイ及び/又は評価スタンバイが、暗視野照明のために用いられる光のパルス列と同期されていて、好ましくは、暗視野・光源(7)のパルス列信号、又は、光学構成部材(13)の制御信号に基づいてであることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の装置。
- 同期のために遅延回路(18)が設けられていることを特徴とする、請求項6に記載の装置。
- 明視野・照明光線路(4)の光学軸線(25)が、検査すべき物体(2)の表面(26)に対して実質的に垂直に立っている、又は、結像光学系(3)の物体面に対して実質的に垂直に立っていることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の装置。
- 物体(2)と検知器(8)の間で延在する検知光線路(9)の光学軸線(27)が、検査すべき物体(2)の表面(26)に対して実質的に垂直に立っている、又は、結像光学系(3)の物体面に対して実質的に垂直に立っていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載の装置。
- 暗視野・照明光線路(6)の光学軸線(28)が、少なくとも部分的に、明視野・照明光線路(4)の光学軸線(25)と同軸に及び/又は検知光線路(9)の光学軸線(27)と同軸であることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載の装置。
- 暗視野・照明光線路(6)の光学軸線(28)が、明視野・照明光線路(4)の光学軸線(25)に対して及び/又は検知光線路(9)の光学軸線(27)に対して5度と90度の間の角度(29)を有することを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載の装置。
- 明視野・光源(5)が、白色光源、好ましくは直流ランプとして形成されていることを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一項に記載の装置。
- 暗視野・光源(7)が、キセノン・フラッシュランプ、レーザ、又は、LED(Light-Emitting-Diode)又はLED装置として形成されていることを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載の装置。
- 検知器(8)がCCD・カメラとして形成されていることを特徴とする、請求項1〜13のいずれか一項に記載の装置。
- 制御コンピュータとの連結が成されていて、この制御コンピュータが、好ましくは記憶ユニットを有し、この記憶ユニット上に、検知された物体データが保存可能であることを特徴とする、請求項1〜14のいずれか一項に記載の装置。
- 物体(2)を検査するための方法であって、物体(2)が、一方では明視野照明のための明視野・光源(5)を用い、他方では暗視野照明のための暗視野・光源(7)を用いて同時に照明され、更に物体(2)が結像光学系(3)を用いて少なくとも1つの検知器(8)上に結像され、好ましくは請求項1〜16のいずれか一項に記載の装置を稼動させるための前記方法において、
暗視野照明のために用いられる光がパルス化され、暗視野照明のために用いられる光のパルス強度が、パルス間隔に関連付けられた強度であって明視野照明のために用いられるパルス化されていない光の強度より、少なくとも1オーダー分、大きいことを特徴とする方法。 - 物体検査が自動的に実行されることを特徴とする、請求項16に記載の方法。
- 装置(1)が、物体(2)を位置決めするポジショニングシステム(30)と連結されていること、及び、ポジショニングシステム(30)を用い、選択された物体領域が、自動的に検査位置に位置決めされることを特徴とする、請求項16又は17に記載の方法。
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