CN111707670B - 一种基于旋转载台的缺陷检测方法及装置 - Google Patents

一种基于旋转载台的缺陷检测方法及装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种基于旋转载台的缺陷检测方法及装置，方法包括：旋转载台带动检测对象作圆周运动；线扫相机位于旋转载台上方且成像方向垂直于圆周运动方向；线扫相机获得检测对象的线扫图像；基于线扫图像进行缺陷检测，获得缺陷信息。本发明使用线扫相机取样搭配频闪光源，在扫描过程中会依次在频闪明场与频闪暗场光照明下的图像，并对旋转载台上采集的线扫图像进行畸变的校正，将校正后的图像进行缺陷检测，输出缺陷特征信息。从而解决了现有需要重复扫描或者增加光学系统的不足问题，同时获得一种更加智能化、精度更高的缺陷检测方法及装置。

Description

一种基于旋转载台的缺陷检测方法及装置
技术领域
本发明涉及自动化检测领域，尤其涉及一种基于旋转载台的缺陷检测方法。
背景技术
目前，现有自动化检测由于空间受限、工位较多，因此检测设备采用旋转式布局。在旋转载台的光学检测应用中，一种采用面阵相机拍照，具体包括：旋转载台运动过程中间隔性停下，使用面阵相机拍照采集检测图像。另一种采用线阵相机拍照，具体包括：旋转载台将产品运输至线扫相机工位下，然后使用线扫相机进行直线式线扫描获取检测图像；其中，线扫描相机都是在LED背光环境下对产品表面摄像后得到信息。而在外观检应用中，检测缺陷类型较多，采用一次运动面阵相机检测到的缺陷信息过于单一，而线扫相机成像方向上线速度不一致容易引起的检测图像畸变。因此，亟需研究出一种更加智能化、效率更高、精度更高的缺陷检测方法及装置。
发明内容
本发明提供一种基于旋转载台的缺陷检测方法及系统。其中，本发明使用线扫相机取样搭配频闪光源，在扫描过程中会依次在频闪明场与频闪暗场光照明下的图像，并对旋转载台上采集的线扫图像进行畸变的校正，将校正后的图像进行缺陷检测，输出缺陷特征信息。从而解决了现有需要重复扫描或者增加光学系统的不足问题，同时获得一种更加智能化、精度更高的缺陷检测方法及装置。
本发明提供一种基于旋转载台的缺陷检测方法，所述方法包括：
所述旋转载台带动检测对象作圆周运动；
所述线扫相机位于旋转载台上方且成像方向垂直于圆周运动方向；
所述线扫相机获得检测对象的线扫图像；
基于所述线扫图像进行缺陷检测，获得缺陷信息。
进一步地，所述基于所述线扫图像进行缺陷检测包括：对所述线扫图像进行拼接，对拼接后的图像进行图像校正，根据校正后的图像进行缺陷检测。
进一步地，所述线扫相机获得检测对象的线扫图像包括：
利用明场光源和暗场光源根据预设的闪光频率将不同光路的光交替照射于检测对象表面；
线扫相机根据所述闪光频率交替获取所述明场光源下获得的明场线扫图像和所述暗场光源下的暗场线扫图像；
分别提取所述明场线扫图像和所述暗场线扫图像，对所述明场线扫图像进行拼接，获得明场图像，对所述暗场线扫图像进行拼接，获得暗场图像；
分别对所述明场图像和暗场图像进行校正，对校正后的图像进行缺陷检测。
进一步地，所述线扫相机的曝光频率为所述明场光源或所述暗场光源闪光频率的2倍。
进一步地，所述明场光源为线扫相机的同轴光源，所述暗场光源为位于所述线扫相机侧方的至少一个线性光源。
进一步地，所述旋转载台上放置多个检测对象。
本发明第二方面提供一种基于旋转载台的缺陷检测装置，所述装置包括：旋转载台、线扫相机和处理模块；
其中，所述旋转载台带动检测对象作圆周运动；
所述线扫相机位于旋转载台上方且成像方向垂直于圆周运动方向；
所述线扫相机获得检测对象的线扫图像；
所述处理模块基于所述线扫图像进行缺陷检测，获得缺陷信息。
进一步地，所述检测装置还包括固定装置，利用所述固定装置对所述检测对象进行固定。
进一步地，所述装置还包括明场光源和暗场光源；所述明场光源和暗场光源用于根据预设的闪光频率将不同光路的光交替照射于检测对象表面；所述线扫相机还用于根据所述闪光频率交替获取所述明场光源下获得的明场线扫图像和所述暗场光源下的暗场线扫图像；所述处理模块还用于分别提取所述明场线扫图像和所述暗场线扫图像，对所述明场线扫图像进行拼接，获得明场图像，对所述暗场线扫图像进行拼接，获得暗场图像；并分别对所述明场图像和暗场图像进行校正，对校正后的图像进行缺陷检测。
进一步地，所述线扫相机的曝光频率为所述明场光源或所述暗场光源闪光频率的2倍。
和现有技术相比，本发明提供的一种基于旋转载台的线扫CCD相机图像校正方法，具有以下有益技术效果：
1)本发明线扫取图不需要旋转载台停下，使得运行效率明显提高；
2)本发明在扫描过程中会依次在频闪明场与频闪暗场光照明下的图像，解决了现有需要重复扫描或者增加光学系统的不足问题，
3)本发明可以同时采集不同照明方式下的图像，提高取像效率与降低光学成本；解决了其他方案光学器件的制作难度与成本；
4)本发明可以在旋转载台上设置多个检测工位放置检测对象，从而实现多工位取放片，从而提高检测效率。
附图说明
图1为按照本发明实施例1实现的基于旋转载台的缺陷检测方法流程示例图；
图2为按照本发明实施例2实现的基于旋转载台的缺陷检测装置结构示例图(前视图)；
图3为按照本发明实施例2实现的基于旋转载台的缺陷检测装置结构示例图(俯视图)。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
本发明提供一种基于旋转载台的缺陷检测方法，方法包括：旋转载台带动检测对象旋转作圆周运动；线扫相机位于旋转载台上方且成像方向垂直于圆周运动方向；线扫相机获得检测对象的线扫图像；基于线扫图像进行缺陷检测，获得缺陷信息。
进一步地，基于线扫图像进行缺陷检测包括：对线扫图像进行拼接，对拼接后的图像进行图像校正，根据校正后的图像进行缺陷检测。旋转载台带动检测对象旋转，线扫相机位于旋转载台上方，并对旋转中的检测对象交替进行检测图像的采集；然后将检测图像分别进行拼接、校正转化为检测对象在旋转载台上的原始空间图像，从而获取缺陷信息。
进一步地，在检测过程中使用明场光源和暗场光源交替频闪进行图像采集。则线扫相机获得检测对象的线扫图像包括：利用明场光源和暗场光源根据预设的闪光频率将不同光路的光交替照射于检测对象表面；线扫相机根据闪光频率交替获取明场光源下获得的明场线扫图像和暗场光源下的暗场线扫图像；分别提取明场线扫图像和暗场线扫图像，对明场线扫图像进行拼接，获得明场图像，对暗场线扫图像进行拼接，获得暗场图像；分别对明场图像和暗场图像进行校正，对校正后的图像进行缺陷检测。
进一步地，线扫相机的曝光频率为明场光源或暗场光源闪光频率的2倍。
更进一步地，这是因为当旋转载台每移动单位距离时，明场光源和暗场光源分别频闪1次，线扫相机曝光取像2次。
更进一步地，当旋转载台每移动单位距离时，明场光源开启，线扫相机对检测对象进行明场图像的采集，采集完成后明场光源关闭；暗场光源开启，线扫相机对检测对象进行暗场图像的采集，采集完成后暗场光源关闭。
进一步地，明场光源为线扫相机的同轴光源，暗场光源为位于相机侧方的至少一个线性光源。
更进一步地，明场光源包括线光源和镜头分光镜，线光源经镜头分光镜形成平行光路垂直照射于检测对象表面；其中，镜头分光镜与垂直方向呈45度角放置。暗场光源位于相机侧方，其照射光路与垂直方向呈45至60度角；优选为包括4个线光源，分别位于线扫相机前方、后方、左方及右方；更优选为环形线光源，其围绕线扫相机进行设置。
进一步地，旋转载台上放置多个检测对象。优选地，旋转载台上设置多个检测工位，在每个检测工位上放置对应的样品或者待检测对象，旋转载台依次带动样品或者待检测对象经过线扫相机的镜头。
进一步地，当检测对象为面板时，明场光源用于识别面板表面的气泡、脏污、崩缺、划伤、条形码错误的缺陷信息；暗场光源用于识别面板表面的裂纹的缺陷信息。
本发明还一种基于旋转载台的缺陷检测装置，装置包括：旋转载台、线扫相机和处理模块；旋转载台带动检测对象旋转作圆周运动；线扫相机位于旋转载台上方且成像方向垂直于圆周运动方向；线扫相机获得检测对象的线扫图像；处理模块基于线扫图像进行缺陷检测，获得缺陷信息。
进一步地，该检测装置还包括固定装置，利用固定装置对检测对象进行固定。该检测对象被固定于旋转载台上移动，该固定装置可以是真空吸附装置，或者是其它任何能够对检测对象进行固定的装置。进一步地，装置还包括明场光源和暗场光源；明场光源和暗场光源用于根据预设的闪光频率将不同光路的光交替照射于检测对象表面；线扫相机还用于根据闪光频率交替获取明场光源下获得的明场线扫图像和暗场光源下的暗场线扫图像；处理模块还用于分别提取明场线扫图像和暗场线扫图像，对明场线扫图像进行拼接，获得明场图像，对暗场线扫图像进行拼接，获得暗场图像；并分别对明场图像和暗场图像进行校正，对校正后的图像进行缺陷检测。
进一步地，线扫相机的曝光频率为明场光源或暗场光源闪光频率的2倍。
实施例1
实施例1提出一种优选的基于旋转载台的缺陷检测方法，其流程图如图1所示，单件/一件测量开始时，载台开始旋转，线扫相机垂直于圆周运动方向，当检测对象经过线扫相机时明场光源开始闪烁，线扫相机曝光明场取像1次，随后暗场光源开始闪烁，线扫相机曝光暗场取像1次。其中，明场光源和暗场光源为交替闪烁，线扫相机分别对两个不同光源的图像进行取图，直至分别取完完整的待检测对象的明场线扫图像和暗场线扫图像，再将明场线扫图像和暗场线扫图像进行拼接形成明场图像和暗场图像，由此整个单件测量的取图完成；再将明场图像和暗场图分别进行算法校正，通过校正后的图像分析缺陷信息，输出缺陷结构。
实施例2
实施例2提出一种优选的基于旋转载台的缺陷检测装置，如图2和图3所示，装置包括旋转载台、线扫相机和处理模块。其中旋转载台包括转盘、电机和编码器；线扫相机包括镜头和相机，处理模块包括计算器模块。其中，旋转载台带动检测对象/样品作圆周运动；线扫相机位于旋转载台上方且成像方向垂直于圆周运动方向；线扫相机获得检测对象/样品的线扫图像；处理模块基于线扫图像进行缺陷检测，获得缺陷信息。
所述检测装置还包括固定装置，利用所述固定装置对所述检测对象进行固定。所述固定装置可以是真空吸附装置，或者是其它任何能够对检测对象进行固定的装置。
进一步地，该装置还包括明场光源、暗场光源和频闪控制模块，频闪控制模块可以设置于处理模块中，与计算器模块连接；旋转载台的编码器与频闪控制模块连接用于控制旋转载台的运动频率；频闪控制模块用于控制明场光源和暗场光源的闪光频率；明场光源和暗场光源根据闪光频率将不同光路交替照射于检测对象/样品表面；线扫相机还用于对旋转中的检测对象/样品进行明场图像和暗场图像的采集；计算机模块用于将明场图像和暗场图像分别进行拼接、校正转化为检测对象/样品在旋转载台上的原始空间图像，从而获取缺陷信息。其中，线扫相机的曝光频率为明场光源或暗场光源闪光频率的2倍。
进一步地，如图2和图3所示，明场光源包括线光源和镜头分光镜，线光源经镜头分光镜形成平行光路垂直照射于检测对象/样品表面；其中，镜头分光镜与垂直方向呈45度角放置，该镜头分光镜设置于线扫相机镜头的正下方，因此改明场光源为线扫相机的同轴光源。暗场光源分别由线光源1、线光源2、线光源3和线光源4组成，其设置于线扫相机镜头的侧下方，与垂直方向呈40-60度角。
需要说明的是，实施例1、实施例2、图1-3中“同轴光源”即为本发明所述的明场光源，“样品”即为本发明所述的检测对象，“相机模组”即为本发明所述的线扫相机。以上用语本领域技术人员通过阅读说明书可以准确明白其含义并与权利要求书相关术语对应。
根据本发明的另一种实施方式，还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现如上所述的基于旋转载台的缺陷检测方法。
应当理解，本发明的流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本发明的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本发明的实施例所属技术领域的技术人员所理解。
应当理解，本发明的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述实施方式中，多个步骤或方法可以用存储在存储器中且由合适的指令执行系统执行的软件或固件来实现。例如，如果用硬件来实现，和在另一实施方式中一样，可用本领域公知的下列技术中的任一项或他们的组合来实现：具有用于对数据信号实现逻辑功能的逻辑门电路的离散逻辑电路，具有合适的组合逻辑门电路的专用集成电路，可编程门阵列(PGA)，现场可编程门阵列(FPGA)等。
本技术领域的普通技术人员可以理解实现上述实施例方法携带的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件完成，所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，该程序在执行时，包括方法实施例的步骤之一或其组合。
此外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理模块中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个模块中。上述集成的模块既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能模块的形式实现。所述集成的模块如果以软件功能模块的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，也可以存储在一个计算机可读取存储介质中。
上述提到的存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。本发明的范围由所附权利要求及其等同限定。

Claims (8)

1.一种基于旋转载台的缺陷检测方法，其特征在于，所述方法包括：
所述旋转载台带动检测对象作圆周运动；
线扫相机位于旋转载台上方且成像方向垂直于圆周运动方向；
所述线扫相机获得检测对象的线扫图像，其中，在检测过程中利用明场光源和暗场光源交替频闪对旋转中的检测对象进行线扫图像的采集，直到获取完整检测对象的所述明场光源下的明场线扫图像和所述暗场光源下的暗场线扫图像；所述明场光源为线扫相机的同轴光源，所述暗场光源为位于所述线扫相机侧方的至少一个线性光源；
基于所述线扫图像进行缺陷检测，分别提取所述明场线扫图像和所述暗场线扫图像，对所述明场线扫图像进行拼接，获得明场图像，对所述暗场线扫图像进行拼接，获得暗场图像；并分别对所述明场图像和暗场图像进行校正，对校正后的图像进行缺陷检测，获得缺陷信息。
2.根据权利要求1所述的基于旋转载台的缺陷检测方法，其特征在于，所述线扫相机获得检测对象的线扫图像包括：
利用明场光源和暗场光源根据预设的闪光频率将不同光路的光交替照射于检测对象表面；
线扫相机根据所述闪光频率交替获取所述明场光源下获得的明场线扫图像和所述暗场光源下的暗场线扫图像。
3.根据权利要求2所述的基于旋转载台的缺陷检测方法，其特征在于，所述线扫相机的曝光频率为所述明场光源或所述暗场光源闪光频率的2倍。
4.根据权利要求1所述的基于旋转载台的缺陷检测方法，其特征在于，所述旋转载台上放置多个检测对象。
5.一种基于旋转载台的缺陷检测装置，其特征在于，所述装置包括：旋转载台、线扫相机、明场光源、暗场光源和处理模块；
其中，所述旋转载台带动检测对象作圆周运动；
所述线扫相机位于旋转载台上方且成像方向垂直于圆周运动方向；
所述线扫相机获得检测对象的线扫图像，其中，所述线扫相机用于在检测过程中利用明场光源和暗场光源交替频闪对旋转中的检测对象进行线扫图像的采集，直到获取完整检测对象的所述明场光源下的明场线扫图像和所述暗场光源下的暗场线扫图像；
所述明场光源为线扫相机的同轴线光源，所述暗场光源为位于所述线扫相机侧方的至少一个线性光源；
所述处理模块基于所述线扫图像进行缺陷检测，用于分别提取所述明场线扫图像和所述暗场线扫图像，对所述明场线扫图像进行拼接，获得明场图像，对所述暗场线扫图像进行拼接，获得暗场图像；并分别对所述明场图像和暗场图像进行校正，对校正后的图像进行缺陷检测，获得缺陷信息。
6.根据权利要求5所述的基于旋转载台的缺陷检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括固定装置，利用所述固定装置对所述检测对象进行固定。
7.根据权利要求5所述的基于旋转载台的缺陷检测装置，其特征在于，所述明场光源和暗场光源用于根据预设的闪光频率将不同光路的光交替照射于检测对象表面；所述线扫相机还用于根据所述闪光频率交替获取所述明场光源下获得的明场线扫图像和所述暗场光源下的暗场线扫图像。
8.根据权利要求7所述的基于旋转载台的缺陷检测装置，其特征在于，所述线扫相机的曝光频率为所述明场光源或所述暗场光源闪光频率的2倍。
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112333361A (zh) * 2020-10-30 2021-02-05 曰轮法寺 图像采集、目标检测、检测方法、装置、存储介质及设备
CN112461854B (zh) * 2020-11-03 2023-10-31 东莞市鼎力自动化科技有限公司 一种智能优化盖板终检aoi检测的方法及装置
CN112304974A (zh) * 2020-11-06 2021-02-02 长沙麦睛科技有限公司 一种使用人工智能检测复杂表面同轴类圆柱体产品缺陷的装置及方法
CN112730463B (zh) * 2020-12-24 2023-04-14 深圳华工量测工程技术有限公司 基于同轴光栅光源检测玻璃盖板缺陷的装置及方法
CN112666085B (zh) * 2021-01-08 2023-02-28 昆山精讯电子技术有限公司 一种载台及检测加工装置
CN112557408B (zh) * 2021-02-25 2021-07-06 中科慧远视觉技术(北京)有限公司 频闪阶梯照明缺陷检测系统
CN113030112B (zh) * 2021-05-26 2021-08-31 苏州高视半导体技术有限公司 基于条纹光源的多光场成像方法、电子设备及存储介质
CN113533352B (zh) * 2021-08-20 2023-02-10 合肥御微半导体技术有限公司 一种表面缺陷的检测系统及检测方法
CN113984790B (zh) * 2021-09-28 2024-08-30 歌尔光学科技有限公司 镜片质量检测方法及装置
CN113865830B (zh) * 2021-10-12 2024-07-05 苏州华兴源创科技股份有限公司 显示屏缺陷检测方法及系统
CN114199766B (zh) * 2021-11-30 2024-03-22 联想(北京)有限公司 一种表面缺陷检测装置及检测方法
CN114324372A (zh) * 2021-12-21 2022-04-12 苏州凌云视界智能设备有限责任公司 一种不锈钢卷材外观检测装置
CN115209136B (zh) * 2022-09-13 2022-12-13 荣旗工业科技(苏州)股份有限公司 一种线扫相机分时曝光检测方法、系统、装置及存储介质
CN116087104A (zh) * 2023-04-07 2023-05-09 苏州苏映视图像软件科技有限公司 一种线扫微距相机扫描系统和方法
CN118209560A (zh) * 2024-05-21 2024-06-18 浙江省计量科学研究院 一种高端轴承滚子复杂凸度工作曲面的表面缺陷检测系统及方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6407373B1 (en) * 1999-06-15 2002-06-18 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for reviewing defects on an object
JP2007327815A (ja) * 2006-06-07 2007-12-20 Hitachi High-Technologies Corp 欠陥検査方法及びその装置
JP2009031125A (ja) * 2007-07-27 2009-02-12 Nikon Corp 基板検査装置
CN103884650A (zh) * 2014-03-28 2014-06-25 北京大恒图像视觉有限公司 一种多光源线阵成像系统及方法
CN104897693A (zh) * 2015-06-12 2015-09-09 武汉中导光电设备有限公司 一种玻璃表面缺陷增强装置及其检测方法
CN106468668A (zh) * 2016-09-28 2017-03-01 北京凯视佳光电设备有限公司 工业相机圆柱检测方法
CN109142378A (zh) * 2018-09-17 2019-01-04 凌云光技术集团有限责任公司 一种显示材料外观缺陷检测装置
CN109884082A (zh) * 2019-03-27 2019-06-14 爱丁堡（南京）光电设备有限公司 一种光滑表面缺陷的检测方法
CN109991233A (zh) * 2019-04-30 2019-07-09 博众精工科技股份有限公司 一种光学检测装置及方法
CN110987970A (zh) * 2019-10-26 2020-04-10 惠州高视科技有限公司 物体表面缺陷检测系统及检测方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10239548A1 (de) * 2002-08-23 2004-03-04 Leica Microsystems Semiconductor Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion eines Objekts
US10215707B2 (en) * 2015-07-12 2019-02-26 Camtek Ltd. System for inspecting a backside of a wafer

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6407373B1 (en) * 1999-06-15 2002-06-18 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for reviewing defects on an object
JP2007327815A (ja) * 2006-06-07 2007-12-20 Hitachi High-Technologies Corp 欠陥検査方法及びその装置
JP2009031125A (ja) * 2007-07-27 2009-02-12 Nikon Corp 基板検査装置
CN103884650A (zh) * 2014-03-28 2014-06-25 北京大恒图像视觉有限公司 一种多光源线阵成像系统及方法
CN104897693A (zh) * 2015-06-12 2015-09-09 武汉中导光电设备有限公司 一种玻璃表面缺陷增强装置及其检测方法
CN106468668A (zh) * 2016-09-28 2017-03-01 北京凯视佳光电设备有限公司 工业相机圆柱检测方法
CN109142378A (zh) * 2018-09-17 2019-01-04 凌云光技术集团有限责任公司 一种显示材料外观缺陷检测装置
CN109884082A (zh) * 2019-03-27 2019-06-14 爱丁堡（南京）光电设备有限公司 一种光滑表面缺陷的检测方法
CN109991233A (zh) * 2019-04-30 2019-07-09 博众精工科技股份有限公司 一种光学检测装置及方法
CN110987970A (zh) * 2019-10-26 2020-04-10 惠州高视科技有限公司 物体表面缺陷检测系统及检测方法

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