JP2009537022A - 透明基板の欠陥の特性評価のための装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
12 透明基板
14 撮像システム
16 照明システム
18 画像処理システム
20 搬送システム
22 センサ
24 対物レンズ
26 線走査型カメラ
28,42 ガラス基板表面
30 線走査型カメラ光軸
32 表面法線
34,40,46 光源
36 レンズ
38,44,48 照明光軸
38',48' 反射光軸
45 ディフューザー
50 データバッファ
52 データ処理ユニット
55,56,57 データ回線
58 混入物
Claims (10)
- 透明基板(12)の欠陥を検出する方法であって、
前記基板(12)の一領域を、走査型撮像システム(14)に対して前記領域の暗視野照明を与えるために配置された、少なくとも1つの光源(46)で照明する工程、
前記基板領域を、前記走査型撮像システムに対して前記領域の明視野照明を与えるために配置された、少なくとも1つの光源(34)で照明する工程、
前記基板を前記走査型撮像システムに対して平行移動させる工程、および
前記基板を平行移動させながら前記走査型撮像システム(14)で前記基板の前記照明領域の少なくとも一部を走査することによって前記少なくとも1つの暗視野光源からの散乱光及び前記少なくとも1つの明視野光源からの光を同時に検出する工程、
を有してなる方法。 - 複数の暗視野光源で前記基板の前記領域を照明する工程をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 複数の明視野光源で前記基板の前記領域を照明する工程をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記明視野光源が白色光源であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記暗視野光源がレーザであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記明視野光源で前記基板を照明する工程に先立ち、前記明視野光源からの前記光を拡散させる工程をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの明視野光源及び前記少なくとも1つの暗視野光源の光強度が可変であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記基板が第1の表面及び第2の表面を有し、前記第1の表面及び前記第2の表面のいずれもが前記複数の明視野光源によって照明されることを特徴とする請求項2または3に記載の方法。
- 透明基板(12)の欠陥を検出するための装置(10)であって、
前記基板の一領域を照明するための少なくとも1つの明視野光源(34)、
前記基板の前記領域を照明するための少なくとも1つの暗視野光源(46)、
前記少なくとも1つの暗視野光源(46)からの散乱光及び前記少なくとも1つの明視野光源(34)からの光を同時に受け取るための撮像システム(14)、及び
前記撮像システム(14)に対して前記基板(12)を平行移動させるための平行移動手段、
を備えることを特徴とする装置、 - 前記撮像システムが走査型撮像システムであることを特徴とする請求項9に記載の装置。
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010249552A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Central Glass Co Ltd | ガラス板の欠陥識別方法および装置 |
JP2012042297A (ja) * | 2010-08-18 | 2012-03-01 | Kurabo Ind Ltd | 撮像光学検査装置 |
JP2012519265A (ja) * | 2009-02-27 | 2012-08-23 | サン−ゴバン グラス フランス | 基板の欠陥を検出するシステム及び方法 |
JP2013072971A (ja) * | 2011-09-27 | 2013-04-22 | Olympus Corp | 顕微鏡システムおよび照明強度調整方法 |
JP2014522988A (ja) * | 2011-08-08 | 2014-09-08 | グレンツェバッハ・マシーネンバウ・ゲーエムベーハー | 透明材料の材料欠陥の信頼できる検出を行う検出装置及び方法 |
JP2014163694A (ja) * | 2013-02-21 | 2014-09-08 | Omron Corp | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
JPWO2016092697A1 (ja) * | 2014-12-12 | 2017-09-21 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
WO2020105368A1 (ja) * | 2018-11-21 | 2020-05-28 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造方法、及びガラス板の製造装置 |
WO2021090827A1 (ja) * | 2019-11-05 | 2021-05-14 | 株式会社小糸製作所 | 検査装置 |
Families Citing this family (93)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005050882B4 (de) * | 2005-10-21 | 2008-04-30 | Isra Vision Systems Ag | System und Verfahren zur optischen Inspektion von Glasscheiben |
JP4931502B2 (ja) * | 2006-07-13 | 2012-05-16 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 表面検査方法及び検査装置 |
US7948617B2 (en) * | 2007-07-09 | 2011-05-24 | Fluke Corporation | Optical multiwavelength window contamination monitor for optical control sensors and systems |
KR101068364B1 (ko) * | 2007-07-11 | 2011-09-28 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 검사장비 및 그 검사방법 |
DE102007037812B4 (de) * | 2007-08-10 | 2023-03-16 | Carl Zeiss Optotechnik GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Oberflächenfehlern eines Bauteils |
DE102008006720A1 (de) * | 2008-01-30 | 2009-08-06 | Dr. Schenk Gmbh Industriemesstechnik | Vorrichtung zur Bestimmung der Tiefe eines Fehlers in einem Bahnmaterial |
JP2009276207A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Nikon Corp | 表面欠陥検査装置 |
EP2144052A1 (de) * | 2008-07-11 | 2010-01-13 | Dr. Schenk GmbH Industriemesstechnik | Verfahren und Vorrichtung zum Detektieren und Klassifizieren von Defekten |
SG158782A1 (en) * | 2008-07-28 | 2010-02-26 | Chan Sok Leng | Method and system for detecting micro-cracks in wafers |
SG158787A1 (en) * | 2008-07-28 | 2010-02-26 | Chan Sok Leng | Apparatus for detecting micro-cracks in wafers and method therefor |
US9881284B2 (en) | 2008-10-02 | 2018-01-30 | ecoATM, Inc. | Mini-kiosk for recycling electronic devices |
US10853873B2 (en) | 2008-10-02 | 2020-12-01 | Ecoatm, Llc | Kiosks for evaluating and purchasing used electronic devices and related technology |
US7881965B2 (en) | 2008-10-02 | 2011-02-01 | ecoATM, Inc. | Secondary market and vending system for devices |
CN105336044B (zh) * | 2008-10-02 | 2018-04-10 | 埃科亚特姆公司 | 针对设备的二手市场和自动售货系统 |
US8200533B2 (en) * | 2008-10-02 | 2012-06-12 | ecoATM, Inc. | Apparatus and method for recycling mobile phones |
US11010841B2 (en) | 2008-10-02 | 2021-05-18 | Ecoatm, Llc | Kiosk for recycling electronic devices |
SG163442A1 (en) * | 2009-01-13 | 2010-08-30 | Semiconductor Technologies & Instruments | System and method for inspecting a wafer |
SG164292A1 (en) * | 2009-01-13 | 2010-09-29 | Semiconductor Technologies & Instruments Pte | System and method for inspecting a wafer |
US20100195096A1 (en) * | 2009-02-04 | 2010-08-05 | Applied Materials, Inc. | High efficiency multi wavelength line light source |
CN101887030A (zh) * | 2009-05-15 | 2010-11-17 | 圣戈本玻璃法国公司 | 用于检测透明基板表面和/或其内部的缺陷的方法及系统 |
JP2013501211A (ja) * | 2009-07-31 | 2013-01-10 | サン−ゴバン グラス フランス | 基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステム |
CN101988908A (zh) * | 2009-07-31 | 2011-03-23 | 法国圣-戈班玻璃公司 | 用于对基板的缺陷进行区分的方法和系统 |
CN102023164B (zh) * | 2009-09-23 | 2015-09-16 | 法国圣-戈班玻璃公司 | 用于检测透明平板的局部缺陷的装置和方法 |
JP5572218B2 (ja) * | 2009-10-13 | 2014-08-13 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 検査方法及び装置 |
JP4726983B2 (ja) * | 2009-10-30 | 2011-07-20 | 住友化学株式会社 | 欠陥検査システム、並びに、それに用いる、欠陥検査用撮影装置、欠陥検査用画像処理装置、欠陥検査用画像処理プログラム、記録媒体、および欠陥検査用画像処理方法 |
KR101133209B1 (ko) * | 2010-02-23 | 2012-04-09 | 나노전광 주식회사 | 산란광에 의한 기판 표면의 결함 검출 장치 및 그 검출 방법 |
US20110279034A1 (en) * | 2010-04-14 | 2011-11-17 | Scott Lucas | Light fixture with flameless candle |
CN103119704A (zh) | 2010-07-23 | 2013-05-22 | 第一太阳能有限公司 | 在线计量系统及方法 |
WO2012138679A1 (en) | 2011-04-06 | 2012-10-11 | ecoATM, Inc. | Method and kiosk for recycling electronic devices |
DE102012102363A1 (de) * | 2011-08-17 | 2013-02-21 | Technische Universität Darmstadt | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Größe eines transparenten Teilchens |
KR101324015B1 (ko) * | 2011-08-18 | 2013-10-31 | 바슬러 비전 테크놀로지스 에이지 | 유리기판 표면 불량 검사 장치 및 검사 방법 |
US8773656B2 (en) * | 2011-08-24 | 2014-07-08 | Corning Incorporated | Apparatus and method for characterizing glass sheets |
JP5900726B2 (ja) * | 2011-09-05 | 2016-04-06 | 株式会社リコー | 光学センサ、画像形成装置及び判別方法 |
FR2983583B1 (fr) * | 2011-12-02 | 2013-11-15 | Saint Gobain | Dispositif d'analyse des defauts d'aspect d'un substrat transparent |
US8902428B2 (en) * | 2012-03-15 | 2014-12-02 | Applied Materials, Inc. | Process and apparatus for measuring the crystal fraction of crystalline silicon casted mono wafers |
US9885662B2 (en) * | 2012-07-06 | 2018-02-06 | Bt Imaging Pty Ltd | Methods for inspecting semiconductor wafers |
CN102798637B (zh) * | 2012-08-29 | 2014-12-03 | 北京大恒图像视觉有限公司 | 印刷品表面质量检测装置和方法 |
TWI470210B (zh) * | 2012-12-17 | 2015-01-21 | Taiwan Power Testing Technology Co Ltd | 顯示裝置之光學層件之缺陷檢測方法 |
TW201530121A (zh) * | 2014-01-27 | 2015-08-01 | Utechzone Co Ltd | 面板亮點檢測方法及系統 |
KR20160004099A (ko) * | 2014-07-02 | 2016-01-12 | 한화테크윈 주식회사 | 결함 검사 장치 |
JP6296499B2 (ja) * | 2014-08-11 | 2018-03-20 | 株式会社 東京ウエルズ | 透明基板の外観検査装置および外観検査方法 |
US10401411B2 (en) | 2014-09-29 | 2019-09-03 | Ecoatm, Llc | Maintaining sets of cable components used for wired analysis, charging, or other interaction with portable electronic devices |
EP3201885B1 (en) | 2014-10-02 | 2021-03-10 | ecoATM, LLC | Application for device evaluation and other processes associated with device recycling |
EP3201846A1 (en) | 2014-10-02 | 2017-08-09 | Ecoatm Inc. | Wireless-enabled kiosk for recycling consumer devices |
US10445708B2 (en) | 2014-10-03 | 2019-10-15 | Ecoatm, Llc | System for electrically testing mobile devices at a consumer-operated kiosk, and associated devices and methods |
WO2016069742A1 (en) | 2014-10-31 | 2016-05-06 | ecoATM, Inc. | Methods and systems for facilitating processes associated with insurance services and/or other services for electronic devices |
CA3056457A1 (en) | 2014-10-31 | 2016-05-06 | Mark Vincent Bowles | Systems and methods for recycling consumer electronic devices |
EP3215988A1 (en) | 2014-11-06 | 2017-09-13 | Ecoatm Inc. | Methods and systems for evaluating and recycling electronic devices |
US11080672B2 (en) | 2014-12-12 | 2021-08-03 | Ecoatm, Llc | Systems and methods for recycling consumer electronic devices |
IL243167B (en) * | 2014-12-18 | 2021-02-28 | Gordon Noam | Multiple light sources that can be separated by optical inspection |
CN106248684B (zh) * | 2015-06-03 | 2019-12-17 | 法国圣戈班玻璃公司 | 用于检测透明基底的内部瑕疵的光学装置及方法 |
CN105675186B (zh) * | 2016-01-26 | 2018-09-18 | 中国科学院声学研究所 | 基于动态光弹性系统的应力测量方法 |
US10127647B2 (en) | 2016-04-15 | 2018-11-13 | Ecoatm, Llc | Methods and systems for detecting cracks in electronic devices |
KR102499831B1 (ko) * | 2016-05-23 | 2023-02-14 | 코닝 인코포레이티드 | 글라스 시트의 무중력 형상 예측 방법 및 무중력 형상 기반 글라스 시트 품질 관리 방법 |
US9885672B2 (en) | 2016-06-08 | 2018-02-06 | ecoATM, Inc. | Methods and systems for detecting screen covers on electronic devices |
US10269110B2 (en) | 2016-06-28 | 2019-04-23 | Ecoatm, Llc | Methods and systems for detecting cracks in illuminated electronic device screens |
NL2017108B1 (en) * | 2016-07-05 | 2018-01-12 | Kipp & Zonen B V | Method and device determining soiling of a shield |
WO2018009064A1 (en) * | 2016-07-05 | 2018-01-11 | Kipp & Zonen B.V. | Method and device determining soiling of a shield |
JP6759812B2 (ja) * | 2016-07-29 | 2020-09-23 | オムロン株式会社 | 欠陥検査装置、および欠陥検査方法 |
CN107884318B (zh) * | 2016-09-30 | 2020-04-10 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种平板颗粒度检测方法 |
US10677739B2 (en) | 2016-11-02 | 2020-06-09 | Corning Incorporated | Method and apparatus for inspecting defects on transparent substrate |
KR102492294B1 (ko) * | 2016-11-02 | 2023-01-27 | 코닝 인코포레이티드 | 투명 기판 상의 결함 검사 방법 및 장치, 및 입사광 조사 방법 |
CN108072659B (zh) * | 2016-11-11 | 2022-05-31 | 三星显示有限公司 | 多光学视觉设备 |
JP6788837B2 (ja) * | 2017-01-06 | 2020-11-25 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の検査方法及びその製造方法並びにガラス板の検査装置 |
CN106885809B (zh) * | 2017-04-11 | 2019-03-15 | 安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司 | 一种ito导电玻璃缺陷检测成像方法 |
CN107607549A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-01-19 | 深圳精创视觉科技有限公司 | 玻璃缺陷检测装置 |
CN107945152A (zh) * | 2017-10-27 | 2018-04-20 | 深圳市创科自动化控制技术有限公司 | 工业相机的缺陷检测控制系统及方法 |
CN107957425A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-04-24 | 湖南科创信息技术股份有限公司 | 透明材料缺陷检测系统及方法 |
CN108267460A (zh) * | 2018-02-26 | 2018-07-10 | 湖南科创信息技术股份有限公司 | 用于透明材料缺陷检测的矩阵式视觉检测系统和方法 |
CN109085166B (zh) * | 2018-06-14 | 2021-09-14 | 天津大学 | 基于自调节窗口的塑料气泡检测方法 |
CN109030495A (zh) * | 2018-06-26 | 2018-12-18 | 大连鉴影光学科技有限公司 | 一种基于机器视觉技术的光学元件缺陷检测方法 |
KR102632169B1 (ko) * | 2018-11-12 | 2024-02-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유리기판 검사 장치 및 방법 |
AU2019404076A1 (en) | 2018-12-19 | 2021-07-15 | Ecoatm, Llc | Systems and methods for vending and/or purchasing mobile phones and other electronic devices |
WO2020167846A1 (en) | 2019-02-12 | 2020-08-20 | Ecoatm, Llc | Kiosk for evaluating and purchasing used electronic devices |
AU2020222971A1 (en) | 2019-02-12 | 2021-09-23 | Ecoatm, Llc | Connector carrier for electronic device kiosk |
JP2021530793A (ja) | 2019-02-18 | 2021-11-11 | エコエーティーエム, エルエルシー | 電子デバイスの物理的状態評価に基づくニューラルネットワーク、および関連付けられるシステムおよび方法 |
US10767977B1 (en) * | 2019-02-28 | 2020-09-08 | Lumina Instruments Inc. | Scattered radiation defect depth detection |
CN110208269B (zh) * | 2019-05-17 | 2021-08-20 | 高视科技(苏州)有限公司 | 一种玻璃表面异物与内部异物区分的方法及系统 |
WO2021052463A1 (zh) * | 2019-09-20 | 2021-03-25 | 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 检测系统及检测方法 |
CN110441321B (zh) * | 2019-10-10 | 2019-12-31 | 征图新视(江苏)科技股份有限公司 | 基于分时曝光图像综合的透明材质内部缺陷检测方法 |
JP7191801B2 (ja) * | 2019-11-06 | 2022-12-19 | 株式会社東芝 | 光学検査装置 |
CN112782175A (zh) * | 2019-11-11 | 2021-05-11 | 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 一种检测设备及检测方法 |
CN113447485A (zh) * | 2020-03-26 | 2021-09-28 | 捷普电子(新加坡)公司 | 光学检测方法 |
US11922467B2 (en) | 2020-08-17 | 2024-03-05 | ecoATM, Inc. | Evaluating an electronic device using optical character recognition |
EP3968012A1 (en) * | 2020-09-11 | 2022-03-16 | Schott Ag | Apparatus for the inspection of a circular elongated element |
CN112666162B (zh) * | 2020-12-17 | 2023-03-10 | 苏州天禄光科技股份有限公司 | 一种导光板网点密度检测设备及其检测方法 |
KR102542814B1 (ko) * | 2021-01-21 | 2023-06-14 | 주식회사 나노프로텍 | 투명 기판 검사 장치 및 투명기판 검사 방법 |
CN113484333B (zh) * | 2021-09-08 | 2021-12-14 | 苏州高视半导体技术有限公司 | 多层结构屏幕的异物缺陷区分方法、电子设备及存储介质 |
CN113865830A (zh) * | 2021-10-12 | 2021-12-31 | 苏州华兴源创科技股份有限公司 | 显示屏缺陷检测方法及系统 |
CN114113135A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-03-01 | 北京兆维科技开发有限公司 | 一种区分玻璃盖板上下表面异物缺陷的方法 |
CN114264664A (zh) * | 2021-12-22 | 2022-04-01 | 上海理工大学 | 一种基于明暗场和结构光检测的缺陷检测系统 |
CN115165926B (zh) * | 2022-07-29 | 2024-01-19 | 湖南科洛德科技有限公司 | 压延玻璃缺陷检测系统 |
CN117250203A (zh) * | 2023-11-10 | 2023-12-19 | 深圳市玻尔智造科技有限公司 | 一种石墨卷材检测方法与系统 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0552762A (ja) * | 1990-12-27 | 1993-03-02 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | ガラス板の異物検出装置 |
JPH11311510A (ja) * | 1998-04-27 | 1999-11-09 | Asahi Glass Co Ltd | 微小凹凸の検査方法および検査装置 |
JPH11337504A (ja) * | 1998-05-26 | 1999-12-10 | Central Glass Co Ltd | ガラス板の欠陥識別検査方法および装置 |
JP2003240725A (ja) * | 2002-02-20 | 2003-08-27 | Tokimec Inc | 外観検査装置及び外観検査方法 |
JP2005536732A (ja) * | 2002-08-23 | 2005-12-02 | ライカ マイクロシステムス セミコンダクタ ゲーエムベーハー | 物体を検査するための装置及び方法 |
JP2006220644A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-08-24 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン検査方法及びその装置 |
JP2008545165A (ja) * | 2005-06-30 | 2008-12-11 | ケーエルエー−テンカー テクノロジィース コーポレイション | 反射屈折光学系におけるレーザ暗視野照明のビーム送出システム |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3792930A (en) * | 1973-05-31 | 1974-02-19 | Ppg Industries Inc | System for determining the nature of optical distortion in glass |
JPH04168351A (ja) | 1990-10-31 | 1992-06-16 | Taiyo Eretsukusu Kk | 透光体の欠陥検知装置 |
IL96483A (en) * | 1990-11-27 | 1995-07-31 | Orbotech Ltd | Optical inspection method and apparatus |
FR2697086B1 (fr) * | 1992-10-20 | 1994-12-09 | Thomson Csf | Procédé et dispositif d'inspection de matériau transparent. |
IL104708A (en) * | 1993-02-12 | 1995-12-31 | Orbotech Ltd | Device and method for optical inspection of items |
JPH07234187A (ja) | 1994-02-24 | 1995-09-05 | G T C:Kk | ガラス基板の表面欠点検出方法およびその装置 |
JPH08327561A (ja) | 1995-06-05 | 1996-12-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 連続シート状物体の欠点検査装置 |
US5831725A (en) * | 1996-10-16 | 1998-11-03 | Atlas Electric Devices Co. | Two-mode surface defect testing system |
DE19720308C2 (de) | 1997-05-15 | 1999-05-20 | Parsytec Computer Gmbh | Vorrichtung zur kontinuierlichen Detektion von Fehlern nach Größe und Art auf der Oberfläche eines bewegten Materials |
US6909500B2 (en) * | 2001-03-26 | 2005-06-21 | Candela Instruments | Method of detecting and classifying scratches, particles and pits on thin film disks or wafers |
DE19813072A1 (de) * | 1998-03-25 | 1999-09-30 | Laser Sorter Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der optischen Qualität und zur Detektion von Fehlern von Flachglas und anderen optisch transparenten Materialien |
JP3544323B2 (ja) * | 1998-08-31 | 2004-07-21 | セントラル硝子株式会社 | 透明板の表面粗さ検査方法および装置 |
US6618136B1 (en) * | 1998-09-07 | 2003-09-09 | Minolta Co., Ltd. | Method and apparatus for visually inspecting transparent body and translucent body |
CA2252308C (en) * | 1998-10-30 | 2005-01-04 | Image Processing Systems, Inc. | Glass inspection system |
IL126866A (en) * | 1998-11-02 | 2003-02-12 | Orbotech Ltd | Apparatus and method for fabricating flat workpieces |
US20010030744A1 (en) * | 1999-12-27 | 2001-10-18 | Og Technologies, Inc. | Method of simultaneously applying multiple illumination schemes for simultaneous image acquisition in an imaging system |
WO2002025708A2 (en) * | 2000-09-20 | 2002-03-28 | Kla-Tencor-Inc. | Methods and systems for semiconductor fabrication processes |
DE10057036C2 (de) * | 2000-11-17 | 2002-12-12 | Basler Ag | Inspektionssystem für Flachgläser in der Displayfertigung |
DE10102557B4 (de) | 2001-01-20 | 2005-11-17 | Visotec Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Überprüfung von scheibenförmigen Werkstücken auf Oberflächen-oder Einschlußfehler |
US6781687B2 (en) * | 2002-09-26 | 2004-08-24 | Orbotech Ltd. | Illumination and image acquisition system |
US20040207836A1 (en) * | 2002-09-27 | 2004-10-21 | Rajeshwar Chhibber | High dynamic range optical inspection system and method |
US7525659B2 (en) * | 2003-01-15 | 2009-04-28 | Negevtech Ltd. | System for detection of water defects |
DE10316707B4 (de) * | 2003-04-04 | 2006-04-27 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung von Fehlern in transparentem Material |
US20050146719A1 (en) * | 2003-09-26 | 2005-07-07 | Rajeshwar Chhibber | Method and apparatus for illuminating a substrate during inspection |
DE102004005019A1 (de) | 2004-01-30 | 2005-08-18 | Isra Glass Vision Gmbh | Verfahren zur Bestimmung der Tiefe eines Fehlers in einem Glasband |
JP2006029881A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-02-02 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン欠陥検査方法および装置 |
EP1794577A4 (en) | 2004-09-17 | 2010-10-06 | Wdi Wise Device Inc | OPTICAL INSPECTION OF FLAT MEDIA USING DIRECT PICTURE TECHNOLOGY |
-
2007
- 2007-03-28 US US11/729,299 patent/US7567344B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-05-09 KR KR1020087030094A patent/KR101326455B1/ko active IP Right Grant
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- 2007-05-09 JP JP2009510980A patent/JP5175842B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-05-11 TW TW096116996A patent/TWI372244B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0552762A (ja) * | 1990-12-27 | 1993-03-02 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | ガラス板の異物検出装置 |
JPH11311510A (ja) * | 1998-04-27 | 1999-11-09 | Asahi Glass Co Ltd | 微小凹凸の検査方法および検査装置 |
JPH11337504A (ja) * | 1998-05-26 | 1999-12-10 | Central Glass Co Ltd | ガラス板の欠陥識別検査方法および装置 |
JP2003240725A (ja) * | 2002-02-20 | 2003-08-27 | Tokimec Inc | 外観検査装置及び外観検査方法 |
JP2005536732A (ja) * | 2002-08-23 | 2005-12-02 | ライカ マイクロシステムス セミコンダクタ ゲーエムベーハー | 物体を検査するための装置及び方法 |
JP2006220644A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-08-24 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン検査方法及びその装置 |
JP2008545165A (ja) * | 2005-06-30 | 2008-12-11 | ケーエルエー−テンカー テクノロジィース コーポレイション | 反射屈折光学系におけるレーザ暗視野照明のビーム送出システム |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012519265A (ja) * | 2009-02-27 | 2012-08-23 | サン−ゴバン グラス フランス | 基板の欠陥を検出するシステム及び方法 |
JP2010249552A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Central Glass Co Ltd | ガラス板の欠陥識別方法および装置 |
JP2012042297A (ja) * | 2010-08-18 | 2012-03-01 | Kurabo Ind Ltd | 撮像光学検査装置 |
JP2014522988A (ja) * | 2011-08-08 | 2014-09-08 | グレンツェバッハ・マシーネンバウ・ゲーエムベーハー | 透明材料の材料欠陥の信頼できる検出を行う検出装置及び方法 |
JP2013072971A (ja) * | 2011-09-27 | 2013-04-22 | Olympus Corp | 顕微鏡システムおよび照明強度調整方法 |
JP2014163694A (ja) * | 2013-02-21 | 2014-09-08 | Omron Corp | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
JPWO2016092697A1 (ja) * | 2014-12-12 | 2017-09-21 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
WO2020105368A1 (ja) * | 2018-11-21 | 2020-05-28 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造方法、及びガラス板の製造装置 |
JP2020085587A (ja) * | 2018-11-21 | 2020-06-04 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造方法、及びガラス板の製造装置 |
WO2021090827A1 (ja) * | 2019-11-05 | 2021-05-14 | 株式会社小糸製作所 | 検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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US7567344B2 (en) | 2009-07-28 |
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