WO2021090827A1

WO2021090827A1 - 検査装置

Info

Publication number: WO2021090827A1
Application number: PCT/JP2020/041175
Authority: WO
Inventors: 康弘亀岡
Original assignee: 株式会社小糸製作所
Priority date: 2019-11-05
Filing date: 2020-11-04
Publication date: 2021-05-14
Also published as: JPWO2021090827A1

Abstract

検査装置（１）は、凸状に湾曲する一方の面（６０Ｓ１）と一方の面（６０Ｓ１）と対向し凹状に湾曲する他方の面（６０Ｓ２）とを含み透光性を有する被検査物（６０）を基準として他方の面（６０Ｓ２）側に配置されて他方の面（６０Ｓ２）に光Ｌ１を照射する照明ユニット（２１）と、被検査物（６０）を基準として一方の面（６０Ｓ１）側に配置され被検査物（６０）を透過する照明ユニット（２１）からの光（Ｌ１）を撮像する撮像ユニット（３０）と、撮像ユニット（３０）が撮像した画像に基づいて、被検査物（６０）の一方の面（６０Ｓ１）及び他方の面（６０Ｓ２）における欠陥の有無を判断する検査部（４０）と、を備える。

Description

検査装置

　本発明は、透光性を有する被検査物の表面の欠陥の有無を検査する検査装置に関する。

　透光性を有する被検査物の表面の欠陥の有無を検査する検査装置において、欠陥の検出確度を向上させるために様々な構成が検討されている。例えば、下記特許文献１には、透光性を有する被検査物に光を照射する照明部と、被検査物を挟んで照明部に対向し被検査物を透過する照明部からの光を撮像する撮像部とを備える検査装置が開示されている。この検査装置では、撮像部によって撮像された画像に基づいて被検査物の表面の欠陥の有無が判断される。

特開２００９－１８０６０１号公報

　例えば、灯具における光を透過するアウターカバーの表面に付着する異物等の欠陥を検査するために、上記特許文献１に記載の検査装置を用いることが考えられる。一般的に、アウターカバーは、凸状に湾曲する前面と、この前面と対向し凹状に湾曲する後面と、を含んでいる。また、アウターカバーの外周縁には、後面から突出するリブが設けられる場合があり、例えばこのリブが灯具の他の部材に取り付けられる。

　本発明の第１の態様による検査装置は、凸状に湾曲する一方の面と前記一方の面と対向し凹状に湾曲する他方の面とを含み透光性を有する被検査物を基準として前記他方の面側に配置されて前記他方の面に光を照射する照明ユニットと、前記被検査物を基準として前記一方の面側に配置され前記被検査物を透過する前記照明ユニットからの光を撮像する撮像ユニットと、前記撮像ユニットが撮像した画像に基づいて、前記被検査物の前記一方の面及び前記他方の面における欠陥の有無を判断する検査部と、を備えることを特徴とする。

　第１の態様のこの検査装置では、照明ユニットは凹状に湾曲する他方の面に光を照射する。このため、例えば被検査物の外周縁に他方の面から突出するリブが設けられる場合、照明ユニットからの光がこのリブと他方の面との境界やリブ等で反射して他方の面に向かうことがある。このように他方の面に向かう光の一部は、当該他方の面で反射する。第１の態様のこの検査装置では、上記のように撮像ユニットは被検査物を基準として一方の面側に配置されているため、このように他方の面で反射する光が撮像ユニットに入射することが抑制される。また、他方の面に向かう光の他の一部は、他の一部は他方の面から被検査物に入射して一方の面から出射する。第１の態様のこの検査装置では、上記のように一方の面は凸状に湾曲しているため、このように他方の面から被検査物に入射する光を一方の面から拡散するように出射し得、この光が撮像ユニットに入射することが抑制される。このため、照明ユニットからの光がリブと他方の面との境界やリブ等で反射してこの反射した光が撮像ユニットによって撮像された画像に映り込み難い。従って、第１の態様のこの検査装置は、被検査物の外周縁に他方の面から突出するリブが設けられる場合であっても、被検査物の表面の欠陥の検出確度が低下することを抑制し得る。

　また、第１の態様の検査装置では、前記照明ユニットは、前記被検査物の前記他方の面に第１方向から光を照射する第１照明部と、前記被検査物の前記他方の面に前記第１方向と異なる第２方向から光を照射する第２照明部とを有し、前記撮像ユニットは、前記被検査物を透過する前記第１照明部からの光及び前記第２照明部からの光をそれぞれ個別に撮像することとしてもよい。

　第１の態様のこの検査装置では、検査部は、第１方向から被検査物の他方の面に照射されて当該被検査物を透過する第１照明部からの光が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断する。更に、検査部は、第１方向と異なる第２方向から被検査物の他方の面に照射されて当該被検査物を透過する第２照明部からの光が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断する。つまり、第１照明部によって被検査物の他方の面に第１方向から光が照射される場合と、第２照明部によって被検査物の他方の面に第１方向と異なる第２方向から光が照射される場合とのそれぞれにおいて、検査部が欠陥の有無を判断する。第１方向と第２方向とは互いに異なるため、第１方向から光が照射される場合における被検査物の欠陥に起因する光の吸収、反射、屈折等は、第２方向から光が照射される場合と異なる。このため、第１方向から光が照射される場合における画像に映し出され難くかった欠陥が第２方向から光が照射される場合における画像に映し出され易くなったり、第２方向から光が照射される場合における画像に映し出され難くかった欠陥が第２方向から光が照射される場合における画像に映し出され易くなったりし得る。このため、第１の態様のこの検査装置は、照明ユニットが第２照明部を有さない場合と比べて、被検査物の欠陥の検出確度が低下することを抑制し得る。

　また、第１の態様の検査装置では、照明ユニットが第１照明部と第２照明部とを有する場合、前記第１照明部が前記被検査物の前記他方の面に光を照射する時期と前記第２照明部が前記被検査物の前記他方の面に光を照射する時期とが互いに異なることとしてもよい。

　このような構成にすることで、第１照明部からの光が撮像された画像に第２照明部からの光が映り込むことがない。また、第２照明部からの光が撮像された画像に第１照明部からの光が映り込むことがない。このため、撮像部は、例えば第１照明部からの光を撮像する第１撮像部と、第２照明部からの光を撮像する第２撮像部とを有していなくても、第１照明部からの光及び第２照明部からの光をそれぞれ個別に撮像し得る。

　また、第１の態様の検査装置では、照明ユニットが第１照明部と第２照明部とを有する場合、前記撮像ユニットは、前記第１照明部の光軸と平行で前記第１照明部の光の出射面を通る第１直線と交わるとともに前記第２照明部の光軸と平行で前記第２照明部の光の出射面を通る第２直線と交わらず、前記検査部は、前記第１照明部からの光が撮像された画像における暗部から前記欠陥の無を判断するとともに、前記第２照明部からの光が撮像された画像における明部から前記欠陥の有無の判断することとしてもよい。

　被検査物に欠陥がある場合、被検査物に照射される光のうち欠陥に入射する光の多くは欠陥で吸収されたり欠陥で反射したりする。一方、欠陥に入射しない光の多くは被検査物を透過する。第１の態様のこの検査装置では、上記のように撮像ユニットは第１照明部の光軸と平行で第１照明部の光の出射面を通る第１直線と交わるため、撮像ユニットは、第１照明部からの光のうち欠陥に入射せずに被検査物を透過する光を撮像し得る。このため、第１照明部からの光が撮像された画像において欠陥が暗部として映し出されるようにし得る。また、第１の態様のこの検査装置では、上記のように撮像ユニットは第２照明部の光軸と平行で第２照明部の光の出射面を通る第２直線と交わらないため、撮像ユニットは、第２照明部からの光のうち欠陥に入射して当該欠陥で反射する光を撮像しつつ欠陥に入射せずに被検査物を透過する光を撮像しないようにし得る。このため、第２照明部からの光が撮像された画像において欠陥が明部として映し出されるようにし得る。ところで、光は拡散しながら伝搬するため、欠陥が髪の毛や糸屑等のように細く繊維状のものである場合、このような欠陥は第１照明部からの光が撮像された画像において暗部として映し出されにくい傾向にある。しかし、第１の態様のこの検査装置では、第２照明部からの光が撮像された画像においてこのような欠陥が明部として映し出されるようにし得る。従って、第１の態様のこの検査装置は、欠陥が繊維状の異物等の細いものであっても検出し得る。

　或いは、照明ユニットが第１照明部と第２照明部とを有する場合、前記撮像ユニットは、前記被検査物を透過する前記第１照明部からの光を撮像する第１撮像部と、前記被検査物を透過する前記第２照明部からの光を撮像する第２撮像部とを有し、前記第１撮像部は、前記第１照明部の光軸と平行で前記第１照明部の光の出射面を通る第１直線と交わり、前記第２撮像部は、前記第２照明部の光軸と平行で前記第２照明部の光の出射面を通る第２直線と交わらず、前記検査部は、前記第１撮像部によって撮像された画像における暗部から前記欠陥の有無を判断するとともに、前記第２撮像部によって撮像された画像における明部から前記欠陥の有無を判断することとしてもよい。

　第１の態様のこの検査装置では、上記のように第１撮像部は、第１照明部の光軸と平行で第１照明部の光の出射面を通る第１直線と交わる。このため、前述のように第１撮像部によって第１照明部からの光が撮像された画像において欠陥が暗部として映し出されるようにし得る。また、上記のように第２撮像部は、第２照明部の光軸と平行で第２照明部の光の出射面を通る第２直線と交わらない。このため、前述のように第２撮像部によって第２照明部からの光が撮像された画像において欠陥が明部として映し出されるようにし得る。従って、このような構成の検査装置であっても繊維状の異物等の細い欠陥を検出し得る。

　また、第１の態様の検査装置では、撮像部が第１直線と交わるとともに第２直線と交わらない場合、及び、撮像部が第１撮像部と第２撮像部とを有する場合、前記第２照明部からの前記光は、コリメート光または前記被検査物の前記他方の面に集光する光であることとしてもよい。

　このような構成にすることで、第２照明部からの光が拡散光である場合と比べて、欠陥が明部として映し出される際の明部の輝度を高くし得、繊維状の異物等の細い欠陥の検出確度を高くし得る。

　また、第１の態様の検査装置では、前記撮像ユニットは、前記照明ユニットの光軸と平行で前記照明ユニットの光の出射面を通る直線と交わり前記被検査物を透過する前記照明ユニットからの光を撮像する第１撮像部と、前記直線と交わらず前記被検査物を透過する前記照明ユニットからの光を撮像する第２撮像部とを有し、前記検査部は、前記第１撮像部によって撮像された画像における暗部から前記欠陥の有無を判断するとともに、前記第２撮像部によって撮像された画像における明部から前記欠陥の有無を判断することとしてもよい。

　第１の態様のこの検査装置では、上記のように第１撮像部は、照明ユニットの光軸と平行で照明ユニットの光の出射面を通る直線と交わる。このため、前述のように第１撮像部によって照明ユニットからの光が撮像された画像において欠陥が暗部として映し出されるようにし得る。また、上記のように第２撮像部は、照明ユニットの光軸と平行で照明ユニットの光の出射面を通る直線と交わらない。このため、前述ように第２撮像部によって照明ユニットからの光が撮像された画像において欠陥が明部として映し出されるようにし得る。従って、このような構成の検査装置であっても繊維状の異物等の細い欠陥を検出し得る。

　本発明の第２の態様による検査装置は、凸状に湾曲する一方の面と前記一方の面と対向し凹状に湾曲する他方の面とを含み透光性を有する被検査物を基準として前記一方の面側に配置されて前記一方の面に光を照射する照明ユニットと、前記被検査物を基準として前記他方の面側に配置され前記被検査物を透過する前記照明ユニットからの光を撮像する撮像ユニットと、前記撮像ユニットが撮像した画像に基づいて、前記被検査物の前記一方の面及び前記他方の面における欠陥の有無を判断する検査部と、を備えることを特徴とする。

　例えば、被検査物の外周縁に他方の面から突出するリブが設けられる場合、リブを透過する光やリブで反射する光が撮像部によって撮像される画像に映り込むことがある。このようなリブが設けられるとともに、照明ユニットが被検査物を基準として他方の面側に配置され、撮像ユニットが被検査物を基準として一方の面側に配置される場合、照明ユニットからの光のうちリブから撮像ユニットに向かう光は、リブの近傍における他方の面や一方の面を介して撮像ユニットに向かうようになり易い。この場合、リブから撮像ユニットに向かう光の多くは、リブを介さずにリブの近傍における他方の面や一方の面を介して撮像ユニットに向かう光と重なって撮像ユニットに入射し易い。つまり、撮像部によって撮像される画像において、リブからの光がリブの近傍における他方の面や一方の面と重なり易い。このため、リブから撮像ユニットに向かう光によって、リブの近傍における他方の面や一方の面における欠陥を適切に検出できなくなる傾向がある。一方、第２の態様によるこの検査装置では、上記のように、照明ユニットは被検査物を基準として一方の面側に配置され、撮像ユニットは被検査物を基準として他方の面側に配置される。このため、上記のように被検査物の外周縁に他方の面から突出するリブが設けられる場合、照明ユニットからの光のうち、一方の面から被検査物に入射する光の一部や、一方の面から被検査物に入射して当該被検査物の他方の面から出射する光の一部は、リブに入射したりリブで反射したりして撮像ユニットに向かう場合がある。このようにリブから光が撮像ユニットに向かったとしても、当該光はリブの近傍における他方の面や一方の面を介さずに撮像ユニットに向かい易い。このため、照明ユニットが被検査物を基準として他方の面側に配置され、撮像ユニットが被検査物を基準として一方の面側に配置される場合と比べて、リブから光が撮像ユニットに向かったとしても、当該光は、リブを介さずにリブの近傍における他方の面や一方の面を介して撮像ユニットに向かう光と重なり難く、リブの近傍における他方の面や一方の面における欠陥を適切に検出できなくなることを抑制し得る。従って、第２の態様によるこの検査装置は、被検査物の外周縁に他方の面から突出するリブが設けられて当該リブから光が撮像ユニットに向かったとしても、被検査物の表面の欠陥の検査範囲が狭くなることを抑制し得る。

　また、第２の態様の検査装置では、前記照明ユニットは、前記被検査物の前記一方の面に第１方向から光を照射する第１照明部と、前記被検査物の前記一方の面に前記第１方向と異なる第２方向から光を照射する第２照明部とを有し、前記撮像ユニットは、前記被検査物を透過する前記第１照明部からの光及び前記第２照明部からの光をそれぞれ個別に撮像することとしてもよい。

　第２の態様によるこの検査装置では、検査部は、第１方向から被検査物の一方の面に照射されて当該被検査物を透過する第１照明部からの光が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断する。更に、検査部は、第１方向と異なる第２方向から被検査物の一方の面に照射されて当該被検査物を透過する第２照明部からの光が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断する。つまり、第１照明部によって被検査物の一方の面に第１方向から光が照射される場合と、第２照明部によって被検査物の一方の面に第１方向と異なる第２方向から光が照射される場合とのそれぞれにおいて、検査部が欠陥の有無を判断する。第１方向と第２方向とは互いに異なるため、第１方向から光が照射される場合における被検査物の欠陥に起因する光の吸収、反射、屈折等は、第２方向から光が照射される場合と異なる。このため、第１方向から光が照射される場合における画像に映し出され難くかった欠陥が第２方向から光が照射される場合における画像に映し出され易くなったり、第２方向から光が照射される場合における画像に映し出され難くかった欠陥が第２方向から光が照射される場合における画像に映し出され易くなったりし得る。このため、第２の態様によるこの検査装置は、照明ユニットが第２照明部を有さない場合と比べて、被検査物の欠陥の検出確度が低下することを抑制し得る。

　また、第２の態様の検査装置では、照明ユニットが第１照明部と第２照明部とを有する場合、前記第１照明部が前記被検査物の前記一方の面に光を照射する時期と前記第２照明部が前記被検査物の前記一方の面に光を照射する時期とが互いに異なることとしてもよい。

　また、第２の態様の検査装置では、照明ユニットが第１照明部と第２照明部とを有する場合、前記撮像ユニットは、前記第１照明部の光軸と平行で前記第１照明部の光の出射面を通る第１直線と交わるとともに前記第２照明部の光軸と平行で前記第２照明部の光の出射面を通る第２直線と交わらず、前記検査部は、前記第１照明部からの光が撮像された画像における暗部から前記欠陥の無を判断するとともに、前記第２照明部からの光が撮像された画像における明部から前記欠陥の有無の判断することとしてもよい。

　被検査物に欠陥がある場合、被検査物に照射される光のうち欠陥に入射する光の多くは欠陥で吸収されたり欠陥で反射したりする。一方、欠陥に入射しない光の多くは被検査物を透過する。第２の態様によるこの検査装置では、上記のように撮像ユニットは第１照明部の光軸と平行で第１照明部の光の出射面を通る第１直線と交わるため、撮像ユニットは、第１照明部からの光のうち欠陥に入射せずに被検査物を透過する光を撮像し得る。このため、第１照明部からの光が撮像された画像において欠陥が暗部として映し出されるようにし得る。また、第２の態様によるこの検査装置では、上記のように撮像ユニットは第２照明部の光軸と平行で第２照明部の光の出射面を通る第２直線と交わらないため、撮像ユニットは、第２照明部からの光のうち欠陥に入射して当該欠陥で反射する光を撮像しつつ欠陥に入射せずに被検査物を透過する光を撮像しないようにし得る。このため、第２照明部からの光が撮像された画像において欠陥が明部として映し出されるようにし得る。ところで、光は拡散しながら伝搬するため、欠陥が髪の毛や糸屑等のように細く繊維状のものである場合、このような欠陥は第１照明部からの光が撮像された画像において暗部として映し出されにくい傾向にある。しかし、第２の態様によるこの検査装置では、第２照明部からの光が撮像された画像においてこのような欠陥が明部として映し出されるようにし得る。従って、この検査装置は、欠陥が繊維状の異物等の細いものであっても検出し得る。

　第２の態様によるこの検査装置では、上記のように第１撮像部は、第１照明部の光軸と平行で第１照明部の光の出射面を通る第１直線と交わる。このため、前述のように第１撮像部によって第１照明部からの光が撮像された画像において欠陥が暗部として映し出されるようにし得る。また、上記のように第２撮像部は、第２照明部の光軸と平行で第２照明部の光の出射面を通る第２直線と交わらない。このため、前述のように第２撮像部によって第２照明部からの光が撮像された画像において欠陥が明部として映し出されるようにし得る。従って、このような構成の検査装置であっても繊維状の異物等の細い欠陥を検出し得る。

　また、第２の態様の検査装置では、撮像部が第１直線と交わるとともに第２直線と交わらない場合、及び、撮像部が第１撮像部と第２撮像部とを有する場合、前記第２照明部からの前記光は、コリメート光または前記被検査物の前記他方の面に集光する光であることとしてもよい。

　また、第２の態様の検査装置では、前記撮像ユニットは、前記照明ユニットの光軸と平行で前記照明ユニットの光の出射面を通る直線と交わり前記被検査物を透過する前記照明ユニットからの光を撮像する第１撮像部と、前記直線と交わらず前記被検査物を透過する前記照明ユニットからの光を撮像する第２撮像部とを有し、前記検査部は、前記第１撮像部によって撮像された画像における暗部から前記欠陥の有無を判断するとともに、前記第２撮像部によって撮像された画像における明部から前記欠陥の有無を判断することとしてもよい。

　第２の態様によるこの検査装置では、上記のように第１撮像部は、照明ユニットの光軸と平行で照明ユニットの光の出射面を通る直線と交わる。このため、前述のように第１撮像部によって照明ユニットからの光が撮像された画像において欠陥が暗部として映し出されるようにし得る。また、上記のように第２撮像部は、照明ユニットの光軸と平行で照明ユニットの光の出射面を通る直線と交わらない。このため、前述ように第２撮像部によって照明ユニットからの光が撮像された画像において欠陥が明部として映し出されるようにし得る。従って、このような構成の検査装置であっても繊維状の異物等の細い欠陥を検出し得る。

　また、第２の態様の上記の検査装置は、前記被検査物を基準として前記他方の面側に配置されて前記他方の面に光を照射する別の照明ユニットと、前記被検査物を基準として前記一方の面側に配置され前記被検査物を透過する前記別の照明ユニットからの光を撮像する別の撮像ユニットと、を更に備え、前記検査部は、前記撮像ユニットが撮像した画像及び前記別の撮像ユニットが撮像した画像に基づいて、前記被検査物の前記一方の面及び前記他方の面における欠陥の有無を判断することとしてもよい。

本発明の第１の態様としての第１実施形態における検査装置を概略的に示す図である。図１の検査装置を第１搬送方向の下流側から見る図である。撮像ユニットによって撮像された画像の一例の一部を模式的に示す図である。照明ユニットからの光の伝搬を説明するための図である。本発明の第１の態様としての第２実施形態における検査装置を図１と同様に示す図である。撮像ユニットによって撮像された第２照明部からの光の画像の一例の一部を模式的に示す図である。本発明の第１の態様としての第３実施形態における検査装置を図１と同様に示す図である。本発明の第１の態様としての第４実施形態における検査装置を図１と同様に示す図である。本発明の第２の態様としての第５実施形態における検査装置を概略的に示す図である。図９の検査装置を第１搬送方向の下流側から見る図である。本発明の第２の態様としての第６実施形態における検査装置を図９と同様に示す図である。本発明の第２の態様としての第７実施形態における検査装置を図９と同様に示す図である。本発明の第２の態様としての第８実施形態における検査装置を図９と同様に示す図である。本発明の第２の態様としての第９実施形態における検査装置を図９と同様に示す図である。

　以下、本発明に係る検査装置を実施するための形態が添付図面とともに例示される。以下に例示する実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、以下の実施形態から変更、改良することができる。なお、以下で参照する図面では、理解を容易にするために、各部材の寸法を変えて示したり、参照符号を省略したりする場合がある。

（第１実施形態）
　本発明の第１の態様としての第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態における検査装置を概略的に示す図である。図１に示すように、本実施形態の検査装置１は、搬送装置１０と、照明ユニット２１と、撮像ユニット３０と、検査部４０と、表示部５０と、制御部ＣＯと、を主な構成として備える。本実施形態における検査装置１によって検査される被検査物６０は、車両用灯具における光を透過するアウターカバーとされる。検査装置１は、被検査物６０の表面の欠陥、例えば表面に付着する異物等の有無を検査する。なお、理解を容易にするため、図１では、被検査物６０は鉛直断面によって示されている。

　アウターカバーである本実施形態の被検査物６０は、一方の面６０Ｓ１側に凸状に湾曲する透光性を有する板状部材とされる。被検査物６０の外周縁には、他方の面６０Ｓ２側に突出する透光性を有するリブ６１が設けられ、当該リブ６１は被検査物６０の外周縁の全周に亘って延在している。この被検査物６０は、一方の面６０Ｓ１側に設けられる不図示のハードコート層と、他方の面６０Ｓ２側に設けられる不図示の防曇コート層とを含む。このハードコート層の外側の面が被検査物６０における一方の面６０Ｓ１であり、この防曇コート層の外側の面が被検査物６０における他方の面６０Ｓ２である。例えば、ハードコート層や防曇コート層を形成する際にこれらの層に埃等の異物が付着してこの異物が被検査物６０の表面の欠陥となることがある。このような被検査物６０は、透光性を有し、凸状に湾曲する一方の面６０Ｓ１と、この一方の面６０Ｓ１と対向し凹状に湾曲する他方の面６０Ｓ２とを含んでいると理解できる。そして、本実施形態の検査装置１は、被検査物６０における一方の面６０Ｓ１や他方の面６０Ｓ２の欠陥の有無を検査する。

　制御部ＣＯは、例えば、マイクロコントローラ、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large-scale Integrated Circuit）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）などの集積回路やＮＣ（Numerical Control）装置から成る。また、制御部ＣＯは、ＮＣ装置を用いた場合、機械学習器を用いたものであってもよく、機械学習器を用いないものであってもよい。以下に説明するように、検査装置１の幾つかの構成が制御部ＣＯによって制御される。

　搬送装置１０は、被検査物６０を所定の方向へ搬送する装置である。本実施形態の搬送装置１０は、ローラ１１と、ローラ１２と、透明で帯状の支持フィルム１３と、を備える。ローラ１１，１２は概ね水平方向に所定の間隔をあけて配置される。支持フィルム１３の一端部が一方のローラ１１に巻回され、支持フィルム１３の他端部が他方のローラ１２に巻回され、ローラ１１，１２間における支持フィルム１３には所定の張力が付与されている。そして、被検査物６０は、後述する照明ユニット２１及び撮像ユニット３０よりローラ１１側に位置するように、このローラ１１，１２間における支持フィルム１３上に載置される。本実施形態では、被検査物６０のリブ６１の端部が支持フィルム１３に当接するように被検査物６０が載置され、鉛直方向において被検査物６０の一方の面６０Ｓ１が他方の面６０Ｓ２より支持フィルム１３側と反対側に位置している。ローラ１１，１２が回転することで、このように支持フィルム１３上に載置される被検査物６０が第１搬送方向Ｄ１である一方のローラ１１側から他方のローラ１２側に向かう概ね水平な方向へ搬送される。ローラ１１，１２は、制御部ＣＯからの制御信号により、回転速度及び回転方向を調節する。このため、搬送装置１０は、ローラ１１，１２の回転方向を反転させることで第１搬送方向Ｄ１と反対方向である第２搬送方向Ｄ２に被検査物６０を搬送できる。支持フィルム１３として、例えば樹脂フィルムが挙げられる。なお、搬送装置１０は、被検査物６０を所定の方向へ搬送することができればよく、搬送装置１０の構成は特に限定されない。例えば、搬送装置１０は、被検査物６０を支持する透光性を有する治具と、治具を搬送する搬送機構とから構成されてもよい。この場合、搬送機構は、治具を基準に一方側と他方側とに概ね平行に延在するように配置される２つのリニアアクチュエータを含む構成されてもよい。また、搬送機構はロボアームとされてもよく、この場合、ロボットアームが被検査物６０を支持してもよい。

　本実施形態の照明ユニット２１は、ローラ１１，１２間における支持フィルム１３の下方に配置される。照明ユニット２１は、搬送装置１０によって搬送される被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に支持フィルム１３を介して光Ｌ１を照射する。つまり、照明ユニット２１は、被検査物６０を基準として他方の面６０Ｓ２側に配置されてこの他方の面６０Ｓ２に光Ｌ１を照射すると理解できる。図２は、図１の検査装置１を第１搬送方向Ｄ１の下流側から見る図である。なお、理解を容易にするため、図２では、被検査物６０は鉛直断面によって示されている。また、図２では、照明ユニット２１から出射する光Ｌ１が二点鎖線で示されている。図２に示すように、本実施形態の照明ユニット２１は、第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直かつ概ね水平な方向に並列された複数のＬＥＤから構成される１つのライン照明とされる。また、図１に示すように、照明ユニット２１の光軸と平行で照明ユニット２１の光の出射面２１ｅを通る直線２１ａは概ね鉛直と平行であり、照明ユニット２１から出射する光Ｌ１は白色とされる。なお、直線２１ａは鉛直方向と非平行であってもよい。上記のように被検査物６０は透光性を有するため、照明ユニット２１から出射するこのような光Ｌ１は被検査物６０の他方の面６０Ｓ２側から一方の面６０Ｓ１側に向かって被検査物６０を透過する。上記のように照明ユニット２１はライン照明であるため、被検査物６０における照明ユニット２１からの光Ｌ１が透過する部位は、第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直な方向に延びるライン状となる。照明ユニット２１は、制御部ＣＯからの制御信号により、光の出射と非出射とを切り替える。

　本実施形態の撮像ユニット３０は、被検査物６０より上方に配置され、被検査物６０を透過する照明ユニット２１からの光Ｌ１を撮像する。つまり、撮像ユニット３０は、被検査物６０を基準として一方の面６０Ｓ１側に配置され被検査物６０を透過する照明ユニット２１からの光Ｌ１を撮像する。本実施形態では、撮像ユニット３０は、ラインセンサカメラとされ、照明ユニット２１の概ね直上に位置しており、上記の直線２１ａと交わっている。撮像ユニット３０は、撮像範囲が第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直な方向に延在するとともに当該撮像範囲が被検査物６０における照明ユニット２１からの光Ｌ１が透過する部位または当該部位の近傍に位置するように、配置される。制御部ＣＯは、撮像ユニット３０を制御して、撮像ユニット３０に搬送されている被検査物６０を透過する光を所定の時間間隔で撮像させるとともに、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１の全体が含まれる二次元の画像を検査部４０に出力させる。また、制御部ＣＯは、照明ユニット２１を制御して、照明ユニット２１に光Ｌ１を非出射とさせる。なお、撮像ユニット３０は、所定の時間間隔で撮像した一次元の画像をそれぞれ検査部４０に出力してもよい。この場合、後述する検査部４０が当該検査部４０に入力される複数の一次元の画像から一方の面６０Ｓ１の全体が含まれる二次元の画像を生成する。

　本実施形態の検査部４０は、撮像ユニット３０から入力される二次元の画像に基づいて、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１及び他方の面６０Ｓ２における欠陥の有無を判断する。なお、検査部４０による判断とは、二次元の画像に基づいて、検査部４０から制御部ＣＯに出力する信号を変化させることである。検査部４０による具体的な判断については、後述する。このような検査部４０の構成として、例えば、制御部ＣＯと同様の構成が挙げられる。

　表示部５０は、検査部４０による欠陥の有無の判断に基づく検査結果を表示する。表示部５０として、例えば液晶ディスプレイが挙げられる。

　次に、本実施形態の検査装置１における被検査物６０の欠陥の有無を検査する動作について説明する。

　まず、被検査物６０は、照明ユニット２１及び撮像ユニット３０よりローラ１１側に位置するように、搬送装置１０のローラ１１，１２間における支持フィルム１３上に載置される。制御部ＣＯは、照明ユニット２１を制御して、照明ユニット２１に光Ｌ１を出射させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第１搬送方向Ｄ１へ搬送させる。このため、照明ユニット２１は、搬送装置１０によって第１搬送方向Ｄ１へ搬送される被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に支持フィルム１３を介して光Ｌ１を照射する。制御部ＣＯは、撮像ユニット３０を制御して、撮像ユニット３０に第１搬送方向Ｄ１へ搬送されている被検査物６０を透過する照明ユニット２１からの光Ｌ１を所定の時間間隔で撮像させ、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１の全体が含まれる二次元の画像を検査部４０に出力させる。

　ここで、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１や他方の面６０Ｓ２に異物等の欠陥がある場合、照明ユニット２１によって被検査物６０に照射される光Ｌ１のうち欠陥に入射する光の多くは欠陥で吸収されたり欠陥で反射したりして、撮像ユニット３０に入射しない。一方、欠陥に入射しない光の多くは被検査物６０を他方の面６０Ｓ２側から一方の面６０Ｓ１側に向かって透過して、撮像ユニット３０に入射する。このため、図３に示すように、撮像ユニット３０によって撮像された照明ユニット２１からの光Ｌ１の画像において欠陥が明部７１に囲まれた暗部７２として映し出され得る。なお、図３は、撮像ユニット３０によって撮像された画像の一例の一部を模式的に示す図である。図３では、暗部７２にハッチングが施されている。

　本実施形態の検査部４０は、撮像ユニット３０によって撮像された画像において、所定の閾値より輝度値が低い領域を抽出し、抽出した領域の面積を算出する。そして、算出した面積のうち少なくとも１つが所定の面積より大きい場合に、欠陥があることを示す信号を制御部ＣＯに出力する。一方、検査部４０は、算出した面積の全てが所定の面積より小さい場合または領域が抽出されない場合、欠陥がないことを示す信号を制御部ＣＯに出力する。このようにして、検査部４０は、撮像ユニット３０が撮像した画像に基づいて、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１及び他方の面６０Ｓ２における欠陥の有無を判断する。なお、検査部４０は、撮像ユニット３０が撮像した画像に基づいて、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１及び他方の面６０Ｓ２における欠陥の有無を判断できればよい。例えば、検査部４０は、所定の閾値を用いて撮像ユニット３０から入力される二次元の画像に二値化処理を施し、二値化処理された画像において、所定の閾値より輝度値が低い領域を抽出してもよい。また、検査部４０は、抽出した領域の面積及び当該領域の最大の幅を算出し、算出した面積が所定の面積より大きくかつ算出した幅が所定の幅より大きい場合に、欠陥があることを示す信号を制御部ＣＯに出力してもよい。

　制御部ＣＯは、検査部４０から入力する信号に応じた制御信号を表示部５０に出力し、当該表示部５０に検査結果を表示させる。このようにして、本実施形態の検査装置１は、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１及び他方の面６０Ｓ２における欠陥の有無を検査する。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第１搬送方向Ｄ１と反対方向である第２搬送方向Ｄ２へ搬送させ、被検査物６０を当該被検査物６０が搬送装置１０に載置された位置に戻す。このため、検査前における被検査物６０の位置と検査後における被検査物６０の位置とが概ね同じとなる。このため、例えば、被検査物６０を検査装置１の搬送装置１０に載置する作業員は、移動しなくても検査後の被検査物６０を収容できる。なお、搬送装置１０は、このような被検査物６０の第２搬送方向Ｄ２へ搬送を行わなくてもよい。

　ところで、アウターカバーである被検査物６０の外周縁には、他方の面６０Ｓ２側に突出するリブ６１が設けられている。このため、被検査物６０への光の照射方向によっては、光がリブ６１と他方の面６０Ｓ２との境界やリブ６１等で反射してこの反射した光が画像に映り込むことがある。このように反射した光が画像に映り込む場合、この光によって欠陥を検出できなくなったり、この光を欠陥として誤検出してしまったりすることがあり、欠陥の検出確度が低下する傾向にある。

　そこで、本実施形態の検査装置１は、照明ユニット２１と、撮像ユニット３０と、検査部４０と、を備える。照明ユニット２１は、凸状に湾曲する一方の面６０Ｓ１と一方の面６０Ｓ１と対向し凹状に湾曲する他方の面６０Ｓ２とを含み透光性を有する被検査物６０を基準として他方の面６０Ｓ２側に配置されて他方の面６０Ｓ２に光Ｌ１を照射する。撮像ユニット３０は、被検査物６０を基準として一方の面６０Ｓ１側に配置され被検査物６０を透過する照明ユニット２１からの光Ｌ１を撮像する。検査部４０は、撮像ユニット３０が撮像した画像に基づいて、被検査物６０における欠陥の有無を判断する。本実施形態の検査装置１では、照明ユニット２１は凹状に湾曲する他方の面６０Ｓ２に光Ｌ１を照射する。また、被検査物６０の外周縁にはこの他方の面６０Ｓ２から突出するリブ６１が設けられている。このため、図４に示すように、照明ユニット２１からの光Ｌ１の一部が、リブ６１と他方の面６０Ｓ２との境界やリブ６１で反射して他方の面６０Ｓ２に向かうことがある。このように他方の面６０Ｓ２に向かう光Ｌ１ａの一部は、当該他方の面６０Ｓ２で反射する。本実施形態の検査装置１では、上記のように撮像ユニット３０は被検査物６０を基準として一方の面６０Ｓ１側に配置されているため、このように他方の面６０Ｓ２で反射する光が撮像ユニット３０に入射することが抑制される。また、他方の面６０Ｓ２に向かう光Ｌ１ａの他の一部は、他方の面６０Ｓ２から被検査物６０に入射して一方の面６０Ｓ１から出射する。本実施形態の検査装置１では、上記のように一方の面６０Ｓ１は凸状に湾曲しているため、このように他方の面６０Ｓ２から被検査物６０に入射する光を一方の面６０Ｓ１から拡散するように出射し得、この光が撮像ユニット３０に入射することが抑制される。このため、照明ユニット２１から出射してリブ６１と他方の面６０Ｓ２との境界やリブ６１で反射した光は、撮像ユニット３０によって撮像された画像に映り込み難い。従って、本実施形態の検査装置１は、被検査物６０の外周縁に他方の面６０Ｓ２から突出するリブ６１が設けられる場合であっても、被検査物６０の表面である一方の面６０Ｓ１や他方の面６０Ｓ２の欠陥の検出確度が低下することを抑制し得る。

（第２実施形態）
　次に、本発明の第１の態様としての第２実施形態について図５を参照して詳細に説明する。なお、第１実施形態と同一又は同等の構成要素については、特に説明する場合を除き、同一の参照符号を付して重複する説明は省略する。

　図５は、本発明の第２実施形態における検査装置を図１と同様に示す図である。図５に示すように、本実施形態の検査装置１は、照明ユニット２１が第１照明部２３と第２照明部２５とを有する点において、第１実施形態の検査装置１と主に異なる。なお、図５では、第１照明部２３から出射する光Ｌ３及び第２照明部２５から出射する光Ｌ５が二点鎖線で示されている。

　本実施形態における第１照明部２３は、第１実施形態の照明ユニット２１と同様の構成とされる。このため、本実施形態の第１照明部２３は、ローラ１１，１２間における支持フィルム１３の下方に配置され、第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直かつ概ね水平な方向に並列された複数のＬＥＤから構成されるライン照明とされる。また、第１照明部２３の光軸と平行で第１照明部２３の光の出射面２３ｅを通る第１直線２３ａは概ね鉛直と平行であり、撮像ユニット３０はこの第１直線２３ａと交わっている。第１照明部２３は、搬送装置１０によって搬送される被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に支持フィルム１３を介して光Ｌ３を照射し、この光Ｌ３は被検査物６０の他方の面６０Ｓ２側から一方の面６０Ｓ１側に向かって被検査物６０を透過する。被検査物６０における第１照明部２３からの光Ｌ３が透過する部位は、第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直な方向に延びるライン状となる。

　一方、本実施形態の第２照明部２５は、ローラ１１，１２間における支持フィルム１３の下方において、第１照明部２３よりローラ１１側に配置される。第２照明部２５は、第１照明部２３と同様に、第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直かつ概ね水平な方向に並列された複数のＬＥＤから構成されるライン照明とされる。第２照明部２５の光軸と平行で第２照明部２５の光の出射面２５ｅを通る第２直線２５ａは、上下方向に延在するものの、上方に向かってローラ１２側に傾斜しており、第１直線２３ａと非平行である。この第２直線２５ａは、撮像ユニット３０とローラ１２との間を通り、撮像ユニット３０と交わっていない。第２照明部２５は、搬送装置１０によって搬送される被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に支持フィルム１３を介して光Ｌ５を照射し、この光は被検査物６０の他方の面６０Ｓ２側から一方の面６０Ｓ１側に向かって被検査物６０を透過する。被検査物６０における第２照明部２５からの光Ｌ５が透過する部位は、第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直な方向に延びるライン状となり、被検査物６０における第１照明部２３からの光Ｌ３が透過する部位と重なる。そして、撮像ユニット３０の撮像範囲は、被検査物６０における第１照明部２３からの光Ｌ３が透過する部位と第２照明部２５からの光Ｌ５が透過する部位とが重なる部位またはこの重なる部位の近傍に位置している。つまり、撮像ユニット３０の撮像範囲がこのように位置するように、第１照明部２３、第２照明部２５、及び撮像ユニット３０が配置されている。

　なお、照明ユニット２１は、第１照明部２３から光Ｌ３を出射する際には第２照明部２５からの光Ｌ５を非出射とし、第２照明部２５から光Ｌ５を出射する際には第１照明部２３からの光Ｌ３を非出射とする。つまり、第１照明部２３が被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に光Ｌ３を照射する時期と第２照明部２５が被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に光Ｌ５を照射する時期とが互いに異なる。

　本実施形態では、第１実施形態と同様に、被検査物６０は、照明ユニット２１及び撮像ユニット３０よりローラ１１側に位置するように、搬送装置１０のローラ１１，１２間における支持フィルム１３上に載置される。制御部ＣＯは、第１照明部２３を制御して、第１照明部２３に光Ｌ３を出射させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第１搬送方向Ｄ１へ搬送させる。このため、第１照明部２３は、搬送装置１０によって第１搬送方向Ｄ１へ搬送される被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に支持フィルム１３を介して光を照射する。この際、第２照明部２５からの光Ｌ５は非出射とされている。制御部ＣＯは、撮像ユニット３０を制御して、撮像ユニット３０に第１搬送方向Ｄ１へ搬送されている被検査物６０を透過する第１照明部２３からの光Ｌ３を所定の時間間隔で撮像させ、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１の全体が含まれる二次元の画像を検査部４０に出力させる。

　本実施形態では、制御部ＣＯは、撮像ユニット３０による上記の撮像が終了した後に、第２照明部２５を制御して、第２照明部２５に光Ｌ５を出射させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第２搬送方向Ｄ２へ搬送させ、被検査物６０を当該被検査物６０が搬送装置１０に載置された位置に戻す。このため、第２照明部２５は、搬送装置１０によって第２搬送方向Ｄ２へ搬送される被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に支持フィルム１３を介して光Ｌ５を照射する。この際、第１照明部２３からの光Ｌ３は非出射とされている。制御部ＣＯは、撮像ユニット３０を制御して、撮像ユニット３０に第２搬送方向Ｄ２へ搬送されている被検査物６０を透過する第２照明部２５からの光Ｌ５を所定の時間間隔で撮像させ、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１の全体が含まれる二次元の画像を検査部４０に出力させる。

　上記のように、本実施形態では、第１直線２３ａと第２直線２５ａとは互いに非平行である。このため、照明ユニット２１は、被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に第１方向から光を照射する第１照明部２３と、被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に第１方向と異なる第２方向から光Ｌ５を照射する第２照明部２５とを有していると理解できる。また、撮像ユニット３０は、被検査物６０を透過する第１照明部２３からの光Ｌ３及び第２照明部２５からの光Ｌ５をそれぞれ個別に撮像していると理解できる。

　本実施形態の検査部４０は、第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断し、更に、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断する。具体的には、検査部４０は、第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像における暗部から欠陥の有無を判断する。本実施形態の第１直線２３ａは、撮像ユニット３０と交わる。このため、第１実施形態と同様にして、撮像ユニット３０によって撮像された第１照明部２３からの光Ｌ３の画像において欠陥が暗部として映し出され得る。本実施形態の検査部４０は、第１実施形態と同様にして、撮像ユニット３０によって撮像された第１照明部２３からの光Ｌ３の画像において、所定の閾値より輝度値が低い領域を抽出し、抽出した領域の面積を算出する。そして、算出した面積が所定の面積より大きい場合に、欠陥があることを示す信号を制御部ＣＯに出力する。

　一方、第２直線２５ａは、撮像ユニット３０と交わらない。このため、第２直線２５ａが撮像ユニット３０と交わる場合と比べて、第２照明部２５によって被検査物６０に照射される光Ｌ５のうち、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１及び他方の面６０Ｓ２における欠陥に入射せずに被検査物６０を他方の面６０Ｓ２側から一方の面６０Ｓ１側に向かって透過する光は、撮像ユニット３０に入射し難い。本実施形態では、第２照明部２５によって被検査物６０に照射される光Ｌ５のうち、このように被検査物６０を透過する光の多くが撮像ユニット３０に入射しないように、撮像ユニット３０に対する第２照明部２５の位置や向きが調整されている。一方、第２照明部２５によって被検査物６０に照射される光Ｌ５のうち欠陥に入射する光の多くは欠陥で吸収されたり欠陥で反射したりする。このため、この欠陥で反射するとともに被検査物６０を透過する光は撮像ユニット３０に入射し得る。このため、図６に示すように、撮像ユニット３０によって撮像された第２照明部２５からの光Ｌ５の画像において欠陥が暗部７２に囲まれた明部７１として映し出され得る。なお、図６は、撮像ユニット３０によって撮像された第２照明部２５からの光Ｌ５の画像の一例の一部を模式的に示す図である。図６では、暗部７２にハッチングが施されている。本実施形態の検査部４０は、撮像ユニット３０によって撮像された第２照明部２５からの光Ｌ５の画像において、所定の閾値より輝度値が高い領域を抽出し、抽出した領域の面積を算出する。そして、算出した面積のうち少なくとも１つが所定の面積より大きい場合に、欠陥があることを示す信号を制御部ＣＯに出力する。

　なお、撮像ユニット３０によって撮像された第１照明部２３からの光Ｌ３の画像において抽出した領域の面積の全てが所定の面積より小さい場合または領域が抽出されない場合、かつ、撮像ユニット３０によって撮像された第２照明部２５からの光Ｌ５の画像において抽出した領域の面積の全てが所定の面積より大きい場合または領域が抽出されない場合、検査部４０は欠陥がないことを示す信号を制御部ＣＯに出力する。このようにして、検査部４０は、第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断し、更に、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断する。なお、検査部４０は、第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断し、更に、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断できればよい。例えば、検査部４０は、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断する際、所定の閾値を用いて撮像ユニット３０から入力される二次元の画像に二値化処理を施し、二値化処理された画像において、所定の閾値より輝度値が高い領域を抽出してもよい。また、検査部４０は、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断する際、抽出した領域の面積及び当該領域の最大の幅を算出し、算出した面積が所定の面積より大きくかつ算出した幅が所定の幅より大きい場合に、欠陥があることを示す信号を制御部ＣＯに出力してもよい。

　制御部ＣＯは、検査部４０から入力する信号に応じた制御信号を表示部５０に出力し、当該表示部５０に検査結果を表示させる。なお、上記のように被検査物６０は当該被検査物６０が搬送装置１０に載置された位置に戻される。このため、第１実施形態と同様に、検査前における被検査物６０の位置と検査後における被検査物６０の位置とが概ね同じである。

　上記のように、本実施形態の検査装置１では、照明ユニット２１は、被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に第１方向から光Ｌ３を照射する第１照明部２３と、被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に第１方向と異なる第２方向から光Ｌ５を照射する第２照明部２５とを有する。撮像ユニット３０は、被検査物６０を透過する第１照明部２３からの光Ｌ３及び第２照明部２５からの光Ｌ５をそれぞれ個別に撮像する。また、撮像ユニット３０は、第１直線２３ａと交わるとともに第２直線２５ａと交わらない。また、検査部４０は、第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像における暗部７２から欠陥の有無を判断するとともに、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像における明部７１から欠陥の有無を判断する。ところで、光は拡散しながら伝搬するため、欠陥が髪の毛や糸屑等のように細く繊維状のものである場合、このような欠陥は第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像において暗部７２として映し出されにくい傾向にある。しかし、本実施形態の検査装置１では、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像においてこのような欠陥が明部７１として映し出されるようにし得る。従って、本実施形態の検査装置１は、欠陥が繊維状の異物等の細いものであっても検出し得る。

　また、本実施形態の検査装置１では、第１照明部２３が被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に光Ｌ３を照射する時期と第２照明部２５が被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に光Ｌ５を照射する時期とが互いに異なる。このため、第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像に第２照明部２５からの光Ｌ５が映り込むことがない。また、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像に第１照明部２３からの光Ｌ３が映り込むことがない。このため、撮像ユニット３０は、例えば第１照明部２３からの光Ｌ３を撮像する第１撮像部と、第２照明部２５からの光Ｌ５を撮像する第２撮像部とを有していなくても、第１照明部２３からの光Ｌ３及び第２照明部２５からの光Ｌ５をそれぞれ個別に撮像し得る。

　なお、繊維状の異物等の細い欠陥の検出確度を高くする観点では、第２照明部２５からの光Ｌ５は、コリメート光または被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に集光する光であることが好ましい。このような構成にすることで、第２照明部２５からの光Ｌ５が拡散光である場合と比べて、欠陥が明部７１として映し出される際の明部７１の輝度を高くし得、繊維状の異物等の細い欠陥の検出確度を高くし得る。

（第３実施形態）
　次に、本発明の第１の態様としての第３実施形態について図７を参照して詳細に説明する。なお、第２実施形態と同一又は同等の構成要素については、特に説明する場合を除き、同一の参照符号を付して重複する説明は省略する。

　図７は、本発明の第３実施形態における検査装置を図１と同様に示す図である。図７に示すように、本実施形態の検査装置１は、第２照明部２５が第１照明部２３より第１搬送方向Ｄ１の下流側に位置している点、及び、撮像ユニット３０が第１撮像部３１と第２撮像部３２とを有する点において、第２実施形態の検査装置１と主に異なる。

　本実施形態における第２照明部２５は、第２実施形態の第２照明部２５と同様の構成とされる。しかし、第２照明部２５は、上記のように、第１照明部２３より第１搬送方向Ｄ１の下流側に位置している。

　本実施形態における第１撮像部３１は、第２実施形態の撮像ユニット３０と同様の構成とされる。このため、本実施形態の第１撮像部３１は、ラインセンサカメラとされ、第１照明部２３の概ね直上に位置しており、第１直線２３ａと交わっている。第１撮像部３１は、撮像範囲が第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直な方向に延在するとともに当該撮像範囲が被検査物６０における第１照明部２３からの光Ｌ３が透過する部位または当該部位の近傍に位置するように、配置される。そして、第１撮像部３１は、被検査物６０を透過する第１照明部２３からの光Ｌ３を撮像する。

　本実施形態の第２撮像部３２は、第１撮像部３１と同様に、ラインセンサカメラとされる。第２撮像部３２は、被検査物６０より上方かつ第１搬送方向Ｄ１と平行な方向において第１照明部２３及び第１撮像部３１よりローラ１２側に位置しており、第１直線２３ａ及び第２直線２５ａと交わっていない。第２撮像部３２は、撮像範囲が第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直な方向に延在するとともに当該撮像範囲が被検査物６０における第２照明部２５からの光Ｌ５が透過する部位または当該部位の近傍に位置するように、配置される。そして、第２撮像部３２は、被検査物６０を透過する第２照明部２５からの光Ｌ５を撮像する。

　本実施形態では、第２実施形態と同様に、被検査物６０は、照明ユニット２１及び撮像ユニット３０よりローラ１１側に位置するように、搬送装置１０のローラ１１，１２間における支持フィルム１３上に載置される。制御部ＣＯは、第１照明部２３を制御して、第１照明部２３に光Ｌ３を出射させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第１搬送方向Ｄ１へ搬送させる。このため、第１照明部２３は、搬送装置１０によって第１搬送方向Ｄ１へ搬送される被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に支持フィルム１３を介して光Ｌ３を照射する。この際、第２照明部２５からの光Ｌ５は非出射とされている。制御部ＣＯは、第１撮像部３１を制御して、第１撮像部３１に第１搬送方向Ｄ１へ搬送されている被検査物６０を透過する第１照明部２３からの光Ｌ３を所定の時間間隔で撮像させ、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１の全体が含まれる二次元の画像を検査部４０に出力させる。

　また、制御部ＣＯは、第２実施形態と同様に、第１撮像部３１による上記の撮像が終了した後に、第２照明部２５を制御して、第２照明部２５に光Ｌ５を出射させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第２搬送方向Ｄ２へ搬送させ、被検査物６０を当該被検査物６０が搬送装置１０に載置された位置に戻す。このため、第２照明部２５は、搬送装置１０によって第２搬送方向Ｄ２へ搬送される被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に支持フィルム１３を介して光Ｌ５を照射する。この際、第１照明部２３からの光Ｌ３は非出射とされている。制御部ＣＯは、第２撮像部３２を制御して、第２撮像部３２に第２搬送方向Ｄ２へ搬送されている被検査物６０を透過する第２照明部２５からの光Ｌ５を所定の時間間隔で撮像させ、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１の全体が含まれる二次元の画像を検査部４０に出力させる。

　つまり、本実施形態では、第１撮像部３１が被検査物６０を透過する第１照明部２３からの光Ｌ３を撮像し、第２撮像部３２が被検査物６０を透過する第２照明部２５からの光Ｌ５を撮像する。

　本実施形態の第１直線２３ａは、第１撮像部３１と交わる。このため、第２実施形態と同様にして、第１撮像部３１によって撮像された第１照明部２３からの光Ｌ３の画像において被検査物６０の欠陥が暗部として映し出され得る。また、第２直線２５ａは、第２撮像部３２と交わらない。本実施形態では、第２実施形態と同様に、第２照明部２５によって被検査物６０に照射される光Ｌ５のうち、被検査物６０の欠陥に入射せずに被検査物６０を透過する光の多くが第２撮像部３２に入射しないように、第２撮像部３２に対する第２照明部２５の位置や向きが調整されている。このため、第２撮像部３２によって撮像された第２照明部２５からの光Ｌ５の画像において欠陥が暗部に囲まれた明部として映し出され得る。

　本実施形態の検査部４０は、第２実施形態と同様に、第１撮像部３１によって撮像された第１照明部２３からの光Ｌ３の画像における暗部から欠陥の有無を判断し、更に、第２撮像部３２によって撮像された第２照明部２５からの光Ｌ５の画像における明部から欠陥の有無を判断する。

　制御部ＣＯは、第２実施形態と同様に、検査部４０から入力する信号に応じた制御信号を表示部５０に出力し、当該表示部５０に検査結果を表示させる。なお、上記のように被検査物６０は当該被検査物６０が搬送装置１０に載置された位置に戻される。このため、第１実施形態と同様に、検査前における被検査物６０の位置と検査後における被検査物６０の位置とが概ね同じである。

　このような本実施形態の検査装置１は、第２実施形態と同様にして、欠陥が繊維状の異物等の細いものであっても検出し得る。

　また、本実施形態の検査装置１では、撮像ユニット３０は、被検査物６０を透過する第１照明部２３からの光Ｌ３を撮像する第１撮像部３１と、被検査物６０を透過する第２照明部２５からの光Ｌ５を撮像する第２撮像部３２とを有する。このため、本実施形態の検査装置１によれば、撮像ユニット３０が第２撮像部３２を有さない場合と比べて、被検査物６０に対する第２照明部２５の位置や向きの自由度を向上でき、被検査物６０を透過する第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像に欠陥が映り出され易くし得る。このため、実施形態の検査装置１は、被検査物６０の欠陥の検出確度が低下することをより抑制し得る。

（第４実施形態）
　次に、本発明の第１の態様としての第４実施形態について図８を参照して詳細に説明する。なお、第３実施形態と同一又は同等の構成要素については、特に説明する場合を除き、同一の参照符号を付して重複する説明は省略する。

　図８は、本発明の第４実施形態における検査装置を図１と同様に示す図である。図８に示すように、本実施形態の検査装置１は、照明ユニット２１が１つの照明部からなる点、及び第２撮像部３２が鉛直方向に対して傾倒している点において、第３実施形態の検査装置１と主に異なる。

　本実施形態の照明ユニット２１は、第１実施形態の照明ユニット２１と同様の構成である。このため、本実施形態の照明ユニット２１は、ローラ１１，１２間における支持フィルム１３の下方に配置され、第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直かつ概ね水平な方向に並列された複数のＬＥＤから構成されるライン照明とされる。また、照明ユニット２１の光軸と平行で照明ユニット２１の出射面２１ｅを通る直線２１ａは概ね鉛直と平行であり、第１撮像部３１はこの直線２１ａと交わっており、第２撮像部３２はこの直線２１ａと交わっていない。被検査物６０における照明ユニット２１からの光Ｌ１が透過する部位は、第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直な方向に延びるライン状となる。第１撮像部３１の撮像範囲は、被検査物６０における照明ユニット２１からの光Ｌ１が透過する部位または当該部位の近傍に位置している。

　上記のように、本実施形態の第２撮像部３２が鉛直方向に対して傾倒している。具体的には、第２撮像部３２は、撮像範囲が第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直な方向に延在するとともに当該撮像範囲が被検査物６０における照明ユニット２１からの光Ｌ１が透過する部位または当該部位の近傍に位置するように、鉛直方向に対して傾倒されている。つまり、第２撮像部３２は、撮像範囲がこのように位置するように配置されている。

　本実施形態では、第３実施形態と同様に、被検査物６０は、照明ユニット２１及び撮像ユニット３０よりローラ１１側に位置するように、搬送装置１０のローラ１１，１２間における支持フィルム１３上に載置される。制御部ＣＯは、照明ユニット２１を制御して、照明ユニット２１に光Ｌ１を出射させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第１搬送方向Ｄ１へ搬送させる。このため、照明ユニット２１は、搬送装置１０によって第１搬送方向Ｄ１へ搬送される被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に支持フィルム１３を介して光を照射する。制御部ＣＯは、第１撮像部３１及び第２撮像部３２を制御して、第１撮像部３１及び第２撮像部３２に第１搬送方向Ｄ１へ搬送されている被検査物６０を透過する照明ユニット２１からの光Ｌ１を所定の時間間隔で撮像させ、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１の全体が含まれる二次元の画像をそれぞれ検査部４０に出力させる。

　つまり、本実施形態では、上記の直線２１ａと交わる第１撮像部３１及び上記の直線２１ａと交わらない第２撮像部３２のそれぞれが被検査物６０を透過する照明ユニット２１からの光Ｌ１を撮像する。

　本実施形態では、上記のように第１撮像部３１は直線２１ａと交わるため、第３実施形態と同様にして、第１撮像部３１によって撮像された照明ユニット２１からの光Ｌ１の画像において被検査物６０の欠陥が暗部として映し出され得る。また、直線２１ａは、第２撮像部３２と交わらない。本実施形態では、第３実施形態と同様に、照明ユニット２１によって被検査物６０に照射される光Ｌ１のうち、被検査物６０の欠陥に入射せずに被検査物６０を透過する光の多くが第２撮像部３２に入射しないように、照明ユニット２１に対する第２撮像部３２の位置や向きが調整されている。このため、第２撮像部３２によって撮像された照明ユニット２１からの光Ｌ１の画像において欠陥が暗部に囲まれた明部として映し出され得る。

　本実施形態の検査部４０は、第３実施形態と同様に、第１撮像部３１によって撮像された照明ユニット２１からの光Ｌ１の画像における暗部から欠陥の有無を判断し、更に、第２撮像部３２によって撮像された照明ユニット２１からの光Ｌ１の画像における明部から欠陥の有無を判断する。

　制御部ＣＯは、第３実施形態と同様に、検査部４０から入力する信号に応じた制御信号を表示部５０に出力し、当該表示部５０に検査結果を表示させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第１搬送方向Ｄ１と反対方向である第２搬送方向Ｄ２へ搬送させ、被検査物６０を当該被検査物６０が搬送装置１０に載置された位置に戻す。このため、検査前における被検査物６０の位置と検査後における被検査物６０の位置とが概ね同じとなる。なお、制御部ＣＯは、搬送装置１０に被検査物６０を第２搬送方向Ｄ２へ搬送させなくてもよい。

　このような本実施形態の検査装置１は、第３実施形態と同様にして、欠陥が繊維状の異物等の細いものであっても検出し得る。

（第５実施形態）
　次に、本発明の第２の態様としての第５実施形態について説明する。なお、第１実施形態と同一又は同等の構成要素については、特に説明する場合を除き、同一の参照符号を付して重複する説明は省略する。

　図９は、本実施形態における検査装置を概略的に示す図である。図９に示すように、本実施形態の検査装置１は、照明ユニット２１がローラ１１，１２間における支持フィルム１３の上方に配置される点、及び撮像ユニット３０がローラ１１，１２間における支持フィルム１３の下方に配置される点において、第１実施形態の検査装置１と主に異なる。

　本実施形態の照明ユニット２１は、搬送装置１０によって搬送される被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に光Ｌ１を照射する。つまり、照明ユニット２１は、被検査物６０を基準として一方の面６０Ｓ１側に配置されてこの一方の面６０Ｓ１に光Ｌ１を照射すると理解できる。図１０は、図９の検査装置１を第１搬送方向Ｄ１の下流側から見る図である。なお、理解を容易にするため、図１０では、被検査物６０は鉛直断面によって示されている。また、図１０では、照明ユニット２１から出射する光Ｌ１が二点鎖線で示されている。図１０に示すように、光Ｌ１は被検査物６０の一方の面６０Ｓ１側から他方の面６０Ｓ２側に向かって被検査物６０を透過する。

　本実施形態の撮像ユニット３０は、被検査物６０を透過する照明ユニット２１からの光Ｌ１を、支持フィルム１３を介して撮像する。つまり、撮像ユニット３０は、被検査物６０を基準として他方の面６０Ｓ２側に配置され被検査物６０を透過する照明ユニット２１からの光Ｌ１を撮像する。本実施形態では、撮像ユニット３０は、ラインセンサカメラとされ、照明ユニット２１の概ね直下に位置しており、直線２１ａと交わっている。撮像ユニット３０は、撮像範囲が第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直な方向に延在するとともに当該撮像範囲が被検査物６０における照明ユニット２１からの光Ｌ１が透過する部位または当該部位の近傍に位置するように、配置される。制御部ＣＯは、撮像ユニット３０を制御して、撮像ユニット３０に搬送されている被検査物６０を透過する光を所定の時間間隔で撮像させるとともに、被検査物６０の他方の面６０Ｓ２の全体が含まれる二次元の画像を検査部４０に出力させる。

　本実施形態では、第１実施形態と同様に、被検査物６０は、照明ユニット２１及び撮像ユニット３０よりローラ１１側に位置するように、搬送装置１０のローラ１１，１２間における支持フィルム１３上に載置される。制御部ＣＯは、照明ユニット２１を制御して、照明ユニット２１に光Ｌ１を出射させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第１搬送方向Ｄ１へ搬送させる。このため、照明ユニット２１は、搬送装置１０によって第１搬送方向Ｄ１へ搬送される被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に光Ｌ１を照射する。制御部ＣＯは、撮像ユニット３０を制御して、撮像ユニット３０に第１搬送方向Ｄ１へ搬送されている被検査物６０を透過する照明ユニット２１からの光Ｌ１を所定の時間間隔で撮像させ、被検査物６０の他方の面６０Ｓ２の全体が含まれる二次元の画像を検査部４０に出力させる。

　被検査物６０の一方の面６０Ｓ１や他方の面６０Ｓ２に異物等の欠陥がある場合、第１実施形態と同様に、図３に示すように、撮像ユニット３０によって撮像された照明ユニット２１からの光の画像において欠陥が明部７１に囲まれた暗部７２として映し出され得る。

　本実施形態の検査部４０は、第１実施形態と同様にして、撮像ユニット３０が撮像した画像に基づいて、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１及び他方の面６０Ｓ２における欠陥の有無を判断する。

　制御部ＣＯは、検査部４０から入力する信号に応じた制御信号を表示部５０に出力し、当該表示部５０に検査結果を表示させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、被検査物６０を当該被検査物６０が搬送装置１０に載置された位置に戻す。

　ところで、アウターカバーである被検査物６０の外周縁には、他方の面６０Ｓ２側に突出するリブ６１が設けられている。このため、照明ユニット２１からの光の一部がリブ６１に入射して当該リブ６１から撮像ユニット３０に向かって出射したり、リブ６１で撮像ユニット３０に向かって反射したりする場合がある。つまり、リブ６１を透過する光やリブ６１で反射する光が撮像ユニット３０によって撮像される画像に映り込むことがある。画像において、このようなリブ６１からの光が被検査物６０の面６０Ｓ１や面６０Ｓ２に対応する部位と重なる場合、リブ６１からの光によってこの部位における欠陥の有無を適切に検査できなくなる可能性があり、この場合、被検査物の表面の欠陥の検査範囲が狭くなることが懸念される。

　そこで、本実施形態の検査装置１では、照明ユニット２１と、撮像ユニット３０と、検査部４０と、を備える。照明ユニット２１は、凸状に湾曲する一方の面６０Ｓ１と一方の面６０Ｓ１と対向し凹状に湾曲する他方の面６０Ｓ２とを含み透光性を有する被検査物６０を基準として一方の面６０Ｓ１側に配置されて一方の面６０Ｓ１に光Ｌ１を照射する。撮像ユニット３０は、被検査物６０を基準として他方の面６０Ｓ２側に配置され被検査物６０を透過する照明ユニット２１からの光Ｌ１を撮像する。検査部４０は、撮像ユニット３０が撮像した画像に基づいて、被検査物６０における欠陥の有無を判断する。本実施形態の検査装置１では、撮像ユニット３０は、被検査物６０を基準として他方の面６０Ｓ２側に配置される。また、被検査物６０の外周縁にはこの他方の面６０Ｓ２から突出するリブ６１が設けられている。照明ユニット２１からの光Ｌ１のうち、一方の面６０Ｓ１から被検査物６０に入射する光の一部や、一方の面６０Ｓ１から被検査物６０に入射して当該被検査物６０の他方の面６０Ｓ２から出射する光の一部は、リブ６１に入射したりリブ６１で反射したりして撮像ユニット３０に向かう場合がある。このようにリブ６１から光が撮像ユニット３０に向かったとしても、当該光はリブ６１の近傍における他方の面６０Ｓ２や一方の面６０Ｓ１を介さずに撮像ユニット３０に向かい易い。一方、本実施形態と異なり、照明ユニット２１が被検査物６０を基準として他方の面６０Ｓ２側に配置され、撮像ユニット３０が被検査物６０を基準として一方の面６０Ｓ１側に配置される場合、照明ユニット２１からの光Ｌ１のうちリブ６１から撮像ユニットに向かう光は、リブ６１の近傍における他方の面６０Ｓ２や一方の面６０Ｓ１を介して撮像ユニット３０に向かうようになり易い。この場合、リブ６１から撮像ユニット３０に向かう光の多くは、リブ６１を介さずにリブ６１の近傍における他方の面６０Ｓ２や一方の面６０Ｓ１を介して撮像ユニット３０に向かう光と重なって撮像ユニット３０に入射し易い。つまり、撮像ユニット３０によって撮像される画像において、リブ６１からの光がリブ６１の近傍における他方の面６０Ｓ２や一方の面６０Ｓ１と重なり易い。このため、リブ６１から撮像ユニット３０に向かう光によって、リブ６１の近傍における他方の面６０Ｓ２や一方の面６０Ｓ１における欠陥を適切に検出できなくなる傾向がある。従って、本実施形態の検査装置１は、照明ユニット２１が被検査物６０を基準として他方の面６０Ｓ２側に配置され、撮像ユニット３０が被検査物６０を基準として一方の面６０Ｓ１側に配置される場合と比べて、リブ６１から光が撮像ユニット３０に向かったとしても、当該光は、リブ６１を介さずにリブ６１の近傍における他方の面６０Ｓ２や一方の面６０Ｓ１を介して撮像ユニット３０に向かう光と重なり難い。このため、本実施形態の検査装置１は、リブ６１の近傍における他方の面６０Ｓ２や一方の面６０Ｓ１における欠陥を適切に検出できなくなることを抑制し得る。従って、本実施形態の検査装置１は、被検査物６０の外周縁に他方の面６０Ｓ２から突出するリブ６１が設けられて当該リブ６１から光が撮像ユニット３０に向かったとしても、被検査物６０の表面の欠陥の検査範囲が狭くなることを抑制し得る。

（第６実施形態）
　次に、本発明の第２の態様としての第６実施形態について図１１を参照して詳細に説明する。なお、第５実施形態と同一又は同等の構成要素については、特に説明する場合を除き、同一の参照符号を付して重複する説明は省略する。

　図１１は、本実施形態における検査装置を図９と同様に示す図である。図１１に示すように、本実施形態の検査装置１は、照明ユニット２１が第１照明部２３と第２照明部２５とを有する点において、第５実施形態の検査装置１と主に異なる。なお、図１１では、第１照明部２３から出射する光Ｌ３及び第２照明部２５から出射する光Ｌ５が二点鎖線で示されている。

　本実施形態における第１照明部２３は、第５実施形態の照明ユニット２１と同様の構成とされる。このため、本実施形態の第１照明部２３は、被検査物６０より上方に配置され、第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直かつ概ね水平な方向に並列された複数のＬＥＤから構成されるライン照明とされる。また、第１照明部２３の光軸と平行で第１照明部２３の光の出射面２３ｅを通る第１直線２３ａは概ね鉛直と平行であり、撮像ユニット３０はこの第１直線２３ａと交わっている。第１照明部２３は、搬送装置１０によって搬送される被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に光Ｌ３を照射し、この光Ｌ３は被検査物６０の一方の面６０Ｓ１側から他方の面６０Ｓ２側に向かって被検査物６０を透過する。被検査物６０における第１照明部２３からの光Ｌ３が透過する部位は、第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直な方向に延びるライン状となる。

　一方、本実施形態の第２照明部２５は、被検査物６０より上方において、第１照明部２３よりローラ１１側に配置される。第２照明部２５は、第１照明部２３と同様に、第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直かつ概ね水平な方向に並列された複数のＬＥＤから構成されるライン照明とされる。第２照明部２５の光軸と平行で第２照明部２５の光の出射面２５ｅを通る第２直線２５ａは、上下方向に延在するものの、下方に向かってローラ１２側に傾斜しており、第１直線２３ａと非平行である。この第２直線２５ａは、撮像ユニット３０とローラ１２との間を通り、撮像ユニット３０と交わっていない。第２照明部２５は、搬送装置１０によって搬送される被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に光Ｌ５を照射し、この光Ｌ５は被検査物６０の一方の面６０Ｓ１側から他方の面６０Ｓ２側に向かって被検査物６０を透過する。被検査物６０における第２照明部２５からの光Ｌ５が透過する部位は、第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直な方向に延びるライン状となり、被検査物６０における第１照明部２３からの光Ｌ３が透過する部位と重なる。そして、撮像ユニット３０の撮像範囲は、被検査物６０における第１照明部２３からの光Ｌ３が透過する部位と第２照明部２５からの光Ｌ５が透過する部位とが重なる部位またはこの重なる部位の近傍に位置している。つまり、撮像ユニット３０の撮像範囲がこのように位置するように、第１照明部２３、第２照明部２５、及び撮像ユニット３０が配置されている。

　なお、照明ユニット２１は、第１照明部２３から光Ｌ３を出射する際には第２照明部２５からの光Ｌ５を非出射とし、第２照明部２５から光Ｌ５を出射する際には第１照明部２３からの光Ｌ３を非出射とする。つまり、第１照明部２３が被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に光Ｌ３を照射する時期と第２照明部２５が被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に光Ｌ５を照射する時期とが互いに異なる。

　本実施形態では、第５実施形態と同様に、被検査物６０は、支持フィルム１３上に載置される。制御部ＣＯは、第１照明部２３を制御して、第１照明部２３に光Ｌ３を出射させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第１搬送方向Ｄ１へ搬送させる。このため、第１照明部２３は、搬送装置１０によって第１搬送方向Ｄ１へ搬送される被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に光Ｌ３を照射する。この際、第２照明部２５からの光Ｌ５は非出射とされている。制御部ＣＯは、撮像ユニット３０を制御して、撮像ユニット３０に第１搬送方向Ｄ１へ搬送されている被検査物６０を透過する第１照明部２３からの光Ｌ３を所定の時間間隔で撮像させ、被検査物６０の他方の面６０Ｓ２の全体が含まれる二次元の画像を検査部４０に出力させる。

　本実施形態では、制御部ＣＯは、撮像ユニット３０による上記の撮像が終了した後に、第２照明部２５を制御して、第２照明部２５に光Ｌ５を出射させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第２搬送方向Ｄ２へ搬送させ、被検査物６０を当該被検査物６０が搬送装置１０に載置された位置に戻す。このため、第２照明部２５は、搬送装置１０によって第２搬送方向Ｄ２へ搬送される被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に光を照射する。この際、第１照明部２３からの光Ｌ３は非出射とされている。制御部ＣＯは、撮像ユニット３０を制御して、撮像ユニット３０に第２搬送方向Ｄ２へ搬送されている被検査物６０を透過する第２照明部２５からの光Ｌ５を所定の時間間隔で撮像させ、被検査物６０の他方の面６０Ｓ２の全体が含まれる二次元の画像を検査部４０に出力させる。

　上記のように、本実施形態では、第１直線２３ａと第２直線２５ａとは互いに非平行である。このため、照明ユニット２１は、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に第１方向から光Ｌ３を照射する第１照明部２３と、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に第１方向と異なる第２方向から光Ｌ５を照射する第２照明部２５とを有していると理解できる。また、撮像ユニット３０は、被検査物６０を透過する第１照明部２３からの光Ｌ３及び第２照明部２５からの光Ｌ５をそれぞれ個別に撮像していると理解できる。

　本実施形態の検査部４０は、第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断し、更に、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断する。具体的には、検査部４０は、第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像における暗部から欠陥の有無を判断する。本実施形態の第１直線２３ａは、撮像ユニット３０と交わる。このため、第５実施形態と同様にして、撮像ユニット３０によって撮像された第１照明部２３からの光Ｌ３の画像において欠陥が暗部として映し出され得る。本実施形態の検査部４０は、第５実施形態と同様にして、撮像ユニット３０によって撮像された第１照明部２３からの光Ｌ３の画像において、所定の閾値より輝度値が低い領域を抽出し、抽出した領域の面積を算出する。そして、算出した面積が所定の面積より大きい場合に、欠陥があることを示す信号を制御部ＣＯに出力する。

　一方、第２直線２５ａは、撮像ユニット３０と交わらない。このため、第２直線２５ａが撮像ユニット３０と交わる場合と比べて、第２照明部２５によって被検査物６０に照射される光Ｌ５のうち、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１及び他方の面６０Ｓ２における欠陥に入射せずに被検査物６０を一方の面６０Ｓ１側から他方の面６０Ｓ２側に向かって透過する光は、撮像ユニット３０に入射し難い。本実施形態では、第２照明部２５によって被検査物６０に照射される光Ｌ５のうち、このように被検査物６０を透過する光の多くが撮像ユニット３０に入射しないように、撮像ユニット３０に対する第２照明部２５の位置や向きが調整されている。一方、第２照明部２５によって被検査物６０に照射される光Ｌ５のうち欠陥に入射する光の多くは欠陥で吸収されたり欠陥で反射したりする。このため、この欠陥で反射するとともに被検査物６０を透過する光は撮像ユニット３０に入射し得る。このため、第２実施形態と同様に、図６に示すように、撮像ユニット３０によって撮像された第２照明部２５からの光Ｌ５の画像において欠陥が暗部７２に囲まれた明部７１として映し出され得る。本実施形態の検査部４０は、第２実施形態と同様に、第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断し、更に、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断し、判断に応じた信号を制御部ＣＯに出力する。

　制御部ＣＯは、検査部４０から入力する信号に応じた制御信号を表示部５０に出力し、当該表示部５０に検査結果を表示させる。なお、上記のように被検査物６０は当該被検査物６０が搬送装置１０に載置された位置に戻される。このため、第５実施形態と同様に、検査前における被検査物６０の位置と検査後における被検査物６０の位置とが概ね同じである。

　上記のように、本実施形態の検査装置１では、照明ユニット２１は、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に第１方向から光Ｌ３を照射する第１照明部２３と、被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に第１方向と異なる第２方向から光Ｌ５を照射する第２照明部２５とを有する。撮像ユニット３０は、被検査物６０を透過する第１照明部２３からの光Ｌ３及び第２照明部２５からの光Ｌ５をそれぞれ個別に撮像する。また、撮像ユニット３０は、第１直線２３ａと交わるとともに第２直線２５ａと交わらない。また、検査部４０は、第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像における暗部７２から欠陥の有無を判断するとともに、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像における明部７１から欠陥の有無を判断する。ところで、光は拡散しながら伝搬するため、欠陥が髪の毛や糸屑等のように細く繊維状のものである場合、このような欠陥は第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像において暗部７２として映し出されにくい傾向にある。しかし、本実施形態の検査装置１では、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像においてこのような欠陥が明部７１として映し出されるようにし得る。従って、本実施形態の検査装置１は、欠陥が繊維状の異物等の細いものであっても検出し得る。

　また、本実施形態の検査装置１では、第１照明部２３が被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に光Ｌ３を照射する時期と第２照明部２５が被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に光Ｌ５を照射する時期とが互いに異なる。このため、第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像に第２照明部２５からの光Ｌ５が映り込むことがない。また、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像に第１照明部２３からの光Ｌ３が映り込むことがない。このため、撮像ユニット３０は、例えば第１照明部２３からの光Ｌ３を撮像する第１撮像部と、第２照明部２５からの光Ｌ５を撮像する第２撮像部とを有していなくても、第１照明部２３からの光Ｌ３及び第２照明部２５からの光Ｌ５をそれぞれ個別に撮像し得る。

　なお、繊維状の異物等の細い欠陥の検出確度を高くする観点では、第２照明部２５からの光Ｌ５は、コリメート光または被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に集光する光であることが好ましい。このような構成にすることで、第２照明部２５からの光Ｌ５が拡散光である場合と比べて、欠陥が明部７１として映し出される際の明部７１の輝度を高くし得、繊維状の異物等の細い欠陥の検出確度を高くし得る。

（第７実施形態）
　次に、本発明の第２の態様としての第７実施形態について図１２を参照して詳細に説明する。なお、第６実施形態と同一又は同等の構成要素については、特に説明する場合を除き、同一の参照符号を付して重複する説明は省略する。

　図１２は、本実施形態における検査装置を図９と同様に示す図である。図１２に示すように、本実施形態の検査装置１は、第２照明部２５が第１照明部２３より第１搬送方向Ｄ１の下流側に位置している点、及び、撮像ユニット３０が第１撮像部３１と第２撮像部３２とを有する点において、第６実施形態の検査装置１と主に異なる。

　本実施形態における第２照明部２５は、第６実施形態の第２照明部２５と同様の構成とされる。しかし、第２照明部２５は、上記のように、第１照明部２３より第１搬送方向Ｄ１の下流側に位置している。

　本実施形態における第１撮像部３１は、第６実施形態の撮像ユニット３０と同様の構成とされる。このため、本実施形態の第１撮像部３１は、ラインセンサカメラとされ、第１照明部２３の概ね直下に位置しており、第１直線２３ａと交わっている。第１撮像部３１は、撮像範囲が第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直な方向に延在するとともに当該撮像範囲が被検査物６０における第１照明部２３からの光Ｌ３が透過する部位または当該部位の近傍に位置するように、配置される。そして、第１撮像部３１は、被検査物６０を透過する第１照明部２３からの光Ｌ３を撮像する。

　本実施形態の第２撮像部３２は、第１撮像部３１と同様に、ラインセンサカメラとされる。第２撮像部３２は、ローラ１１，１２間における支持フィルム１３の下方かつ第１搬送方向Ｄ１と平行な方向において第１照明部２３及び第１撮像部３１よりローラ１２側に位置しており、第１直線２３ａ及び第２直線２５ａと交わっていない。第２撮像部３２は、撮像範囲が第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直な方向に延在するとともに当該撮像範囲が被検査物６０における第２照明部２５からの光Ｌ５が透過する部位または当該部位の近傍に位置するように、配置される。そして、第２撮像部３２は、被検査物６０を透過する第２照明部２５からの光Ｌ５を撮像する。

　本実施形態では、第６実施形態と同様に、被検査物６０は、支持フィルム１３上に載置される。制御部ＣＯは、第１照明部２３を制御して、第１照明部２３に光Ｌ３を出射させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第１搬送方向Ｄ１へ搬送させる。このため、第１照明部２３は、搬送装置１０によって第１搬送方向Ｄ１へ搬送される被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に光Ｌ３を照射する。この際、第２照明部２５からの光Ｌ５は非出射とされている。制御部ＣＯは、第１撮像部３１を制御して、第１撮像部３１に第１搬送方向Ｄ１へ搬送されている被検査物６０を透過する第１照明部２３からの光Ｌ３を所定の時間間隔で撮像させ、被検査物６０の他方の面６０Ｓ２の全体が含まれる二次元の画像を検査部４０に出力させる。

　また、制御部ＣＯは、第６実施形態と同様に、第１撮像部３１による上記の撮像が終了した後に、第２照明部２５を制御して、第２照明部２５に光Ｌ５を出射させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第２搬送方向Ｄ２へ搬送させ、被検査物６０を当該被検査物６０が搬送装置１０に載置された位置に戻す。このため、第２照明部２５は、搬送装置１０によって第２搬送方向Ｄ２へ搬送される被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に光Ｌ５を照射する。この際、第１照明部２３からの光Ｌ３は非出射とされている。制御部ＣＯは、第２撮像部３２を制御して、第２撮像部３２に第２搬送方向Ｄ２へ搬送されている被検査物６０を透過する第２照明部２５からの光Ｌ５を所定の時間間隔で撮像させ、被検査物６０の他方の面６０Ｓ２の全体が含まれる二次元の画像を検査部４０に出力させる。

　本実施形態の第１直線２３ａは、第１撮像部３１と交わる。このため、第６実施形態と同様にして、第１撮像部３１によって撮像された第１照明部２３からの光Ｌ３の画像において被検査物６０の欠陥が暗部として映し出され得る。また、第２直線２５ａは、第２撮像部３２と交わらない。本実施形態では、第６実施形態と同様に、第２照明部２５によって被検査物６０に照射される光Ｌ５のうち、被検査物６０の欠陥に入射せずに被検査物６０を透過する光の多くが第２撮像部３２に入射しないように、第２撮像部３２に対する第２照明部２５の位置や向きが調整されている。このため、第２撮像部３２によって撮像された第２照明部２５からの光Ｌ５の画像において欠陥が暗部に囲まれた明部として映し出され得る。

　本実施形態の検査部４０は、第６実施形態と同様に、第１撮像部３１によって撮像された第１照明部２３からの光Ｌ３の画像における暗部から欠陥の有無を判断し、更に、第２撮像部３２によって撮像された第２照明部２５からの光Ｌ５の画像における明部から欠陥の有無を判断する。

　制御部ＣＯは、第６実施形態と同様に、検査部４０から入力する信号に応じた制御信号を表示部５０に出力し、当該表示部５０に検査結果を表示させる。なお、上記のように被検査物６０は当該被検査物６０が搬送装置１０に載置された位置に戻される。このため、第５実施形態と同様に、検査前における被検査物６０の位置と検査後における被検査物６０の位置とが概ね同じである。

　このような本実施形態の検査装置１は、第６実施形態と同様にして、欠陥が繊維状の異物等の細いものであっても検出し得る。

（第８実施形態）
　次に、本発明の第２の態様としての第８実施形態について図１３を参照して詳細に説明する。なお、第７実施形態と同一又は同等の構成要素については、特に説明する場合を除き、同一の参照符号を付して重複する説明は省略する。

　図１３は、本実施形態における検査装置を図９と同様に示す図である。図１３に示すように、本実施形態の検査装置１は、照明ユニット２１が１つの照明部からなる点、及び第２撮像部３２が鉛直方向に対して傾倒している点において、第７実施形態の検査装置１と主に異なる。

　本実施形態の照明ユニット２１は、第５実施形態の照明ユニット２１と同様の構成である。このため、本実施形態の照明ユニット２１は、被検査物６０より上方に配置され、第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直かつ概ね水平な方向に並列された複数のＬＥＤから構成されるライン照明とされる。また、照明ユニット２１の光軸と平行で照明ユニット２１の出射面２１ｅを通る直線２１ａは概ね鉛直と平行であり、第１撮像部３１はこの直線２１ａと交わっており、第２撮像部３２はこの直線２１ａと交わっていない。被検査物６０における照明ユニット２１からの光Ｌ１が透過する部位は、第１搬送方向Ｄ１と概ね垂直な方向に延びるライン状となる。第１撮像部３１の撮像範囲は、被検査物６０における照明ユニット２１からの光Ｌ１が透過する部位または当該部位の近傍に位置している。

　本実施形態では、第７実施形態と同様に、被検査物６０は、支持フィルム１３上に載置される。制御部ＣＯは、照明ユニット２１を制御して、照明ユニット２１に光Ｌ１を出射させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第１搬送方向Ｄ１へ搬送させる。このため、照明ユニット２１は、搬送装置１０によって第１搬送方向Ｄ１へ搬送される被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に光Ｌ１を照射する。制御部ＣＯは、第１撮像部３１及び第２撮像部３２を制御して、第１撮像部３１及び第２撮像部３２に第１搬送方向Ｄ１へ搬送されている被検査物６０を透過する照明ユニット２１からの光Ｌ１を所定の時間間隔で撮像させ、被検査物６０の他方の面６０Ｓ２の全体が含まれる二次元の画像をそれぞれ検査部４０に出力させる。

　本実施形態では、上記のように第１撮像部３１は直線２１ａと交わるため、第７実施形態と同様にして、第１撮像部３１によって撮像された照明ユニット２１からの光Ｌ１の画像において被検査物６０の欠陥が暗部として映し出され得る。また、直線２１ａは、第２撮像部３２と交わらない。本実施形態では、第７実施形態と同様に、照明ユニット２１によって被検査物６０に照射される光Ｌ１のうち、被検査物６０の欠陥に入射せずに被検査物６０を透過する光の多くが第２撮像部３２に入射しないように、照明ユニット２１に対する第２撮像部３２の位置や向きが調整されている。このため、第２撮像部３２によって撮像された照明ユニット２１からの光Ｌ１の画像において欠陥が暗部に囲まれた明部として映し出され得る。

　本実施形態の検査部４０は、第７実施形態と同様に、第１撮像部３１によって撮像された照明ユニット２１からの光Ｌ１の画像における暗部から欠陥の有無を判断し、更に、第２撮像部３２によって撮像された照明ユニット２１からの光Ｌ１の画像における明部から欠陥の有無を判断する。

　制御部ＣＯは、第７実施形態と同様に、検査部４０から入力する信号に応じた制御信号を表示部５０に出力し、当該表示部５０に検査結果を表示させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第１搬送方向Ｄ１と反対方向である第２搬送方向Ｄ２へ搬送させ、被検査物６０を当該被検査物６０が搬送装置１０に載置された位置に戻す。このため、検査前における被検査物６０の位置と検査後における被検査物６０の位置とが概ね同じとなる。なお、制御部ＣＯは、搬送装置１０に被検査物６０を第２搬送方向Ｄ２へ搬送させなくてもよい。

　このような本実施形態の検査装置１は、第７実施形態と同様にして、欠陥が繊維状の異物等の細いものであっても検出し得る。

　また、本実施形態の検査装置１では、撮像ユニット３０は、被検査物６０を透過する第１照明部２３からの光Ｌ３を撮像する第１撮像部３１と、被検査物６０を透過する第２照明部２５からの光を撮像する第２撮像部３２とを有する。このため、本実施形態の検査装置１によれば、撮像ユニット３０が第２撮像部３２を有さない場合と比べて、被検査物６０に対する第２照明部２５の位置や向きの自由度を向上でき、被検査物６０を透過する第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像に欠陥が映り出され易くし得る。このため、実施形態の検査装置１は、被検査物６０の欠陥の検出確度が低下することをより抑制し得る。

（第９実施形態）
　次に、本発明の第２の態様としての第９実施形態について図１４を参照して詳細に説明する。なお、第５実施形態と同一又は同等の構成要素については、特に説明する場合を除き、同一の参照符号を付して重複する説明は省略する。

　図１４は、本実施形態における検査装置を図９と同様に示す図である。図１４に示すように、本実施形態の検査装置１は、別の照明ユニット１２１と別の撮像ユニット１３０とを備える点において、第５実施形態の検査装置１と主に異なる。

　本実施形態の別の照明ユニット１２１は、第１実施形態の照明ユニット２１と同様の構成であり、照明ユニット２１及び撮像ユニット３０より第１搬送方向Ｄ１の下流側において、支持フィルム１３の下方に配置される。別の照明ユニット１２１は、搬送装置１０によって搬送される被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に支持フィルム１３を介して光Ｌ１１を照射する。つまり、別の照明ユニット１２１は、被検査物６０を基準として他方の面６０Ｓ２側に配置されてこの他方の面６０Ｓ２に光Ｌ１１を照射する。また、別の照明ユニット１２１の光軸と平行で別の照明ユニット１２１の光の出射面１２１ｅを通る直線１２１ａは直線２１ａと概ね平行であるが、直線１２１ａと直線２１ａとは非平行であってもよく、直線１２１ａと直線２１ａとが鉛直方向と非平行であってもよい。また、第１搬送方向Ｄ１と平行な方向における照明ユニット２１と別の照明ユニット１２１との距離は、第１搬送方向Ｄ１と平行な方向における被検査物６０の幅より小さいが、この幅より大きくてもよい。また、第１搬送方向Ｄ１と垂直な鉛直方向において、別の照明ユニット１２１の出射面１２１ｅは、撮像ユニット３０より支持フィルム１３側に位置しているが、出射面１２１ｅと撮像ユニット３０との位置関係は特に制限されない。

　本実施形態の別の撮像ユニット１３０は、第１実施形態の撮像ユニット３０と同様の構成であり、照明ユニット２１及び撮像ユニット３０より第１搬送方向Ｄ１の下流側において、被検査物６０より上方に配置され、被検査物６０を透過する別の照明ユニット１２１からの光Ｌ１１を撮像する。つまり、別の撮像ユニット１３０は、被検査物６０を基準として一方の面６０Ｓ１側に配置され被検査物６０を透過する別の照明ユニット１２１からの光Ｌ１１を撮像する。本実施形態では、別の撮像ユニット１３０は、ラインセンサカメラとされ、別の照明ユニット１２１の概ね直上に位置しており、上記の直線１２１ａと交わっている。また、鉛直方向において、別の撮像ユニット１３０は、照明ユニット２１の出射面２１ｅより支持フィルム１３側と反対側に位置しているが、別の撮像ユニット１３０と出射面２１ｅとの位置関係は特に制限されない。

　本実施形態では、第５実施形態と同様に、被検査物６０は、支持フィルム１３上に載置される。制御部ＣＯは、照明ユニット２１を制御して、照明ユニット２１に光Ｌ１を出射させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第１搬送方向Ｄ１へ搬送させる。このため、照明ユニット２１は、搬送装置１０によって第１搬送方向Ｄ１へ搬送される被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に光Ｌ１を照射する。この際、別の照明ユニット１２１からの光Ｌ１１は非出射とされている。制御部ＣＯは、撮像ユニット３０を制御して、撮像ユニット３０に第１搬送方向Ｄ１へ搬送されている被検査物６０を透過する照明ユニット２１からの光Ｌ１を所定の時間間隔で撮像させ、被検査物６０の他方の面６０Ｓ２の全体が含まれる二次元の画像を検査部４０に出力させる。

　また、制御部ＣＯは、撮像ユニット３０による上記の撮像が終了した後に、別の照明ユニット１２１を制御して、別の照明ユニット１２１に光Ｌ１１を出射させる。また、制御部ＣＯは、搬送装置１０を制御して、搬送装置１０に被検査物６０を第２搬送方向Ｄ２へ搬送させ、被検査物６０を当該被検査物６０が搬送装置１０に載置された位置に戻す。このため、別の照明ユニット１２１は、搬送装置１０によって第２搬送方向Ｄ２へ搬送される被検査物６０の一方の面６０Ｓ１に光Ｌ１１を照射する。この際、照明ユニット２１からの光Ｌ１は非出射とされている。制御部ＣＯは、別の撮像ユニット１３０を制御して、別の撮像ユニット１３０に第２搬送方向Ｄ２へ搬送されている被検査物６０を透過する別の照明ユニット１２１からの光Ｌ１１を所定の時間間隔で撮像させ、被検査物６０の他方の面６０Ｓ２の全体が含まれる二次元の画像を検査部４０に出力させる。

　つまり、本実施形態では、撮像ユニット３０が被検査物６０を透過する照明ユニット２１からの光Ｌ１を撮像し、別の撮像ユニット１３０が被検査物６０を透過する別の照明ユニット１２１からの光Ｌ１１を撮像する。

　本実施形態では、検査部４０は、第５実施形態と同様に、撮像ユニット３０によって撮像された照明ユニット２１からの光Ｌ１の画像における明部から欠陥の有無を判断する。また、検査部４０は、別の撮像ユニット１３０によって撮像された別の照明ユニット１２１からの光Ｌ１１の画像における明部から欠陥の有無を判断する。

　制御部ＣＯは、第５実施形態と同様に、検査部４０から入力する信号に応じた制御信号を表示部５０に出力し、当該表示部５０に検査結果を表示させる。

　本実施形態では、被検査物６０を一方の面６０Ｓ１側から他方の面６０Ｓ２側に透過する光Ｌ１の画像と、被検査物６０を他方の面６０Ｓ２側から一方の面６０Ｓ１側に透過する光Ｌ１１の画像とから欠陥の有無を判断する。このため、別の照明ユニット１２１と別の撮像ユニット１３０とを備えない場合と比べて、被検査物６０の表面の欠陥の検出確度を向上し得る。

　なお、別の照明ユニット１２１及び別の撮像ユニット１３０は、照明ユニット２１及び撮像ユニット３０より第１搬送方向Ｄ１の上流側に配置されてもよい。また、別の撮像ユニット１３０による撮像は、被検査物６０を第１搬送方向Ｄ１に搬送する際に行われてもよい。この場合、別の撮像ユニット１３０は、照明ユニット２１からの光Ｌ１が入射しないように、照明ユニット２１から離れていることが好ましい。例えば、第１搬送方向Ｄ１と平行な方向における照明ユニット２１と別の撮像ユニット１３０との距離は、第１搬送方向Ｄ１と平行な方向における被検査物６０の幅より大きいことが好ましい。このようにすることで、撮像ユニット３０による撮像が終わった後に別の撮像ユニット１３０による撮像を行える。また、被検査物６０が第１搬送方向Ｄ１に搬送される際に、照明ユニット２１と別の照明ユニット１２１とが所定の時間間隔で交互に光Ｌ１，Ｌ１１を照射し、撮像ユニット３０が照明ユニット２１に同期して光Ｌ１を撮像し、別の撮像ユニット１３０が別の照明ユニット１２１に同期して光Ｌ１１を撮像してもよい。また、別の照明ユニット１２１及び別の撮像ユニット１３０に対して、第２実施形態から第４実施形態のいずれかを適用でき、例えば、別の照明ユニット１２１は、図５に示す第２実施形態の照明ユニット２１と同様の構成にしてもよい。また、照明ユニット２１及び撮像ユニット３０に対して、第６実施形態から第８実施形態のいずれかを適用でき、例えば、照明ユニット２１は、図１１に示す第６実施形態の照明ユニット２１と同様の構成にしてもよい。

　以上、本発明の第１の態様及び第２の態様について、上記実施形態を例に説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。

　例えば、第１から第９実施形態では、外周縁の全周に亘ってリブ６１が設けられたアウターカバーである被検査物６０を例に説明した。しかし、被検査物６０は、透光性を有し、凸状に湾曲する一方の面６０Ｓ１と、この一方の面６０Ｓ１と対向し凹状に湾曲する他方の面６０Ｓ２とを含んでいればよい。例えば、リブ６１は、被検査物６０の外周縁の一部に設けられていてもよく、被検査物６０の外周縁にリブ６１が設けられなくてもよい。また、被検査物６０の一部が無色透明であり、被検査物６０の他の一部が有色透明であってもよい。

　また、第１から第９実施形態では、白色の光を被検査物６０に照射する照明ユニット２１を例に説明した。また、第９実施形態では、白色の光を被検査物６０に照射する別の照明ユニット１２１を例に説明した。しかし、照明ユニット２１や別の照明ユニット１２１が被検査物６０に照射する光の色は特に限定されるものではない。なお、被検査物６０における一部が無色透明であり、被検査物６０における他の一部が有色透明である場合、照明ユニット２１や別の照明ユニット１２１が被検査物６０に照射する光の色は、被検査物６０における有色透明な部位の色と概ね同じ色とされることが好ましい。このような構成にすることで、色の違いに起因して画像の輝度にムラが生じることが抑制され、被検査物６０の欠陥の検出確度が低下することを抑制し得る。

　また、第２、第３、第６及び第７実施形態では、第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像における暗部から欠陥の有無を判断するとともに、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像における明部から欠陥の有無を判断する検査部４０を例に説明した。しかし、照明ユニット２１が被検査物６０の他方の面６０Ｓ２に第１方向から光Ｌ３を照射する第１照明部２３と他方の面６０Ｓ２に第１方向と異なる第２方向から光を照射する第２照明部２５とを有するとともに、撮像ユニット３０が被検査物６０を透過する第１照明部２３からの光Ｌ３及び第２照明部２５からの光Ｌ５をそれぞれ個別に撮像する場合において被検査物６０の欠陥の検出確度が低下することを抑制する観点では、検査部４０は、撮像ユニット３０によって撮像された画像に基づいて欠陥の有無を判断すればよい。このような検査装置では、第１方向と第２方向とが互いに異なるため、第１方向から光が照射される場合における被検査物６０の欠陥に起因する光の吸収、反射、屈折等は、第２方向から光が照射される場合と異なる。このため、第１方向から光が照射される場合における画像に映し出され難くかった欠陥が第２方向から光が照射される場合における画像に映し出され易くなったり、第２方向から光が照射される場合における画像に映し出され難くかった欠陥が第２方向から光が照射される場合における画像に映し出され易くなったりし得る。このため、このような検査装置は、照明ユニット２１が第２照明部２５を有さない場合と比べて、被検査物６０の欠陥の検出確度が低下することを抑制し得る。

　また、第２及び第６実施形態では、第２照明部２５の光軸と平行で第２照明部２５の光の出射面２５ｅを通る第２直線２５ａと交わらない撮像ユニット３０を例に説明した。しかし、第２及び第６実施形態では、第１直線２３ａと第２直線２５ａとが非平行である場合、撮像ユニット３０は第２直線２５ａと交わっていてもよい。この場合、例えば、検査部４０は、第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像に基づく欠陥の有無の判断と同様に、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像における暗部から欠陥の有無を判断する。このような構成であっても、第１直線２３ａと第２直線２５ａとが非平行であるため、第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像に映し出され難くかった欠陥が第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像映し出され易くなったり、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像に映し出され難くかった欠陥が第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像映し出され易くなったりし得る。このため、このような検査装置は、照明ユニット２１が第２照明部２５を有さない場合と比べて、被検査物６０の欠陥の検出確度が低下することを抑制し得る。

　また、第２及び第６実施形態では、第１照明部２３より第１搬送方向Ｄ１の上流側に位置する第２照明部２５を例に説明した。しかし、第２及び第６実施形態では、第２照明部２５の第１照明部２３に対する位置は特に限定されるものではなく、第２照明部２５は第１照明部２３より第１搬送方向Ｄ１の下流側に位置していてもよい。この場合、例えば、第２実施形態では第２直線２５ａが上方に向かって第１搬送方向Ｄ１と反対方向に傾斜するように第２照明部２５を配置し、第６実施形態では第２直線２５ａが下方に向かって第１搬送方向Ｄ１と反対方向に傾斜するように第２照明部２５を配置する。なお、第１直線２３ａが鉛直方向と非平行であってもよい。

　また、第２及び第６実施形態では、被検査物６０が第１搬送方向Ｄ１に搬送される際に、第１照明部２３と第２照明部２５とが所定の時間間隔で交互に光Ｌ３，Ｌ５を照射し、撮像ユニット３０が第１照明部２３と第２照明部２５との光Ｌ３，Ｌ５の照射に同期して第１照明部２３からの光Ｌ３と第２照明部２５からの光Ｌ５とを交互に撮像してもよい。このような構成であっても、撮像ユニット３０は第１照明部２３からの光Ｌ３及び第２照明部２５からの光Ｌ５をそれぞれ個別に撮像し得る。また、被検査物６０は１つの方向にのみ搬送されることになる。このため、被検査物６０を複数の方向に搬送する場合と比べて、搬送装置の構成を簡略化し得る。また、検査装置１による被検査物６０の欠陥の検査にかかる時間を短縮し得る。

　また、第３及び第７実施形態では、被検査物６０が第２搬送方向Ｄ２に搬送される際に、被検査物６０を透過する第２照明部２５からの光Ｌ５を撮像する第２撮像部３２を例に説明した。しかし、第３及び第７実施形態では、第２撮像部３２は、被検査物６０が第１搬送方向Ｄ１に搬送される際に、被検査物６０を透過する第２照明部２５からの光Ｌ５を撮像してもよい。この場合、例えば、第１照明部２３からの光Ｌ３が第２撮像部３２に入射し難く、かつ第２照明部２５からの光Ｌ５が第１撮像部３１に入射し難くなるように、第１照明部２３と第２照明部２５とを離隔するとともに、第１撮像部３１と第２撮像部３２とを離隔する。このようにすることで、照明ユニット２１が第１照明部２３及び第２照明部２５から同時に光Ｌ３，Ｌ５を出射したとしても、撮像ユニット３０は、第１照明部２３からの光Ｌ３及び第２照明部２５からの光Ｌ５をそれぞれ個別に撮像し得る。また、被検査物６０は１つの方向にのみ搬送されることになる。このため、被検査物６０を複数の方向に搬送する場合と比べて、搬送装置の構成を簡略化し得る。また、検査装置１による被検査物６０の欠陥の検査にかかる時間を短縮し得る。

　また、第３及び第７実施形態では、第２照明部２５の光軸と平行で第２照明部２５の光の出射面２５ｅを通る第２直線２５ａと交わらない第２撮像部３２を例に説明した。しかし、第３実施形態では、第１直線２３ａと第２直線２５ａとが非平行である場合、第２撮像部３２は第２直線２５ａと交わっていてもよい。この場合、例えば、検査部４０は、第１撮像部３１によって第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像に基づく欠陥の有無の判断と同様に、第２撮像部３２によって第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像における暗部から欠陥の有無を判断する。このような構成であっても、第１直線２３ａと第２直線２５ａとが非平行であるため、第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像に映し出され難くかった欠陥が第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像映し出され易くなったり、第２照明部２５からの光Ｌ５が撮像された画像に映し出され難くかった欠陥が第１照明部２３からの光Ｌ３が撮像された画像映し出され易くなったりし得る。このため、このような検査装置は、照明ユニット２１が第２照明部２５を有さない場合と比べて、被検査物６０の欠陥の検出確度が低下することを抑制し得る。

　また、第３及び第７実施形態では、第１照明部２３より第１搬送方向Ｄ１の下流側に位置する第２照明部２５と、第１撮像部３１より第１搬送方向Ｄ１の下流側に位置する第２撮像部３２とを例に説明した。しかし、第３及び第７実施形態では、第１搬送方向Ｄ１と平行な方向における第１照明部２３、第２照明部２５、第１撮像部３１、及び第２撮像部３２の位置は特に限定されるものではない。例えば、第２照明部２５は、第１照明部２３より第１搬送方向Ｄ１の上流側に配置されてもよい。また、第２照明部２５が第１照明部２３より第１搬送方向Ｄ１の上流側に位置するとともに、第２撮像部３２が第１撮像部３１より第１搬送方向Ｄ１の上流側に位置していてもよい。また、第３実施形態では、第２照明部２５は、第２直線２５ａが上方に向かって第１搬送方向Ｄ１と反対方向に傾斜するように配置されてもよい。また、第７実施形態では、第２照明部２５は、第２直線２５ａが下方に向かって第１搬送方向Ｄ１と反対方向に傾斜するように配置されてもよい。なお、第２照明部２５からの光Ｌ５が第１撮像部３１に入射することを抑制する観点では、第３及び第７実施形態のように、第２直線２５ａは、第２照明部２５から撮像ユニット３０が位置する側に向かって、第１搬送方向Ｄ１と平行な方向における第２照明部２５を基準とした第１撮像部３１側と反対側に傾斜していることが好ましい。また、小型化する観点では、第２直線２５ａが第１照明部２３と第１撮像部３１との間を通るように第２照明部２５を配置することが好ましい。

　また、第２、第３、第６、及び第７実施形態では、第１照明部２３からの光Ｌ３を撮像した後で第２照明部２５からの光Ｌ５を撮像する検査装置１を例に説明した。しかし、第３実施形態では、検査装置１は、第２照明部２５からの光Ｌ５を撮像した後で第１照明部２３からの光Ｌ３を撮像してもよい。

　また、第３及び第７実施形態では、被検査物６０が第１搬送方向Ｄ１に搬送される際に、第１照明部２３と第２照明部２５とが所定の時間間隔で交互に光Ｌ３，Ｌ５を照射し、第１撮像部３１が第１照明部２３の光Ｌ３の照射に同期して第１照明部２３からの光Ｌ３を撮像し、第２撮像部３２が第２照明部２５の光Ｌ５の照射に同期して第２照明部２５からの光Ｌ５を撮像してもよい。このような構成であっても、撮像ユニット３０は第１照明部２３からの光Ｌ３及び第２照明部２５からの光Ｌ５をそれぞれ個別に撮像し得る。また、被検査物６０は１つの方向にのみ搬送されることになる。このため、被検査物６０を複数の方向に搬送する場合と比べて、搬送装置の構成を簡略化し得る。また、検査装置１による被検査物６０の欠陥の検査にかかる時間を短縮し得る。

　また、第１、第４、第５、第８、及び第９実施形態では、１つライン照明である照明ユニット２１を例に説明し、第２、第３、第６、及び第７実施形態では、ライン照明である第１照明部２３及び第２照明部２５を有する照明ユニット２１を例に説明した。また、第９実施形態では、１つライン照明である別の照明ユニット１２１を例に説明した。しかし、照明ユニット２１及び別の照明ユニット１２１は特に限定されるものではない。例えば、第１、第４、第５、第８、及び第９実施形態における照明ユニット２１及び９実施形態における別の照明ユニット１２１は、ＬＥＤが二次元配列された面状照明であってもよい。また、第２、第３、第６、及び第７実施形態における第１照明部２３及び第２照明部２５は、ＬＥＤが二次元配列された面状照明であってもよい。

　また、第１、第２、第５、第６及び第９実施形態では、１つラインセンサカメラである撮像ユニット３０を例に説明し、第３、第４、第７、及び第８実施形態では、ラインセンサカメラである第１撮像部３１及び第２撮像部３２を有する撮像ユニット３０を例に説明した。また、第９実施形態では、１つラインセンサカメラである別の撮像ユニット１３０を例に説明した。しかし、撮像ユニット３０及び別の撮像ユニット１３０は特に限定されるものではない。例えば、第１、第２、第５、第６及び第９実施形態における撮像ユニット３０及び９実施形態における別の撮像ユニット１３０は、エリアセンサカメラであってもよい。また、第３、第４、第７、及び第８実施形態における第１撮像部３１及び第２撮像部３２は、エリアセンサカメラであってもよい。

　また、上記実施形態では、照明ユニット２１及び撮像ユニット３０に対して被検査物６０を移動させる搬送装置１０を例に説明した。しかし、搬送装置は、被検査物６０に対して照明ユニット２１及び撮像ユニット３０を移動させるものであってもよい。

　本発明の第１の態様によれば、被検査物の表面の欠陥の検出確度が低下することを抑制し得る検査装置が提供され、本発明の第２の態様によれば、被検査物の表面の欠陥の検査範囲が狭くなることを抑制し得る検査装置が提供され、灯具の表面の検査装置などの分野において利用可能である。

Claims

　凸状に湾曲する一方の面と前記一方の面と対向し凹状に湾曲する他方の面とを含み透光性を有する被検査物を基準として前記他方の面側に配置されて前記他方の面に光を照射する照明ユニットと、
　前記被検査物を基準として前記一方の面側に配置され前記被検査物を透過する前記照明ユニットからの光を撮像する撮像ユニットと、
　前記撮像ユニットが撮像した画像に基づいて、前記被検査物の前記一方の面及び前記他方の面における欠陥の有無を判断する検査部と、
を備える
ことを特徴とする検査装置。
　前記照明ユニットは、前記被検査物の前記他方の面に第１方向から光を照射する第１照明部と、前記被検査物の前記他方の面に前記第１方向と異なる第２方向から光を照射する第２照明部とを有し、
　前記撮像ユニットは、前記被検査物を透過する前記第１照明部からの光及び前記第２照明部からの光をそれぞれ個別に撮像する
ことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
　前記第１照明部が前記被検査物の前記他方の面に光を照射する時期と前記第２照明部が前記被検査物の前記他方の面に光を照射する時期とが互いに異なる
ことを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
　前記撮像ユニットは、前記第１照明部の光軸と平行で前記第１照明部の光の出射面を通る第１直線と交わるとともに前記第２照明部の光軸と平行で前記第２照明部の光の出射面を通る第２直線と交わらず、
　前記検査部は、前記第１照明部からの光が撮像された画像における暗部から前記欠陥の無を判断するとともに、前記第２照明部からの光が撮像された画像における明部から前記欠陥の有無の判断する
ことを特徴とする請求項２または３に記載の検査装置。
　前記撮像ユニットは、前記被検査物を透過する前記第１照明部からの光を撮像する第１撮像部と、前記被検査物を透過する前記第２照明部からの光を撮像する第２撮像部とを有し、
　前記第１撮像部は、前記第１照明部の光軸と平行で前記第１照明部の光の出射面を通る第１直線と交わり、
　前記第２撮像部は、前記第２照明部の光軸と平行で前記第２照明部の光の出射面を通る第２直線と交わらず、
　前記検査部は、前記第１撮像部によって撮像された画像における暗部から前記欠陥の有無を判断するとともに、前記第２撮像部によって撮像された画像における明部から前記欠陥の有無を判断する
ことを特徴とする請求項２または３に記載の検査装置。
　前記第２照明部からの前記光は、コリメート光または前記被検査物の前記他方の面に集光する光である
ことを特徴とする請求項４または５に記載の検査装置。
　前記撮像ユニットは、前記照明ユニットの光軸と平行で前記照明ユニットの光の出射面を通る直線と交わり前記被検査物を透過する前記照明ユニットからの光を撮像する第１撮像部と、前記直線と交わらず前記被検査物を透過する前記照明ユニットからの光を撮像する第２撮像部とを有し、
　前記検査部は、前記第１撮像部によって撮像された画像における暗部から前記欠陥の有無を判断するとともに、前記第２撮像部によって撮像された画像における明部から前記欠陥の有無を判断する
ことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
　凸状に湾曲する一方の面と前記一方の面と対向し凹状に湾曲する他方の面とを含み透光性を有する被検査物を基準として前記一方の面側に配置されて前記一方の面に光を照射する照明ユニットと、
　前記被検査物を基準として前記他方の面側に配置され前記被検査物を透過する前記照明ユニットからの光を撮像する撮像ユニットと、
　前記撮像ユニットが撮像した画像に基づいて、前記被検査物の前記一方の面及び前記他方の面における欠陥の有無を判断する検査部と、
を備える
ことを特徴とする検査装置。
　前記照明ユニットは、前記被検査物の前記一方の面に第１方向から光を照射する第１照明部と、前記被検査物の前記一方の面に前記第１方向と異なる第２方向から光を照射する第２照明部とを有し、
　前記撮像ユニットは、前記被検査物を透過する前記第１照明部からの光及び前記第２照明部からの光をそれぞれ個別に撮像する
ことを特徴とする請求項８に記載の検査装置。
　前記第１照明部が前記被検査物の前記一方の面に光を照射する時期と前記第２照明部が前記被検査物の前記一方の面に光を照射する時期とが互いに異なる
ことを特徴とする請求項９に記載の検査装置。
　前記撮像ユニットは、前記第１照明部の光軸と平行で前記第１照明部の光の出射面を通る第１直線と交わるとともに前記第２照明部の光軸と平行で前記第２照明部の光の出射面を通る第２直線と交わらず、
　前記検査部は、前記第１照明部からの光が撮像された画像における暗部から前記欠陥の無を判断するとともに、前記第２照明部からの光が撮像された画像における明部から前記欠陥の有無の判断する
ことを特徴とする請求項９または１０に記載の検査装置。
　前記撮像ユニットは、前記被検査物を透過する前記第１照明部からの光を撮像する第１撮像部と、前記被検査物を透過する前記第２照明部からの光を撮像する第２撮像部とを有し、
　前記第１撮像部は、前記第１照明部の光軸と平行で前記第１照明部の光の出射面を通る第１直線と交わり、
　前記第２撮像部は、前記第２照明部の光軸と平行で前記第２照明部の光の出射面を通る第２直線と交わらず、
　前記検査部は、前記第１撮像部によって撮像された画像における暗部から前記欠陥の有無を判断するとともに、前記第２撮像部によって撮像された画像における明部から前記欠陥の有無を判断する
ことを特徴とする請求項９または１０に記載の検査装置。
　前記第２照明部からの前記光は、コリメート光または前記被検査物の前記一方の面に集光する光である
ことを特徴とする請求項１１または１２に記載の検査装置。
　前記撮像ユニットは、前記照明ユニットの光軸と平行で前記照明ユニットの光の出射面を通る直線と交わり前記被検査物を透過する前記照明ユニットからの光を撮像する第１撮像部と、前記直線と交わらず前記被検査物を透過する前記照明ユニットからの光を撮像する第２撮像部とを有し、
　前記検査部は、前記第１撮像部によって撮像された画像における暗部から前記欠陥の有無を判断するとともに、前記第２撮像部によって撮像された画像における明部から前記欠陥の有無を判断する
ことを特徴とする請求項８に記載の検査装置。
　前記被検査物を基準として前記他方の面側に配置されて前記他方の面に光を照射する別の照明ユニットと、
　前記被検査物を基準として前記一方の面側に配置され前記被検査物を透過する前記別の照明ユニットからの光を撮像する別の撮像ユニットと、
を更に備え、
　前記検査部は、前記撮像ユニットが撮像した画像及び前記別の撮像ユニットが撮像した画像に基づいて、前記被検査物の前記一方の面及び前記他方の面における欠陥の有無を判断する
ことを特徴とする請求項８から１４のいずれか１項に記載の検査装置。