JP2013040915A - ガラス基板の表面不良検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面不良検査装置は、ガラス基板1の上方にそれぞれ配置され、ガラス基板表面不良に対する第1イメージおよび第2イメージをそれぞれ撮影する撮像装置10および20と、ガラス基板1の下方に配置され、撮像装置10、20側にガラス基板1を透過する暗視野照明装置30と、第1イメージ上の不良の位置座標と、第2イメージ上の不良の位置座標とを演算する検出信号処理部40とを備えている。ガラス基板上面に対する撮像装置10、20の撮影領域P1は互いに重ね合わされ、ガラス基板下面に対する撮像装置10、20の撮影領域P2、P3は、互いに異なるように構成されている。
【選択図】図2
Description
ガラス基板表面の上面に発生した特定の不良8(スクラッチ乃至異物)が、ガラス基板1とともに移送されて撮影領域(図2;P1)の範囲内に進入すると、このとき、第1撮像装置10と第2撮像装置20は、前記特定の不良8に対するイメージを同時に(すなわち、時間間隔無く)捕捉し、第1イメージおよび第2イメージをそれぞれ生成するようになる。これは、第1撮像装置10と第2撮像装置20は、ガラス基板表面の上面(A面)に対する撮影領域(図2;P1)が互いに同一であるためである。
特定の不良9(スクラッチ乃至異物)がガラス基板表面の下面に存在する場合は、ガラス基板表面の上面に存在する場合とは異なり、時間の差を置いて第1撮像装置10の撮影領域P3と、第2撮像装置20の撮影領域P2とへ順に進入するようになる。
8、9:表面不良
10:第1撮像装置
20:第2撮像装置
30:暗視野照明装置
40:検出信号処理部
P1:第1および第2撮像装置の撮影領域
P2:第2撮像装置の撮影領域
P3:第1撮像装置の撮影領域
Claims (12)
- 暗視野光学系を有するガラス基板の表面不良検査装置において、
前記ガラス基板の上方に配置され、前記ガラス基板の表面不良に対する第1イメージを撮影する第1撮像装置と、
前記ガラス基板の上方に配置され、前記ガラス基板の表面不良に対する第2イメージを撮影する第2撮像装置と、
前記ガラス基板の下方に配置され、前記第1撮像装置と前記第2撮像装置の側に前記ガラス基板を透過する暗視野照明として作用する暗視野照明装置と、
前記第1イメージ上の不良の位置座標と、前記第2イメージ上の不良の位置座標とを演算する検出信号処理部と、を含み、
前記第1撮像装置と前記第2撮像装置は、
少なくとも前記ガラス基板の移送方向に平行ではないライン状の撮影領域を形成し、前記ガラス基板の上面に対する撮影領域は互いに重ね合わされて、前記ガラス基板の下面に対する撮影領域は、互いに異なるように構成されたことを特徴とするガラス基板の表面不良検査装置。 - 前記検出信号処理部は、
前記位置座標を用いて、前記第1イメージ上の不良と前記第2イメージ上の不良との間の距離の差を反映した第3イメージを合成し、これを提供することを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の表面不良検査装置。 - 前記第1撮像装置と前記第2撮像装置は、
前記ライン状の撮影領域が、前記ガラス基板の幅方向と平行に形成されるように構成され、前記ガラス基板の上面に対する前記撮影領域の法線を基準として左・右対称形状に配置されたことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の表面不良検査装置。 - 前記暗視野照明装置は、
出射される照明が、少なくとも前記ガラス基板の上面に形成される前記撮影領域と、前記ガラス基板の下面に形成される2つの前記撮影領域とをすべて透過するように構成されたことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の表面不良検査装置。 - 前記第1撮像装置と前記第2撮像装置は、電荷結合素子方式のセンサーカメラであることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の表面不良検査装置。
- ガラス基板の上方に配置され、前記ガラス基板の表面不良に対する第1イメージを撮影する第1撮像装置と、前記ガラス基板の上方に配置され、前記ガラス基板の表面不良に対する第2イメージを撮影する第2撮像装置と、前記ガラス基板の下方に配置され、前記第1撮像装置と前記第2撮像装置の側に前記ガラス基板を透過する暗視野照明として作用する暗視野照明装置と、前記ガラス基板の幅方向にライン状の撮影領域を形成して、前記ガラス基板の上面に対する撮影領域は互いに重ね合わされ、前記ガラス基板の下面に対する撮影領域は、互いに異なるように配置された前記第1撮像装置および前記第2撮像装置を用いて、前記ガラス基板の表面不良がいずれの面に発生したのかを判別する方法であって、
前記第1イメージの不良の位置座標と、前記第2イメージの不良の位置座標とを抽出するステップと、
前記抽出された位置座標に基づいて、前記第1イメージと前記第2イメージを合成して第3イメージを生成するステップと、
前記第3イメージにおいて、前記第1イメージに該当する不良と前記第2イメージに該当する不良が互いに形成する距離の差を通じて、前記表面不良が発生した面を判別するステップと、を含むことを特徴とするガラス基板の表面不良検査方法。 - 前記第1イメージに該当する不良と、前記第2イメージに該当する不良とが、互いに重ね合った形状である場合は、前記ガラス基板の上面に発生した前記表面不良と判別し、
前記第1イメージに該当する不良と、前記第2イメージに該当する不良とが、互いの間に所定の距離の差を置いて離隔している形状である場合は、前記ガラス基板の下面に発生した前記表面不良と判別することを特徴とする請求項6に記載のガラス基板の表面不良検査方法。 - ガラス基板の上方に配置され、前記ガラス基板の表面不良に対する第1イメージを撮影する第1撮像装置と、前記ガラス基板の上方に配置され、前記ガラス基板の表面不良に対する第2イメージを撮影する第2撮像装置と、前記ガラス基板の下方に配置され、前記第1撮像装置と前記第2撮像装置の側に前記ガラス基板を透過する暗視野照明として作用する暗視野照明装置と、前記ガラス基板の幅方向にライン状の撮影領域を形成して、前記ガラス基板の上面に対する前記撮影領域は互いに重ね合わされ、前記ガラス基板の下面に対する前記撮影領域は、互いに異なるように配置された前記第1撮像装置および前記第2撮像装置を用いて、前記ガラス基板の表面不良がいずれの面に発生したのかを判別する方法であって、
前記第1イメージの不良の位置座標と、前記第2イメージの不良の位置座標とを抽出するステップと、
前記第1イメージの不良の位置座標と前記第2イメージの不良の位置座標とが互いに同一である場合は、前記ガラス基板の上面に発生した前記表面不良と判別し、
前記第1イメージの不良の位置座標と前記第2イメージの不良の位置座標とが互いに異なる場合は、前記ガラス基板の下面に発生した前記表面不良と判別するステップと、を含むことを特徴とするガラス基板の表面不良検査方法。 - 暗視野光学系を有するガラス基板の表面不良検査装置において、
前記ガラス基板の下面下から上面方向に前記ガラス基板の下面上から移送方向とほぼ垂直となる仮想のラインOP上に入射され、前記ガラス基板の厚さ方向に屈折された後、前記ガラス基板の上面上から移送方向とほぼ垂直となる仮想のラインOQ上に透過する光を照射する暗視野照明装置と、
前記ガラス基板の下面に形成される前記仮想のラインOP地点を撮像する第2撮像装置と、
前記ガラス基板の上面に形成される前記仮想のラインOQ地点を撮像する第1撮像装置と、
前記第1撮像装置と前記第2撮像装置とから入力されるイメージを比べ、付着された異物が前記ガラス基板の上面または下面のうちいずれの面に付着されているかを判別する検出信号処理部と、
を含むことを特徴とするガラス基板の表面不良検査装置。 - 前記暗視野照明装置から照射される光が前記ガラス基板の下面の垂直ベクトルとなす入射角度は、45°よりは大きく、85°よりは小さく形成されることを特徴とする請求項9に記載のガラス基板の表面不良検査装置。
- 前記第1撮像装置及び前記第2撮像装置の中から選択された少なくとも1つの撮像装置は、それぞれ前記ガラス基板の上面に形成される前記仮想のラインOQ地点の垂直上方または前記ガラス基板の下面に形成される前記仮想のラインOP地点の垂直上方に設置されることを特徴とする請求項9に記載のガラス基板の表面不良検査装置。
- 前記暗視野照明装置から照射された光が前記ガラス基板を透過するときの光幅Φが前記ガラス基板の厚さtよりも小さいことを特徴とする請求項9に記載のガラス基板の表面不良検査装置。
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