CN113945491A - 玻璃基板表面颗粒检测系统 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种玻璃基板表面颗粒检测系统，属于玻璃基板制造技术领域，包括：支架，所述支架上沿玻璃基板输送方向设置有用于输送玻璃基板的传送机构和用于支撑所输送的玻璃基板的气浮机构；颗粒检测单元，用于获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息；吸光组件，设置在所述支架上，用于吸收玻璃基板检测区域的杂散光。本发明的玻璃基板表面颗粒检测系统具有能够实时的检测玻璃基板的上表面颗粒信息和上下表面颗粒信息，实现实时监控整版玻璃基板品质，大大提高了生产效率；并且，机构简单，容易控制，能够降低检测成本。

Description

玻璃基板表面颗粒检测系统

技术领域

本发明涉及玻璃基板制造技术领域，具体地涉及一种玻璃基板表面颗粒检测系统。

背景技术

目前，对成品玻璃基板进行深加工时，对玻璃基板的四边的进行切割、研磨、清洗，以及玻璃基板在生产流水线上物流传输的过程中，玻璃基板会受到不同程度的次生污染，表面产生各类大小不同的瑕点，影响玻璃基板的品质。因此需要对玻璃基板进行颗粒检测，但是，通过现有的颗粒检测设备，只能对一块玻璃基板的特定区域进行检测，要想完整的记录一个整版的颗粒分布，需要依次检测若干块玻璃基板，采样这种方式效率较低，且无法确定不同片的玻璃基板其他未检测区域的颗粒分布，玻璃基板质量无法实时监控。

发明内容

本发明实施例的目的是提供一种玻璃基板表面颗粒检测系统，该玻璃基板表面颗粒检测系统用以解决上述的现有的颗粒检测设备，只能对一块基板玻璃基板的特定区域进行检测，检测效率低的问题。

为了实现上述目的，本发明实施例提供一种玻璃基板表面颗粒检测系统，包括：

支架，所述支架上沿玻璃基板输送方向设置有用于输送玻璃基板的传送机构和用于支撑所输送的玻璃基板的气浮机构；

颗粒检测单元，用于获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息；

吸光组件，设置在所述支架上，用于吸收玻璃基板检测区域的杂散光。

可选的，所述传送机构包括：

多个沿玻璃基板输送方向相对设置的传送轮，所述传送轮承载玻璃基板的两端对玻璃基板进行输送；

驱动电机，设置在所述支架上并与每一所述传送轮上的链轮连接，用于驱动所述传送轮转动。

可选的，所述气浮机构包括：

多个气浮条安装部，沿玻璃基板输送方向间隔设置在所述支架上，且位于相对设置的所述传送轮之间；

气浮条，对应设置在每一所述气浮条安装部内，用于在玻璃基板传送过程中托浮所述传送轮所承载的玻璃基板，以保持所输送的玻璃基板处于水平状态。

可选的，所述颗粒检测单元包括：

上表面检测单元，设置在对应的两个相邻所述气浮条安装部之间的空隙上方，用于获取所输送的玻璃基板的上表面信息；

下表面检测单元，设置在对应的两个相邻所述气浮条安装部之间的空隙内且位于所述上表面检测单元下方，用于获取所输送的玻璃基板的下表面信息；

运动机构，设置在所述支架上，用于控制所述上表面检测单元和所述下表面检测单元执行检测动作；

颗粒信息获取装置，与所述上表面检测单元和所述下表面检测单元连接，用于根据所述上表面信息和所述下表面信息获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息。

可选的，所述上表面检测单元和所述下表面检测单元均包括多个图像拍摄单元，多个所述图像拍摄单元沿垂直于玻璃基板输送方向上下排列；

每一所述图像拍摄单元用于获取对应的检测区域的玻璃基板表面图像信息并传送至颗粒信息获取装置；

所述颗粒信息获取装置用于对接收到的玻璃基板表面图像信息进行图像处理以获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息。

可选的，所述图像拍摄单元为CCD、摄像头和相机中的一种。

可选的，所述运动机构包括：

用于驱动所述上表面检测单元的图像拍摄单元沿竖直方向上下运动进行图像采集动作的第一运动机构，设置在所述支架的顶端；

用于驱动所述下表面检测单元的图像拍摄单元沿竖直方向上下运动进行图像采集动作的第二运动机构，设置在所述支架的底端。

可选的，所述第一运动机构和所述第二运动机构均包括：

承载板，用于安装所述上表面检测单元和所述下表面检测单元，所述承载板通过滑块和滑轨可滑动安装在所述支架上；

伺服电机，通过丝杆与承载板连接，通过驱动所述丝杆控制所述承载板沿竖直方向上下运动。

可选的，所述吸光组件包括：

用于吸收所述上表面检测单元对应的检测区域的杂散光的第一吸光组件，设置在对应的两个相邻所述气浮条安装部之间的空隙内且与所述上表面检测单元位置相对；

用于吸收所述下表面检测单元对应的检测区域的杂散光的第二吸光组件，设置在所述气浮机构的上方且与所述下表面检测单元位置相对。

可选的，所述第一吸光组件和所述第二吸光组件均包括：

垂直于玻璃基板输送方向设置在所述支架上的光陷阱罩，所述光陷阱罩内设置有光陷阱板，用于吸收所述上表面检测单元和所述下表面检测单元对应的检测区域的杂散光。

本技术方案通过设置的传送机构和气浮机构实现玻璃基板平稳的输送，并通过颗粒检测单元，能够实时的检测玻璃基板的上表面颗粒信息和上下表面颗粒信息，实现实时监控整版玻璃基板品质，大大提高了生产效率和检测准确度；并且，本技术方案的机构简单，易控制，能够降低检测成本。

本发明实施例的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本发明实施例的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明实施例，但并不构成对本发明实施例的限制。在附图中：

图1是本发明提供的玻璃基板表面颗粒检测系统的正视图；

图2是本发明提供的玻璃基板表面颗粒检测系统的部分结构的侧视图。

附图标记说明

1-支架； 2-传送机构； 3-气浮机构；

4-运动机构； 5-颗粒检测单元； 6-吸光组件

21-传送轮； 22-驱动电机； 31-气浮条安装部；

32-气浮条； 41-第一运动机构； 42-第二运动机构；

51-上表面检测单元； 52-下表面检测单元； 61-第一吸光组件；

62-第二吸光组件； 401-承载板； 402-滑块；

403-滑轨； 404-伺服电机； 405-丝杆；

501-图像拍摄单元； 601-光陷阱罩； 602-光陷阱板。

具体实施方式

以下结合附图对本发明实施例的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明实施例，并不用于限制本发明实施例。

在本发明实施例中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右”通常是指基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系。

术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

术语“平行”、“垂直”等并不表示要求部件绝对平行或垂直，而是可以稍微倾斜。如“平行”仅仅是指其方向相对“垂直”而言更加平行，并不是表示该结构一定要完全平行，而是可以稍微倾斜。

术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平、竖直或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

此外，“大致”、“基本”等用语旨在说明相关内容并不是要求绝对的精确，而是可以有一定的偏差。例如：“大致相等”并不仅仅表示绝对的相等，由于实际生产、操作过程中，难以做到绝对的“相等”，一般都存在一定的偏差。因此，除了绝对相等之外，“大致等于”还包括上述的存在一定偏差的情况。以此为例，其他情况下，除非有特别说明，“大致”、“基本”等用语均为与上述类似的含义。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

图1是本发明提供的玻璃基板表面颗粒检测系统的正视图；图2是本发明提供的玻璃基板表面颗粒检测系统的部分结构的侧视图，如图1-2所示，本发明实施例提供一种玻璃基板表面颗粒检测系统，包括：

支架1，所述支架1上沿玻璃基板输送方向设置有用于输送玻璃基板的传送机构2和用于支撑所输送的玻璃基板的气浮机构3；

颗粒检测单元5，用于获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息；

吸光组件6，设置在所述支架1上，用于吸收玻璃基板检测区域的杂散光。

具体地，通过设置的传送机构2将玻璃基板沿玻璃基板输送方向向前输送，并且，设置气浮机构3将玻璃基板进行托举，使得玻璃基板始终保持水平状态，再通过颗粒检测单元5对玻璃基板的上表面和小表面进行颗粒检测，在检测过程中，为了避免环境中的杂散光对检测结果产生影响，因此，设置吸光组件6对检测区域的杂散光进行吸收，避免杂散光的影响，保证检测结果更加准确；传送机构2、气浮机构3和颗粒检测单元5均采用可编程逻辑控制器进行协同控制。

进一步地，所述传送机构2包括：

多个沿玻璃基板输送方向相对设置的传送轮21，所述传送轮21承载玻璃基板的两端对玻璃基板进行输送；

驱动电机22，设置在所述支架1上并与每一所述传送轮21上的链轮连接，用于驱动所述传送轮21转动。

具体地，由于需要对玻璃基板的上表面和下表面进行颗粒检测，因此，通过传送辊进行玻璃基板的输送，玻璃基板的表面会与传送辊相互接触，会对玻璃基板表面的颗粒信息产生影响，因此，在本实施方式中，采用传送轮21输送玻璃基板，并且，多个传送轮21沿玻璃基板输送方向相对设置，使得相对设置的多个传送轮21之间构成两条输送轨道，两条输送轨道对应的传送轮21分别于玻璃基板的边缘无效区相接触，不会对需要进行检测的玻璃基板的中部区域产生接触，保证测量的准确性。相对设置的传送轮21之间的间隔由玻璃基板的宽度决定；所述驱动电机22的启停运行由可编程逻辑控制器精确控制。

更进一步地，所述传送轮21上一体成型设置有凸起，设置的凸起能够对玻璃基板的横向位移进行限定，并且传送轮21与玻璃基板接触的面为粗糙面或者设置有橡胶防滑垫，以保证能够与玻璃基板摩擦接触。

进一步地，所述气浮机构3包括：

多个气浮条安装部31，沿玻璃基板输送方向间隔设置在所述支架1上，且位于相对设置的所述传送轮21之间；

气浮条32，对应设置在每一所述气浮条安装部31内，用于在玻璃基板传送过程中托浮所述传送轮21所承载的玻璃基板，以保持所输送的玻璃基板处于水平状态。

具体地，由于在表面颗粒的测量过程中，采用传送辊输送玻璃基板，传送辊与玻璃基板接触，对颗粒检测的准确度产生影响，因此，通过设置的传送轮21接触玻璃基板的无效边缘区进行玻璃基板输送，使得传送轮21不会与玻璃基板的中部产生接触，但是，由于玻璃基板自身重力的影响，玻璃基板中部会存在弯曲，使得测量准确度下降，因此，在传送轮21之间的玻璃基板下方，沿玻璃基板输送方向间隔设置多个气浮条安装部31，并在每一气浮条安装部31内安装气浮条，使得玻璃基板处于悬空状态，并且，使玻璃基板保持水平状态。所述气浮条设置为活性炭高精密气浮条，多根气浮条可以沿玻璃基板输送方向间隔设置，且可以平行于沿玻璃基板输送方向或者垂直于玻璃基板输送方向，气浮条32与气浮条安装部31可以采用螺栓进行可拆卸链接。采用气浮条对玻璃基板进行输送，能够减少传输过程中的震动，并能够使玻璃基板的悬浮高度固定，保证后续的表面颗粒测量的准确性。

进一步地，所述颗粒检测单元5包括：

上表面检测单元51，设置在对应的两个相邻所述气浮条安装部31之间的空隙上方，用于获取所输送的玻璃基板的上表面信息；

下表面检测单元52，设置在对应的两个相邻所述气浮条安装部31之间的空隙内且位于所述上表面检测单元51下方，用于获取所输送的玻璃基板的下表面信息；

运动机构4，设置在所述支架1上，用于控制所述上表面检测单元51和所述下表面检测单元52执行检测动作；

颗粒信息获取装置，与所述上表面检测单元51和所述下表面检测单元52连接，用于根据所述上表面信息和所述下表面信息获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息。

具体地，为了方便对玻璃基板的上表面和下表面进行颗粒检测，因此，分别设置上表面检测单元51和下表面检测单元52，并设置运动机构4驱动上表面检测单元51和下表面检测单元52，实现上表面检测单元51和下表面检测单元52竖直位置的改变，执行检测动作；另外，由于上表面检测单元51和下表面检测单元52分别于吸光组件6位置相对，因此，为了避免上表面检测单元51和下表面检测单元52之间在测量过程产生影响，上表面检测单元51和下表面检测单元52交错一段距离设置，使上表面检测单元51和下表面检测单元52不处于同一竖直方向上；更进一步地，上表面检测单元51和下表面检测单元52之间的水平距离为：玻璃基板完全通过上表面检测单元51检测完玻璃基板的上表面的颗粒信息后，玻璃基板才进入下表面检测单元52的检测范围。

颗粒信息获取装置，包括：A/D模块转换、DSP(数字信号处理模块)等，颗粒信息获取装置通过预设的处理程序对拍摄的多张连续的包含的上表面信息和下表面信息的图像进行图像处理，得到玻璃基板的表面颗粒分布情况，并且可以设置对应的显示器件进行上表面颗粒信息以及下表面颗粒信息的实时显示，从而得到整幅的玻璃基板表面颗粒信息。

进一步地，所述上表面检测单元51和所述下表面检测单元52均包括多个图像拍摄单元501，多个所述图像拍摄单元501沿垂直于玻璃基板输送方向上下排列；

每一所述图像拍摄单元501用于获取对应的检测区域的玻璃基板表面图像信息并传送至颗粒信息获取装置；

所述颗粒信息获取装置用于对接收到的玻璃基板表面图像信息进行图像处理以获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息。

具体地，上表面检测单元51上的多个图像拍摄单元501按照垂直于玻璃基板输送方向呈长条形排列，同理，下表面检测单元52上的多个图像拍摄单元501按照垂直于玻璃基板输送方向呈长条形排列。采用这种方式，在工作时，传送轮21按照一定的速度，将玻璃基板沿玻璃基板输送方向输送，图像拍摄单元501能够将玻璃基板进行全幅扫描，连续扫描整个上表面或者下表面后，通过颗粒信息获取装置对扫描得到的图像进行图像的传输、转换、处理，得到表面颗粒信息，并进行显示。实际使用过程中，可以根据玻璃基板的宽度，选择对应的图像拍摄单元501进行工作，同时，通过运动机构4对上表面检测单元51和下表面检测单元52于玻璃基板之间的间距进行调整，使得图像拍摄单元501处于最佳的工作位置，保证拍摄的图像清晰，便于后续的图像分析。

进一步地，所述图像拍摄单元501为CCD、摄像头和相机中的一种。

具体地，在本实施方式中，所述上表面检测单元51的图像拍摄单元501设置为20个CCD、所述下表面检测单元52的图像拍摄单元501设置为20个CCD，且每个CCD相机能够显示、拍摄50-60mm宽的区域，玻璃基板上表面和下表面便可同时显示出1000-1200mm宽度玻璃基板表面的颗粒、缺陷分布情况。

进一步地，所述运动机构4包括：

用于驱动所述上表面检测单元51的图像拍摄单元501沿竖直方向上下运动进行图像采集动作的第一运动机构41，设置在所述支架1的顶端；

用于驱动所述下表面检测单元52的图像拍摄单元501沿竖直方向上下运动进行图像采集动作的第二运动机构42，设置在所述支架1的底端。

具体地，为了实现玻璃基板的上表面和下表面的分开检测，将上表面检测单元51通过第一运动机构41进行控制，将下表面检测单元52通过第二运动机构42分别进行单独控制，避免产生相互影响，并且第一运动机构41对应设置在所述支架1的顶端，第二运动机构42对应设置在所述支架1的底端。

进一步地，所述第一运动机构41和所述第二运动机构42均包括：

承载板401，用于安装所述上表面检测单元51和所述下表面检测单元52，所述承载板401通过滑块402和滑轨403可滑动安装在所述支架1上；

伺服电机404，通过丝杆405与所述承载板401连接，通过驱动所述丝杆405控制所述承载板401沿竖直方向上下运动。

具体地，为了保证第一运动机构41和所述第二运动机构42只具有竖直方向上的运动，不会产生其他的位移，采用将图像拍摄单元501集成固定在承载板401上，并且，图像拍摄单元501之间的间隔可以调整；再通过与伺服电机404和承载板401连接的丝杆405、滑块402和滑轨403，实现承载板401位置的高精度调节，其中，滑块402和滑轨403用于限制承载板401的位移方向，使得限制承载板401只能具有竖直方向的移动，丝杆405与伺服电机的转轴连接，传递伺服电机404的驱动力，实现位置的高精度调节。伺服电机404可以通过控制器进行控制，实现与驱动机构2、气浮机构3和颗粒检测单元5的同步控制。

进一步地，所述吸光组件6包括：

用于吸收所述上表面检测单元51对应的检测区域的杂散光的第一吸光组件61，设置在对应的两个相邻所述气浮条安装部31之间的空隙内且与所述上表面检测单元51位置相对；

用于吸收所述下表面检测单元52对应的检测区域的杂散光的第二吸光组件62，设置在所述气浮机构3的上方且与所述下表面检测单元52位置相对。

具体地，用于上表面检测单元51在拍摄检测区域的照片时，可能会存在杂散光，影响照片质量和造成表面颗粒分布的不准确，因此，对于上表面检测单元51对应设置第一吸光组件61；同理，对于下表面检测单元52对应设置第二吸光组件62。

进一步地，所述第一吸光组件61和所述第二吸光组件62均包括：

垂直于玻璃基板输送方向设置在所述支架1上的光陷阱罩601，所述光陷阱罩601内设置有光陷阱板602，用于吸收所述上表面检测单元51和所述下表面检测单元52对应的检测区域的杂散光。

具体地，光陷阱板602采用可旋转的方式设置在光陷阱罩601内，可以相对于光陷阱罩601实现的角度可调节，实现光线的吸收，避免进入光陷阱罩601的光线外溢，实现吸收和抑制杂散光。

以上结合附图详细描述了本发明实施例的可选实施方式，但是，本发明实施例并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明实施例的技术构思范围内，可以对本发明实施例的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明实施例的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本发明实施例对各种可能的组合方式不再另行说明。

本领域技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件来完成，该程序存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得单片机、芯片或处理器(processor)执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

此外，本发明实施例的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明实施例的思想，其同样应当视为本发明实施例所公开的内容。

Claims (10)

1.一种玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，包括：

支架(1)，所述支架(1)上沿玻璃基板输送方向设置有用于输送玻璃基板的传送机构(2)和用于支撑所输送的玻璃基板的气浮机构(3)；

颗粒检测单元(5)，用于获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息；

吸光组件(6)，设置在所述支架(1)上，用于吸收玻璃基板检测区域的杂散光。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述传送机构(2)包括：

多个沿玻璃基板输送方向相对设置的传送轮(21)，所述传送轮(21)承载玻璃基板的两端对玻璃基板进行输送；

驱动电机(22)，设置在所述支架(1)上并与每一所述传送轮(21)上的链轮连接，用于驱动所述传送轮(21)转动。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述气浮机构(3)包括：

多个气浮条安装部(31)，沿玻璃基板输送方向间隔设置在所述支架(1)上，且位于相对设置的所述传送轮(21)之间；

气浮条(32)，对应设置在每一所述气浮条安装部(31)内，用于在玻璃基板传送过程中托浮所述传送轮(21)所承载的玻璃基板，以保持所输送的玻璃基板处于水平状态。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述颗粒检测单元(5)包括：

上表面检测单元(51)，设置在对应的两个相邻所述气浮条安装部(31)之间的空隙上方，用于获取所输送的玻璃基板的上表面信息；

下表面检测单元(52)，设置在对应的两个相邻所述气浮条安装部(31)之间的空隙内且位于所述上表面检测单元(51)下方，用于获取所输送的玻璃基板的下表面信息；

运动机构(4)，设置在所述支架(1)上，用于控制所述上表面检测单元(51)和所述下表面检测单元(52)执行检测动作；

颗粒信息获取装置，与所述上表面检测单元(51)和所述下表面检测单元(52)连接，用于根据所述上表面信息和所述下表面信息获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述上表面检测单元(51)和所述下表面检测单元(52)均包括多个图像拍摄单元(501)，多个所述图像拍摄单元(501)沿垂直于玻璃基板输送方向上下排列；

每一所述图像拍摄单元(501)用于获取对应的检测区域的玻璃基板表面图像信息并传送至颗粒信息获取装置；

所述颗粒信息获取装置用于对接收到的玻璃基板表面图像信息进行图像处理以获取所输送的玻璃基板表面的表面颗粒信息。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述图像拍摄单元(501)为CCD、摄像头和相机中的一种。

7.根据权利要求5所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述运动机构(4)包括：

用于驱动所述上表面检测单元(51)的图像拍摄单元(501)沿竖直方向上下运动进行图像采集动作的第一运动机构(41)，设置在所述支架(1)的顶端；

用于驱动所述下表面检测单元(52)的图像拍摄单元(501)沿竖直方向上下运动进行图像采集动作的第二运动机构(42)，设置在所述支架(1)的底端。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述第一运动机构(41)和所述第二运动机构(42)均包括：

承载板(401)，用于安装所述上表面检测单元(51)和所述下表面检测单元(52)，所述承载板(401)通过滑块(402)和滑轨(403)可滑动安装在所述支架(1)上；

伺服电机(404)，通过丝杆(405)与所述承载板(401)连接，通过驱动所述丝杆(405)控制所述承载板(401)沿竖直方向上下运动。

9.根据权利要求4所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述吸光组件(6)包括：

用于吸收所述上表面检测单元(51)对应的检测区域的杂散光的第一吸光组件(61)，设置在对应的两个相邻所述气浮条安装部(31)之间的空隙内且与所述上表面检测单元(51)位置相对；

用于吸收所述下表面检测单元(52)对应的检测区域的杂散光的第二吸光组件(62)，设置在所述气浮机构(3)的上方且与所述下表面检测单元(52)位置相对。

10.根据权利要求9所述的玻璃基板表面颗粒检测系统，其特征在于，所述第一吸光组件(61)和所述第二吸光组件(62)均包括：

垂直于玻璃基板输送方向设置在所述支架(1)上的光陷阱罩(601)，所述光陷阱罩(601)内设置有光陷阱板(602)，用于吸收所述上表面检测单元(51)和所述下表面检测单元(52)对应的检测区域的杂散光。

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