CN205333544U - 玻璃基板的颗粒检查系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种玻璃基板的颗粒检查系统，包括工作台(10)，安装于工作台上以支撑和传送玻璃基板(20)的气浮装置(30)和传送装置(40)，位于玻璃基板上方的颗粒检查摄像头(50)，位于玻璃基板下方的光陷阱(60)，传送装置(40)包括支撑框(41)和安装于支撑框上的边轮(42)，支撑框(41)包括两个相互间隔开的支撑框单元(411)，光陷阱(60)位于二者之间。玻璃基板两侧的支撑框可以相对于玻璃基板移动，每侧支撑框均分为间隔开的两个支撑框单元，光陷阱置于二者之间，因此，通过移动支撑框可以适应不同规格的玻璃基板，并且不会妨碍光陷阱的布置，从而解决了颗粒检查系统的兼容性问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及玻璃基板的检测，具体地，涉及一种玻璃基板的颗粒检查系统。
背景技术
玻璃基板的颗粒检查系统，一般包括工作台和安装于该工作台上的传送装置和气浮装置以传送和支撑玻璃基板，在玻璃基板的上方设置有颗粒检查摄像头，相应地，在玻璃基板的下方设置有光陷阱。在对玻璃基板进行检查时，颗粒检查摄像头沿着玻璃基板的宽度方向移动，发出的光线正常情况下直接投射过玻璃基板并由光陷阱处理吸收，不发生反射和折射。若玻璃基板具有颗粒缺陷，则光线会由于颗粒的存在而发生反射和折射，颗粒检查摄像头会以此分析确定该颗粒缺陷。
在实践中，一套颗粒检查系统仅能适用于一种规格的玻璃基板，例如只能检测1300mm×1100mm的玻璃基板。当需要检查不同规格的玻璃基板，例如1300mm×1200mm的玻璃基板时，则无法实现。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种玻璃基板的颗粒检查系统，其能够用来检查不同规格的玻璃基板。
为了实现上述目的，本实用新型提供一种玻璃基板的颗粒检查系统，包括工作台，安装于该工作台上以支撑玻璃基板的气浮装置和传送玻璃基板的传送装置，位于所述玻璃基板的上方且能够沿着所述玻璃基板的宽度方向运动的颗粒检查摄像头，位于所述玻璃基板的下方且沿着所述玻璃基板的宽度方向延伸的光陷阱，其中所述传送装置包括支撑框和安装于该支撑框上的边轮，所述支撑框安装于所述工作台上并且能够相对于所述工作台沿着所述玻璃基板的宽度方向移动，并且在所述玻璃基板的宽度方向的每一侧，所述支撑框均包括两个相互间隔开的支撑框单元，所述光陷阱位于该两个间隔开的支撑框单元之间。
优选地，所述光陷阱的两端通过支撑架固定安装于所述工作台上。
优选地，所述两个间隔开的支撑框单元通过连接件连接在一起以构成所述支撑框。
优选地，位于所述玻璃基板宽度方向两侧的所述支撑框能够相对于所述玻璃基板同步移动。
在本实用新型的颗粒检查系统中，玻璃基板两侧的支撑框可以相对于玻璃基板移动，每侧的支撑框均分为间隔开的两个支撑框单元，并将光陷阱置于二者之间，由此，通过移动支撑框可以适应不同规格的玻璃基板，并且不会妨碍光陷阱的布置，从而解决了颗粒检查系统的兼容性问题。
本实用新型的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是根据本实用新型一种实施方式提供的颗粒检查系统的平面示意图。
图2是图1中颗粒检查系统的立体示意图。
图3是图1中颗粒检查系统的侧面示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。
如图1至图3所示，本实用新型公开了一种玻璃基板的颗粒检查系统，包括工作台10，安装于该工作台10上以支撑玻璃基板20(见图2)的气浮装置30和传送玻璃基板20的传送装置40，位于所述玻璃基板20的上方且能够沿着所述玻璃基板20的宽度方向运动的颗粒检查摄像头50，位于所述玻璃基板20的下方且沿着所述玻璃基板20的宽度方向延伸的光陷阱60，其中所述传送装置40包括支撑框41和安装于该支撑框41上的边轮42，其中，所述支撑框41安装于所述工作台10上并且能够相对于所述工作台10沿着所述玻璃基板20的宽度方向移动，并且在所述玻璃基板20的宽度方向的每一侧，所述支撑框41均包括两个相互间隔开的支撑框单元411，所述光陷阱60位于该两个间隔开的支撑框单元411之间。
边轮42支撑和传送玻璃基板20的两侧边缘，气浮装置30吹出气体以悬浮支撑玻璃基板20。当玻璃基板20的规格变化时，例如宽度从1100mm变成1200mm时，边轮42需要向玻璃基板20的外侧移动。在本实用新型中，通过使支撑框41相对于工作台10向外侧移动，可以实现边轮42的位置调整。支撑框41可以通过多种方式可移动地安装于工作台10上，例如滑轨结构，这对于本领域普通技术人员来说是容易理解和实现的，不实用新型对此不再赘述。另外，优选地，玻璃基板20两侧的支撑框41可以通过驱动电机等驱动装置相对于玻璃基板20实现同步移动。
在现有技术中，光陷阱60一般位于支撑框41之间，从而无法适应玻璃基板规格的变化。在本实用新型中，如图2清楚显示，通过将支撑框41划分成间隔开的两个支撑框单元411，使光陷阱60位于二者之间，从而可以采用长度更长的光陷阱60，以适应更宽的玻璃基板20，并且不会影响支撑框41的位置调整，从而能够解决一套颗粒检查系统兼容多种不同规格玻璃基板的问题。
另外，虽然支撑框41被划分为间隔开的两个支撑框单元411，但间隔开的意义主要是为光陷阱60提供布置空间。因此，本领域普通技术人员可以理解的是，两个支撑框单元411之间可以通过各种合适的结构连接在一起，例如使用额外的连接件，或者利用支撑框41本身没有切开的一部分，以实现位置调整时的同步调整。
如图2所示，作为一种实施例，光陷阱60的两端可以通过支撑架61固定安装到工作台10上。例如通过紧固件将支撑架61安装到工作台10上。
以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本实用新型的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本实用新型的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本实用新型的思想，其同样应当视为本实用新型所公开的内容。
Claims (4)
1.一种玻璃基板的颗粒检查系统，包括工作台(10)，安装于该工作台上以支撑和传送玻璃基板(20)的气浮装置(30)和传送装置(40)，位于所述玻璃基板(20)的上方且能够沿着所述玻璃基板的宽度方向运动的颗粒检查摄像头(50)，位于所述玻璃基板的下方且沿着所述玻璃基板的宽度方向延伸的光陷阱(60)，其中所述传送装置(40)包括支撑框(41)和安装于该支撑框上的边轮(42)，其特征在于，所述支撑框(41)安装于所述工作台(10)上并且能够相对于所述工作台沿着所述玻璃基板的宽度方向移动，并且在所述玻璃基板的宽度方向的每一侧，所述支撑框(41)均包括两个相互间隔开的支撑框单元(411)，所述光陷阱(60)位于该两个间隔开的支撑框单元(411)之间。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板的颗粒检查系统，其特征在于，所述光陷阱(60)的两端通过支撑架(61)固定安装于所述工作台(10)上。
3.根据权利要求1所述的玻璃基板的颗粒检查系统，其特征在于，所述两个间隔开的支撑框单元(411)通过连接件连接在一起以构成所述支撑框(41)。
4.根据权利要求1所述的玻璃基板的颗粒检查系统，其特征在于，位于所述玻璃基板宽度方向两侧的所述支撑框(41)能够相对于所述玻璃基板(20)同步移动。
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| CN201521125226.0U CN205333544U (zh) | 2015-12-29 | 2015-12-29 | 玻璃基板的颗粒检查系统 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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Cited By (4)
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| CN108982536A (zh) * | 2017-05-31 | 2018-12-11 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种颗粒检测装置及方法 |
| CN109323988A (zh) * | 2018-11-06 | 2019-02-12 | 合肥工业大学 | 一种适于气浮系统的玻璃基板检测方法 |
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2015
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|---|---|---|---|
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Denomination of utility model: Glass substrate's granule checkout system Effective date of registration: 20200710 Granted publication date: 20160622 Pledgee: Beijing State Owned Financial Leasing Co., Ltd Pledgor: ZHENGZHOU XUFEI OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2020990000736 |