CN103350904A - 一种玻璃基板的输送装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种玻璃基板的输送装置。所述玻璃基板的输送装置(100)包括承载平台(200)及气浮系统(300)，所述承载平台(200)用于支撑叠放玻璃基板的层叠架(400)，所述气浮系统(300)包括用于使所述层叠架(400)上的待输送玻璃基板(500)悬浮的气浮装置(600)、用于驱动所述待输送玻璃基板(500)移动的基板驱动装置(700)。根据本发明的玻璃基板的输送装置，层叠架承载在承载平台上后，通过气浮装置进入层叠架内待输送玻璃基板的下方，使待输送玻璃基板悬浮，再利用基板驱动装置驱动待输送玻璃基板流出层叠架，能够方便快捷地取出待输送玻璃基板。

Description

一种玻璃基板的输送装置
技术领域
本发明属于基板输送技术领域，具体涉及一种玻璃基板的输送装置。
背景技术
玻璃基板是液晶显示装置等设备生产中的常见组成部分。目前，在生产过程中，玻璃基板通常相互隔离地层叠在层叠架内。当需要对玻璃基板进行输送或检查时，需将待输送玻璃基板下方的玻璃基板逐片取出。此过程耗时耗力。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种玻璃基板的输送装置，其能够方便快捷地取出待输送玻璃基板。
本发明通过如下技术方案实现：一种玻璃基板的输送装置，其中，所述玻璃基板的输送装置包括承载平台及气浮系统，所述承载平台用于支撑叠放玻璃基板的层叠架，所述气浮系统包括用于使所述层叠架上的待输送玻璃基板悬浮的气浮装置、用于驱动所述待输送玻璃基板移动的基板驱动装置。
作为上述技术方案的进一步改进，所述气浮装置包括气浮平台、驱动所述气浮平台从所述层叠架的侧部进入所述待输送玻璃基板的下方的气浮平台驱动机构。
作为上述技术方案的进一步改进，所述气浮平台包括左气浮平台、右气浮平台，所述气浮平台驱动机构包括驱动所述左气浮平台从所述层叠架的左侧部进入所述待输送玻璃基板的下方的左气浮平台驱动机构、驱动所述右气浮平台从所述层叠架的右侧部进入所述待输送玻璃基板的下方的右气浮平台驱动机构。
作为上述技术方案的进一步改进，所述左气浮平台和所述右气浮平台结构相同；所述左气浮平台驱动机构与所述右气浮平台驱动机构结构相同。
作为上述技术方案的进一步改进，所述左气浮平台驱动机构包括沿上下方向延伸的左支撑架、左移动轨道和驱动所述支撑架沿所述左移动轨道线性移动的左马达，所述左气浮平台设置在所述左支撑架上。
作为上述技术方案的进一步改进，所述左气浮平台包括沿左右方向平行布置的多个支撑板、将所述多个支撑板连接在一起的支撑梁，所述多个支撑板上均匀设置有多个气孔。
作为上述技术方案的进一步改进，所述多个支撑板中的一个或更多支撑板上设置有用于识别所述层叠架上的玻璃基板的信息的核对传感器。
作为上述技术方案的进一步改进，所述基板驱动装置设置在所述支撑梁上。
作为上述技术方案的进一步改进，所述基板驱动装置包括多个驱动单元，各驱动单元均包括主动轮组、从动轮组、及驱动气缸，所述驱动气缸用于驱动所述主动轮组转动，所述从动轮组用于在将所述待输送玻璃基板夹持在所述主动轮组与所述从动轮组之间的情况下与所述主动轮组配合输送所述待输送玻璃基板。
作为上述技术方案的进一步改进，所述主动轮组位于所述从动轮组的下方。
本发明的有益效果是：本发明的玻璃基板的输送装置包括承载平台及气浮系统，所述承载平台用于支撑叠放玻璃基板的层叠架，所述气浮系统包括用于使所述层叠架上的待输送玻璃基板悬浮的气浮装置、用于驱动所述待输送玻璃基板移动的基板驱动装置，由此，层叠架承载在承载平台上后，通过气浮装置进入层叠架内待输送玻璃基板的下方，使待输送玻璃基板悬浮，再利用基板驱动装置驱动待输送玻璃基板流出层叠架，能够方便快捷地且可靠地取出待输送玻璃基板。
附图说明
图1是根据本发明的一个具体实施例的玻璃基板的输送装置的立体示意图。
图2是图1的玻璃基板的输送装置的俯视示意图。
图3是图1的玻璃基板的输送装置的前后方向上的侧视示意图。
图4是图1的玻璃基板的输送装置的左右方向上的侧视示意图。
图5是图4中A处放大图。
图6是图1的玻璃基板的输送装置的气浮平台的左气浮平台与左气浮平台驱动机构的俯视示意图。
图7是图1的玻璃基板的输送装置的实施例中使用的层叠架的正面示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行进一步的说明。
如图1至图4所示，本实施例的玻璃基板的输送装置100包括承载平台200及气浮系统300。所述承载平台200用于支撑叠放玻璃基板的层叠架400。在本发明的另一个具体实施例中，层叠架400由搬送工具搬送到该承载平台200上，且该承载平台200设置成可以调整层叠架400的上下方向Z的位置。层叠架400可以采用业界通常的样态。图7显示了本实施例采用的层叠架400。
本实施例中，所述气浮系统300包括用于使所述层叠架400上的待输送玻璃基板500悬浮的气浮装置600、和用于驱动所述待输送玻璃基板500移动的基板驱动装置700。由此，当层叠架400承载在承载平台200上后，通过气浮装置600进入层叠架400内待输送玻璃基板500的下方，使待输送玻璃基板500悬浮，再利用基板驱动装置700驱动待输送玻璃基板流出层叠架400，能够方便快捷地取出待输送玻璃基板500。
其中，所述气浮装置600包括气浮平台610、驱动所述气浮平台610从所述层叠架400的左右方向X两侧部进入所述待输送玻璃基板500的下方的气浮平台驱动机构620。具体而言，所述气浮平台610包括左气浮平台612、右气浮平台614，如图3所示。相应地，所述气浮平台驱动机构620包括驱动所述左气浮平台612从所述层叠架400的左侧部进入所述待输送玻璃基板500的下方的左气浮平台驱动机构622、驱动所述右气浮平台614从所述层叠架400的右侧部进入所述待输送玻璃基板500的下方的右气浮平台驱动机构624，如图1和图2所示。
本实施例中，所述左气浮平台612和所述右气浮平台614结构相同；所述左气浮平台驱动机构622与所述右气浮平台驱动机构624结构相同。由此，能够通过所述左气浮平台驱动机构622与所述右气浮平台驱动机构624，使左气浮平台612、右气浮平台614分别从左右两侧进入待输送玻璃基板500的下方。
这样一来，当需要对任意位置的待输送玻璃基板500进行输送或检查时，无需将待输送玻璃基板500下方的玻璃基板逐片取出，而是直接使气浮平台进入待输送玻璃基板500的下方，将其驱动送出层叠架400，方便快捷、且可靠地避免输送过程中的破片等。
如上所述，由于所述左气浮平台612和所述右气浮平台614结构相同，所述左气浮平台驱动机构622与所述右气浮平台驱动机构624结构相同，所以以下仅介绍左气浮平台612、左气浮平台驱动机构622，省略对右气浮平台614、右气浮平台驱动机构624进行说明。
如图6所示，所述左气浮平台612包括沿左右方向X平行布置的多个支撑板630、将所述多个支撑板630连接在一起的支撑梁632。即，多个支撑板630固定在支撑梁632上。所述多个支撑板630上均匀设置有多个气孔634。密布的多个气孔634通过管路与未图示的气源连接。
如图1至图6所示，所述左气浮平台驱动机构622包括沿上下方向Z延伸的左支撑架626、左移动轨道628和驱动所述支撑架沿所述移动轨道线性移动的左马达627。且所述左气浮平台612设置在所述左支撑架626上。本实施例中，左移动轨道628与右移动轨道(未标示)连接为一体。
本实施例中，所述多个支撑板630中的至少一个支撑板630上设置有用于识别所述层叠架400上的玻璃基板的信息的核对(mapping)传感器640。如图6所示，核对传感器640设置在支撑板630的自由端附近。玻璃基板的信息可以包括玻璃基板的生产编号、生产日期、是否良品、型号等基本信息。由此，可以方便地实现帐料的扫描核对、和检查。
如图4、图5和图6所示，所述基板驱动装置700设置在所述支撑梁632上。具体而言，所述基板驱动装置700包括多个驱动单元710。如图4所示，所述基板驱动装置700具有设置在左气浮平台612的支撑梁632上的6个驱动单元710。各驱动单元710均包括主动轮组720、从动轮组730、及驱动气缸740。所述驱动气缸740用于驱动所述主动轮组720转动，所述从动轮组730用于在将所述待输送玻璃基板500夹持在所述主动轮组720与所述从动轮组730之间的情况下与所述主动轮组720配合输送所述待输送玻璃基板500。所述主动轮组720位于所述从动轮组730的下方。
本发明的玻璃基板的输送装置中，设置有气浮系统300。当气浮平台610被气浮平台驱动机构620驱动进入加层叠架的层与层直接的空间后，利用密布的多个气孔634吹出来的气体将待输送玻璃基板500悬浮起来，由基板驱动装置700轻夹基板并驱动待输送玻璃基板500“流出”层叠架400，进而实现待输送玻璃基板500的传输和扫描核对。本发明的玻璃基板的输送装置中，可根据需要控制气浮平台610进入到任一目标玻璃基板的下方，使该玻璃基板悬浮起来，进而可靠地实现玻璃基板的检测或传输。
以上具体实施方式对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。本发明的保护范围并不以上述实施方式为限，但凡本领域普通技术人员根据本发明所揭示内容所作的等效修饰或变化，皆应纳入权利要求书中记载的保护范围内。

Claims (10)

1.一种玻璃基板的输送装置，其特征在于，所述玻璃基板的输送装置包括承载平台(200)及气浮系统(300)，所述承载平台(200)用于支撑叠放玻璃基板的层叠架(400)，所述气浮系统(300)包括用于使所述层叠架(400)上的待输送玻璃基板(500)悬浮的气浮装置(600)、用于驱动所述待输送玻璃基板(500)移动的基板驱动装置(700)。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板的输送装置，其特征在于，所述气浮装置(600)包括气浮平台(610)、驱动所述气浮平台(610)从所述层叠架(400)的侧部进入所述待输送玻璃基板(500)的下方的气浮平台驱动机构(620)。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板的输送装置，其特征在于，所述气浮平台(610)包括左气浮平台(612)、右气浮平台(614)，所述气浮平台驱动机构(620)包括驱动所述左气浮平台(612)从所述层叠架(400)的左侧部进入所述待输送玻璃基板(500)的下方的左气浮平台驱动机构(622)、驱动所述右气浮平台(614)从所述层叠架(400)的右侧部进入所述待输送玻璃基板(500)的下方的右气浮平台驱动机构(624)。
4.根据权利要求3所述的玻璃基板的输送装置，其特征在于，所述左气浮平台(612)和所述右气浮平台(614)结构相同；所述左气浮平台驱动机构(622)与所述右气浮平台驱动机构(624)结构相同。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板的输送装置，其特征在于，所述左气浮平台驱动机构(622)包括沿上下方向(Z)延伸的左支撑架(626)、左移动轨道(628)和驱动所述支撑架沿所述左移动轨道(628)线性移动的左马达(627)，所述左气浮平台(612)设置在所述左支撑架(626)上。
6.根据权利要求5所述的玻璃基板的输送装置，其特征在于，所述左气浮平台(612)包括沿左右方向(X)平行布置的多个支撑板(630)、将所述多个支撑板(630)连接在一起的支撑梁(632)，所述多个支撑板(630)上均匀设置有多个气孔(634)。
7.根据权利要求6所述的玻璃基板的输送装置，其特征在于，所述多个支撑板(630)中的至少一个支撑板(630)上设置有用于识别所述层叠架(400)上的玻璃基板的信息的核对传感器(640)。
8.根据权利要求6所述的玻璃基板的输送装置，其特征在于，所述基板驱动装置(700)设置在所述支撑梁(632)上。
9.根据权利要求8所述的玻璃基板的输送装置，其特征在于，所述基板驱动装置(700)包括多个驱动单元(710)，各驱动单元(710)均包括主动轮组(720)、从动轮组(730)、及驱动气缸(740)，所述驱动气缸(740)用于驱动所述主动轮组(720)转动，所述从动轮组(730)用于在将所述待输送玻璃基板(500)夹持在所述主动轮组(720)与所述从动轮组(730)之间的情况下与所述主动轮组(720)配合输送所述待输送玻璃基板(500)。
10.根据权利要求9所述的玻璃基板的输送装置，其特征在于，所述主动轮组(720)位于所述从动轮组(730)的下方。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106033739A (zh) * 2015-03-19 2016-10-19 南京瀚宇彩欣科技有限责任公司 衬底支持装置及机台装置
CN106672628A (zh) * 2017-02-20 2017-05-17 东旭科技集团有限公司 玻璃基板旋转设备
CN106743662A (zh) * 2017-03-30 2017-05-31 武汉华星光电技术有限公司 玻璃基板输送机构

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10851013B2 (en) * 2015-03-05 2020-12-01 Glasstech, Inc. Glass sheet acquisition and positioning system and associated method for an inline system for measuring the optical characteristics of a glass sheet

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1810608A (zh) * 2005-01-26 2006-08-02 三发机电有限公司 基底传送设备
CN101188206A (zh) * 2003-11-06 2008-05-28 神钢电机株式会社 基板搬入搬出装置、基板搬运方法及其装置
CN101656220A (zh) * 2008-08-22 2010-02-24 Sfa工程股份有限公司 用于传送玻璃的盒和机械手、以及具有该盒和机械手的盒系统
CN102464210A (zh) * 2010-11-11 2012-05-23 株式会社Siti 基板搬运装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101188206A (zh) * 2003-11-06 2008-05-28 神钢电机株式会社 基板搬入搬出装置、基板搬运方法及其装置
CN1810608A (zh) * 2005-01-26 2006-08-02 三发机电有限公司 基底传送设备
CN101656220A (zh) * 2008-08-22 2010-02-24 Sfa工程股份有限公司 用于传送玻璃的盒和机械手、以及具有该盒和机械手的盒系统
CN102464210A (zh) * 2010-11-11 2012-05-23 株式会社Siti 基板搬运装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106033739A (zh) * 2015-03-19 2016-10-19 南京瀚宇彩欣科技有限责任公司 衬底支持装置及机台装置
CN106033739B (zh) * 2015-03-19 2019-02-15 南京瀚宇彩欣科技有限责任公司 衬底支持装置及机台装置
CN106672628A (zh) * 2017-02-20 2017-05-17 东旭科技集团有限公司 玻璃基板旋转设备
CN106743662A (zh) * 2017-03-30 2017-05-31 武汉华星光电技术有限公司 玻璃基板输送机构

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Publication number Publication date
CN103350904B (zh) 2017-03-01
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