CN102464210A - 基板搬运装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基板搬运装置，其包括：一轨道，呈一水平向延伸设置型态；一可旋转升降座，组设于该轨道上，该可旋转升降座由下至上包括一滑动组配部、一旋转部以及一升降部；一气浮式载台，呈可平移进退状态组设于该可旋转升降座的升降部上，该气浮式载台的承载面上设置有多数平行间隔排列的气浮箱体；一平移式夹持导动架，呈可平移进退状态设置于该气浮式载台的承载面上；一可升降平移式撑持架，呈可平移进退状态以及可升降状态设置于该气浮式载台的承载面上。借此能够选择同步或单一平移动作模式，同时能达到确保基板平整精度不受搬运动作所影响的实用进步性。本发明适用于各种需要使用基板搬运装置的场合。

Description

基板搬运装置

技术领域

本发明涉及一种搬运装置，特别是涉及一种关于基板的搬运装置。

背景技术

本发明所指「基板搬运装置」，指专用以导送位移板状料件(如玻璃基板)以达到预定路径机械式搬运功能的装置设备。

基板搬运装置结构设计上，其型态通常依据基板料件所要输送搬运的路径型态而有所不同，当所欲输送搬运的路径型态较为多元复杂时，基板搬运装置的结构就会相对因为功能诉求增加而复杂化；然，基板搬运装置结构设计上，其基板料件的属性更是必须特别考虑的一个环节，以玻璃基板而言，因其多数应用于作为显示面板之用，故表面可容许的瑕疵度必须掌控至相当微小状态，而弯曲形变的幅度更必须掌控至最小状态，但玻璃基板随着面积规格的扩大，其搬运过程中欲将其瑕疵不良率精确管控于容许范围内，相对越显困难。

有鉴于此，发明人本于多年从事相关产品的制造开发与设计经验，针对上述的目标，详加设计与审慎评估后，终得一确具实用性的本发明。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种基板搬运装置，能够解决搬运动作模式单一、基板平整精度易受搬运动作影响的问题。

为解决上述问题，本发明一种基板搬运装置，借以导送基板位移以达到搬运的目的；该基板搬运装置包括：一轨道，呈一水平向延伸设置型态；一可旋转升降座，组设于该轨道上，该可旋转升降座由下至上包括一滑动组配部、一旋转部以及一升降部，其中该滑动组配部组合于该轨道上，使该可旋转升降座能够沿着该轨道的延伸型态位移；一气浮式载台，呈可平移进退状态组设于该可旋转升降座的升降部上，该气浮式载台的承载面上设置有多数平行间隔排列的气浮箱体，各该气浮箱体之间相对形成有笔直且横向穿通该承载面相对二侧的内凹通道；一平移式夹持导动架，呈可平移进退状态设置于该气浮式载台的承载面上，且该平移式夹持导动架的进退方向与气浮式载台一致，同时该平移式夹持导动架包括有复数个间隔设置的基板夹爪，所述基板夹爪呈可开合状态，且使各该基板夹爪随着平移式夹持导动架平移进退时，容置于该气浮式载台与之相对位的内凹通道中；一可升降平移式撑持架，呈可平移进退状态以及可升降状态设置于该气浮式载台的承载面上，且该可升降平移式撑持架的进退方向与气浮式载台一致，同时该可升降平移式撑持架包括有复数个间隔设置且呈凸伸型态的基板撑持架部，使各该基板撑持架部随着可升降平移式撑持架平移进退时，容置于该气浮式载台与之相对位的内凹通道中，且其中，所述基板撑持架部的位置，与该平移式夹持导动架所设基板夹爪的位置相互错开，同时所述基板撑持架部于上升时，使其高于该气浮箱体顶面。

优选地，其中所述基板为玻璃基板。

优选地，其中该气浮式载台的承载面二侧设置有限位轮组，借以对导送的基板产生限位作用。

优选地，其中该基板搬运装置还包括设置于该轨道其中一侧间隔处的多数基板容置匣，以及设置于该轨道另一侧间隔处的一基板转运匣。

优选地，其中该平移式夹持导动架所设基板夹爪还组配有基板传感器，借以感应该基板夹爪夹持基板的深度状态，当该基板夹爪的夹持深度达1公分时，能够透过该基板传感器加以感应，以使基板夹爪的位移动作停止；且各该基板夹爪能够各自伸缩动作，以因应基板的角度误差状态。

采用本发明的创新独特设计，使本发明对照先前技术而言，大致可达到如下优点：所述平移式夹持导动架与可升降平移式撑持架二者于执行基板搬运导送作业流程时，能够依据基板容置机构状态的不同选择同步或单一平移动作模式，而能灵活因应不同的基板容置型态，同时该可升降平移式撑持架的设计能够上升将基板整体均匀捧住撑持，而能达到确保基板平整精度不受搬运动作所影响的实用进步性。

附图说明

图1是本发明基板搬运装置较佳实施例的立体图。

图2是图1的局部放大图。

图3是本发明的基板夹爪部位立体放大图。

图4是本发明的基板夹爪开合动作状态示意图。

图5是本发明的基板置于该气浮式载台承载面上的状态立体图。

图6是承接图5，该可升降平移式撑持架上升将基板捧起的状态示意图。

图7是本发明的搬运动作状态图一。

图8是本发明的搬运动作状态图二。

图9是本发明的搬运动作状态图三。

图10是本发明的搬运动作状态图四。

图11是本发明的基板夹爪组配有基板传感器的实施例图。

图12是本发明的各该基板夹爪能够各自伸缩动作以因应基板角度误差的实施状态图。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本发明作进一步详细说明。

请参阅图1、图2、图7所示，为本发明基板搬运装置的较佳实施例，类似的实施例仅供说明之用，在专利申请上并不受此结构的限制；所述基板搬运装置A借以导送基板05(如玻璃基板)位移以达到搬运的目的；该基板搬运装置A包括下述构成：

一轨道10，呈一水平向延伸设置型态；

一可旋转升降座20，组设于该轨道10上，该可旋转升降座20由下至上包括一滑动组配部21、一旋转部22以及一升降部23，其中该滑动组配部21组合于该轨道10上，使该可旋转升降座20能够沿着该轨道10的延伸型态位移；

一气浮式载台30，呈可平移进退状态组设于该可旋转升降座20的升降部23上，该气浮式载台30的承载面31上设置有多数平行间隔排列的气浮箱体32，各该气浮箱体32之间相对形成有笔直且横向穿通该承载面相对二侧的内凹通道33；

一平移式夹持导动架40，呈可平移进退状态设置于该气浮式载台30的承载面31上，且该平移式夹持导动架40的进退方向与气浮式载台30一致，同时该平移式夹持导动架40包括有复数个间隔设置的基板夹爪41(其型态详如图3所揭示)，所述基板夹爪41呈可开合状态，且使各该基板夹爪41随着平移式夹持导动架40平移进退时，容置于该气浮式载台30与之相对位的内凹通道33中；

一可升降平移式撑持架50，呈可平移进退状态以及可升降状态设置于该气浮式载台30的承载面31上，且该可升降平移式撑持架50的进退方向与气浮式载台30一致，同时该可升降平移式撑持架50包括有复数个间隔设置且呈凸伸型态的基板撑持架部51，使各该基板撑持架部51随着可升降平移式撑持架50平移进退时，容置于该气浮式载台30与之相对位的内凹通道33中，且其中，所述基板撑持架部51的位置，与该平移式夹持导动架40所设基板夹爪41的位置相互错开，同时所述基板撑持架部51于上升时，使其高于该气浮箱体32的顶面。

详如图5所示，该气浮式载台30的承载面31二侧还设置有限位轮组60，借以对导送的基板05产生限位导正的作用。

如图1、图7所示，该基板搬运装置A还包括设置于该轨道10其中一侧间隔处的多数基板容置匣70，以及设置于该轨道10另一侧间隔处的一基板转运匣80。

采用上述结构组成设计，兹就本发明的使用状态说明如下：

本发明所揭基板搬运装置A的核心设计，主要在于该气浮式载台30的承载面31上设置有所述平移式夹持导动架40以及可升降平移式撑持架50的搬运机构设计；其中该平移式夹持导动架40的进退方向与气浮式载台30一致，且该平移式夹持导动架40所设基板夹爪41呈可开合状态，如图4所揭，其闭合动作可借以夹住基板05一边侧，以进行平移带动；而所述可升降平移式撑持架50，除了能够执行与气浮式载台30进退方向一致的平移动作外，并可执行立向升降动作，此如图6所示，当其基板撑持架部51上升时高于气浮箱体32的顶面，而能将原本置于气浮箱体32上的基板05捧起向上，以进行接续搬运的动作。

至于本发明所揭基板搬运装置A的运作情形，现以图1、图7所示实施例架构说明如后：

本实施例的气浮式载台30，被设置于该基板转运匣80与多数组间隔设置的基板容置匣70之间，以进行基板05的双向搬运工作；若以从该基板容置匣70到基板转运匣80方向的搬运型态为例，通过该可旋转升降座20能够于该轨道10上平移且旋转升降的特色，如图7所揭，使气浮式载台30先对位于该基板容置匣70欲执行搬运的基板05所在位置处，此时由于该基板容置匣70中已有撑持构造支撑着该基板05，故仅使该平移式夹持导动架40动作平移至基板容置匣70，以透过其基板夹爪41夹住基板05；接着如图8所示，使平移式夹持导动架40复归原位，即可将基板05同步拉引至该气浮式载台30的承载面31上，此拉引过程中，该承载面31上所设各气浮箱体32会向上喷射高压气柱以将基板05撑持成平整状态；接着如图5所示，当基板05完全对位于气浮式载台30的承载面31上时，使基板夹爪41脱离基板05，再使所述可升降平移式撑持架50上升至高于气浮箱体32顶面的状态(如图6的箭号L1所示)，而能将前述置于气浮箱体32上的基板05捧起向上；接着如图9所示，通过该可旋转升降座20能够于该轨道10上平移且旋转升降的特色，使气浮式载台30进行旋转、升降的动作位移(如图9的箭号L2所示)至对位于该基板转运匣80要执行放置基板05所在位置处，此时如图10所示，则可使该可升降平移式撑持架50与平移式夹持导动架40同步平移(如图10的箭号L3所示)至该基板转运匣80中，接着使该可升降平移式撑持架50下降，以将基板05转置于该基板转运匣80预定位置上，至此即完成一道基板搬运流程。至于从该基板转运匣80到基板容置匣70方向的反向搬运型态，其原理相同，即不赘述。

又如图11所揭，该平移式夹持导动架所设基板夹爪41并组配有基板传感器42，借以感应该基板夹爪41夹持基板05的深度状态，当该基板夹爪41的夹持深度达1公分时，能够透过该基板传感器42加以感应(如图11的箭号L 3所示)，以使基板夹爪41的位移动作停止；且如图12所揭，各该基板夹爪41能够设计成可各自伸缩动作的型态，，如图中箭号L4所标为基板05角度精确状态的假想线，故图中所绘基板05的误差角度为(X)，此时图中两组不同基板夹爪41各自伸长不同的距离L5、L6，以因应基板05的角度误差；借此设计，可精确控制基板夹爪41对于基板05的夹持深度，达到较佳的基板导送质量。

本发明的优点：

1、本发明所揭「基板搬运装置」主要通过所述轨道、可旋转升降座、气浮式载台、平移式夹持导动架、可升降平移式撑持架的创新独特结构组配型态设计，使本发明对照【先前技术】所提习知结构而言，所述平移式夹持导动架与可升降平移式撑持架二者于执行基板搬运导送作业流程时，能够依据基板容置机构状态的不同选择同步或单一平移动作模式，而能灵活因应不同的基板容置型态，又通过该可升降平移式撑持架的设计，能够上升将基板整体均匀捧住撑持，而能达到确保基板平整精度不受搬运动作所影响、有效提升基板搬运质量与良率的实用进步性与较佳产业利用效益。

2、本发明所揭「基板搬运装置」通过所述平移式夹持导动架配合可升降平移式撑持架的多方向位移导动结构设计，使基板搬运装置能够配合不同架构的基板匣(如有滚轮或无滚轮形式)进行基板导入或导出的输送动作，且本发明所揭基板搬运装置能构省略习知输送机构的设置，将习知多单元输送机构整合于单一机体上，达到精简搬运装置构件体积与设置成本的实用进步性与较佳产业经济效益。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本领域的技术人员在本发明所揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。

Claims (5)

1.一种基板搬运装置，所述基板搬运装置借以导送基板位移以达到搬运的目的；其特征在于，该基板搬运装置包括：

一轨道，呈一水平向延伸设置型态；

一可旋转升降座，组设于该轨道上，该可旋转升降座由下至上包括一滑动组配部、一旋转部以及一升降部，其中该滑动组配部组合于该轨道上，使该可旋转升降座能够沿着该轨道的延伸型态位移；

一气浮式载台，呈可平移进退状态组设于该可旋转升降座的升降部上，该气浮式载台的承载面上设置有多数平行间隔排列的气浮箱体，各该气浮箱体之间相对形成有笔直且横向穿通该承载面相对二侧的内凹通道；

一平移式夹持导动架，呈可平移进退状态设置于该气浮式载台的承载面上，且该平移式夹持导动架的进退方向与气浮式载台一致，同时该平移式夹持导动架包括有复数个间隔设置的基板夹爪，所述基板夹爪呈可开合状态，且使各该基板夹爪随着平移式夹持导动架平移进退时，容置于该气浮式载台与之相对位的内凹通道中；

一可升降平移式撑持架，呈可平移进退状态以及可升降状态设置于该气浮式载台的承载面上，且该可升降平移式撑持架的进退方向与气浮式载台一致，同时该可升降平移式撑持架包括有复数个间隔设置且呈凸伸型态的基板撑持架部，使各该基板撑持架部随着可升降平移式撑持架平移进退时，容置于该气浮式载台与之相对位的内凹通道中，且其中，所述基板撑持架部的位置，与该平移式夹持导动架所设基板夹爪的位置相互错开，同时所述基板撑持架部于上升时，使其高于该气浮箱体顶面。

2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，其中所述基板为玻璃基板。

3.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，其中该气浮式载台的承载面二侧设置有限位轮组，借以对导送的基板产生限位作用。

4.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，其中该基板搬运装置还包括设置于该轨道其中一侧间隔处的多数基板容置匣，以及设置于该轨道另一侧间隔处的一基板转运匣。

5.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，其中该平移式夹持导动架所设基板夹爪还组配有基板传感器，借以感应该基板夹爪夹持基板的深度状态，当该基板夹爪的夹持深度达1公分时，能够透过该基板传感器加以感应，以使基板夹爪的位移动作停止；且各该基板夹爪能够各自伸缩动作，以因应基板的角度误差状态。

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