CN108190517A - 平板类工件对位传送装置及方法 - Google Patents

平板类工件对位传送装置及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108190517A
CN108190517A CN201810034656.3A CN201810034656A CN108190517A CN 108190517 A CN108190517 A CN 108190517A CN 201810034656 A CN201810034656 A CN 201810034656A CN 108190517 A CN108190517 A CN 108190517A
Authority
CN
China
Prior art keywords
flat
workpiece
type workpiece
air
type
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810034656.3A
Other languages
English (en)
Inventor
戴童庆
代毓平
刘虎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SHENZHEN DACHUAN PHOTOELECTRIC EQUIPMENT Co Ltd
Original Assignee
SHENZHEN DACHUAN PHOTOELECTRIC EQUIPMENT Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SHENZHEN DACHUAN PHOTOELECTRIC EQUIPMENT Co Ltd filed Critical SHENZHEN DACHUAN PHOTOELECTRIC EQUIPMENT Co Ltd
Priority to CN201810034656.3A priority Critical patent/CN108190517A/zh
Publication of CN108190517A publication Critical patent/CN108190517A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion

Landscapes

  • Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)

Abstract

本发明提供一种平板类工件对位传送装置及方法，该装置包括控制单元、第一平台主体、第二平台主体以及移载对位装置，第一平台主体包括气浮平面，第二平台主体包括气浮吸附一体平面，气浮平面与气浮吸附一体平面依次相接设置，移载对位装置包括与待传送平板类工件的大小相适配的工件定位框以及驱动工件定位框由气浮平面的上方平移到气浮吸附一体平面的上方的平移运动机构，控制单元与平移运动机构电性连接。本发明的平板类工件对位传送装置及方法，可在快速准确地完成平板类工件的传送和定位的同时，显著提高其定位精度和缩短其对位时间，还避免了工件地面摩擦传动和用机械手吸盘取板时产生的接触污染和工件形变(特别是对薄板)。

Description

平板类工件对位传送装置及方法
技术领域
本发明涉及工件的对位与传送技术领域，尤其涉及一种平板类工件对位传送装置及方法。
背景技术
目前，传统的平板类工件对位传送工序中，其一般是先将平板类工件传送到预对位工作台上，由由台中X和Y方向的滚轮接触传送平板类工件来实现平面预对位，后置机械手将已加工完毕的平板类工件从加工平台上吸取后转移到出料传送线上带走后，再由另一前置机械手从预对位工作台上吸取工件后转移到加工平台上进行加工。在这个过程中，两只机械手需进行多次上下前后的往复运动和吸取工件，动作多，行程长，效率低；另外会产生滚轮和吸盘对工件的接触污染，在传送和吸取薄板时容易出现粘板等问题。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种平板类工件对位传送装置及方法，其可在快速准确地完成平板类工件的传送和定位的同时，显著提高其定位精度和缩短其对位时间，还避免了工件地面摩擦传动和用机械手吸盘取板时产生的接触污染和工件形变(特别是对薄板)。
为实现上述目的，本发明提出一种平板类工件对位传送装置，包括控制单元、第一平台主体、第二平台主体以及移载对位装置，所述第一平台主体包括气浮平面，所述第二平台主体包括气浮吸附一体平面，所述气浮平面与所述气浮吸附一体平面依次相接设置，所述移载对位装置包括与待传送平板类工件的大小相适配的工件定位框以及驱动所述工件定位框由所述气浮平面的上方平移到所述气浮吸附一体平面的上方的平移运动机构，所述控制单元与所述平移运动机构电性连接。
可选地，所述工件定位框包括对位挡板、第一活动挡板、两间隔设置的第二活动挡板、第一驱动机构以及两第二驱动机构；所述对位挡板的长度与所述待传送平板类工件的长度或宽度相适配；所述第一活动挡板与所述对位挡板相互平行设置；所述第一驱动机构与所述第一活动挡板驱动连接，以驱动所述第一活动挡板远离或靠近所述对位挡板；每一所述第二活动挡板分别与所述对位挡板相互垂直设置；两所述第二驱动机构与两所述第二活动挡板一一对应驱动连接，以驱动相应的两所述第二活动挡板相向或相离远动，使得所述对位挡板、所述第一活动挡板、两所述第二活动挡板活动围成与所述待传送平板类工件的大小相适配的所述工件定位框，所述第一驱动机构以及两所述第二驱动机构分别与所述控制单元电性连接。
可选地，所述对位挡板包括间隔设置的固定挡板与移动挡板，且所述移动挡板位于所述固定挡板的延伸方向上，所述移动挡板在所述固定挡板的延伸方向上自由移动，使得所述移动挡板的长度、所述固定挡板的长度以及所述固定挡板与所述移动挡板之间的间距之和与所述待传送平板类工件的长度或宽度相适配。
可选地，所述工件定位框为一体式框体，所述一体式框体的内框尺寸与所述待传送平板类工件的大小相适配。
可选地，所述气浮平面及所述气浮吸附一体平面均为多孔材料介质层，且所述多孔材料介质层上开设有若干分布均匀的细微气孔。
可选地，所述第一平台主体还包括第一空气泵，所述第一平台主体的底侧开设有连通各所述细微气孔的第一通气口；所述第一空气泵连通所述第一通气口，以通过对各所述细微气孔充气来使得所述气浮平面形成上浮正压力。
可选地，所述第二平台主体还包括第二空气泵，所述第二平台主体的底侧开设有连通各所述细微气孔的第二通气口；所述第二空气泵连通所述第二通气口，以通过对各所述细微气孔充气来使得所述气浮吸附一体平面形成上浮正压力，或通过对各所述细微气孔抽气来使得所述气浮吸附一体平面形成真空吸附。
可选地，所述多孔材料介质层为陶瓷层或铝金属材料层。
可选地，还包括滚轮下料机构，所述滚轮下料机构相接于所述气浮吸附一体平面远离所述气浮平面的一侧。
此外，本发明还提供一种平板类工件对位传送方法，所述平板类工件对位传送方法包括以下步骤：通过气浮平面使待传送平板类工件处于气浮悬空无摩擦状态；通过移载对位装置的工件定位框将所述待传送平板类工件锁定在预设位置，完成所述待传送平板类工件的预对位操作；通过所述工件定位框的平移运动，在气浮悬空无摩擦状态下，将所述待传送平板类工件由所述气浮平面的上方平移到气浮吸附一体平面的上方，并将原处于所述气浮吸附一体平面上方的上一加工完成的平板类工件推向滚轮下料机构，完成两个平板类工件的交替传送。
本发明提供的平板类工件对位传送装置及方法，其装置包括控制单元、第一平台主体、第二平台主体以及移载对位装置，该第一平台主体包括能充气形成上浮正压力的气浮平面，该第二平台主体包括既能充气形成上浮正压力，又能抽气形成真空吸附的气浮吸附一体平面，工作时，待传送平板类工件先到达气浮平面的上方实现气悬浮，使得工件与平台不会形成接触摩擦，同时，通过移载对位装置的工件定位框将该待传送平板类工件锁定在按工件尺寸设定形成的方格内来完成工件的预对位，接着，通过移载对位装置的平移运动机构将该待传送平板类工件随着该工件定位框平移到气浮吸附一体平面的上方，到达指定加工位置，与之同时，其工件定位框的前端将已完成加工的前一工件推到出料传送线上流走，进而快速准确地完成两个平板类工件的交替传送与定位。此时，气浮吸附一体平面由充气正压力切换成抽气形成真空负压，将该待传送平板类工件向下吸附在第二平台主体上进行下一步的加工。可见，本发明的平板类工件对位传送装置及方法，其可在快速准确地完成平板类工件的传送和定位的同时，显著提高其定位精度和缩短其对位时间，还避免了工件地面摩擦传动和用机械手吸盘取板时产生的接触污染和工件形变(特别是对薄板)。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明平板类工件对位传送装置一种较佳实施例的整体结构示意图。
图2为图1所示平板类工件对位传送装置的第一平台主体的侧视结构示意图。
图3为图1所示平板类工件对位传送装置的第二平台主体的侧视结构示意图。
图4为图1所示平板类工件对位传送装置的工作状态示意图一。
图5为图1所示平板类工件对位传送装置的工作状态示意图二。
图6为图1所示平板类工件对位传送装置的工作状态示意图三。
图7为本发明平板类工件对位传送方法一种较佳实施例的流程框图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本发明，但并不构成对本发明的限定。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
如图1所示，本实施例提供一种平板类工件对位传送装置100，该平板类工件对位传送装置100包括控制单元(未图示)、第一平台主体110、第二平台主体120以及移载对位装置130，该第一平台主体110包括气浮平面111，第二平台主体120包括气浮吸附一体平面121，气浮平面111与气浮吸附一体平面121依次相接设置，移载对位装置130包括与待传送平板类工件的大小相适配的工件定位框131以及驱动工件定位框131由气浮平面111的上方平移到气浮吸附一体平面121的上方的平移运动机构132，控制单元与平移运动机构132电性连接。
在本实施例中，如图1所示，该工件定位框131设于平移运动机构132的下方，气浮平面111或气浮吸附一体平面121的上方，该工件定位框131包括对位挡板1311、第一活动挡板1312、两间隔设置的第二活动挡板1313、第一驱动机构(未图示)以及两第二驱动机构(未图示)。其中，对位挡板1311的长度与待传送平板类工件的长度或宽度相适配。第一活动挡板1312与对位挡板1311相互平行设置。第一驱动机构与第一活动挡板1312驱动连接，以驱动第一活动挡板1312远离或靠近对位挡板1311；每一第二活动挡板1313分别与对位挡板1311相互垂直设置；两第二驱动机构与两第二活动挡板1313一一对应驱动连接，以驱动相应的两第二活动挡板1313相向或相离远动，第一驱动机构以及两第二驱动机构分别与控制单元电性连接。通过这样的结构设置，使得对位挡板1311、第一活动挡板1312、两第二活动挡板1313活动围成与待传送平板类工件的大小相适配的工件定位框131，即对位挡板1311、第一活动挡板1312与两第二活动挡板1313可由围成一个尺寸大于待传送平板类工件的大小的工件定位框131，通过第一活动挡板1312与两第二活动挡板1313的活动，变成围成一个尺寸与待传送平板类工件的大小相适配的工件定位框131，进而将该待传送平板类工件锁定在预设的位置，完成该待传送平板类工件的预对位。
具体地，如图1所示，该对位挡板1311包括间隔设置的固定挡板与移动挡板，且移动挡板位于固定挡板的延伸方向上，移动挡板在固定挡板的延伸方向上自由移动，使得移动挡板的长度、固定挡板的长度以及固定挡板与移动挡板之间的间距之和与待传送平板类工件的长度或宽度相适配。对于本领域技术人员而言，该对位挡板1311亦可采用一体式板体，该一体式板体的长度与待传送平板类工件的长度或宽度相适配。同样的，该工件定位框131亦可直接为一体式框体，该一体式框体的内框尺寸与待传送平板类工件的大小相适配，工作时，直接将由上一工序传送过来的工件放入该一体式框体的内框中，进行悬浮夹持定位。另外，该工件定位框131还可采用以下结构设置，四个吹气装置，两两相对设置围成该工件定位框131，通过四个吹气装置，两两相对吹气形成一个气压平衡点，将工件对位时预设的位置设在该气压平衡点，这样一来，当待传送平板类工件在气浮平面111上方处于气浮状态时，便会位于四个吹气装置之间，然后在四个吹气装置的吹气作用下，到达气压平衡点，完成待传送平板类工件的预对位操作。
如图1及图2所示，该气浮平面111为多孔材料介质层，且该多孔材料介质层上开设有若干分布均匀的细微气孔1111。第一平台主体110还包括第一空气泵112，第一平台主体110的底侧开设有连通各细微气孔1111的第一通气口113。第一空气泵112连通第一通气口113，以通过对各细微气孔1111充气来使得气浮平面111形成上浮正压力。该多孔材料介质层优选为陶瓷层或铝金属材料层，空气能从其分布均匀的细微小孔1111进行气浮和吸附，对于本领域技术人员而言，该多孔材料介质层亦可采用其他具有相似结构的材料进行替代。
同样的，如图1及图3所示，气浮吸附一体平面121亦为多孔材料介质层，且多孔材料介质层上开设有若干分布均匀的细微气孔1211。第二平台主体120还包括第二空气泵122，第二平台主体120的底侧开设有连通各细微气孔的第二通气口123。第二空气泵122连通第二通气口123，以通过对各细微气孔1211充气来使得气浮吸附一体平面121形成上浮正压力，或通过对各细微气孔1211抽气来使得气浮吸附一体平面121形成真空吸附。该多孔材料介质层为陶瓷层或铝金属材料层，空气能从其分布均匀的细微小孔1211进行气浮和吸附。
对于本领域技术人员而言，该第一平台主体110与该第二平台主体120亦可采用一体式结构设置，即将一个气浮吸附一体平面划分为两个区域，一个区域为预对位区域(即气浮平面111，此时，该气浮平面111亦可抽气形成真空吸附)，另一个区域为加工区域(即气浮吸附一体平面121)。
另外，如图1所示，本平板类工件对位传送装置100还包括滚轮下料机构140，滚轮下料机构140相接于气浮吸附一体平面121远离气浮平面111的一侧，通过滚轮下料机构140可对加工完毕的平板类工件进行下料处理。
下面以对平板类工件进行曝光加工为例，对本平板类工件对位传送装置100的工作过程进行详细说明：
如图4所示，工作时，当待曝光平板类工件2(即上述提到的待传送工件)由上一工序传送到气浮平面111的上方时，该气浮平面111处于气浮工作模式，其通过气体形成连绵的向上浮力，使得该待曝光平板类工件2悬浮于该气浮平面111的上方，此时，该待曝光平板类工件2处于无接触摩擦的自由状态，第一驱动机构驱动第一活动挡板1312靠近对位挡板1311运动，两第二驱动机构分别驱动相应的两第二活动挡板1313相向运动，使得该待曝光平板类工件2锁定在由对位挡板1311、第一活动挡板1312及两第二活动挡板1313围成的工件定位框131中，进而完成该待曝光平板类工件2的预对位，即最终形成如图5所示状态。接着，移载对位装置130再向曝光区域(即气浮吸附一体平面121的上方)运动，当移载对位装置130的平移运动机构132将其工件定位框131由气浮平面111的上方平移到气浮吸附一体平面121的上方的同时，该待曝光平板类工件2会随着其工件定位框131移动到曝光区域的指定位置，与之同时，其工件定位框131的前端将已完成曝光并悬浮在气浮吸附一体平面121上的平板类工件3推到滚轮下料机构140上，即最终形成如图6所示状态。此时，气浮吸附一体平面121由充气正压力切换成抽气形成真空负压，将该待曝光平板类工件2吸附在气浮吸附一体平面121上，以进行后续的曝光加工工作，同时，滚轮下料机构140完成平板类工件3的下料操作。之后，移载对位装置130再回到初始位置迎接下一个待曝光平板类工件的到来，开始下一个工作循环。
可见，在本平板类工件对位传送装置100整个工作过程中，待曝光平板类工件2被气浮在空中无摩擦力状态，由移载对位装置130中的工件定位框131进行锁定气浮定位，可显著提高其定位精度和缩短其对位时间。同时，平板类工件的替换是在传送过程中同时完成的，即移载对位装置130把已完成曝光的平板类工件3推走的同时将预对位好后的待曝光平板类工件2移动到指定的曝光位置，平板类工件在移动和交替过程中处于气浮无摩擦力状态，还避免了工件地面摩擦传动和用机械手吸盘取板时产生的接触污染和工件形变(特别是对薄板)。
此外，如图7所示，本实施例还提供一种平板类工件对位传送方法，该平板类工件对位传送方法应用于上述平板类工件对位传送装置100，主要包括以下步骤：
步骤S1：通过气浮平面使待传送平板类工件处于气浮悬空无摩擦状态。
步骤S2：通过移载对位装置的工件定位框将待传送平板类工件锁定在预设位置，完成待传送平板类工件的预对位操作；
步骤S3：通过工件定位框的平移运动，在气浮悬空无摩擦状态下，将待传送平板类工件由气浮平面的上方平移到气浮吸附一体平面的上方，并将原处于气浮吸附一体平面上方的上一加工完成的平板类工件推向滚轮下料机构，完成两个平板类工件的交替传送。
本发明实施例提供的平板类工件对位传送装置及方法，其装置包括控制单元、第一平台主体、第二平台主体以及移载对位装置，该第一平台主体包括能充气形成上浮正压力的气浮平面，该第二平台主体包括既能充气形成上浮正压力，又能抽气形成真空吸附的气浮吸附一体平面，工作时，待传送平板类工件先到达气浮平面的上方实现气悬浮，使得工件与平台不会形成接触摩擦，同时，通过移载对位装置的工件定位框将该待传送平板类工件锁定在按工件尺寸设定形成的方格内来完成工件的预对位，接着，通过移载对位装置的平移运动机构将该待传送平板类工件随着该工件定位框平移到气浮吸附一体平面的上方，到达指定加工位置，与之同时，其工件定位框的前端将已完成加工的前一工件推到出料传送线上流走，进而快速准确地完成两个平板类工件的交替传送与定位。此时，气浮吸附一体平面由充气正压力切换成抽气形成真空负压，将该待传送平板类工件向下吸附在第二平台主体上进行下一步的加工。可见，本发明的平板类工件对位传送装置及方法，其可在快速准确地完成平板类工件的传送和定位的同时，显著提高其定位精度和缩短其对位时间，还避免了工件底面摩擦传动和用机械手吸盘取板时产生的接触污染和工件形变(特别是对薄板)。
以上结合附图对本发明的实施方式作了详细说明，但本发明不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本发明原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种平板类工件对位传送装置，其特征在于，包括控制单元、第一平台主体、第二平台主体以及移载对位装置，所述第一平台主体包括气浮平面，所述第二平台主体包括气浮吸附一体平面，所述气浮平面与所述气浮吸附一体平面依次相接设置，所述移载对位装置包括与待传送平板类工件的大小相适配的工件定位框以及驱动所述工件定位框由所述气浮平面的上方平移到所述气浮吸附一体平面的上方的平移运动机构，所述控制单元与所述平移运动机构电性连接。
2.如权利要求1所述的平板类工件对位传送装置，其特征在于，所述工件定位框包括对位挡板、第一活动挡板、两间隔设置的第二活动挡板、第一驱动机构以及两第二驱动机构；所述对位挡板的长度与所述待传送平板类工件的长度或宽度相适配；所述第一活动挡板与所述对位挡板相互平行设置；所述第一驱动机构与所述第一活动挡板驱动连接，以驱动所述第一活动挡板远离或靠近所述对位挡板；每一所述第二活动挡板分别与所述对位挡板相互垂直设置；两所述第二驱动机构与两所述第二活动挡板一一对应驱动连接，以驱动相应的两所述第二活动挡板相向或相离远动，使得所述对位挡板、所述第一活动挡板、两所述第二活动挡板活动围成与所述待传送平板类工件的大小相适配的所述工件定位框，所述第一驱动机构以及两所述第二驱动机构分别与所述控制单元电性连接。
3.如权利要求2所述的平板类工件对位传送装置，其特征在于，所述对位挡板包括间隔设置的固定挡板与移动挡板，且所述移动挡板位于所述固定挡板的延伸方向上，所述移动挡板在所述固定挡板的延伸方向上自由移动，使得所述移动挡板的长度、所述固定挡板的长度以及所述固定挡板与所述移动挡板之间的间距之和与所述待传送平板类工件的长度或宽度相适配。
4.如权利要求1所述的平板类工件对位传送装置，其特征在于，所述工件定位框为一体式框体，所述一体式框体的内框尺寸与所述待传送平板类工件的大小相适配。
5.如权利要求1所述的平板类工件对位传送装置，其特征在于，所述气浮平面及所述气浮吸附一体平面均为多孔材料介质层，且所述多孔材料介质层上开设有若干分布均匀的细微气孔。
6.如权利要求5所述的平板类工件对位传送装置，其特征在于，所述第一平台主体还包括第一空气泵，所述第一平台主体的底侧开设有连通各所述细微气孔的第一通气口；所述第一空气泵连通所述第一通气口，以通过对各所述细微气孔充气来使得所述气浮平面形成上浮正压力。
7.如权利要求5所述的平板类工件对位传送装置，其特征在于，所述第二平台主体还包括第二空气泵，所述第二平台主体的底侧开设有连通各所述细微气孔的第二通气口；所述第二空气泵连通所述第二通气口，以通过对各所述细微气孔充气来使得所述气浮吸附一体平面形成上浮正压力，或通过对各所述细微气孔抽气来使得所述气浮吸附一体平面形成真空吸附。
8.如权利要求5所述的平板类工件对位传送装置，其特征在于，所述多孔材料介质层为陶瓷层或铝金属材料层。
9.如权利要求1-8任一所述的平板类工件对位传送装置，其特征在于，还包括滚轮下料机构，所述滚轮下料机构相接于所述气浮吸附一体平面远离所述气浮平面的一侧。
10.一种平板类工件对位传送方法，其特征在于，所述平板类工件对位传送方法包括以下步骤：
通过气浮平面使待传送平板类工件处于气浮悬空无摩擦状态；
通过移载对位装置的工件定位框将所述待传送平板类工件锁定在预设位置，完成所述待传送平板类工件的预对位操作；
通过所述工件定位框的平移运动，在气浮悬空无摩擦状态下，将所述待传送平板类工件由所述气浮平面的上方平移到气浮吸附一体平面的上方，并将原处于所述气浮吸附一体平面上方的上一加工完成的平板类工件推向滚轮下料机构，完成两个平板类工件的交替传送。
CN201810034656.3A 2018-01-15 2018-01-15 平板类工件对位传送装置及方法 Pending CN108190517A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810034656.3A CN108190517A (zh) 2018-01-15 2018-01-15 平板类工件对位传送装置及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810034656.3A CN108190517A (zh) 2018-01-15 2018-01-15 平板类工件对位传送装置及方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108190517A true CN108190517A (zh) 2018-06-22

Family

ID=62589343

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810034656.3A Pending CN108190517A (zh) 2018-01-15 2018-01-15 平板类工件对位传送装置及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108190517A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109932873A (zh) * 2019-03-26 2019-06-25 深圳市大川光电设备有限公司 一种自动曝光机
CN112319045A (zh) * 2020-09-10 2021-02-05 季华实验室 一种玻璃基板的加工方法和喷墨打印设备
CN113172348A (zh) * 2021-04-08 2021-07-27 大族激光科技产业集团股份有限公司 夹持对位装置及激光加工设备

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020182047A1 (en) * 2001-03-16 2002-12-05 Adam Johann F. Air track conveyor system for disk production
TW200525687A (en) * 2004-01-30 2005-08-01 Tokyo Electron Ltd Surfacing type substrate transportation processing apparatus
CN101033041A (zh) * 2006-03-09 2007-09-12 精工爱普生株式会社 工件搬送装置及工件搬送方法
CN102464210A (zh) * 2010-11-11 2012-05-23 株式会社Siti 基板搬运装置
CN205820356U (zh) * 2016-03-23 2016-12-21 天津文洲机械有限公司 一种汽车三角窗玻璃视觉定位系统
CN205972879U (zh) * 2016-08-17 2017-02-22 嵊州市苒芃电机有限公司 一种用于电机生产的升降装置
CN106597814A (zh) * 2017-01-11 2017-04-26 深圳市大川光电设备有限公司 多功能曝光平台
JP2017077937A (ja) * 2015-10-19 2017-04-27 日東電工株式会社 平板ワーク搬送台および平板ワーク切断回収システム、ならびに平板ワーク回収方法
CN106628837A (zh) * 2015-10-28 2017-05-10 富鼎电子科技(嘉善)有限公司 传送装置及其定位机构
CN207748540U (zh) * 2018-01-15 2018-08-21 深圳市大川光电设备有限公司 平板类工件对位传送装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020182047A1 (en) * 2001-03-16 2002-12-05 Adam Johann F. Air track conveyor system for disk production
TW200525687A (en) * 2004-01-30 2005-08-01 Tokyo Electron Ltd Surfacing type substrate transportation processing apparatus
CN101033041A (zh) * 2006-03-09 2007-09-12 精工爱普生株式会社 工件搬送装置及工件搬送方法
CN102464210A (zh) * 2010-11-11 2012-05-23 株式会社Siti 基板搬运装置
JP2017077937A (ja) * 2015-10-19 2017-04-27 日東電工株式会社 平板ワーク搬送台および平板ワーク切断回収システム、ならびに平板ワーク回収方法
CN106628837A (zh) * 2015-10-28 2017-05-10 富鼎电子科技(嘉善)有限公司 传送装置及其定位机构
CN205820356U (zh) * 2016-03-23 2016-12-21 天津文洲机械有限公司 一种汽车三角窗玻璃视觉定位系统
CN205972879U (zh) * 2016-08-17 2017-02-22 嵊州市苒芃电机有限公司 一种用于电机生产的升降装置
CN106597814A (zh) * 2017-01-11 2017-04-26 深圳市大川光电设备有限公司 多功能曝光平台
CN207748540U (zh) * 2018-01-15 2018-08-21 深圳市大川光电设备有限公司 平板类工件对位传送装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109932873A (zh) * 2019-03-26 2019-06-25 深圳市大川光电设备有限公司 一种自动曝光机
CN109932873B (zh) * 2019-03-26 2024-01-09 深圳市大川光电设备有限公司 一种自动曝光机
CN112319045A (zh) * 2020-09-10 2021-02-05 季华实验室 一种玻璃基板的加工方法和喷墨打印设备
CN113172348A (zh) * 2021-04-08 2021-07-27 大族激光科技产业集团股份有限公司 夹持对位装置及激光加工设备
CN113172348B (zh) * 2021-04-08 2023-11-24 深圳市大族半导体装备科技有限公司 夹持对位装置及激光加工设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108190517A (zh) 平板类工件对位传送装置及方法
JP5457080B2 (ja) 電子部品実装装置
CN103424991B (zh) 一种硅片直线交换装置及方法
CN1559742A (zh) 激光加工方法
TWI644768B (zh) 矽片傳輸系統
CN108994870A (zh) 用于机械手的末端执行器及机械手
CN207748540U (zh) 平板类工件对位传送装置
JP2007294781A (ja) ボンディング装置及びボンディング装置における回路基板の吸着方法
CN109461688A (zh) 晶圆传输装置及其工作方法
CN109932873B (zh) 一种自动曝光机
CN109192684B (zh) 晶圆键合机
CN210335859U (zh) 一种玻璃加工平台
CN106597814B (zh) 多功能曝光平台
CN210648024U (zh) 一种薄板产品孔位加工装置
CN102205541A (zh) 吸取装置
CN108511363B (zh) 一种键合装置
JP2020011793A (ja) 真空リフト装置
CN104828528A (zh) 一种柔性材料的组装设备
CN213715699U (zh) 一种光刻机用陶瓷吸盘
CN103594409A (zh) 一种批量硅片吸持装置
CN111383979B (zh) 翘曲片的预对准装置及方法
CN209408519U (zh) 一种便于拆卸的气动爪钳
CN218370447U (zh) 一种带有保护机构的玻璃生产搬运装置
JPH02123751A (ja) 半導体製造装置のウエハチヤツク
CN110405049A (zh) 一种薄板产品孔位加工装置及其加工工艺

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination