CN213715699U - 一种光刻机用陶瓷吸盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种光刻机用陶瓷吸盘，包括吸盘主体，所述吸盘主体前侧设置有应力消除机构；所述应力消除机构包括第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽；所述吸盘主体内部中间等距环绕开设有多个第一凹槽，且多个第一凹槽外侧均对应开设有第二凹槽，所述第二凹槽外侧对应设置有第三凹槽。本实用新型通过吸盘主体上的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽，在吸盘主体上内壁的多个位置，先设置大的第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽，消除一部分应力，然后再在第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽内壁上设置多个小型的第四凹槽，不仅可以提升消除应力的效果，还能够避免多个小型凹槽在吸盘表面，容易损坏的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为一种光刻机用陶瓷吸盘。
背景技术
高端光刻机在工件台等系统采用陶瓷材料，是为解决运动及测量的高精度要求。应用于光刻机的吸盘为一种采用陶瓷制作的中空结构，吸盘通过接管与真空设备连接，然后与大尺寸硅片接触，启动真空抽吸，使吸盘内产生负压，从而将硅片吸牢。现有的陶瓷吸盘结构在制作过程中，由于陶瓷烧结过程中产生内应力，使吸盘变形，很难满足产品的使用要求。
专利号CN201420681477.6，公开了一种光刻机用陶瓷吸盘，包括：本体，其下方固定连接盖体；所述本体的上表面设有多个凸起，多个凸起的上表面位于同一平面；所述本体的下表面设有吸附槽，所述吸附槽上设有穿透本体的吸附孔，与吸附槽相连通；还包括：第一筋板，设置在本体的下表面，所述第一筋板上设有至少一个第一凹槽，用于避免陶瓷烧结过程中陶瓷吸盘产生的内应力。本实用新型在本体的内部筋板上设有凹槽，凹槽可以释放陶瓷材料内部的应力，既满足产品的使用要求，又避免在吸盘的制作过程中，因陶瓷烧结过程中产生的内应力使吸盘变形。
目前，现有的光刻机用陶瓷吸盘还存在着一些不足的地方，例如；现有的光刻机用陶瓷吸盘，设置多个凹槽，容易导致吸盘强度降低，而且凹槽在吸盘内表面，容易在烧结的过程中，裂开损坏。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种光刻机用陶瓷吸盘，解决了背景技术中所提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机用陶瓷吸盘，包括吸盘主体，所述吸盘主体前侧设置有应力消除机构；
所述应力消除机构包括第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽；所述吸盘主体内部中间等距环绕开设有多个第一凹槽，且多个第一凹槽外侧均对应开设有第二凹槽，所述第二凹槽外侧对应设置有第三凹槽，所述第二凹槽和第三凹槽均位于吸盘主体前侧，所述第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽内壁均等距开设有多个第四凹槽。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽内部均固定连接有支撑杆。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述吸盘主体中部开设有吸盘孔。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述吸盘主体和支撑杆均为陶瓷材质。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
1.本实用新型通过吸盘主体上的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽，在吸盘主体上内壁的多个位置，先设置大的第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽，消除一部分应力，然后再在第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽内壁上设置多个小型的第四凹槽，不仅可以提升消除应力的效果，还能够避免多个小型凹槽在吸盘表面，容易损坏的问题，有利于更为实用的使用一种光刻机用陶瓷吸盘。
2.本实用新型通过第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽内部的支撑杆，可以利用支撑杆分别支撑第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽，从而增加吸盘的整体强度，避免了凹槽影响吸盘的强度，有利于更为实用的使用一种光刻机用陶瓷吸盘。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本实用新型一种光刻机用陶瓷吸盘的底部视图；
图2为本实用新型一种光刻机用陶瓷吸盘的凹槽内视图。
图中：1，吸盘主体 2，第一凹槽 3，第二凹槽 4，第三凹槽 5，支撑杆 6，吸盘孔 7，第四凹槽。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种光刻机用陶瓷吸盘，包括吸盘主体1，所述吸盘主体1前侧设置有应力消除机构；
所述应力消除机构包括第一凹槽2、第二凹槽3、第三凹槽4和第四凹槽7；所述吸盘主体1内部中间等距环绕开设有多个第一凹槽2，且多个第一凹槽2外侧均对应开设有第二凹槽3，所述第二凹槽3外侧对应设置有第三凹槽4，所述第二凹槽3和第三凹槽4均位于吸盘主体1前侧，所述第一凹槽2、第二凹槽3和第三凹槽4内壁均等距开设有多个第四凹槽7。
本实施例中请参阅图1，通过吸盘主体1上的第一凹槽2、第二凹槽3、第三凹槽4和第四凹槽7，在吸盘主体1上内壁的多个位置，先设置大的第一凹槽2、第二凹槽3和第三凹槽4，消除一部分应力，然后再在第一凹槽2、第二凹槽3和第三凹槽4内壁上设置多个小型的第四凹槽7，不仅可以提升消除应力的效果，还能够避免多个小型凹槽在吸盘表面，容易损坏的问题，有利于更为实用的使用一种光刻机用陶瓷吸盘。
其中，所述第一凹槽2、第二凹槽3和第三凹槽4内部均固定连接有支撑杆5。
本实施例中请参阅图1，通过第一凹槽2、第二凹槽3和第三凹槽4内部的支撑杆5，可以利用支撑杆5分别支撑第一凹槽2、第二凹槽3和第三凹槽4，从而增加吸盘的整体强度，避免了凹槽影响吸盘的强度，有利于更为实用的使用一种光刻机用陶瓷吸盘。
其中，所述吸盘主体1中部开设有吸盘孔6。
其中，所述吸盘主体1和支撑杆5均为陶瓷材质。
在一种光刻机用陶瓷吸盘使用的时候，在吸盘主体1上内壁的多个位置，先设置大的第一凹槽2、第二凹槽3和第三凹槽4，消除一部分应力，然后再在第一凹槽2、第二凹槽3和第三凹槽4内壁上设置多个小型的第四凹槽7，不仅可以提升消除应力的效果，还能够避免多个小型凹槽在吸盘表面，容易损坏的问题，利用支撑杆5分别支撑第一凹槽2、第二凹槽3和第三凹槽4，从而增加吸盘的整体强度，避免了凹槽影响吸盘的强度。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (4)
1.一种光刻机用陶瓷吸盘，包括吸盘主体(1)，其特征在于：所述吸盘主体(1)前侧设置有应力消除机构；
所述应力消除机构包括第一凹槽(2)、第二凹槽(3)、第三凹槽(4)和第四凹槽(7)；所述吸盘主体(1)内部中间等距环绕开设有多个第一凹槽(2)，且多个第一凹槽(2)外侧均对应开设有第二凹槽(3)，所述第二凹槽(3)外侧对应设置有第三凹槽(4)，所述第二凹槽(3)和第三凹槽(4)均位于吸盘主体(1)前侧，所述第一凹槽(2)、第二凹槽(3)和第三凹槽(4)内壁均等距开设有多个第四凹槽(7)。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于：所述第一凹槽(2)、第二凹槽(3)和第三凹槽(4)内部均固定连接有支撑杆(5)。
3.根据权利要求1所述的一种光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于：所述吸盘主体(1)中部开设有吸盘孔(6)。
4.根据权利要求2所述的一种光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于：所述吸盘主体(1)和支撑杆(5)均为陶瓷材质。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022435130.1U CN213715699U (zh) | 2020-10-28 | 2020-10-28 | 一种光刻机用陶瓷吸盘 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202022435130.1U CN213715699U (zh) | 2020-10-28 | 2020-10-28 | 一种光刻机用陶瓷吸盘 |
Publications (1)
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| CN213715699U true CN213715699U (zh) | 2021-07-16 |
Family
ID=76801084
Family Applications (1)
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| CN202022435130.1U Active CN213715699U (zh) | 2020-10-28 | 2020-10-28 | 一种光刻机用陶瓷吸盘 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN213715699U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116176163A (zh) * | 2023-03-07 | 2023-05-30 | 河北宏铭工艺美术品有限公司 | 一种砂岩画制品及其制备方法 |
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2020
- 2020-10-28 CN CN202022435130.1U patent/CN213715699U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116176163A (zh) * | 2023-03-07 | 2023-05-30 | 河北宏铭工艺美术品有限公司 | 一种砂岩画制品及其制备方法 |
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